共焦点光学式非接触変位センサ

2 IFD2401共焦点光学式変位センサ

光源（ハロゲン・LED）

レンズ

ビーム光

対象物

特徴●測定スポット径が極小で一定●測定対象物を選ばない●高精度・高分解能●細穴深さ測定が可能●サンプリングレート 30ｋＨｚ（オプション）●片側からの透明ガラスの厚み測定が可能

共焦点方式の測定原理多色光源としての白色光をマルチレンズを通して測定対象物の表面に合焦させます。白色光はレンズの色偏差により単色光に分散されます。工場出荷時に各波長の単色光には一定の距離が割り当てられています。測定対象物表面に正確に焦点があった波長の光（単色光）のみがピンホールを通過しスペクトルメータにて検出し、距離・変位として出力されます。

装置の構成共焦点光学式変位計測システム ＩＦＤ２４０１はコントローラとセンサにて構成されるシステムです。コントローラとセンサは光ファイバーで接続（最大５０ｍ）されます。センサ部には可動部が無く磨耗がありません。本システムはCEマーキングATEX（防爆）指令に準拠しています。システムは、光源としてＬＥＤを採用したコントローラと光ファイバケーブルおよび、センサヘッドから構成されます。

性能と特殊機能独自の測定原理により、高精度で変位と距離が測定可能です。拡散反射表面と鏡面反射表面の両方が測定可能です。測定対象物が透明体の場合、表面までの距離と裏面までの距離が片側から測定可能です。多層の透明体を測定する場合には各層の厚みを計測できる、専用のソフトウェアをご用意しております。

3

P6～7

P8～9

P10～11

IFS2400/2401シリーズ

多目的タイプ

φ4mm超小型タイプ

標準タイプ

豊富な形状、仕様で多種のアプリケーションに適合します。透明体や多層の透明体の裏面までの距離や厚みを片側から測定可能です。微細表面を超高分解能で測定可能です。CEマーキングATEX（防爆）指令に準拠

IFS2402シリーズ

直径４ｍｍの超小型センサ透明体や多層の透明体の裏面までの距離や厚みを片側から測定可能です。堅牢設計側視タイプCEマーキングATEX（防爆）指令に準拠

IFS2403シリーズ

大きなレンズ開口面積により大きな基準距離を持つ直径８mmの高性能小型センサ透明体や多層の透明体の裏面までの距離や厚みを片側から測定可能です。GRINレンズ（Gradient index lens：屈折率分布型レンズ）を使用※媒質内の屈折率が座標関数により連続的に変動するレンズ

堅牢設計CEマーキングATEX（防爆）指令に準拠

記載しているデータ等は参考値で有りご使用条件、その他諸条件によりカタログ或いは仕様書記載のデータ値とは異なる場合が有ります。

保証について①製品の保証期間については、出荷後1年とさせて頂きます。②製品の保証範囲は、①の保証期間中に製造者の責により故障が生じた場合は、製品の故障部分の修理、又は製品内の部品交換を行います。但し、以下に該当する場合は、保証範囲適用外とさせて頂きます。a） 製品の仕様値または、別途取り交わした仕様書などで確認された以外の不適当な条件、環境、取扱い、又は使用による場合。b） 故障の原因が納入品以外の事由による場合。c） 当社以外による納入品の改造または修理による場合。d） センサ製品本来の使用方法以外の使用による場合。e） 出荷当時の科学、技術水準では予見できなかった理由による場合。f） その他、天災、災害などで、製造者側の責にあらざる場合。③製品の保証とは、センサ製品単体の保証を意味するものです。当製品の特定用途での適合性や製品により発生する二次的価値の保証、損失の補償は致しかねます。また、きわめて高い信頼性、安全性が要求される用途、人命にかかわる用途（原子力、航空宇宙、社会基盤施設、医療機器など）を目的として設計、製造された製品では有りません。このような環境下での使用については保証の適用範囲外とさせて頂きます。

2 IFD2401共焦点光学式変位センサ

光源（ハロゲン・LED）

レンズ

ビーム光

対象物

特徴●測定スポット径が極小で一定●測定対象物を選ばない●高精度・高分解能●細穴深さ測定が可能●サンプリングレート 30ｋＨｚ（オプション）●片側からの透明ガラスの厚み測定が可能

共焦点方式の測定原理多色光源としての白色光をマルチレンズを通して測定対象物の表面に合焦させます。白色光はレンズの色偏差により単色光に分散されます。工場出荷時に各波長の単色光には一定の距離が割り当てられています。測定対象物表面に正確に焦点があった波長の光（単色光）のみがピンホールを通過しスペクトルメータにて検出し、距離・変位として出力されます。

装置の構成共焦点光学式変位計測システム ＩＦＤ２４０１はコントローラとセンサにて構成されるシステムです。コントローラとセンサは光ファイバーで接続（最大５０ｍ）されます。センサ部には可動部が無く磨耗がありません。本システムはCEマーキングATEX（防爆）指令に準拠しています。システムは、光源としてＬＥＤを採用したコントローラと光ファイバケーブルおよび、センサヘッドから構成されます。

性能と特殊機能独自の測定原理により、高精度で変位と距離が測定可能です。拡散反射表面と鏡面反射表面の両方が測定可能です。測定対象物が透明体の場合、表面までの距離と裏面までの距離が片側から測定可能です。多層の透明体を測定する場合には各層の厚みを計測できる、専用のソフトウェアをご用意しております。

4 IFD2401アプリケーション

透明体の厚み測定ガラスやプラスチックなどの透明の厚みを片側から高精度に測定可能です。

液面レベル計測メディカルトレイやマイクロタイタープレートに入っている液面レベルの測定が可能です。

精密測定IFD2401の持つ超高分解能は極微小な変位量計測を可能にします。

積層された透明体の隙間計測合わせガラスにおける、ガラスとガラスの隙間量を片側から測定可能です。

5

穴底検査穴の内壁や底の狭小空間を直径４mmの超小型センサを用いて検査が可能です。

空洞内壁検査側視タイプのセンサを用いて空洞内部の検査が可能です。

深穴底の厚み計測２つのセンサを対抗配置し、深穴底の厚みの測定が可能です。

試験管の管壁厚み計測ガラスやプラスチック製の試験管の厚みの測定が可能です。

液面レベル液面などの光沢表面の測定が可能です。

4 IFD2401アプリケーション

透明体の厚み測定ガラスやプラスチックなどの透明の厚みを片側から高精度に測定可能です。

液面レベル計測メディカルトレイやマイクロタイタープレートに入っている液面レベルの測定が可能です。

精密測定IFD2401の持つ超高分解能は極微小な変位量計測を可能にします。

積層された透明体の隙間計測合わせガラスにおける、ガラスとガラスの隙間量を片側から測定可能です。

6 IFS2400/2401シリーズ多目的タイプ

IFS 2401-0.12 IFS 2401-0.4ø27ø20

178.2

37.628

SMR 10.5

MR 0.3

ø11

SMR 10

MR 1

ø11

ø27

ø20

37.6

176.1

28

IFS 2401-1 IFS 2401-3

SMR 16.3

MR 3

2837.6

145.5

ø27ø20

ø6

2837.6

218.66

SMR 3.35

MR 0.12

IFS 2401-25

ø8

SMR 20.2

MR 22

2837.62

151.8

MR＝測定範囲　　SMR＝測定範囲始点　　寸法単位mm

IFS2400-10

ø32

ø50

ø28.3

149.2

105.7

191.5

MR 8.5

SMR 67

ø59

SMR 213

MR 24

59.7

55.3

172.5

IFS 2400-24IFS 2401-10

ø11

SMR 27

MR 10

2837.6

145.5

ø27ø20

ø11

ø27 ø27 ø27ø20 ø20

公差：直径＋0.2/-0.1mm、長さ±0.1mm

SMR 63

MR 20

IFS 2400-20（01）

197

ø62

ø45

34.4

167

ø21

ø95

特長●豊富な形状と仕様●透明体や多層の透明体の裏面までの距離や厚みを片側から測定可能です。

●高精度（非常に優れた空間分解能）で変位と距離が測定可能

●CEマーキングATEX（防爆）指令に準拠

ＩＦＳ２４００／２４０１シリーズは特に角度特性に優れ、豊富なヘッド仕様は多種のアプリケーションに対応します。フィルムやガラス、プラスチックなどの光沢表面、液体や透明体などの鏡面反射体から拡散反射体まで、測定対象物の表面状態を問わず測定が可能です。

7

コントローラ型式 IFC2401

センサヘッド型式 IFS 2401-0.12

IFS 2401-0.4

IFS 2401-1

IFS 2401-3

IFS 2401-10

IFS 2400-10

IFS2400-20（01）

IFS 2400-24

IFS 2401-25

測定範囲

測定開始距離 約

スポット径

直線性≦±0.1% FSO ≦±0.05% FSO

分解能0.004% FSO

重量センサ

センサ＋MA 2400

最大傾き角度（鏡面反射）

サンプリングレート 100～2000Hzで調整可能（オプション外部光源装備の2431シリーズは30kHz）

使用周囲照度 30.000 lx

光源

保護構造（センサ／コントローラ）

温度特性（センサ）

使用温度範囲

保存温度範囲

出力

電源

センサケーブル（光ファイバケーブル）

コントローラ寸法

機能

電磁適合（EMC）

FSO＝フルスケール出力データは一定温度（室温）、サンプリング2kHz、光沢平面、計測時のものです。測定対象の表面条件への調整も可能です。

取付リング装着ブロック

723

2010

10

3013

30

M5x0.8 - 6H

センサIFS2401-X用MA2400-27

センサIFS2400-10用MA 2400-50

センサIFS2400-24用MA 2400-59

ø46

49.75

ø66

60.5

ø75

ø59ø50ø27

65

M5x0.8 - 6H

アクセサリ：装着アダプタセンサ2400/2401シリーズ用MA2400

LED

IP 40

0.01% FSO / °C

+10°C ...+50°C

-30°C …+70°C

2x 0 - 10V (15 Bit) / RS 232 / RS 422 / USB 2.0

24VDC

長さ：標準3m、オプションで最大50m、曲げ半径：静的30mm、動的40mm

(D x W x H): 111.5 x 162 x 138mm

トリガー機能、同期、校正データ20種を記憶、LED表示灯、DINレール対応、デジタルインタフェース、分析／設定／データ取得用ソフトウェア

EN 50081-1 and EN 61000-6-2

22mm

20.2mm

100µm11µm

~0.9µm

0.19kg

0.37kg

±8.5°

24mm

213mm

100µm12µm

~1µm

0.52kg

0.76kg

±5°

20mm

63mm

100µm2.8µm

0.7µm

3.0kg

-

±20°

8.5mm

67mm

50µm 5µm

0.4µm

0.68kg

0.90kg

±14°

10mm

27mm

50µm5µm

0.4µm

0.19kg

0.37kg

±14°

3mm

16.3mm

25µm1.5µm

0.12µm

0.16kg

0.34kg

±22°

1mm

10mm

10µm0.5µm

0.04µm

0.22kg

0.40kg

±27°

300µm

10.5mm

10µm0.3µm

0.012µm

0.22kg

0.40kg

±28°

120µm

3.4mm

7µm0.12µm

~0.005µm

0.20kg

0.38kg

±43°

※データ等は参考値であり、御使用条件、その他諸条件によってカタログデータ値とは異なる場合がございます。

6 IFS2400/2401シリーズ多目的タイプ

IFS 2401-0.12 IFS 2401-0.4ø27ø20

178.2

37.628

SMR 10.5

MR 0.3

ø11

SMR 10

MR 1

ø11

ø27

ø20

37.6

176.1

28

IFS 2401-1 IFS 2401-3

SMR 16.3

MR 3

2837.6

145.5

ø27ø20

ø6

2837.6

218.66

SMR 3.35

MR 0.12

IFS 2401-25

ø8

SMR 20.2

MR 22

2837.62

151.8

MR＝測定範囲　　SMR＝測定範囲始点　　寸法単位mm

IFS2400-10

ø32

ø50

ø28.3

149.2

105.7

191.5

MR 8.5

SMR 67

ø59

SMR 213

MR 24

59.7

55.3

172.5

IFS 2400-24IFS 2401-10

ø11

SMR 27

MR 10

2837.6

145.5

ø27ø20

ø11

ø27 ø27 ø27ø20 ø20

公差：直径＋0.2/-0.1mm、長さ±0.1mm

SMR 63

MR 20

IFS 2400-20（01）

197

ø62

ø45

34.4

167

ø21

ø95

特長●豊富な形状と仕様●透明体や多層の透明体の裏面までの距離や厚みを片側から測定可能です。

●高精度（非常に優れた空間分解能）で変位と距離が測定可能

●CEマーキングATEX（防爆）指令に準拠

ＩＦＳ２４００／２４０１シリーズは特に角度特性に優れ、豊富なヘッド仕様は多種のアプリケーションに対応します。フィルムやガラス、プラスチックなどの光沢表面、液体や透明体などの鏡面反射体から拡散反射体まで、測定対象物の表面状態を問わず測定が可能です。

8 IFS2402シリーズφ4mm超小型タイプ

68 69

Ø4

15

ハウジング ø4

ケーブル ø2.1 ケーブル ø2.1

ケーブル保持部 ケーブル保持部

レンズ ø1.8

ハウジング

15

SMR

MR

IFS 2402-0.4/1.5/4/10 IFS 2402/90-1.5/4/10

MR＝測定範囲　　SMR＝測定範囲始点　　寸法単位mm

SMR

6.25

MR

73.25

1.94

2

公差：±0.1mm

3

2.5

47.25

特長●直径４ｍｍの超小型センサ●透明体や多層の透明体の裏面までの距離や厚みを片側から測定可能です。

●内径4.5ｍｍの深穴の底板厚み測定/内壁検査

●堅牢設計●側視タイプ●CEマーキングATEX（防爆）指令に準拠

ＩＦＳ２４０２シリーズは直径４ｍｍの超小型サイズのため、特に狭小なスペースへの設置が必要なアプリケーションに適しています。測定方向が軸方向に対し９０°側視タイプのセンサは穴の内壁検査にご使用頂けます。

9

コントローラ型式 IFC2401

センサヘッド型式 IFS 2402-0.4 IFS 2402-1.5 IFS 2402/90-1.5 IFS 2402-4 IFS 2402/90-4 IFS 2402-10 IFS 2402/90-10

測定範囲

測定開始距離 約

スポット径

直線性≦ ± 0.08% FSO ≦ ± 0.2% FSO

分解能0.004% FSO 0.01% FSO

重量 15g

最大傾き角度（鏡面反射） ±5° ±3° ±3° ±1.5° ±1.5°

サンプリングレート

使用周囲照度

光源

保護構造（センサ／コントローラ）

使用温度範囲

保存温度範囲

出力

電源

センサケーブル（光ファイバケーブル）

コントローラ寸法

機能

電磁適合（EMC）

FSO＝フルスケール出力1) センサ軸から測定する測定範囲の始点データは一定温度（室温）、サンプリング2kHz、光沢平面計測時のものです。測定対象の表面条件への調整も可能です。

3

12

7.5

15

11

3

3

1.5±0.1

ø4 H9

22 22

4.520

5

ø 3.4

ø8

M4

4 4

4.5

アクセサリ：装着アダプタセンサ2402シリーズ用MA2402

6.5mm

3.5mm1)

100µm

13µm

~0.7µm

6.5mm

2.5mm

100µm

13µm

~0.7µm

2.5mm

2.5mm1)

20µm

2µm

0.1µm

3.5mm

1.9mm

20µm

~3µm

0.14µm

1.5mm

2.5mm 1)

20µm

1.2µm

0.06µm

1.5mm

0.9mm

20µm

1.2µm

0.06µm

±5°

400µm

1.5mm

10µm

~0.3µm

0.016µm

±8°

100～2000Hzで調整可能（オプション外部光源装備の2431シリーズは30kHz）

30.000 lx

LED

IP 40

+10°C …+50°C

-30°C …+70°C

2x 0 - 10V (15 Bit) / RS 232 / RS 422 / USB 2.0

24VDC

長さ：一体型ケーブルは2m、オプションで最大50m、曲げ半径：静的30mm、動的40mm

(D x W x H): 111.5 x 162 x 138mm

トリガー機能、同期、校正データ20種を記憶、LED表示灯、DINレール対応、デジタルインタフェース、分析／設定／データ取得用ソフトウェア

EN 50081-1 and EN 61000-6-2

※データ等は参考値であり、御使用条件、その他諸条件によってカタログデータ値とは異なる場合がございます。

8 IFS2402シリーズφ4mm超小型タイプ

68 69

Ø4

15

ハウジング ø4

ケーブル ø2.1 ケーブル ø2.1

ケーブル保持部 ケーブル保持部

レンズ ø1.8

ハウジング

15

SMR

MR

IFS 2402-0.4/1.5/4/10 IFS 2402/90-1.5/4/10

MR＝測定範囲　　SMR＝測定範囲始点　　寸法単位mm

SMR

6.25

MR

73.25

1.94

2

公差：±0.1mm

3

2.5

47.25

特長●直径４ｍｍの超小型センサ●透明体や多層の透明体の裏面までの距離や厚みを片側から測定可能です。

●内径4.5ｍｍの深穴の底板厚み測定/内壁検査

●堅牢設計●側視タイプ●CEマーキングATEX（防爆）指令に準拠

ＩＦＳ２４０２シリーズは直径４ｍｍの超小型サイズのため、特に狭小なスペースへの設置が必要なアプリケーションに適しています。測定方向が軸方向に対し９０°側視タイプのセンサは穴の内壁検査にご使用頂けます。

10 IFS2403シリーズ標準タイプ

76

SMR

MR

15

IFS 2403-0.4/1.5/4/10

MR＝測定範囲　　SMR＝測定範囲始点寸法単位mm

ケーブル ø2.1

ケーブル保持部

公差：±0.1mm

特長●直径８ｍｍの小型センサ●GRINレンズ（Gradient index lens：屈折率分布型レンズ）を使用※媒質内の屈折率が座標関数により連続的に変動するレンズ

●大きな基準距離●堅牢設計●CEマーキングATEX（防爆）指令に準拠

GRINレンズ（Gradient index lens：屈折率分布型レンズ）を用いたＩＦＳ２４０３シリーズはＩＦＳ２４０１シリーズとＩＦＳ２４０２シリーズの特長を併せ持つセンサです。大きな基準距離を持ちながら直径８ｍｍと小型形状のセンサは角度特性にも優れています。

ハウジング ø8

11

コントローラ型式 IFC2401

センサヘッド型式

測定範囲

測定開始距離

スポット径

直線性

分解能

重量 25g

最大傾き角度（鏡面反射）

サンプリングレート

使用周囲照度

光源

保護構造（センサ／コントローラ）

使用温度範囲

保存温度範囲

出力

電源

センサケーブル（光ファイバケーブル）

コントローラ

電磁適合（EMC）FSO＝フルスケール出力データは一定温度（室温）、サンプリング2kHz、光沢平面計測時のものです。測定対象の表面条件への調整も可能です。

IFS 2403-10

10mm

11mm

56µm20µm

≦± 0.2% FSO1µm

0.01% FSO

±6°

IFS 2403-4

4mm

14.7mm

28µm~3µm

0.16µm

±6°

IFS 2403-1.5

1.5mm

8.1mm

15µm1.2µm

≦± 0.08% FSO0.06µm

0.004% FSO

±16°

IFS 2403-0.4

400µm

2.8mm

9µm~0.3µm

0.016µm

±13°

100～2000Hzで調整可能（オプション外部光源装備の2431シリーズは30kHz）

30.000lx

LED

IP40

+10 ... +50°C

-30 ... +70°C

2x 0 - 10V (15 Bit) / RS 232 / RS 422 / USB 2.0

24VDC

長さ：一体型ケーブルは2m、オプションで最大50m、曲げ半径：静的30mm、動的40mm

(D x W x H): 111.5 x 162 x 138mm

トリガー機能、同期、校正データ20種を記憶、LED表示灯、DINレール対応、デジタルインタフェース、分析／設定／データ取得用ソフトウェア

EN 50081-1 and EN 61000-6-2

約

寸法

機能

※データ等は参考値であり、御使用条件、その他諸条件によってカタログデータ値とは異なる場合がございます。

10 IFS2403シリーズ標準タイプ

76

SMR

MR

15

IFS 2403-0.4/1.5/4/10

MR＝測定範囲　　SMR＝測定範囲始点寸法単位mm

ケーブル ø2.1

ケーブル保持部

公差：±0.1mm

特長●直径８ｍｍの小型センサ●GRINレンズ（Gradient index lens：屈折率分布型レンズ）を使用※媒質内の屈折率が座標関数により連続的に変動するレンズ

●大きな基準距離●堅牢設計●CEマーキングATEX（防爆）指令に準拠

GRINレンズ（Gradient index lens：屈折率分布型レンズ）を用いたＩＦＳ２４０３シリーズはＩＦＳ２４０１シリーズとＩＦＳ２４０２シリーズの特長を併せ持つセンサです。大きな基準距離を持ちながら直径８ｍｍと小型形状のセンサは角度特性にも優れています。

ハウジング ø8

12

Modifications reserved / Y9761149-H041050DGO

共焦点光学式変位測定システム

センサケーブル C2401

センサIFS240x コントローラ

IFC2401IFC2431

光ケーブルについて使用温度範囲：-50℃～90℃切断部分：APC研磨曲げ半径：40mm

共焦点光学式変位測定システム　ＩＦＤ２４０１シリーズはコントローラ：ＩＦＣ２４Ｘ、１センサ：ＩＦＳ２４０Ｘ、光ファイバーケーブル：Ｃ２４０１-Ｘで構成されます。コントローラ１台に対し、最大２０種類のセンサヘッド校正データを記憶できます。

システム構成

マルチモード芯線 50µm

金属被覆 125µm

アクリレート <250µm

シース：PVC（ポリビニルクロライド）

チューブ：PVDF（ポリビニリデンフルオライド）ケーブル保持部

コントローラIFC2401

168162 111.5

138

128

（寸法単位mm、縮尺不定）

Ø6

6

9

Ø2 8.8 13

25.5202.2

挿し込み簡単プラグ：E2000標準コネクタ

ソフトウェア2400/2401/2402/2403：デモソフトウェア 無償のデモ用ソフトウェアマルチピークソフトウェア 各種データインタフェースに対し最大5層の

多層厚み測定用ソフトウェア

アクセサリー2400/2401/2402/2403：IFL2431/Xe/300 共焦点コントローラIFC2431

サンプリング（30kHz）用のキセノン光源

PS2010 24V/2.5A電源

アクセサリー2400/2401： C2401/vac 光ファイバケーブルの真空フィードスルー用C2401-X 光ファイバケーブル

（3m、10m、特注仕様長最大50m） C2401/PT-X 外装ケーブル （3m、10m、特注仕様長最大50m）

アクセサリー2402/2403：C2402/vac 光ファイバケーブルの真空フィードスルー用CE2402-x 延長センサケーブル

（3m、10m、13m、30m、50m）Option PT プロテクトチューブ仕様ケーブル

（3m、10m、カスタム仕様長最大50m）