金属ナノパターン形成 The metal nano-pattern formation 施設利用 F 阪大H15-004...
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1 F 大 H15-004 ナノパターン ナノパターン ナノパターン ナノパターン The metal nano-pattern formation Hitoshi Tabata 大 大学・ 学 ISIR-Sanken, Osaka University じめに じめに じめに じめに プログラム を する核 バイオ が Si 体 に パターン を する、プログラム によるナノ を した。 に、キャピラリーフ ォース（ ）を するこ により、DNA ネットワークをテンプレート して、Au を させるこ により、 を したネットワーク に した。 、 ナノ が、 、 、 いずれ に あり、シンプル かつ めて れた ナノパターン ある いえる。 DNA インターカレートする を いて し、 DNA および、 り、 しによる 異を 較した。 poly[d(G-C)]·poly[d(G-C)] （ DNA） BAVD み わせ 、 キャリア が っ たが、 に ナノパターンが ある。 さらに、ボトムアップナノ して、ナノインプリンティング、ナノインクジェット を した、サブミクロンパターニング 、IS-FET を した DNA チップ を み、 ナノパターン み わせるこ 、 一 を く こ が きた。 Self-assemble properties of DNA and bio based molecules were studied by use of SPM with Si as a substrate. By use of an ethanol, DNA network was successfully stabilized on a mica substrate. Formation of DNA networks are confirmed also on various substrate other than mica, i.e. silicon wafer, pyrolytic carbon etc. Conditions to control size of meshes were also found. This scaffold is a candidate for bio-nano electronics and bio-chips. New type non-fluorescent molecules labelled DNA-chips have been constructed by using IS-FET devices. For creating nano-patterns, we have developed bottom-up nano-fabricating apparatus such as nano-imprinting and nano-inkjet. DNA・バイオチップに する して、１） IS-FET を した DNA センサ 、２）ナ ノインプリント を した DNA ナノパ ターニングについて を っているが、これ ら をふくめナノ が ある。 ： １） DNA センサ 、 め 体 る DNA に を する があった。 、 め DNA に する いノ ンラベリング DNA センサ を IS-FET を して みた。 ２） DNA 々 が んに わ れ、バイオナノデバイス DNA が え られるように った。こ ために DNA を いてナノパターニングを う があるが、 そ ため が い が ある。 、ナノインプリント を した による DNA ナノパターニングプロセスを える、ナノ を った。 ： １） IS-FET DNA センサ 概 を Fig.1 に す。シリコンデバイス ある IS-FET ゲ ート に を つ一 probeDNA を う。 いて 体 る targetDNA を して、ハイブリダイ ゼーションを い DNA を させる。 こ き、DNA が つ がハイブリダ イゼーションにより するこ から gate に に ポテンシャルが印 され、ソース −ドレイン が変 する。これにより
金属ナノパターン形成 The metal nano-pattern formation 施設利用 F 阪大H15-004 金属ナノパターン形成 The metal nano-pattern formation 田畑田畑 仁仁 Hitoshi
IS-FET DNA Self-assemble properties of DNA and bio based
molecules were studied by use of SPM with Si as a substrate. By use
of an ethanol, DNA network was successfully stabilized on a mica
substrate. Formation of DNA networks are confirmed also on various
substrate other than mica, i.e. silicon wafer, pyrolytic carbon
etc. Conditions to control size of meshes were also found. This
scaffold is a candidate for bio-nano electronics and bio-chips. New
type non-fluorescent molecules labelled DNA-chips have been
constructed by using IS-FET devices. For creating nano-patterns, we
have developed bottom-up nano-fabricating apparatus such as
nano-imprinting and nano-inkjet.
DNAIS-FET DNA DNA DNA
DNA DNA DNA IS-FET DNA DNA DNA
DNA IS-FET DNA Fig.1 IS-FETprobeDNA targetDNA DNA DNA gate
2
DNA
100 nm
Fig.2 DNA DNA DNA DNA
Fig.3 SEM 100nm
Fig.3 SEM images of metal nano-electrodes IS-FET DNA JST-CREST
[1] DNA 52 [3] (2003) 126-129. [2]DNA M&E12 (2003) 168-175.
[3]DNA
Fig.1 The non- labeling type DNA sensor using IS-FET.
Fig.2 The fluorescence microscope photograph of DNA with the
patterning.
p pn n
10m
SiO2(1m)
AlSi3 N4(1000)SiO2(1000)
p
p pn n
10m
SiO2(1m)SiO2(1m)
AlSi3 N4(1000)SiO2(1000)
p
DNA
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6 (2003) 78-79. [4]DNA Nano- electronics: Physical and
Electrical
Properties of DNAHitoshi Tabata, Tomoji Kawai, The 7th World
Multi-Conference on Systemics, Cybernetics and Informatics
(SCI2003) 2003.7.27-30 [5] Interdisciplinary Nano-Technology of
Bottom-Up and Top-Down for DNA and Bio-Electronics H.Tabata,
T.Ohtake, T.Uno, Y.Otsuka and T.Kawai, International Workshop on
Plasma Nano-Technology and Its Future Vision, 2004.2.5-6 [6]DNA
Nano-patterning with Self-organization by using Nanoimprint
T.Ohtake, K.Nakamatsu, S.Matsui, H.Tabata and T.Kawai, 7 2 21 COE
2004.1.13-14 [7]Direct Detection of DNA using ISFET based on
PNAT.Uno, T.Ohtake, H.Tabata and T.Kawai 7 2 21 COE 2004.1.13-14
[8]DNADNA , 2003.4.24 [9] 2003.5.27 [10] , AMPI 2003.11.13 [11] ,
387 2003.12.12 [12]PNA-ISFETDNA , 2004 16 51 2004.3.28-31 [13] DNA
, 2004 16 51 2004.3.28-31
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