形状測定機

Catalog No.15021(2)

表面粗さ・輪郭形状・表面性状測定機

CNC形状測定機シリーズサーフテスト エクストリームフォームトレーサ エクストリーム

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CNC表面粗さ測定機

Surftest ExtremeCNC表面粗さ・輪郭形状測定機CNC表面性状測定機

Formtracer Extreme

■従来の測定プロセス

測定の効率化を目指して

測定のトータルスループットの向上で、生産性向上に大きく貢献新時代の自動測定を提案するCNC形状測定機シリーズ。パートプログラムを切換えることで、測定物にあった専用測定機に変身

ワーク数分繰り返す

■CNC測定

ワーク着脱

ワークレベリング他

測定開始位置決め

測

定

解

析

（PC／記録図形読取）

ワークパレット着脱

測定開始

印

刷

長時間オペレータを拘束

CNC測定機が無人運転（測定実行）オペレータは他の業務へ

2

測定時間測定時間測定時間

測定時間測定時間測定時間

測定時間測定時間測定時間

測定時間測定時間測定時間

測定時間測定時間測定時間

測定時間測定時間測定時間

測定時間測定時間測定時間

測定条件

測定条件

測定条件

測定条件

測定条件

測定条件

測定条件

測定箇所数 ：約40箇所測定位置 ：ピン / ジャーナル / スラスト面測定方向 ：円筒部軸方向 / スラスト部サイド面段取り ：ワーク移動 / ワーク姿勢変更 / 通り出し解析内容 ：表面粗さ / 真直度★ 測定方向の通り出しやシャフトを立てる作業は工数が 掛かり、2人作業になりがち！

測定箇所数 ：約3箇所 / 1ワーク測定位置 ：円筒母線上測定方向 ：母線軸方向段取り ：ワーク交換 / 通り出し解析内容 ：表面粗さ / 真直度★ 1本当たり単純な測定だけど、1日の測定本数が多く、その度に必要な通り出しの工数は合計すると多大！

測定箇所数 ：約60箇所測定位置 ：6面の表面と穴内径測定方向 ：上面・下面・側面・斜め穴等多数方向段取り ：ワーク移動 / ワーク姿勢変更 / 通り出し等解析内容 ：表面粗さ / 輪郭形状★ 測定位置へ移動させる姿勢変更が10回以上必要なため、測定効率は非常に悪い！

測定箇所数 ：約2箇所測定位置 ：光軸断面直行位置測定方向 ：スタライス引き方向段取り ：ワーク回転 / ワークレベル出し / 光軸位置出し解析内容 ：輪郭形状 / 設計値照合 / 表面粗さ★ 光軸位置の断面形状を測定することが重要であり、 そのセッティングは多大な工数が発生！

測定箇所数 ：約4箇所測定位置 ：ギヤ頂角測定方向 ：接線方向段取り ：ワーク回転移動 / ワーク位置決め解析内容 ：輪郭形状★ 90°毎の回転位置決めが単純作業になるが、作業者による熟練度で工数、精度に差が発生！

測定箇所数 ：約2箇所 / 1ワーク測定位置 ：円筒母線上測定方向 ：母線軸方向段取り ：ワーク交換 / 通り出し解析内容 ：表面粗さ / 真直度★ 1個の測定は単純だけど、多数個を測定するので、

1個のセッティングは工数多大！

測定箇所数 ：約20箇所測定位置 ：シート面と穴測定方向 ：上 穴3方向の内径段取り ：ワーク移動 / ワーク姿勢変更 / 通り出し等解析内容 ：表面粗さ★ シート面は、簡単にワークを移動させて測定できるけれど、穴内径粗さは測定位置が見えないので位置決めが不安！

クランクシャフト プリンタロール

シリンダヘッド 非球面レンズ

ミッションギヤ モータ用ロータ/スピンドル

バルブボディ

CNC20分

CNC30分

CNC5分

CNC15分

CNC15分

（推定時間は10本分）

CNC5分

（推定時間は4歯分）

CNC20分

（推定時間は20個分）

手動90分

手動90分

手動20分

手動40分

手動50分

手動40分

手動40分

3

測定効率を向上させるさまざまな機能

・α軸（駆動部傾斜）付のモデルでは、途中で段取り替えすること無く傾斜面を含む複数箇所の表面を連続測定可能。

・α軸またはオプションのオートレベリングテーブルを使用した、自動水平出し機能搭載。

・斜め測定機能（表面粗さ）X軸とY軸の同期制御を行うことにより、斜め移動測定を実現測定方向を駆動部に平行になるようにワークの再セッティングすることなく連続測定が可能。

・検出器、駆動部のケーブルをすべて本体内配線にすることにより、測定誤差要因のひとつになる配線の擦れが無くなり、高速駆動を実現します。

・上下面連続測定機能（輪郭形状測定のみ）両側円すいスタイラスとの組合せにより、上下面の連続測定連続測定が可能です。従来、測定することが困難だった、ねじの有効径等を上下面連続データを用いて簡単に解析できます。

X軸駆動

測定方向

Y軸

下向き（下面）測定

Y軸テーブル付

α軸付

上向き（上面）測定

CNC制御による新測定機能で測定効率アップ・追従測定機能

Z2軸※制御により、検出器の測定範囲よりも広い範囲の形状（輪郭）の倣い測定が可能。従来機では複数回に分けて測定していた箇所を、一回で測定可能。※検出部の上下運動

パートプログラムによる複数箇所・複数ワークの 連続自動測定・Y軸テーブルを使用することにより、多数個の連続自動測定を実現。

Z2

4

表面粗さ検出器

安全装置作動衝突方向

速度をリアルタイムに変更可能な速度オーバーライドつまみ

アイコン使用した分かり易い操作ボタン

高速位置決めによる高スループット測定・世界最高速の最大200mm/sの高駆動速度と多軸同時制御により、測定箇所への高速位置決めを実現

（※CS-5000CNCは最大40mm/s）

手元で測定機を操作できる、使いやすいリモートボックス・アイコンを使用した分かり易い操作ボタンを装備

・自動実行中も自由に速度変更可能な速度オーバーライドつまみも装備

オペレータや測定機・ワークを保護する衝突安全機能も装備 →安全装置により、衝突発生時に測定機が自動停止

輪郭形状検出器

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エッジ測定により座標系を同定

1個分のパートプログラム

ループ機能による繰返し測定

CNC測定を強力にサポートする表面粗さ輪郭形状解析 ソフトウェアFORMTRACEPAK・ワーク同定（座標系設定） パートプログラム作成時の位置とワークがずれていても、ワーク座標系を設定し同じ位置を測定可能

・複数部品測定対応 1個分のパートプログラムをループ機能により繰返し実行して、同一形状の多数個を一括測定可能

・自動化にも対応 外部制御機能を追加するオプションソフトウェアFORMEioにより、

PLC（プログラマブル・ロジック・コントロール）から測定機の状態監視と、測定機の制御を行なうことができます。

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測定のトータルスループット向上が生産性向上に大きく貢献します。新時代の自動測定を提案するCNC形状測定機シリーズ

フォームトレーサ エクストリーム SV-C4500CNC HYBRID（非接触検出器装着例）

フォームトレーサ エクストリーム SV-C4500CNC（輪郭形状測定用検出器装着例）（駆動部傾斜機構＋Y軸テーブル付仕様）

サーフテスト エクストリーム SV-M3000CNC（Y軸コラム移動形表面粗さ測定機）（写真は特殊仕様です）

サーフテスト エクストリーム SV-3000CNC（駆動部傾斜機構付仕様）

フォームトレーサ エクストリーム CS-5000CNC/CS-H5000CNC（写真はCS-H5000CNC、3Dオートレべリングテーブル付小型θ1軸、Y軸テーブル付仕様）

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SV-3000CNC（駆動部傾斜機構＋Y軸テーブル付仕様）

■特長・X1・Y・Z2軸の最大駆動速度は、最大200mm/sで高速位置決めでき、複数断面測定や複数ワーク測定の高スループット化が可能です。・X・Y軸方向の2軸同時制御による斜め測定が可能です。・α軸付のタイプでは、X1軸を電動傾斜により水平面、斜面の連続測定が可能です。・Y方向に測定領域が拡大するため、複数ワークの一括測定も実現できます。・Z1軸検出器は、測定力0.75mNタイプを標準搭載しております。

CNC表面粗さ測定機

Surftest ExtremeSV-3000CNC

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仕 様

■SV-3000CNCコラムタイプ 標準コラム ハイコラムX1軸 測定範囲 200mm

分解能 0.05µm測長ユニット 反射型リニアエンコーダ駆動速度 CNCモード 最大200mm/s

ジョイスティックモード 0～50mm/s測定速度 0.02～2mm/s測定方向 引き方向真直精度 0.5µm/200mm

Y軸テーブル部 測定範囲 200mm分解能 0.05µm測長ユニット 反射型リニアエンコーダ駆動速度 CNCモード 最大200mm/s

ジョイスティックモード 0～50mm/s最大積載質量 20kg（重心位置はテーブル中心からø100mm以内）真直精度 0.5µm/200mm指示精度（20°C、輪郭モード） ±(2+2L/100)µm　L： 任意2点間寸法（mm）テーブルサイズ 200×200mm外観寸法（幅×奥行×高さ） 320×646×105mm質量 35kg

Z2軸（コラム） 移動範囲 300mm 500mm分解能 0.05µm測長ユニット 反射型リニアエンコーダ駆動速度 CNCモード 最大200mm/s

ジョイスティックモード 0～50mm/s指示精度（20℃） α軸無機種 ±(1.5+|10H| /1000)µm　H： Z2軸測定高さ（mm）

α軸付機種 －ベースサイズ（幅×奥行） 750×600mmベース素材 斑れい岩

測定解析仕様 22ページのFORMTRACEPAK 表面粗さ測定・解析仕様をご参照ください。外観寸法（幅×奥行×高さ） 800×620×1000mm質量（Y軸テーブル部及び防振台は含まない） 240kg使用温度、湿度範囲　 15～25°C、20～80%RH（ただし、結露しないこと）保存温度、湿度範囲 -10～50°C、5～90%RH（ただし、結露しないこと）※ 測定機本体構成品の一部に自然石を使用しているため、石表面に模様のある場合があります。

■α軸部（搭載機種のみ共通）傾斜角度 - 45°（反時計回り）

+10°（時計回り）傾斜回転速度 1rpm傾斜角度分解能 0.000225°質量 9kg

■防振台（必須オプション）除振機構 ダイヤフラム型空気ばね固有振動数 2.5～3.5Hz減衰機構 オリフィス水平維持機構 メカニカルバルブによる自動制御供給空気圧 0.4MPa搭載許容質量 350kg外観寸法（幅×奥行×高さ）

1000×895×715mm

質量 280kg

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■特長・エンジンブロック、クランクシャフト等の大型・重量ワークに対応したCNC表面粗さ測定機です。・X1・Y・Z2軸の最大駆動速度は、最大200mm/sで高速位置決めでき、複数断面測定や複数ワーク測定の高スループット化が可能です。・コラム（Z2軸）移動構造を採用した評価型表面粗さ測定機です。小型表面粗さ測定機（ハンディータイプ）を用いて、製造現場でしか評価できなかった大型・重量ワークの表面粗さ測定をすることも可能です。・検出器ホルダはご用途に合わせて下記3種類から選択頂けます。

①標準型（検出器：下向き） ②ロング型（検出器：下向き＋深穴等への対応可） ③ 回転型（検出器：下向き、上向き、前向き、後ろ向きの4段階

切替え）・耐荷重100kgの大型回転テーブル（オプション）にも特注対応可能です。・Z1軸検出器は、測定力4mNタイプと0.75mNタイプの2種類より選択可能です。

CNC表面粗さ測定機

Surftest ExtremeSV-M3000CNC

①標準型検出器ホルダ

②ロング型検出器ホルダ 測定例）ロング型検出器ホルダ

測定例）回転型検出器ホルダ　　 （検出器：後ろ向き）

③回転型検出器ホルダ（検出器：下向き）

③回転型検出器ホルダ（検出器：上向き）

大形θテーブル（オプション）

SV-M3000CNC（Y軸コラム移動形表面粗さ測定機）（写真は特殊仕様です）

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仕 様

■SV-M3000CNCX1軸 測定範囲 200mm

分解能 0.05µm測長ユニット 反射型リニアエンコーダ駆動速度 CNCモード 最大200mm/s

ジョイスティックモード 0～50mm/s測定速度 0.02～2mm/s真直精度 標準型検出器ホルダ使用時 0.5µm/200mm

ロング型検出器ホルダ使用時 0.7µm/200mm回転型検出器ホルダ使用時

上下方向 0.5µm/200mm前後方向 0.7µm/200mm

システムノイズ Rz※

標準型検出器ホルダ使用時 Rz

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CNC表面粗さ・輪郭形状測定機

Formtracer ExtremeSV-C4500CNC HYBRID■特長・輪郭形状測定と表面粗さ測定を検出器交換することで、1台で行える複合機種です。・接触式の表面粗さと輪郭形状検出器に加え、非接触式検出器を搭載したHYBRIDタイプのCNC表面粗さ・輪郭形状測定機です。

【輪郭形状測定】・パワーアップした新検出器（輪郭形状測定専用）を搭載しています。

①測定範囲が10mm拡大（従来比）しています。 ② アーム取付け部にマグネットジョイントを採用しアーム交換がスピーディーに行えます。

③ 両側円すいスタイラスとの組合わせにより上下面連続測定が可能です。

④ 測定力をデータ処理装置部（FORMTRACEPAK）から指定（5段階）できます。

【表面粗さ測定】・JIS（2001/1994/1982）, ISO, DINなど各国の規格に対応したパラメータ解析が可能です。・Z1軸検出器は、測定力0.75mNタイプが標準設定されています。

【共通仕様】・X1・（Y）・Z2軸の最大駆動速度は、最大200mm/sで高速位置決めでき、複数断面測定や複数ワーク測定の高スループット化が可能です。・Y軸方向の2軸同時制御による斜め測定が可能です。　・Y方向に測定領域が拡大するため、複数ワークの一括測定も実現できます。・非接触検出器CPS2525とCPS0517選択搭載となります。

SV-C4500CNC HYBRID（表面粗さ測定用検出器装着）

検出器スタンド

アームはねじ固定

① Z1軸測定範囲が10mmアップ（片角スタイラスSPH-71を取り付けた場合）

●SV-C4000CNC（従来形） ●SV-C4500CNC

●SV-C4000CNC （従来品） ●SV-C4500CNC

50mm

10 mm

60mm

19 mm

③上下面連続測定機能

下向き（下面）測定

上下の測定方向はソフトウェアにて切替

有効径解析 穴径解析

上向き（上面）測定

② マグネット着脱

アーム側着脱部

検出器側着脱部

SV-C4500CNC HYBRID（表面粗さ測定用検出器装着）SV-C4500CNC HYBRID（輪郭形状測定用検出器装着）

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仕 様

■SV-C4500CNC HYBRIDX1軸 （駆動部） 測定範囲 200mm

分解能 0.05µm測長ユニット 反射型リニヤエンコーダ駆動速度 CNCモード 最大200mm/s

ジョイスティックモード 0～50mm/s測定速度 0.02～2mm/s輪郭形状 測定方向 押し、引き両方向

真直精度 2µm/200mm指示精度（20℃） ±(0.8＋4L /200)µm L： 測定長さ（mm）

表面粗さ 測定方向 引き方向真直精度 0.5µm/200mm

非接触 真直精度 0.5µm/200mm指示精度 ±(0.8＋4L /200)µm L： 測定長さ（mm）

Y軸 測定範囲 200mm分解能 0.05µm最大積載質量 20kg

Z1軸 （検出部） 輪郭形状 測定範囲 60mm（水平状態より±30mm）分解能 0.02µm測定方向 上下両方向（FORMTRACEPAKにより方向切替）スタイラス上下動 円弧運動測長ユニット 円弧スケール指示精度（20℃） ±(0.8＋| 2H| /100)µm　H： 水平位置からの測定高さ（mm）測定力 10, 20, 30, 40, 50mN（ソフトウェアによる切替）追従角度 登り70° 下り70°（面性状による）スタイラス先端形状 円すい30°超硬合金

表面粗さ 測定範囲 800µm/80µm/8µm分解能 0.01µm/0.001µm/0.0001µm測定力 0.75mN

非接触検出器CPS2525※1

測定範囲 1.2mm分解能 25nm

非接触検出器CPS0517※1

測定範囲 0.1mm分解能 5nm

Z2軸（コラム） 移動範囲 500 mm分解能 0.05µm測長ユニット 反射型リニヤエンコーダ駆動速度 CNCモード 最大200mm/s

ジョイスティックモード 0～50mm/s指示精度（20℃） ±(3.5+15H/1000)µm　H： Z2軸測定高さ（mm）

ベースサイズ（W×D） 750×600 mmベース材質 斑れい岩測定・解析仕様 22ページをご参照ください。※1：CPS2525とCPS0517は選択搭載となります。※ 測定機本体構成品の一部に自然石を使用しているため、石表面に模様のある場合があります。

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■特長・輪郭形状測定と表面粗さ測定を検出器交換することで、1台で行える複合機種です。

【輪郭形状測定】・パワーアップした新検出器（輪郭形状測定専用）を搭載しています。 ①測定範囲が10mm拡大（従来比）しています。 ② アーム取付け部にマグネットジョイントを採用しアーム交換がスピーディーに行えます。

③ 両側円すいスタイラスとの組合わせにより上下面連続測定が可能です。

④ 測定力をデータ処理装置部（FORMTRACEPAK）から指定（5段階）できます。

【表面粗さ測定】・JIS（2001/1994/1982）, ISO, DINなど各国の規格に対応したパラメータ解析が可能です。・Z1軸検出器は、測定力0.75mNタイプが標準設定されています。【共通仕様】・X1・（Y）・Z2軸の最大駆動速度は、最大200mm/sで高速位置決めでき、複数断面測定や複数ワーク測定の高スループット化が可能です。・Y軸付のタイプでは、X・Y軸方向の2軸同時制御による斜め測定が可能です。　・α軸付のタイプでは、X1軸を電動傾斜により水平面、斜面の連続測定が可能です。・Y軸テーブル付のタイプでは、Y方向に測定領域が拡大するため、複数ワークの一括測定も実現できます。・α軸付タイプ、Y軸付タイプ、α及びY軸付タイプ、α及びY軸無しタイプにそれぞれ標準コラム及びハイコラムの計8機種をラインアップ。

CNC表面粗さ・輪郭形状測定機

Formtracer ExtremeSV-C4500CNC

SV-C4500CNC（輪郭形状測定用検出器装着） SV-C4500CNC（表面粗さ測定用検出器装着）

検出器スタンド

アームはねじ固定

① Z1軸測定範囲が10mmアップ（片角スタイラスSPH-71を取り付けた場合）

●SV-C4000CNC（従来形） ●SV-C4500CNC

●SV-C4000CNC （従来品） ●SV-C4500CNC

50mm

10 mm

60mm

19 mm

③上下面連続測定機能

下向き（下面）測定

上下の測定方向はソフトウェアにて切替

有効径解析 穴径解析

上向き（上面）測定

② マグネット着脱

アーム側着脱部

検出器側着脱部

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仕 様

■SV-C4500CNCコラムタイプ 標準コラム ハイコラムX1軸 （駆動部） 測定範囲 200mm

分解能 0.05µm測長ユニット 反射型リニヤエンコーダ駆動速度 CNCモード 最大200mm/s

ジョイスティックモード 0～50mm/s測定速度 0.02～2mm/s輪郭形状 測定方向 押し、引き両方向

真直精度 2µm/200mm指示精度（20℃） ±(0.8＋4L /200)µm L： 測定長さ（mm）

表面粗さ 測定方向 引き方向真直精度 0.5µm/200mm

Z1軸 （検出部） 輪郭形状 測定範囲 60mm（水平状態より±30mm）分解能 0.02µm測定方向 上下両方向（FORMTRACEPAKにより方向切替）スタイラス上下動 円弧運動測長ユニット 円弧スケール指示精度（20℃） ±(0.8＋| 2H| /100)µm　H： 水平位置からの測定高さ（mm）測定力 10, 20, 30, 40, 50mN（ソフトウェアによる切替）追従角度 登り70° 下り70°（面性状による）スタイラス先端形状 円すい30°超硬合金

表面粗さ 測定範囲 800µm/80µm/8µm分解能 0.01µm/0.001µm/0.0001µm測定力 0.75mN

Z2軸（コラム） 測定範囲 300 mm 500 mm分解能 0.05µm測長ユニット 反射型リニヤエンコーダ駆動速度 CNCモード 最大200mm/s

ジョイスティックモード 0～50mm/s指示精度（20℃） α軸無機種 ±(1.5+10H/1000)µm　H： Z2軸測定高さ（mm）

α軸付機種 －ベースサイズ（W×D） 750×600 mmベース材質 斑れい岩

測定・解析仕様 22ページをご参照ください。※ 測定機本体構成品の一部に自然石を使用しているため、石表面に模様のある場合があります。

■α軸部（搭載機種のみ共通）傾斜角度 - 45°（反時計回り）

+10°（時計回り）傾斜回転速度 1rpm傾斜角度分解能 0.000225°質量 9kg

■Y軸テーブル部（搭載機種のみ共通）測定範囲 200mm最小表示量 0.05µm測長ユニット 反射型リニアエンコーダ駆動速度 CNCモード 最大200mm/s

ジョイスティックモード 0～50mm/s最大積載質量 20kg（重心位置はテーブル中心からø100以内）真直精度 表面粗さモード 0.5µm/200mm

輪郭モード 2µm/200mm指示精度（20°C、輪郭モード） ±(2+2L/100)µm L： 任意2点間寸法（mm）テーブルサイズ 200×200mm外観寸法（幅×奥行×高さ） 320×646×105mm質量 35kg

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■特長・表面粗さと輪郭形状を一括測定可能な、高精度触針式CNC表面性状測定機です。・X1軸の最大駆動速度は最大40mm/s、(Y)、Z2軸の最大駆動速度は最大200mm/sで高速位置決めでき、複数断面測定や複数ワーク測定の高スループット化が可能です。・X1軸、Z1軸には透過型リニアエンコーダを搭載し、X1軸：5nm、

Z1軸：0.8nm/1.6nmの高分解能を実現し、輸郭形状・表面粗さの一括測定に対応しています。・Z1軸検出器にはアクティブ制御方式を採用し動的測定力の変動を押さえたワイドレンジ測定が可能です。・X・Y軸方向2軸同時制御による斜め測定が可能です。・Z1軸検出器には衝突安全装置が内蔵されていますので、万一検出器本体がワークや治具に干渉した場合でも自動停止します。

・CS-5000CNCは、X1軸を電動傾斜により水平面、斜面の連続測定が可能です。・Y軸テーブル付では複数ワークの測定などY方向位置決めにより測定領域が拡大します。・本機は、高精度が要求される非球面レンズの測定にも実績があります。

高精度な本体もさることながら、測定精度に大きな影響を及ぼすワークセッティング（傾き及びピーク点、ボトム点検出）を簡単かつ自動で行えるオプション（Y軸テーブル、3Dオートレベリングテーブル）、及び測定手順作成、解析が簡単に行える専用ソフトウェア（ASLPAK: 23ページ参照ください）がご好評いただいています。

CNC表面形状測定機

Formtracer ExtremeCS-5000CNC/CS-H5000CNC

アクティブ制御方式を採用したワイドレンジ検出器

CS-H5000CNC（Y軸テーブル、3Dオートレべリングテーブル付きθ1軸付仕様）

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仕 様CNC表面形状測定機Formtracer ExtremeCS-5000CNC/CS-H5000CNC

■CS-5000CNC/CS-H5000CNC符号 CS-5000CNC CS-H5000CNCコラムタイプ 標準コラム ハイコラム 標準コラム ハイコラムX1軸 測定範囲 200mm

分解能 0.005µm測長ユニット 透過型リニヤエンコーダ駆動速度 CNCモード 最大40mm/s

ジョイスティックモード 0～40mm/s測定速度 粗さ測定時：0.02～0.2mm/s、輪郭測定時：0.02～2mm/s測定方向 引き、押し両方向真直精度 標準長さスタライス使用時 (0.1+0.0015L)µm　L：駆動長さ(mm) (0.05+0.0003L)µm L：駆動長さ(mm)

2倍長さスタライス使用時 (0.2+0.0015L)µm　H：駆動長さ(mm) (0.1+0.0015L)µm　H：駆動長さ(mm)指示精度（20℃） ±(0.3+0.002L)µm L：駆動長さ(mm) ±(0.16+0.001L)µm L：駆動長さ(mm)

α軸 傾斜角度 - 45°（反時計回り）、+10°（時計回り） －Z1軸（検出部） 測定範囲 標準長さスタライス使用時 12mm

2倍長さスタライス使用時 24mm分解能 標準長さスタライス使用時 0.0008µm

2倍長さスタライス使用時 0.0016µmスタライス上下運動 円弧運動測長ユニット 透過型リニヤエンコーダ指示精度（20℃） ±(0.3+|0.02H| )µm H：測定高さ(mm) ±(0.07+|0.02H| )µm H：測定高さ(mm)測定力 標準長さスタライス使用時 4mN 一定

2倍長さスタライス使用時 0.75mN 一定追従角度 登り60°、下り60°（面性状による）スタライス先端

標準長さスタライス 先端半径5µm、先端角度40°、ダイヤモンド標準長さボールスタライス 先端ボール半径0.25mm、サファイヤ2倍長さスタライス 先端半径5µm、先端角度40°、ダイヤモンド2倍長さスタライス － 先端半径2µm、先端角度60°、ダイヤモンド2倍長さポールスタライス 先端ボール半径0.25mm、サファイヤ

測定面方向 下向きZ2軸（コラム） 移動範囲 300mm 500mm 300mm 500mm

分解能 0.05µm測長ユニット 反射型リニアエンコーダ駆動速度 CNCモード 最大200mm/s

ジョイスティックモード 0～50mm/sベースサイズ（幅×奥行） 750×600mmベース材質 斑れい岩

測定・解析仕様 22ページをご参照ください。※ 測定機本体構成品の一部に自然石を使用しているため、石表面に模様のある場合があります。

■Y軸テーブル部（搭載機種のみ共通）測定範囲 200mm最小表示量 0.05µm測長ユニット 反射型リニアエンコーダ駆動速度 CNCモード 最大200mm/s

ジョイスティックモード 0～50mm/s最大積載質量 20kg（重心位置はテーブル中心からø100以内）真直精度 0.5µm/200mm指示精度（20°C、輪郭モード） ±(2+2L/100)µm L： 任意2点間寸法（mm）テーブルサイズ 200×200mm外観寸法（幅×奥行×高さ） 320×646×105mm質量 35kg

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測定機のコントロールから表面粗さ解析、輪郭形状解析、輪郭照合、及び検査成績書作成までを標準機能としてトータルサポート！

測定手順ウインドウに表示されている項目を直接変更することが可能です。例：評価条件変更、粗さ規格変更による再計算等々

操作メッセージウィンドウ

次の手順を説明する操作メッセージウィンドウ搭載。

多彩な表示に対応した表示ウィンドウ

●タブ選択式図形ウィンドウタブを選択することにより、輪郭や粗さ、照合結果など見たいデータを確認できます

●画面の2分割、4分割表示画面の2分割、4分割表示が可能ですので、測定データ（輪郭、粗さ）、解析結果、輪郭照合など、複数の解析データを自由に配置して表示できます。

●図形ウィンドウへの結果表示図形ウィンドウには測定図形だけでなく測定値（合否判定含む）、解析グラフなどの貼付けが可能です。図形ウィンドウのみで図形と測定結果が一目で確認できます。

直接変更可能な測定手順ウィンドウ

表面粗さ・輪郭解析プログラム

FORMTRACEPAK

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測定制御

1回のみの測定にはシングルモード、パートプログラムを作成し、同一ワークを複数個測定するにはティーチングモードなど、用途に合わせたモードを備えております。また、測定から報告書印刷までの一連の流れをパートプログラムに組込む事ができ、効率よく測定→解析→報告書出力が行えます。 さらに、任意のタイミングで写真入のコメントを表示する機能もあり、ワークのセッティングなどの注意点を指示する測定手順書の役割を組込むこともできます。

操作手順の呼び出しは、プルダウンメニューから簡単に選択でき、すぐに測定を行なえます。

オンラインヘルプ機能※

いつでも閲覧できるオンラインヘルプを搭載。目次別やキーワード検索に加え、クリックするだけでメニューやウィンドウのヘルプを表示する状況保存ヘルプボタンを搭載しています。

ボタン編集機能

使用頻度の低いボタンは、隠すことができます。よく使うボタンだけを表示し、その分図形ウィンドウを大きく表示するなど、お客様の使い勝手に合わせた画面のカスタマイズが可能です。

マルチ言語対応（17カ国語）

測定、解析、レイアウト画面は、言語切替※が可能です。測定を行った後に、他言語に変換して報告書作成が可能です。ワールドワイドにご利用いただけます。

※対応言語につきましては、P22の仕様一覧をご参照ください。

※対応言語につきましては、P22の仕様一覧をご参照ください。

簡易統計コマンド

Excel等別プログラムを利用することなく、粗さパラメータや輪郭解析結果の統計計算が可能です。

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データ合成

データ2データ1

●輪郭解析機能解析の基本要素となるコマンドは、点（10種類）、線（6種類）、円（6種類）と多種にわたり、要素を組み合わせた角度、ピッチ、距離など豊富な計算コマンドや輪郭照合機能、設計値生成機能も標準装備しています。普段ご使用にならないようなコマンドは、隠すなど計算コマンドボタンのカスタマイズ機能と合わせ、使用環境に合わせた画面のカスタマイズが可能です。

●輪郭照合機能を標準装備設計データと測定データとを最適な位置に座標移動させるベストフィット機能が標準装備されています。照合結果は、ビジュアルな図形表示だけでなく、各座標における誤差量や誤差量展開を表示させたり、テキストファイル形式で出力が可能ですので、加工機へのフィードバックデータなどにご利用いただけます。

●データ合成機能測定物の外観形状の問題で、複数箇所に分割して測定したデータを一つの図形として合成し、解析することが可能です。

輪郭照合結果例

●測定点列のベストフィット機能測定点を予め登録しておいた参照データと同一の座標系に一致させます。この機能により、自動解析時のワークのセッティングのズレによる影響を排除することができます。

●円・線自動決定機能円・線自動あてはめコマンドを用いれば、コマンドボタンを何度も押す必要なく、データ内に含まれるすべての円、線を自動算出することもできます。

●データ合成機能●データ合成機能

特許登録済：日本

特許登録済：日本

FORMTRACEPAK輪郭形状解析

●データ重ね合わせコマンド特徴点を検出して2つのデータの重ね合わせができます。マウスでのドラック操作で測定点列を自由に動かし重ねることができます。

●計算コマンドの繰返し設定同一形状が定ピッチで有る場合、一箇所解析を入れてピッチを指定することにより一括で解析することができます。

20

●粗さ解析機能FORMTRACEPAKは、ISO、JIS、ANSI、VDAなどの規格に対応した表面粗さの解析が行なえます。測定値と許容限界値との比較ルールとして16%ルール、最大値ルールをご利用いただけます。また、パラメータ計算だけではなく、豊富なグラフ解析機能を備えていますので、日常の品質管理から、R&D部門でも幅広く活用できます。傾斜やR面などの形状除去（補正）機能、データ削除機能なども充実しています。

●微細輪郭解析機能表面粗さのデータから段差や面積だけでなく輪郭解析と同様に点、線、円と多種にわたり、要素を組み合わせた角度、ピッチ、距離など豊富な計算コマンドを標準装備しています。

●基準長さダイアログボックス測定条件の基準長さ設定において、規格準拠を選択することにより、ISO/JIS規格で定義されている標準値を表示させることが可能です。

●複数箇所測定機能移動量を入力するだけで簡単に複数箇所測定用のパートプログラムを作成することができます。

●複数箇所測定による解析機能規格で定められている評価長さを測定できないワークに対して、複数箇所を測ったデータから、粗さパラメータの演算や16％ルールなどの許容限界値との比較ルールを行うことができます。

●プレビュー付き解析条件変更規格や曲線種、フィルタなど各種解析条件を簡単に変更することが可能です。また、傾斜やR面、放物線などの形状除去（補正）においてはプレビュー機能搭載なのでその場での確認ができます。

●R面自動測定機能予備測定の結果から自動でR面のピーク又はボトムを基準に測定長さを割り振って測定することができます。

ピーク ピーク

補正前

補正後

●図面指示記号による簡単入力ISO/JIS粗さ規格の図面指示記号に合わせて入力するだけで、煩わしい測定条件設定が簡単入力できます。

図示の例　 研削　 Ra 1.5⊥ － 2.5/Rzmax 6.7

入力指示の例U”X”0.08—0.8/Rz8max 3.3

FORMTRACEPAK表面粗さ解析

21

表面粗さ、輪郭形状、真円度※の測定結果や測定図形などを一枚の紙面にレイアウトすることが簡単操作で行えます。

また、保存されたファイルを指定しての貼り付けが可能となりましたので、複数ファイルからの結果の貼り付けが容易です。

※別途、真円度・円筒形状解析プログラムROUNDPAK（対応バージョンは別途お問合せください）が必要になります。

●システムレイアウト印刷演算結果、測定条件、測定図形など印刷したい項目を選択するだけの簡単操作で検査成績書を自動レイアウトし、印刷します。測定図形サイズ、測定結果、フォントなどの詳細設定も可能です。簡単に印刷したいという用途にご利用ください。

●PDF・htmlファイル保存測定結果報告書をPDFファイルやhtmlファイルとして出力が可能ですので、レイアウト編集プログラムがインストールされていないPCでも結果確認ができます。

●報告書作成機能測定結果/条件/図形、そしてコメント/円/線/矢印なども自由にレイアウトでき「測定結果報告書」として印刷することが可能です。一度作成したレイアウトを保存し同様の測定時に再利用することが可能です。

FORMTRACEPAKレイアウトプログラム「輪郭形状」、「表面粗さ」、「真円度」を一枚に！！

●要素挿入バー要素挿入バーに表示されている解析内容をマウスでドラック＆ドロップすることで、レイアウト上に貼り付けできます。

22

FORMTRACEPAK 表面粗さ測定・解析仕様粗さ規格対応 JIS1982, JIS1994, JIS2001, ISO1997, ANSI, VDA, OLDMIX

パラメータRa, Rq, Sk, Ku, Rp, Rv, Ry, RyDIN, RzDIN, Rt, Rc, Rz, R3z, R3t, S, Δa, Δq, λa, λq, Lo, Ir, Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2, A1, A2, Sm, Pc, HSC, mr, mrd, δc, Vo, Rx, AR, R, NR, NCRX, CPM, SR, SAR, Wx, AW, W, Wte, NW, SW, SAW （面積、高さ関係のパラメータは、輪郭解析コマンドにて解析可能）

パラメータの合否判定方法 平均値、最大値ルール、16%ルール

評価曲線 断面曲線、粗さ曲線、ろ波うねり曲線、うねり曲線、転がり円うねり断面曲線、転がり円うねり曲線、エンベロープ残差曲線、DF曲線（DIN4776/ISO13565-1）、粗さモチーフ（包絡うねり曲線は、モチーフ評価時に表示）

グラフ解析表示 負荷曲線、振幅分布曲線、パワースペクトル、自己相関、Walshパワースペクトル、Walsh自己相関、山高さ分布、傾斜角分布、パラメータ分布（摩耗量、重ね合わせは、輪郭解析で、面積等の解析可能）形状除去機能 最小二乗直線、R面補正、楕円補正、放物線補正、双曲線補正、コーニック補正、多項式補正（自動または任意2次～7次）フィルタ種別 ガウシアンフィルタ, 2CRPC75, 2CRPC50, 2CR75, 2CR50, ロバストスプラインフィルタ

フィルタ カットオフ波長（λc）：0.025, 0.08, 0.25, 0.8, 2.5, 8, 25, 80mm任意　カットオフ波長（λs）：0.8, 2.5, 8, 25, 80, 250, 800µm任意微細輪郭解析 FORMTRACEPAK輪郭形状測定・解析仕様の演算処理をご参照下さい。統計処理 簡易統計機能測定補助機能（輪郭・粗さ共通） ピークボトム検出（手動）、ボール測定、ワーク同定機能、水平だし、直角だし、通りだし、R面自動測定機能（粗さ測定時のみ）

測定補助機能 図面指示記号による簡単入力、基準長さ設定ダイアログボックス、 N箇所測定機能スタイラス校正 粗さ標準片、段差標準片　※校正履歴　スタイラスに保存され件数の制限なしデータ点数 最大100,000点倍率表示　縦 任意値（0.001単位）、自動および0.001～10,000,000倍倍率表示　横 任意値（0.001単位）、自動および0.001～10,000,000倍

FORMTRACEPAK 輪郭形状測定・解析仕様

演算処理

点 点、ピーク点、ボトム点、接点、垂線の足、交点、中点、変曲点（距離）、変曲点（角度）、変曲点（角度変化）、点の呼び出し線 線、接線、垂線、平行線、中線、線（点、角度）、線の呼び出し円 円、円（中心ー半径）、円（2点）、接円、接円（測定点）、円（半径/中心固定）、円の呼び出し、楕円（※2次曲線コマンドにて計算）座標 座標差（×軸座標差、Z軸座標差、角度差、動径差）、位置判定距離・角度 距離、段差（平均、最大、最小）、溝寸法、ピッチ（ピッチ、ピッチ［心間］）、角度、道のり計算座標 座標系の原点設定、座標系回転

演算集計 演算（足算、引算、掛算、割算、絶対値、平方根）、統計（平均値、最大値、最小値、標準偏差、偏差標準偏差、総和）、データ登録、データクリア

測定点編集 削除、平行移動、回転、反転、位置合わせ、分割、オフセット、理想化、フェアリング、フィルタ、測定点のスケール処理（極座標展開）、結合拡張機能 面積、2次曲線（楕円、双曲線、方物線）、円・線自動決定コマンド（指定した範囲に含まれる複数の円・線要素を自動的に算出）輪郭照合 輪郭照合、ベストフィット、設計値生成、設計値読込み、任意位置の結果吹き出し表示その他機能 公差照合、寸法表示、簡易表示

計算サポート機能 計算コマンドヘルプの自動表示（ON/OFF）測定補助機能（輪郭・粗さ共通）

ビークボトム検出（手動）、ボール測定、ワーク同定機能、水平だし、直角だし、通りだし、R面自動測定機能（粗さ測定時のみ）

CNC測定機能 測定パートプログラム、複数部品統計処理 簡易統計機能

データファイル入出力 出力：テキスト、設計値、IGES, DXF入力：テキスト、設計値（IGES, DXFは設計値生成ユーティリティにて読込み）、SJシリーズからのデータインポート座標コントロール 原点設定、座標系回転、ワーク同定による座標系の設定、各軸のゼロセット、リセット

スタイラス校正 一括校正キットによる自動校正、GB, 基準半球, ビンゲージによる手動校正校正履歴　スタイラスに保存され件数の制限なし真直度補正機能 真直度補正機能搭載測定ピッチ 0.1～2000µm（測定機に依存）データ点数 最大100,000点（測定機に依存）倍率表示　縦 任意値（0.001単位）、自動および0.001～10,000,000倍倍率表示　横 任意値（0.001単位）、自動および0.001～10,000,000倍

対応言語 日本語、英語、ドイツ語、フランス語、イタリア語、スペイン語、ポーランド語、ハンガリー語、スウェーデン語、チェコ語、中国語（簡体字）、中国語（繁体字）、韓国、トルコ語、ポルトガル語、ロシア語、オランダ語※オンラインヘルプは日本語と英語のみ対応

23

非球面一般式の諸元とレンズ有効径を入力するだけで非球面レンズの評価パートプログラム作成が可能なソフトウェアです。デザインRやベストフィットR解析はもちろん、それらの結果から非球面疑似粗さパラメータや非球面精度評価量の算出が容易に可能です。

Y軸テーブルを用いた三次元表面粗さ測定データを解析するソフトウェアです。シューディング（陰影）表示、網掛け表示、等高線表示など様々なビジュアル表現方法を備えています。3D粗さパラメータ計算、切断面（面積、体積）解析のほか、負荷曲線BAC、振幅分布図ADC、パワースペクトル解析など、表面性状をあらゆる角度から分析することが可能です。

非球面簡易プログラム作成画面 非球面疑似粗さパラメータ解析 非球面精度評価量F’,A’,S’ 解析]

FORMTRACEPAKソフトウェア

三次元データ解析プログラム FORMTRACEPAK-PRO（オプション）

非球面レンズ解析プログラム ASLPAK

24

CNC表面粗さ測定機、CNC表面性状測定機向けの3D表面性状解析ソフトウェアです。測定データをカラー・等高線・3Dビュー・3Dビュー＋メッシュ・写真などの豊富な表示機能により、表面の特徴が容易に、かつ鮮明に認識できます。解析結果は自由なレイアウトでグラフィカルなレポート作成が可能です。（最新のISO 25178-2 3Dの表面性状パラメータ規格に対応しております。）

CNC形状測定機の外部制御機能を追加するオプションソフトウェアです。PLC（プログラマブル・ロジック・コントロール）からRS-232C通信により、測定機の状態監視と、測定機の制御を行なうことができます。

CNC形状測定機 データ処理装置 PC

解析ソフトFORMTACEPAK

外部通信ソフトFORMEio

RS-232CPLC *

ワーク搬送装置

操作盤

シグナルタワー

各種信号 近接SW,リミットSW

* Programmable Logic Controller

3次元表面性状解析プログラム MCubeMap（オプション）

外部通信プログラム FORMEio（オプション）

25

標準スタイラス 12AAE882（1µm）※112AAE924（1µm）12AAC731（2µm）※112AAB403（5µm）12AAB415（10µm）12AAE883（250µm）※4

（　）：先端半径

深穴2倍用※2 12AAE898（2µm）※112AAE914（5µm）（　）：先端半径

小穴用 12AAC732（2µm）※112AAB404（5µm）12AAB416（10µm）（　）：先端半径

小穴用・深穴2倍※2 12AAE892（2µm）※112AAE908（5µm）（　）：先端半径

極小穴用 12AAC733（2µm）※112AAB405（5µm）12AAB417（10µm）（　）：先端半径

細穴形状用※2 ※4 12AAE884（φ1.6mm）

超小穴用 12AAC734（2µm）※112AAB406（5µm）12AAB418（10µm）（　）：先端半径

極細穴形状用※4 12AAJ662（φ0.5mm）

深穴用※2 細長穴用※2 12AAE938（2µm）※112AAE940（5µm）

2倍12AAC740（2µm）※112AAB413（5µm）12AAB425（10µm）（　）：先端半径

3倍12AAC741（2µm）※112AAB414（5µm）12AAB426（10µm）（　）：先端半径

※1： 先端角度60°※2： 下向き測定のみ可（検出器の測定力は保証外となります）

1460

φ8

φ14

検出器

φ14

φ7

1011.53.1

3.6

1.3

スキッドレス ノーズピーズ（12AAB355）

4

●12AAG202 継足ロッド50 継足し量50mm

●12AAG203 継足ロッド100 継足し量100mm

※継足ロッドは2本以上接続できません。

コードNo. 測定力178-396-2 0.75mN ’97 ISO、 ’01 JIS 準拠の検出器178-397-2 4mN 従来規格や一般的に使用されていた検出器

標準スタイラス

90°

0.9 37.7

7.6

44.7

φ2.

4

φ1.2

5.2

A

識別色※3

A部詳細

小穴用

識別色※3A部詳細

0.6

0.4

1.6 φ0.6

90°

（S＝5/1）

φ2.

415

φ1.

2

3.4 2.4

1.6

0.6 37.744.4

A

極細穴用

識別色※3A部詳細

0.4

1.2

φ0.3

90°

（S＝5/1）

φ2.

48.9

φ0.

6

2.5

37.7

1.2

44.2

A

超小穴用

識別色※3A部詳細

φ0.3

90°

0.8

0.4

（S＝5/1）

φ2.

4

37.7

2.5

φ0.

6

8.9

44.2

0.8

A

深穴用

識別色※3 識別色※3

A部詳細 A部詳細

φ2.

4

87.70.9

φ1.2

90°

94.7

7.6

5.2

A

φ2.

4

137.70.9

7.6

144.7

φ1.2

90°

5.2

A

深穴2倍用

31.

80.

6

φ2.

4

94.787.70.9

小穴用・深穴2倍

φ1.

2

1.6

3.4

2.4

φ2.

4

94.487.70.6

30

A

0.6

φ0.6

A部詳細

細穴形状用

φ1.

2

φ2.

4φ1.6超硬球

4187.7

93.8

極細穴形状用

φ2.

4φ0.

3

A

7

37.743.8

7

φ0.5超硬球

A部詳細

φ2.

4

43.837.7

8.5

3.1

A

φ0.

3φ0.5超硬球

A部詳細

細長穴用

0.4

1.6

φ1.

2

φ2.

4

94.487.70.6

45

A

φ0.6

0.6

A部詳細

※3： 先端半径 1µm 2µm 5µm 10µm 250µm識別色 白 黒 色無し 黄 切欠き、色 共に無し

※4：校正用として、段差標準片（No.178-611、オプション）が別途必要

検出器・スタイラス（表面粗さ測定用※）※CS-5000CNC/CS-H5000CNCは除きます。

検出器

スタイラス

継足ロッド

26

深溝用（10mm） 12AAC735（2µm）※112AAB409（5µm）12AAB421（10µm）（　）：先端半径

深溝用※2（20mm） 12AAE893（2µm）※112AAE909（5µm）（　）：先端半径

深溝用※2（20mm） 12AAC736（2µm）※112AAB408（5µm）12AAB420（10µm）（　）：先端半径

深溝用※2（40mm） 12AAE895（2µm）※112AAE911（5µm）（　）：先端半径

深溝用※2（30mm） 12AAC737（2µm）※112AAB407（5µm）12AAB419（10µm）（　）：先端半径

深溝用（30mm）・深穴2倍※2

12AAE894（2µm）※112AAE910（5µm）（　）：先端半径

歯面用 12AAB339（2µm）※112AAB410（5µm）※112AAB422（10µm）※1

（　）：先端半径

歯面用・深穴2倍※2

12AAE896（2µm）※112AAE912（5µm）※1

（　）：先端半径

転がり円うねり用※4

12AAB338（φ1.588） 転がり円うねり・深穴2倍※2 ※4

12AAE886（250µm）

ナイフエッジ用 12AAC738（2µm）※112AAB411（5µm）12AAB423（10µm）（　）：先端半径

穴測定コーナー用・深穴2倍※2 12AAM601（2µm）※112AAM603（5µm）※1

（　）：先端半径

心違い用※2 12AAC739（2µm）※112AAB412（5µm）12AAB424（10µm）（　）：先端半径

穴底円すいスタイラス 12AAE899（2µm）※112AAE915（5µm）（　）：先端半径

※1： 先端角度60° ※2： 下向き測定のみ可（検出器の測定力は保証外となります）※ご注文により特殊測定子を製作いたします。対応可能な仕様等に　つきましては、弊社最寄りの営業所へお問い合わせください。

13

φ2.

40.9

φ1.2

90°

14.2

37.744.7

A

識別色※3

A部詳細

深溝用（10mm）

23

0.9

φ2.

4

24.2

φ1.290°

37.744.7

A識別色

A部詳細

識別色※3

A部詳細90°

23 φ2.

4

φ1.2

24.2

37.744.7

A

深溝用（20mm）

33 31.8

5.2

φ1.2

A

φ2.4

φ2.

4

90°

37.745.2

識別色※3

A部詳細

深溝用（30mm）

60°

60°

7.6

6.4

37.743.8

φ1.2 φ2.

4A

識別色※3

A部詳細

歯面用

7.6

φ2.

4

φ1.2

0.9 37.744.7

Ball φ1.588

5.2

転がり円うねり用

7.6

φ2.

4

φ1.290°

37.70.944.7

A識別色※3

A部詳細

ナイフエッジ用

A37.70.9

90°φ1.2

45.2

7.6

10

φ2.

4

φ2.

4

識別色

A部詳細

識別色※3

A部詳細

心違い用

90° φ2.

4φ1.2

45.21.4 37.7

7.6φ

2.4

10

A

23 21.8 5.2

95.2

87.7

φ2.4

φ1.2

深溝用2倍（20mm）

43.8

42.6

5.2

φ2.

4

45.237.7

φ2.4

φ1.2

深溝用（40mm）

36.5

35

5.2

φ3

93.887.7

φ1.2

深溝用（30mm）深穴2倍

36.5

35

φ3

93.8

6.77

87.7

φ1.2

60°

歯面用深穴2倍

94.70.9 87.7

φ1.2 φ2.

4

5.2

6.4

7.6

転がり円うねり・深穴2倍93.8

87.7

φ1.2

60°

60°

7.6

6.4 φ2.

4

穴測定コーナー用・深穴2倍

穴底用

7.4 φ

1

0.5

56.2

φ2.

4

44.337.7

※3： 先端半径 2µm 5µm 10µm識別色 黒 色無し 黄

※4：校正用として、段差標準片（No.178-611、オプション）が別途必要

スタイラス（表面粗さ測定用※）※CS-5000CNC/CS-H5000CNCは除きます。

スタイラス

27

アーム・スタイラス（SV-C4500CNC輪郭形状測定用）

スタイラス

アーム●アーム適合表 スタイラス名 符 号 パーツ No. 適用スタイラス

ストレートアーム AB-31 12AAM101※1 SPH-5＊, 6＊, 7＊, 8＊, 9＊

SPHW※2-56, 66, 76

心違いアーム AB-37 12AAQ762※3 ※4 SPH-5＊, 6＊, 7＊, 8＊, 9＊

SPHW※2-56, 66, 76

小穴アーム AB-33 12AAM103※3 ※4

SPH-41, 42, 43

●スレートアーム AB-31 ●心違いアーム AB-37 ●小穴アーム AB-33

φ857.5

20

218※5

φ8

40

57.520

φ8

218

57.520

218※5

スタイラス名 符 号 パーツ No. 適用アームNo. H（mm）

両側円すい※2

スタイラス

SPHW-56 12AAM095 ※6 AB-31, AB-32 20SPHW-66 12AAM096 ※4 AB-31, AB-32 32SPHW-76 12AAM097 ※4 AB-31, AB-32 48

片角スタイラス

SPH-51 354882 ※3※4 AB-31, AB-32 6SPH-61 354883 AB-31, AB-32 12SPH-71 354884 ※1 AB-31, AB-32 20SPH-81 354885 AB-31, AB-32 30SPH-91 354886 AB-31, AB-32 42

両角スタイラス

SPH-52 354887 AB-31, AB-32 6SPH-62 354888 AB-31, AB-32 12SPH-72 354889 ※3※4 AB-31, AB-32 20SPH-82 354890 AB-31, AB-32 30SPH-92 354891 AB-31, AB-32 42

円すいスタイラス先端角度 30°材質：サファイヤ

SPH-53 354892 AB-31, AB-32 6SPH-63 354893 AB-31, AB-32 12SPH-73 354894 AB-31, AB-32 20SPH-83 354895 AB-31, AB-32 30SPH-93 354896 AB-31, AB-32 42

円すいスタイラス先端角度 30°材質：超硬合金

SPH-56 12AAA566 AB-31, AB-32 6SPH-66 12AAA567 AB-31, AB-32 12SPH-76 12AAA568※3※4 AB-31, AB-32 20SPH-86 12AAA569 AB-31, AB-32 30SPH-96 12AAA570 AB-31, AB-32 42

円すいスタイラス先端角度 20°材質：超硬合金

SPH-57 12AAE865 AB-31, AB-32 6SPH-67 12AAE866 AB-31, AB-32 12SPH-77 12AAE867 AB-31, AB-32 20SPH-87 12AAE868 AB-31, AB-32 30SPH-97 12AAE869 AB-31, AB-32 42

円すいスタイラス先端角度 50°材質：ダイヤモンド

SPH-79 355129 AB-31, AB-32 20

ナイフエッジスタイラス

SPH-54 354897 AB-31, AB-32 6SPH-64 354898 AB-31, AB-32 12SPH-74 354899 AB-31, AB-32 20SPH-84 354900 AB-31, AB-32 30SPH-94 354901 AB-31, AB-32 42

ボールスタイラス

SPH-55 354902 AB-31, AB-32 6SPH-65 354903 AB-31, AB-32 12SPH-75 354904 AB-31, AB-32 20SPH-85 354905 AB-31, AB-32 30SPH-95 354906 AB-31, AB-32 42

小穴スタイラス※7SPH-41 12AAM104※3※4 AB-33 2SPH-42 12AAM105 AB-33 4SPH-43 12AAM106※3※4 AB-33 6.5

※1：標準付属品です。※2：SV-C4500シリーズ用スタイラスです。※3：アームスタイラス標準セット（オプション品 No.12AAN461）構成品です。※4：アームスタイラス上下測定セット（オプション品 No.12AAN462）構成品です。※5：片角スタイラスSPH-71（標準付属品）取付時。※6：SV-C4500シリーズの標準付属品です。※7：SV-C3100/4100シリーズ用のスタイラスSPH-21、22、23は使用できません。※8：SV-C4500シリーズ用アームスタイラスです。

●スタイラス適合表

先端角度：20°先端幅：3mm先端半径：25μm材質：超硬合金

H

φ3●片角スタイラス

先端角度：12°先端半径：25μm材質：超硬合金

φ3

H

●両角スタイラス

先端角度：20°先端半径：25μm材質：超硬合金

H

φ3●ナイフエッジスタイラス

H

φ3●ボールスタイラス

先端ボール径：1mm先端材質：超硬合金

φ3

H

●円すいスタイラス

先端角度：30°（SPH-79のみ50°）先端半径：25μm先端材質：サファイヤ・超硬合金　（SPH-79のみダイヤモンド）

H

φ3●円すいスタイラス

先端角度：20°先端半径：25μm材質：超硬合金

●小穴スタイラス SPH-41

先端形状：片角先端角度：20°先端半径：25μm先端材質：超硬合金

●小穴スタイラス SPH-42

先端形状：片角先端角度：20°先端半径：25μm先端材質：超硬合金

●小穴スタイラス SPH-43

先端形状：片角先端角度：20°先端半径：25μm先端材質：超硬合金

●両側円すいスタイラス

先端角度：30°先端半径：25μm材質：超硬合金

H

φ3

13

φ1.6

φ4.8

H0.4

55

φ3

H1

20

φ5

55

φ4

H2.5

40 55

●両側小穴アームスタイラスSPHW-21/31 ●両側小穴アームスタイラス SPHW-22/32

●両側小穴アームスタイラス SPHW-33

先端形状：円すい先端角度：20°（SPHW-21） 30°（SPHW-31）先端半径：25μm先端材質：超硬合金

先端形状：円すい先端角度：20°（SPHW-22） 30°（SPHW-32）先端半径：25μm先端材質：超硬合金

先端形状：円すい先端角度：30°先端半径：25μm先端材質：超硬合金

φ4.8φ1.6

φ8

275

20

φ5φ3

φ8

275

19.520

20

φ4

φ8

275

20

H

先端拡大図

H

先端拡大図

H

先端拡大図

39.5

12.727

●アームスタイラス（アームとスタイラス一体形）アームスタイラス名 符 号 パーツ No. H（mm）

両側小穴アームスタイラス※8

SPHW-21 12AAT469 2.4SPHW-31 12AAM108 2.4SPHW-22 12AAT470 5SPHW-32 12AAM109※4 5SPHW-33 12AAM110 9

28

標準長さスタイラス触針長さ：12.5mm 先端材質：ダイヤモンド先端形状：円すい40°先端半径：5µm

12AAD543 ※112AAJ037 ※2

標準長さ細穴スタイラス触針長さ：0.4mm 先端材質：ダイヤモンド先端形状：円すい40°先端半径：5µm

12AAD651

標準長さボールスタライス触針長さ：12.75mm 先端材質：サファイヤ先端ボール半径：0.25mm

12AAD544 ※1,※2 標準長さ極細穴スタイラス触針長さ：0.6mm 先端材質：ダイヤモンド先端形状：円すい40°先端半径：5µm

12AAD652

2倍長さスタイラス触針長さ：25mm 先端材質：ダイヤモンド先端形状：円すい60°先端半径：2µm

12AAJ041 ※2 標準長さ心違いスタイラス触針長さ：12.5mm 先端材質：ダイヤモンド先端形状：円すい40°先端半径：5µm

12AAD653

2倍長さスタイラス触針長さ：25mm 先端材質：ダイヤモンド先端形状：円すい40°先端半径：5µm

12AAD545 ※112AAJ039 ※2

2倍長さボールスタイラス触針長さ：25.25mm 先端材質：サファイヤ先端ボール半径：0.25mm

12AAD546 ※1,※2

※1：CS-5000CNC標準付属品※2：CS-H5000CNC標準付属品

107

(66)

ø1.2

(31.5)

(36)

74.51

ø6

12.5

(6.5

)

ø4

40°

ø1.2

(31.5)

(66)(36)

74.51107

ø6

12.7

5

(6.8

)

ø4

ø0.5mmボール

ø1.2

(31.5)

(146)(116)

154.51187

ø6

(19)2

5

ø4

40°

ø1.2

(31.5)

(146)(116)

154.51187

ø6

(19)25

ø4

60°

ø1.2

(31.5)

(146)(116)

154.51

187

ø6

(19.

3)

25.2

5

ø4

ø0.5mm ボール

0.4

ø1.2

0.6

A

15

(36)(66)

ø4ø6

1.6

(1.1

)

74.5 (31.5)0.6106.6

6

A

0.6ø

0.6

0.4

A

10

ø4ø6

1.2

(1.1

)

74.5 (31.5)0.4106.4

(36)(66)

6

A

ø4ø6

12.5ø6

(6.5

)

(36)

ø1.2

(66)

74.5 (31.5)3109

16

40°

40°

40°

検出器ノーズピース

単位：mm

スタイラス（CS-5000CNC/CS-H5000CNC用）

スタイラス

29

応用範囲を拡げる多彩な機能

機 能

項 目

Y軸テーブル（装着機種のみ）

θ1テーブル（オプション）

θ2テーブル（オプション）

2Dオートレベリングテーブル（オプション）

3Dオートレベリングテーブル（オプション）

駆動部傾斜（装着機種のみ）

自動レベリング ̶ ̶ ̶ ◎ ◎ ◎

自動通り出し ◎ ◎ ̶ ̶ ̶ ○

多数ワーク一括測定 ○ ̶ ̶ ̶ ̶ ̶

Y軸方向測定 ◎ ̶ ̶ ̶ ̶ ̶

XY面斜め測定*1 ◎ ̶ ̶ ̶ ̶ ̶

表面の3D表面粗さ測定/評価*1

◎ ̶ ̶ ̶ ̶ ○

Y方向の複数本測定(Y方向の位置決め)

◎ ̶ ̶ ̶ ̶ ̶

半径方向の複数本測定(XY面回転方向位置決め)

○ ◎ ̶ ̶ ̶ ̶

X軸方向の斜面測定 ○ ̶ ̶ ̶ ̶ ◎

X軸方向の斜め穴測定 ○ ̶ ̶ ̶ ̶ ◎

円筒母線の多数本測定 ○ ̶ ◎ ̶ ̶ ̶

裏表測定 ○ ̶ ◎ ̶ ̶ ̶

*1：表面粗さ測定のみ対応

◎：必須機能　○：推奨機能

●精密バイス十字動付載物台などに装着します。

●心出しチャック（ローレットリング固定）小物部品の測定で、操作性が良くローレットリングで容易に固定できます。

●3軸調整テーブル3軸調整テーブルを使用すると、FORMTRACE PAKのガイダンスに従って操作するだけで通り出しと水平出し調整が簡単に行えるようになります。経験と勘は不要です。

オプション群の最適な組合せ例の紹介

178-019 211-032

保持範囲内爪での外径φ1～φ36mm内爪での内径φ16～φ69mm外爪での外径φ25～φ79mm

外観寸法（D×H） φ118×41mm質量 1.2kg

固定方式 両締方式締付部の開き量 51mm締付部の幅 44mm締付部の深さ 16mm総高さ 37mm

178-047

30

X軸方向の斜面測定

X軸方向の斜め穴測定

多数ワーク一括測定

裏表測定

自動通り出し

XY面斜め測定

円筒母線の多数本測定 半径方向の複数本測定

座標測定機

精密センサ

画像測定機

試験・計測機器

形状測定機

スケールユニット

光学機器

測定工具、測定基準器、計測システム

472 1808(2)B-(CH)P131

川崎市高津区坂戸1-20-1 〒213-8533http://www.mitutoyo.co.jp

http://www.mitutoyo.co.jp/corporate/network/domestic/list.html#sale

最寄りの営業所をご確認いただけます。

●仕様、デザイン(外観)ならびにサービス内容などは、予告なしに変更することがあります。あらかじめご了承ください。●本カタログに掲載されている仕様は2018年8月現在のものです。

弊社商品は外国為替及び外国貿易法に基づき、日本政府の輸出許可の取得を必要とする場合があります。製品の輸出や技術情報を非居住者に提供する場合は最寄りの営業所へご相談ください。

お求めは当店で̶

M3 Solution Center…商品の実演を通して最新の計測技術をご提案しています。事前に弊社営業所にご連絡ください。UTSUNOMIYA 宇都宮市下栗町 2200 〒321-0923 電話 (028) 660-6240 ファクス (028) 660-6248TOKYO 川崎市高津区坂戸 1-20-1 〒213-8533 電話 (044) 813-1611 ファクス (044) 813-1610SUWA 諏訪市中洲 582-2 〒392-0015 電話 (0266) 53-6414 ファクス (0266) 58-1830ANJO 安城市住吉町 5-19-5 〒446-0072 電話 (0566) 98-7070 ファクス (0566) 98-6761OSAKA 大阪市住之江区南港北 1-4-34 〒559-0034 電話 (06) 6613-8801 ファクス (06) 6613-8817HIROSHIMA 呉市広古新開 6-8-20 〒737-0112 電話 (082) 427-1161 ファクス (082) 427-1163FUKUOKA 福岡市博多区博多駅南 4-16-37 〒812-0016 電話 (092) 411-2911 ファクス (092) 473-1470

計測技術者養成機関…各種のコースが開催されています。 詳細は弊社営業所にご連絡ください。ミツトヨ計測学院 川崎市高津区坂戸1-20-1 〒213-8533 電話 (044) 822-4124 ファクス (044) 822-4000

カスタマーサポートセンタ…商品に関しての各種のお問合せ、ご相談をお受けしています。 電話 (050) 3786-3214 ファクス (044) 813-1691

仙台営業所 仙台市若林区卸町東1-7-30 〒984-0002 電話(022)231-6881 ファクス(022)231-6884 郡山駐在所 電話(024)931-4331宇都宮営業所 宇都宮市平松本町796-1 〒321-0932 電話(028)660-6240 ファクス(028)660-6248 つくば駐在所 電話(029)839-9139伊勢崎営業所 伊勢崎市宮子町3463-13 〒372-0801 電話(0270)21-5471 ファクス(0270)21-5613 さいたま駐在所 電話(048)667-1431 新潟駐在所 電話(025)281-4360川崎営業所 川崎市高津区坂戸1-20-1 〒213-8533 電話(044)813-1611 ファクス(044)813-1610 東京駐在所 電話(03)3452-0481厚木営業所 厚木市岡田1-7-1 ヴェルドミールSUZUKI 105 〒243-0021 電話(046)226-1020 ファクス(046)229-5450 八王子駐在所 電話(042)620-5380 富士駐在所 電話(0545)55-1677 諏訪営業所 諏訪市中洲582-2 〒392-0015 電話(0266)53-6414 ファクス(0266)58-1830 上田駐在所 電話(0268)26-4531浜松営業所 浜松市東区和田町587-1 〒435-0016 電話(053)464-1451 ファクス(053)464-1683安城営業所 安城市住吉町5-19-5 〒446-0072 電話(0566)98-7070 ファクス(0566)98-6761名古屋営業所 名古屋市昭和区鶴舞4-14-26 〒466-0064 電話(052)741-0382 ファクス(052)733-0921金沢営業所 金沢市桜田町1-26 ドマーニ桜田 〒920-0057 電話(076)222-1160 ファクス(076)222-1161大阪営業所 大阪市住之江区南港北1-4-34 〒559-0034 電話(06)6613-8801 ファクス(06)6613-8817 神戸駐在所 電話(078)924-4560京滋営業所 草津市大路2-13-27 辻第3ビル1F 〒525-0032 電話(077)569-4171 ファクス(077)569-4172岡山営業所 岡山市北区田中134-107 〒700-0951 電話(086)242-5625 ファクス(086)242-5653広島営業所 東広島市八本松東2-15-20 〒739-0142 電話(082)427-1161 ファクス(082)427-1163福岡営業所 福岡市博多区博多駅南4-16-37 〒812-0016 電話(092)411-2911 ファクス(092)473-1470センシング営業部 川崎市高津区坂戸1-20-1 〒213-8533 電話(044)813-8236 ファクス(044)822-8140