Cac Phuong Phap Che Tao Mang

8/19/2019 Cac Phuong Phap Che Tao Mang

1/32

TRƯỜNG ĐẠI HỌC KHOA HỌC TỰ NHIÊNTRƯỜNG ĐẠI HỌC KHOA HỌC TỰ NHIÊN

BỘ MÔN VẬT LÝ ỨNG DỤNGBỘ MÔN VẬT LÝ ỨNG DỤNG

GVHDGVHD: TS L! V" T#$% H&%': TS L! V" T#$% H&%'

HVTHHVTH: ()*% T+#%' V,%): ()*% T+#%' V,%)

QUANG HỌC ỨNG DỤNGQUANG HỌC ỨNG DỤNG


2/32

()-.%' /)0/()-.%' /)0/%'-%' 12 341 56 7(VD8%'-%' 12 341 56 7(VD8

()-.%' /)0/()-.%' /)0/%'-%' 12 )9* ); 7CVD8%'-%' 12 )9* ); 7CVD8

CÁC PHƯƠNG PHÁP CHẾ TẠO MÀNGCÁC PHƯƠNG PHÁP CHẾ TẠO MÀNG

(();*5);*5 VV*/?+*/?+ DD@/?=>1>?%@/?=>1>?% CC)@>;*5)@>;*5 VV*/?+*/?+ DD@/?=>1>?%@/?=>1>?%

V> 1 10; %)% ;#%' ;$/ %E%' 5-F%'V> 1 10; %)% ;#%' ;$/ %E%' 5-F%'341 5># ;% /)J %' )9* ).>341 5># ;% /)J %' )9* ).>

C0; )1 341C0; )1 3415># > ;)## > ;)#

C0; )1 341 5># %'-%' 12 1+!% C0; )1 341 5># %'-%' 12 1+!% X M%'X M%'

V> 1 10; %)% ;#%' ;$/ %E%' 5-F%'V> 1 10; %)% ;#%' ;$/ %E%' 5-F%'341 5># ;% /)J %' )9* ).>341 5># ;% /)J %' )9* ).>

C0; )1 341C0; )1 3415># > ;)## > ;)## %'-%' 12 1+!% C0; )1 341 5># %'-%' 12 1+!% /)Q% %' 3> ;)$1 Y)Z/)Q% %' 3> ;)$1 Y)Z X HF/ ;)$1 X M%'X HF/ ;)$1 X M%'

T [ \]]]C T ^ _]] ` ab]]]C


3/32

()-.%' /)0/()-.%' /)0/c; *< ;)% Y)d%'c; *< ;)% Y)d%' ()-.%' /)0/()-.%' /)0//)e% U/)e% U

HAI PHƯƠNG PHÁP PVD PHỔ BIẾNHAI PHƯƠNG PHÁP PVD PHỔ BIẾN


4/32

1. Phương pháp b! b"#1. Phương pháp b! b"#!h$n %h&ng '()"p*+",-*n!h$n %h&ng '()"p*+",-*n

()-.%' /)0/()-.%' /)0/c; *< 1+f; 1>/c; *< 1+f; 1>/

Thermal Thermal Evaporation:Evaporation:Bốc bay nhiệt Bốc bay nhiệt

()-.%' /)0/()-.%' /)0/c; *< '>0% 1>/c; *< '>0% 1>/

Bc; *1 >%%)>1 >%

1+g1+g

Bc; *% 1i>% 1i

B*< ).>B*< ).>/)Q% %'/)Q% %'

7Rj87Rj8M >?%M >?%

Electron-beamElectron-beamEvaporation:Evaporation:Bốc bay bằng Bốc bay bằng chùm điện tử chùm điện tử

Ion Plating:Ion Plating:M ionM ionK)d%'K)d%'

YZ;) )?1YZ;) )?1

C9 YZ;)C9 YZ;))?1 7ARj8)?1 7ARj8

! ! eactingeacting E E vaporation:vaporation:Bay h"i ph#n $ng Bay h"i ph#n $ng % %ctivate&ctivate& ! ! eactiveeactive E E vaporation:vaporation:B'h"i p'$ng c( )*ch hot B'h"i p'$ng c( )*ch hot


5/32

aa ()-.%' /)0/ c; *< 1+f; 1>/aa ()-.%' /)0/ c; *< 1+f; 1>/

BkC BAl NHImT ĐImN TRnBkC BAl NHImT ĐImN TRn

N'## 7+o% 5p%' 18-F; ;#%' ;$/ j-F; ;#%' ;$/ j X )9* ).>X )9* ).>

H.> 341 5># c;H.> 341 5># c;5!% /)Z* 1+!%5!% /)Z* 1+!%

C#c> ;&%' ).> 341 5># %'-%'C#c> ;&%' ).> 341 5># %'-%'12 1+!% /)% c 3 Y1 1>%)12 1+!% /)% c 3 Y1 1>%)

N ) > H

1

N ) > H

1 C ) &

A @

L * = @

+

L * = @

+

H q r # * % '

T0; %)% )9* ).> 5T0; %)% )9* ).> 5 ng+,n nhiệt n

g+,n nhiệt s# -F;s# -F; gi bằng điện tr.

gi bằng điện tr.

BkC BAl BtNG CHuM @BkC BAl BtNG CHuM @T0; %)% )9* ).> 5T0; %)% )9* ).> 5 chùm e c(chùm e c(đ/ng n0ng l1nđ/n

g n0ng l1n


6/32

BkC BAl NHImT ĐImN TRnBkC BAl NHImT ĐImN TRn

M1 ) c; *< ;)% Y)d%' 'qM1 ) c; *< ;)% Y)d%' 'q

2 b/ ph3n ch*nh2 b/

ph3n ch*nh::

H . ;)% Y)d%'H . ;)% Y)d%'

B#q%' ;)% Y)d%'B#q%' ;)% Y)d%'

N'#q% %)>1N'#q% %)>1

H '>v w >x# ;)y%) TH '>v w >x# ;)y%) T

Ms# -F; '>v h%' zMs# -F; '>v h%' zgi4 điện tr.

gi4 điện tr. {{-F;-F; đốt n(ng đ5n h(a h"i đốt n(ng đ5n h(a h"i h%'h%'|%' >% 1)@?|%' >% 1)@? 67 8o+le-7en9 67 8o+le-7en9 ::

" đ, m/t hệ bốc bay " đ, m/t hệ bốc bay ch;n )hgi4 điện tr.?: &;y =4c loi >gi4 điện tr.?: &;y

@a-&A th+yCn @e-gA vD chn @hA@a-&A th+yCn @e-gA vD chn @hA

N)>1 5-F%'1p* +*

Đ>% 1+g ;J* 1)#%

r#* z1)# '>*% 1p* %)>1


7/32

GI} ĐImN TRnGI} ĐImN TRn

T)#% 1+gT)#% 1+g

a )*< %)>x# 3|%' x# 3|%' <

L h%'L h%'

F3t liệ+ cGn bốc bay đHc J+KnF3t liệ+ cGn bốc bay đHc J+Kntrong c4c vLng &;y trong c4c vLng &;y

V|%' < >% 1+gV|%' < >% 1+g

C)~% >% 1+gC)~% >% 1+g

TKm )im loi &ng th+yCn đ ch$aTKm )im loi &ng th+yCn đ ch$av3t liệ+v3t liệ+

L h%'L h%'

=hn đHc đốt n(ng bằng c4c Ni =hn đH c đốt n(ng bằng c4c Ni điện tr. J+Kn J+anh n,i đi ện tr. J+Kn J+anh n,i

L h%'L h%' T);) *%)T);) *%);)# %)>1;)# %)>1

/)J/)J A5 A5bbOO••

€ a € a


8/32

Tc; *< ).>Tc; *< ).>7a87a8::

Sc %'# '>*%1+?%' a .% 3 1)W> '>*%

*.

. 2 . .

e

e

e B

dN p p

A dt m k T α

π

−=

D>% 1Z;) x ‚1 ;J*D>% 1Z;) x ‚1 ;J*%'#q% c; * ;% h%';J* ;)$1 *< ).>;J* ;)$1 *< ).>

}/ =#$1 ;J* }/ =#$1 ;J*

;)$1 *< ).> 1+?%';)$1 *< ).> 1+?%'#q%' ;)% Y)d%'#q%' ;)% Y)d%'

K)c> 5-F%'K)c> 5-F%'%'# r#* a .% 3 >% 1Z;) 1+?%' a .%Tc; *< ).>: Sc %'# r#* a .% 3 >% 1Z;) 1+?%' a .%3 1)W> '>*%3 1)W> '>*%7b87b8

H =c c; *< 7j3*/?+*1>?% C?@‰‰>;>@%18: H =c Z%) ;)‚1 ;J* %'#?% C?@‰‰>;>@%18: H =c Z%) ;)‚1 ;J* %'# 1+!% x ‚1).> 1+!% x ‚1

()-.%' 1+%) H@+1ƒ…K%#=@%()-.%' 1+%) H@+1ƒ…K%#=@%


9/32

Sf /)% c )-%' ;J* ;0; %'#

Đ%) 5#41 /)% c C?=>%@: Đ%) 5#41 /)% c C?=>%@: 0 .cosi i N N α =

NN]]: =c )1 %h 1+!%: =c )1 %h 1+!%/)-.%' /)0/ 1# s# 1+?%' a .%3 1)W> '>*%3 1)W> '>*%

NN>>: =c )1 %h 1+!%: =c )1 %h 1+!%

/)-.%' )F/ 3>/)-.%' )F/ 3>/)-.%' /)0/ 1#Q% Đ.% '>Q%R‹ 1>x%R‹ 1>x%

HẠN CHẾHẠN CHẾ

V41 5># TV41 5># T%9%' ;)Q


10/32

BkC BAl BtNG CHuM @BkC BAl BtNG CHuM @

Ms# -F; ;#%' ;$/Ms# -F; ;#%' ;$/ n0ng lHng n0ng lHng

đ h(a h"i đ h(a h"i 1Ž =f1Ž =f va chmva chm 3>3>!h67!h67 8-9n ,:8-9n ,: ;9;9 đ/ng n0ng l1nđ /ng n0ng l1n

H1H1341 5>#341 5>#

C)& @C)& @Ms#Ms#

Se%' @Se%' @

C$# 1? ;J* =e%' >% 1iC$# 1? ;J* =e%' >% 1i

Thế gia tốc(6-10kV) Thế đốt

Vật liệucần ph!h"# $l$ct%on

!u&n t'

t%ng

!h*n đ+ng C*1)?@ -F; c1 %9%'C*1)?@ -F; c1 %9%'

()01()01U %)>1 >% 1i 1#% 1)@? /)-.%'U %)>1 >% 1i 1#% 1)@? /)-.%'

1+%) R>;)*+=?%:1+%) R>;)*+=?%:0

2

0

Bk T j A DT e

φ −

=M41 |%'M41 |%'

/)01 U/)01 U%)>1 >% 1i%)>1 >% 1i

Hh%' =cHh%' =cY> 5?>Y> 5?>

H =c 1+# 5?>N)>1 Y> 5?>

Hh%' =c B?51ƒ*%%Hh%' =c B?51ƒ*%%

Cd%' 1)?01Cd%' 1)?01;J* @ +*;J* @ +*

Y)p> Y> 5?>Y)p> Y> 5?>


11/32

C)& @5@;1+?% -F;C)& @5@;1+?% -F;gia tốc trong điện trHng gia tốc trong điện trHng đQnh hH1ng trong tR đ Qnh hH1ng trong tR

trHng trHng )" !h;7)" !h;7 3> x3> x‚1 341 5>#‚1 341 5>#

Thế gia tốc(6-10kV)

Thế đốt

Vật liệucần ph!h"# $l$ct%on

!u&n t't%ng

!h*n đ+ng

Ư# >P w )% ;) ;J* // c; *< h%' ;)& @Ư# >P w )% ;) ;J* // c; *< h%' ;)& @Ư3 4I5MƯ3 4I5M HẠN CHẾHẠN CHẾ

=hn đSng m+ đHc =hn đSng m+ đHc gi#i nhiệt gi#i nhiệt h%' %-; Ph%' %-; P1+0%) )*? |%1+0%) )*? |%

V41 5># TV41 5># T%9%' ;)Q


12/32

BkC BAl BtNG ‘NG LASjRBkC BAl BtNG ‘NG LASjR7P1>?%8

’

’’

’’

’

j5@;1+?%

N'#*% ;)*1 3&%' Y)d%' '>*% ;)*p="/7" phá, /ángp="/7" phá, /áng

C0;C0; ht v3t liệ+ht v3t liệ+ >*>*ngưng ,>ngưng ,> %' 1+!% %' 1+!%

Th&ng ,-n )? ng0@n ="/+ 0ng ,hưng /: >ng L*=@+ jU;>@+ K+“: ” b–„%

Đ > U#%': —1 b\%=

M41 ;d%' =#$1: ˜ b–a]„™‡;b

V&%' >% 1Z;) ;)># +> 5!% >*: —A ]a;b

T% =c 5‚/ 5>: ‰ \]Hƒ


13/32

NE%' 5-F%'NE%' 5-F%'LASjRLASjR

>* )$/ 1)#>* )$/ 1)#

C#%' ;$/ %' %E%'C#%' ;$/ %' %E%'5% ;)? )1 341 5>#5% ;)? )1 341 5>#

KZ;) 1)Z;) @ 1)?01KZ;) 1)Z;) @ 1)?01+* Y)p> >*+* Y)p> >*

KZ;) 1)Z;) >?% )9*KZ;) 1)Z;) >?% )9*%'##%'##

HšNH TH›NH (LASMAHšNH TH›NH (LASMAT+?%' r#0 1+%) % >*

()0 3œ 5>!% Y1()0 3œ 5>!% Y1%' 1)?01 Y)p> >*%' 1)?01 Y)p> >*

N'##%'##

N'#

I?%

YZ;) 1)Z;)

T+%' 1)0>;. Q%

()01()01=0%'=0%'

Ư# >P %> 41 %)$1 ;J* // (LD: /)J %' 1+!% %)v%' 1>%) 3>Ư# >P %> 41 %)$1 ;J* // (LD: /)J %' 1+!% %)v%' 1>%) 3>

M; ;)% Y)d%'M; ;)% Y)d%'

Wi#n đ, &QchWi#n đ, &Qchch+yn n0ng ch+yn n0ng lHng cXa elHng cXa e

ng+yVn tử ion Yng+yVn tử ion Y

’ ’

’

’


14/32

ab ()-.%' /)0/ c; *< '>0% 1>/ab ()-.%' /)0/ c; *< '>0% 1>/

ZP:ZP:

()-.%' /)0/ c;()-.%' /)0/ c;

*< 1+f; 1>/*< 1+f; 1>/

HImN TƯŒNGHImN TƯŒNG

(HžN Ll(HžN Ll

,p ch.t

M%' Y)d%' 1>%)M%' Y)d%' 1>%)Y)>1 ‡ >% ;)$1Y)>1 ‡ >% ;)$1

()-.%' /)0/ c; *< '>0% 1>/()-.%' /)0/ c; *< '>0% 1>/B*< ).>B*< ).>

/)Q% %'/)Q% %'7Rj87Rj8

B>* 5 341 5># .% ;)$1B>* 5 341 5># .% ;)$1 M1 Y)Z .% ;)$1 -F;M1 Y)Z .% ;)$1 -F;

-* 3? #q%' ;)% Y)d%'-* 3? #q%' ;)% Y)d%'

A

B

()Q% %'()Q% %' A A ww BB V41 5>#V41 5>#

)F/ ;)$1 7)F/ ;)$1 7 A AUUBBObb


15/32

B*< ).> /)Q% %' 7Rj8B*< ).> /)Q% %' 7Rj8 (HŸN ỨNG A w(HŸN ỨNG A wB KH Ÿl RAB KH Ÿl RA

Tc; 5o%' %'Tc; 5o%' %'%' NH¡%' NH¡

,p ch.t[p chKt =arbi&eN[ p chKt =arbi&eN: T>C VC: T>C VC

NC C+ NC C+ ••CCbb¢¢ [p chKt \itri&eN[p chKt \itri&eN::T>N VN £+N¢T>N VN £+N¢ ]Ui&eN]Ui&eN: A5: A5bbOO••

ZP:ZP: (( *< ).> /)Q% %' ;9 YZ;) )?1 7ARj8(( *< ).> /)Q% %' ;9 YZ;) )?1 7ARj8

C9 1)! a < 5| U? -F; c1 %9%'C9 1)! a < 5| U? -F; c1 %9%'g> %'#q% >% Vg> %'#q% >% Vaa Phá, ; nh-9, 8-9n ,EPhá, ; nh-9, 8-9n ,E

Đ>% 1i /)01 U -F; '>* 1c; g> >% Đ>% 1i /)01 U -F; '>* 1c; g> >%1+-W%' V1+-W%' Vbb V" !h;7 %F!h ,hF!hV" !h;7 %F!h ,hF!h Y)Z A BY)Z A B

Phn ngPhn ng '>v*'>v* A A 33 BB UQ< +* 3>UQ< +* 3> á!á!

/0, =n/0, =n HF/ ;)$1HF/ ;)$1 A AUUBB


16/32

Va

Vb

M >?%M >?%7I?% (5*1>%'87I?% (5*1>%'8

#$1 /)01 1Ž d )%)#$1 /)01 1Ž d )%) b"# hơ- phn ngb"# hơ- phn ng

A B AUB<

M1 < 19; -F; c1 %9%'M1 < 19; -F; c1 %9%' Phá, ; nh-9, 8-9n ,:Phá, ; nh-9, 8-9n ,:

Đ>% 1i /)01 U Đ>% 1i /)01 U gia tốc trong gia tốc trong

điện trHng điện trHng V" !h;7 -*n hJ"V" !h;7 -*n hJ"/)% 1i A/)% 1i AUUBB?% 7A1)%) >?% 7AUUBB


17/32

. Phương pháp phn ;. Phương pháp phn ;

'p0,,+-ng'p0,,+-ng

()e% U()e% U>?@ /)¤%'>?@ /)¤%'

(()e%)e% UUMM*'%@1+?%*'%@1+?%

(M(M|%' 1|%' 1

;)>x# 7DC8;)>x# 7DC8

(M(M|%' U?*


18/32

ba ()e% U >?@ /)¤%'ba ()e% U >?@ /)¤%'

T+?%' 3&%' Y)d%' '>*% !% 1+?%'T+?%' 3&%' Y)d%' '>*% !% 1+?%'#q%' ;)% Y)d%' ;9 =¥% 1 =c#q%' ;)% Y)d%' ;9 =¥% 1 =c>?% -.%' 3 @>?% -.%' 3 @……

’’

’’

’

’

’

’

}/ 1 >% 1) DC 5!% >*… }/ 1 >% 1) DC 5!% >*…>?% ’ z1>%{ 3x >* @>?% ’ z1>%{ 3x >* @…… z1>%{ 3x z1>%{ 3x

’

’

’

I?% ’ z0%) 41{I?% ’ z0%) 41{

)1 341 5># 1+!% >*)1 341 5># 1+!% >*

: )1 /)e% U: )1 /)e% U

H1 341 5>#H1 341 5>#

%'-%' 12 1+!% %'-%' 12 1+!% 5/ %'5/ %'

I?% ’ 3* ;) x ‚1 >*I?% ’ 3* ;) x ‚1 >* /)01 U @ 1) ;$//)01 U @ 1) ;$/ 3* ;) >?% )9*3* ;) >?% )9* =Q%=Q%=>%) >?% ’=>%) >?% ’ #< 1+ /5*=* 3 /)9%' >%#< 1+ /5*=* 3 /)9%' >%

M1 Y)Z .% ;)$1 71)-W%' 5 A+8 -F; -* 3? P 5 '>* 1E%' >?% ’M1 Y)Z .% ;)$1 71)-W%' 5 A+8 -F; -* 3? P 5 '>* 1E%' >?% ’1+?%' 3* ;) >?% )9*1+?%' 3* ;) >?% )9*


19/32

Ư# >P w )% ;) ;J* // /)e% U >?@ /)¤%'Ư# >P w )% ;) ;J* // /)e% U >?@ /)¤%'

Ư3 4I5MƯ3 4I5M HẠN CHẾHẠN CHẾ

K)d%' c1K)d%' c1%9%' 1+f;%9%' 1+f;1>/ 341 5>#1>/ 341 5>#C ) $ 1 L *

C ) $ 1 L * T ) # *… 5% 55% 51) q> /)9%' >%1) q> /)9%' >%

Sf $1 01 @ 1) ;$/ 5%Sf $1 01 @ 1) ;$/ 5% Tc; 5o%' %' %)pTc; 5o%' %' %)p

ZP:ZP:

TŽ d )%)TŽ d )%) p.. -* phngp.. -* phng ;9 1)! ;9 1)! h9 7"gn,+*nh9 7"gn,+*n

) ;0; %* ;) %) )-%' N…S %)$1 %) ')~/ 3> %)*#


20/32

C0; 1$ C0; -W%' =; 1Ž 1+-W%'

T$ =o1 %c> 1Ž

HH 7"gn,+*n7"gn,+*n -F; 'o% !% -> >* -> ;&%'-F; 'o% !% -> >* -> ;&%'5 1$ =o1 %c> 1Ž5 1$ =o1 %c> 1Ž

,h !p ,h !p =>%) +* 1Ž=>%) +* 1Ž va chm gia ion Y vD biava chm gia ion Y vD biach+yn đ/ng đ^c biệt ch+yn đ/ng đ^c biệt ,+*ng 8-9n ,E ,+ưng,+*ng 8-9n ,E ,+ưng


21/32

Đ‚; 1+-%' ;J* r#0 1+%) /)e% U Đ‚; 1+-%' ;J* r#0 1+%) /)e% U K)?Q%'K)?Q%' )h* 5 QQ)6ng)6ng 7M¦> 3&%' ;9 /)% c 1)7M¦> 3&%' ;9 /)% c 1)%E%' Y)0; %)*#8:%E%' Y)0; %)*#8:

V6ng />, ,hR C",h*: @ 1) ;$/ 3Ž*> -F; =Q% =>%) 1Ž 3* ;) >?% ’ 3>* >% 1) 1E%' % 7z=21 1){8 3

@

%)p 3 -F; '>* 1c; 1+?%' >% 1+-W%'

V6ng -*n hJ": @ ;)#% 1Ž 1+-W%' 3> 3@ J

5% >?% )9* %'#Q ? r#0 1+%) 10> )F/

3@: 34% 1c; @ 1) ;$/

V6ng p="/7": 41 >?% ’ '>Q %? 9 >% 1) 1E%' ;)4 %

C*1)?@ A%?@

V §…V@§a

b

•

a b •


22/32

¨#© ? ;)#%1+-W%'

…

B

E <

ƒ

U

…

<

U

B

E

7)-%' 3d8

. Loz f q v B = ×

ur r ur

$


23/32

…

<

U B

E

7)-%' 3d8O

G>Q =i @ 1) ;$/ 3Ž* 1)?01 +* Y)p> >*G>Q =i @ 1) ;$/ 3Ž* 1)?01 +* Y)p> >*;9 3 ^ ] T> O @ ;)y ;)# 10; 2%' ;J*;9 3 ^ ] T> O @ ;)y ;)# 10; 2%' ;J*>% 1+-W%' j > ;)#% 1+-W%' j > ;)# O« @ ;9 3T> O« @ ;9 3aa ¬ ] %!% ;)# 10; 2%'¬ ] %!% ;)# 10; 2%';J* 5f; L?+@%1ƒ 1)@? /)-.%' U V 3;J* 5f; L?+@%1ƒ 1)@? /)-.%' U V 3aa ;|%;|%

%)p %!% ‰ %)p %!% ‰ L?ƒL?ƒ [ “[ “>%>% @ > ;)# ;)#%

‰ L?ƒ

M

@ '>* 1c; 1+?%' >% 1+-W%' T> M @ ;9@ '>* 1c; 1+?%' >% 1+-W%' T> M @ ;933bb € 3€ 3aa ‰ ‰ L?ƒL?ƒ 5% ).% g O« 3 1>% 1> h%'5% ).% g O« 3 1>% 1> h%'““>%>% @ > ;)# ;)# N @ ;9 3T> N @ ;9 3•• € 3€ 3bb ‰ ‰ L?ƒL?ƒ 5% ).% “5% ).% “>%>% @ > @ >

;)# % ¨;)# % ¨

‰ L?ƒ‰ L?ƒ

N

3

(

…

<

U

E

7)-%' 3d8 B…

@ ;)#% 1+-W%'

T> ¨ ‰ T> ¨ ‰ L?ƒL?ƒ o1 # '>Q %)-%' 3s% ;|%o1 # '>Q %)-%' 3s% ;|%

5% ).% “5% ).% “>%>% @ ;9 3 @ ;9 3–– [ 3[ 3•• C 1) =*# a C 1) =*# a

5e; ‰ 5e; ‰ L?ƒL?ƒ “ “>%>% @ 1+g 3x %h 1+!% 1+2; OU @ 1+g 3x %h 1+!% 1+2; OU3 1 ;)# Y > o1 #3 1 ;)# Y > o1 #

¨

…


24/32

()-.%' 1+%) ;)#% 1i 1+?%' điện trHng điện trHng 33 tR trHng tR trHng )0&ng gJ!)0&ng gJ! ;9 %':;9 %':

( )

. sin1

1 cos.

y

y

E t t

x c H t

E y c t

H

ω

ω

ω ω

= − ÷

= −

T+?%' 9:

jv* ;9cHng đ/cHng đ/y5+ h"ny5+ h"nC0; -W%'C0; -W%'=;=; ,E,+ưng

%h&ng%hXp %Fn.

h h


25/32

H *'%@1+?% ;% h%' H *'%@1+?% Y)d%' ;% h%'

TŽ 1+-W%'TŽ 1+-W%'Y)~/ YZ%Y)~/ YZ%

C0; @ ;)# 10; 2%'C0; @ ;)# 10; 2%';J* 1Ž 1+-W%' %'*%';J* 1Ž 1+-W%' %'*%'

@ ;)J % 1+-W%'% 3> 3 5%% 3> 3 5%

Đ %)>x# @ Đ %)>x# @3* 4/ %)3* 4/ %)

Đ Đ c1 %9%'c1 %9%'

Th*ch hp to c4c Th*ch hp to c4c mDng yV+ cG+ T mDng yV+ cG+ T caocao

Đ>% 1+-W%'


26/32

H /)e% U DC 3 R“H /)e% U DC 3 R“

H /)e% U 1 ;)>x#H /)e% U 1 ;)>x#7DC ` D>+@;1 C#++@%187DC ` D>+@;1 C#++@%18

H /)e% U U?*< ;)>x#7R“ ` R*>? “+@r#@%;x#1 ;)>x#

B>* =i 2%'B>* =i 2%'

/)Q> s% >%/)Q> s% >%/)9%'/)9%'

>%>%

VV*%?@…;*1)?@*%?@…;*1)?@ 55

U?*< ;)>x#U?*< ;)>x#

#< 1+#< 1+

B 1+g Y)0%'B 1+g Y)0%'3 ) 12 >%3 ) 12 >%

TE%' ;d%' =#$1TE%' ;d%' =#$1

/)9%' >%/)9%' >%

B>* =i 2%'B>* =i 2%'

;0;) >%;0;) >%VV>*>*

I?% ’ o% /)0I?% ’ o% /)0

@@…… o% /)0o% /)0

11


27/32

Ư# >P w )% ;) ;J* // /)e% U *'%@1+?%Ư# >P w )% ;) ;J* // /)e% U *'%@1+?%

Ư3 4I5MƯ3 4I5M HẠN CHẾHẠN CHẾ

[[

M%' * 5/M%' * 5/

R®R®TI¯NTI¯N

Cd%' %')>/Cd%' %')>/

Đ 0 Đ 0Z%) ;*?Z%) ;*?

B > *

B > *

M K

% '

M K

% '

Đ 'q ')x Đ 'q ')x

C0; // Y)0;C0; // Y)0;

N5 - F% '

B>*B>*

H %-; 5 01H %-; 5 01

B>*B>*

K)9 ;)1?

Đo1 1>x%

M%' p%'M%' p%'

Đ ;)Z%) Đ ;)Z%)U0; ;*?U0; ;*?


28/32

PHƯƠNG PHÁP O '>*%S*# 1 1)W> '>*%;0; )1 =?5 )e1 %)*#;0; )1 =?5 )e1 %)*#

Hm SOL Hm GjL

C)$1 *% # 1? %!% Hm SOLC)$1 *% # 1? %!% Hm SOL (RjC‘RSOR(RjC‘RSOR

Cd%' 1); ;)#%': M7OR8Cd%' 1); ;)#%': M7OR8UUM: %'# 5?>M: %'# 5?>

R: %)9 *5Y%: T@1+*@1)?U5*% 7TMOS8T@1+*@1)?U5*% 7TMOS8

T@1+*@1)?U5*% 7TjOS8T@1+*@1)?U5*% 7TjOS8

A5Y?U< A5#>%*1@ A5Y?U< A5#>%*1@

A5Y?U< T>1*%*1@ A5Y?U< T>1*%*1@

A5Y?U< B?+*1@ A5Y?U< B?+*1@


29/32

C0; r#0 1+%) UQ< +* Y)> 1Ž ) =?5C0; r#0 1+%) UQ< +* Y)> 1Ž ) =?5 XX ) '@5) '@5

Hm SOL

Hm GjL

a

b

•

()Q% %' 1)J< /)%()Q% %' 1)J< /)%

M7OR8M7OR8%% ’ UH…OH’ UH…OH X M7OR8X M7OR8% ` U% ` U7OH87OH8UU ’ UROH’ UROH

N)9 *5Y?U>@ 7…OR8 ` K> 5?>N)9 *5Y?U>@ 7…OR8 ` K> 5?>

N)9 )N)9 )

()Q% %' %'-%' 12()Q% %' %'-%' 12

M7OH87OR8M7OH87OR8%…a%…a ’ M7OR8’ M7OR8%% X 7OR8X 7OR8%…a%…aM…O…M7OR8M…O…M7OR8%…a%…a ’ ROH’ ROH N'-%' 12 +-F#N'-%' 12 +-F#

N'-%' 12 %-;N'-%' 12 %-;

M7OH87OR8M7OH87OR8%…a%…a ’ M7OH87OR8’ M7OH87OR8%…a%…a X 7OR8X 7OR8%…a%…aM…O…M7OR8M…O…M7OR8%…a%…a ’ H’ HbbOO

S*# /)Q% %' %'-%' 12 #%' ;) ;d ‚; 5> 1)%) Y)c> +o%S*# /)Q% %' %'-%' 12 #%' ;) ;d ‚; 5> 1)%) Y)c> +o%

T)>!# Y1T)>!# Y1 TT]];*?;*?: s# ;)#%) 1)P


30/32

H*> /)-.%' /)0/ 1? %' 1Ž r#0 1+%) =?5…'@5H*> /)-.%' /)0/ 1? %' 1Ž r#0 1+%) =?5…'@5

()J %)e%'()J %)e%'7D>/ C?*1>%'87D>/ C?*1>%'8

()J r#*% C?*1>%'87S/>% C?*1>%'8

4R 4R -F;-F; nh_ng vDonh_ng vDo#%' ;)#%' ;) /*=/*= =*# =*#

9 -F;9 -F; )o ra)o ra1Ž 1Ž1Ž 1Ž XX 7WngZ8R7WngZ8R

%' /)2 1)#;: 3Y~?

'9; Y~? %)1 %q%'

X K)d%' x#

D#%' ;D#%' ;) -F; nhlVn 3 ;)? 8R [0"#7Sc ly t;m X s# '>1

="n ,\" x# 1+!% X %'‡

%' /)2 1)#;:

%)1 3*< ).> 3r#*Q%± %'

Y > P A = ?

0 1

CC/)* 1//)* 1/ ] H ^

Y>P =?01

Đ < %'


31/32

C0 .% T)< 3 ;0; %

² r#*% 1 1)@? ³>


32/32

´ C)e%' 1d> ² ;) -F; 1 =c ;)-.%';J* 1 =c Y)9* ); 1)#; ;)-.%' 1+%)); 5># g ;J* )*> 1+-W%' > ); %>

1>%' 1) '>> MIT 3 l*5@´ C)> 1>1 U>% U@ 1>:´ )11/:‡‡>@%1*)15

´ )11/:‡‡>@%1*µ1)#*1µ%))15
http://mientayvn.com/OCW/MIT/Vat_li.htmlhttp://mientayvn.com/OCW/MIT/Vat_li.html

Documents

Cac Phuong Phap Che Tao Mang