純水製造装置 オートスチル(AUTO STILL) 型式ＷＡ２００

サービスマニュアル

第 3 版

《お願い》

この装置のサービスを行うにあたっては、取扱説明書、サービスパーツリストを併用し、実

施して下さい。

目 次

１.仕様 ....................................................................... １

２.外観図 ..................................................................... ２

操作パネル ......................................................................................................................................... ３

３.配線図 ..................................................................... ４

４.配管図 ..................................................................... ５

５.動作原理 ................................................................... ６

６.故障診断方法 ............................................................... ８

エラーコードの故障表示と内容 ........................................................................................................ ８

エラーコード以外の故障表示と内容 ................................................................................................. ９

故障処理方法.................................................................................................................................. １０

流量調整値 ..................................................................................................................................... １５

７.交換部品表 ............................................................... １６

１

１.仕様

型 式 ＷＡ２００

性

能

採 取 方 法 蒸留⇒イオン交換⇒ろ過

採 取 純 水 蒸留水・イオン交換水

蒸留水製造量 約１．８ /h

採 取 流 量 1 /min 以上（イオン交換水・蒸留水）

構

成

蒸留器

ボイラ 超硬質ガラス

凝縮器 超硬質ガラス

ヒータ セラミックヒータ 1.4kw

蒸留水貯蔵タンク ポリエチレン製 20

原水側フィルタ 前処理ｶｰﾄﾘｯｼﾞ(PWF-1) 活性炭＋中空糸膜 0.1μｍ

軟水器 ワンタッチ接続式カートリッジ型（OWA30）樹脂量 3

イオン交換樹脂 カートリッジ

ワンタッチ接続式カートリッジ型(CPC-N) 混床式 樹脂量 3

メンブレンフィルタ ろ過精度（OWN10）0.1μｍ

水質計

温度自動補償 ﾃﾞｼﾞﾀﾙ表示（電気伝導率・比抵抗切り替え式） 0.05～300×10 -4 S/m･25℃ （電気伝導率表示） 18～0.1×104Ω･m･25℃ （18～１の範囲では比抵抗、整数表示）

送水ポンプ マグネットポンプ

タンク水位表示 5段階 LED表示

採取容量設定範囲 0.1～99.9

規

格

原水圧力範囲 0.5×100 kPa 5×100kPa（0.5～5 kgf／cm2）

電源（50／60 Hz） AC100V 15A

外 形 寸 法 ＊１ (幅×奥行き×高さ)

570×455（590：採取口含む）×730 （mm）

重 さ 約 50（kg）

付 属 機 構

・水質異常警報 ・冷却水量自動調節 ・ヒータ空焚き防止 ・ヒータ過熱防止 ・漏水検知 ・断水検知 ・漏電ブレーカ ・初留水排水 ・蒸留水タンクフロートスイッチ異常検知 ・蒸留水採取容量設定機構 ・イオン交換水採取容量設定機構

付属品

給水ホース、排水ホース、接続ホース Assy 各１本 取扱説明書 本書 保証書 １枚 ホースクランプ １個 缶石洗浄剤（１ｋｇ） １個 前処理カートリッジ １個 軟水樹脂カートリッジ １個 イオン交換樹脂カートリッジ １個 メンブレンフィルタ ２個 シールテープ １個

標準外付属品

型式 商品コード ・給水口ユニット ···························（OWH10）253686 ・排水トラップ ·····························（OWI10）253211 ・加圧ポンプ ·······························（OWJ10）253220 ・架台 ·····································（AS200）253175

＊ 外形寸法は突起部を含みません。

２

２.外観図

各部名称を示しています。

前処理カートリッジ

軟水樹脂カートリッジ（OWA30）

操作パネル

給水口

ボイラ水排水コック

ヒータ端子台

ボイラ

ヒータ

定格銘板

イオン交換樹脂カートリッジ

（CPC-N）

メンブレンフィルタ

(蒸留水採水口)

排水口

メンブレンフィルタ

(イオン交換水採水口)

漏電ブレーカ

蒸留水タンク

製造番号

３

２.外観図

操作パネル

① パワースイッチ

② 動作状態表示ランプ

③ セレクトスイッチ

④ 測定電極表示ランプ

⑤ 水質表示単位

⑥ インジケータ（１）

⑦ 異常時表示ランプ

⑧ 蒸留水貯蔵量インジケータ

⑨ 純水採取方法切り替えスイッチ

⑩ 採取方法表示ランプ

⑪ イオン交換水採取スイッチ

⑫ イオン交換水採取時表示ランプ

⑬ 蒸留水採取スイッチ

⑭ 蒸留水採取時表示ランプ

⑮ 採取容量単位

⑯ インジケータ（２）

⑰ 機能キー

⑱ 実行キー

⑲ アップキー

⑳ ダウンキー

４

３.配線図

配線図

1

2

3

4

5

1 2

13

J2 J3

J1MOS RELAY

1 2 3J4

1 2 1 2 1 2 1 2 1 2

13 J1

1 5

J7

J2 J3 J4 J5

RELAY 1

J13

1 5 6 10

J14

1 2 3 4 5 6

12345678910

13

J2

1 30

1 30

PIO-5

1

4

13

J7

J15

1

35

SV2 SV1 SV3 SV4

J1

J111

3 2

34

J3

J5

J11

J6

FS4

FS5

FS6

FS7

FS8

E1

WL

PLANAR

12

34

56

78

J4

T1ELB

AC100V50/60 Hz

1

3

Tf2

Tf1

4

1

2

3

4

T2

5

OH H

1 2

J6

FS3

FS2

FS1

PS

X1

Bim_SW

1

4J12E2

5

1

4J19 FL

1 2 1 2 1 2 1 2

13 J1

1 5

J7

J2 J3 J4 J5

RELAY 2

X1 SV5 SV6

1 2

J6

SV7P1 PS2

SSR1

T1T2

記号 部品名 記号 部品名 記

号

部品名

E1

E2

ELB

FL

FS1

FS2

FS3

FS4

FS5

FS6

FS7

FS8

H

MOS RELAY

イオン交換水水質電極

蒸留水水質電極 漏電ブレーカ

流量センサ

ヒータ制御用フロートスイッチ

ボイラ水位制御用フロートスイッチ

ボイラ過熱検知用フロートスイッチ

水位検知用フロートスイッチ

水位検知用フロートスイッチ

水位検知用フロートスイッチ

水位検知用フロートスイッチ

水位検知用フロートスイッチ

ヒータ

モス・リレー基板

SV1

SV2 SV3

SV4

SV5

SV6

SV7

Bim_SW

P1

PIO-5

PLANAR

RELAY1

RELAY2

SSR

ボイラ水位調整用電磁弁

ボイラ給水用電磁弁

初留水排水用電磁弁

ボイラ水排水用電磁弁

イオン交換水採取用電磁弁

冷却水用電磁弁

蒸留水採取用電磁弁

過熱検知

マグネットポンプ

操作基板

制御基板

リレー基板

リレー基板

SSR 基板

T1

T2

Tf1

Tf2

WL

X1

PS1

PS2

端子台

端子台

トランス

トランス

漏水検知器

リレー

圧力スイッチ(原水)

圧力スイッチ(ポンプ)

５

４.配管図

配管系統図

1 減圧弁 17 蒸留水水質電極

2

圧力スイッチ 18

初留水排水用電磁弁

3

冷却水用電磁弁 19

イオン交換水採取用電磁弁

4

ボイラ給水用電磁弁 20

蒸留水採取用電磁弁

5

前処理カートリッジ 21

流量センサ

6 軟水樹脂カートリッジ 22

イオン交換水採取口

7

フロート筒 23

蒸留水採取口

8

ボイラ過熱検知用フロートスイッチ 24

蒸留水タンク

9 ボイラ水位制御用フロートスイッチ 25

水位検知用フロートスイッチ

10 ヒータ制御用フロートスイッチ 26

エアーフィルタ

11

ボイラ水排水用電磁弁 27

マグネットポンプ

12 ボイラ排水コック 28

圧力検知器

13

ボイラ 29 イオン交換樹脂カートリッジ

14

ヒータ 30 蒸留水タンク排水口

15

凝縮器 31 メンブレンフィルタ

16 イオン交換水水質計電極 32

メンブレンフィルタ

ボイラ水位調整用電磁弁

2

3

4

6

15

13

14

7

8

5

9

11

12

17

25

29

16

19

22

23

24

30

27

20

26

28

21

10

18

31

32

33

33

６

５.動作原理

（１）ボイラ給水と蒸留動作

●漏電ブレーカを｢入｣にし、パワースイッチを押しますと、 4 ボイラ給水用電磁弁、33ボイラ水位

調整用電磁弁が開き、ボイラに給水します。 7 フロート筒内の 9 ボイラ水位制御用フロートスイ

ッチが水位検知しますと、 14 ヒータに通電して蒸留が開始します。ボイラへの給水は 9 ボイラ水

位制御用フロートスイッチにより、ボイラ給水用電磁弁、ボイラ水位調整用電磁弁を開閉すること

により制御します。ボイラ水は 6時間毎に自動排水を行ない、ボイラ水の濃縮を防止いたします。

（２）冷却水の流れ

●蒸留動作中は 1 減圧弁、 3 冷却水用電磁弁、 15 凝縮器の順に通水、排水します。蒸留水タンク

満水時には蒸留が停止しますので、自動的に冷却水も通水を停止します。

7

9

14

1

3

15

4

5

6

13

33

７

５.動作原理

（３）蒸留水の採取

● 15 凝縮器で凝縮された蒸留水は、蒸留開始から約 10分間は、18 初留水排水用電磁弁が開き初留水

を排水した後、 17 蒸留水水質電極より 24 蒸留水タンクに貯蔵します。タンク内の最上部 25 フロー

トスイッチが作動しますと、満水と判断して蒸留を停止します。蒸留水を採取し、一定量消費しま

すと、自動的に蒸留水を作り出します。

貯蔵した蒸留水は 27 ポンプにより、21 流量センサ、20 蒸留水採取用電磁弁、23 蒸留水採取口、32

メンブレンフィルタを経て採取します。 ただし、タンク内の蒸留水貯蔵量が約２㍑以下になりますとポンプの空運転防止のため、最下部の

フロートスイッチが作動してポンプは、自動的に停止します。

（４） イオン交換水の採取

●貯蔵された蒸留水は 27 ポンプにより、 21 流量センサ 29 イオン交換樹脂カートリッジ、 16 イオ

ン交換水水質電極、 19 イオン交換水採取用電磁弁、 22 イオン交換水採取口、 31 メンブレンフィル

タを経て採取します。

ただし、タンク内の蒸留水貯蔵量が約２㍑以下になりますとポンプの空運転防止のため、最下部の

フロートスイッチが作動してポンプは自動的に停止します。

15

17

18

27

25

24

32

21

20

25

29

16

19

22

27

21

31

23

８

６.故障診断方法

エラーコードの故障表示と内容

安全装置 表示個所 表示 原因 動作時の現象 処理方法

漏水検知 インジケー

タ（１）

点灯

漏水 ヒータ、電磁弁等、

全ての制御が”ＯＦ

Ｆ”になります。

故障処置法

１０ページ参照

ヒータ過熱

点灯

ヒータの過

熱

ヒータ、電磁弁等、

全ての制御が”ＯＦ

Ｆ”になります。

故障処置法

１０ページ参照

フロートスイッチ

(蒸留水タンク)

異常検知

点灯

蒸留水タン

クフロート

スイッチ異

常

ヒータ、電磁弁等、

全ての制御が”ＯＦ

Ｆ”になります。

故障処置法

１１ページ参照

水位異常検知

点灯

フロート筒

水位異常

ヒータ、電磁弁等、

全ての制御が”ＯＦ

Ｆ”になります。

故障処置法

１１ページ参照

フロートスイッチ

(フロート筒)

異常検知

点灯

フロート筒

フロートス

イッチ異常

ヒータ、電磁弁等、

全ての制御が”ＯＦ

Ｆ”になります。

故障処置法

１２ページ参照

電子回路異常検知

点灯

電子回路上

の故障

ヒータ、電磁弁等、

全ての制御が”ＯＦ

Ｆ”になります。

故障処置法

１２ページ参照

●故障時には、インジケータ（１）にエラーコードを点灯表示する他、異常時表示ランプ が点滅表

示します。

９

６.故障診断方法

エラーコード以外の故障表示と内容

安全装置 表示個所 表示 原因 動作時の現象 処理方法

水質異常検

知

インジケー

タ（１）

イオン交換水の水質

が規定値以下に低下

（１×１０－４Ｓ／

ｍ以上になったと

き）

Ｃ １の警報表示

が繰り返される他

は通常通りの動作

を行います。

イオン交換樹脂の

寿命で装置の故障

ではありません。新

品と交換してくだ

さい。

蒸留水の水質が規定

値以下に低下

（１０×１０－４Ｓ

／ｍ以上になったと

き）

Ｃ ３の警報表示

が繰り返される他

は通常通りの動作

を行います。

軟水樹脂の寿命で

装置の故障ではあ

るません。新品と交

換してください。

水質が測定可能範囲

以下に低下

その電極を選択し

たとき左記の表示

をする他は通常の

動作をおこないま

す。

Ｃ １、Ｃ ３も同

時に表示されます。

各々の処置に従っ

てください。

センサ異常

検知

測定電極に水がない

電極の断線

その電極を選択し

たとき左記の表示

をする他は通常の

動作をおこないま

す。

装置の動作上発生

することがありま

すが、通水時におい

ても長期間解消し

ないときは、初留水

排水用電磁弁が閉

じていることを確

認してください。

｢待機｣

ランプ

点滅

断水または原水圧低

下

原水圧が５０ｋＰａ

(０．５kgf／ｃｍ２）

以下になったとき

蒸留動作、イオン交

換水採取が一時的

に停止します。

原水の水圧および

水道栓が開いてい

ることを確認し、そ

うでない場合は、圧

力スイッチ自体の

故障の可能性もあ

ります。

測定電極表

示ランプ 点滅

測定電極の温度補償

用サーミスタの断線

その電極をセレク

トした場合には、温

度補償無しの値を

表示します。

電極を交換してく

ださい。

１０

６.故障診断方法

故障処理方法

漏水検知

点灯時の処置

原因

漏水検知器が作動した

処置

１．漏水検知器に水滴が付いているかどうかを確認｡

２．水滴が付いている場合、不良箇所を修理し、装置底部と漏水検知電極を十分乾燥させ、電極を必ず

元通りにセットする。

３．漏電ブレーカを入れ、正常運転することを確認する。

４．水滴が付いていない場合には、漏水検知器の導通を確認。

５．短絡している場合には漏水検知器を交換。

６．短絡していない場合には、基板が不良であるため、基板交換。

動作良否検査方法

コネクタ J6 の 1-3 番に疑似抵抗４７０kΩを接続し が点灯にて漏水検知、動作正常

ヒータ過熱検知

点灯時の処置

原因

ヒータ過熱検知器が作動した。

処置

１． ボイラに水が入っているかどうかを確認する｡

２． ボイラが空炊き状態であった場合には、ボイラ水排水コック、ボイラ排水用電磁弁、が閉じている

ことを確認。

３． フロート筒内のボイラ水位制御用フロートスイッチの動作を確認。

４． ボイラ給水用電磁弁、前処理カートリッジ、の通水を確認｡

５． ボイラに水が入っている場合には過熱検知器の故障が考えられるため、テスタにて端子部の導通を

確認。開放している場合には過熱検知器の不良のため交換。

動作良否検査方法

バイメタルサーモのリード線を抜き、 が点灯でヒータ加熱検知器動作正常

１１

６.故障診断方法

故障処理方法

フロートスイッチ（蒸留水貯蔵タンク）異常検知

点灯時の処置

原因

蒸留水貯蔵タンク内のフロートスイッチの動作不良

処置

１． 蒸留水タンクに付いているフロートスイッチの導通を確認する｡

２． フロートスイッチはフロートが離れるとＯＦＦ、合わさるとＯＮである。

３． 取付は一番下のフロートスイッチは、水が溜まると合わさるように、その他のものは水が溜まると

フロートが離れるように取り付ける｡

４． 不良のフロートスイッチがあれば交換。

５． フロートスイッチに問題が無ければ、制御基板の故障であるため基板を交換｡

水位異常検知

点灯時の処置

原因

フロート筒内のボイラ過熱検知フロートスイッチ⑧が作動

した

または１０分以上フロート筒の水位が上昇しない

通常運転時に、冷却水の不足などにより⑧ボイラ過熱検知

フロートスイッチが、働いた場合､ヒータへの供給電力を約

７５％に絞る｡電力を絞っても再度⑧ボイラ過熱検知フロ

ートスイッチが１０秒以上働いた場合にエラー出力｡

また、ボイラ給水用電磁弁が開くように制御しているにも

関わらず⑨ボイラ水位制御用フロートスイッチが１０分以

上ＯＦＦ状態が続いたとき（水位が上昇しない）にもエラ

ー出力｡

処置

１． 漏電ブレーカをＯＦＦ⇒ＯＮ後パワースイッチをＯＦＦ→ＯＮさせる。ボイラが満水になるまでの

時間は約１５～３０秒程度。極端に長い場合には、ボイラ排水用コックまたはボイラ排水用電動弁

が不良。

２． 給水圧および、冷却水量を確認する。

３． 冷却水量が少ない場合には､冷却用電磁弁を確認する｡

４． 冷却用電磁弁に問題がない場合には､減圧弁を「流量調整値（１５ページ）」を参照、流量を確認、

流量があっていない場合には再調整｡

4

5

8

9

１２

６.故障診断方法

故障処理方法

フロートスイッチ（フロート筒）異常検知

点灯時の処置

原因

フロート筒内のフロートスイッチの動作不良

下記ケースに当てはまらないときにエラーが発生する｡

ケース１ ケース 2 ケース 3 ケース 4

⑧ ＯＦＦ － ＯＮ ＯＮ

⑨ ＯＦＦ ＯＦＦ ＯＮ ＯＮ

⑩ ＯＮ ＯＮ － ＯＦＦ

⑧、 ⑨のフロートは上昇時ＯＦＦ

⑩ のフロートは上昇時ＯＮ

処置

１． フロートスイッチの導通および動作を確認。

２． フロートスイッチが故障している場合､交換。

３． フロートスイッチに問題がない場合､制御基板不良のため基板交換｡

電子回路異常検知

点灯時の処置

原因

電子回路上の故障（メモリの内部データが、書き換わっている）

処置

調整データが書き換わっている可能性があるため、基板を交換する｡

（不良基板はメーカへ返却）

9

8

10

１３

６.故障診断方法

故障処理方法

ボイラに貯水されない時の処置

ボイラ給水用電磁弁が不良。

ボイラ給水までの配管に水漏れがないか確認する｡

原水供給用電磁弁、ボイラ給水用電磁弁の不良。

前処理カートリッジの目詰り。

ヒータがＯＮしない時の処置

フロート筒内のフロートスイッチの動作を確認。

ＳＳＲ基板を確認。

冷却水が流れない時の処置

冷却水用電磁弁の動作を確認。

ボイラ水が排水されない時の処置

排水用電磁弁の動作を確認。

蒸留水が貯まらない時の処置

初留水排水用電磁弁の動作を確認。

タンク排水用配管を確認。

ボイラ給水が止まらない時の処置

ボイラ給水用電磁弁の動作を確認。

フロート筒内のフロートスイッチの動作を確認。

ボイラ水排水コックを確認

蒸留が止まらない時の処置

蒸留水貯蔵タンク内のスロートスイッチの動作を確認｡

採水ができない時の処置

純水採取ポンプの動作を確認。

蒸留水採取用電磁弁の動作を確認。

イオン交換水採取用電磁弁、原水供給用電磁弁の動作を確認。

基板交換。

メンブレンフィルタの目詰り。

原水圧が高い時の処置

原水圧力範囲（０．５×１００ｋＰａ～５×１００ｋＰａ）であることを確認。

設備側に減圧装置を取付。

１４

６.故障診断方法

故障処理方法

採取量が少ない時の処置

メンブレンフィルタの目詰まり。

蒸留水採取用電磁弁の目詰まりを確認。

イオン交換水採取用電磁弁の目詰まりを確認。

配管を確認。

定量採取ができない時の処置

流量センサの不良。

制御基板の不良。

メンブレンフィルタをはずして使用している。

排水温度が高い時の処置

原水圧、原水温度および、冷却水量を確認｡

電源電圧を確認。

１５

６.故障診断方法

流量調整値

ボイラ給水量

ボイラ給水量は、ボイラ通水開始から停止するまでの時間で判断。

前処理カートリッジ、イオン交換樹脂が新しいとき。

減圧弁の調整法参照

ボイラ給水時間：約１０～２０秒

減圧弁の調整法

１． ブレーカを切り、すべてのヒータの端子をはずす｡

２． ブレーカを入れ、冷却水を流した後、ボイラ給水が完了したことを確認｡

３． 水道栓より給水した水は、すべて冷却水となるため、給水口での圧力と水量を測定する。

４． 給水圧力にもよるが、水道栓全開時の原水圧で減圧弁を調節し、水道栓を絞った状態（ただし０．

５ｋｇ／ｃｍ２以上）で再度つまみを調節する。

５． 各圧力で２～３回くりかえし確認をした後、ブレーカを切り、ヒータを再度取り付ける。

０．５（kg/cm2）⇒１．１（l/min）±約１０％

１．０（kg/cm2）⇒１．６（l/min）±約１０％

３．０（kg/cm2）⇒２．０（l/min）±約１０％

５．０（kg/cm2）⇒２．０（l/min）±約１０％

１６

７.交換部品表

記号 部品名 コードナンバー 仕様 メーカ

E1 イオン交換水水質電極 5-13-000-0001 GZY WG240/260 ﾔﾏﾄ科学

E2 蒸留水水質電極 1-01-189-0001 WG25･220 ﾔﾏﾄ科学

ELB 漏電ブレーカ 2-06-005-002 BJS2032N 20A ﾊﾟﾅｿﾆｯｸ

FL 流量センサ 1-26-001-0001 ND05-PATAAC-8 東研

FS1 ヒータ制御用フロートスイッチ 2-04-002-0004 NV-120YA 東京制御機器

FS2 ボイラ水位制御用フロートスイッチ 2-04-001-0003 FD-113 東京制御機器

FS3 ボイラ過熱検知用フロートスイッチ 2-04-002-0003 NVH-112YA 東京制御機器

FS4 水位検知用フロートスイッチ 2-04-003-0003 FR-1-100 東京制御機器

H ヒータ 2-42-001-6003 YK-W-3 ﾔﾏﾄ科学

MOS

RELAY モス・リレー基板 1-24-011-0001 ﾊｲﾃｯｸⅣWP ﾔﾏﾄ科学

SV1 ボイラ水位調整用電磁弁 3-02-003-0001 J241-120 ＣＫＤ

SV2 ボイラ給水電磁弁 3-02-001-0018 AB21-02-2-AC100V ＣＫＤ

SV3 初留水排水用電磁弁 3-02-003-0001 J241-120 ＣＫＤ

SV4 ボイラ水排水用電磁弁 3-02-003-0003 J244-023 ＣＫＤ

SV5 イオン交換水採取用電磁弁 3-02-003-0001 J241-120 ＣＫＤ

SV6 冷却水用電磁弁 3-02-007-6019 AB21-02-2-AC100V ＣＫＤ

SV7 蒸留水採取用電磁弁 3-02-003-0001 J241-120 ＣＫＤ

Bim-SW 過熱検知（110℃） 1-03-000-0007 TH-53F580FSWA ﾔﾏﾄ科学

P1 採水ポンプ 2-15-006-0005 WP-LK8-100V イワキ

PIO-5 操作基板 LT00038749 ﾊｲﾃｯｸⅣWP ﾔﾏﾄ科学

PLANER 制御基板 1-24-000-0039 ﾊｲﾃｯｸⅣWP ﾔﾏﾄ科学

RELAY1,2 リレー基板 1-24-000-0094 ﾊｲﾃｯｸⅣWP ﾔﾏﾄ科学

SSR SSR LT00028423 SSR-01 ﾔﾏﾄ科学

T1 端子台(T1) LT00035673 MKH-250ABC-5P ターミナル

T2 端子台(T2) A0050115 TB-20C 4P 坂詰

TF1 トランス(tf1) 2-18-000-0033 ﾊ ｲ ﾃ ｯ ｸ Ⅳ WP 用

100V ﾔﾏﾄ科学

TF2 トランス(tf2) 2-18-000-0034 HT-601 ﾄﾖﾃﾞﾝ

WL 漏水検知器 WG261-41430 ﾔﾏﾄ科学

X1 リレー 2-05-000-0056 G7L-1A-TUB 100V オムロン

PS1 圧力スイッチ（原水） 2-04-004-0001 ST-B-BR1-N2 山陽計器

PS2 圧力スイッチ（ポンプ） 2-04-004-0005 PU3-03-2CWA ＵＥＤＡ

減圧弁 3-15-002-0001 B2519-2C-N ＣＫＤ

凝縮器 WA200-30201 ﾔﾏﾄ科学

ボイラ WA200-30211 ﾔﾏﾄ科学

サービスマニュアル

純水製造装置 オートスチル（ＡＵＴＯ ＳＴＩＬＬ）

WA200

第 3 版 2011 年 1 月 11 日

改訂 2017 年 2 月 7 日

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