電子顯微鏡 (SEM)

日本電子製　 JSM 　 5410

SEM系分解能 20 nm （ ZnO)倍率 ×35 〜 50000像の種類 二次電子像 反射電子凹凸像

反射電子組成像

電子光学系加速電圧 5 〜 30 kV電子銃 W ( 熱電子放射型電子銃 , 也可用 LaB6)

國立嘉義大學 應用物理學系、光電暨固態電子研究所

電子顯微鏡 (SEM) 實體照片

電子顯微鏡 (SEM) 規格資料

JEOL JSM-5410 : The JSM-5410 scanning electron microscope is a high-performance multipurpose SEM with a high-resolution of 3.5 nm (at 30 kV, WD = 8 nm). Magnification Range: 15x to 200,000x (25 steps). C.f.  (without EDS now) 

http://www.mtec.or.th/th/labs/sem/espect5410.html