高真空ポンプ

高真空ポンプ

■東日本営業統括部■西日本営業統括部

■規格品事業部

国内販売：　アルバック販売株式会社

海外販売：　株式会社アルバック

TEL 03-5218-6011（代）TEL 06-6397-2281（代）

TEL +81-467-89-2261

当カタログの記載内容は性能向上等の目的により、予告なしに変更することがあります。

お問い合わせ

www.ulvac.co. jp株式会社アルバック 規格品事業部

1264J/2016015000SP

*1　到達圧力は電離真空計により、冷却水温度 20℃の場合です。*2　補助ポンプの選択は、ここでは拡散エゼクタポンプの最大流量に対して行われていますが、一般には粗引の時間を考慮して、ここに示したものより大きめのメカニカルブー

スターポンプおよび油回転真空ポンプを用いる事が適当です。*3　その他の寸法については、弊社Webサイトに掲載のCADデータでご確認ください。

仕　様

型式 PBL-02 PBL-04 PBL-06 PBL-10 PBL-14 PBL-20排気速度(L/sec) 80 200 500 1800 4000 7000到達圧力(Pa)*1 2.7×10-2臨界背圧(Pa) 40作動開始時間(min) 20 30 30 40 50 60作動油 ULVOIL B-6油量（L） 0.1 0.6 7.5 18 36 90水温（℃） 19℃～25℃冷却水取合（サイズ×系統数） Rc 1/8"×1 Rc 1/4"×1 Rc 3/8"×2 Rc 1/2"×2 Rc 1/2"×3 Rc 1/2"×3,Rc 3/8"×1冷却水量(L/min) 1.5 5 8 12 18 25電圧仕様 200V/1φ 200V/3φ

所要電力(kW) 0.44 1.8 42kW×2本

84kW×2本

115.5kW×2本

186kW×3本

ヒータ種類 カートリッジヒータ 電熱器 パイプヒータ パイプヒータ パイプヒータ パイプヒータ

推奨補助ポンプ*2 VD201/VD30CPVD-360

PKS-016VS1501

PKS-030VS2401

PKS-070(PMB600D+PKS-030)(PMB600D+VS1501)

PMB1200D+PKS-030PMB1200D+VS1501

PMB-040C+PKS-070(PMB2400D+PKS-070)

外形寸法*3

(mm)

A 100 150 200 300 340 510B 70 112 152 346 548 422H 463 524 973 1321 1687 2320

吸気口 VG50 VG100 VG150 VG250 VG350 VG500排気口 3/4Bホース口 VG40 VG50 VG80 VG100 VG200質量(kg) 6 17 86 198 313 495オイルレベルゲージ 無し 無し ゲージバー ゲージバー ゲージバー ゲージバーサーモスタットオプション 無し 無し 無し 無し 無し 無しサーモスタット設定温度（℃） － － － － － －

高真空側第１ジェット

第２ジェット

第３ジェット

第２チムニ

第１チムニ

第３チムニ

冷却水パイプ

本体

ジェット

ボイラ

補助真空側

油蒸気

保温材ヒータ

分留板（セキ板） 空気分子

*1　その他の寸法については、弊社Webサイトに掲載のCADデータでご確認ください。

水冷バッフル（PB L用）

型式 BW-02 BW-04B BW-06B BW-10 BW-14 BW-20コンダクタンス（L/sec） 100 940 2200 3130 5000 13000

外径寸法*1

(mm)

外径（D） φ120 φ149 φ199 φ350 φ450 φ625全高（T） 16 28 28 44 50 152

フランジ高さ（t） 16 25 25 22 22 24冷却水取合（サイズ） Rc 1/8" Rc 1/4" Rc 1/4" Rc 1/4" Rc 3/8" Rc 3/8"冷却水量（L/min） 1.5 0.7 1 2 2 3重 量（kg） 1 1.3 1.7 7.6 11 22

PBL-20

PBL-14

PBL-10

PBL-06

PBL-04

PBL-02

10,000

1,000

100

10

1

圧力

排気

速度

L/s

-210 -110 010 Pa

10 -4 -3Torr10 -210

油拡散ポンプ　ULK／PFL／PBLシリーズ

ULK-14A

PBL-04

PFL-22

特長

原理・構造

4B～14Bまでの4機種をラインアップ。2種類のオイルとヒータの選定により、ご希望の排気速度、到達圧力が得られます。

拡散ポンプは本体、ヒータおよびジェット部より構成され、ボイラ内で加熱された作動油は、蒸気となって各段のジェットより高速度で噴射されます。高真空側の気体は噴射された蒸気中に巻込まれ（拡散）上段のジェット部より下段のジェット部に運ばれ圧縮されながら排気口より補助ポンプ側に排気されます。噴射した蒸気は本体の内壁で冷却、凝縮してボイラに戻ります。この作用を繰返しながら排気が行われます。ボイラ部には分留板があるため、戻ってきた作動油は環流してボイラ外周部で高い蒸気圧成分が、また中心部で低い蒸気圧成分が蒸発し、常に作動油の分留ができる構造となっています。

2B～20Bまでの6機種をラインアップ。油回転真空ポンプやメカニカルブースタポンプの排気速度が低下する、10-1Pa台で最大排気速度を有します。

油拡散エゼクタポンプ　PBLシリーズ

アルバックの油拡散ポンプは、数多くの高真空設備に採用されております。油拡散ポンプは4B～52B、油拡散エゼクタポンプは2B～20Bと幅広いラインアップでお客様のニーズにお応えします。

排 気 速 度 曲 線外 形 寸 法 図PBL

構 造 説 明 図ULKシリーズ

PBLシリーズ

22B～52Bまでの4機種をラインアップ。真空炉などの大型真空装置に採用されています。

PFLシリーズ

ULVAC様_油拡散ポンプ製品Catalog_表1-表4

仕　様

型式 PFL-22 PFL-36 PFL-52排気速度（L/sec） 10000 34000 70000到達圧力（Pa）*1 3.0×10-4

臨界背圧（Pa） 16 6.7 16作動開始時間（min) 40 60 60作動油 ULVOIL D-11油量（L） 5 13 27水温（℃） 19℃～25℃冷却水取合（サイズ×系統数） Rc 1/2"×2 Rc 1/2"×2 Rc 1/2"×4,Rc 3/8"×2冷却水量（L/min） 12 38 50電圧仕様 200V/3φ

所要電力（kW） 8 始動時 22定常時 11

始動時 45定常時 30

ヒータ種類 電熱器 電熱器 電熱器

推奨補助ポンプ*2 PMB-040C+PKS-070(PMB1200D+PKS-030)

PMB-040C+PKS-070(PMB1200D+PKS-070)(PMB2400D+PKS-070)

PMB-060C+PKS-070×2台(PMB2400D+PKS-070)

外形寸法*3

(mm)

A 480 725 1000B 630 1022 2000H 1330 1732 2845

吸気口 VG550 VG900 VG相当52inch排気口 VG150 VG250 VG350質量（kg） 290 650 1400オイルレベルゲージ ビューポート ビューポート ビューポートサーモスタットオプション 有り 有り 有りサーモスタット設定温度（℃） 180 110 110

*1　到達圧力は電離真空計により、冷却水温度 20℃の場合です。*2　補助ポンプの選択は、ここでは拡散ポンプの最大流量に対して行われていますが、一般には粗引の時間を考慮して、ここに示したものより大きめのメカニカルブー スターポンプおよび油回転真空ポンプを用いる事が適当です。*3　その他の寸法については、弊社Webサイトに掲載のCADデータでご確認ください。

*1　その他の寸法については、弊社Webサイトに掲載のCADデータでご確認ください。

水冷バッフル（PF L用）

型式 BW-22 BW-36 BW-52コンダクタンス（L/sec） 14000 54000 75000

外径寸法*1(mm)外径（D） φ680 φ1065 φ1480全高（T） 101 113 165

フランジ高さ（t） 26 28 35冷却水取合（サイズ） Rc 3/8" Rc 3/8" Rc 1/2"冷却水量（L/min） 3 5 5重 量（kg） 28 66 200

Ａ

Ｂ

Ｈ

水冷バッフル（ULK用）

型式 BW-04B BW-06B BW-10 BW-14コンダクタンス（L/sec） 940 2200 3130 5000

外径寸法*1

(mm)

外径（D） φ149 φ199 φ350 φ450全高（T） 28 28 44 50

フランジ高さ（t） 25 25 22 22冷却水取合（サイズ） Rc 1/4" Rc 1/4" Rc 1/4" Rc 3/8"冷却水量（L/min） 0.7 1 2 2重 量（kg） 1.3 1.7 7.6 11

*1　その他の寸法については、弊社Webサイトに掲載のCADデータでご確認ください。

H

B

A

*1　到達圧力は電離真空計により、冷却水温度 20℃の場合です。*2　補助ポンプの選択は、ここでは拡散ポンプの最大流量に対して行われていますが、一般には粗引の時間を考慮して、ここに示したものより大きめのメカニカルブー スターポンプおよび油回転真空ポンプを用いる事が適当です。*3　その他の寸法については、弊社Webサイトに掲載のCADデータでご確認ください。*4　D-11 は炭化水素系汎用油、D-31 は耐熱安定性の高いシリコン系の拡散ポンプ油です。

仕　様

型式 ULK-04A ULK-06A ULK-10A ULK-14A排気速度（L/sec） 550 500 1200 1100 3400 3000 5400 4900到達圧力（Pa）*1 ＜2.6×10-5 ＜2.6×10-6 ＜2.6×10-5 ＜2.6×10-6 ＜2.6×10-5 ＜2.6×10-6 ＜2.6×10-5 ＜2.6×10-6

臨界背圧（Pa） 40 60 40 60 35 40 30 30作動開始時間（min） 9 8.5 16.5 15 20 20 25 25作動油*4 ULVOIL D-11 ULVOIL D-31 ULVOIL D-11 ULVOIL D-31 ULVOIL D-11 ULVOIL D-31 ULVOIL D-11 ULVOIL D-31油量（L） 0.15 0.35 0.8 1.5水温（℃） 19℃～25℃冷却水取合（サイズ） Rc 1/4" Rc 1/4" Rc 3/8" Rc 3/8"冷却水量（L/min） 1 1 1 1.5 2.5 3 2.5 3.5電圧仕様 200V/1φ

所要電力(kW) 0.55 0.73 0.9 1.2 2 2.4 2.25 2.4

ヒータ種類 熱盤 熱盤 熱盤 熱盤

推奨補助ポンプ*2 VD151/VD201PVD-180/PVD-360 VD30C/VD40C/VD60C

VD90CVS1501

PKS-016/PKS-030VS1501/VS2401/PKS-030

外形寸法*3

(mm)

A 175 250 340 340B 150 180 240 240H 344 449 650 670

吸気口 VG100 VG150 VG250 VG350排気口 VG25 VG40 VG80 VG80質量(kg) 7.5 13.5 47 56オイルレベルゲージ 無し 無し ビューポート ビューポートサーモスタットオプション 有り 有り 有り 有りサーモスタット設定温度（℃） 250 250 180 180

0100

200

300400

500

600

700

800

900

1,000

1,100

1,200

1,300

1,400

L/s1,500

排気速度

ULK-06A

ULK-06A

ULK-04A

ULK-04A

圧力

10-８ 10 -７ 10 -６ 10 -５ 10 -４ 10 -３ 10 -２

10 -５ 10 -４ 10 -３ 10 -２ 10 -１ 100

Torr

Pa10 -６0

500

1,000

1,500

2,000

2,500

3,000

3,500

4,000

4,500

5,000

5,500

6,000L/s

排気速度

ULK-14A

ULK-14A

ULK-10A

ULK-14A

圧力

10-８ 10 -７ 10 -６ 10 -５ 10 -４ 10 -３ 10 -２

10 -５ 10 -４ 10 -３ 10 -２ 10 -１ 100

Torr

Pa10 -６

10 -６

10 -４ 10 -３ 10 -２ 10 -１ 10０

1,000

10,000

100,000

1,000,000

10１

10 -５ 10 -４ 10 -３ 10 -２

PFL–52

PFL–36

PFL–22

排気速度

圧　　力

L/s

Pａ

Torr10 -1

t

D

T

外 形 寸 法 図 排 気 速 度 曲 線外 形 寸 法 図水 冷 バ ッ フ ル排 気 速 度 曲 線

U L K P F L

油拡散ポンプ　ULKシリーズ 油拡散ポンプ　PFLシリーズ

ULVAC様_VS650A/VS750A/製品Catalog_P2-3中面

仕　様

型式 PFL-22 PFL-36 PFL-52排気速度（L/sec） 10000 34000 70000到達圧力（Pa）*1 3.0×10-4

臨界背圧（Pa） 16 6.7 16作動開始時間（min) 40 60 60作動油 ULVOIL D-11油量（L） 5 13 27水温（℃） 19℃～25℃冷却水取合（サイズ×系統数） Rc 1/2"×2 Rc 1/2"×2 Rc 1/2"×4,Rc 3/8"×2冷却水量（L/min） 12 38 50電圧仕様 200V/3φ

所要電力（kW） 8 始動時 22定常時 11

始動時 45定常時 30

ヒータ種類 電熱器 電熱器 電熱器

推奨補助ポンプ*2 PMB-040C+PKS-070(PMB1200D+PKS-030)

PMB-040C+PKS-070(PMB1200D+PKS-070)(PMB2400D+PKS-070)

PMB-060C+PKS-070×2台(PMB2400D+PKS-070)

外形寸法*3

(mm)

A 480 725 1000B 630 1022 2000H 1330 1732 2845

吸気口 VG550 VG900 VG相当52inch排気口 VG150 VG250 VG350質量（kg） 290 650 1400オイルレベルゲージ ビューポート ビューポート ビューポートサーモスタットオプション 有り 有り 有りサーモスタット設定温度（℃） 180 110 110

*1　到達圧力は電離真空計により、冷却水温度 20℃の場合です。*2　補助ポンプの選択は、ここでは拡散ポンプの最大流量に対して行われていますが、一般には粗引の時間を考慮して、ここに示したものより大きめのメカニカルブー スターポンプおよび油回転真空ポンプを用いる事が適当です。*3　その他の寸法については、弊社Webサイトに掲載のCADデータでご確認ください。

*1　その他の寸法については、弊社Webサイトに掲載のCADデータでご確認ください。

水冷バッフル（PF L用）

型式 BW-22 BW-36 BW-52コンダクタンス（L/sec） 14000 54000 75000

外径寸法*1(mm)外径（D） φ680 φ1065 φ1480全高（T） 101 113 165

フランジ高さ（t） 26 28 35冷却水取合（サイズ） Rc 3/8" Rc 3/8" Rc 1/2"冷却水量（L/min） 3 5 5重 量（kg） 28 66 200

Ａ

Ｂ

Ｈ

水冷バッフル（ULK用）

型式 BW-04B BW-06B BW-10 BW-14コンダクタンス（L/sec） 940 2200 3130 5000

外径寸法*1

(mm)

外径（D） φ149 φ199 φ350 φ450全高（T） 28 28 44 50

フランジ高さ（t） 25 25 22 22冷却水取合（サイズ） Rc 1/4" Rc 1/4" Rc 1/4" Rc 3/8"冷却水量（L/min） 0.7 1 2 2重 量（kg） 1.3 1.7 7.6 11

*1　その他の寸法については、弊社Webサイトに掲載のCADデータでご確認ください。

H

B

A

*1　到達圧力は電離真空計により、冷却水温度 20℃の場合です。*2　補助ポンプの選択は、ここでは拡散ポンプの最大流量に対して行われていますが、一般には粗引の時間を考慮して、ここに示したものより大きめのメカニカルブー スターポンプおよび油回転真空ポンプを用いる事が適当です。*3　その他の寸法については、弊社Webサイトに掲載のCADデータでご確認ください。*4　D-11 は炭化水素系汎用油、D-31 は耐熱安定性の高いシリコン系の拡散ポンプ油です。

仕　様

型式 ULK-04A ULK-06A ULK-10A ULK-14A排気速度（L/sec） 550 500 1200 1100 3400 3000 5400 4900到達圧力（Pa）*1 ＜2.6×10-5 ＜2.6×10-6 ＜2.6×10-5 ＜2.6×10-6 ＜2.6×10-5 ＜2.6×10-6 ＜2.6×10-5 ＜2.6×10-6

臨界背圧（Pa） 40 60 40 60 35 40 30 30作動開始時間（min） 9 8.5 16.5 15 20 20 25 25作動油*4 ULVOIL D-11 ULVOIL D-31 ULVOIL D-11 ULVOIL D-31 ULVOIL D-11 ULVOIL D-31 ULVOIL D-11 ULVOIL D-31油量（L） 0.15 0.35 0.8 1.5水温（℃） 19℃～25℃冷却水取合（サイズ） Rc 1/4" Rc 1/4" Rc 3/8" Rc 3/8"冷却水量（L/min） 1 1 1 1.5 2.5 3 2.5 3.5電圧仕様 200V/1φ

所要電力(kW) 0.55 0.73 0.9 1.2 2 2.4 2.25 2.4

ヒータ種類 熱盤 熱盤 熱盤 熱盤

推奨補助ポンプ*2 VD151/VD201PVD-180/PVD-360 VD30C/VD40C/VD60C

VD90CVS1501

PKS-016/PKS-030VS1501/VS2401/PKS-030

外形寸法*3

(mm)

A 175 250 340 340B 150 180 240 240H 344 449 650 670

吸気口 VG100 VG150 VG250 VG350排気口 VG25 VG40 VG80 VG80質量(kg) 7.5 13.5 47 56オイルレベルゲージ 無し 無し ビューポート ビューポートサーモスタットオプション 有り 有り 有り 有りサーモスタット設定温度（℃） 250 250 180 180

0100

200

300400

500

600

700

800

900

1,000

1,100

1,200

1,300

1,400

L/s1,500

排気速度

ULK-06A

ULK-06A

ULK-04A

ULK-04A

圧力

10-８ 10 -７ 10 -６ 10 -５ 10 -４ 10 -３ 10 -２

10 -５ 10 -４ 10 -３ 10 -２ 10 -１ 100

Torr

Pa10 -６0

500

1,000

1,500

2,000

2,500

3,000

3,500

4,000

4,500

5,000

5,500

6,000L/s

排気速度

ULK-14A

ULK-14A

ULK-10A

ULK-14A

圧力

10-８ 10 -７ 10 -６ 10 -５ 10 -４ 10 -３ 10 -２

10 -５ 10 -４ 10 -３ 10 -２ 10 -１ 100

Torr

Pa10 -６

10 -６

10 -４ 10 -３ 10 -２ 10 -１ 10０

1,000

10,000

100,000

1,000,000

10１

10 -５ 10 -４ 10 -３ 10 -２

PFL–52

PFL–36

PFL–22

排気速度

圧　　力

L/s

Pａ

Torr10 -1

t

D

T

外 形 寸 法 図 排 気 速 度 曲 線外 形 寸 法 図水 冷 バ ッ フ ル排 気 速 度 曲 線

U L K P F L

油拡散ポンプ　ULKシリーズ 油拡散ポンプ　PFLシリーズ

ULVAC様_VS650A/VS750A/製品Catalog_P2-3中面

高真空ポンプ

高真空ポンプ

■東日本営業統括部■西日本営業統括部

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国内販売：　アルバック販売株式会社

海外販売：　株式会社アルバック

TEL 03-5218-6011（代）TEL 06-6397-2281（代）

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当カタログの記載内容は性能向上等の目的により、予告なしに変更することがあります。

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1264J/2016015000SP

*1　到達圧力は電離真空計により、冷却水温度 20℃の場合です。*2　補助ポンプの選択は、ここでは拡散エゼクタポンプの最大流量に対して行われていますが、一般には粗引の時間を考慮して、ここに示したものより大きめのメカニカルブー

スターポンプおよび油回転真空ポンプを用いる事が適当です。*3　その他の寸法については、弊社Webサイトに掲載のCADデータでご確認ください。

仕　様

型式 PBL-02 PBL-04 PBL-06 PBL-10 PBL-14 PBL-20排気速度(L/sec) 80 200 500 1800 4000 7000到達圧力(Pa)*1 2.7×10-2臨界背圧(Pa) 40作動開始時間(min) 20 30 30 40 50 60作動油 ULVOIL B-6油量（L） 0.1 0.6 7.5 18 36 90水温（℃） 19℃～25℃冷却水取合（サイズ×系統数） Rc 1/8"×1 Rc 1/4"×1 Rc 3/8"×2 Rc 1/2"×2 Rc 1/2"×3 Rc 1/2"×3,Rc 3/8"×1冷却水量(L/min) 1.5 5 8 12 18 25電圧仕様 200V/1φ 200V/3φ

所要電力(kW) 0.44 1.8 42kW×2本

84kW×2本

115.5kW×2本

186kW×3本

ヒータ種類 カートリッジヒータ 電熱器 パイプヒータ パイプヒータ パイプヒータ パイプヒータ

推奨補助ポンプ*2 VD201/VD30CPVD-360

PKS-016VS1501

PKS-030VS2401

PKS-070(PMB600D+PKS-030)(PMB600D+VS1501)

PMB1200D+PKS-030PMB1200D+VS1501

PMB-040C+PKS-070(PMB2400D+PKS-070)

外形寸法*3

(mm)

A 100 150 200 300 340 510B 70 112 152 346 548 422H 463 524 973 1321 1687 2320

吸気口 VG50 VG100 VG150 VG250 VG350 VG500排気口 3/4Bホース口 VG40 VG50 VG80 VG100 VG200質量(kg) 6 17 86 198 313 495オイルレベルゲージ 無し 無し ゲージバー ゲージバー ゲージバー ゲージバーサーモスタットオプション 無し 無し 無し 無し 無し 無しサーモスタット設定温度（℃） － － － － － －

高真空側第１ジェット

第２ジェット

第３ジェット

第２チムニ

第１チムニ

第３チムニ

冷却水パイプ

本体

ジェット

ボイラ

補助真空側

油蒸気

保温材ヒータ

分留板（セキ板） 空気分子

*1　その他の寸法については、弊社Webサイトに掲載のCADデータでご確認ください。

水冷バッフル（PB L用）

型式 BW-02 BW-04B BW-06B BW-10 BW-14 BW-20コンダクタンス（L/sec） 100 940 2200 3130 5000 13000

外径寸法*1

(mm)

外径（D） φ120 φ149 φ199 φ350 φ450 φ625全高（T） 16 28 28 44 50 152

フランジ高さ（t） 16 25 25 22 22 24冷却水取合（サイズ） Rc 1/8" Rc 1/4" Rc 1/4" Rc 1/4" Rc 3/8" Rc 3/8"冷却水量（L/min） 1.5 0.7 1 2 2 3重 量（kg） 1 1.3 1.7 7.6 11 22

PBL-20

PBL-14

PBL-10

PBL-06

PBL-04

PBL-02

10,000

1,000

100

10

1

圧力

排気

速度

L/s

-210 -110 010 Pa

10 -4 -3Torr10 -210

油拡散ポンプ　ULK／PFL／PBLシリーズ

ULK-14A

PBL-04

PFL-22

特長

原理・構造

4B～14Bまでの4機種をラインアップ。2種類のオイルとヒータの選定により、ご希望の排気速度、到達圧力が得られます。

拡散ポンプは本体、ヒータおよびジェット部より構成され、ボイラ内で加熱された作動油は、蒸気となって各段のジェットより高速度で噴射されます。高真空側の気体は噴射された蒸気中に巻込まれ（拡散）上段のジェット部より下段のジェット部に運ばれ圧縮されながら排気口より補助ポンプ側に排気されます。噴射した蒸気は本体の内壁で冷却、凝縮してボイラに戻ります。この作用を繰返しながら排気が行われます。ボイラ部には分留板があるため、戻ってきた作動油は環流してボイラ外周部で高い蒸気圧成分が、また中心部で低い蒸気圧成分が蒸発し、常に作動油の分留ができる構造となっています。

2B～20Bまでの6機種をラインアップ。油回転真空ポンプやメカニカルブースタポンプの排気速度が低下する、10-1Pa台で最大排気速度を有します。

油拡散エゼクタポンプ　PBLシリーズ

アルバックの油拡散ポンプは、数多くの高真空設備に採用されております。油拡散ポンプは4B～52B、油拡散エゼクタポンプは2B～20Bと幅広いラインアップでお客様のニーズにお応えします。

排 気 速 度 曲 線外 形 寸 法 図PBL

構 造 説 明 図ULKシリーズ

PBLシリーズ

22B～52Bまでの4機種をラインアップ。真空炉などの大型真空装置に採用されています。

PFLシリーズ

ULVAC様_油拡散ポンプ製品Catalog_表1-表4