2600-PCT-x 4200-PCT-x

• 可設定功率位準 – 從 200V 至 3kV – 從 1A 至100A

• 寬動態範圍 – 從µV 至 3kV – 從 fA 至 100A

• 電容-電壓方法 – ±400V 多頻 C-V – 200V 斜波率 C-V – 20V 極低頻 (VLF ) C-V

• 直流電或脈衝 I-V 至 50µs

• 高電壓和高電流通道均具 24 位元

精確 A/D 轉換器和 18 位元高速 (1µs) 數位器

• 測試軟體包括即時控制的追蹤模式

和參數擷取的參數模式

應用

• 功率半導體裝置特性和測試

• GaN 和 SiC、LDMOS，和其他裝置

的特性分析

• 研究功率裝置可靠性

• 進貨檢驗和裝置合格驗證

參數曲線追蹤儀配置

高功率裝置特性

高度要求測試設備需具備特性

分析和測試現今高功率半導體

裝置和元件的功能。裝置設備工

程師需要能支援他們完成整個

功率裝置周期壽命的設備。當

今，可將高功率特性系統歸類為

兩種主要形式：全方位 (turnkey) 系統和建構模組 (需由使用者利

用適用的軟體配置)。您可以快速

設定和執行全方位系統，但是這些系統非常昂貴且受限於可執行的測試寬度。

吉時利的參數曲線追蹤儀是配置多種高品質儀器、纜線、測試夾具和軟體

的完整解決方案。此建構模組方式提供容易升級或修改的優點，以符合變

更測試需求例如，最初可購買低成本的 200V/10A 系統，稍後再容易地提高

至 50A 或 100A。此外，您可以跨不同的測試系統平台使用這些儀器和配件，

例如可靠性或裝置合格測試。

吉時利的參數曲線追蹤配置包括特性分析工程師快速開發完整測試系統所需

要的所有項目。ACS Basic Edition 軟體提供完整的裝置特性分析，包括即時追

蹤模式，以快速檢查如崩潰電壓的基礎裝置參數；和全參數模式，以擷取精密裝

置參數。ACS Basic Edition 超越傳統曲線追蹤儀介面，可提供廣泛的樣本資料

庫。更重要的是，使用者可以完全控制所有的測試資源，允許他們建立較曲線追

蹤儀以往所能提供更為進階的測試。

ACS Basic Edition 軟體快速擷取 IGBT 元件的輸出特性分析。

半

導

體

參

數

曲

線

追

蹤

儀

2600-PCT-x 4200-PCT-x

訂購資訊

2600-PCT-1 低功率 2600-PCT-2 高電流 2600-PCT-3 2600-PCT-4 4200-PCT-2 4200-PCT-3 4200-PCT-4

高電壓 高電壓和電流 高電流 + C-V 高電壓 + C-V 高電壓和電流 + C-V

隨附配件

ACS-BAS IC 元件測試軟體 8010 高功率裝置測試 夾具 (包括 8010-CTB、8010-DTB，和 8010-DTB-220) KUSB-488B USB 至 GPIB 轉接器 (僅限系列 2600B 配置) 所有的纜線和轉接器 樣品零件 4200-CVU-PWR (限4200-SCS配置) 附註：2600-PCT-X配置未包含電腦與

顯示器

選配配件 2651A 高功率系統 SourceMeter (50A

增至任一系統，最高 100A)

2657A 高功率系統 SourceMeter (3kV增至任一系統，每個系統最多一個裝

置)

8010-CTB 可自訂測試電路板

8010-DTB 具TO-247插座的裝置測試電路板

8010-DTB-220 具TO-220插座的裝置測試電路板

70161-MSA 適用於 K420 和 K475 推車的

鍵盤/監視器臂

HV-CA-554-1 HV Triax 纜線 (2657A需要三條)

K475工作台塔 所有 PCT 配置的行動推車

K420工作台推車 較小 PCT 配置的行動推車

參數曲線追蹤儀配置

吉時利參數曲線追蹤配置是完整特性分析工具，包括進行功率裝置特性分析需要

的所有重要元件。

量測通道是由高品質吉時利 SourceMeter® 和 (或) 半導體特性分析儀器組成。

這些儀器的動態範圍和準確度數倍超過傳統曲線追蹤儀所能提供的。

吉時利為達此效能，開發一套將儀器連接至測試夾具的精密纜線。針對高電壓通

道，自訂三軸纜線提供受保護的管道，能快速安置和極低電流，甚至為全 3kV。針對高電流通道，特別低電感纜線提供快上升時間脈衝以降低裝置本身熱效果。

使用安全且有效率的測試夾具是同要重要的。8010 提供允許低電流、高電壓測

試和高電流、低電壓測試的互鎖和防護的環境。除包含的測試夾具是與搭配精密

纜線的高效能接頭相同外，還有在裝置故障時，能使高電壓通道免於基本/閘極通

道受損的保護電路。

配置選擇指南

集極/汲極供電 2 機型 1

高電壓模式 高電流模式

步進產生器基本/閘極

供電 輔助電源

低功率 2600-PCT-1 200 V/10 A 200 V/10 A 200 V/10 A NA 2600-PCT-2 200 V/10 A 40 V/50 A 200 V/10 A 200 V/10 A

高電流 4200-PCT-2+ C-V

200 V/1 A 40 V/50 A 200 V/1 A 200 V/1 A

2600-PCT-3 3 kV/120 mA 200 V/10 A 200 V/10 A 200 V/10 A 高電壓 4200-PCT-3

+ C-V 3 kV/120 mA 200 V/1 A 200 V/1 A 200 V/1 A

2600-PCT-4 3 kV/120 mA 40 V/50 A 200 V/10 A 200 V/10 A 高電流和

高電壓4200-PCT-4

+ C-V 3 kV/120 mA 40 V/50 A 200 V/1 A 200 V/1 A

1. 如需自訂配製相關資訊，請聯絡您的吉時利現場製作工程師 2. 新增機型 2651A 以增加高電流模式至 50A 或 100A。

半

導

體

參

數

曲

線

追

蹤

儀

2600-PCT-x 參數曲線追蹤儀配置 4200-PCT-x

典型功率電晶體參數

參數 符號 測試方法1 最大範圍 典型最佳解析度 典型準確度

崩潰電壓 Bvdss, Bvceo Id–Vd 或 Id (脈衝) ±3000 V2 100 µV, 10 fA 0.05% rdg + 0.05% rng

通態電流 (直流電) Vdson, Vcesat, Vf Id–Vd ±20 A4, (選配)：±40 A4 100 nA, 1 µV 0.05% rdg + 0.05% rng

通態電流 (脈衝) Vdson, Vcesat, Vf Id–Vd ±50 A4, (選配)：±100 A4 100 µA, 1 µV 0.05% rdg + 0.05% rng

漏極/集電極漏電流 Idss, Ir/Icbo, Iceo Id–Vd ±20 mA @ 3000 2, 5 10 fA, 1 µV 0.2% rdg + 1% rng

閘極//基極/漏電流 Igss, Ib Ig–Vg ±1 A 或 ±10 A Pulsed3 10 fA, 1 µV 0.2% rdg + 1% rng

通態臨界值電壓或截止電壓 Vth, Vf, Vbeon, Vcesat Id–Vg ±200 V 3 10 fA, 1 µV 0.2% rdg + 0.5% rng

正向轉移導納或正向跨導 |yfs| Gfs, Hfe, gain Vd–Id @ Vds 1 ms ~ 1000 s 6 1 pA, 1 µV 1%

通態電阻 RDS(on), Vcesat Vd–Vg @ Id <100 µΩ7 10 µΩ, 1 µV 1%

輸入電容 Ciss C–V 100 kHz 10 nF 8 ±200 V 10 fF, 10 µV 優於 1% (在C<10 nF)

輸出電容 Coss C–V 100 kHz 10 nF8 ±200 V 10 fF, 10 µV 優於 1% (在C<10 nF)

反向傳輸電容 Crss C–V 100 kHz 10 nF8 ±200 V 10 fF, 10 µV 優於 1% (在C<10 nF)

1. 用於擷取參數的測試方法。僅列出典型的 MOSFET，但有適用於其他裝置的類似方法。 2. 機型 2657A 高功率系統 SourceMeter® SMU 儀器。 3. 機型 2636A SourceMeter SMU 儀器或機型 4210-SMU。 4. 機型 2651A 高功率系統 SourceMeter SMU 儀器或選用的雙機型 2651A 高功率系統 SourceMeter SMU 儀器。 5. 最大 20mA (在 3000V)、120mA (在 1500V)。 6. 典型擷取的能力 (範例：1mA/1V ~ 1A/1mV)。 7. 典型擷取的能力 (範例：1mV/10A) 。 8. 搭配 4210-CVU 和 4200-CVU-PWR，最大 ±200VDC (±400VDC 差動) 偏差。

8010 測試夾具

適用於 3kV 及 100A 的靈活、安全測試夾具

高電流、低電感電纜 高電壓、低雜訊三軸電纜

半

導

體

參

數

曲

線

追

蹤

儀

2600-PCT-x 參數曲線追蹤儀配置 4200-PCT-x

元件和離散元件的半導體參數測試軟體

ACS Basic Edition 軟體經特別調整，以善用吉時利儀器的高效能；

包括執行常用高功率裝置測試的數個樣本資料庫。不像其他系統，軟

體提供使用者幾乎無限制的彈性配置所有的量測通道，以建立遠超越

傳統曲線追蹤儀可提供的測試。

多重測試模式允許在裝置上進行多項測試。

追蹤模式支援裝置的互動測試。

典型測試摘要 裝置 漏電 崩潰 增益 通態

雙極

性接

面電

晶體

IEBO, IECO, IEVEB,ICVCB

BVCBO,BVCEI, BVCEO,BVCEV, BVEBO,BVECO

HFE

IBCO,IBEO,IBICVBIBVBE,ICBO,ICEV,ICVCE_BiasIB, ICVCE_BiasVB, ICVCE_StepIB, ICVCE_StepVB, VBCO, VCE

MOSFET

IDL, IDS_ISD,IGL, ISL

BVDSS,BVDSV, BVGDO,BVGDS, BVGSO

GM

IDVD_BiasVG, IDVD_StepVG, IDVG_BiasVD, IDVG_StepVD, IDVG_StepVSUBIGVG,VTCI,VTEXTVTEXT_IISQ

二極體 IRDVRD VBRIRD NA DYNAMICZ, IFDVFD,VFDIFD,VRDIRD

電阻 NA NA NA IV 電容 IV NA

Formulator 函數摘要

類型

Math ABS, AVG, DELTA, DIFF, EXP, LN, LOG,

LOG10, SQRT

Parametric Extractions

GMMAX, RES, RES_4WIRE, RES_AVG, SS,

SSVTCI, TTF_DID_LGT, TTF_LGDID_T,

TTF_DID_T, TTF_LGDID_LGT,VTCI,

VTLINGM, VTSATGM

Fitting

EXPFIT, EXPFITA, EXPFITB, LINFIT,

LINFITSLP,LINFITXINT, LINFITYINT, REGFIT,

REGFITSLP,REGFITXINT, REGFITYINT,

REGFIT_LGX_LGY, REGFIT_LGX_Y,

REGFIT_X_LGY, TANFIT, TANFITSLP,

TANFITXINT,TANFITYINT

ManipulationAT, FINDD, FINDLIN, FINDU, FIRSTPOS,

JOIN, LASTPO, MAX, MAXPOS, MIN, MINPOX,

POW, SMOOTH

半

導

體

參

數

曲

線

追

蹤

儀