電源

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A2K シリーズは反応性スパッタリングプロセスにおいて、直流電源にプラス電圧をパルス印加しターゲット上の電荷を中和する異常放電防止ユニットとなります。既設装置にも簡単に取り付け可能で、低コストでの歩留り・スループットの向上を実現します。

異常放電防止ユニット 【A2K シリーズ】

A2K-40K

高スループット 異常放電を削減することでハイパワーの投入が可能

基板ダメージの低減 アーク起因の基板ダメージを低減可能

基板温度の抑制 RFスパッタリングに比べ基板温度の抑制が可能

簡易な接続性 既存の装置にも接続が可能※1

逆パルス周波数の変更可能 A2KH-25/50：1kHz ～ 20kHz、A2K-20K/40K：1kHz ～

50kHzの範囲で可能

パルス同期システム 複数台のA2Kの出力パルス同期が可能※2,※3

マスタースレーブ接続により大容量化が可能 A2K-20K、40Kは各々 6台まで並列運転可能

特 長

FPD 用反応性スパッタリング装置

産業コーティング用反応性スパッタリング装置

カラーＴＦＴ用反応性スパッタリング装置

用 途

■応用：パルス同期システム同一チャンバー内でカソードが近接しており、カソードが対向、もしくは複数台のA2Kの放電が干渉している時には、位相制御機能をご使用頂くことでA2Kの逆パルスを同相にし、放電の干渉を防止させることが可能です。※3,※4

※1：弊社DC電源：DPGシリーズとの接続が可能※2：A2KH-25、50、A2K-20K、40Kの混在使用によるパルス同期および並列運転はできません※3：A2KH-25/50は外部同期ユニット（PHSM/PHSS）が必要※4：A2K-20K/40Kは光同期ケーブル（Pulselinkcable）が必要

No.1出力電圧波形

No.2出力電圧波形

■東日本営業統括部■西日本営業統括部

■規格品事業部

国内販売：　アルバック販売株式会社

海外販売：　株式会社アルバック

TEL 03-5218-6011（代）TEL 06-6397-2281（代）

TEL +81-467-89-2261

当カタログの記載内容は性能向上等の目的により、予告なしに変更することがあります。

お問い合わせ

www.ulvac.co. jp株式会社アルバック 規格品事業部

2459J/2015083000SP

型　式 A2KH-25 A2KH-50 A2K-20K A2K-40K

制御電源入力

入力 AC90 ～110V AC100 ～240V周波数 単相　50/60Hz電力 100VA 120VA 400VA漏洩電流 1mA以下

入力仕様動作電圧 -100 ～ -800V動作電流 0 ～25A 0 ～ 50A 0 ～ 50A 0 ～100A入力構造 コネクタ接続 端子台もしくはコネクタ接続 コネクタ接続

出力仕様

パルス幅 5μs/10μs　内部スイッチで切替 1 ～18μs ※周波数制限有

発振周波数 パルス幅　5μs選択時の周波数2,5,10,15,20kHzパルス幅　10μs選択時の周波数1, 2.5 , 5, 7.5 ,10kHz1kHz ～ 50kHz1kHz毎に可変

逆パルス電圧 DC電源出力電圧の10-20%（負荷インピーダンスに依存）耐圧 連続 -1500Vdc並列運転機能 無し 最大6台まで可能※5

冷却方式 強制空冷外形寸法（W×D×H)※6 238mm×450mm×149mm 431mm×450mm×149mm 483mm×630mm×177mm質量 16kg 26kg 30kg 45kg適合規格 RoHS指令

動作周囲温度　5℃～ 40℃（結露なき事）動作環境　直射日光、熱、ホコリ、振動をさけること、腐食性ガスを含まぬこと※5： A2K-20KとA2K-40Kの混在使用は不可※6：突起部含まず

異常放電防止ユニット【A2K シリーズ】

仕 様

A2KH-25

A2K-20K

A2KH-50

単位：mm

単位：mm

単位：mm

A2K-40K

単位：mm

外 形 寸 法 図

A2Kカタログ_A_jp_低解像度RF電源カタログ_B_jp_低解像度