黃光室使用教學講義

編輯者：林政邦

1. 請先登入使用者帳號並填寫開始使用之時間，檢查上個使用者關燈之時間，以確 保燈泡之使用壽命。

3. 將空壓器 CDA 的氣閥開關轉開，確定光罩對準機的光罩載盤升起與氣槍之氣體。

2. 打開燈泡電源控制器之開關，確定風扇之運轉後，約等 20 秒後再將燈泡點起！

4. 將工作台的燈光打開並插上所需使用之插頭 ( 烤盤 ) ，開啟旋轉塗佈機的馬達與烤 盤之開關，後將光阻液取出，並靜置約 5 分鐘，同時可先將要使用之光罩清洗乾淨 後放置於光罩對準機的光罩吸盤上，並開機等候！

5. 選擇適合的旋轉塗佈機真空吸頭並將之安裝上去，把已清洗完的樣品放置在旋 轉塗佈機真空吸頭上，在塗佈機面板上選擇 AUTO MODE ，選取適合的 RECIPE ， 將樣品吸真空 VAC ON 後，滴上數滴光阻液後將透明壓克力蓋蓋上，按下

START 開始塗佈，等完畢後，將真空解除 VAC OFF 後方可將樣品取下。

6. 將已塗佈完光阻的樣品放置在烤盤上軟烤， 90℃ 30 秒！7. 將樣品拿至光罩對準機進行曝光，首先使用預備的基板來做水平校正後，方可將 曝光！8. 待曝光後，再將樣品放置在烤盤上進行曝後烤， 90℃ 30 秒。9. 把顯影液依所需之配比配好後，將樣品置入並觀察顯影之情形，待顯影完後將樣 品取出泡置於 DI 水中。10. 把樣品取出並用氣槍將之吹乾，置於烤盤上進行硬烤， 100℃ 60 秒，後完成實驗。11. 把使用過的光罩再清洗乾淨，將第 2.3.4. 點所提及之儀器關機並將所有器具歸回原 位，登出使用者帳號並填寫結束使用之時間，再次確定黃光室所有器具都已復原！

down on off off

Mask Wafer vac Mask vac Ball vac

Lamp L-R

Con vac

stop

start

Timermotor

Mask – 光罩載盤的上升與下降Wafer vac – 樣品載盤之真空Mask vac – 光罩之真空Ball vac – 樣品載盤下方半球狀腔體之真空Lamp L-R – 燈源左右移動Con vac – 光罩與樣品載盤間之真空

motor – 控制樣品載盤上升下降 stop – 停止曝光start – 開始曝光

2~5曝光時間之倒數

鍵入所需曝光時間鍵入 Con vac. 所需真空力道大小

motor 內頁

鍵入 step 移動大小 步進

參考移動距離連動

• 使用前請先確實線上預約後方可進入使用• 請確實查核燈泡開啟時間與電腦之登入• 請勿任意更改旋轉塗佈機之參數• 請勿任意更改烤盤之溫度• 如樣品為破片，請注意要加放一些破片來

做水平校正與曝光，避免光罩之損壞• 未用完之光阻，請放置於冰箱，以利下位

使用者拿取，避免造成浪費• 廢液請確實倒入廢液回收桶中• 要是有任何問題，請馬上與管理者聯絡

( 分機 3744 、 3748)