40
111 1.0 INTRODUCTION The use of chemical vapor deposition for various insulator films is paramount in the fabrication of semiconductor devices. The initial use of such films for passivation led to the development of low temperature techniques for film deposition. With the availability of silane, the pyroly- sis of silane in the presence of oxygen at atmospheric pressure provided the deposition mechanism. Further enhancements in film characteristics through the use of phosphorus as a dopant within the film allowed the film to provide gettering of impurities during wafer fabrication. This led to the need for smoothing the films, now known as reflow, to minimize the sharp corners that metal lines had to cover. Reflow was further enhanced by the addition of boron as the dopant. This technology continues to be used today with better implementation of the reflow processes. With the addition of more than a single metal layer, dielectric films were needed for electrical isolation. These dielectrics had to be deposited at less than 400°C to prevent affecting the underlying metal layer. Initially, using silane at atmospheric pressure, suitable films could be formed. The 3 Chemical Vapor Deposition of Silicon Dioxide Films John Foggiato

˙ˆ # &˝˜ &˝ˇˆ ˆ˝ ˝$ˆ#ˆ ˝ ˆ˝Cˆ˛ ˆ#˙ˇ · 2013-06-03 · ˝ 7˚$˙ " ˆ ˙ 1 ˇ ˆ ’ "# 7 5˘ " ˛,>( 5˘ 5˘ " =7. =6˙; u6p u;p ( > 2]o 4 6999 ;999 .99 i99 ˛

  • Upload
    others

  • View
    2

  • Download
    0

Embed Size (px)

Citation preview

Page 1: ˙ˆ # &˝˜ &˝ˇˆ ˆ˝ ˝$ˆ#ˆ ˝ ˆ˝Cˆ˛ ˆ#˙ˇ · 2013-06-03 · ˝ 7˚$˙ " ˆ ˙ 1 ˇ ˆ ’ "# 7 5˘ " ˛,>( 5˘ 5˘ " =7. =6˙; u6p u;p ( > 2]o 4 6999 ;999 .99 i99 ˛

�������7���$���"� ����������1��������� ���

���

��� ����A�� ��

����������������������������� ���������������������� ���������������� ���� ���������� ���������������� ������������������� ��������������� ����� ���� ������ ���� ���� �� ��� �������� � ��� ���� ���� ��� ����������������������� �����F� �� ������������� ������������� ��������!����������������� ���������������������� �� ����������������������� �������� �������������5�� ������������� ��������������� ���� ��� ������� ���������������������������� ��� ���� ��������������� ������ ����������� ������������� ������������������������ �������������� �� �����������M��� ����N� �������������&�������� ����2�� ��������� ��������������� �� �� ������������� ���������>������������� ��������������� ������� ���������������� ������� ������� ������������� ������ ��������� ������� ���� �������� � ������� �������������������

F� �� ������� ����������� �������������� ���������������� ���������������������������� ����������� ����������������� ��������� ���������� ��� ������ ����;99L,� ������� ������ ���� ��������������� ����������$�� �������������������� �� �������������������� �����������������������������

!

�������#���&��

�&���������$���#����

��C�����#��

8���������

Page 2: ˙ˆ # &˝˜ &˝ˇˆ ˆ˝ ˝$ˆ#ˆ ˝ ˆ˝Cˆ˛ ˆ#˙ˇ · 2013-06-03 · ˝ 7˚$˙ " ˆ ˙ 1 ˇ ˆ ’ "# 7 5˘ " ˛,>( 5˘ 5˘ " =7. =6˙; u6p u;p ( > 2]o 4 6999 ;999 .99 i99 ˛

��( ���������������������������������������������

����� ��������������������������� ������������������������������������ �����'������������������������������ ������������� �� ����������� ��������������� ����������� �����1� ��� ������������������������������������ �������������� �����

%��������� ����� �������� �� ����� ��������������������������������������������� ���������� ������������ ����������������������� ������� ���� ������������)� ��������� ������������ ����������� ���� ����! �����2VAI9L,4�� �������7=�2 � ��� ����� �������� �4�������������������!�������������������������� ������������� ���������������������! ������ ������������������������������������������ ������� ��� ����������� �� ��� ��� ������ ������ )�� ��� ���������� ������� ������� 9�-9� Q������� �������������� ��������������������� �������������������������������������������� �������������������!�� ������������� ���� ���

�������� �������������� �������� ������������� ������������ ���������� �������������� ��� ��������� ������)������������������� ��������� ������������� ���������(>)%����������������������= �� ������ ��� ������������ ������������� ������� ��� ������� ������ ���������� ������ ������ ���� �����������"��������������,D(����������� �������� ���������������� ���������������������J("�2J����(���� ��"����4���,>�2���� ���,���� ����>��������4������� ���������������� ����

)� ������������� ������������������ ���������������� ��� ������������� ���� ���������� ������� ������������ ������ ����� �������������������������� ����������������� ������������� ���� ���� �� ������� ����������������������� �� ������������������ ����������� �����������������

)����� �� ���������� �������������� �������� �� �������������!� ���������������������� ������������ ���������������������� ��'� ��� ���� ����� ���������������������� �� ��������������������������������21"= 4��)����������� ������� ��������� ������������������������� ���� ��� �� � � �� ��� ���������� �� ���� ��� ������ � ��������� �� ��������� ������� ����������������������� �����

$������������ ������ ������������ �������� ����������� � ���!������������������������������� ����������� ����������������������! ���������� ���� ��������� ������� ������

(�� ����� �-�����5��30�� ��3����A�����

������� ���� ������������������� ������������=�7.���������� �!������������������� ����2)",D(4��7��� ����� �� ����������������

Page 3: ˙ˆ # &˝˜ &˝ˇˆ ˆ˝ ˝$ˆ#ˆ ˝ ˆ˝Cˆ˛ ˆ#˙ˇ · 2013-06-03 · ˝ 7˚$˙ " ˆ ˙ 1 ˇ ˆ ’ "# 7 5˘ " ˛,>( 5˘ 5˘ " =7. =6˙; u6p u;p ( > 2]o 4 6999 ;999 .99 i99 ˛

�������7���$���"� ����������1��������� ��!

���������= ����������������������������� �������������� ���� �� ����������������2�4�$�� ��������� �����2.4�5�� ��������� ����������M�����!�������N������ ��2�4�,�������������� ����������� ����

������� ������������������������ ������������������� ������ ����1������� ������� 2=�J;4� ������������ ��#�� ������ ����� ��������� ��� ����������� ������� ������ ���������� ��������� �;99L,��������������� ���.999� �6999�]O������������������� �� ������������� ��������� ������������ ����! ����� ������������� ����������� ���� ������ ��� � �������������������������� ��� ����� ��������� ���� ������ ��� 5����� -2�4� �� -2�4� �� �� ���� � ���� �� ���M�����!�������N������ ���������� �������������� ���&���5������-������� �� ��� ����������������� ������� ������������������������� ������ ����������� ����25����-�4�� ������� ������� ���M�����!�������N����� ��������������F� �� ���������� ���&����������9�I� ��-�9�Q������������������������ ���������2� ������4��������������������5����-2�4��F� ����� ��������� ���������� ��� ���� ����������������� ��� ��#�� ���������� �� ��� ���� ��� ����� � �� ��������� ������� ������ �����������D��������������� ������������������ �������� �������������� �������������� �����

2�4

2�4

2�4

Page 4: ˙ˆ # &˝˜ &˝ˇˆ ˆ˝ ˝$ˆ#ˆ ˝ ˆ˝Cˆ˛ ˆ#˙ˇ · 2013-06-03 · ˝ 7˚$˙ " ˆ ˙ 1 ˇ ˆ ’ "# 7 5˘ " ˛,>( 5˘ 5˘ " =7. =6˙; u6p u;p ( > 2]o 4 6999 ;999 .99 i99 ˛

��' ���������������������������������������������

)�� ����������� ����������)",D(���� � �������� ��������������� ����� �� � ���� �������� ��� ���� ����� ������ ���� ��� ��� =�J;������������7=���������������������������������,D(���� ���� ����� ���� ���� ���������� ��� ������������������������������ � ��������� ��=�7.�������J��������� �� ����������������� ���������� ��������������������� ����������������������� ������������(������ �����-B89�����������������������2������C��%����?-@4����������������7=��� ���������� ������������������� �� ���� ���������������� ���������� ��������������������� �;99L,��� ������ ���� ������9�-�QO������������������� ���������������� �����7=O����������������������������� �� ���������� ���� ��!�� �� ����� ����� ���� ���� ��� �������� ����� �� ��� ������ �� �� ����� �� ���� ���� ��� =�7.��7 ���� ���������� �� ��� ����������� ��������������������� �� ���������������������� ��� ����� ������������������� ����

F� ��� ����������� ��������� ������� ����� �&������������M��� ������ ���� ��N�������������������������� ������� �� ��������� ������������� ������� ����� ��������� �&����������� ���� ������������������������(���� ����������� ���������� ���� �� �������������������� �������� �� ������ ��������� ���� ����� ������!����� ������������������������� �� ���������������� ������������������������#�� ������ ������� ������ �� ����������������������#�� �������� ���� ����������������������#�� ����F� �� ���������#�� ��� ��������������� ������ �� ����������� ������������������������ ������ ������������������� �������M&����������N������ ������������������������ ����������� �����#�� ������������ �� ������ �&����������� ������������������F� �� �����������#�� ������������������ ��������������������� ������� �� ������������������ ����������� ���M����! ���� ����N� ���� ��� �� � ������ ��������� ����� ���� �� � ����� ��������������������� ���&������������ ���7����������&����� ������������! ������� ������������� ����=�7.����������������������� ��������������� �������������������� ����������������������������� �����!����� ������ ���� ��������������� ������� ������� �� ���#�� ��� ���� ����

$������)",D(����� ������ ������������5����.��?.@� ������������������ ������������������������������ �������������� ������������ ��&� �� ������������������$�� �������������� �� ������������ � ���������������������������������������� ������ ������������ ������������A���������1�!����� ����������������� �� ������������ ���������� ������������������������$�� ���&����!�������#�� ������ ��25����.�4�?6@������� ����������� ��#���� � �� ��� ��#�� ���� ���� ������� �� ����� ������� ������ ����������5����� �� ����������� ����� �����#�� ��� ���� ������ ���

Page 5: ˙ˆ # &˝˜ &˝ˇˆ ˆ˝ ˝$ˆ#ˆ ˝ ˆ˝Cˆ˛ ˆ#˙ˇ · 2013-06-03 · ˝ 7˚$˙ " ˆ ˙ 1 ˇ ˆ ’ "# 7 5˘ " ˛,>( 5˘ 5˘ " =7. =6˙; u6p u;p ( > 2]o 4 6999 ;999 .99 i99 ˛

�������7���$���"� ����������1��������� ��/

����2U-99L,4� ������� ���� �������� ������������������������ ������ �����#�� ����

7��������)",D(� ������������� ������ ���������� ����������� �����������(>)%��������������� ���������=�J;�������������� �� ������������ ������ �� �� ��������� �� �����������&� ��F� �� �����!�� ���������� �������������� ��7=O������ ������ ������ (>)%0�� ���� ����� ����� �� ��������� ������� ����

������(��,�����������)",D(����� ��� �����2�4�)�������#�� ��!���������������2.4�'��������#�� ���

2�4

2�4

Page 6: ˙ˆ # &˝˜ &˝ˇˆ ˆ˝ ˝$ˆ#ˆ ˝ ˆ˝Cˆ˛ ˆ#˙ˇ · 2013-06-03 · ˝ 7˚$˙ " ˆ ˙ 1 ˇ ˆ ’ "# 7 5˘ " ˛,>( 5˘ 5˘ " =7. =6˙; u6p u;p ( > 2]o 4 6999 ;999 .99 i99 ˛

��: ���������������������������������������������

(�� �������$������&�������&�������

�������� ��������������������������������������� ����������� �&������� �� �����������������$ ����������� ������������� ������������ ����� ����������������������� � ��� ����� �� � �������� ������� ������������������ ������� ��������� �������������������� � ����������������>�����;�����I�

�������������=�J;��������������� ������� �������=�7.� �&�������#�� � �������� ���������� ��������������������� ������� ���������������*

����2-4 =�J;�R�7.�→�=�7.�R�.J.�↑

F� �� ��������� � � ;99L,�� ��� �������� ���� ��� =�7.� ��� ���������������������� ����� �������������� �����$�� ��������� ������� ������� �� ��������� ������������J.���� ����������� ����������������� ����� �������� ���������� ������������������������������ ��������������������!������ ������������������������������� ��������� �������������� ���������� ���&������������ ������� ��� ����IP��)� ����� ������ ������� ������� ����������������&��� �����������������,������?A@��� ������������������ ���� ��������� ����

$����������������������������������������� ����������� ���������������� ������� ���������� ��������������*

����2.4 ;"J6�R�I7.�→�.".7I�R�AJ.↑

�������� ��� �������� ���� ��� ��� ��������� �� ������ 2".7I4�������������� ������������;� ��3������ ������ �� ��������������������� ���� ��������B99L,�

$�� ������� ������ ���������� �������������������������� � ������ ������������������� ������� �������������������� ���� ���� �����)�������������� �� �������M�� ����� ���N� ��������� ��� �� ���� ��������� ���!������� ������� ���� ���� ��������� ����������������������������������� ���������������������� ��� ������ ����� ��� ������������� ��� ������! ��� ���������� ������$������������������������ ����� ���� ��� ��399L,������������� ���� ���� �������������5�������� ����������� ���������� ��� �������� ���� ������������� ����&� � �� ������������������ ����.L,������� �����������������

F� ����7=�� ������� ������������������������ ������� �� ����� ����� ���������������$�� ��������� ������� ������*

Page 7: ˙ˆ # &˝˜ &˝ˇˆ ˆ˝ ˝$ˆ#ˆ ˝ ˆ˝Cˆ˛ ˆ#˙ˇ · 2013-06-03 · ˝ 7˚$˙ " ˆ ˙ 1 ˇ ˆ ’ "# 7 5˘ " ˛,>( 5˘ 5˘ " =7. =6˙; u6p u;p ( > 2]o 4 6999 ;999 .99 i99 ˛

�������7���$���"� ����������1��������� ��.

����264 =�27,.JI4;�R�A7.

�→�=�7.�R�-9J.7

�R�8,7.

R���!����� ��� ����

�� �� �� ���� ������������ ���������������������������������� ���� �������������������������� �����!����� ���G���� ��� ����� ������ ����� ��� ��������������� ��������������������� ��� �� ���I99L,��������5������������������������������������������ �������� ���� ������ ������ ��������� ������ ���� ���� ��7=O������ ����� ���� ������ ��� �������� 2=�!7J4��������������������������� ����������������� ������������������������������� ����������� ���� ��������������

$�� ��� ����� ��� ��7=�� ��� ���� ����� ���� ��� �������� ��� �� �����������,D(�2'",D(4���� ���������� �����7=��������������� ��������� ���� ���� ����� ���� ���������� ��� ��� ����� ����� ������ ��� ��)����������� ����������5����6�?-@�) ������ ���� ����������������3I9L,������ ������� ������ ������������������ �����������������F� �� �������! ��������������� �������� ��������������������� ���������������� ��� ����! �������������������J����������������� ��������������� ���� �����UI99L,������������������������� ������� ����������������������������� ����������������� ��)���� ��������� ������ ������� ��� �� �-999�]O������������������ �;99L,��)� ����� ��������������������� ���&��� ���������������>����3�

������!��)����������� ����,D(�=�7.��������� ������������7=�

Page 8: ˙ˆ # &˝˜ &˝ˇˆ ˆ˝ ˝$ˆ#ˆ ˝ ˆ˝Cˆ˛ ˆ#˙ˇ · 2013-06-03 · ˝ 7˚$˙ " ˆ ˙ 1 ˇ ˆ ’ "# 7 5˘ " ˛,>( 5˘ 5˘ " =7. =6˙; u6p u;p ( > 2]o 4 6999 ;999 .99 i99 ˛

��� ����������� ���� ��� �������������� � ����

������������ ������������������������������������������

���������������������������������������������������������������������

��� ���� ������ ���� ����� ���� ������� ��� ���������� !�"#� ��� �������

�$�%#�����&������'��������������������������&��(���'�����!$�)�����$�"�

����������������'������������������������&�������������!$�"����&����

�������������������&��(���������!$�)������������������ �����������*���

������������������������&*&������&���+�����&����,--./����0)-./��1�����

���������������������������������+�����&�������(�������������������������

��������������1��(��,)-./����������������&���������������������������

����&��

���� ���������&����������������&�������������������������23

������ ����� � (����*� ������ (������� �� ����� ����� ������� ��

������*������#� ��� 4�� �������*������#� ��� ������ ���� ������ �����

��(������� ����� ��&����*�� !���������� ������� ��� �������� ����� 4!�

�������*���������#���� 4!5� �������*����������#�������������(��������

�'*���������������&���������������������&��(��

�����2����&����&�� ���� �������*����������&�����������2��(����

��������'*�����#�����������������(�������������������������&�����������

�����������&���������������� ������ 4���������������� 4!�

��� 4!5����������������������*��*����*�������������������&��(���'����

��������������&�����������������'������������� ��������&��������&����

�����������

��

� ��

� �

��

��

� ��

��

Page 9: ˙ˆ # &˝˜ &˝ˇˆ ˆ˝ ˝$ˆ#ˆ ˝ ˆ˝Cˆ˛ ˆ#˙ˇ · 2013-06-03 · ˝ 7˚$˙ " ˆ ˙ 1 ˇ ˆ ’ "# 7 5˘ " ˛,>( 5˘ 5˘ " =7. =6˙; u6p u;p ( > 2]o 4 6999 ;999 .99 i99 ˛

������������� ������� ���� ���������� ���

������������������������� �����������������������������������

������������ ��������������������������������������������������

�������������� ����������� ��� �������� ���� ��������� ��������� �������

����������������� �������������������!�"#$����%#$&'!� ��������������

�����������(��)�*+��������������������������������������!�������������

����������������,������������������-�������������������)�)���������

�������������������������

����������������!����������� �.��� /.������������������

����!�.0�1!�������������������������������������������������!� /2�

�� /2��������������20�1���������!�������������������������

��������������������������!�����������20�#�� ���������������������)

����� ��� ������ ���� ������ ��� 3����4������ ���������� ����� �����������

�������� ������������������������������������������������������)

�������������������

�����������!������������������������������������������������

����������������������������������5������������!�����������

����� ���0� ��� �������� ������ ���� ������� ����� ��� ���� ��������� �����

�����������������������������������!����������������������������5�

����!�.���2�����������������������!������������5�.2�5!���������

���� �������� ��� ������������� ��� 6#$&'� ��� ������ �������� ����� ������

�����������������������������!���������������������������������!����������)

����������������������������������������7%8�������������������������������

�����������������������������5��.2�5��������������������������������

����������������������

����������������������������������5����������������.2�5

�������������������9����%�� ������������������������������������9 2

(9���� �������2��������+�����������������������������!�������������

������������������������������������������������� ������������������)

������������������������������������������� ��9����:!��������������

��������������������������������%$$&'�

���������������������������������������������������!� �����;

������������������������������<����������������������������������

��������������������������������!������������������������������

�������*=���������������������������������������������������������

Page 10: ˙ˆ # &˝˜ &˝ˇˆ ˆ˝ ˝$ˆ#ˆ ˝ ˆ˝Cˆ˛ ˆ#˙ˇ · 2013-06-03 · ˝ 7˚$˙ " ˆ ˙ 1 ˇ ˆ ’ "# 7 5˘ " ˛,>( 5˘ 5˘ " =7. =6˙; u6p u;p ( > 2]o 4 6999 ;999 .99 i99 ˛

�(� ���������������������������������������������

��"#���������� ���������>��� �� ������5������=�������(�������5���� �) ��������"�������

>��� �� �

5�� 1��� "�������� 1���� 1��� >��� ���5���� =��=����� (��� (��� �� ����>����

=�7. =�J; 7. 699HI99L,

"= =�J; "J6 7. 699HI99L,

1= =�J; 1.JA 7. 699HI99L,

1"= =�J; "J6 1.JA 7. 699HI99L,

=�7. ��7= 76 699H;I9L,

"= ��7= �%"7 76 699H;I9L,

"= ��7= �%"$ 76 699H;I9L,

1= ��7= ��1 76 699H;I9L,

1= �%1 76 699H;I9L,

1"= ��7= �%"7 ��1 76 699H;I9L,

1"= ��7= �%"$ ��1 76 699H;I9L,

1"= ��7= �%"7 �%1 76 699H;I9L,

(�( 3�����������$$��������������#����������

)�������������� ���� ������� ��������� ��� ������ ������������� �������������� ������ ������������! ������ ������ ������� �����F� �� ������ ���� �&���������� �� ����������������� ����������� ������� ��������� ��������������������������������� �� ���������� ������!����� ������������#�� ���� �� ������� ������������������� ��� ��������#�� ������������ ��������������������� �������� �� ���������� ������������� ������ ��������D������� �������� ���� ���� ��������������������� ����������� ���� ��

Page 11: ˙ˆ # &˝˜ &˝ˇˆ ˆ˝ ˝$ˆ#ˆ ˝ ˆ˝Cˆ˛ ˆ#˙ˇ · 2013-06-03 · ˝ 7˚$˙ " ˆ ˙ 1 ˇ ˆ ’ "# 7 5˘ " ˛,>( 5˘ 5˘ " =7. =6˙; u6p u;p ( > 2]o 4 6999 ;999 .99 i99 ˛

�������7���$���"� ����������1��������� �(�

��������� �� ���������� ���F������ ��������� ������� ��������� ����=�J;�������������������������7=O�����������

��������� ����������� ���� �������� ���������� ���� ������������ ����� ������� ������� � ��� ��� ���� ��� �������� ���� �� ������ ��� ��� �������������������������������������� ������� ������� ����$����������� �������� ������ ����� ��������� ������ ����������� �������� ����������������������� ����������)�� ��������� ������������! ������ ��������� �������� ������ �� �������������������� ���������������������������� ���������������� ���� ����� �����%���� �� ������ ���� ������ ��� �� � ��� ������ �������� ����� ���������� ���� ���� ������� ���������������������� �������� �������� ��=�� ���������������������������� ������ ��� ����������������������� � ������ ��������� ���������� ��� ����������������� ���������������������������������� ������ ��

����� ���� ��� �� �#��� ��� ��� ��� ���� �� �� �� ��� ����� �������������������� ��������� ������ �������������� ���� ������� �� ����� ���� ���������� ����������D������������������������������� ���� ����������� ���� ���O��� ������ ����� ���� �� �� ��� ����� ������ ������ ��� �� ���������������������� ���� ��������� ���� ��������� ��� ������=�J;������7=��������������5����;�����������=�J;������������� ��� ���� ������������� ������������ ������ ���$�� �������������7=��� ����� ���� �������� ���������������� ���� ��������������� �689L,����������� ����������� � � ������ ���� ������� ���� ������ ��� �������� �������� � ��� ���&����� ������� �� ��� �� ��� ���� W.P�� ��� ���� ���� ��� ���� ���������� ����������� ���������������������� ��������� ������������ ���W-L,����������.99������ ������������������������� ������� ���&�������������� �� ���������� ����W.P������� �������� ���� ���� ���������������� �������������������� ���� ���$�� �������������7=������������ ���� ���� ���� ����� ����� � ��� ���0�� ����� �� �� ����� ������� ����� ��� ����������� ������������� ��������� ���� ��������!������������ ��

5��� ��� ����� ��� ������� ������ ������ ��� ����� ���� �� �� � � ����� ���� ������ �������� ���� 699� �� I99L,�� ��� ��������� �� ��� �� ��� ���������� ��� -9� �D�?A@� $�� ��� ����� ��� ��7=�� � � ������ ���� ���������������� ��������������������� ��������������������� ���� ���)�� ����! ����������������� ��689L,������������� ���� ��������������� �������-999�]O��������������������������5�� ��������������� ��� ���� ���������� ������� �� ������� �������������������� �� ���� ��������������� ����7=O���������� ������ ������� ��������������������� ���� ��

Page 12: ˙ˆ # &˝˜ &˝ˇˆ ˆ˝ ˝$ˆ#ˆ ˝ ˆ˝Cˆ˛ ˆ#˙ˇ · 2013-06-03 · ˝ 7˚$˙ " ˆ ˙ 1 ˇ ˆ ’ "# 7 5˘ " ˛,>( 5˘ 5˘ " =7. =6˙; u6p u;p ( > 2]o 4 6999 ;999 .99 i99 ˛

�(( ���������������������������������������������

F� �����! ������ ����� ������ ������������� ��������� �� ������� ����� �� �� ���F� ���� ��� ���� ���� ����� ��� ���� ���� ������ ������ � ������� �� � ������ ������������� ������� �� �������� ����������������� ����� ���$�� �������� ������������������ ������������� ���� ������ ����� ������������������������� �� ����������������� ��� ������ ���� ������ �������� �������� ������� ����������������� ����� �� ��������)������ �� ������������������������� ��������#�� �������������� � ��� �������� ���&������������ ��

$�� �������������7=O����������� ���� ������� �� ������������������������ ������� ��������������������������������������������� �����5���� I�� ��� ����� ���� �� ���� ���� ���������� ��� �������� ��� ������0 ���� ����� ����������������� �������� ��������� ����������������&�

2�4

2�4

������ '�� ,�������� ��� ����� ���� �� �� ����� ��� �� �� �� ���� ���� ���� =�J;� �����7=�

Page 13: ˙ˆ # &˝˜ &˝ˇˆ ˆ˝ ˝$ˆ#ˆ ˝ ˆ˝Cˆ˛ ˆ#˙ˇ · 2013-06-03 · ˝ 7˚$˙ " ˆ ˙ 1 ˇ ˆ ’ "# 7 5˘ " ˛,>( 5˘ 5˘ " =7. =6˙; u6p u;p ( > 2]o 4 6999 ;999 .99 i99 ˛

�������7���$���"� ����������1��������� �(!

� � ���� �������������������������������.9��J���=�� ���������������� ��������� �� ����� ��� ��#�� � ��� �������� ������� �� ������� ������ �� ������������������ �������� �� �������

F� �� ��� ����� ����� ���������� ������� ���� ���� �� �� ��� ���������� ������������������������ ���� ����� �������������� ���� �������������������� ����������� ������������.������� ���� �������� ������� �������� �����

������/��D�����������������7=��������� ����1������%"7�

��"#��(��5���"���� ���D���� ������� ��$����������"�������"���� ���

"������ $��������� $��������� $��������� $���������"���� ��� (���� ��� >��� �� >��� �� ������

����� ��� ����� ��� 5���

��0'������

(���� ����>� � $�������� =���� ������� $�������� =���� �������

5�������&���� (���������� =���� ������ ��� (����������� � D���G������ � ������� ���� ��� ����������� ����� ���

����H�)���

(���� ����>� � $��������� ��689L, $����������� � $�������� =���� (��������������� �� ������������ �� ������ �� �������;99L, ���� ��� ����

5�������&���� (���������� =���� ������ ��� ������������� D���G������ � ������� ���� ��� �� �������� ����� ���

Page 14: ˙ˆ # &˝˜ &˝ˇˆ ˆ˝ ˝$ˆ#ˆ ˝ ˆ˝Cˆ˛ ˆ#˙ˇ · 2013-06-03 · ˝ 7˚$˙ " ˆ ˙ 1 ˇ ˆ ’ "# 7 5˘ " ˛,>( 5˘ 5˘ " =7. =6˙; u6p u;p ( > 2]o 4 6999 ;999 .99 i99 ˛

�(' ���������������������������������������������

������:��>��� �������� �������������������������������#�� ����

(�! �������������"���������

)� ����� �� ��� ���� ���� ����� ����� ��������� ���� � �������� �������� �����7�����������������������������&����������� ������ ����!��������#�� ��� ��������� ����������#�� �������������������� ������� ���F� ����� ��������#�� �� ����� �����#�� ��������� �������������� ��� ����������������������������� ������������������������������ ��-99����� ���������� ����� ������� ���)�����%� �������.-99�������������������� � �� ����������������� �����#�� ������������� ���������������� ����#�� ���� F������ ����� ��� ��� ������� ��� ������ ������� �� �� ����������������� ������������� ������� �� ������� �������������� �����

>��� ������� ������������ � �������������������#�� ��� �� ������� ������ ���� �����������������?--@�)������ ������5����A�� ������� �� ������������#�� ������������ ���������������������� ���������� ����� ���������������� �� ���������� ���� �&���������� �� ��������������!���� � ��� �������� ��� ������ ������� ������� ���� �� �� ������!����� ���� ��������� �������������� ����� ����������������������������������0����� ��������� ���������������#�� ��������� ������������������� ������ ����� �����.999�]O���

)�������� ������� ���� ����������������������#�� �������������������� ������������� ���&������������ ���������� ��������� ����� ����������5�� ���� ��������� ��� ���� ��� ��� ������ ��#�� ���� �� ��� ���� ���� ������� ���� ���� ����� ���� ���� ����� ����������G �������� �� �� ����� ������������ ���� ����� ����� ���� ���� ���&����� �������� ����� ���� ��� ���� ��

Page 15: ˙ˆ # &˝˜ &˝ˇˆ ˆ˝ ˝$ˆ#ˆ ˝ ˆ˝Cˆ˛ ˆ#˙ˇ · 2013-06-03 · ˝ 7˚$˙ " ˆ ˙ 1 ˇ ˆ ’ "# 7 5˘ " ˛,>( 5˘ 5˘ " =7. =6˙; u6p u;p ( > 2]o 4 6999 ;999 .99 i99 ˛

�������7���$���"� ����������1��������� �(/

�� ������� ������� ��������� ���&������������ ��?-.@���&��������� ������ ��� ���������� ����� �� ����� ����� ���� �� �� ���� ��� ��� ���� �������� �������� ����� ������ ������� ����������5����3���������������F� ���������� �����.9P���� ��������������� ���� ���������� �������� ��������������������������������������2����� ������� 4� ������� ������ ��

$������ ������� ����� �������������������������������� ������ �������� ������� ��������� ���������������������������� ������ ����)������ ������������������� ���� �����#�� ��! �!��������� ������ ���������������������� �� �������� ����������������������� ��$�#�� ���������������� �� � �������������� ������� �����#�� ���������� ���������������� �������� ��� �� ������� �� ��� ��#�� ��� �� ����� � �� ������ ��� ��� �������������

������.��(�������������� ������� ����� ����������� �������������>�����������9���������� ��?

�����

�������

��� � �������

�����������

(�' 3��������C����������3�����#�������������

)�������������� ������� ���������������� ���� ����� ��������! ���������� ���� ������� �����#�� ����� ������ ���&������������ �������!������� ���������������������� �������� �������� �� ������� ����������! �� ����� �������� ������ ������� �������������� ���� �������� ������ ����� ��� ������� ������ � ���� ����� ����� � ��� ����� �� � ����� ���� �� ��� ���������� ���� �� ����������������������#�� ��� ����

Page 16: ˙ˆ # &˝˜ &˝ˇˆ ˆ˝ ˝$ˆ#ˆ ˝ ˆ˝Cˆ˛ ˆ#˙ˇ · 2013-06-03 · ˝ 7˚$˙ " ˆ ˙ 1 ˇ ˆ ’ "# 7 5˘ " ˛,>( 5˘ 5˘ " =7. =6˙; u6p u;p ( > 2]o 4 6999 ;999 .99 i99 ˛

�(: ���������������������������������������������

)�� ��������� ���� ��������� ������ �������� �����$�� ���������� ������������� �������� �� ���!����� ��������� ������������ ������������ ��������������� ����������� ������������������������ ���� ������������ ���� ���������������������������� ����������������� ��������� �����$� ������������� ������������5����3�� ����������������������������������� ����� �� ����#�� ��������� ������ ����� �������

)�� �������� ������ �������� ����� � ���� ��� ���� ��������� �������0�����&������F� �� ������ ���� ��������!�� �������������� ������ ���������������������� �����F� �� �������������� ������� ��� ���������������� ��������� �������������=���������� �������������� �� �������� �������� �� ����������������&������� ������

) ��������������������� ������� ������ ����� ���������������� �������������!����� �������!���� ������������ ������������F������ ������������� ������ ������������7=O���������� �� ������0���������� ���������� ������ ��������� ��� ���� ����������������� ������������� ����� ���� ����������)",D(��F���������������� ���� ������������������!� ��������� �� ������������ ����� �� ��������� ���� ��������������� �����

)��������� ���� ��������� ��� �� ���� ���� ��� ������� �� ��� ��� �������� �������������� ���� ���������� ����� ���������� ���� ����� �������� ���� �������� ������� ��������� ������� ���� ��������� ����� ������ ���&������������ ���� ��������� ������� ������� ��� �������� ����������� �������� ����� ���� �������������������� ������!������� ��������� ��������� ��������������������������� ����������� �� ��������� ��������� ��� ��������� ���� ����� ��� ������������������� ����,D(����������������� ��� ��������� ��������� ������ ����� ������������������������� ����"�,D(������ ������� ����������K��� ������ ��������� �������� ��������������������������� ����� �� ������������������������ ��� ��� 5���� A� ������� ���� ���� ���� �� ��� ��� �� ������� ��������� ����������� ��� �� �� ��� ��� K��� ��� ��� �?-6@� ���� ������ �� � �� ���������� ��� ������� �� ��� .�IP� ���� ��� �������� �� ����� ���� -P� ���������������������������������� ������� ����

!�� 3+��5����0������0�5 ��+���3����3�� � ��

����������������������������������� ������������� �����������!�������������� ������������ ������ ������������ �� ����������� ���� ������������� ������� ����� ���� �� ��� ���� ������� ����� ���� �� ������ �������������������� ��������� �������� ������F� �� �������� �� ������ ������ �������� �� ������� ������� ���>5������ �������� �� ��������� ��

Page 17: ˙ˆ # &˝˜ &˝ˇˆ ˆ˝ ˝$ˆ#ˆ ˝ ˆ˝Cˆ˛ ˆ#˙ˇ · 2013-06-03 · ˝ 7˚$˙ " ˆ ˙ 1 ˇ ˆ ’ "# 7 5˘ " ˛,>( 5˘ 5˘ " =7. =6˙; u6p u;p ( > 2]o 4 6999 ;999 .99 i99 ˛

�������7���$���"� ����������1��������� �(.

����� ������ �������� �������� �� �� ����������� ������������ ����������� ���������� ����������� ���� �� ������������������� ��������������� �������������������������������>5����������������������������������� �������� �� ������ �������� �������&����� �����������

!�� �&�������������

)���� ������5����8�� ����������� ����������������������,D(2"�,D(4���������������� ������� ��������������� �������!��� ������>5������������������������� ���������� ���������� �� ��?-6@�$������ �������&������������������������������������������ ��������� ������� ������ �� �� ������ �������������������������� ��������������������������������� ������� �� ����� ������� � ���������������������������� ���)������������� ������������"�,D(����������6������� ��� ��������� ��!�� �������"�,D(���� ���

F� ��"�,D(� ������������ ����������������������������������� ���� �������������� ���� ����� ������������� �������� �� ������ �������"�,D(���� ������ ���� ���� ����� ����� )� ����� ������� ��������� ��� ���� ���� ���� �������������������� �������� �����F� ���� ������� ����������������� ��������� ���� ������ ������� ������� ������������������������� ���7 �������� ������������� ��� ���� �� �������� ������!�������������>5����������� ��������������������������� ������������������ ��������������������� ����������������������� ��������� ������� ��������� ��������� ������������ ������������ ���� ���� ����������������� ��������������������

)����������� �������������� ������� ��������� � �������������! ���� ���� ������ ��� ������ ������������ � �������� �����"�,D(���7=�������������������� ���������������� ������� ��������� �� �������������������������� �������� �� ��(���� ����� �������� ���� �������������������������� ����������� ��������� ������������� ���������������������������2���� �;99�&J�4�������#��� ������ �� ���>5��������������������������� ���������������� ����� �������������������������������������� ������ ���� ����� ����� $���������� ��� ����� ���� �� �� ������� ���������� �� ���������������� ��������������� �� ��� ���� �����������������!���������������� ����������!7J������� ������ ���������������������������������������� ������� �������� ��������� ����� ������ ���������! �������� ������������� �������������������������������������������� ������ �� ������ �� ���������� � ������)����� ��� ����� ���� ���� ���� ���� ������ ������� �������� ���� �� �� ������������ ���� � � ��������� ���� ������������

Page 18: ˙ˆ # &˝˜ &˝ˇˆ ˆ˝ ˝$ˆ#ˆ ˝ ˆ˝Cˆ˛ ˆ#˙ˇ · 2013-06-03 · ˝ 7˚$˙ " ˆ ˙ 1 ˇ ˆ ’ "# 7 5˘ " ˛,>( 5˘ 5˘ " =7. =6˙; u6p u;p ( > 2]o 4 6999 ;999 .99 i99 ˛

�(7 ���������������������������������������������

��"#��!��,�����������)",D(�����"�,D(�=�� ��

������7��5��������� ���� �������� ������������������� ��������

,���� ��� )",D( "�,D("���� ��

(���� ����>� �=�J;������ -999� ��6999�]O�� I999� ��A999�]O����7=������ -999� ��.999�]O�� I999� ��3999�]O��

5���= ���� ������� �������→���������(������������� ,��������

5���J.�,�� �� B� ��-.�� �P 6� ��I�� �P����=�!7J�����J.7 ����=�!7J

=�� ��,����� �\�������� ��� -� ��I -� ��;������ ����

;������������ ���� =�������� ���� ��I����������� ��� �3������ ������ ��

F�����'���OG����� >��� �� �� ������� D�������������&���������� ����� �

D�����=�� � ���� %�� ����� ����

Page 19: ˙ˆ # &˝˜ &˝ˇˆ ˆ˝ ˝$ˆ#ˆ ˝ ˆ˝Cˆ˛ ˆ#˙ˇ · 2013-06-03 · ˝ 7˚$˙ " ˆ ˙ 1 ˇ ˆ ’ "# 7 5˘ " ˛,>( 5˘ 5˘ " =7. =6˙; u6p u;p ( > 2]o 4 6999 ;999 .99 i99 ˛

�������7���$���"� ����������1��������� �(;

������ �������"�,D(���� �������������� ����*�-4���������������.4�� ��������������� ����� ����������64���� �����������������������!������ ���� ��������� ������ ��� ������������ ������� ���&�����������!� ���7 ������� ���������������� �������������������>5������2��*�;99&J�4�������������� �������� ���������������� ������������������5����B�$�� 5���� B��� �� ������� ������� ���� ��� ��� �������� �� ������� ��� ������������� � �������������������� � ����������������� ������ ����� ���������� ������������� ������ ������������������������ ����� ���� ����� ���>5��������������� ������� ���M����������N����� ������������#�� �� ���� �� �� �� �� ���������� ��������)� ������������� �� ���� �������������� ������������������>5��������������� �� ������������� ������������������ ������������������������ ���� �������� �����������!������������������� ������������� ���������� �� ����� ��������� ������������������������ �������������������������

���� ���������������� ��� ����� �������� �������������� ����������������5����B����������� ������� ���������������� ������ ������������!��������� �������������� ���������������������� ����������������� ����������������� ��� ������� ���������� ���� M����������N� ������ ����� �������������������������� ������������� ��

)��� ����������� ��� ����������� ����������� �������� ��������! ������� ���������������������������������������������5����B���)� ���������� ��������� ��� ���� ��� ������� ����������� ��� ����� � �������� ���� ������� ������� �������������� �� ������� ���M���������N������ ����������������=����.�;�

������� �� ����� ��������� ����"�,D(����������������� ����������� ������� �� �������� ���������� ���� ��������������������� ����� ���� ���������=�������������� �� ����������������� ����������� ������������������������� �� ����������������������������������� � ���������� ���������������� ������ ���� ��������������������������������� ���� ���� ������ ��� ����� �� ������ �� ���� ���� ������� ��� ������������� ��)���� ������� ��������� ����������� ��� ���������� ���������������������;�

D������� ��������������������������� ����� ������������"�,D(������� �� ����������� ���������������������� ������������������������� ����� ���� ����� ���� ����� ����� ��� ����� ��!����� ����� ����� ��� ��!���������� ����F��������������������� �������� ������������������� �������������������� ���� ����

Page 20: ˙ˆ # &˝˜ &˝ˇˆ ˆ˝ ˝$ˆ#ˆ ˝ ˆ˝Cˆ˛ ˆ#˙ˇ · 2013-06-03 · ˝ 7˚$˙ " ˆ ˙ 1 ˇ ˆ ’ "# 7 5˘ " ˛,>( 5˘ 5˘ " =7. =6˙; u6p u;p ( > 2]o 4 6999 ;999 .99 i99 ˛

�!� ���������������������������������������������

������;��D�������"�,D(����� ������������ ������2�4�=���������� ����� ��������������!�� � �������� >�������� ��� �����������?�� 2.4�%�� ���� ���� ��� ��� �� ��� ���� ��� ������������ �����2�4�%�� ��������� ������ ����� ������������������

2�4

2�4

Page 21: ˙ˆ # &˝˜ &˝ˇˆ ˆ˝ ˝$ˆ#ˆ ˝ ˆ˝Cˆ˛ ˆ#˙ˇ · 2013-06-03 · ˝ 7˚$˙ " ˆ ˙ 1 ˇ ˆ ’ "# 7 5˘ " ˛,>( 5˘ 5˘ " =7. =6˙; u6p u;p ( > 2]o 4 6999 ;999 .99 i99 ˛

�������7���$���"� ����������1��������� �!�

2�4

������;��>����@��?

��"#��'��"�,D(�"�������"���� �������>��� ��� ��(���� ���5��

(���� ���5���"���� �� "�,D(�(���������

"�������,�� ����"���� ���

(���� ����>� � ���� ����O=����������"����� �

>��� �� �5�����>5�"����

����&�����G������ � ���� ����O=����������"���������

>��� ���,������D�����������

= ���� (����5���������21���4�>5

(���� ����>� �

J��������,�� �� 7��� ����D�����'�����

>��� �� ��G����(���� ����>� �

(���� � 1����'�����2>5O1����"�����>� ��4

7��� ����D�����'�����

Page 22: ˙ˆ # &˝˜ &˝ˇˆ ˆ˝ ˝$ˆ#ˆ ˝ ˆ˝Cˆ˛ ˆ#˙ˇ · 2013-06-03 · ˝ 7˚$˙ " ˆ ˙ 1 ˇ ˆ ’ "# 7 5˘ " ˛,>( 5˘ 5˘ " =7. =6˙; u6p u;p ( > 2]o 4 6999 ;999 .99 i99 ˛

�!( ���������������������������������������������

!�( �#������������������$����$$�����������������

F� �� ��� ���� ��� �� ��� ���� � ���������� �� "�,D(�� �� ����� �� ������� ��������������������������������� ��������������������������������� ����� ������)� ������������ ����� ��� ����������� �� �������� �������� ����� �����

)�� �� ������!��� ��)",D(�� ��� ��� ���� ����� �������� ������� ������������������� ������������*

����2;4 =�J;�R�7.�→�=�7.�R�.J.↑

������������ ��� ������������������������������������ ��������)������!������ �� ������ ���� ��� ����� ��� )",D(�� ��������� ���� ������� M�� ���� ���N������ ����������������� �������� ���������� ����������F� �� ������ ������ ���������� ������� �� ���������� �� ���������� �.7� ���� �� ��!��������� ��������� �����=�J;������"�,D(����������� �����������������������������=�!J��=�!7!J�����J!7!J�� ��������������������� ���������������� ������ ��������������� ��������������������� ��������������

��&���&�?-I@����������� �����������.7���� ����������������� �� ��� � ��� ����� �� � ���� ���� ����� �������� ��� ���� ��� �.7�� ��� M��� ����N���� �������������������� ���������������� ������������� ��������������������������������������������� �������������������������������� ������� �������

)�� ���� ��� �� � ���� ��� �������� ��� ���0�� ����� �� �� ����������!��������� ��� ������������������������������� �� ���������������#�� ��� ��,%"�2,�������%����������"��������4��� �������� ���� ��� ������� � ��� ����� ��� ������� )� ������ ������������ ����� �������������� �������� ������������������ ���!������5�#������ ����?-.@������������ ���������� ����)",D(������ ��� ������ ���� ���� ���� ���������������������� ������ ������� �� �������� ����������������������������������������������� ���� ������������ ��������������������������� ��������� ����������� ������� �����������������!����������������$������������������ ������������������������������������"�,D(����� ����?-I@�F� �� ������������������������������������"�,D(��� ���������� �������������������������� ����� ���������� ����� ����������!������������������� ������ ������ ���������������������

�������������7=���� ����������!������������ �� ��������������������������� ������ ���������� ��=�J;������ ����F� ��=�J;�� �������������������������� ������������ �������� ��� �������������������5����-92�4�

Page 23: ˙ˆ # &˝˜ &˝ˇˆ ˆ˝ ˝$ˆ#ˆ ˝ ˆ˝Cˆ˛ ˆ#˙ˇ · 2013-06-03 · ˝ 7˚$˙ " ˆ ˙ 1 ˇ ˆ ’ "# 7 5˘ " ˛,>( 5˘ 5˘ " =7. =6˙; u6p u;p ( > 2]o 4 6999 ;999 .99 i99 ˛

�������7���$���"� ����������1��������� �!!

���������� ������� �� �� ��7=� ��� )",D(� ���� ���� ���� �������� ���������������� ���� ����� ���� ��� �� ��������� � �� ��������� ����������� �� ���������F� �� �� �������������� ��������� � ���� ������������� ����7=����������� ������"�,D(������ ���������������������� ����! ����������������5����-92�4�

G������"�,D(����������������������������� ��������������� ������������������������ �� �� �������� ��������������������� �� �� �������������I���� �� ������������������ ��������������� �����

����������5�������� ���������� ���� ���*�2�4�=�J;�������������2.4���7=����)",D(���"�,D(������2�4��� ����������

2�4

2�4

2�4

Page 24: ˙ˆ # &˝˜ &˝ˇˆ ˆ˝ ˝$ˆ#ˆ ˝ ˆ˝Cˆ˛ ˆ#˙ˇ · 2013-06-03 · ˝ 7˚$˙ " ˆ ˙ 1 ˇ ˆ ’ "# 7 5˘ " ˛,>( 5˘ 5˘ " =7. =6˙; u6p u;p ( > 2]o 4 6999 ;999 .99 i99 ˛

�!' ���������������������������������������������

=������ �� )",D(�� ���� ��� �� � ���� � ��� ��� ������ ���� �������������� ���� ��� ������ ���� ��������� ������ �� ������ ��� ����0�� ������� ���F� �� ������������ ����� �������� ����������������� ������M��������N� ���� ������M��� ���N������������������ �����������5������ -92�4� ������ ����� � � ����� ������ �� �������� � ��������� �� ������� ����J�� ���� ��399L,������� ��������������� ����������������� �������������� ��������� �����������������=�!J��=�!7!J��J!7!J����������� ������ �������� ��� ������� ��� ���� ��� ����� ���� J�� ���� �� 8I9L,� ������������69���� �������� �������������� ������� ����� �������������� ������������������ ���� �������������������� ������������������������������������������ ���� �����������6�I������ ������ �2� �P4�����I� �P������ �������5������-9���������������������������� �B99L,������������� ���� ������ �� ��� ���������� J������ ������ �� ����� ��� ������ ������������������������ ���� ������������� ��� ���� ��������������!������ �������� ���� �������������������� �������� ������������ �

F� �� "�,D(� ���� =�J;� ������ ����� ���� ��� ���� �� ��������21.JA4�������������2"J64������ ��������F������7=������������� ��������� ������ ���� �� �� ��� ������� ����� ���� �������������1������%1� �����������%"7������%"$���������������$���� ������� ������ ������������ �� �� ���� ���������� ��� �� ������ ������� �� ��� �������� ������ #�� �������������� ��������� �������������������� �����

��"#��/��"�,D(�7�����5��������������)���� ����

5�� ,���� �� )���� ���

=�7. =�J;��7. $� ��������2$'(4��$� ��� ���2$%(4(����� ���

=�7. =�J;���.7 $'(��$%(��J��������=���� ����$,�

=�7. =�J;���.7 =�����7������'((�= ��� ���

"= =�J;��"J6��7.�����.7 $'(��$%(

1= =�J;��1.JA��7.�����.7 =������)���� ����

1"= =�J;��"J6��1.JA��7. $'(

=�7. ��7=��7. $'(��$%(

=�7. ��7=���.7 $'(��$%(

Page 25: ˙ˆ # &˝˜ &˝ˇˆ ˆ˝ ˝$ˆ#ˆ ˝ ˆ˝Cˆ˛ ˆ#˙ˇ · 2013-06-03 · ˝ 7˚$˙ " ˆ ˙ 1 ˇ ˆ ’ "# 7 5˘ " ˛,>( 5˘ 5˘ " =7. =6˙; u6p u;p ( > 2]o 4 6999 ;999 .99 i99 ˛

�������7���$���"� ����������1��������� �!/

F� �� �������������������������� ������=�6�;�����=�J;������.�� ��"�,D(� ����������������������� ������� ����������� ����� ���� �����G����������������������� ����������� ���=�6�;���������� ���� ����! ��������� ��������689L,��)���������� ������������ ��������������������������������������������������� ������������������� ����������� �������!������������������������������������� �����������������F� ��"�,D(�� ��� ������������������������������ �������������������������������������� �������������� �������������������������������� ������

F� ��"�,D(�� �������������� ������� ����������� ��������������)��������������������������� ����� �������������� ����J6������������������ ���� �������������� �����.��������A����������������������� ���� ����������������� ��������� ���������� �����

��"#��:��=��������� �����5���"���� ��������)���� ����

�"���� �(���� ����%� ���

'",D( "�,D(

,���� ��� =�6�; =����J�=�O���� �� 9�3I 9�8H-�9

(���� � .�8H6�-��O�6 .�IH.�8��O�6

>����� ����$���� .�9H.�- .�9H.�-

(����� ����,��� �� AH3 AHB

(����� ����= ���� � -�:�-93�DO� A�:�-9A�DO�

= ���� -�.H-�8:-9B�����O�. -H8�:�-9B�����O�.

� �.IL,����=� ������� ,��������

= ��,������� 5��� ,�������

J.7�"�������� � [��� '��H����

���"��� �� ��� U-99�] U-99�]

)���� ��� =���� ����7���� ��� "������ ��� � ��(����� ���

Page 26: ˙ˆ # &˝˜ &˝ˇˆ ˆ˝ ˝$ˆ#ˆ ˝ ˆ˝Cˆ˛ ˆ#˙ˇ · 2013-06-03 · ˝ 7˚$˙ " ˆ ˙ 1 ˇ ˆ ’ "# 7 5˘ " ˛,>( 5˘ 5˘ " =7. =6˙; u6p u;p ( > 2]o 4 6999 ;999 .99 i99 ˛

�!: ���������������������������������������������

'�� 3��3��� ����� �+���� �� +5�

���������������������������� ����������������������������!�� �� ��������������� ������������ ����� ���� ��������� ������ ����������� ���� ��������� ������� �� ���� ������ ���� ��� ����� ����� �� �������� �����������

F� ������������� ���� ���������� ���� ��������� ����������� �������� ���� ����� ���� ����� � ��������� ��� ����)",D(� ����� �������� ����7=O���������� ������� ��������� ���� ������� ������ ������������������ ����������)������ ���������������������������� ������ ��� ��� ������� ������� ���� ���� ��� ������ "�,D(� ����� ���� ���������� ���� ������������������������������������� ����������� ���������������������������������������� ����

5��� ���&������������ ��������� ��� �� � ��� ��������� ���!��������� ������������������ ��������������������������� ��� �������������� ���������� �������������������� ���������������� � ���������� ��������������� � ��������������������������� ����� �������� ��� � ��������� ������������������������������� ��������������� ������������������������������)������������� ��������������������������������������� �� ���&������������ ����������������� �� �

"�� ������ �� ������� ��� � ����� �� ������ ������ �� �� �� ������ �������� ������ ��������������� ����� ���������� ��������� ����� ���������� ��������� ���� ������ ���,D(������������������������=�7.����������������� ���� M��� N� �� ������������ ���� ���� ����� ������� ���� ������ ����F� �� ������ ���������������� ����������� ����0��,D(����� ����������������� ���������� ����� �����������������#�����������&������� ��������� �� ���������

)� �������� ������������������� ��������� ���������������� ��� ������0� � ����� ���� ���� �� � ����� ������ ��� ������ ���� ��� ����� �� ��������� �������� �� ��F� �� ���=�7.������� ��������� �������������������������� ������� ��������������� �� � ��� ����������=�!7J������ ���������� �� ��������&� �� �������������� ������ �������� �������������� ���� ������� ��������� ������������������ �

5�������� ��������������������������������� ��������� �������� ���� ����������������� ���J5����� ����� ��������-99*-��� ��*J5���������! ����� ��� ���� ���� ��� ��� ��� ��������� � � ������ ��������� �� ���������� ����� ����� ���� ���������������� ����� ������������� ��� �������0����� ������� ������������ �� ����=�7.����������������� ����� ��

Page 27: ˙ˆ # &˝˜ &˝ˇˆ ˆ˝ ˝$ˆ#ˆ ˝ ˆ˝Cˆ˛ ˆ#˙ˇ · 2013-06-03 · ˝ 7˚$˙ " ˆ ˙ 1 ˇ ˆ ’ "# 7 5˘ " ˛,>( 5˘ 5˘ " =7. =6˙; u6p u;p ( > 2]o 4 6999 ;999 .99 i99 ˛

����������� ������ �� ��������� ��

6�&��������������������������(��&���(�������+����&���������

���������������������������&������������2�����������������������������3

������ �������������������*���(����������������������������&�������(������

�54�������������*��&����&���2����

���&���&�������������&���������������&���&�&��������������������7���

����&��&��������&��&������������&�������������������������&���&�&��3

���������������������(�����������&������������'���������&���&�&������������

��������������������������'�����������'�����������(�����������������

������8���&���������������&���&�&������������(�����������������'����

9����&���&���������������2����������������)�4:;&������������<����*���

����&������� 5�� ����� (������ ����&������� ���� ����������� ��� ����&���

���&�����*��������&����������������&���&��&+�������

�����&�(�����&������*�����������������(��*��������������&���(���

�����*����������������������*�������������*��&��*��(�����������������3

&����&�� �*����&���������(������������ ���������(��������������� ��� ���

�������&�(����������������&��&��������������=�������������������������

����������2������������������&�(����������������������������������������

&&�������(������������������

1���&������&�������������&�(����������������������������������3

���������������������&���5����*�����������&��������������������������

����������� ���&����� ����(���� ��&�� ��� ���� ���� &��� ���*�� ���1!/:9

���;������ ���&���� ���(����� � ������� ��� ����������� ����&���*� ���

����� ����� ��� ���������&������������� ������� ����������� ���(����

����� ����������� ����� ����� ����� �������� ��� ���� �������� ����� ��

���*����&���������

5�� ����>�����������������������������&���������������������������3

��*�����������&�����

�� ������������ ����� �������

7���������������������������������������&�;�����������*�����3

&����&���� ��&����������������&���&� ����������� ����&������*� ��� ��������

�����������*����&������������������ ����*��&������&������������������

??���2������������&���&���������&��������*������ ���������������(������

������ ��������??�� ��� ����� ����&����� ������ ��������??�����(����� ���

�������� ���������������� �����������������(�����������������1���*���

��������������(�����&��&&������������������������������2��������&���3

���������������+������������&�����������������&��*��������&���&��(���

Page 28: ˙ˆ # &˝˜ &˝ˇˆ ˆ˝ ˝$ˆ#ˆ ˝ ˆ˝Cˆ˛ ˆ#˙ˇ · 2013-06-03 · ˝ 7˚$˙ " ˆ ˙ 1 ˇ ˆ ’ "# 7 5˘ " ˛,>( 5˘ 5˘ " =7. =6˙; u6p u;p ( > 2]o 4 6999 ;999 .99 i99 ˛

���

������

����� ����

��� �����

��������� � ����

������������������ ����� ��������� ��� �

��� ������ ���� �����

� ������� ����� ����� ������ � ����� �����

�! ������ ��"� ���� ��"� ���� ��"� ���� ��"�

�������# �$��� �� �� ��%��� �� ��%��� �� �"�

������& '��� '�"( ��' '�"( ��' '�"( ��'�)' �)' �)'

�!���!���� �"� �)�� �"� �)�� �"� �)��

�)�* �)�* �)�*

��� ����� � ��� � ��� � ��� �� � ��� �� � ��� �� � ��� �� ����� ���+ ����� ���+ ����� ���+ ����� ���+ ����� ���+

��� �� , + � - . - / �� � . 0- / 0- / 0- . 0- . - .-.1�� �2$��

"����3 ��� �, + � -4�5 -.5 -4�5 �5 -5 �5 -/5

���� ��6" "����6�" ��6" "����6�" ��6" "����6�" ��6"

� �������#�� �... -...4�... /...4(... �...4�... /...4(... �...4�... -7..82��

9�������� 0�5 0�5 0�5 0�5 0�5 0�5 0�5:-%...��-.%...8;

# ���$��+ *� < - �/ - �� - �/4- �( - �/4- �= - �/4- �( - �/4- �= � .4� -

�� � $���$������ � - � � � - � � � - � � (61

�� � $���$��� 3�! (4= /4( (4= (4= (4= (4= >=)�2$�

�� ���+ ��3 �������� ?��6���� �������� ?��6���� �������� ?��6���� ��������

) $!��$������ ��� �"��� ��%?�� � -7 7 �� �/ �

@��3A�)���� �%?�� 1- -.- -=.

Page 29: ˙ˆ # &˝˜ &˝ˇˆ ˆ˝ ˝$ˆ#ˆ ˝ ˆ˝Cˆ˛ ˆ#˙ˇ · 2013-06-03 · ˝ 7˚$˙ " ˆ ˙ 1 ˇ ˆ ’ "# 7 5˘ " ˛,>( 5˘ 5˘ " =7. =6˙; u6p u;p ( > 2]o 4 6999 ;999 .99 i99 ˛

������������� ������� ���� ���������� ���

��������>��������������(�+������������������(�+�����������������:$$&'�����������

����������������

(�+

(�+

�������������������������������������!����������������������

3����)������4����������������������������������������������������������

���������������������������������������������������������������������

������������������������������!���������������-������������������������

����� ��� ������� �� ,���� ;0�7;"8� ,������� ����� ��������� �������� ����

����������������������������������������?�������������������������

���������!���������� ������������� �������� ������������<�����

�������������������������������������������������������)

������� ��� �� ���� ����� ������@� ���� ��� ��� ���� ���������� ��� �'9

���������� ���� ��������� ������ ����� ��������� �� ��� ����� �����

���������������������-��������

���������������,����;0�!��������������������������������������

�������������������������������������������.�����������������������

����������!��������������������������-��������������=#�������������)

���������������������������������������������������������������������

����������(,����;0�+�

Page 30: ˙ˆ # &˝˜ &˝ˇˆ ˆ˝ ˝$ˆ#ˆ ˝ ˆ˝Cˆ˛ ˆ#˙ˇ · 2013-06-03 · ˝ 7˚$˙ " ˆ ˙ 1 ˇ ˆ ’ "# 7 5˘ " ˛,>( 5˘ 5˘ " =7. =6˙; u6p u;p ( > 2]o 4 6999 ;999 .99 i99 ˛

�'� ���������������������������������������������

5������� �������� ����,>������ ���������������������������8�� �������� � ������� �������� ��������� ��������� ����,>���� ���������� 5���� -6�� ���� ����� ���� ����� ��� ������ ��� ������ ��� ����� ������������������� ��������������������� ���������������F� ����#�� ���������� �� �������� ���� �&����������� ������������������������������ ���� ���� ��� � ��� ����&�� ���� ����� ����� ���� ���� ������ ��� ��� ������ ����������� ������������������������� �� ����������,����������������� ���� ����� �� �� �&���� ��� �,>� ���������� ����������� �������� �� �������������� ����� ���� ����������� ������������ ����� ������������ ��������� ���� ���� ��������!����� �������������������,D(������ �����

(������ ����������� �����,>��� ���������������������������!���� �� ������� ����� ����� �� ������ ��� ����� ���� �� �� ����� ���� ���� ��������������� ����������������#�� �������� ���������������� ������������������������ ����� �� ���� �� ��������������������������������!������ � ������ ��� ����� ���� � � ��� �� ��� ��� ���� ���� �������� �������� ������������ ���� �����5�� ����������� ������� �� ������� ������������������ �2�� �����4���� ��� ����� ������������������ ����

�������(��(��� ����������������� ���� ����� ������&���� ���� ������������2.4� ���"�!,D(�� ���2�4������>!,D(���������0 �������������� ����� ���������

2�4 2�4

Page 31: ˙ˆ # &˝˜ &˝ˇˆ ˆ˝ ˝$ˆ#ˆ ˝ ˆ˝Cˆ˛ ˆ#˙ˇ · 2013-06-03 · ˝ 7˚$˙ " ˆ ˙ 1 ˇ ˆ ’ "# 7 5˘ " ˛,>( 5˘ 5˘ " =7. =6˙; u6p u;p ( > 2]o 4 6999 ;999 .99 i99 ˛

�������7���$���"� ����������1��������� �'�

��"#��7��5���"���� ��������,>�(���� ���5���

5���"���� �� =�7. =�6�;

����&��������������� � U6P U;P

(���� ����>� ��2]O��4 6999� ��;999 .99� ��I99

� ���>� � 69P

�� �(���� ����>� ��2]O��4 .-99� ��.899

>����� ����$���� -�;A -�B8� ��.�-9

(����� ����,��� �� ;�- 8

= �����2-9B������O�.4 .�9� ��.�I 9�A� ��-�;

J�,�� �� �2� �P4 .� ��6 8

>5�"�����2�� �4 ;99� ��-999 I99� ��.999

(���� ��������� ����2L,4 699 6I9

������ ������� ��������� �������� ������ ����������������������� ��������� ���� �� �� ��� M����� ����� �N� ����� ������������ ���� ����������������� ���������������������������������� � ���������������� ����

7����������� ����� ���%7>$^������������������������������&���?-;@�)���������� �������������5����-;��� ��� �� � ���������������������� ��������������� ������������ ������������������ ������������������������ ��������������������� �������������������&� ����� ���������(������� ��������� ���������� ���������� ���������������������� ������������������������������������������ ���������������

����������!������������ ������������������������� ������������� ���������������������� ���� �������������������� ����

$���� ����������������������������������������������������!�� ����� ���������������� ���������� ���������������������� �������)��� ����� ����� ��� ���� � ���� ��� ���� �������� �������� ������� ��� ������ �� ���#�� ������� ����� ���� ����������������������������������������� �

Page 32: ˙ˆ # &˝˜ &˝ˇˆ ˆ˝ ˝$ˆ#ˆ ˝ ˆ˝Cˆ˛ ˆ#˙ˇ · 2013-06-03 · ˝ 7˚$˙ " ˆ ˙ 1 ˇ ˆ ’ "# 7 5˘ " ˛,>( 5˘ 5˘ " =7. =6˙; u6p u;p ( > 2]o 4 6999 ;999 .99 i99 ˛

�'( ���������������������������������������������

�������!���,>���� ������� ���

Page 33: ˙ˆ # &˝˜ &˝ˇˆ ˆ˝ ˝$ˆ#ˆ ˝ ˆ˝Cˆ˛ ˆ#˙ˇ · 2013-06-03 · ˝ 7˚$˙ " ˆ ˙ 1 ˇ ˆ ’ "# 7 5˘ " ˛,>( 5˘ 5˘ " =7. =6˙; u6p u;p ( > 2]o 4 6999 ;999 .99 i99 ˛

������������� ������� ���� ���������� ���

�� ��������������������������

,�������������������������������� ��������������!� ���� ��������

����������������������������������������� ��������������� �0�#!� �0�1!

�!�������������!�A��0���*��0!��������������������������������������

���'B>������������ ��� �0�#���������������������������������������

���������������������������������������!��������!����������������������

�������.A ��������������������������������

������������������������������������������������������������������)

���� �� ��������� �������� ��� ���������� ���� ����� ��� ������� �� �����:

�������� ���������� ����������� ��� ���� �����!� ���� ���� ���� ������ ������ ��

�������������������������������������������������� ��������������)

���!��������������������������������������������������������

,��� ���������� �� ���������� ����������!� ���� ��������� ��� �����

������������)��������������������������������� ���������������������!

������������������!������������������������������������������������,���

��������/���������������������

Page 34: ˙ˆ # &˝˜ &˝ˇˆ ˆ˝ ˝$ˆ#ˆ ˝ ˆ˝Cˆ˛ ˆ#˙ˇ · 2013-06-03 · ˝ 7˚$˙ " ˆ ˙ 1 ˇ ˆ ’ "# 7 5˘ " ˛,>( 5˘ 5˘ " =7. =6˙; u6p u;p ( > 2]o 4 6999 ;999 .99 i99 ˛

�'' ���������������������������������������������

�������/��(��������������� ��&���������"�,D(�������7=O76�������=�7.�?-B@

-I����������������� ������"�,D(������������� ���������� � �������� ��� �� ������ ���&��������-999� ��.999�]��)���7=O����������������������������� �����!������)� ����� ������� ��������-�I������� ���&�"�,D(��7=� ��� ���� ���#�� ��� �� ,������� %���������� "��������� 2,%"4� �������� ����������� �����������F��&���������� �������������� ��,%"� ����7=O���������������� ���

��"#��;��"���� �������D�������J�!C�(����� ����

5������ ������ )�.76 ��.7I [�7. J�7.=�7.

(����� ����,��� �� 6�BI B .A .I .IH;9

1������2�D4 8�B 8�3 ;�I 3�8 I�3

1�������J���� � ��=������ 6�. .�8 -H-�I -�; -�I

(���� ������������� ������� ��� � ,D( ,D( ,D( ,D(

Page 35: ˙ˆ # &˝˜ &˝ˇˆ ˆ˝ ˝$ˆ#ˆ ˝ ˆ˝Cˆ˛ ˆ#˙ˇ · 2013-06-03 · ˝ 7˚$˙ " ˆ ˙ 1 ˇ ˆ ’ "# 7 5˘ " ˛,>( 5˘ 5˘ " =7. =6˙; u6p u;p ( > 2]o 4 6999 ;999 .99 i99 ˛

�������7���$���"� ����������1��������� �'/

)��� ���������������� ������������ �������������������� ���!������������������� � ������� ������������ ��������� �������� �� ��1����������������� �� ���=�7.������ ����� ���� ���������������� ������������������� ���� ��������������������&�������������� ����������� �������� �������� �� ���� �������� ���������(����� �������� �� ����� �����������6�I� ��6�8��������������������� ������� ������� ������������� ����! ���� ������ ��������� -9��'�������� ��� ��� ������ ���� ���� �� � ��� ��� ��� ����� �������� ���$'(�����$%(�������)������������������������������������� �������� �� ���������������� ������������������������������������ ���������� ��������������������������������� ��

������ �������� ������������������������ �������� �� ����=�7.������ ����� ��� �� ���� ��������� �� ��� ����� )� ������ �������� �� ������ ����� ���������� ���������� ������������� ������������������������� ���������� ��������������������� ����������7 ��������������������������������!�������������������������������������� �������� ���������F� ����� ����������� ��������������� �������� �� ��������������������������� �� ������������������������ ������������ �������� ��������������

�� ����������&�����������������������������������������������! ������� �� ����������� ����%,%0��2%�� ��,���%������4����� ������� �� ��� ��������� �������������������� ���� �����D���������������������������� ��� ����� ���������������� ����� �����������F������� ����������������� ��������� �������������� ��� �������������%,%0��� ������������������� ������������������� �������������������������� �����������������������������������--�

��"#������"���� �������5��������(����=�7.�5���

5������ =�75 =�75 �!,*5

>��� ������>�������� ?..@ ?.6@ ?.I@

(����� ����,��� �� ≈6�I .�3� ��6�. .�I� ��.�8

(���� ������������� >�������� ��� "�,D(���� J("�,D(

5����,D( J("�,D(

=����� 5��=�2������! ��7= ,J; ��� ����������4

5�=����� $������� ,.5A ,;58

Page 36: ˙ˆ # &˝˜ &˝ˇˆ ˆ˝ ˝$ˆ#ˆ ˝ ˆ˝Cˆ˛ ˆ#˙ˇ · 2013-06-03 · ˝ 7˚$˙ " ˆ ˙ 1 ˇ ˆ ’ "# 7 5˘ " ˛,>( 5˘ 5˘ " =7. =6˙; u6p u;p ( > 2]o 4 6999 ;999 .99 i99 ˛

�': ���������������������������������������������

����������� ������ � �����������!������ ������� ����������������,D(�� ������������������������

D������� ���� ���� ��������������� ��������� ����� �����������,D(� �������� ���� ���������������������5����-A��)����� ��������� ������������ ����2����� ���4������������ ������� �� ������������ ������� ������ �� �M����&���N����������)��� ������������ ����������������>����.A�� ����������� ���= ������� ���� ���� �������������� ����������������!� ����� ���������������� ������� ������������������ ����� ������� ������������������ ��� ������� �����������

��"#������"���� �������7�������(����� ����

5������ "������� 1,1 "�5�

5���"���� ���

(����� ����,��� �� .�A .�3 -�B

(���� ������������� ,D( =��!�� =��!��

>��� �� � "���!!�������� (������!����� "��������� � ��!

�������������1��! � ������

�����!�� ���

����� ����'�� �L, 699 6I9 ;99

�������:��'��!C�������������,D(����� �������� ���

Page 37: ˙ˆ # &˝˜ &˝ˇˆ ˆ˝ ˝$ˆ#ˆ ˝ ˆ˝Cˆ˛ ˆ#˙ˇ · 2013-06-03 · ˝ 7˚$˙ " ˆ ˙ 1 ˇ ˆ ’ "# 7 5˘ " ˛,>( 5˘ 5˘ " =7. =6˙; u6p u;p ( > 2]o 4 6999 ;999 .99 i99 ˛

�������7���$���"� ����������1��������� �'.

:�� A�A��� ���� ������������ �+���� �� +5�

)����������� �� ������ ���� �����0���������� ������ ��������� �����������������,D(������ �������������� ���� ������F������� ����������������� ����������� ��������������� ������������������ ������������ �������������� ������������������� ����������������������������� ��������� �������� �������������������������� �������� ������������� ����� ��������������������� ������ ��� ��������������� ����� ���������������� ������ � �����

F� ������� � ����������������������� ������������ ����������!�� ���� ����� � ������ ������ ���������� ��� �������� ����� �� ���� ������������ ��� �� ������� ����� �� ����� �&����������$����� ��� �� ������� ��� �� ������ ������������� ��������� ������ ���������������������J���������� ��������� ������ ���� ���������� ������ ������� ���� ��� � �������� ����������������� ������� ���������

%������������ ���� ������ ��������� ������� ����������� ��������������� ���� ��������������������� �������� ��������� �������D��������!������������������ �� �������� ���!����� ����������������� �� ����!���������������������������� ���������������� ������������ ����������� ��������������!�������� �������� ������� ����������� ��������!���� �� ���� ���� ���� ������ ��� ��� �� �������� ,�� ������ �������� ������ ������������ ������������� �� ���� �������������� �������������������� �������� ��������� ������

F� �� �������� ���� ����������� ������!�� �� �������� �������� �����!������� !����� ��������������������������� ����G���������� ���!��������� �������=7 ��������������� �� �������� ����������� �������� ��������� ����?.;@�����������������!�� ���������� ���1"= ����������������� ��� � � ������� ���� ������ ������ ��� ������ �������� ���%����BB99���� ������')%�>���������$���

,�� ������������������������ ����������� �!��!������2(754������ ��������������������������������������� ������� ���������F������������ ���� ������ �������,%"� ��������������� �������� �� �������!��!�������� �������������� ������������������������������� ��������������!� ���� ��������7���������� ��������������� ��������� ��������� ������������������� ������� ������������������ ��������!����� ���� ��� �� ��� ��������� �������� �� �������� ����� ���� ����� ���������� ��� ���#������& �������

��������� ����������������������� ���������������� ����������� ���� ��������������������� ����������������� ����?.I@�)����������� ��

Page 38: ˙ˆ # &˝˜ &˝ˇˆ ˆ˝ ˝$ˆ#ˆ ˝ ˆ˝Cˆ˛ ˆ#˙ˇ · 2013-06-03 · ˝ 7˚$˙ " ˆ ˙ 1 ˇ ˆ ’ "# 7 5˘ " ˛,>( 5˘ 5˘ " =7. =6˙; u6p u;p ( > 2]o 4 6999 ;999 .99 i99 ˛

�'7 ���������������������������������������������

��"#���(��,���� ���������'��!C�%� �������(���� ������,D(

%� ����� C�D���� ����������� ��� >������������� �����L,

5������� ���=����� �� ���� 6�.H6�A V899 ?.B@��25= ����=�754

%� ���� ���=��������� .�3 63I ?.B@���� ��� ����=�����

"���������2��������� .�.H.�A 63I ?.B@����������4

5������� ���)������ .�-H.�I 6I9 ?.B@��,������2�!,*54

"���2!��������4 .�6 ;I9 ?69@

,�����!�����=�7. .�AH6�. I99 ?6-@

����� ������� �����������%=���� ���������������������"�,D(���� ��� ��������������������������� ����������� ������ �������������

'����������� �������� �� �� ���������� ����� ��������������������������������������������������������������� ������)���� ������������-.�������� �� ���� ������ �������� �� ���� �������� ������ �� ������� ������ ���� ��� ������������

.�� �A55��2

)��������������,D(� ���������������������� ������������������������ ������ ���� ��������� ���� ������������������ �� �������� ����(� ������������ ��������������� ����������� ����� �� �������� ����������������� ����� ���������������F� �� ������ ��������� �������� ��������������������� ��������� ����������������� �������������������� ������������ �������� ������������� ��������� ��������������� �������������������� ���� �������������������������������������� ����� ����������� ���!����������� ���������� ���������������������������������699�������������������������� ��������������

Page 39: ˙ˆ # &˝˜ &˝ˇˆ ˆ˝ ˝$ˆ#ˆ ˝ ˆ˝Cˆ˛ ˆ#˙ˇ · 2013-06-03 · ˝ 7˚$˙ " ˆ ˙ 1 ˇ ˆ ’ "# 7 5˘ " ˛,>( 5˘ 5˘ " =7. =6˙; u6p u;p ( > 2]o 4 6999 ;999 .99 i99 ˛

�������7���$���"� ����������1��������� �';

���������

-� 5�#�����C�����&��������������%������C���(����=�������7�����(���� ������) ��������"������������'�������� ����,�������D����(���� ���G������� ��� ���������������7���������5����������������-68*.886�27� �-BB-4

.� 5�������=���,������J���%������C������������� ���E���,����� ��������1!��"!����� �!(����=�������7�����5��������$� ��������(����� �����������������������II�2=� ��-BB64

6� C�������&��� ��� Z��� ���� =����� )�� J��� $������ =��!%������ $� ��!%� ��(����� ���� �!5������� G����� ��7=O7����� )",D(�� �������������������������� ������� ��2Z����-BB.4

;� 1����D��=������� ����� ��=��'������5����������������-..2-94*-68.�2-B3I4

I� =�� �������J�� �� $��"��� ����=�������(��J��� ���5���������� ������ -..*B-B2-B3;4

A� ,��������,�������"����������,������5���������������-69*-888�2-B864

3� C������Z������� �����F�����������������;��2����-;9*6-IH6.A�2-BB;4

8� ���&����>�������$�����>���� ������4�������--3�2-BB;4

B� ��&��������������%������C���� ������D%$,����-.6�2-BB;4

-9� =����� ��� ���4��������������-93�2-BB.4

--� =� ���(��'���)��������)��=���� ��������������������������-������.9;*;3I2-BB-4

-.� 5�#�����C��������� ���E���� ������ ���5����������������II9*-68.�2-BB-4��������� ��������� �����

-6� C�����)���J�������C���� ������4�������B;�2-BB;4

-;� =������� "��� %�� ���� 7������ "���� ���� %� ��� � ��� >�������� ������������������@������I9�2)����-BB64

-I� ��&���&���C���� ������5���������������5"���6.����89!.*.A9�2-B894

-A� $���&�����J�������%������E���41���������!��������������������������A3��D%$,�2-BB;4

�-3� D�����)��� ��������� ������"�������$� ���� �������'���(����� ����,��� �� 5�������� (���� "�,D(� =������� 7����� ����� 5���� F� �� $� �������� %� ������ �����4���������������-;-�2-BBI4

-8� C���C���"��&��=�������'���� ��=���$������ ����%��� ����>���� �������5������� ��� =������� 7����� 5���� ��� )������ )���� ��� 5���� ����� �����-;A*63BB�2-BBB4

-B� C����� )��� � � ����� 41��� ������!�� �������������� ��������� �� B;�D%$,�2-BB;4

Page 40: ˙ˆ # &˝˜ &˝ˇˆ ˆ˝ ˝$ˆ#ˆ ˝ ˆ˝Cˆ˛ ˆ#˙ˇ · 2013-06-03 · ˝ 7˚$˙ " ˆ ˙ 1 ˇ ˆ ’ "# 7 5˘ " ˛,>( 5˘ 5˘ " =7. =6˙; u6p u;p ( > 2]o 4 6999 ;999 .99 i99 ˛

��� ����������� ���� ��� �������������� � ����

��� �������� ����� ����������������������������������������������������

�������� �������� ��!� ������"��������#�$����������������������������%��

������������������������������&'()��&*�+&***,

�&� ����-��-��.������/���� ��������-����������������!� ������� �������� �

���"���0���!����������#�$������������������������������������������

�����&'()1121�+&***,

��� #���-��3��-����4����5���������������������������&'()'&*(�+&***,

�1� /�"����-��6��4�7���������8�����#�$�.������������69����α−!��!��������

����������������������� ���������������������������������������������

��������� ������������������ ����1:1������/����-����+&**2,

��'� 5��4�;��;��3��4�-��<�������������4����������-���=>��#�$�.������������

8���4� 9=����� � ���4� ���� 8#-�� � ����?��� �������������� �������

�������������� ���� ������������� ������� ��������� ������������ ��� ���

���1@*������/����-����+&**2,

�@� - � ���-��0�� ��� �A���� ���� ��.����4��< ����%�-�>��!�����6������

"%�� ���!��B ���%�9C�����4�69����$����A�$�>�4�����-��-� ����!���

�����;�����+&**2,

�(� 3��%�;��>�����/���� �������3��6��%������?����� ����"���������%��

����������� �������"����� ���#��� ��� �&&� +; ��� &**(,

�:� .$���.��3����������������$��������������%������2')@�@�+&**1,

�2� -��4��� 6�� #�$� .� �����������)� 0��� -������ ������ ��� �������"����

���#���22�+��%�&***,

�*� /%��� 0�� �� � !�C� /�� ;�� #�$=.� ����������� ���������� &"�"��� &�'

�������������� 9 ������ 2

1�� 6%��0��� �/����6��#�$=��������������������������������������=�� =��=

�������������������������"�����&�'����2���9 �����������1

1&� -�������������#�$=.�����������������! � ������!�"����������������"����

&�'����&&���9 ����������'@