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반도체장비 스마트 모니터링, 진단, 예측정비 솔루션 생산효율 향상을 위한 지능형 장비관리 예측 진단 기능을 활용한 장비 유지 비용 절감 솔루션 www.advantech.co.kr

반도체장비 스마트 모니터링, 진단, 예측정비 솔루션support.advantech.co.kr/edm/2016/e_catalog/Semiconductor.pdf · 신속한 모니터링 및 진단 소프트웨어

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반도체장비 스마트 모니터링, 진단, 예측정비 솔루션생산효율 향상을 위한 지능형 장비관리

예측 진단 기능을 활용한 장비 유지 비용 절감 솔루션

www.advantech.co.kr

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스마트 모니터링, 진단, 예측정비 솔루션

생산효율성 향상

효과적인 장비수명 연장

유지관리비 최소화

실시간 장비 정보

어드밴텍 솔루션을 이용하면, 이용자는 사용하기 간편한

그래픽 제어 인터페이스를 통해 즉각적으로 실시간 장비

상태 모니터링을 할 수 있습니다.

비정상 상황 즉각 처리

생산중인 제품이나 기계가 예상치 못한 상태로 진행되면,

이용자는 시스템을 통해 신속하고 효과적으로 대응하여 정

지 및 수리 계획을 수립할 수 있습니다.

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완벽한 생산정보 분석

모든 종류의 생산 정보를 완벽하게 기록함으로써, 공정 최

적화 및 생산 일정 관리에 적용할 수 있습니다. 이로써 생

산 효율성과 추적성이 향상될 뿐 아니라 제조 실행 시스템

의 세부 내용까지 관리할 수 있습니다.

스마트 예측정비 솔루션

실시간 기계운전 상태에 따라 효과적이고 역동적인 예방정

비 솔루션을 구축하여 안정적인 기능수행을 보장하고 장비

신뢰성을 향상시킵니다.

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기계는 많은 진공펌프에 의존하여 그 운전상태를 유지합니다. 진공펌프는 장기간 사용 후에는 주기적으로 정비해야 하며,

사용기간이 초과되면 안정성 문제가 대두될 수 있습니다. IT공장 하나에 수천 개의 진공펌프가 있습니다. 전통적인 수동 검

사에는 많은 인력과 시간이 요구될 뿐만 아니라, 수동검사로는 운전상태를 충분히 그리고 즉시 파악할 수 없습니다. 이 시

스템은 운전상태를 실시간으로 분석하여 고장 메시지를 신속히 SCADA 서버로 전송하여 지능적인 장비 정비를 수행함으로

써 인력과 시간을 크게 절감합니다. 이 시스템은 기존의 FDC 시스템과 결합하여 장비와 장치 통신을 할 수 있습니다. 생산

관리와 관련하여, 이 시스템은 통계를 사람이 직접 계산할 때 발생되는 오류와 시간을 줄여주고, 각 장치의 작동 상태를 효

과적으로 보고하며, 장치의 성능과 상태를 분석하고, 그 개선을 통해 생산능력을 향상시킵니다.

● 전통적인 수동 검침의 개선, 진공펌프의 실시간 원격 모니터링을 통한 인건비 절감

● 쉽고 직관적인 그래픽 제어 인터페이스를 이용한 실시간 모니터링과 분석으로 진공펌프 정비 효율성 향상

적용 분야

시스템 아키텍처

● 반도체 화학증착 장비

● 반도체 물리증착 장비

● 반도체 건식식각 장비

진공펌프용 실시간 모니터링, 진단, 예측정비 시스템

WA+FA-121 시리즈

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시스템 규격

메인 시스템 구성요소

진공펌프용 실시간 모니터링, 진단, 예측정비 시스템

모니터링 기능

주요 모니터링 항목:● 진공펌프 분포● 실시간 진공펌프 정보● 이력 그래프● 이벤트로그● 경고 및 권한 설정

실시간 진공펌프 및 이력 그래프 정보에 포함되는 항목:● DP 모터 전류● BP 모터 전류● 새시 온도● 배압● 냉각수● 질소기류

에디션 표준 고급 전문가용

시스템아키텍처

진공펌프 64 320 640

16포트 직렬서버 4 20 40

SCADA 서버17인치 산업용 터치패널

컴퓨터 1대17인치 산업용 터치패널

컴퓨터 1대17인치 산업용 터치패널

컴퓨터 1대

소프트웨어

● WebAccess 600 태그● WA+FA-121SS 어드밴텍 진공펌프용 모니터링 및 진단 툴 키트

● WebAccess 5,000 태그● WA+FA-121SS 어드밴텍 진공펌프용 모니터링 및 진단 툴 키트

● WebAccess 20,000 태그● WA+FA-121SS 어드밴텍 진공펌프용 모니터링 및 진단 툴 키트

구성요소 어드밴텍 WebAccess TPC-1771 EKI-1526

기능

브라우저 기반 HMI/SCADA 소프트웨어● 신속한 모니터링 및 진단 소프트웨어 개발

을 위한 네트워킹 및 원격 모니터링 기능● 이용자가 언제 어디서든 네트워크를 통해

현장상태를 제어하고 원격접속을 통해 분

석하고 의사결정을 하도록 하기 위한 원

격 모니터링 기능

SCADA 서버

내장 WebAccess SCADA 모니터링 및 진

단 소프트웨어와 함께 서버에 실시간 데이

터 취득 및 강력한 컴퓨팅 기능이 장착되

어 있으며, 전력소비가 적은 팬리스 설계

16포트 직렬서버

진공펌프의 실시간 정보 전송

규격

상이한 시스템 요구사항에 따라 상이한

I/O태그 제공. 시스템 규격 참조

● Intel 174®AtomTM D525, 1.8GHz 프로세서● 17인치 SXGA TFT LED LCD● 팬리스 냉각 시스템● IP65 프런트 패널● PCle 및 소형 PCle 확장에 대한 지원● 백업 SRAM이 있는 8DI/O● DDR3 SDRAM에 대한 지원● 직렬포트 절연 보호

● 이더넷 포트: 2● 통신 인터페이스: 10/100Mbps● 통신유형: RS-232/422/485● Baud Rate: 50bps ∼ 921.6bps

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지능형 로봇 암 제어장치용 실시간 모니터링, 진단, 예측정비 시스템생산공정은 로봇 암에 의존하여 부품을 이송합니다. 그러나, 로봇 암은 장기간 사용하면 고장나기 시작합니다. 자동차나 IT

장비 제조공장에는 수백 개의 로봇 암이 있으며, 이들을 수동으로 정비하려면 많은 시간과 인력이 필요합니다. 로봇 암이

정지되면 정지된 시간 만큼 생산능력이 떨어집니다. 원격 모니터링 및 진단은 기계적 문제가 발생하기 전에 조기 경보를 제

공함으로써 일을 줄여주고 일상정비를 빠르게 해줍니다. 또한, 이 시스템은 기계적 결함을 보고하고 기계의 장단점을 평가

하여 개선하게 함으로써 생산성을 향상시킵니다.

● 전통적인 수동 검침의 개선, 로봇 암의 실시간 원격 모니터링으로 인건비 절감

● 쉽고 직관적인 그래픽 제어 인터페이스를 이용한 실시간 모니터링과 분석으로 로봇 암 정비 효율성 향상

시스템 아키텍처

적용 분야● 반도체 공장

● 자동차 공장

● 정밀기계 공장

WA+FA-122 시리즈

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메인 시스템 구성요소

시스템 규격

지능형 로봇 암 제어장치용 실시간 모니터링, 진단, 예측정비 시스템

모니터링 기능

주요 모니터링 항목:● 로봇 암 제어장치 분포● 실시간 로봇 암 제어장치 정보● 이력 그래프● 로봇 암 제어장치 이벤트로그● 경고 및 권한 설정

로봇 암의 실시간 모니터링 정보 및 이력 그래프:● 토크● 속도

에디션 표준 고급 전문가용

시스템아키텍처

로봇 암 제어장치연결 16 256 1024

로봇 암 연결로봇 암 6개

조인트 각 로봇 암당 8개아날로그 포인트 각 조인트당 2개

로봇 암 256개조인트 각 로봇 암당 8개

아날로그 포인트 각 조인트당 2개

로봇 암 1,024개조인트 각 로봇 암당 8개

아날로그 포인트 각 조인트당 2개

16포트 직렬서버 1 16 64

SCADA 서버UNO-2178 팬리스 자동화 컴퓨터 1대

UNO-2178 팬리스 자동화 컴퓨터 1대

UNO-2178 팬리스 자동화 컴퓨터 1대

소프트웨어

● WebAccess 300 태그● WA+FA-121SS 어드밴텍 진공펌프용 모니터링 및 진단 툴 키트

● WebAccess 5,000 태그● WA+FA-121SS 어드밴텍 지능형 로봇 암용 모니터링 및 진단 툴 키트

● WebAccess 20,000 태그● WA+FA-121SS 어드밴텍 지능형 로봇 암용 모니터링 및 진단 툴 키트

구성요소 어드밴텍 WebAccess UNO-2178 EKI-1526

기능

브라우저 기반 HMI/SCADA 소프트웨어● 신속한 모니터링, 소프트웨어 개발을 위

한 네트워킹 및 원격 모니터링 ● 네트워크를 통해 현장 상태 제어, 분석,

의사 결정을 가능하게 하는 원격 모니터

링 기능

SCADA 서버

WebAccess SCADA 내장

실시간 데이터 취득

강력한 컴퓨팅 기능

내구성/신뢰성 보장

16포트 직렬서버

로봇 암 제어장치의 토크 및 속도 전송

규격

시스템 요구 별 I/O 태그 선정

시스템 규격 참조

● Intel Atom D510 1.67GHz 프로세서, 4GB

CF 카드● 10/100/1000 Base-TRJ-45 포트 2개,

USB 2.0 포트 6개● 시스템 상태 LED 표시기, 전면 CF 카드

슬롯 LAN 기능 지원● 미니 PCle 슬롯 2개, SIM 카드슬롯 1개● 광범위한 작동온도 지원 -10∼70℃● IP40 보호, 윈도우 7 지원, 32 & 64비트

● 이더넷 포트: 2● 통신 인터페이스: 10/100Mbps● 통신유형: RS-232/422/485● Baud Rate: 50bps ∼ 921.6bps

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로봇 암 제어장치용 실시간 모니터링, 진단, 예측정비 시스템생산공정은 로봇 암에 의존하여 부품을 이송합니다. 그러나, 로봇 암을 장시간 사용할 경우 고장발생은 불가피한 사실입니

다. 자동차나 IT 장비 제조공장에는 수백 개의 로봇 암이 있고 수동 정비에는 오랜 시간이 소요됩니다. WA+FA-123 시스템

은 업무량과 일상적인 수동정비 시간을 줄여주면서 기계적 문제에 대해 신속한 경보를 함으로써 대응할 수 있는 시간을 더

여유롭게 해줍니다. 생산 관리적 측면에서 통계를 손으로 계산할 때 발생되는 오류와 시간을 줄여주고, 기계적 문제를 효과

적으로 보고하며, 기계의 장단점을 분석하여 개선함으로써 생산성을 향상시킵니다.

● 수동 검침 개선, 실시간 원격 모니터링을 통한 인건비 절감

● 쉽고 직관적인 그래픽 제어 인터페이스를 이용한 실시간 모니터링과 분석으로 로봇 암 정비 효율성 향상

시스템 아키텍처

적용 분야● 반도체 공장

● 자동차 공장

● 정밀기계 공장

WA+FA-123 시리즈

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시스템 규격

메인 시스템 구성요소

로봇 암 제어장치용 실시간 모니터링, 진단, 예측정비 시스템

모니터링 기능

주요 모니터링 항목:● 로봇 암 제어장치 분포● 실시간 로봇 암 제어장치 정보● 이력 그래프● 로봇 암 제어장치 이벤트로그● 경고 및 권한 설정

로봇 암의 실시간 모니터링 정보 및 이력 그래프:● 전류

에디션 표준 고급 전문가용

시스템아키텍처

산업용 PC 1 x APAX-5620 16 x APAX-5620 64 x APAX-5620

아날로그 신호 입력 모듈

16 x APAX-5017H 256 x APAX-5017H 1024 x APAX-5017H

로봇 암 연결로봇 암 6개

조인트 각 로봇 암당 4개아날로그 포인트 각 조인트당 2개

로봇 암 256개조인트 각 로봇 암당 4개

아날로그 포인트 각 조인트당 2개

로봇 암 1,024개조인트 각 로봇 암당 4개

아날로그 포인트 각 조인트당 2개

소프트웨어

● WebAccess 300 태그● WA+FA-123SS 어드밴텍 지능형 로봇 암용 모니터링 및 진단 툴 키트

● WebAccess 5,000 태그● WA+FA-123AS 어드밴텍 지능형 로봇 암용 모니터링 및 진단 툴 키트

● WebAccess 20,000 태그● WA+FA-123PS 어드밴텍 지능형 로봇 암용 모니터링 및 진단 툴 키트

구성요소 어드밴텍 WebAccess APAX-5620KW TPC-1771 EKI-1526

기능

브라우저 기반 HMI/SCADA 소프트웨어● 신속한 모니터링 및 진단 소프트웨어

개발을 위한 네트워킹 및 원격 모니터

링 기능● 이용자가 언제 어디서든 네트워크를

통해 현장상태를 제어하고 원격접속

을 통해 분석하고 의사결정을 하도록

하기 위한 원격 모니터링 기능

산업용 PC● 지능형 모니터링 및

진단시스템

아날로그 입력 모듈● 센서 신호 입력

클립온 전류 변환기● 파워 전류 측정용 보조

컨버터

규격

상이한 시스템 요구사항에 따라 상이

한 I/O태그 제공. 시스템 규격을 참조할

것.

● XScale CPU● 이더넷, RS-485 통신

인터페이스 지원● Modubus/TCP, Modubus/

RTU 통신협약 지원 ● 작동 실내온도 -10∼55℃● 작동 습도: 0∼95%

● 12채널 아날로그 입력● V, mV, mA 및 기타 입출력

포맷 지원● Modubus TCP 프로토콜● 작동 온도 -10∼60℃● 작동 습도 5∼95%● 각 입력채널은 다른 형식과

범위로 정의될 수 있음

● 전류 (1차측): 0.01∼80A

(50/60Hz) RL ≤ 10Ω, 최대

전류: 120Arms● 적응주파수: 50Hz ∼

200KHz● 2차 볼륨 (n): 3000±2T● 2차 임피던스: 420Ω±20%

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어드밴텍 지능형 서비스를 귀사의 파트너로 선택하십시오어드밴텍은 30여년 동안 지능형 플랫폼 서비스의 리더로 자리매김 해왔으며 전세계에 92개 사무소를 두고 있습니다. 어드

밴텍은 다양한 버티컬 마켓에서 각 산업에 적용가능한 애플리케이션과 종합적인 스마트팩토리, 사물인터넷 솔루션을 제공

합니다.

어드밴텍의 사명은 더욱 진보된 스마트 시티 구현에 일조함과 동시에 사

물인터넷(IoT)에 대해 가장 영향력 있는 글로벌 리더가 되는 것입니다.

어드밴텍은 파트너들과 긴밀히 협력하여 여러 산업분야에서 다양하게 적

용할 수 있는 완벽한 솔루션을 제공하는데 기여하고 있습니다. 지능형 지

구의 구현이라는 우리의 비전을 실현시키기 위해 어드밴텍은 지속적으로 협력하고“스마트시티와 IoT 솔루션의 협업활동”

을 계속해갈 것입니다.

어드밴텍 지능형 서비스의 장점산업 특성에 따른 특별 솔루션 설계

시장이“제품”에서“서비스”로 이동해감에 따라 시장

에 새로운 부가가치 서비스를 제공하고 시장의 욕구를 충

족시키기 위하여 어드밴텍 지능형 서비스 사업부는 다

양한 전문 기업들에게 혁신적인 SRP (Solution Ready

Packages: 솔루션 레디 패키지)를 제공하고 있습니다. 산

업별 하드웨어 응용프로그램 솔루션과 사용자 중심의 서

비스를 제공하여 고객들이 보다 손쉽게 통합적 관리를 할

수 있도록 합니다.

산업용 클라우드 기반 서비스

어드밴텍 지능형 서비스 사업부는 오랫동안 다양한 산업을 육

성해오고 있으며, 이용자들의 목적과 니즈를 이해하면서 솔루

션에 부합하기 위해 적절한 하드웨어와 소프트웨어를 개발 공

급하고 있습니다. 최근 몇 년 동안 클라우드 기반 아키텍처

제품 개발에 각별히 집중하면서 탄생시킨 SUSIAccess라는 새

로운 산업용 클라우드 소프트웨어는 원격 장치관리, 안전한

시스템 운영 및 시스템 통합자 자신의 산업용 클라우드를 구

축하도록 도와줍니다.

스마트시티 솔루션어드밴텍의 5대 스마트 시티 솔루션은 쌍방향 통신 및 지능형 피드백을 처리하기 위해 사물인터넷 아키텍처를 충분히 활용할 수

있도록 구축되었습니다. 이 솔루션은 공공기관, 기업 등에 적용하여 새로운 소비자 경험을 제공하고 삶의 질과 도시 이미지를 향상

시킵니다.

● 디지털 통합 수술실● 품질관리● 스마트 진료

● USM 지능형 관리자● 클라우드 솔루션● 매장관리● 본사 관리● 레스토랑 관리

● 창고관리 시스템● 차량관리 시스템

지능형 병원 지능형 물류와 지능형 차량관리

지능형 소매업

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Alliance

WebAccess/SCADA

WebAccess+IVS

어드밴텍은 환경보호에 일조하고, 사회

로의 환원에 동참하는 모범기업이 되기

위해 노력하고 있습니다. 어드밴텍의 환

경 프로그램에는 산업용 제조 물질을 절

약하고 재활용하는 실천 강령이 포함되

어 있습니다.

서비스

제품보증

기본적인 제품보증 기간이 만료되면 이용자는 보증기간 연장을 신청할 수 있습니다. 당사는 보

다 낮은 유지관리비로 고객들에게 폭넓은 서비스를 제공합니다.

전문적인 설치

모든 새로운 설정에 대해서는 어드밴텍 전문팀이 테스트를 수행하며, 어드밴텍은 옵션 설치와

통합 서비스도 제공합니다. 제품 설치와 동시에 인터넷을 통한 관리 운영을 세팅함으로써 운영

과 관련된 실시간 정보를 제공합니다.

트레이닝 프로그램 제공

멀티미디어 플레이어 소프트웨어, 사용자 시범, 실제 체험 등이 포함되어 있는 토탈 교육 솔루

션을 통해 시스템 유지보수 담당자는 시스템 사용 방법을 터득할 수 있습니다.

● ISO 9001 인증● ISO 14001 인증● ISO 13485 인증 ● OHSAS 18001 인증 ● TL9000 품질관리 시스템● RoHS 지침 준수● WEEE 지침 준수● Sony 그린 파트너 인증

환경보호선언

업계를 선도하는 품질보증

어드밴텍은 세계적인 임베디드 컴퓨팅 연구, 개발, 제조

회사로, 다양한 산업에 다양한 산업용 PC, 터치스크린, 데

이터 수집 모듈, 기타 여러 제품을 공급합니다. 안정적인

품질보증으로 어드밴텍 제품은 실내 뿐 아니라 실외 거친

환경에서도 사용할 수 있습니다. 어드밴텍 산업용 컴퓨터

의 후원 하에 어드밴텍 지능형 서비스는 산업에 스마트하

고 안정적인 프로젝트 기획 기능을 제공합니다.

고객지향적인 지원

어드밴텍 지능형 서비스는 이용자들에게 1년 365일 밤낮 없이

서비스 기회를 제공합니다. 이용자가 고객서비스 센터에 문제

점을 보고하면 전문 엔지니어로 구성된 전담팀이 즉각 시스

템 정비에 대한 지원을 제공하여 이용자들이 걱정 없이 작업

을 계속할 수 있도록 합니다. 또한, 보증기간이 만료된 경우라

도 이용자들은 보증 연장 서비스를 구입하여 유지관리비를 절

감할 수 있습니다. 당사는 충분한 제품 지원을 제공합니다.

인텔리전트 빌딩과 도시 공간

스마트 농업 및 환경 보호

● 공간관리● 빌딩 에너지 관리

● 도시공간 관리● 교통제어 시스템

● 지능형 환경보호● 지능형 농업● 지능형 수처리

● 지능형 공장 장비 모니터링● 오일 및 가스● 파워 및 에너지

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지능형 영상 소프트웨어- 지능형 영상 플랫폼

- 지능형 영상 분석 모듈

- 소프트웨어 통합 준비를 갖춘 모듈식 SDK

스마트 HMI/SCADA 소프트웨어- 100% 브라우저 기반 HMI/SCADA 소프트웨어

- 연결하기 쉽고 다양한 IoT 장치를 제어

- 다양한 이동장치 및 브라우저 지원

대화형 멀티미디어 소프트웨어- 디지털 사이니지 관리 플랫폼

- 지능형 프로그래밍 플랫폼

- 산업 및 응용 시나리오 지원

네트워크 관리 소프트웨어- 네트워크 장비 관리 및 모니터링

- 네트워크 기술의 통합

- 광역개발을 위한 위치확인

어드밴텍은 공동으로 사물인터넷 (IoT)을 개발하고 사업기회를 창출하기 위하여 시스템 통합자 파트너들이 WebAccess+ Alliance에 동참하도록 초청합니다.

어드밴텍(주)서울시 강서구 등촌3동 684-1 에이스테크노타워 12층 [email protected] 홈페이지 http://www.advantech.co.kr 수신자 부담 무료 전화 : 080-363-9494~5

www.advantech.co.kr본 안내서는 오직 참조를 위한 것입니다. 모든 제품 규격은 예고없이 변경될 수 있습니다.발행자의 사전 서면 허락 없이는 본 간행물의 어떤 부분도 어떤 형태로든 그리고 전자, 복사, 기록 등 어떤 수단으로든 복제할 수 없습니다.모든 브랜드 및 제품명은 각 해당 회사의 상표 또는 등록상표입니다.