LOGO

关于酸性蚀刻液回收读书报告

学生：吉小庆导师：王宇新

1

2

电化学回收蚀刻液原理

电化学回收方法

天津大学

电化学回收蚀刻液的原理分析

碱性氯化铜蚀刻液：

CuCl2+4NH3→Cu(NH3)4Cl2

Cu(NH3)4Cl2+Cu→2Cu(NH3)2Cl

蚀刻液

酸性氯化铜蚀刻液 :

Cu+CuCl2→Cu2Cl2

天津大学

23CuCl 2

2CuCl 24CuCl

Cu2Cl2+4Cl-→2(CuCl3)2-

4 2NH H OHCL

天津大学

电化学回收蚀刻液的原理分析

Cu2+

Cu2+

Cu2+Cu2+

Cu2+

Cu2+

Cu2+

Cu2+

Cu2+

Cu2+

Cu2+Cu2+

Cu2+ Cu2+

Cu+

Cu2+

Cu2+

Cu2+Cu2+

Cu2+Cu2+

Cu2+

Cu2+Cu2+ Cu2+

Cu+

Cu+

Cu

Cu+

Cu+

Cu2+

Cu2+

Cu2+Cu2+

Cu2+Cu2+

Cu2+

Cu2+

Cu2+Cu2+ Cu2+

Cu+

Cu+

Cu+

Cu+ CuCu+Cu2+

Company Logo

Cu+

Cu2+

Cu2+

Cu2+Cu2+

Cu2+Cu2+

Cu2+

Cu2+

Cu2+Cu2+ Cu2+

Cu+

Cu+

Cu+

电化学回收蚀刻液的原理分析

2

2

22

121 22

Cu Cu e

Cl Cl e

O O e

2

212

Cu e Cu

Cu e Cu

H e H

阳极反应： 阴极反应：

Company Logo

电化学回收蚀刻液的原理分析

曾振欧等． CuCI2-HC1 酸性蚀刻液的 ORP 测量及其应用 [J]. 电镀与涂饰， 2010,29(2) ： 14—1 8

Ir–Ta 氧化物涂层阳极 (DSA)

溶液组成为： H+ 2 mol/L ，Cl- 7 mol/L ， Cu+0~10g/L ，Cu2+ 115~120g/L

电位扫描速率为 1 mV/s

Company Logo

电化学回收蚀刻液的原理分析

Oxley ． Electrolytic regeneration of acid cupric ： US ， 5421966[PJ] 1995-06-6 ．

天津大学

3 、酸性蚀刻废液（含铜100~130g/L ）

4 、阳极（石墨板）

5 、酸性蚀刻废液（含铜10~20g/L ）

6 、阴极（钛板）

7 、阴离子交换膜

HILLIS M R ． Method for the electrolytic regeneration of etchants for metals ：US ， 4468305[PJ] 1984-08-28 ．

电化学回收方法

天津大学

电化学回收方法

Oxley ． Electrolytic regeneration of acid cupric ： US ， 5421966[PJ] 1995-06-6 ．

Cu+ 浓度： 1.5g/LCu2+ 浓度： 160g/L操作温度： 50℃阳极：石墨毡阴极：石墨片（ 77.4cm2 ）槽压： 7-8v

天津大学

电化学回收方法

Cupric Chloride Etch Regeneration:Tri-Star Technologies Company, Inc.1997

阳极：石墨阴极：石墨能耗： 8000 amps,槽压： 6-10V流率 : 8kg/hr阳极液浓度： 130-140g/L阴极液浓度： 20g/L温度： 48-55℃铜析出速率： 1g/amp/hr

Company Logo

总结：

酸性氯化铜蚀刻液的回收还存在着以下几个问题：1 、如何保证好的电解效果的同时防止析氯和析氢。2 、降低操作和设备费用。3 、多数设备操作不方便。4 、槽电压过高。

LOGO