Upload
others
View
0
Download
0
Embed Size (px)
Citation preview
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
製造装置オンライン機能要求仕様書分冊
通信シナリオ参考書
<内部バッファ/バッチ処理装置編>
第 1.0版
2002年 3月 31日
株式会社 半導体先端テクノロジーズ
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日 i
目次
1. 序論 ........................................................................................................................................ 7 1.1. 適用範囲 ............................................................................................................................. 7 1.2. 制限 .................................................................................................................................... 7 1.3. 文書構成 ............................................................................................................................. 7
1.3.1. 文書体系 ................................................................................................................. 7 1.3.2. 章構成 ..................................................................................................................... 8
1.4. 改版履歴 ............................................................................................................................. 8 1.5. 参考文献 ............................................................................................................................. 9 2. 代表的な通信シナリオ ......................................................................................................... 10 2.1. 通信シナリオ.................................................................................................................... 10
2.1.1. 通信シナリオについて.......................................................................................... 10 2.1.2. 通信シナリオの見方 ............................................................................................. 10 2.1.3. 装置起動時/装置シャットダウン時シナリオ ..................................................... 13
2.1.3.1. 立ち上げシナリオ ......................................................................................... 13 2.1.3.2. 立ち下げシナリオ ......................................................................................... 15
2.1.4. ロット処理シナリオ ............................................................................................. 16 2.1.4.1. ロット処理(1) ......................................................................................... 16 2.1.4.2. ロット処理(2) ......................................................................................... 22 2.1.4.3. QTAT処理(1) ......................................................................................... 28 2.1.4.4. QTAT処理(2) ......................................................................................... 38
2.1.5. エラーリカバリシナリオ ...................................................................................... 49 2.1.5.1. エラー内容一覧 ............................................................................................. 49 2.1.5.2. キャリアハンドオフ (E84) 失敗.................................................................. 50 2.1.5.3. スロットマップ照合 失敗............................................................................. 56 2.1.5.4. キャリア ID照合 失敗 ................................................................................. 77 2.1.5.5. ジョブ作成 失敗 ........................................................................................... 83 2.1.5.6. (アン)クランピング/(アン)ドッキング 失敗..................................... 98
2.1.6. NPW運用シナリオ .............................................................................................111 2.1.6.1. NPW運用シナリオ一覧 ..............................................................................111 2.1.6.2. Filler(定常)NPW 運用シナリオ .......................................................... 112 2.1.6.3. Filler(非定常)NPW 運用シナリオ....................................................... 129 2.1.6.4. モニター NPW 運用シナリオ.................................................................. 145
2.2. 通信シナリオで使用されるメッセージフォーマット .................................................... 162
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日 ii
2.2.1. 立上げ処理.......................................................................................................... 162 2.2.2. ロット処理.......................................................................................................... 170 2.2.3. 立ち下げ処理 ...................................................................................................... 204 2.2.4. QTAT処理(1) ............................................................................................... 206 2.2.5. QTAT処理(2) ............................................................................................... 256 2.2.6. E84 Fail.............................................................................................................. 312 2.2.7. スロットマップ照合エラー ................................................................................ 319 2.2.8. キャリア ID照合失敗 ......................................................................................... 360 2.2.9. ジョブ作成失敗................................................................................................... 365 2.2.10. (アン)クランプ/(アン)ドッキング失敗 ................................................... 388 2.2.11. Filler(定常)NPW シナリオ ......................................................................... 394 2.2.12. Filler(非定常)NPW シナリオ ..................................................................... 447 2.2.13. Monitor NPW シナリオ .................................................................................. 500 2.2.14. 搬入時 E84ハンドシェークシーケンス ............................................................. 562 2.2.15. 搬出時 E84ハンドシェークシーケンス ............................................................. 563 2.2.16. E84タイマー一覧............................................................................................... 564 2.2.17. イベントレポートフォーマット ......................................................................... 565
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日 iii
表一覧
表 1-1 対象装置 .................................................................................................................. 7 表 1-2 改版履歴 .................................................................................................................. 8 表 2-1 ステータスモデル名略号 ....................................................................................... 12 表 2-2 ステータスモデルの状態名略号 ............................................................................ 12 表 2-3 サブストレートトラッキングロケーション情報................................................... 13
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日 iv
図一覧
図 1-1 本書の文書体系 ....................................................................................................... 7 図 2-1 キャリア搬入時ハンドオフ失敗 ............................................................................ 51 図 2-2 キャリア搬出時ハンドオフ失敗 ............................................................................ 52 図 2-3 スロットマップ読込み失敗 1/3 ............................................................................ 57 図 2-4 スロットマップ読込み失敗 2/3 ............................................................................ 58 図 2-5 スロットマップ読込み失敗 3/3 ............................................................................ 59 図 2-6 スロットマップホスト照合失敗 1/3 ..................................................................... 60 図 2-7 スロットマップホスト照合失敗 2/3 ..................................................................... 61 図 2-8 スロットマップホスト照合失敗 3/3 ..................................................................... 63 図 2-9 ダブルスロット・クロススロット 1/3................................................................ 64 図 2-10 ダブルスロット・クロススロット 2/3.............................................................. 65 図 2-11 ダブルスロット・クロススロット 3/3.............................................................. 66 図 2-12 キャリアID読込みエラー ................................................................................. 78 図 2-13 キャリアIDの不一致 .......................................................................................... 79 図 2-14 プロセスジョブ作業用の空きエリアが不足していた場合 .................................... 84 図 2-15 コントロールジョブ作業用の空きエリアが不足していた場合............................. 85 図 2-16 ホストから間違ったプロセスジョブ作業が指示された場合 1/3...................... 86 図 2-17 ホストから間違ったプロセスジョブ作業が指示された場合 2/3...................... 87 図 2-18 ホストから間違ったプロセスジョブ作業が指示された場合 3/3...................... 88 図 2-19 ホストから間違ったコントロールジョブ作業が指示された場合 1/3 ................ 89 図 2-20 ホストから間違ったコントロールジョブ作業が指示された場合 2/3 ................ 90 図 2-21 ホストから間違ったコントロールジョブ作業が指示された場合 3/3 ................ 91 図 2-22 クランピング失敗.................................................................................................. 99 図 2-23 ドッキング失敗 ................................................................................................... 100 図 2-24 アンドッキング失敗 ............................................................................................ 101 図 2-25 アンクランピング失敗 ........................................................................................ 102 図 2-26 Filler(定常) 運用フロー (1).............................................................................. 113 図 2-27 Filler(定常) 運用フロー (2).............................................................................. 114 図 2-28 Filler(定常) 運用フロー (3).............................................................................. 115 図 2-29 Filler(定常) 運用フロー (4).............................................................................. 116 図 2-30 Filler(定常) 運用フロー (5).............................................................................. 117 図 2-31 Filler(非定常) 運用フロー (1) .......................................................................... 130 図 2-32 Filler(非定常) 運用フロー (2) .......................................................................... 131
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日 v
図 2-33 Filler(非定常) 運用フロー (3) .......................................................................... 132 図 2-34 Filler(非定常) 運用フロー (4) .......................................................................... 133 図 2-35 Filler(非定常) 運用フロー (5) .......................................................................... 134 図 2-36 Monitor 運用フロー (1) ................................................................................... 146 図 2-37 Monitor 運用フロー (2) ................................................................................... 147 図 2-38 Monitor 運用フロー (3) ................................................................................... 148 図 2-39 Monitor 運用フロー (4) ................................................................................... 149 図 2-40 Monitor 運用フロー (5) ................................................................................... 150
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
7
1. 序論
1.1. 適用範囲 本書は、次に示すバッファタイプならびに単位サイクルサイズを持つ 300㎜半導体製造装置に適用される。
装置タイプ 適用 バリエーション 固定バッファ
バッファタイプ ! 内部バッファ 枚葉(シングルウェーハ) シングルキャリア・マルチウェーハ・バッチ 単位サイクル
サイズ ! マルチキャリア・バッチ
表 1-1 対象装置
1.2. 制限
本書に示す通信シナリオは、デバイスメーカの要求に基づいた典型的な運用をベースに作成
したものであり、デバイスメーカ各社における実際の要求仕様を示すものではない。また、
安全ならびに衛生に対しては考慮されていない。
1.3. 文書構成
1.3.1. 文書体系 本書は製造装置オンライン要求仕様書の分冊として作成されており、要求仕様の理解を深め
る際の参考書として使用されることを想定している。 なお、本書は内部バッファ/バッチ処理装置に対する要求を示す。
図 1-1 本書の文書体系
製造装置製造装置製造装置製造装置
オンラインオンラインオンラインオンライン
機能要求仕様書機能要求仕様書機能要求仕様書機能要求仕様書
要求仕様書分冊要求仕様書分冊要求仕様書分冊要求仕様書分冊
補足
要求仕様書本文要求仕様書本文要求仕様書本文要求仕様書本文
固定バッファ/
枚葉処理装置編
通信シナリオ 内部バッファ/
枚葉処理装置編
通信シナリオ
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
8
1.3.2. 章構成 本書は、次に示す章(この章は含まない)から構成される。
・ 通信シナリオ(第2章第一節):内部バッファタイプ装置における代表的な通信シナリオ
・ メッセージフォーマット(第2章第ニ節):第一節で記述した通信シナリオで使用する
SECSメッセージフォーマット
1.4. 改版履歴 版 日付 内容
第 1.0版 2002年 3月 31 日 初版発行
表 1-2 改版履歴
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
9
1.5. 参考文献 ・ 300mm半導体工場のための CIMグローバルジョイントガイダンス リリース 4.1
・ 300mm半導体工場のための CIM/GJG統合解説 第 1 巻(第 3版)
・ SEMI E84-1101:エンハンストキャリア移載パラレル I/Oインターフェイスの仕様
・ SEMI E87-1101:キャリア管理スタンダード(CMS)
・ SEMI E87.1-1101:キャリア管理スタンダード(CMS)のための SECS-Ⅱプロトコル
・ SEMI E4-0699:半導体製造装置通信スタンダード1(SECS-I)
・ SEMI E5-1101:半導体製造装置通信スタンダード 2(SECS-Ⅱ)
・ SEMI E30-1000:SEMI 製造装置の通信及びコントロールのための包括的モデル(GEM)
・ SEMI E37-0298:高速 SECSメッセージサービス (HSMS)汎用サービス
・ SEMI E37.1-96E:高速 SECSメッセージサービス シングルセッションモード(HSMS-SS)
・ SEMI E39-1101:オブジェクトサービススタンダード:コンセプト、挙動、及びサービス
・ SEMI E39.1-1101:オブジェクトサービススタンダード(OSS)のための SECS-Ⅱプロトコル
・ SEMI E40-1101:プロセス管理スタンダード
・ SEMI E40.1-1101:プロセス管理スタンダードの SECS-Ⅱのサポート
・ SEMI E94-1101:コントロールジョブマネジメントスタンダード
・ SEMI E90-1101:サブストレートトラッキングスタンダード
・ SEMI E15.1-0600: Provisional Specification for 300mmToll Load Port ・ SEMI E99-1000: CarrierID Reader/Writer Functional Standard
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日 10
2. 代表的な通信シナリオ
2.1. 通信シナリオ
2.1.1. 通信シナリオについて
・ この章に記載されている通信シナリオは、一般的な通信シナリオとして挙げたもので、実際の装置におけるイベント発生の順序はこの通りで
はない。 ・ 装置は別冊 製造装置オンライン機能要求仕様書に記載されている各機能詳細に従った操作/イベント発行を行うことを想定している。
2.1.2. 通信シナリオの見方 通信シナリオは前提条件とシナリオ本文で構成され、それぞれ以下の(1)、(2)で示される記述方法で述べる。また、シナリオ中で使用されている略語を(3)に示す。
(1) 前提条件 記載された通信シナリオの前提となる条件を示す。 前提条件の例)
項目 条件 コントロールモード オンラインリモート アクセスモード オート 処理キャリア数 1キャリア コントロールジョブ数 1コントロールジョブ プロセスジョブ数 1プロセスジョブ Carrier ID/Slot Map ホスト照合 搬送機器 AMHS(AGV/RGV/OHT)
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日 11
(2) シナリオ 運用項目、処理内容、処理内容に沿ったストリームファンクション、メッセージ、及び各ステータスモデルの遷移を示す。
STL CS STS # 運用 # 処理 SF 方向 メッセージ HSMS LTS LCAS
(#n) CIDS CSMS CAS STT STP CJ PJ コメント
No
State1 搬入移載 1-1 ロード開始 S6F11 H<-E TransferBlocked
S6F12 H->E Ack
1-2 ロード終了 S6F11 H<-E MaterialHasArrived
S6F12 H->E Ack
HS
TB
No
State
No
State
No
State
No
State
No
State
No
State
No
State
No
State
No
State
2 キャリアID照合 2-1 CarrierID読取り S6F11 H<-E Waiting for Host
S6F12 H->E Ack
2-2 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Associated
S6F12 H->E Ack
2-3 CarrierID照合OK S3F17 H->E ProceedWithCarrier
S3F18 H<-E Ack
WFH
2-4 CarrierID照合完了 S6F11 H<-E ID Verification OK
S6F12 H->E Ack
A
IVO
SNR NAC
各ステータスモデルの遷移を表す
キャリア IDステータスが �2-1 キャリア ID読み取り�の開始した時点で
No StateからWaiting for Hostに遷移したことを表す
このように区切りが入っておらず、遷移先の状態が書かれていない間は、
ステータスに変化がないことを表す
通信の方向を表し、H<-Eなら装置からホストへメッセージが送信されていることを表す
ストリームファンクション
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日 12
(3) 使用している略号の説明 通信シナリオ中で使用されている略語とその正式名称等を以下に示す。
略語 正式文 略語 正式文 HSMS 高速 SECS メッセージサービス通信状態 STS サブストレートトラッキング(Substrate Tracking) LTS ロードポート搬送状態(LoadPort Transfer State) STT サブストレートトラッキングトランスポート(Substrate Tracking Transport) LCAS ロードポート/キャリア関連状態(LoadPort/Carrier Association State) STP サブストレートトラッキングプロセッシング(Substrate Tracking Processing) LPR ロードポート予約状態(Load Port Reservation State) CJ コントロールジョブステータス(Control Job Status) STL サブストレートトラッキングロケーション(Substrate Tracking Location) PJ プロセスジョブステータス(Process Job Status) CS キャリアステータス(Carrier Status) CIDS キャリア IDステータス(Carrier ID Status) CSMS キャリアスロットマップステータス(Carrier Slotmap Status) CAS キャリアアクセッシングステータス(Carrier Accessing Status)
表 2-1 ステータスモデル名略号
略語 正式文 略語 正式文 略語 正式文 A Associated IVO ID Verification OK RTL Ready To Load AD At Destination NAB Not Aborting SNR Slot Map Not Read AS At Source NAC Not Accessed SVF Slot Map Verification Fail AW At Work NAS Not Associated SVO Slot Map Verification OK CC Carrier Complete NP Needs Processing TB Transfer Blocked CS Carrier Stopped NR Not Reserved TNC TCP/IP Not Connected HNS HSMS Not Selected NS Not Stopping UOC Unoccupied HS HSMS Selected OC Occupied WFH Waiting for Host INA In Access PC Processing Complete IP In Process R Reserved IVF ID Verification Fail RTU Ready To Unload
表 2-2 ステータスモデルの状態名略号
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日 13
略語 意味 #1 FIMSポート #2 Boat内部
表 2-3 サブストレートトラッキングロケーション情報
2.1.3. 装置起動時/装置シャットダウン時シナリオ
2.1.3.1. 立ち上げシナリオ
前提条件 項目 条件
コントロールモード 起動時オフライン/装置定数オフライン 通信有効/無効設定 有効 アクセスモード オート 処理キャリア数 - コントロールジョブ数 - プロセスジョブ数 - Carrier ID/Slot Map ホスト照合 搬送機器 AMHS(AGV/RGV/OHT)
Load Port FIMS
内部バッファ内部バッファ内部バッファ内部バッファ モジュールモジュールモジュールモジュール
#1Substrate
Location ID(FIMS Port)
Location ChangeProcessing
#2Substrate
Location ID(Boat)
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日 14
CS STS コメント
# 運用 # 処理 SF 方向 メッセージ HSMS LTS LCAS LPR STL(#n) CIDS CSMS CAS STT STP
CJ PJ
0 初期状態 TNC 装置、ホストともに電源ONで、通信準備状態となっている。
H<-E TCP/IP Connect Succeeds
H<-E Select.req
HNS通信確立 1-1 HSMS通信確立
H->E Select.rsp
ホスト:パッシブ、装置:アクディブ状態
通信確立要求 S1F13 H->E Establish Communication Request
1
1-2
通信確立要求応答 S1F14 H<-E Establish Communication Request Acknowledge
オンライン要求 S1F17 H->E Request ON-LINE 2-1
オンライン報告応答 S1F18 H<-E ON-LINE Acknowledge
オンライン報告 S6F11 H<-E Event Report Send
2 オンライン確認
2-2
オンライン報告応答 S6F12 H->E Event Report Acknowledge
日付及び時刻要求 S2F31 H->E Date and Time Set Request 3 日付及び時刻要求 3-1
日付及び時刻データ S2F32 H<-E Date and Time Set Acknowledge
通信確立要求は、ホストから送信、装置から送信のどちらも可能
装置状態問合せ S1F3 H->E Selected Equipment Status Request 装置状態把握
(GEM関連データ確認)
4-1
装置状態問合せ応答 S1F4 H<-E Selected Equipment Status Data
コントロールステータス、アクセスモード、発生中のアラームID等の情報を取得
コントロールジョブステータス要求 S14F1 H->E GetAttr Request
4
(CJ関係データ確認) 4-2
コントロールジョブステータス応答 S14F2 H<-E GetAttr Data
CJの全てのID及びそのステータスを取得
プロセスジョブステータス要求 S16F19 H->E PRGetAllJobs (PJ関係データ確認) 4-3
プロセスジョブステータス応答 S16F20 H<-E PRGetAllJobs Acknowledge
PJの全てのID及びそのステータスを取得
キャリアステータス要求 S14F1 H->E GetAttr Request
(CMS関係データ確認) 4-4
キャリアステータス応答 S14F2 H<-E GetAttr Data
全てのキャリアのID及びそのステータスを取得
(内部バッファ状態含む)
サブストレートステータス要求 S14F1 H->E GetAttr Request (STS関係データ確認) 4-5
サブストレートステータス応答 S14F2 H<-E GetAttr Data
装置で管理している全てのサブストレートのID及びトランスポートステータス、プロ
セッシングステータスを取得
有効/無効イベントレポート S2F37 H->E Enable/Disable Event Report 5 装置状態設定 5-1
有効/無効イベントレポート確認 S2F38 H<-E Enable/Disable Event Report Acknowledge
アラーム報告有効/無効設定 S5F3 H->E Enable/Disable Alarm Send 5-2
アラーム報告有効/無効確認 S5F4 H<-E Enable/Disable Alarm Acknowledge
6 アクセスモード変更 6-1 アクセスモード設定(オートモード) S3F23 H->E Change Access
(オートへ) S3F24 H<-E Ack
6-2 アクセスモード変更通知 S6F11 H<-E Auto
S6F12 H->E Ack
アクセスモードを確認し、マニュア
ルの場合のみオートモードへ変
更する
HS
RTL
NA
Not R
ese
rved
No S
tate
No S
tate
No S
tate
No S
tate
No S
tate
No S
tate
No S
tate
No S
tate
装置立上げ時は、アクセスモードがマニュアルの為にオートモードへ変更する
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日 15
2.1.3.2. 立ち下げシナリオ 前提条件
項目 条件 コントロールモード オンラインリモート アクセスモード オート 処理キャリア数 ─ コントロールジョブ数 ─ プロセスジョブ数 ─ Carrier ID/Slot Map ─ 搬送機器 AMHS(AGV/RGV/OHT)
STL CS STS
# 運用 # 処理 SF 方向 メッセージ HSMS LTS LCAS LPR(#n) CIDS CSMS CAS STT STP
CJ PJ コメント
0 初期状態 RTL NAS NR
No
State
No
State
No
State
No
State
No
State
No
State
No
State
No
State
初期条件は、左記の通りとしているが、立ち下げを
おこなう時の装置の状態に依存する
1 アクセスモード
確認
1-1 指定装置状態要求 S1F3 H->E Selected Equipment
Status Request
アクセスモードを取得
指定装置状態データ S1F4 H<-E Selected Equipment
Status Data
2 アクセスモード
変更
2-1 アクセスモード設定
(マニュアルモード)
S3F23 H->E Change Access
(マニュアルへ) S3F24 H<-E Ack
2-2 アクセスモード変更通知 S6F11 H<-E Manual
S6F12 H->E Ack
装置属性を確認し、アクセス
モードがオートだった場合は、
マニュアルへ変更する
3 3-1 オフラインモード要求 S1F15 H->E Request OFF-LINE
オフライン
移行 S1F16 H<-E OFF-LINE Acknowledge
3-2 オフラインモード報告 S6F11 H<-E Equipment Requests
OFF-LINE
装置側は、オフラインに変更されたことを確認する。
S6F12 H->E Equipment Requests
OFF-LINE Acknowledge
HSM
S S
ELEC
TED
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日 16
2.1.4. ロット処理シナリオ
2.1.4.1. ロット処理(1) 前提条件
項目 条件 コントロールモード オンラインリモート アクセスモード オート 処理キャリア数 4キャリア コントロールジョブ数 1コントロールジョブ プロセスジョブ数 1プロセスジョブ コントロールジョブ、プロセスジョブの作成とキャリア配送 配送後 Carrier ID/Slot Map照合 ホスト照合 搬送機器 AMHS(AGV/RGV/OHT)
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日 17
# 運用 # 処理 SF 方 メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ コメント
向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP
PJ
0 初期状態 RTL NA NR UOC No No No No No No No
(#1,#2) State State State State State State State
1 搬入移載 1-1 ロード開始 S6F11 H<-E TransferBlocked TB
S6F12 H->E Ack
1-2 ロード終了 S6F11 H<-E MaterialHasArrived
S6F12 H->E Ack WFH SNR NA
2 キャリアID 2-1 CarrierID読取り S6F11 H<-E Waiting for Host
照合 S6F12 H->E Ack A
2-2 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Associated
S6F12 H->E Ack
2-3 CarrierID照合OK S3F17 H->E ProceedWithCarrier
S3F18 H<-E Ack IVO
2-4 CarrierID照合完了 S6F11 H<-E ID Verification OK
S6F12 H->E Ack
3 内部バッファ 3-1 バッファキャパシティ変更報告 S6F11 H<-E BufferCapacityChange
保管 S6F12 H->E Ack
3-2 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E CarrierLocationChanged
S6F12 H->E Ack NA
3-3 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Not Associated
S6F12 H->E Ack RTL
3-4 ロードポート搬入可能状態 S6F11 H<-E ReadyToLoad
S6F12 H->E Ack
1バッチ分のキャリア全てが搬入されるまで1-1~3-4が繰返される
4 レシピの確認 4-1 レシピリスト確認 S7F19 H->E Current EPPD Request
S7F20 H<-E Ack
4-2 LOAD問合せ S7F1 H->E Process Program Load Inquire
(装置にレシピがない場合) S7F2 H<-E Ack
4-3 プロセスプログラム送信 S7F23 H->E Process Program Send
S7F24 H<-E Ack
4-4 レシピ妥当性送信 S7F27 H<-E Process Program Verification Send
S7F28 H->E Ack
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日 18
# 運用 # 処理 SF 方 メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ コメント
向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP
PJ
5 PJ作成 5-1 PJの空きスペースの確認 S16F21 H->E PRGetSpace
CJ作成 S16F22 H<-E Ack
CJ、PJ実行 5-2 CJの空きスペースの確認 S1F3 H->E CJQueueSpace
S1F4 H<-E CJQueueSpaceResponse
5-3 PJ生成 S16F15 H->E PRJobMultiCreate
S16F16 H<-E PR Job Create Ack
5-4 PJ生成完了 S6F11 H<-E PR Job Pooled PRJob S6F12 H->E Ack Pooled 5-5 CJ生成 S14F9 H->E CJCreate S14F10 H<-E Ack 5-6 CJ生成完了 S6F11 H<-E Queued Queued S6F12 H->E Ack 5-7 CJ選択報告 S6F11 H<-E Selected Selected S6F12 H->E Ack 5-8 CJ実行報告 S6F11 H<-E Execution began Executing S6F12 H->E Ack 5-9 PJ開始準備 S6F11 H<-E PRJob Setup SettingUp S6F12 H->E Ack
6 スロット 6-1 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E CarrierLocationChanged マップ照合 (内部バッファからFIMSポートへ) S6F12 H->E Ack 6-2 FOUP Open S6F11 H<-E Carrier Opened S6F12 H->E Ack 6-3 スロットマップ読込み完了 S6F11 H<-E Wairing for Host WFH S6F12 H->E Ack 6-4 ウエハオブジェクト作成 S6F11 H<-E Substrate At Source AS NP S6F12 H->E Ack 6-5 サブストレート取得 S6F11 H<-E Substrate Occupied OC S6F12 H->E Ack (#1) 6-6 スロットマップ照合OK S3F17 H->E Proceed With Carrier S3F18 H<-E Ack 6-7 スロットマップ照合完了 S6F11 H<-E SlotMap Verification OK SVO S6F12 H->E Ack
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日 19
# 運用 # 処理 SF 方 メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ コメント
向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP
PJ
7 処理中 7-1 キャリア処理中 S6F11 H<-E Carrier In Access IA
S6F12 H->E Ack
7-2 ウエハ移動 S6F11 H<-E Substrate Location Unoccupied UOC
(ウエハがキャリアから取られた) S6F12 H->E Ack (#1)
7-3 ウエハ移動 S6F11 H<-E Substrate At Work AW
(キャリアからボートへ) S6F12 H->E Ack
7-4 ウエハ移動 S6F11 H<-E Substrate Location Occupied OC
(ウエハがボート移動した) S6F12 H->E Ack (#2)
キャリア内のウエハ枚数分5-2~5-4を繰返す
7-5 FOUP Close S6F11 H<-E Carrier Closed
S6F12 H->E Ack
7-6 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E CarrierLocationChanged
(FIMSポートから内部バッファへ) S6F12 H->E Ack
バッチ数分6-1~7-6を繰返す
7-7 Boat Load開始 S6F11 H<-E PRJob Processing Processing
(PJ開始報告) S6F12 H->E PRJob Processing Ack
7-8 ウエハ実処理開始 S6F11 H<-E Substrate InProcess INP
S6F12 H->E Ack
8 処理終了 8-1 ウエハ実処理完了 S6F11 H<-E Substrate Processing Complete PRC
S6F12 H->E Ack
8-2 アプローチングイベント報告 S6F11 H<-E Approching Complete
S6F12 H->E Ack
8-3 Boat Unload完了 S6F11 H<-E PJ Processing Complete Process
(PJプロセス終了報告) S6F12 H->E Ack Complete
9 内部バッファ 9-1 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier Location Changed
保管 (内部バッファからFIMSポートへ) S6F12 H->E Ack
9-2 FOUP Open S6F11 H<-E Carrier Opened
S6F12 H->E Ack
9-3 ウエハ移動 S6F11 H<-E Substrate Location Unoccuppied UOC
(ウエハがボートから取られた) S6F12 H->E Ack (#2)
9-4 ウエハ移動 S6F11 H<-E Substrate At Distination AD
(ボートからキャリアへ) S6F12 H->E Ack
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日 20
# 運用 # 処理 SF 方 メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ コメント
向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP
PJ
9-5 ウエハ移動 S6F11 H<-E Substrate Location Occuppied OC
(ウエハがキャリアへ移動した) S6F12 H->E Ack (#1)
キャリア内のウエハ枚数分9-3~9-5を繰返す
9-6 PJ完了報告 S6F11 H<-E PRJob Complete PRJob
S6F12 H->E Ack Complete
↓
No
State
9-7 CJ完了報告 S6F11 H<-E Complete Complete
S6F12 H->E Ack
9-8 CJ削除 S14F11 H->E Delete Request
S14F12 H<-E Ack
9-9 CJ削除報告 S6F11 H<-E Deleted No
S6F12 H->E Ack State
9-6~9-9は、バッチの最後のキャリアの処理終了時のみ
9-10 FOUP Close S6F11 H<-E Carrier Closed
S6F12 H->E Ack
9-11 キャリア処理完了 S6F11 H<-E Carrier Complete CC
S6F12 H->E Ack
9-12 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E CarrierLocationChanged
(FIMSポートから内部バッファへ) S6F12 H->E Ack
バッチ数分9-1~9-12を繰返す
10 キャリア搬出 10-1 キャリア払出指示 S3F17 H->E CarrierOut
S3F18 H<-E Ack
10-2 キャリア払出 S6F11 H<-E TransferBlocked TB
(内部バッファ→ロードポート) S6F12 H->E Ack
10-3 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Associated A
S6F12 H->E Ack
10-4 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Reserved R
S6F12 H->E Ack
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日 21
# 運用 # 処理 SF 方 メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ コメント
向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP
PJ
10-5 キャリアロケーション変更通知 S6F11 H<-E CarrierLocationChanged
S6F12 H->E Ack
10-6 キャリアがロードポートに払出される S6F11 H<-E BufferCapacityChange
S6F12 H->E Ack
10-7 キャリア搬出可能 S6F11 H<-E ReadyToUnload RTU
S6F12 H->E Ack
10-8 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Not Reserved NR
S6F12 H->E Ack
10-9 アンロード搬送開始 S6F11 H<-E TransferBlocked TB
S6F12 H->E Ack
10-10 キャリア搬出 S6F11 H<-E MaterialHasRemoved
S6F12 H->E Ack
10-11 キャリアオブジェクト消滅 S6F11 H<-E Deleted UOC No No No
S6F12 H->E Ack (#1,#2) State State State
10-12 サブストレートオブジェクト消滅 S6F11 H<-E Deleted No No
S6F12 H->E Ack State State
10-13 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Not Associated NA
S6F12 H->E Ack
10-14 ロードポート搬入可能状態 S6F11 H<-E ReadyToLoad RTL
S6F12 H->E Ack
1バッチ分のキャリア全てが搬出されるまで10-1~10-14が繰返される
終了状態 RTL NA NR UOC No No No No No No No
(#1,#2) State State State State State State State
ロット処理(オート)
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日 22
2.1.4.2. ロット処理(2) 前提条件
項目 条件 コントロールモード オンラインリモート アクセスモード マニュアル 処理キャリア数 4キャリア コントロールジョブ数 1コントロールジョブ プロセスジョブ数 1プロセスジョブ コントロールジョブ、プロセスジョブの作成とキャリア配送 配送後 Carrier ID/Slot Map照合 ホスト照合 搬送機器 AMHS(AGV/RGV/OHT)
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日 23
# 運用 # 処理 SF 方 メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ
向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP
PJ
コメント
0 初期状態 RTL NA NR UOC No No No No No No No
(#1,#2) State State State State State State State
1 搬入移載 1-1 マニュアル搬入開始スイッチ押下 S6F11 H<-E TransferBlocked TB
(ロード開始) S6F12 H->E Ack
1-2 キャリアをロードポートに置く
1-3 マニュアル搬入完了スイッチ押下 S6F11 H<-E MaterialHasArrived
(ロード終了) S6F12 H->E Ack
2 キャリアID 2-1 CarrierID読取り S6F11 H<-E Waiting for Host WFH SNR NA
照合 S6F12 H->E Ack
2-2 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Associated A
S6F12 H->E Ack
2-3 CarrierID照合OK S3F17 H->E ProceedWithCarrier
S3F18 H<-E Ack
2-4 CarrierID照合完了 S6F11 H<-E ID Verification OK IVO
S6F12 H->E Ack
3 内部バッファ 3-1 バッファキャパシティ変更報告 S6F11 H<-E BufferCapacityChange
保管 S6F12 H->E Ack
3-2 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E CarrierLocationChanged
S6F12 H->E Ack
3-3 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Not Associated NA
S6F12 H->E Ack
3-4 ロードポート搬入可能状態 S6F11 H<-E ReadyToLoad RTL
S6F12 H->E Ack
1バッチ分のキャリア全てが搬入されるまで1-1~3-4が繰返される
4 レシピの確認 4-1 レシピリスト確認 S7F19 H->E Current EPPD Request
S7F20 H<-E Ack
4-2 LOAD問合せ S7F1 H->E Process Program Load Inquire
(装置にレシピがない場合) S7F2 H<-E Ack
4-3 プロセスプログラム送信 S7F23 H->E Process Program Send
S7F24 H<-E Ack
4-4 レシピ妥当性送信 S7F27 H<-E Process Program Verification Send
S7F28 H->E Ack
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日 24
# 運用 # 処理 SF 方 メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ コメント
向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP
PJ
5 PJ作成 5-1 PJの空きスペースの確認 S16F21 H->E PRGetSpace
CJ作成 S16F22 H<-E Ack
CJ、PJ実行 5-2 CJの空きスペースの確認 S1F3 H->E CJQueueSpace
S1F4 H<-E CJQueueSpaceResponse
5-3 PJ生成 S16F15 H->E PRJobMultiCreate
S16F16 H<-E PR Job Create Ack
5-4 PJ生成完了 S6F11 H<-E PR Job Pooled PRJob
S6F12 H->E Ack Pooled
5-5 CJ生成 S14F9 H->E CJCreate
S14F10 H<-E Ack
5-6 CJ生成完了 S6F11 H<-E Queued Queued
S6F12 H->E Ack
5-7 CJ選択報告 S6F11 H<-E Selected Selected
S6F12 H->E Ack
5-8 CJ実行報告 S6F11 H<-E Execution began Executing
S6F12 H->E Ack
5-9 PJ開始準備 S6F11 H<-E PRJob Setup SettingUp
S6F12 H->E Ack
6 スロット 6-1 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E CarrierLocationChanged
マップ照合 (内部バッファからFIMSポートへ) S6F12 H->E Ack
6-2 FOUP Open S6F11 H<-E Carrier Opened
S6F12 H->E Ack
6-3 スロットマップ読込み完了 S6F11 H<-E Wairing for Host WFH
S6F12 H->E Ack
6-4 ウエハオブジェクト作成 S6F11 H<-E Substrate At Source AS NP
S6F12 H->E Ack
6-5 サブストレート取得 S6F11 H<-E Substrate Occupied OC
S6F12 H->E Ack (#1)
6-6 スロットマップ照合OK S3F17 H->E Proceed With Carrier
S3F18 H<-E Ack
6-7 スロットマップ照合完了 S6F11 H<-E SlotMap Verification OK SVO
S6F12 H->E Ack
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日 25
# 運用 # 処理 SF 方 メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ コメント
向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP
PJ
7 処理中 7-1 キャリア処理中 S6F11 H<-E Carrier In Access IA
S6F12 H->E Ack
7-2 ウエハ移動 S6F11 H<-E Substrate Location Unoccupied UOC
(ウエハがキャリアから取られた) S6F12 H->E Ack (#1)
7-3 ウエハ移動 S6F11 H<-E Substrate At Work AW
(キャリアからボートへ) S6F12 H->E Ack
7-4 ウエハ移動 S6F11 H<-E Substrate Location Occupied OC
(ウエハがボート移動した) S6F12 H->E Ack (#2)
キャリア内のウエハ枚数分7-2~7-4を繰返す
7-5 FOUP Close S6F11 H<-E Carrier Closed
S6F12 H->E Ack
7-6 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E CarrierLocationChanged
(FIMSポートから内部バッファへ) S6F12 H->E Ack
バッチ数分6-1~7-6を繰返す
7-7 Boat Load開始 S6F11 H<-E PRJob Processing Processing
(PJ開始報告) S6F12 H->E PRJob Processing Ack
7-8 ウエハ実処理開始 S6F11 H<-E Substrate InProcess INP
S6F12 H->E Ack
8 処理終了 8-1 ウエハ実処理完了 S6F11 H<-E Substrate Processing Complete PRC
S6F12 H->E Ack
8-2 アプローチングイベント報告 S6F11 H<-E Approching Complete
S6F12 H->E Ack
8-3 Boat Unload完了 S6F11 H<-E PJ Processing Complete Process
(PJプロセス終了報告) S6F12 H->E Ack Complete
9 内部バッファ 9-1 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier Location Changed
保管 (内部バッファからFIMSポートへ) S6F12 H->E Ack
9-2 FOUP Open S6F11 H<-E Carrier Opened
S6F12 H->E Ack
9-3 ウエハ移動 S6F11 H<-E Substrate Location Unoccuppied UOC
(ウエハがボートから取られた) S6F12 H->E Ack (#2)
9-4 ウエハ移動 S6F11 H<-E Substrate At Distination AD
(ボートからキャリアへ) S6F12 H->E Ack
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日 26
# 運用 # 処理 SF 方 メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ コメント
向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP
PJ
9-4 ウエハ移動 S6F11 H<-E Substrate At Distination AD
(ボートからキャリアへ) S6F12 H->E Ack
9-5 ウエハ移動 S6F11 H<-E Substrate Location Occuppied OC
(ウエハがキャリアへ移動した) S6F12 H->E Ack (#1)
キャリア内のウエハ枚数分9-3~9-5を繰返す
9-6 PJ完了報告 S6F11 H<-E PRJob Complete PRJob
Complete
↓
S6F12 H->E Ack No
State
9-7 CJ完了報告 S6F11 H<-E Complete Complete
S6F12 H->E Ack
9-8 CJ削除 S14F11 H->E Delete Request
S14F12 H<-E Ack
9-9 CJ削除報告 S6F11 H<-E Deleted No
S6F12 H->E Ack State
9-6~9-9は、バッチの最後のキャリアの処理終了時のみ
9-10 FOUP Close S6F11 H<-E Carrier Closed
S6F12 H->E Ack
9-11 キャリア処理完了 S6F11 H<-E Carrier Complete CC
S6F12 H->E Ack
9-12 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E CarrierLocationChanged
(FIMSポートから内部バッファへ) S6F12 H->E Ack
バッチ数分9-1~9-12を繰返す
10 キャリア搬出 10-1 キャリア払出指示 S3F17 H->E CarrierOut
S3F18 H<-E Ack
10-2 キャリア払出 S6F11 H<-E TransferBlocked TB
(内部バッファ→ロードポート) S6F12 H->E Ack
10-3 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Associated A
S6F12 H->E Ack
10-4 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Reserved R
S6F12 H->E Ack
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日 27
# 運用 # 処理 SF 方 メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ コメント
向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP
PJ
10-5 キャリアロケーション変更通知 S6F11 H<-E CarrierLocationChanged
S6F12 H->E Ack
10-6 キャリアがロードポートに払出される S6F11 H<-E BufferCapacityChange
S6F12 H->E Ack
10-7 キャリア搬出可能 S6F11 H<-E ReadyToUnload RTU S6F12 H->E Ack 10-8 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Not Reserved NR S6F12 H->E Ack 10-9 マニュアル搬出開始スイッチ押下 S6F11 H<-E TransferBlocked TB (アンロード開始) S6F12 H->E Ack 10-10 キャリアをロードポートから取る 10-11 マニュアル搬出完了スイッチ押下 S6F11 H<-E MaterialHasRemoved (アンロード終了) S6F12 H->E Ack 10-12 キャリアオブジェクト消滅 S6F11 H<-E Deleted UOC No No No S6F12 H->E Ack (#1,#2) State State State 10-13 サブストレートオブジェクト消滅 S6F11 H<-E Deleted No No S6F12 H->E Ack State State 10-14 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Not Associated NA S6F12 H->E Ack 10-15 ロードポート搬入可能状態 S6F11 H<-E ReadyToLoad RTL S6F12 H->E Ack 1バッチ分のキャリア全てが搬出されるまで10-1~10-15が繰返される 終了状態 RTL NA NR No No No No No No No No No
State State State State State State State State State
ロット処理 (マニュアル)
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日 28
2.1.4.3. QTAT処理(1) 前提条件
項目 条件 コントロールモード オンラインリモート アクセスモード オート ロードポート数 2 製品処理キャリア数 6 プロセス・ジョブ数 2(バッチ毎に1プロセスジョブ) コントロール・ジョブ数 2(バッチ毎に1コントロールジョブ) Carrier ID HOST照合 搬送機器 AMHS(AGV/RGV/OHT) スタート・メソッド オート バッチ毎のキャリア数 3 内部バッファ数 6 バッチ1(C1~C3) CJ1、PJ1 バッチ2(C4~C6) CJ2、PJ2 バッチ3(C7~C9)(特急キャリア) CJ3、PJ3
STL #1 FIMSポート STL #2 リソース
処理中 C1~C3の処理終了にて
C1~C3 を搬出し、QTAT対象のC7~C9を搬入する
C1
処理終了
待機中
待機中
次回
次々回
C3
C2C7
C9
C8
C4
C6
C5
C1
QTAT発生
処理中
待機中
次回 内部バッファ
C2
C3
C4
C5
C6
C7
C8
C9
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日 29
# 運用 # 処理 SF 方 メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ コメント
向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP
PJ
初期状態 RTL NA NR OC IVO SNR NA No No Executing SettingUp バッチ1
(P1, (P1, (P1, (#2) (C1 (C1 (C1 State State (CJ1) (PJ1) の処理は
P2) P2) ,P2) ~ ~ ~ (C1 (C1 Queued Queued 開始され
C6) C6) C6) ~ ~ (CJ2) (PJ2) ている
C6) C6)
1 CJのQueued 1-1 CJ2オブジェクトの遷移禁止属性設定 S14F3 H->E SetAttr.req
からSelected S14F4 H<-E SetAttr.rsp
への遷移
禁止設定
2 バッチ1キャリア 2-1 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier LocationChange
スロットマップ (内部バッファからFIMSポートへ) S6F12 H->E Ack
照合 2-2 FOUPOpen S6F11 H<-E Carrier Opened
S6F12 H->E Ack CSMS、
2-3 スロットマップ読込み完了 S6F11 H<-E Waiting for Host WFH CAS、
S6F12 H->E Ack (C1) STT、
2-4 ウェハオブジェクト作成 S6F11 H<-E Substrate At Source AS NP STPはC1
S6F12 H->E Ack (C1) (C1) ~C3まで
2-5 サブストレート取得 S6F11 H<-E Substrate Occupied OC 順に変わる。
S6F12 H->E Ack (#1)
2-6 スロットマップ照合OK S3F17 H->E Proceed With Carrier
S3F18 H->E Ack
2-7 スロットマップ照合完了 S6F11 H<-E Slot Map Verification OK SVO
S6F12 H->E Ack (C1)
3 バッチ1処理中 3-1 キャリア処理中 S6F11 H<-E Carrier In Accsess IA
S6F12 H->E Ack (C1)
3-2 ウェハ移動 S6F11 H<-E Substrate Location Unoccupied UOC
(ウェハがキャリアから取られた) S6F12 H->E Ack (#1)
3-3 ウェハ移動 S6F11 H<-E Substrate AT WORK AW
(キャリアからボートへ) S6F12 H->E Ack (C1)
3-4 ウェハ移動 S6F11 H<-E Substrate Location Occupied OC
(ウェハがボートへ移動した) S6F12 H->E Ack (#2)
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日 30
# 運用 # 処理 SF 方 メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ コメント
向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP
PJ
キャリア内のウェハ枚数分3-2~3-4を繰返す
3-5 FOUP Close S6F11 H<-E Carrier Closed
S6F12 H->E Ack
3-6 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier LocationChange
(FIMSポートから内部バッファへ) S6F12 H->E Ack
バッチ数分2-1から3-6を繰返す
3-7 Boat Load開始 S6F11 H<-E PRJob Processing Processing
(PJ開始報告) S6F12 H->E PRJob Processing Ack (PJ1)
3-8 ウェハ実処理開始 S6F11 H<-E Substrate InProcess INP CIDS、
S6F12 H->E Ack (C1) CSMS、
4 バッチ1 4-1 ウェハ実処理完了 S6F11 H<-E Substrate ProcessingComplete PRC CAS、
処理終了 S6F12 H->E Ack (C1) STT、
4-2 アプローチングイベント報告 S6F11 H<-E Approchig Complete STPはC1
(PJプロセス終了報告) S6F12 H->E Ack ~C3まで
4-3 Boat Unload完了 S6F11 H<-E PJ Processing Complete Process 順に変わ
(PJプロセス終了報告) S6F12 H->E Ack Complete る
(PJ1)
5 バッチ1 5-1 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier Location Change
内部バッファ (内部バッファからFIMSポートへ) S6F12 H->E Ack
保管 5-2 FOUPOpen S6F11 H<-E Carrier Opened
S6F12 H->E Ack
5-3 ウェハ移動 S6F11 H<-E Substrate Location Unoccupied UOC
(ウェハがポートから取られた) S6F12 H->E Ack (#2)
5-4 ウェハ移動 S6F11 H<-E Substrate AT Destination AD
(ポートからキャリアへ) S6F12 H->E Ack (C1)
5-5 ウェハ移動 S6F11 H<-E Substrate Location Occupied OC
(ウェハがキャリアへ移動した) S6F12 H->E Ack (#1)
キャリア内のウェハ枚数分5-3から5-5を繰返す
5-6 PJ完了報告 S6F11 H<-E PRJob Complete PRJob
S6F12 H->E Ack Complete
(PJ1)
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日 31
# 運用 # 処理 SF 方 メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ コメント
向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP
PJ
5-7 CJ完了報告 S6F11 H<-E Complete Complete
S6F12 H->E Ack (CJ1)
5-8 CJ削除 S14F11 H<-E Delete Request
S14F12 H->E Ack
5-9 CJ削除報告 S6F11 H<-E Deleted NoState
S6F12 H->E Ack (CJ1)
5-6から5-9は、バッチの最後のキャリアの処理終了時のみ
5-10 FOUP Close S6F11 H<-E Carrier Closed
S6F12 H->E Ack
5-11 キャリア処理完了 S6F11 H<-E Carrier Complete CC
S6F12 H->E Ack (#1)
5-12 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier LocationChange
(FIMSポートから内部バッファへ) S6F12 H->E Ack
バッチ数分5-1から5-12を繰返す
6 キャリア搬出 6-1 キャリア払出指示 S3F17 H->E CarrierOut
S3F18 H<-E Ack
6-2 キャリア払出 S6F11 H<-E TransferBlocked TB 搬出時の
(内部バッファ→ロードポート) S6F12 H->E Ack (P1) ロードポー
6-3 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Associated A トは、装置
S6F12 H->E Ack (P1) にまかせ
6-4 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Reserved R て空いて
S6F12 H->E Ack (P1) いるポート
6-5 キャリアロケーション変更通知 S6F11 H<-E Carrier LocationChange を使用す
S6F12 H->E Ack る。
6-6 キャリアがロードポートに払出される S6F11 H<-E BufferCapacityChange (今回は、
S6F12 H->E Ack 全てポート
6-7 キャリア搬出可能 S6F11 H<-E ReadyToUnload RTU 1を使用し
S6F12 H->E Ack (P1) ている)
6-8 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Not Reserved NR
S6F12 H->E Ack (P1)
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日 32
# 運用 # 処理 SF 方 メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ コメント
向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP
PJ
6-9 アンロード搬送開始 S6F11 H<-E TransferBlocked TB
S6F12 H->E Ack (P1)
6-10 キャリア搬出 S6F11 H<-E MaterialHasRemoved
S6F12 H->E Ack
6-11 キャリアオブジェクト消滅 S6F11 H<-E Deleted No No No
S6F12 H->E Ack State State State
(C1) (C1) (C1)
6-12 サブストレートオブジェクト消滅 S6F11 H<-E Deleted No No
S6F12 H->E Ack State State
(C1) (C1)
6-13 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Not Associated NA
S6F12 H->E Ack (P1)
6-14 ロードポート搬入可能状態 S6F11 H<-E ReadyToLoad RTL
S6F12 H->E Ack (P1)
1バッチのキャリア全てが搬出されるまで6-1から6-14が繰返される
7 特急キャリア 7-1 ロード開始 S6F11 H<-E TransferBlocked TB
搬入移動 S6F12 H->E Ack (P2)
7-2 ロード終了 S6F11 H<-E MaterialHasArrived
S6F12 H->E Ack
8 キャリアID照合 8-1 CarrierID読取り S6F11 H<-E Waiting for Host WFH SNR NA CIDS、
S6F12 H->E Ack (C7) (C7) (C7) CSMS、
8-2 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Associated A CAS、
S6F12 H->E Ack (P2) STT、
8-3 CarrierID照合OK S3F17 H->E ProceedWithCarrier STPはC7
S3F18 H<-E Ack ~C9まで
8-4 CarrierID照合完了 S6F11 H<-E ID Verification OK IVO 順に変わ
S6F12 H->E Ack (C7) る
9 特急キャリア 9-1 バッファキャパシティ変更報告 S6F11 H<-E BufferCapacityChange (8-1~15- 内部バッファ S6F12 H->E Ack 12 まで
保管 9-2 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E CarrieLocationChange 除く13-8、
S6F12 H->E Ack 14-1)
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日 33
# 運用 # 処理 SF 方 メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ コメント
向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP
PJ
9-3 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Not Associated NA
S6F12 H->E Ack (P2)
9-4 ロードポート搬入可能状態 S6F11 H<-E ReadyToLoad RTL
S6F12 H->E Ack (P2)
1バッチ分のキャリア全てが搬入されるまで9-1~9-4が繰返される
10 レシピの確認 10-1 レシピリストの確認 S7F19 H->E Current EPPD Request
S7F20 H<-E Ack
10-2 LOAD問合せ S7F1 H->E Process Program Load Inquire
(装置にレシピがない場合) S7F2 H<-E Ack
10-3 プロセスプログラム送信 S7F23 H->E Process Program Send
S7F24 H<-E Ack
10-4 レシピ妥当性報告 S7F27 H<-E Process Program Verification Send
S7F28 H->E Ack
11 PJ作成 11-1 PJの空きスペースの確認 S16F21 H->E PR Get Space
CJ作成、 S16F22 H<-E Ack
CJ、PJ実行 11-2 CJの空きスペースの確認 S1F3 H->E CJ Queue Space
S1F4 H<-E CJ Queue Space Response
11-3 PJ生成 S16F15 H->E PRJobMultiCreate
S16F16 H<-E PR Job Create Ack
11-4 PJ生成完了 S6F11 H<-E PR Job Pooled Pooled
S6F12 H->E Ack (PJ3)
11-5 CJ生成 S14F9 H->E CJCreate
S14F10 H<-E Ack
11-6 CJ生成完了 S6F11 H<-E Queued Queued
S6F12 H->E Ack (CJ3)
11-7 CJ選択報告 S6F11 H<-E Selected Selected
S6F12 H->E Ack (CJ3)
11-8 CJ実行報告 S6F11 H<-E Execution began Executiong
S6F12 H->E Ack (CJ3)
11-9 PJ開始準備 S6F11 H<-E PRJob Setup SettingUp
S6F12 H->E Ack (PJ3)
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日 34
# 運用 # 処理 SF 方 メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ コメント
向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP
PJ
12 スロットマップ 12-1 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier LocationChange
照合 (内部バッファからFIMSポートへ) S6F12 H->E Ack
12-12 FOUP Open S6F11 H<-E Carrier Opened
S6F12 H->E Ack
12-3 スロットマップ読込み完了 S6F11 H<-E Waiting for Host WFH
S6F12 H->E Ack (C7)
12-4 ウェハオブジェクト作成 S6F11 H<-E Substrate At Source AS NP
S6F12 H->E Ack (C7) (C7)
12-5 サブストレート取得 S6F11 H<-E Substrate Occupied OC
S6F12 H->E Ack (#1)
12-6 スロットマップ照合OK S3F17 H->E ProceedWithCarrier
S3F18 H->E Ack
12-7 スロットマップ照合完了 S6F11 H<-E SlotMap Verification OK SVO
S6F12 H->E Ack (C7)
13 バッチ1処理中 13-1 キャリア処理中 S6F11 H<-E CarrierInAccsess IA
S6F12 H->E Ack (C7)
13-2 ウェハ移動 S6F11 H<-E Substrate Location Unoccupied UOC
(ウェハがキャリアから取られた) S6F12 H->E Ack (#1)
13-3 ウェハ移動 S6F11 H<-E Substrate AT WORK AW
(キャリアからボートへ) S6F12 H->E Ack (C7)
13-4 ウェハ移動 S6F11 H<-E Substrate Location Occupied OC
(ウェハがボートへ移動した) S6F12 H->E Ack (#2)
キャリア内のウェハ枚数分13-2~13-4を繰返す
13-5 FOUP Close S6F11 H<-E Carrier Closed
S6F12 H->E Ack
13-6 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier Location Change
(FIMSポートから内部バッファへ) S6F12 H->E Ack
バッチ数分12-1~13-6を繰返す
13-7 Boat Load開始 S6F11 H<-E PRJob Processing Processing
(PJ開始報告) S6F12 H->E PRJob Processing Ack (PJ3)
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日 35
# 運用 # 処理 SF 方 メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ
向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP
PJ コメント
13-8 ウェハ実処理開始 S6F11 H<-E Substrate InProcess INP
S6F12 H->E Ack (C7)
14 処理終了 14-1 ウェハ実処理完了 S6F11 H<-E Substrate ProcessingComplete PRC
S6F12 H->E Ack (C7)
14-2 アプローチングイベント報告 S6F11 H<-E Approchig Complete
(PJプロセス終了報告) S6F12 H->E Ack
14-3 Boat Unload完了 S6F11 H<-E PJ Processing Complete Process
(PJプロセス終了報告) S6F12 H->E Ack Complete
(PJ3)
15 内部バッファ 15-1 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier Location Change
保管 (内部バッファからFIMSポートへ) S6F12 H->E Ack
15-2 FOUP Open S6F11 H<-E Carrier Opened
S6F12 H->E Ack
15-3 ウェハ移動 S6F11 H<-E Substrate Location Unoccupied UOC
(ウェハがポートから取られた) S6F12 H->E Ack (#2)
15-4 ウェハ移動 S6F11 H<-E Substrate AT Destination AD
(ポートからキャリアへ) S6F12 H->E Ack (C7)
15-5 ウェハ移動 S6F11 H<-E Substrate Location Occupied OC
(ウェハがキャリアへ移動した) S6F12 H->E Ack (#1)
キャリア内のウェハ枚数分15-3~15-5を繰返す
15-6 PJ完了報告 S6F11 H<-E PJ Complete PRJob
S6F12 H->E Ack Complete
(PJ3)
15-7 CJ完了報告 S6F11 H<-E Complete Complete ↓
S6F12 H->E Ack (CJ3) No
15-8 CJ削除 S14F11 H<-E Delete Request State
S14F12 H->E Ack (PJ3)
15-9 CJ削除報告 S6F11 H<-E Deleted NoState
S6F12 H->E Ack (CJ3)
15-6~15-9は、バッチの最後のキャリアの処理終了時のみ
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日 36
# 運用 # 処理 SF 方 メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ
向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP
PJ
コメント
15-10 FOUP Close S6F11 H<-E Carrier Closed
S6F12 H->E Ack
15-11 特急キャリア処理完了 S6F11 H<-E Carrier Complete CC
S6F12 H->E Ack (C7)
15-12 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier Location Change
(FIMSポートから内部バッファへ) S6F12 H->E Ack
バッチ数分15-1~15-12を繰返す
16 CJQueuedから 16-1 CJ2オブジェクトの遷移禁止属性解除 S14F3 H->E SetAttr.req
Selectedへの S14F4 H<-E SetAttr..rsp
遷移 16-2 CJ選択報告 S6F11 H<-E Selected Selected
S6F12 H->E Ack (CJ2)
16-3 CJ実行報告 S6F11 H<-E Execution began Executiong
S6F12 H->E Ack (CJ2)
16-4 PJ開始準備 S6F11 H<-E PRJob Setup SettingUp
S6F12 H->E Ack (PJ2)
17 バッチ2キャリア 17-1 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier Location Change
スロットマップ (内部バッファからFIMSポートへ) S6F12 H->E Ack
照合 17-17 FOUP Open S6F11 H<-E Carrier Opened
S6F12 H->E Ack
17-3 スロットマップ読込み完了 S6F11 H<-E Waiting for Host WFH
S6F12 H->E Ack (C4)
17-4 ウェハオブジェクト作成 S6F11 H<-E Substrate At Source AS NP
S6F12 H->E Ack (C4) (C4)
17-5 サブストレート取得 S6F11 H<-E Substrate Occupied OC
S6F12 H->E Ack (#1)
17-6 スロットマップ照合OK S3F17 H->E ProceedWithCarrier
S3F18 H->E Ack
17-7 スロットマップ照合完了 S6F11 H<-E SlotMap Verification OK SVO
S6F12 H->E Ack (C4)
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日 37
# 運用 # 処理 SF 方 メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ コメント
向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP
PJ
以下 通常処理と同様な流れとなる。
終了状態 RTL NA NR OC IVO SVO CC AS NP Executing Processing
(P1, (P1, (P1, (#1) (C4 (C4) (C7~ (C4) (C4) (CJ2) (PJ2)
P2 P2 P2) ~ SNR C9)
C6) C6) NA
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日 38
2.1.4.4. QTAT処理(2) 前提条件
項目 条件 コントロールモード オンラインリモート アクセスモード オート ロードポート数 2 製品処理キャリア数 6 プロセス・ジョブ数 2(バッチ毎に1プロセスジョブ) コントロール・ジョブ数 2(バッチ毎に1コントロールジョブ) Carrier ID HOST照合 搬送機器 AMHS(AGV/RGV/OHT) スタート・メソッド オート バッチ毎のキャリア数 3 内部バッファ数 6 バッチ1(C1~C3) CJ1、PJ1 バッチ2(C4~C6) CJ2、PJ2 バッチ3(C7~C9)(特急キャリア) CJ3、PJ3
STL #1 FIMSポート STL #2 リソース
待機中のC4~C6を搬出し、QTAT対象の C7~C9を搬入する
C4
処理中
待機中
次回
C6
C5C1
C3
C2
C7
C9
C8
入替え
C1
QTAT発生
処理中
待機中
次回 内部バッファ
C2
C3
C4
C5
C6
C7
C8
C9
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日 39
# 運用 # 処理 SF 方 メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ
向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP
PJ
コメント
初期状態 RTL NA NR OC IVO SNR NA No No Executing SettingUp バッチ1の
(P1、 (P1、 (P1、 (#2) (C1 State State (CJ1) (PJ1) 処理は、
P2) P2) P2) ~ (C1~ (C1~ (C1~ (C1~ Queued Queued 開始され C6) C6) C6) C6) C6) (CJ2) (PJ2) ている 1 CJのQueued 1-1 CJ2オブジェクトの遷移禁止属性設定 S14F3 H->E SetAttr.req
からSelected S14F4 H<-E SetAttr.rsp
への遷移
禁止設定
2 バッチ2搬出 2-1 CJ2キャンセル S16F27 H->E CJCancel Complete
S16F28 H<-E Ack (CJ2)
2-2 CJ2中止報告 S6F11 H<-E CJ Canceled NoState
S6F12 H->E Ack (CJ2)
2-3 PJ2キャンセル S16F5 H->E PR Job Cancel PRJob
S16F6 H<-E Ack Complete
(PJ2)
2-4 バッチ2キャリアへのアクションの S3F17 H->E Cancel Carrier
キャンセル S3F18 H<-E Ack
2-5 キャリア払出指示 S3F17 H->E Carrier Out
(内部バッファからロードポートへ) S3F18 H<-E Ack
バッチ内のキャリア数分2-4~2-5を繰返す
2-6 アンロード搬送開始 S6F11 H<-E TransferBlocked TB
S6F12 H->E Ack (P1)
2-7 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Associated NA
S6F12 H->E Ack (P1)
2-8 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Reserved R
S6F12 H->E Ack (P1)
2-9 キャリアロケーション変更通知 S6F11 H<-E Carrier Location Change
S6F12 H->E Ack
2-10 キャリアがロードポートに払出される S6F11 H<-E BufferCapacityChange
S6F12 H->E Ack
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日 40
# 運用 # 処理 SF 方 メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ
向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP
PJ
コメント
2-11 キャリア搬出可能 S6F11 H<-E ReadyToUnload RTU
S6F12 H->E Ack (P1)
2-12 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Not Reserved NR
S6F12 H->E Ack (P1)
2-13 アンロード搬送開始 S6F11 H<-E TransferBlocked TB
S6F12 H->E Ack (P1) CSMS,C
2-14 キャリア搬出 S6F11 H<-E MaterialHasRemoved AS,STT, S6F12 H->E Ack STPはC4
2-15 キャリアオブジェクト消滅 S6F11 H<-E Deleted No No No ~C7まで
S6F12 H->E Ack State State State 順に変わ
(C4) (C4) (C4) る(2-14~
2-16 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Not Associated NA 2-15) S6F12 H->E Ack (P1)
2-17 ロードポート搬入可能状態 S6F11 H<-E ReadyToLoad RTL
S6F12 H->E Ack (P1)
バッチ内のキャリア数分2-7~2-17を繰返す
3 バッチ1キャリア 3-1 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier Location Change
スロットマップ (内部バッファからFIMSポートへ) S6F12 H->E Ack
照合 3-2 FOUPOpen S6F11 H<-E Carrier Opened
S6F12 H->E Ack CSMS,C
3-3 スロットマップ読込み完了 S6F11 H<-E Waiting for Host WFH AS,STT, S6F12 H->E Ack (C1) STPはC1
3-4 ウェハオブジェクト作成 S6F11 H<-E Substrate At Source AS NP ~C3まで
S6F12 H->E Ack (C1) (C1) 順に変わ
3-5 サブストレート取得 S6F11 H<-E Substrate Occupied OC る
S6F12 H->E Ack (#1) (3-1~4- 3-6 スロットマップ照合OK S3F17 H->E Proceed With Carrier 6) S3F18 H->E Ack
3-7 スロットマップ照合完了 S6F11 H<-E Slot Map Verification OK SVO
S6F12 H->E Ack (C1)
4 バッチ1処理中 4-1 キャリア処理中 S6F11 H<-E Carrier In Accsess IA
S6F12 H->E Ack (C1)
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日 41
# 運用 # 処理 SF 方 メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ
向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP
PJ
コメント
4-2 ウェハ移動 S6F11 H<-E Substrate Location Unoccupied UOC
(ウェハがキャリアから取られた) S6F12 H->E Ack (#1)
4-3 ウェハ移動 S6F11 H<-E Substrate AT WORK AW
(キャリアからボートへ) S6F12 H->E Ack (C1)
4-4 ウェハ移動 S6F11 H<-E Substrate Location Occupied OC
(ウェハがボートへ移動した) S6F12 H->E Ack (#2)
キャリア内のウェハ枚数分4-2~4-4を繰返す
4-5 FOUP Close S6F11 H<-E Carrier Closed
S6F12 H->E Ack
4-6 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier Location Change
(FIMSポートから内部バッファへ) S6F12 H->E Ack
バッチ数分3-1~4-6を繰返す
4-7 Boat Load開始 S6F11 H<-E PRJob Processing Processing
(PJ開始報告) S6F12 H->E PRJob Processing Ack (PJ1)
4-8 ウェハ実処理開始 S6F11 H<-E Substrate InProcess INP
S6F12 H->E Ack (C1~
C3)
5 特急キャリア 5-1 ロード開始 S6F11 H<-E TransferBlocked TB
搬入移動 S6F12 H->E Ack (P2)
5-2 ロード終了 S6F11 H<-E MaterialHasArrived CIDS, S6F12 H->E Ack CSMS,
6 キャリアID照合 6-1 CarrierID読取り S6F11 H<-E Waiting for Host WFH SNR NA CAS, S6F12 H->E Ack (C7) (C7) (C7) はC7~
6-2 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Associated A C9まで順
S6F12 H->E Ack (P2) に変わる
6-3 CarrierID照合OK S3F17 H->E ProceedWithCarrier (5-1~7
S3F18 H<-E Ack -4)) 6-4 CarrierID照合完了 S6F11 H<-E ID Verification OK IVO
S6F12 H->E Ack (C7)
7 特急キャリア 7-1 バッファキャパシティ変更報告 S6F11 H<-E BufferCapacityChange
内部バッファ S6F12 H->E Ack
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日 42
# 運用 # 処理 SF 方 メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ
向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP
PJ
コメント
保管 7-2 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E CarrieLocationChange
S6F12 H->E Ack
7-3 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Not Associated NA
S6F12 H->E Ack (P2)
7-4 ロードポート搬入可能状態 S6F11 H<-E ReadyToLoad RTL
S6F12 H->E Ack (P2)
1バッチ分のキャリア全てが搬入されるまで5-1~7-4が繰返される
8 レシピの確認 8-1 レシピリストの確認 S7F19 H->E Current EPPD Request
S7F20 H<-E Ack
8-2 LOAD問合せ S7F1 H->E Process Program Load Inquire
(装置にレシピがない場合) S7F2 H<-E Ack
8-3 プロセスプログラム送信 S7F23 H->E Process Program Send
S7F24 H<-E Ack
8-4 レシピ妥当性報告 S7F27 H<-E Process Program Verification Send
S7F28 H->E Ack
9 PJ作成 9-1 PJの空きスペースの確認 S16F21 H->E PR Get Space
CJ作成、 S16F22 H<-E Ack
CJ、PJ実行 9-2 CJの空きスペースの確認 S1F3 H->E CJ Queue Space
S1F4 H<-E CJ Queue Space Response
9-3 PJ生成 S16F15 H->E PRJobMultiCreate
S16F16 H<-E PR Job Create Ack
9-4 PJ生成完了 S6F11 H<-E PR Job Pooled Pooled
S6F12 H->E Ack (PJ3)
9-5 CJ生成 S14F9 H->E CJCreate
S14F10 H<-E Ack
9-6 CJ生成完了 S6F11 H<-E Queued Queued
S6F12 H->E Ack (CJ3)
10 バッチ1 10-1 ウェハ実処理完了 S6F11 H<-E Substrate ProcessingComplete PRC
処理終了 S6F12 H->E Ack (C1~
C3)
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日 43
# 運用 # 処理 SF 方 メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ
向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP
PJ
コメント
10-2 アプローチングイベント報告 S6F11 H<-E Approchig Complete
S6F12 H->E Ack
10-3 Boat Unload完了 S6F11 H<-E PJ Processing Complete Process
(PJプロセス終了報告) S6F12 H->E Ack Complete
(PJ1)
11 バッチ1 11-1 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier Location Change
内部バッファ (内部バッファからFIMSポートへ) S6F12 H->E Ack
保管 11-2 FOUPOpen S6F11 H<-E Carrier Opened STTはC1
S6F12 H->E Ack ~C3まで
11-3 ウェハ移動 S6F11 H<-E Substrate Location Unoccupied UOC 順に変わ
(ウェハがポートから取られた) S6F12 H->E Ack (#2) る(11-4) 11-4 ウェハ移動 S6F11 H<-E Substrate AT Destination AD
(ポートからキャリアへ) S6F12 H->E Ack (C1)
11-5 ウェハ移動 S6F11 H<-E Substrate Location Occupied OC
(ウェハがキャリアへ移動した) S6F12 H->E Ack (#1)
キャリア内のウェハ枚数分11-3~11-5を繰返す
11-6 PJ完了報告 S6F11 H<-E PRJob Complete PRJob
S6F12 H->E Ack Complete
(PJ1)
11-7 CJ完了報告 S6F11 H<-E Complete Complete
S6F12 H->E Ack (CJ1)
11-8 CJ削除 S14F11 H<-E Delete Request
S14F12 H->E Ack
11-9 CJ削除報告 S6F11 H<-E Deleted NoState
S6F12 H->E Ack (CJ1)
11-6~11-9は、バッチの最後のキャリアの処理終了時のみ
11-10 FOUP Close S6F11 H<-E Carrier Closed
S6F12 H->E Ack
11-11 キャリア処理完了 S6F11 H<-E Carrier Complete CC 搬出時の
S6F12 H->E Ack (C1~ ロードポー
C3) トは、装置
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日 44
# 運用 # 処理 SF 方 メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ
向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP
PJ
コメント
11-12 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier Location Change UOC にまかせ
(FIMSポートから内部バッファへ) S6F12 H->E Ack (#1) て空いて
バッチ数分11-1~11-12を繰返す いるポート
12 キャリア搬出 12-1 キャリア払出指示 S3F17 H->E CarrierOut を使用す
S3F18 H<-E Ack る。
12-2 キャリア払出 S6F11 H<-E TransferBlocked TB (今回は、
(内部バッファ→ロードポート) S6F12 H->E Ack (P1) 全てポート
12-3 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Associated A 1を使用し
S6F12 H->E Ack (P1) ている)
12-4 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Reserved R
S6F12 H->E Ack (P1)
12-5 キャリアロケーション変更通知 S6F11 H<-E Carrier Location Change
S6F12 H->E Ack
12-6 キャリアがロードポートに払出される S6F11 H<-E BufferCapacityChange
S6F12 H->E Ack
12-7 キャリア搬出可能 S6F11 H<-E ReadyToUnload RTU
S6F12 H->E Ack (P1)
12-8 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Not Reserved NR
S6F12 H->E Ack (P1)
12-9 アンロード搬送開始 S6F11 H<-E TransferBlocked TB
S6F12 H->E Ack (P1)
12-10 キャリア搬出 S6F11 H<-E MaterialHasRemoved
S6F12 H->E Ack
12-11 キャリアオブジェクト消滅 S6F11 H<-E Deleted No No No
S6F12 H->E Ack State State State
(C1 (C1 (C1
~ ~ ~
C3) C3) C3)
12-12 サブストレートオブジェクト消滅 S6F11 H<-E Deleted No No
S6F12 H->E Ack State State
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日 45
# 運用 # 処理 SF 方 メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ
向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP
PJ
コメント
12-13 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Not Associated NA
S6F12 H->E Ack (P1)
12-14 ロードポート搬入可能状態 S6F11 H<-E ReadyToLoad RTL
S6F12 H->E Ack (P1)
1バッチ分のキャリア全てが搬出されるまで12-1~12-14が繰返される
13 特急キャリア 13-1 CJ選択報告 S6F11 H<-E Selected Selected
処理 S6F12 H->E Ack (CJ3)
13-2 CJ実行報告 S6F11 H<-E Execution began Executing
S6F12 H->E Ack (CJ3)
13-3 PJ開始準備 S6F11 H<-E PRJob Setup SettingUp CSMS,C
S6F12 H->E Ack (PJ3) AS,STT, 14 スロットマップ 14-1 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier Location Change STPは、
照合 (内部バッファからFIMSポートへ) S6F12 H->E Ack C7~C9ま
14-2 FOUP Open S6F11 H<-E Carrier Opened で順に変
S6F12 H->E Ack わる(14-1
14-3 スロットマップ読み込み完了 S6F11 H<-E Waiting for Host WFH ~15-6) S6F12 H->E Ack (C7)
14-4 ウェハオブジェクト作成 S6F11 H<-E Substrate At Source AS NP
S6F12 H->E (C7) (C7)
14-5 サブストレート取得 S6F11 H<-E Substrate Occupied OC
S6F12 H->E Ack (#1)
14-6 スロットマップ照合OK S3F17 H->E ProceedWithCarrier
S3F18 H->E Ack
14-7 スロットマップ照合完了 S6F11 H<-E SlotMap Verification OK SVO
S6F12 H->E Ack (C7)
15 特急キャリア 15-1 キャリア処理中 S6F11 H<-E CarrierInAccsess IA
処理中 S6F12 H->E Ack (C7)
15-2 ウェハ移動 S6F11 H<-E Substrate Location Unoccupied UOC
(ウェハがキャリアから取られた) S6F12 H->E Ack (#1)
15-3 ウェハ移動 S6F11 H<-E Substrate AT WORK AW
(キャリアからボートへ) S6F12 H->E Ack (C7)
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日 46
# 運用 # 処理 SF 方 メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ
向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP
PJ コメント
15-4 ウェハ移動 S6F11 H<-E Substrate Location Occupied OC
(ウェハがボートへ移動した) S6F12 H->E Ack (#2)
キャリア内のウェハ枚数分15-2~15-4を繰返す
15-5 FOUP Close S6F11 H<-E Carrier Closed
S6F12 H->E Ack
15-6 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier Location Change
(FIMSポートから内部バッファへ) S6F12 H->E Ack
バッチ数分14-1~15-6を繰返す
15-7 Boat Load開始 S6F11 H<-E PRJob Processing Processing
(PJ開始報告) S6F12 H->E PRJob Processing Ack (PJ3)
15-8 ウェハ実処理開始 S6F11 H<-E Substrate InProcess INP
S6F12 H->E Ack (C7~
C9)
16 処理終了 16-1 ウェハ実処理完了 S6F11 H<-E Substrate ProcessingComplete PRC
S6F12 H->E Ack (C7~
C9)
16-2 アプローチングイベント報告 S6F11 H<-E Approchig Complete
S6F12 H->E Ack
16-3 Boat Unload完了 S6F11 H<-E PJ Processing Complete Process
(PJプロセス終了報告) S6F12 H->E Ack Complete
(PJ3)
17 内部バッファ 17-1 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier Location Change
保管 (内部バッファからFIMSポートへ) S6F12 H->E Ack
17-2 FOUP Open S6F11 H<-E Carrier Opened
S6F12 H->E Ack
17-3 ウェハ移動 S6F11 H<-E Substrate Location Unoccupied UOC GAS,STP
(ウェハがポートから取られた) S6F12 H->E Ack (#2) は、C7~
17-4 ウェハ移動 S6F11 H<-E Substrate AT Destination AD C9まで順
(ポートからキャリアへ) S6F12 H->E Ack (C7) に変わる
17-5 ウェハ移動 S6F11 H<-E Substrate Location Occupied OC (17-3~
(ウェハがキャリアへ移動した) S6F12 H->E Ack (#1) 17-11)
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日 47
# 運用 # 処理 SF 方 メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ
向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP
PJ
コメント
キャリア内のウェハ枚数分17-3~17-5を繰返す
17-6 PJ完了報告 S6F11 H<-E PJ Complete PRJob
S6F12 H->E Ack Complete
(PJ3)
17-7 CJ完了報告 S6F11 H<-E CJ Complete Complete ↓
S6F12 H->E Ack (CJ3) No
17-8 CJ削除 S14F11 H<-E Delete Request State
S14F12 H->E Ack (PJ3)
17-9 CJ削除報告 S6F11 H<-E Deleted NoState
S6F12 H->E Ack (CJ3)
17-6~17-9は、バッチの最後のキャリアの処理終了時のみ
17-10 FOUP Close S6F11 H<-E Carrier Closed
S6F12 H->E Ack
17-11 特急キャリア処理完了 S6F11 H<-E Carrier Complete CC
S6F12 H->E Ack (C7)
17-12 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier Location Change
(FIMSポートから内部バッファへ) S6F12 H->E Ack
バッチ数分17-1~17-12を繰返す
18 CJのQueued 18-1 CJ2オブジェクトの遷移禁止属性解除 S14F3 H->E SetAttr.req
から S14F4 H<-E SetAttr.rsp
Selectedへの 18-2 CJ選択報告 S6F11 H<-E Selected Selected
遷移 S6F12 H->E Ack (CJ2)
18-3 CJ実行報告 S6F11 H<-E Execution began Executing
S6F12 H->E Ack (CJ2)
18-4 PJ開始準備 S6F11 H<-E PRJob Setup SettingUp
S6F12 H->E Ack (PJ2)
19 バッチ2キャリア 19-1 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier Location Change
スロットマップ (内部バッファからFIMSポートへ) S6F12 H->E Ack
照合 19-2 FOUP Open S6F11 H<-E Carrier Opened
S6F12 H->E Ack
19-3 スロットマップ読込み完了 S6F11 H<-E Waiting for Host WFH
S6F12 H->E Ack (C4)
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日 48
# 運用 # 処理 SF 方 メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ コメント
向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP
PJ
19-4 ウェハオブジェクト作成 S6F11 H<-E Substrate At Source AS NP
S6F12 H->E Ack (C4) (C4)
19-5 サブストレート取得 S6F11 H<-E Substrate Occupied OC
S6F12 H->E Ack (#1)
19-6 スロットマップ照合OK S3F17 H->E ProceedWithCarrier
S3F18 H->E Ack
19-7 スロットマップ照合完了 S6F11 H<-E SlotMap Verification OK SVO
S6F12 H->E Ack (C4)
以下 通常処理と同様な流れとなる。
終了状態 RTL NA NR OC IVO SVO CC AS NP Executing SettingUp
(P1, (P1, (P1, (#1) (C4 (C4) (C7~ (C4) (C4) (CJ2) (PJ2)
P2) P2) P2) ~ SNR C9)
C6) C5、 NA
C6) (C4、
C6)
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日 49
2.1.5. エラーリカバリシナリオ
2.1.5.1. エラー内容一覧 装置で発生するであろう代表的な異常ケースを、以下の表に示す。次のセクションではこれらに
ついての運用フローの詳細とシナリオを示す。
エラー内容 詳細条件
キャリア搬入時ハンドオフ失敗 キャリアハンドオフ (E84) 失敗
キャリア搬出時ハンドオフ失敗
スロットマップ読み込みエラー
スロットマップ情報不一致
FIMS ポートでのスロットマップ照
合失敗
ダブルスロット、クロススロット
キャリアID読み込み失敗 キャリアID照合失敗
キャリア ID情報不一致
プロセスジョブ作成エリア不足
コントロールジョブ作成エリア不足
間違ったフォーマットのプロセスジョブ作成指示
間違ったフォーマットのコントロールジョブ作成指示ま
ジョブ作成失敗
指示されたコントロールジョブの中に存在しないプロセ
スジョブが含まれていた
デリパリポジションでのクランプ失敗
デリパリポジションでのアンクランプ失敗
ドックドポジションでのドッキング失敗
(アン)クランプ/(アン)ドッキ
ング失敗
ドックドポジションでのアンドッキング失敗
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日 50
2.1.5.2. キャリアハンドオフ (E84) 失敗 キャリアハンドオフにて異常が発生した場合、装置はホストに異常発生を通知し、キャリ
アハンドオフ動作を終了する。(自動搬送機側のタイマーがタイムアウトすることにより、
それ以上キャリアハンドオフの動作が進行しないため、必然的に装置側のタイマーがタイ
ムアウトすることになる。) 装置は異常状態が解除された時点で、キャリアハンドオフパラレル I/O インターフェイス信号を初期状態に戻した後、ロードポート上のキャリア有無を調べ、以下に示す処理をお
こなう。 キャリアハンドオフの方向
異常解除時ロードポート上の
キャリア有無
異常解除前のロードポートのステータス
異常解除後の装置動作 異常解除後のロードポートのステータス
RTL なにもしない RTL キャリアプレースメン
トセンサー:OFF TB キャリアハンドオフをなかったことにする。 RTL 搬入
キャリアプレースメン
トセンサー:ON TB キャリアハンドオフを終わったことにする。
キャリア搬入完了後の処理を継続する。 TB
キャリアプレゼンスセンサー:OFF
TB キャリアハンドオフを終わったことにする。 キャリア搬出後の後処理をおこなう。
RTL
RTU なにもしない RTU
搬出
キャリアプレゼンスセンサー:ON TB キャリアハンドオフをなかったことにする。 RTU
エラー発生時の対応運用フローとシナリオを次の2パターンについて示す。 (1) キャリア搬入時 キャリアハンドオフ失敗 (2) キャリア搬出時 キャリアハンドオフ失敗
なお、E84ハンドシェイク及びタイマー値については、次の章を参照のこと。 5.2.11.、5.2.12 搬入時 E84ハンドシェイク、搬出時 E84ハンドシェイク 5.2.13 E84タイマー一覧
注) RTL:搬入可能状態(ReadyToLoad) TB :キャリアハンドオフ中(TransferBlocked) RTU:搬出可能状態(ReadyToUnload)
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
51
図 2-1 キャリア搬入時ハンドオフ失敗
コメントオペレータホスト装置AMHS
1 1) キャリア搬入時 キャリアハンドオフ失敗
キャリア搬入可能を報告する
BEGIN
搬入指示
オペレータ通知
L_REQ:OFF?
搬入指示キャリア搬送
ロードポート到着
TA4 Timer起動
搬入要求
TA4タイムアウト?
アラーム報告
TP3 Timer起動
S6F11:Ready To Load
Yes
No
キャリアセンサー:ON?
TP3タイムアウト?
アラーム報告
No
No
L_REQ:ON
CS_0:ONCS_1:OFFVALID:ON
S5F1:Carrier Hand off Fail
オペレータ通知
ハンドオフ開始
ハンドオフ中
ハンドオフ許可
TR_REQ:ON
READY:ON
BUSY:ON
S6F11:Transfer Blocked
キャリアを適切な位置にセットし、アラームをリセット
するアラーム解除報告S5F1:Carrier Handoff Fail Recover
ロードポート上にキャリアがあるか
ロードポートを搬入可能な状態とする
S6F11: Ready To Load
Yes
キャリア搬入完了とするS6F11: Material Has Arrived
Yes
この場合は、ロードポートがT/B状態となっているため、アラームリセット時にロードポート上にキャリアが存在すれば、搬入完了としている。
END
END
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
52
図 2-2 キャリア搬出時ハンドオフ失敗
コメントオペレータホスト装置AMHS
1 2) キャリア搬出時 キャリアハンドオフ失敗
キャリア搬出可能を報告する
BEGIN
搬出指示
オペレータ通知
L_REQ:OFF?
搬出指示キャリア搬送
ロードポート到着
TA4 Timer起動
搬出要求
TA4タイムアウト?
アラーム報告
TP3 Timer起動
S6F11:Ready To Unload
Yes
No
キャリアセンサー:OFF?
TP3タイムアウト?
アラーム報告
Yes
No
L_REQ:ON
CS_0:ONCS_1:OFFVALID:ON
S5F1:Carrier Hand off Fail
オペレータ通知
ハンドオフ開始
ハンドオフ中
ハンドオフ許可
TR_REQ:ON
READY:ON
BUSY:ON
S6F11:Transfer Blocked
キャリアを適切な位置にセットし、アラームをリセット
するアラーム解除報告S5F1:Carrier Handoff Fail Recover
ロードポート上にキャリアがあるか
ロードポートを搬出可能な状態とする
S6F11: Ready To Unload
Yes
キャリア搬出完了とするS6F11: Material Has Removed
No
この場合は、ロードポートがT/B状態となっているため、アラームリセット時にロードポート上にキャリアが存在しなければ、搬入完了としている。
END
END
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
53
自動ハンドオフ中 E84失敗
項目 条件 コントロールモード オンラインリモート アクセスモード オート 処理キャリア数 4 コントロールジョブ数 1 プロセスジョブ数 1 コントロールジョブ、プロセスジョブの作成とキャリア配送 配送後 Carrier ID/Slot Map照合 ホスト照合 搬送機器 AMHS(AGV/RGV/OHT)
略語 意味 #1 FIMSポート #2 モジュール(ボート)
Load Port FIMS
2'
5 5'
66'
43
12
87
910
0
内部バッファ内部バッファ内部バッファ内部バッファ モジュールモジュールモジュールモジュール
#1Substrate
Location ID(FIMS Port)
Location ChangeProcessing
#2Substrate
Location ID(Boat)
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
54
キャリア搬入時 キャリアハンドオフ失敗
# 運用 # 処理 SF 方 メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ
向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP
PJ コメント
1 キャリア搬入 1-1 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Ready To Load RTL NAS NR UOC No No No No No No State No State
(キャリア搬入可能報告) S6F12 H->E Acknowladge (#1,#4) State State State State State
1-2 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Transfer Blocked TB
(Transfer Blocked) S6F12 H->E Acknowladge
キャリア搬入時、AMHSと装置とでPIOエラー発生
1-3 キャリア搬入失敗 S5F1 H<-E Carrier Transfer Fail Occurred
S5F2 H->E Acknowladge
2 異常状態復帰 オペレータがリスタートまたはキャンセルを指示
2-1 キャリアハンドオフ復旧 S5F1 H<-E Carrier Transfer Fail Recovered
S5F2 H->E Acknowladge
3 キャリア 異常状態復帰後、ロードポートにキャリアがあれば、搬入完了とみなす
搬入完了 3-1 搬入完了 S6F11 H<-E Material Has Arrived
S6F12 H->E Acknowladge
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
55
キャリア搬出時 キャリアハンドオフ失敗
# 運用 # 処理 SF 方 メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ コメント
向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP
PJ
1 キャリア搬出 1-1 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Ready To Unload RTU NAS NR OC IVO SVO CC AD PC No State No State
(キャリア搬入可能報告) S6F12 H->E Acknowladge (#1)
1-2 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Transfer Blocked TB
(Transfer Blocked) S6F12 H->E Acknowladge
キャリア搬入時、AMHSと装置とでPIOエラー発生
1-3 キャリア搬出失敗 S5F1 H<-E Carrier Transfer Fail Occurred
S5F2 H->E Acknowladge
2 異常状態復帰 オペレータがリスタートまたはキャンセルを指示
2-1 キャリアハンドオフ復旧 S5F1 H<-E Carrier Transfer Fail Recovered
S5F2 H->E Acknowladge
3 キャリア 異常状態復帰後、ロードポートにキャリアがなければ、搬出完了とみなす
搬出完了 3-1 キャリア搬出移載完了 S6F11 H<-E Material hs Removed
S6F12 H->E Acknowladge
3-2 キャリア移動 S6F11 H<-E Substrate Unoccupied UOC
S6F12 H->E Acknowladge (#U1)
3-3 キャリアオブジェクト消滅 S6F11 H<-E Deleted No No No
S6F12 H->E Acknowladge State State State
3-4 サブストレートオブジェクト消滅 S6F11 H<-E Deleted No No
S6F12 H->E Acknowladge State State
3-5 ロードポートステータス変更報告 S6F11 H<-E Not Associated NAS
(Not Associated) S6F12 H->E Acknowladge
3-6 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Ready To Load RTL
(キャリア搬入可能報告) S6F12 H->E Acknowladge
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
56
2.1.5.3. スロットマップ照合 失敗 スロットマップ照合が異常終了したとしても、ホストからウェーハの情報をコンテンツマップと
して装置に与えることによって、処理の継続は可能である。しかし、エラーが発生した場合には、
オペレータがキャリア内のウェーハ状態を確認すべきである。従って、どの場合でもオペレータ
がキャリア内のウェ-ハ状態を確認することとする。 スロットマップ照合に失敗したキャリアが再度ロードポートから搬入されれば、コントロールジ
ョブは既に装置内に存在するため、装置は直ちにスロットマップ照合に取りかからなければなら
ない。
また、スロットマップ照合に失敗したキャリア以外を使用する場合は、ジョブのキャンセルが行
われる。装置は、ジョブがキャンセルされることにより、既にボートに投入済みのウェーハを元
のキャリアに回収し、そのキャリアを未使用の状態(Not Accessed)にしなければならない。これにより、キャリアを搬出することなく、再バッチ組が可能となる。 エラー発生時の対応運用フローとシナリオを次の3パターンについて示す。
(1) スロットマップ読み込み失敗 (2) スロットマップデータエラー
(3) ダブルスロット、クロススロット
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
57
図 2-3 スロットマップ読込み失敗 1/3
コメントオペレータホスト装置AMHS
1 (1) スロットマップ読込み失敗
BEGIN
S6F11:FOUP Opened
S6F11:Carrier Location Change
FOUPドア OPEN
スロットマップ読込みエラー発生
スロットマップ読込み結果を通知する
スロットマップ照合完了を通知する
FOUPドア CLOSE
キャリアの取消を要求する
オペレータ通知
S6F11:FOUP Closed
キャリアの払出しを要求する
S5F1:SlotMap Read Fail
S6F11:Waiting For Host
S3F17:Cancel Carrier
内部バッファからFIMSポートへキャリア移動
FIMSポートから内部バッファへキャリア移動
S6F11:Carrier Location Change
ロードポートのアクセスステータスを更新する
ロードポートステータスを更新する
内部バッファからロードポートへキャリア移動
内部バッファのキャパシティ変更を報告
キャリア搬出可能な状態とする
S5F1:SlotMap Verification Failed
S6F11:Transfer Blocked
S6F11:Associated
S6F11:Carrier Location Change
S6F11:Buffer Capacity Change
S6F11:Ready To Unload
2a
S3F17:Carrier Out
ロードポート予約ステータスを更新する
S6F11: Reserved
ロードポート予約ステータスを更新する
S6F11: Not Reserved
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
58
図 2-4 スロットマップ読込み失敗 2/3
コメントオペレータホスト装置AMHS
2
スロットマップリータが正常動作するようメンテナンスしたのちキャリアの再搬入を行う
異常発生したキャリアを再投入す
るか?
Yes
END
No
ジョブキャンセルコントロールジョブ停止要求停止要求された
コントロールジョブに関するプロセスジョブの停止を開始する
プロセスジョブが停止したことを報告する
内部バッファからFIMSポートへキャリア移動
FOUPドア OPEN
ウェハをポートから取り出す
ウェハの移動報告
※1
※2
※3
S6F11:Process Job Stopping
S6F11:Process Job Complete
S6F11:Carrire Location Change
S6F11:FOUP Opend
S6F11:Unoccupied(ボート)
S6F11:Substrate At Distination
3a
S16F27:CJStop
ジョブキャンセル
※1 Active状態にあるプロセスジョブ全てについて伴う
※2 FIMSポート上のキャリアに戻すべきウェハ全てについて行う
※3 ボートへウェハ投入しているキャリア全てについて行う
2a
(1) スロットマップ読込み失敗
S6F11:Occupied(FIMS)ウェハをキャリアに戻す
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
59
図 2-5 スロットマップ読込み失敗 3/3
コメントオペレータホスト装置AMHS
3
S6F11:Carrier Location Change
S6F11:FOUP Closed
S6F11:Carrier Stoppedキャリアの中断を
報告する
FOUPドア CLOSE
FIMSポートから内部
バッファへ
キャリア移動
Activeでなかったプロ
セスジョブをキャンセ
ルする
Queued/Pooled状態
にあるプロセスジョブ
を削除する S6F11:PRJob Deleted
S16F5:PRJob Cancel
※4※4Queued/Pooled状態に
あるプロセスジョブ全てに
ついて行う
3a
(1) スロットマップ読込み失敗
コントロールジョブの
削除を要求する
S6F11:CJComplete
S6F11:Deleted
S16F27:CJ Delete
最後の
キャリア?
コントロールジョブの終了を報告する
コントロールジョブを
削除する
Yes
No
END
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
60
図 2-6 スロットマップホスト照合失敗 1/3
コメントオペレータホスト装置AMHS
1 (2) スロットマップ ホスト照合失敗
BEGIN
S6F11:FOUP Opened
S6F11:Carrier Location Change
FOUPドア OPEN
スロットマップ読込み結果を通知する
スロットマップ照合完了を通知する
FOUPドア CLOSE
キャリアの取消を要求する
S6F11:FOUP Closed
キャリアの払出しを要求する
S6F11:Waiting For Host
S3F17:Cancel Carrier
内部バッファからFIMSポートへキャリア移動
FIMSポートから内部バッファへキャリア移動
S6F11:Carrier Location Change
ロードポートのアクセスステータスを
更新する
ロードポートステータスを更新する
内部バッファからロードポートへキャリア移動
内部バッファのキャパシティ変更を報告
S5F1:SlotMap Verification Failed
S6F11:Transfer Blocked
S6F11:Associated
S6F11:Carrier Location Change
S6F11:Buffer Capacity Change
2a
ウェハオブジェクトを生成する
S6F11:Substrate At Source
サブストレート情報を取得する
S6F11:Occupied(FIMS)
S3F17:Carrier Out
ロードポート予約ステータスを更新する
S6F11:Reserved
ロードポートを搬出可能な状態とする
S6F11:Ready To Unload
ロードポート予約ステータスを更新する
S6F11:Not Reserved
オペレータ通知
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
61
図 2-7 スロットマップホスト照合失敗 2/3
コメントオペレータホスト装置AMHS
2
スロットマップリータが正常動作するようメンテナンスしたのちキャリアの再搬入を行う
異常発生したキャリアを再投入す
るか?
Yes
END
No
ジョブキャンセルコントロールジョブ停止要求停止要求された
コントロールジョブに関するプロセスジョブの停止を開始する
プロセスジョブが停止したことを報告する
内部バッファからFIMSポートへキャリア移動
FOUPドア OPEN
ウェハをポートから取り出す
ウェハの移動報告
※1
※2
※3
S6F11:Process Job Stopping
S6F11:Process Job Complete
S6F11:Carrire Location Change
S6F11:FOUP Opend
S6F11:Unoccupied(ボート)
S6F11:Substrate At Distination
3a
S16F27:CJStop
ジョブキャンセル
※1 Active状態にあるプロセスジョブ全てについて伴う
※2 FIMSポート上のキャリアに戻すべきウェハ全てについて行う
※3 ボートへウェハ投入しているキャリア全てについて行う
2a
(2) スロットマップ ホスト照合失敗
S6F11:Occupied(FIMS)ウェハをキャリアに戻す
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
63
図 2-8 スロットマップホスト照合失敗 3/3
コメントオペレータホスト装置AMHS
3
S6F11:Carrier Location Change
S6F11:FOUP Closed
S6F11:Carrier Stoppedキャリアの中断を
報告する
FOUPドア CLOSE
FIMSポートから内部
バッファへ
キャリア移動
Activeでなかったプロ
セスジョブをキャンセ
ルする
Queued/Pooled状態
にあるプロセスジョブ
を削除する S6F11:PRJob Deleted
S16F5:PRJob Cancel
※4※4Queued/Pooled状態に
あるプロセスジョブ全てに
ついて行う
3a
(2) スロットマップ ホスト照合失敗
コントロールジョブの
削除を要求する
S6F11:CJComplete
S6F11:Deleted
S16F27:CJ Delete
最後の
キャリア?
コントロールジョブの終了を報告する
コントロールジョブを
削除する
Yes
No
END
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
64
図 2-9 ダブルスロット・クロススロット 1/3
コメントオペレータホスト装置AMHS
1 (3) ダブルスロット/クロススロット
BEGIN
S6F11:FOUP Opened
S6F11:Carrier Location Change
FOUPドア OPEN
スロットマップ読込み結果を通知する
スロットマップ照合完了を通知する
FOUPドア CLOSE
キャリアの取消を要求する
S6F11:FOUP Closed
キャリアの払出しを要求する
S6F11:Waiting For Host
S3F17:Cancel Carrier
内部バッファからFIMSポートへキャリア移動
FIMSポートから内部バッファへキャリア移動
S6F11:Carrier Location Change
ロードポートのアクセスステータスを更新する
ロードポートステータスを更新する
内部バッファからロードポートトへキャリア移動
内部バッファのキャパシティ変更を報告
S5F1:SlotMap Verification Failed
S6F11:Transfer Blocked
S6F11:Associated
S6F11:Carrier Location Change
S6F11:Buffer Capacity Change
2a
ウェハオブジェクトを生成する
S6F11:Substrate At Source
サブストレート情報を取得する
S6F11:Occupied(FIMS)
S3F17:Carrier Out
ロードポート予約ステータスを更新する
S6F11:Reserved
ロードポートを搬出可能な状態とする
S6F11:Ready To Unload
ロードポート予約ステータスを更新する
S6F11:Not Reserved
オペレータ通知
ダブル(クロス)スロットのアラームを報告する
S5F1:Improper Wafer Position
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
65
図 2-10 ダブルスロット・クロススロット 2/3
コメントオペレータホスト装置AMHS
2
スロットマップリータが正常動作するようメンテナンスしたのちキャリアの再搬入を行う
異常発生したキャリアを再投入す
るか?
Yes
END
No
ジョブキャンセルコントロールジョブ停止要求停止要求された
コントロールジョブに関するプロセスジョブの停止を開始する
プロセスジョブが停止したことを報告する
内部バッファからFIMSポートへキャリア移動
FOUPドア OPEN
ウェハをポートから取り出す
ウェハの移動報告
※1
※2
※3
S6F11:Process Job Stopping
S6F11:Process Job Complete
S6F11:Carrire Location Change
S6F11:FOUP Opend
S6F11:Unoccupied(ボート)
S6F11:Substrate At Distination
3a
S16F27:CJStop
ジョブキャンセル
※1 Active状態にあるプロセスジョブ全てについて伴う
※2 FIMSポート上のキャリアに戻すべきウェハ全てについて行う
※3 ボートへウェハ投入しているキャリア全てについて行う
2a
(3) ダブルスロット/クロススロット
S6F11:Occupied(FIMS)ウェハをキャリアに戻す
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
66
図 2-11 ダブルスロット・クロススロット 3/3
コメントオペレータホスト装置AMHS
3
S6F11:Carrier Location Change
S6F11:FOUP Closed
S6F11:Carrier Stoppedキャリアの中断を報告する
FOUPドア CLOSE
FIMSポートから内部バッファへキャリア移動
Activeでなかったプロセスジョブをキャンセ
ルする
Queued/Pooled状態にあるプロセスジョブ
を削除する S6F11:PRJob Deleted
S16F5:PRJob Cancel
※4※4Queued/Pooled状態にあるプロセスジョブ全てについて行う
3a
(3) ダブルスロット/クロススロット
コントロールジョブの削除を要求する
S6F11:CJComplete
S6F11:Deleted
S16F27:CJ Delete
最後のキャリア?
コントロールジョブの終了を報告する
コントロールジョブを削除する
Yes
No
END
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
67
スロットマップ照合失敗 前提条件
項目 条件 コントロールモード オンラインリモート アクセスモード オート 処理キャリア数 4 コントロールジョブ数 1 プロセスジョブ数 1 コントロールジョブ、プロセスジョブの作成とキャリア配送 配送後 Carrier ID/Slot Map照合 ホスト照合 搬送機器 AMHS(AGV/RGV/OHT)
略語 意味 #1 FIMSポート #2 モジュール(ボート)
Load Port FIMS
2'
5 5'
66'
43
12
87
910
0
内部バッファ内部バッファ内部バッファ内部バッファ モジュールモジュールモジュールモジュール
#1Substrate
Location ID(FIMS Port)
Location ChangeProcessing
#2Substrate
Location ID(Boat)
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
68
スロットマップリードエラー ジョブキャンセル # 運用 # 処理 SF 方 メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ コメント
向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP
PJ
1 スロット 1-1 キャリアロケーションチェンジ S6F11 H<-E Carrier Location Changed RTL NAS NR UOC IVO SNR NAC No No Executing SettingUp
マップ照合 (内部バッファからFIMSポートへ) S6F12 H->E Acknowledge (#1) State State
1-2 FOUP Open S6F11 H<-E FOUP Open
S6F12 H->E Acknowledge
1-3 スロットマップ読込み異常発生 S5F1 H<-E Slot Map read failed Occurred
S5F2 H->E Acknowledge
1-4 スロットマップ読込み完了 S6F11 H<-E Waiting For Host WFH
S6F12 H->E Acknowladge
1-5 スロットマップ読込みNG S3F17 H->E Cancel Carrier
S3F18 H<-E Acknowledge
1-6 スロットマップ照合完了 S6F11 H<-E Slot Map Verification Failed SVF
S6F12 H->E Acknowledge
1-7 FOUP Close S6F11 H<-E FOUP Closed
S6F12 H->E Acknowledge
1-8 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier Location Change
(FIMSポートから内部バッファへ) S6F12 H->E Acknowledge
2 異常キャリアの 2-1 キャリア払出指示 S3F17 H->E Carrrier Out
払出し S3F18 H<-E Acknowladge
2-2 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Transfer Blocked TB
(Transfer Blocked) S6F12 H->E Acknowladge
2-3 ロードポートステータス変更報告 S6F11 H<-E Associated A
(Associated) S6F12 H->E Acknowladge
2-4 ロードポートステータス変更報告 S6F11 H<-E Reserved R
(Reserved) S6F12 H->E Acknowladge
2-5 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier Location Change
(内部バッファからロードポートへ) S6F12 H->E Acknowladge
2-6 内部バッファキャパシティ変更報告 S6F11 H<-E Buffer Capacity Change
S6F12 H->E Acknowladge
2-7 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Ready To Unload RTU
(キャリア搬出可能報告) S6F12 H->E Acknowladge
2-8 ロードポートステータス変更報告 S6F11 H<-E Not Reserved NR
(Not Reserved) S6F12 H->E Acknowladge
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
69
# 運用 # 処理 SF 方 メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ コメント
向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP
PJ
3 ジョブキャンセル 3-1 CJ停止要求 S16F27 H->E CJStop
S16F28 H->E Acknowladge
3-2 PJ状態変更報告 S6F11 H<-E Process Job Stopping Stopping
S6F12 H->E Acknowladge
3-3 PJ完了報告 S6F11 H<-E Process Job Complete PR Job
S6F12 H->E Acknowladge Complete
STOP要求したCJに関するActive状態にある全てのPJがCompleteするまで、3-2~3-3を繰り返す。 ↓
3-4 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier Location Change OC IVO SVO INA AW NP No
(内部バッファからFIMSポートへ) S6F12 H->E Acknowladge (#2) State
3-5 FOUP Open S6F11 H<-E FOUP Opened
S6F12 H->E Acknowladge
3-6 ウェーハ移動 S6F11 H->E Substarate Location Unoccuppied UOC
(ウェーハがボートから取られた) S6F12 H<-E Acknowladge (#2)
3-7 ウェーハ移動 S6F11 H<-E Substarate At Distination AD
(ウェーハがボートからキャリアへ) S6F12 H->E Acknowladge
3-8 ウェーハ移動 S6F11 H<-E Substarate Location Occuppied OC
(ウェーハがキャリアへ移動した) S6F12 H->E Acknowladge (#1)
1キャリア分のウェーハが全て回収されるまで、3-6~3-8を繰り返す。
3-9 CJ完了報告 S6F11 H<-E Complete Complete
S6F12 H->E Acknowladge
3-10 CJ削除要求 S16F27 H->E CJ Delete
S16F28 H<-E Acknowladge
3-11 CJ削除報告 S6F11 H<-E Delete No State
S6F12 H->E Acknowladge
最後のウェーハをキャリアに回収したタイミングで3-9~3-11を行う。
3-12 FOUP Close S6F11 H<-E FOUP Closed
S6F12 H->E Acknowledge
3-13 キャリア処理中断 S6F11 H<-E Carrier Stopped CS
S6F12 H->E Acknowladge
3-14 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier Location Change UOC
(FIMSポートから内部バッファへ) S6F12 H->E Acknowladge (#1)
ボート内のウェーハが全て回収されるまで、3-4~3-14を繰り返す。
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
70
# 運用 # 処理 SF 方 メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ コメント
向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP
PJ
3-15 プロセスジョブキャンセル S16F5 H->E PRJob Cancel Queued
S16F6 H<-E Acknowladge
3-16 プロセスジョブ完了報告 S6F11 H<-E PRJob Complete No State
S6F12 H->E Acknowladge
Queued/Pooled状態にあるPJについて3-15~3-16を繰り返す。
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
71
スロットマップホスト照合異常 ジョブキャンセル # 運用 # 処理 SF 方 メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ コメント
向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP
PJ
1 スロット 1-1 キャリアロケーションチェンジ S6F11 H<-E Carrier Location Changed RTL NAS NR UOC IVO SNR NAC No No Executing SettingUp
マップ照合 (内部バッファからFIMSポートへ) S6F12 H->E Acknowledge (#1) State State
1-2 FOUP Open S6F11 H<-E FOUP Open
S6F12 H->E Acknowledge
1-3 スロットマップ読込み完了 S6F11 H<-E Waiting For Host WFH
S6F12 H->E Acknowladge
1-4 ウェーハオブジェクト作成 S6F11 H<-E Substarate At Source AS NP
S6F12 H->E Acknowladge
1-5 サブストレート取得 S6F11 H<-E Substarate Occupied OC
S6F12 H->E Acknowladge (#1)
1-6 スロットマップ読込みNG S3F17 H->E Cancel Carrier
S3F18 H<-E Acknowledge
1-7 スロットマップ照合完了 S6F11 H<-E Slot Map Verification Failed SVF
S6F12 H->E Acknowledge
1-8 FOUP Close S6F11 H<-E FOUP Closed
S6F12 H->E Acknowledge
1-9 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier Location Change
(FIMSポートから内部バッファへ) S6F12 H->E Acknowledge
2 異常キャリアの 2-1 キャリア払出指示 S3F17 H->E Carrrier Out
払出し S3F18 H<-E Acknowladge
2-2 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Transfer Blocked TB
(Transfer Blocked) S6F12 H->E Acknowladge
2-3 ロードポートステータス変更報告 S6F11 H<-E Associated A
(Associated) S6F12 H->E Acknowladge
2-4 ロードポートステータス変更報告 S6F11 H<-E Reserved R
(Reserved) S6F12 H->E Acknowladge
2-5 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier Location Change
(内部バッファからロードポートへ) S6F12 H->E Acknowladge
2-6 内部バッファキャパシティ変更報告 S6F11 H<-E Buffer Capacity Change
S6F12 H->E Acknowladge
2-7 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Ready To Unload RTU
(キャリア搬出可能報告) S6F12 H->E Acknowladge
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
72
# 運用 # 処理 SF 方 メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ コメント
向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP
PJ
2-8 ロードポートステータス変更報告 S6F11 H<-E Not Reserved NR
(Not Reserved) S6F12 H->E Acknowladge
3 ジョブキャンセル 3-1 CJ停止要求 S16F27 H->E CJStop
S16F28 H->E Acknowladge
3-2 PJ状態変更報告 S6F11 H<-E Process Job Stopping Stopping
S6F12 H->E Acknowladge
3-3 PJ完了報告 S6F11 H<-E Process Job Complete PR Job
S6F12 H->E Acknowladge Complete
STOP要求したCJに関するActive状態にある全てのPJがCompleteするまで、3-2~3-3を繰り返す。 ↓
3-4 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier Location Change OC IVO SVO INA AW NP No
(内部バッファからFIMSポートへ) S6F12 H->E Acknowladge (#2) State
3-5 FOUP Open S6F11 H<-E FOUP Opened
S6F12 H->E Acknowladge
3-6 ウェーハ移動 S6F11 H->E Substarate Location Unoccuppied UOC
(ウェーハがボートから取られた) S6F12 H<-E Acknowladge (#2)
3-7 ウェーハ移動 S6F11 H<-E Substarate At Distination AD
(ウェーハがボートからキャリアへ) S6F12 H->E Acknowladge
3-8 ウェーハ移動 S6F11 H<-E Substarate Location Occuppied OC
(ウェーハがキャリアへ移動した) S6F12 H->E Acknowladge (#1)
1キャリア分のウェーハが全て回収されるまで、3-6~3-8を繰り返す。
3-9 CJ完了報告 S6F11 H<-E Complete Complete
S6F12 H->E Acknowladge
3-10 CJ削除要求 S16F27 H->E CJ Delete
S16F28 H<-E Acknowladge
3-11 CJ削除報告 S6F11 H<-E Delete No State
S6F12 H->E Acknowladge
最後のウェーハをキャリアに回収したタイミングで3-9~3-11を行う。
3-12 FOUP Close S6F11 H<-E FOUP Closed
S6F12 H->E Acknowledge
3-13 キャリア処理中断 S6F11 H<-E Carrier Stopped CS
S6F12 H->E Acknowladge
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
73
# 運用 # 処理 SF 方 メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ コメント
向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP
PJ
3-14 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier Location Change UOC
(FIMSポートから内部バッファへ) S6F12 H->E Acknowladge (#1)
ボート内のウェーハが全て回収されるまで、3-4~3-14を繰り返す。
3-15 プロセスジョブキャンセル S16F5 H->E PRJob Cancel Queued
S16F6 H<-E Acknowladge
3-16 プロセスジョブ完了報告 S6F11 H<-E PRJob Complete No State
S6F12 H->E Acknowladge
Queued/Pooled状態にあるPJについて3-15~3-16を繰り返す。
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
74
ダブルスロット/クロススロット後 ジョブキャンセル # 運用 # 処理 SF 方 メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ コメント
向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP
PJ
1 スロット 1-1 キャリアロケーションチェンジ S6F11 H<-E Carrier Location Changed RTL NAS NR UOC IVO SNR NAC No No Executing SettingUp
マップ照合 (内部バッファからFIMSポートへ) S6F12 H->E Acknowledge (#1) State State
1-2 FOUP Open S6F11 H<-E FOUP Open
S6F12 H->E Acknowledge
1-3 ダブル(クロス)スロット発生 S5F1 H<-E Improper Wafer Position
S5F2 H->E Acknowledge
1-4 スロットマップ読込み完了 S6F11 H<-E Waiting For Host WFH
S6F12 H->E Acknowladge
1-5 ウェーハオブジェクト作成 S6F11 H<-E Substarate At Source AS NP S6F12 H->E Acknowladge
1-6 サブストレート取得 S6F11 H<-E Substarate Occupied OC
S6F12 H->E Acknowladge (#1)
1-7 スロットマップ読込みNG S3F17 H->E Cancel Carrier
S3F18 H<-E Acknowledge
1-8 スロットマップ照合完了 S6F11 H<-E Slot Map Verification Failed SVF
S6F12 H->E Acknowledge
1-9 FOUP Close S6F11 H<-E FOUP Closed
S6F12 H->E Acknowledge
1-10 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier Location Change
(FIMSポートから内部バッファへ) S6F12 H->E Acknowledge
2 異常キャリアの 2-1 キャリア払出指示 S3F17 H->E Carrrier Out
払出し S3F18 H<-E Acknowladge
2-2 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Transfer Blocked TB
(Transfer Blocked) S6F12 H->E Acknowladge
2-3 ロードポートステータス変更報告 S6F11 H<-E Associated A
(Associated) S6F12 H->E Acknowladge
2-4 ロードポートステータス変更報告 S6F11 H<-E Reserved R
(Reserved) S6F12 H->E Acknowladge
2-5 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier Location Change
(内部バッファからロードポートへ) S6F12 H->E Acknowladge
2-6 内部バッファキャパシティ変更報告 S6F11 H<-E Buffer Capacity Change
S6F12 H->E Acknowladge
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
75
# 運用 # 処理 SF 方 メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ コメント
向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP
PJ
2-7 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Ready To Unload RTU
(キャリア搬出可能報告) S6F12 H->E Acknowladge
2-8 ロードポートステータス変更報告 S6F11 H<-E Not Reserved NR
(Not Reserved) S6F12 H->E Acknowladge
3 ジョブキャンセル 3-1 CJ停止要求 S16F27 H->E CJStop
S16F28 H->E Acknowladge
3-2 PJ状態変更報告 S6F11 H<-E Process Job Stopping Stopping
S6F12 H->E Acknowladge
3-3 PJ完了報告 S6F11 H<-E Process Job Complete PR Job
S6F12 H->E Acknowladge Complete
STOP要求したCJに関するActive状態にある全てのPJがCompleteするまで、3-2~3-3を繰り返す。 ↓
3-4 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier Location Change OC IVO SVO INA AW NP No
(内部バッファからFIMSポートへ) S6F12 H->E Acknowladge (#2) State
3-5 FOUP Open S6F11 H<-E FOUP Opened
S6F12 H->E Acknowladge
3-6 ウェーハ移動 S6F11 H->E Substarate Location Unoccuppied UOC
(ウェーハがボートから取られた) S6F12 H<-E Acknowladge (#2)
3-7 ウェーハ移動 S6F11 H<-E Substarate At Distination AD
(ウェーハがボートからキャリアへ) S6F12 H->E Acknowladge
3-8 ウェーハ移動 S6F11 H<-E Substarate Location Occuppied OC
(ウェーハがキャリアへ移動した) S6F12 H->E Acknowladge (#1)
1キャリア分のウェーハが全て回収されるまで、3-6~3-8を繰り返す。
3-9 CJ完了報告 S6F11 H<-E Complete Complete
S6F12 H->E Acknowladge
3-10 CJ削除要求 S16F27 H->E CJ Delete
S16F28 H<-E Acknowladge
3-11 CJ削除報告 S6F11 H<-E Delete No State
S6F12 H->E Acknowladge
最後のウェーハをキャリアに回収したタイミングで3-9~3-11を行う。
3-12 FOUP Close S6F11 H<-E FOUP Closed
S6F12 H->E Acknowledge
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
76
# 運用 # 処理 SF 方 メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ コメント
向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP
PJ
3-13 キャリア処理中断 S6F11 H<-E Carrier Not Accessed CS
S6F12 H->E Acknowladge
3-14 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier Location Change UOC
(FIMSポートから内部バッファへ) S6F12 H->E Acknowladge (#1)
ボート内のウェーハが全て回収されるまで、3-4~3-14を繰り返す。
3-15 プロセスジョブキャンセル S16F5 H->E PRJob Cancel Queued
S16F6 H<-E Acknowladge
3-16 プロセスジョブ完了報告 S6F11 H<-E PRJob Complete No State
S6F12 H->E Acknowladge
Queued/Pooled状態にあるPJについて3-15~3-16を繰り返す。
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
77
2.1.5.4. キャリア ID照合 失敗 キャリア ID照合失敗のパターンは、次の2つが考えられる。 (1) キャリア ID読み込み失敗
(2) キャリア IDの不一致 どちらの場合とも、エラーが発生しても処理続行をおこなうことは可能だが、オペレータが介入
してキャリアの異常、装置の異常がないかの確認をおこなうことを基本とする。 エラー発生時の対応運用フローとシナリオを上記の2パターンについて示す。
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
78
図 2-12 キャリアID読込みエラー
コメントオペレータホスト装置AMHS
1
キャリアアンロードの準備をおこなう
キャリア搬入完了
アラーム通知(CarrierID
Read Failure)
キャリアID読込み
キャリアの処理キャンセルを指示する(CancelCarrierAtPort)
キャリアIDが読込めた?
No
(1) キャリアID読込みエラー
イベント通知(CarrierID
Read Failure)
キャリア搬出準備完了通知
(ReadyToUnload)
必要に応じてキャリアまたは、装置のメンテナンスをおこなう。
復旧までに時間がかかりそうな場合には、オペレータの判断により、エラーが発生したロードポートをOutofServiceにする。
なお、ロードポートをOutofServiceにする場合は、復旧時には、ロードポートにはキャリアがない状態にて運用する。ここで復旧時にロードポートにキャリアがあった場合の動作は、装置に依存する。
キャリアID照合へ
Yes
S5F1 Alarm Report Send
S6F11 CarrierID Read Failure
S3F17 CancelCarrierAtPort
S6F11 Ready To Unload
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
79
図 2-13 キャリアIDの不一致
コメントオペレータホスト装置AMHS
1
キャリアID照合失敗通知
(ID VerificationFailed)
キャリア搬入完了
キャリアID読込み通知
(Waiting forHost)
キャリアID読込み
キャリアの処理キャンセルを指示する
(CancelCarrier)
キャリアアンロードの準備をおこなう
キャリアオブジェクト作成
キャリアとロードポートを関連づける(Associated)
(2) キャリアIDの不一致
キャリア搬出準備完了通知(Ready ToUnLoad)
必要に応じてキャリアの確認をおこなう
Yes
キャリアIDが期待していたものと同じか
No
通常処理へ(キャリアのドック)
S6F11 Waiting for Host
S6F11 Ready To Unload
S6F11 ID Verification Failed
S3F17 CancelCarrier
S6F11Associated
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
80
キャリア ID照合失敗 キャリア IDが読み込めない場合と、キャリア IDは読み込めたが、ホスト照合にてエラーとなった場合の2つの場合を示す。
前提条件
項目 条件 コントロールモード オンラインリモート アクセスモード オート ロードポート数 2 製品処理キャリア数 1 Carrier ID HOST照合 搬送機器 AMHS(AGV/RGV/OHT)
搬入完了したキャ
リアの IDを読み込もうとしたが読み
込時にエラーが発
生した。
C1
搬入完了
搬入完了したキャ
リアの IDを読み込めたが、ホスト照合
でエラーが発生し
た。
C1
搬入完了
C1
キャリアID読み込みエラー発生
C1
キャリアIDの不一致発生
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
81
キャリア ID読み込み失敗 (処理続行不可能な場合)
# 運用 # 処理 SF 方 メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ コメント
向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP
PJ
0 初期状態 TB NAS NR No No No No No No No No
(ロードポート1にキャリアC1 (P1) (P1, (P1, State State State State State State State State
搬入完了状態) RTL P2, P2,
(P2, P3) P3)
P3)
1 キャリアID照合 1-1 CarrierID読取り S5F1 H<-E Alarm Report Send
(読み込み失敗アラーム通知) S5F2 H->E Ack
1-2 キャリアID読み取りエラー S6F11 H<-E CarrierID Read Fail
S6F12 H->E Ack
2 処 理 続 行 可
能?
2-1 ホストで処理続行するか判断する
3 処理続行不可
能
3-1 キャリアへの処理キャンセル S3F17 H->E CancelCarrierAtPort
な場合 S3F18 H<-E Ack
3-2 キャリア搬出可能 S6F11 H<-E ReadyToUnload RTU
S6F12 H->E Ack (P1)
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
82
キャリア IDの不一致 # 運用 # 処理 SF 方 メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ コメント
向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP
PJ
0 初期状態 TB NAS NR No No No No No No No No
(ロードポート1にキャリアC1 (P1) (P1, (P1, State State State State State State State State
搬入完了状態) RTL P2, P2,
(P2, P3) P3)
P3)
1 キャリアID照合 1-1 CarrierID読取り S6F11 H<-E Waiting for Host WFH SNR NAC
(キャリアIDは、読み込めた) S6F12 H->E Ack
1-2 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Associated A
S6F12 H->E Ack (P1)
1-3 キャリアへの処理キャンセル S3F17 H->E CancelCarrier IVF
S3F18 H<-E Ack 必要に
1-4 キャリアID照合失敗 S6F11 H<-E ID Verification Failed 応じて
S6F12 H->E Ack キャリアの
2 キャリア搬出 2-1 キャリア搬出可能 S6F11 H<-E ReadyToUnload RTU チェックを
S6F12 H->E Ack (P1) おこなう
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
83
2.1.5.5. ジョブ作成 失敗
エラー発生時の対応運用フローとシナリオを次の5パターンについて示す。
(1) プロセスジョブ作成用の空きエリアが充分にない場合(フローのみ) (2) コントロールジョブ作成用の空きエリアが充分にない場合(フローのみ) (3) ホストから間違ったプロセスジョブ作成が指示された場合 (4) ホストから間違ったコントロールジョブ作成が指示された場合 (5) ホストからコントロールジョブの中に存在しないプロセスジョブ指示された場合 (フロー、シナリオは、(4)、(5)で共通)
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
84
図 2-14 プロセスジョブ作業用の空きエリアが不足していた場合
コメントオペレータホスト装置AMHS
1
PJ作成用の空きエリア確認
作成可能なPJの空きエリアを報告
PJの空きエリアは足りている?
作成済みPJの完了または、キャンセルを待
つ
No
(1) プロセスジョブ作成用の空きエリアが不足していた場合
S16F21 PRGetSpace
S16F22 PRGetSpace Send
PJ、CJの両方の空きエリアがあることを確認してから、PJ、CJの順序でジョブを
作成する。
通常処理と同様となる
Yes
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
85
図 2-15 コントロールジョブ作業用の空きエリアが不足していた場合
コメントオペレータホスト装置AMHS
1
CJ作成用の空きエリア確認
作成可能なCJの空きエリアを報告
CJの空きエリアは足りている?
作成済みCJの削除または、キャンセルを待
つ
No
(2) コントロールジョブ作成用の空きエリアが不足していた場合
S1F3 CJQueueSpace
S1F4CJQueueSpaceResponse
PJ、CJの両方の空きエリアがあることを確認してから、PJ、CJの順序でジョブを
作成する。
通常処理と同様となる
Yes
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
86
図 2-16 ホストから間違ったプロセスジョブ作業が指示された場合 1/3
コメントオペレータホスト装置AMHS
(3) ホストから間違ったプロセスジョブ作成が指示された場合
PJ作成用の空きエリア確認
PJ作成(PRJobMultiCreate)
作成可能なPJの空きエリアを報告
PJ作成失敗
PJの空きエリアは足りている?
Variableパラメータ内容が正しい
?
Yes
No
S16F21 PRGetSpace
S16F22 PRGetSpace Send
CJ作成用の空きエリア確認作成可能なCJの
空きエリアを報告
S1F3 CJQueueSpace
S1F4 CJQueueSpace Response
S16F15 PRJobMultiCreate
S16F16 PRJobCreate Ack
3a
1
PJを作り直す?
2aNo
CJの空きエリアは足りている?
Yes
PJ、CJの両方の空きエリアがあることを確認してから、PJ、CJの順序でジョブを
作成する。
Yes
Variableパラメータ以外の内容が正しい?
YesNo
ジョブ作成時のエラーは、エラーコードによりエラー内容の判断ができること
オペレータ通知
オペレータの判断でPJを作り直すかどうかを決める。
PJ作成用の空きエリアができるのを待つ
No
CJ作成用の空きエリアができるのを待つ
No
通常処理と同様となる
YesS16F16 PRJobCreate Ack
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
87
図 2-17 ホストから間違ったプロセスジョブ作業が指示された場合 2/3
コメントオペレータホスト装置AMHS
(3) ホストから間違ったプロセスジョブ作成が指示された場合2
間違ったPJの修正をおこなう
PJ作成用の空きエリア確認
PJ作成(PRJobMultiCreate)
作成可能なPJの空きエリアを報告
PJの空きエリアは足りている?
Yes
S16F21 PRGetSpace
S16F22 PRGetSpace Send
CJ作成用の空きエリア確認作成可能なCJの
空きエリアを報告
S1F3 CJQueueSpace
S1F4 CJQueueSpace Response
S16F15 PRJobMultiCreate
CJの空きエリアは足りている?
Yes
PJ、CJの両方の空きエリアがあることを確認してから、PJ、CJの順序でジョブを
作成する。
PJ作成
2a
PJの作成を指示する
以下は、通常処理と同様となる
S16F16 PRJobCreate Ack
CJ作成用の空きエリアができるのを待つ
No
PJ作成用の空きエリアができるのを待つ
No
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
88
図 2-18 ホストから間違ったプロセスジョブ作業が指示された場合 3/3
コメントオペレータホスト装置AMHS
(3) ホストから間違ったプロセスジョブ作成が指示された場合
3a
3
キャリアの処理キャンセルを指示する
(CancelCarrier)キャリア払い出し
(Transfer Blocked)
S3F17 CancelCarrier
バッチ内のキャリア数分だけ処理を繰り返す
ロードポートステータスを更新する(Reserved)
S6F11:Transfer Blocked
S6F11:Associated
内部バッファのキャパシティ変更を報告
キャリア搬出可能
S6F11:Material Has Removed
キャリア搬出指示
キャリア搬出
搬出指示
搬出開始報告
搬出完了報告
搬出開始
搬出完了
S6F11:Transfer Blocked
S6F11:Buffer Capacity Change
S6F11:Ready To Unload
キャリアオブジェクトを削除する
ロードポートステータスを変更する
(Not Associated)
キャリア搬入可能を報告する
S6F11:Deleted
S6F11:Not Associated
S6F11:Ready To Load
内部バッファからロードポートへキャリア移動
S6F11:Carrier Location Change
S6F11:Not Reserved
S6F11:Reserved
ロードポートステータスを更新する(Associated)
ロードポート予約解除
キャリアの処理キャンセルを指示する
エラーが発生したバッチのキャリアを全て搬出する
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
89
図 2-19 ホストから間違ったコントロールジョブ作業が指示された場合 1/3
コメントオペレータホスト装置AMHS
1(4) ホストから間違ったコントロールジョブ作成が指示された場合
PJ作成用の空きエリア確認
PJ作成(PRJobMultiCreate)
作成可能なPJの空きエリアを報告
CJ作成(CJCreate)
PJの空きエリアは足りている?
Yes
Yes
Yes
S16F21 PRGetSpace
S16F22 PRGetSpace Send
CJ作成用の空きエリア確認
作成可能なCJの空きエリアを報告
S1F3 CJQueueSpace
S1F4 CJQueueSpace Response
S16F15 PRJobMultiCreate
S16F16 PRJobCreate Ack
CJ作成失敗
メッセージフォーマットが正しい?
No
S14F9 CJCreate
S14F10 CJCreate Ack
CJの空きエリアは足りている?
Yes
CJで指定しているPJがある?
No
3a
CJを再作成する?
2a
No
YesYes
PJ、CJの両方の空きエリアがあることを確認してから、PJ、CJの順序でジョブを
作成する。
キャリアをそのままの状態にしておきCJの再作成をおこなう場合と、作成済みのPJをキャンセルして、キャリアを払い出す場合がある。
Variableパラメータ内容が正しい
?
Variableパラメータ以外の内容が正しい?
Yes
ジョブ作成時のエラーは、エラーコードによりエラー内容の判断ができること
オペレータ通知
No
CJ作成用の空きエリアができるのを待つ
No
CJ作成用の空きエリアができるのを待つ
ホストから間違ったプロセスジョブ作成が指示された場合と同様となる
No
S16F16 PRJobCreate Ack
通常処理と同様となる
NoS14F10 CJCreate Ack
No
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
90
図 2-20 ホストから間違ったコントロールジョブ作業が指示された場合 2/3
コメントオペレータホスト装置AMHS
2(4) ホストから間違ったコントロールジョブ作成が指示された場合
通常処理と同様となる
S1F3 CJQueueSpace
正しいCJを再作成する
CJを再作成する(CJCreate)
CJの空きエリアは足りている?
CJを再作成する
S14F9 CJCreate
S1F4 CJQueueSpace Response
作成可能なCJの空きリアを報告
CJ作成用の空きエリアの確認
既にPJは作成済みだが、PJから再作成するかをオペレータが判断する
CJだけを再作成する
2a
今回作成したPJを削除し、PJ、CJともに再作成する
PJから再作成する?
Yes
PJキャンセル報告
S16F5 PRJobCancel
S6F11 PRJob Complete
今回作成したPJをキャンセルする(PRJobCancel)
通常のPJ、CJ作成処理と同様となる
CJだけを再作成する
正しいCJを再作成する
CJ作成用の空きエリアができるのを待つYes
No
S14F10 CJCreate Ack
No
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
91
図 2-21 ホストから間違ったコントロールジョブ作業が指示された場合 3/3
コメントオペレータホスト装置AMHS
(4) ホストから間違ったコントロールジョブ作成が指示された場合
3a
3
キャリアの処理キャンセルを指示する
(CancelCarrier)キャリア払い出し(Transfer Blocked)
S3F17 CancelCarrier
バッチ内のキャリア数分だけ処理を繰り返す
ロードポートステータスを更新する(Reserved)
S6F11:Transfer Blocked
S6F11:Associated
内部バッファのキャパシティ変更を報告
キャリア搬出可能
S6F11:Material Has Removed
キャリア搬出指示
キャリア搬出
搬出指示
搬出開始報告
搬出完了報告
搬出開始
搬出完了S6F11:Transfer Blocked
S6F11:Buffer Capacity Change
S6F11:Ready To Unload
キャリアオブジェクトを削除する
ロードポートステータスを変更する
(Not Associated)
キャリア搬入可能を報告する
S6F11:Deleted
S6F11:Not Associated
S6F11:Ready To Load
内部バッファからロードポートへキャリア移動
S6F11:Carrier Location Change
S6F11:Not Reserved
PJキャンセル報告(PRJob Complete)
S16F5 PRJobCancel 今回作成したPJをキャンセルする(PRJobCancel)
S6F11 PRJob Complete
S6F11:Reserved
ロードポートステータスを更新する(Associated)
ロードポート予約解除
既に作成済みのPJをキャンセルし、バッチ分のキャリアを全て搬出する
作成済みのPJをキャンセルし、バッチ分のキャリアを全て搬出
する
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
92
ジョブ作成失敗シナリオ 前提条件
項目 条件 コントロールモード オンラインリモート アクセスモード オート ロードポート数 2 製品処理キャリア数 3 プロセス・ジョブ数 1 コントロール・ジョブ数 1 Carrier ID HOST照合 搬送機器 AMHS(AGV/RGV/OHT) バッチ毎のキャリア数 3 内部バッファ数 6 バッチ1(C1~C3) CJ1、PJ1
STL #1 FIMSポート STL #2 リソース
ジョブ作成でエ
ラーが発生した
ら、内部バッファ
へ搬入済みの C1~C3 キャリアを搬出する。 C1
搬入完了
内部バッファ
C2
C3
C1
C3
C2
C1
C3
C2
内部バッファ
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
93
ホストから間違ったフォーマットのプロセスジョブ作成が指示された場合 (PJの再作成をおこなう場合) # 運用 # 処理 SF 方 メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ コメント
向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP
PJ
0 初期状態 RTL NAS NR No IVO SNR NAC No No No No
(内部バッファ内のキャリアC1~C3 (P1, (P1, (P1, State (C1~ (C1~ (C1~ State Stete State State
キャリアID照合完了状態) P2, P2, P2, C3) C3) C3)
レシピ妥当性に問題ないことを P3) P3) P3)
確認済み
1 PJ作成 1-1 PJの空きスペースの確認 S16F21 H->E PRGetSpace
失敗 S16F22 H<-E PRGetSpace Send
1-2 CJの空きスペースの確認 S1F3 H->E CJQueueSpace
S1F4 H<-E CJQueueSpaceResponse
1-3 PJ作成失敗 S16F15 H->E PRJobMultiCreate
S16F16 H<-E PRJob Create Ack
2 PJを再作成す
る
2-1 PJの再作成をおこなうか判断する
か判断する
3a PJの再作成を 3a-1 PJの空きスペースの確認 S16F21 H->E PRGetSpace オペレータをコールし、ジョブ内容の
おこなう場合 S16F22 H<-E PRGetSpace Send 修正をおこなう
3a-2 CJの空きスペースの確認 S1F3 H->E CJQueueSpace
S1F4 H<-E CJQueueSpaceResponse
3a-3 PJ作成 S16F15 H->E PRJobMultiCreate
S16F16 H<-E PRJob Create Ack
3a-4 PJ作成完了 S6F11 H<-E PRJob Pooled PRJob
S6F12 H->E Ack Pooled
以下通常処理と同様となる
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
94
ホストから間違ったフォーマットのプロセスジョブ作成が指示された場合 (PJの再作成をおこなわない場合) # 運用 # 処理 SF 方 メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ コメント
向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP
PJ
3b PJの再作成を 3b-1 キャリアへの処理キャンセル S3F17 H->E CancelCarrier
おこなわない S3F18 H<-E Ack
場合 3b-2 キャリア払出 S6F11 H<-E Transfer Blocked
(内部バッファからロードポート) S6F12 H->E Ack
3b-3 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Associated A(P1)
S6F12 H->E Ack
3b-4 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Reserved R(P1)
S6F12 H->E Ack
3b-5 キャリアロケーション変更通知 S6F11 H<-E CarrierLocationChanged
S6F12 H->E Ack
3b-6 キャリアがロードポートに払出される S6F11 H<-E BufferCapacityChange
S6F12 H->E Ack
3b-7 キャリア搬出可能 S6F11 H<-E ReadyToUnload RTU
S6F12 H->E Ack (P1)
3b-8 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Not Reserved NR
S6F12 H->E Ack (P1)
3b-9 アンロード搬送開始 S6F11 H<-E Transfer Blocked TB
S6F12 H->E Ack (P1)
3b-10 キャリア搬出 S6F11 H<-E MaterialHasRemoved
S6F12 H->E Ack
3b-11 キャリアオブジェクト消滅 S6F11 H<-E Deleted No No No CIDS,
S6F12 H->E Ack State State State CSMS,
3b-12 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Not Associated NAS (C1) (C1) (C1) STPは、
S6F12 H->E Ack (P1) C1から
3b-13 ロードポート搬入可能状態 S6F11 H<-E ReadyToLoad RTL C3まで
S6F12 H->E Ack (P1) 繰返す
バッチ内のキャリア数分3b-1~3b-13を
繰返す
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
95
ホストから間違ったフォーマットのコントロールジョブ作成が指示されたまたは、コントロールジョブで指示されたプロセスジョブが存在しない場合
(CJだけの再作成をおこなう場合) # 運用 # 処理 SF 方 メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ コメント
向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP
PJ
0 初期状態 RTL NAS NR No IVO SVO NAC No No No No
(内部バッファ内のキャリアC1~C3 (P1, (P1, (P1, State (C1~ (C1~ (C1~ State Stete State State
キャリアID照合完了状態) P2, P2, P2, C3) C3) C3)
レシピ妥当性に問題ないことを P3) P3) P3)
確認済み
1 PJ作成 1-1 PJの空きスペースの確認 S16F21 H->E PRGetSpace
失敗 S16F22 H<-E PRGetSpace Send
1-2 CJの空きスペースの確認 S1F3 H->E CJQueueSpace
S1F4 H<-E CJQueueSpaceResponse
1-3 PJ作成失敗 S16F15 H->E PRJobMultiCreate
S16F16 H<-E PRJob Create Ack
1-4 PJ生成完了 S3F17 H->E PR Job Pooled PRJob
S3F18 H<-E Ack Pooled
1-5 CJ生成失敗 S14F9 H->E CJCreate
S14F10 H<-E Ack
2 CJを再作成 2-1 CJの再作成をおこなうか判断する
するか判断する オペレータをコールし、ジョブ内容の
3a CJの再作成を 3a-1 CJの空きスペースの確認 S1F3 H->E CJQueueSpace 修正をおこなう
おこなう場合 S1F4 H<-E CJQueueSpaceResponse
3a-2 CJ生成 S14F9 H->E CJCreate
S14F10 H<-E Ack
3a-3 CJ生成完了 S6F11 H<-E Queued Queued
S6F12 H->E Ack
以下通常の処理と同様となる
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
96
ホストから間違ったフォーマットのコントロールジョブ作成が指示されたまたは、コントロールジョブで指示されたプロセスジョブが存在しない場合
(PJ、CJともに再作成をおこなう場合) # 運用 # 処理 SF 方 メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ コメント
向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP
PJ
3b PJのキャンセル 3b-1 PJキャンセル S16F5 H->E PR Job Cancel
S16F6 H<-E Ack
3b-2 PJキャンセル報告 S6F11 H<-E PR Job Complete PRJob
S6F12 H->E Ack Canceled
4b 通常のPJ、CJ 以下通常のPJ、CJ作成の処理と ↓
作成処理 同様となる No State
ホストから間違ったフォーマットのコントロールジョブ作成が指示されたまたは、コントロールジョブで指示されたプロセスジョブが存在しない場合
(CJの再作成をおこなわない場合) # 運用 # 処理 SF 方 メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ コメント
向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP
PJ
3c CJの再作成を 3c-1 PJキャンセル S16F5 H->E PR Job Cancel
おこなわない S16F6 H<-E Ack
場合 3c-2 PJキャンセル報告 S6F11 H<-E PR Job Complete Process
S6F12 H->E Ack Job
3c-3 キャリアへの処理キャンセル S3F17 H->E CancelCarrier Canceled
S3F18 H<-E Ack ↓
4c キャリア搬出 4c-1 キャリア払出 S6F11 H<-E Transfer Blocked TB NoState
(内部バッファからロードポート) S6F12 H->E Ack (P1)
4c-2 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Associated A(P1)
S6F12 H->E Ack
4c-3 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Reserved R(P1)
S6F12 H->E Ack
4c-4 キャリアロケーション変更通知 S6F11 H<-E CarrierLocationChanged
S6F12 H->E Ack
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
97
# 運用 # 処理 SF 方 メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ コメント
向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP
PJ
4c-5 キャリアがロードポートに払出される S6F11 H<-E BufferCapacityChange
S6F12 H->E Ack
4c-6 キャリア搬出可能 S6F11 H<-E ReadyToUnload RTU
S6F12 H->E Ack (P1)
4c-7 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Not Reserved NR
S6F12 H->E Ack (P1)
4c-8 アンロード搬送開始 S6F11 H<-E Transfer Blocked TB
S6F12 H->E Ack (P1)
4c-9 キャリア搬出 S6F11 H<-E MaterialHasRemoved
S6F12 H->E Ack CIDS,
4c-10 キャリアオブジェクト消滅 S6F11 H<-E Deleted No No No CSMS,
S6F12 H->E Ack State State State CAS、
4c-11 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Not Associated NAS (C1) (C1) (C1) C1から
S6F12 H->E Ack (P1) C3まで
4c-12 ロードポート搬入可能状態 S6F11 H<-E ReadyToLoad RTL 繰返す
S6F12 H->E Ack (P1)
バッチ内のキャリア数分3c-3~4c-12を
繰返す
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
98
2.1.5.6. (アン)クランピング/(アン)ドッキング 失敗 (アン)クランプ/(アン)ドッキングは、どの処理とも論理的なものではなく、固定する/開
放するという物理的な動作を伴う。従ってどの場合の失敗でもオペレータが介入し、どのように
対応するかの判断をおこなう。 エラー発生時の対応運用フローとシナリオを次のパターンについて示す。
(1) デリバリポジションでクランピングに失敗した場合 (2) ドックドポジションでドッキングに失敗した場合 (3) ドックドポジションでアンドッキングに失敗した場合 (4) デリバリポジションでアンクランピングに失敗した場合
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
99
図 2-22 クランピング失敗
コメントオペレータホスト装置AMHS
(1) クランピング失敗
キャリアを持って来る
アラーム通知(Clamp Failure)
デリバリポジションでキャリアをクランプする
キャリアをクランプできた?
No
キャリア IDの読込みはクランプ完了後におこなう
キャリアハンドオフパラレル I/Oインタフェース正常終了
キャリアを移載完了し移動する
PIO
S5F1 Alarm Report Send
1
クランプ時にエラーが発生した場合には、アラームを上げること。なお、アラームを上げる前に装置側で内部的にリトライ処理をおこなうこと
オペレータをコールし、チェック及びメンテナンスをおこなう。なお、メンテナンスをおこなう場合には、オペレータが判断し、必要な場合には、ロードポートをOutofServiceにする
なお、ロードポートをOutofServiceにする場合は、復旧時には、ロードポートにはキャリアがない状態にて運用する。ここで復旧時にロードポートにキャリアがあった場合の動作は、装置に依存する。
キャリアまたは、クランプ機構をメンテナン
スする
キャリア、クランプ機構をチェックする
通常処理と同様となる
Yes
オペレータ通知
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
100
図 2-23 ドッキング失敗
コメントオペレータホスト装置AMHS
(2) ドッキング失敗
アラーム通知(Dock Failure)
アラーム受信
キャリアをドッキングできた?
No
FIMSポートでキャリアをドックする
CJ:ExecutingPJ:Setup状態
キャリアロケーション変更報告
内部バッファからFIMSポートへのキャリア移動
1
S6F11 Carrier Location Change
S5F1 Alarm Report Send
ドック時にエラーが発生した場合には、アラームを上げること。なお、アラームを上げる前に装置側で内部的にリトライ処理をおこなうこと
オペレータをコールし、チェック及びメンテナンスをおこなう。なお、メンテナンスをおこなう場合には、オペレータが判断し、必要な場合には、ロードポートをOutofServiceにする
なお、ロードポートをOutofServiceにする場合は、復旧時には、ロードポートにはキャリアがない状態にて運用する。ここで復旧時にロードポートにキャリアがあった場合の動作は、装置に依存する。
CJをStopするCJをStopする
S6F11 Stopped
S6F11 PRJob Complete
キャリア、ドック機構をチェックする
キャリアまたは、ドック機構のメンテナンス
をおこなう
エラーが発生したキャリアに対しての
CJ,PJを止める(PJはCJを止めることにより止まる)
S6F11 PRJob Stopping
S16F27 CJStop
PJ終了中報告
PJ終了報告
CJ終了報告
通常処理と同様となる
Yes
オペレータ通知
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
101
図 2-24 アンドッキング失敗
コメントオペレータホスト装置AMHS
(3) アンドッキング失敗
アラーム通知(Undock Failure)
キャリアをアンドッキングできた?
No
キャリア内のウェハへの処理が全て終了しFOUPが閉じられている
キャリアをアンドックする
1
アラーム受信
S5F1 Alarm Report Send
アンドック時にエラーが発生した場合には、アラームを上げること。なお、アラームを上げる前に装置側で内部的にリトライ処理をおこなうこと
オペレータをコールし、チェック及びメンテナンスをおこなう。なお、メンテナンスをおこなう場合には、オペレータが判断し、必要な場合には、ロードポートをOutofServuceにする
なお、ロードポートをOutofServiceにする場合は、復旧時には、ロードポートにはキャリアがない状態にて運用する。ここで復旧時にロードポートにキャリアがあった場合の動作は、装置に依存する。
CJをStopするCJをStopする
キャリア、アンドック機構をチェックする
キャリアまたは、アンドック機構のメンテナンスをおこなう
エラーが発生したキャリアに対しての
CJ,PJを止める(PJはCJを止めることにより止まる)S16F27 CJStop
S6F11 Stopped
S6F11 PRJob Complete
S6F11 PRJob StoppingPJ終了中報告
PJ終了報告
CJ終了報告
通常の処理と同様となる
Yes
オペレータ通知
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
102
図 2-25 アンクランピング失敗
コメントオペレータホスト装置AMHS
(4) アンクランピング失敗1
搬出処理開始
アラーム通知(Unclamp Failure)
AMHSのPIO開始にて
アンクランピングを開始する
アンクランピング成功?
No
PIO
S5F1 Alarm Report Send
通常処理と同様となる
キャリア、アンクランプ機構をチェックする
キャリア、アンクランプ機構のメンテナンスをおこなう
アンクランプ時にエラーが発生した場合には、アラームを上げること。なお、アラームを上げる前に装置側で内部的にリトライ処理をおこなうこと
オペレータをコールし、チェック及びメンテナンスをおこなう。なお、メンテナンスをおこなう場合には、オペレータが判断し、必要な場合には、ロードポートをOutofServiceにする
なお、ロードポートをOutofServiceにする場合は、復旧時には、ロードポートにはキャリアがない状態にて運用する。ここで復旧時にロードポートにキャリアがあった場合の動作は、装置に依存する。
Yes
オペレータ通知
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
103
クランピング失敗
前提条件
項目 条件 コントロールモード オンラインリモート アクセスモード オート ロードポート数 2 製品処理キャリア数 3 コントロールジョブ数 1 プロセスジョブ数 1 コントロールジョブ、プロセスジョブの作成とキャリア配送
配送後
Carrier ID/スロットマップ照合 HOST照合 搬送機器 AMHS(AGV/RGV/OHT)
搬入完了したキャ
リアのクランプ時
にエラーが発生し
た。
C1
搬入完了
C1
クランプ時にエラー発生
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
104
クランプに失敗した場合
# 運用 # 処理 SF 方 メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ コメント
向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP
PJ
0 初期状態 TB NAS NR No No No No No No No No
(ロードポート1のキャリアC1 (P1) (P1, (P1, State State State State State State State State
搬入完了状態) RTL P2, P2,
(P2, P3) P3)
P3)
1 クランプ失敗 1-1 Carrierクランピング失敗 S5F1 H<-E Alarm Report Send
(クランピング失敗アラーム通知) S5F2 H->E Ack
2 メンテナンス 2-1 キャリアまたは、クランプ機構の
操作 メンテナンスをおこなう
(オペレータが判断し、必要に応じて
ロードポートをOutofServiceにする)
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
105
ドッキング失敗
前提条件 項目 条件
コントロールモード オンラインリモート アクセスモード オート ロードポート数 2 製品処理キャリア数 3 コントロールジョブ数 1 プロセスジョブ数 1 コントロールジョブ、プロセスジョブの作成とキャリア配送
配送後
Carrier ID/スロットマップ照合 HOST照合 搬送機器 AMHS(AGV/RGV/OHT)
ProcessModule
ドッキング時にエラー発生
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
106
ドッキングに失敗した場合
# 運用 # 処理 SF 方 メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ コメント
向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP
PJ
0 初期状態 RTL NAS NR No IVO SNR NAS No No Executing SettingUp
(内部バッファ内のキャリアC1~C3 (P1, (P1, (P1, State (C1~ (C1~ (C1~ State State
キャリアID照合完了状態) P2, P2, P2, C3) C3) C3) (C1~ (C1~
P3) P3) P3) C3) C3)
1 ドック失敗 1-1 Carrierドック失敗 S5F1 H<-E Alarm Report Send
(ドッキング失敗アラーム通知) S5F2 H->E Ack
2 ジョブのストップ 2-1 CJをストップする S16F27 H->E CJStop
S16F28 H<-E Ack
2-2 PJストップ処理中報告 S6F11 H<-E PRJob Stopping
S6F12 H->E Ack
2-3 PJストップ報告 S6F11 H<-E PRJob Complete PJC
S6F12 H->E Ack ↓
2-4 CJストップ報告 S6F11 H<-E Stopped Completed No
S6F12 H->E Ack State
3 メンテナンス 3-1 キャリアまたは、ドッキング機構の
操作 メンテナンスをおこなう
(オペレータが判断し、必要に応じて
ロードポートをOutofServiceにする)
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
107
アンドッキング失敗
前提条件 項目 条件
コントロールモード オンラインリモート アクセスモード オート ロードポート数 2 製品処理キャリア数 3 コントロールジョブ数 1 プロセスジョブ数 1 コントロールジョブ、プロセスジョブの作成とキャリア配送
配送後
Carrier ID/スロットマップ照合 HOST照合 搬送機器 AMHS(AGV/RGV/OHT)
ProcessModule
アンドッキング時にエラー発生
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
108
アンドッキングに失敗した時でオペレータが介入し、処理続行可能かを判断する場合
# 運用 # 処理 SF 方 メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ コメント
向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP
PJ
0 初期状態 RTL NAS NR OC IVO SVO CC AD PC Executing Process
(ボート内のウエハへの処理が全て (P1, (P1, (P1, (#1,#2) (C1, (C1, (C1, (C1, (C1, Complete
終了し、1キャリア目のウエハは、内部 P2, P2, P2, C2, C2 C2) C2) C2,
バッファに戻っている。2キャリア目に P3) P3) P3) C3) C3) INA AW C3)
ウエハが全て戻り、FOUPが閉じられて (C3) (C3)
いる。)
1 アンドック失敗 1-1 Carrierアンドック失敗 S5F1 H<-E Alarm Report Send
(アンドッキング失敗アラーム通知) S5F2 H->E Ack
2 ジョブのストップ 2-1 CJをストップする S16F27 H->E CJStop
S16F28 H<-E Ack
2-2 PJストップ処理中報告 S6F11 H<-E PRJob Stopping
S6F12 H->E Ack
2-3 PJストップ報告 S6F11 H<-E PRJob Complete PJC
S6F12 H->E Ack ↓
2-4 CJストップ報告 S6F11 H<-E Stopped Completed No
S6F12 H->E Ack State
3 メンテナンス 3-1 キャリアまたは、ドッキング機構の
操作 メンテナンスをおこなう
(オペレータが判断し、必要に応じて
ロードポートをOutofServiceにする)
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
109
アンクランピング失敗
前提条件 項目 条件
コントロールモード オンラインリモート アクセスモード オート ロードポート数 2 製品処理キャリア数 3 コントロールジョブ数 1 プロセスジョブ数 1 コントロールジョブ、プロセスジョブの作成とキャリア配送
配送後
Carrier ID/スロットマップ照合 HOST照合 搬送機器 AMHS(AGV/RGV/OHT)
デリバリポジショ
ンでのアンクラン
プ時にエラーが発
生した。
C1
デリバリポジションへの完了
C1
アンクランプ時にエラー発生
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
110
アンクランピングに失敗した時で、オペレータ介入にて処理可能か判断する場合
# 運用 # 処理 SF 方 メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ コメント
向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP
PJ
0 初期状態 TB A NR No IVO SVO CC AD PC NoState NoState
(ウエハへの処理が全て終了し、 (P1) (P1) (P1, State (C2, (C2, (C2, (C2, (C2,
処理終了したウエハは、内部バッファ内 RTL NAS P2, C3) C3) C3) C3) C3)
のキャリアに戻っている。1キャリア目 P2, (P2, P3)
は、搬出済み。2キャリア目の P3) P3)
アンクランピングでエラー発生)
1 アンクランプ 1-1 Carrierアンクランピング失敗 S5F1 H<-E Alarm Report Send
失敗 (アンクランピング失敗アラーム通知) S5F2 H->E Ack
2 メンテナンス 2-1 キャリアまたは、アンクランプ機構の
操作 メンテナンスをおこなう
(オペレータが判断し、必要に応じて
ロードポートをOutofServiceにする)
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
111
2.1.6. NPW運用シナリオ
代表的な NPW の運用モデルを使用する際に想定されるシナリオを示す。代表的な
NPWの種別については 製造装置オンライン要求仕様書 2.2.2.2. 代表的な NPW運用
モデルを参照のこと。
2.1.6.1. NPW 運用シナリオ一覧
NPWを使用した次のケースのシナリオを示す。 次のセクションではこれらについての運用フローの詳細とシナリオを示す。
NPW使用目的 詳細条件
Filler(定常) 条件指定を装置定数にておこなう
Filler(非定常) 条件指定を装置定数にておこなう
Monitor ジョブにて条件指定をおこなう
なお、NPW回収用の空キャリアを製品キャリアとは別に用
意する。
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
112
2.1.6.2. Filler(定常)NPW 運用シナリオ
内部バッファ装置に用いる Filler(定常)は、プロセス処理室内における製品品質の均一化のために、品質のばらつきが大きくなる可能性のあるプロセス処理室内の上部/下部をうめるた
めに使用される。 以下のシナリオを実現するため、装置は下記要求機能を満足しなければならない。 1) 累積使用回数をウェーハオブジェクトの属性として用意すること。 2) 装置定数に以下の情報を用意すること。
上(左)側 Filler(定常)ウェーハ使用枚数 下(右)側 Filler(定常)ウェーハ使用枚数 累積使用回数基準値:NPWの交換を推奨する累積使用回数 累積使用回数上限値:NPWの使用限界を示す累積使用回数
3) Filler(定常)用NPWキャリアのアクセスステータスを変更可能なリモートコマンドを用意すること。
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
113
図 2-26 Filler(定常) 運用フロー (1)
コメントオペレータホスト装置AMHS
1
Filler(定常型)
定常型のFillerを搬入する前に、あらかじめ装置定数にて次の項目を設定する。1.上(左)側使用枚数2.下(右)側使用枚数3.累積使用回数基準値4.累積使用回数上限値
ジョブは、Filler(定常)以外についての処理条件を設定する。
製品キャリアとは別に、キャリアUsageがFiller(定常)のキャリアを前もって搬入し、キャリアID照合、スロットマップ照合をおこなったうえで、内部バッファで保管しておく
2a
装置定数設定
Filler(定常)キャリア搬入処理
Filler(定常)キャリアID照合処理
Filler(定常)キャリア内部バッファ保管処理
製品キャリア搬入処理
製品キャリアID照合処理
製品キャリア内部バッファ保管処理
レシピの確認
PJ作成、CJ作成
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
114
図 2-27 Filler(定常) 運用フロー (2)
コメントオペレータホスト装置AMHS
2
Filler(定常型)
Filler(定常)が必要な枚数だけウェーハを持って来る。1つのキャリアだけでは足りない場合には、処理を複数回繰り返す
Filler(定常)の場所にウェーハが入っている?
No
Yes
2a
FOUPを空け、スロットマップ照合をおこなう
3a
ジョブを開始する
Filler(定常)用のキャリアを内部バッファからFIMSポートへ移動させる
スロットマップ照合OK
ウェーハを処理位置へ移動する
FOUPを閉じ、キャリアを内部バッファへ
移動する
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
115
図 2-28 Filler(定常) 運用フロー (3)
コメントオペレータホスト装置AMHS
3
Filler(定常型)
3a
製品バッチ数のキャリアを全て、処理位置へ移動する。バッチ数分だけ、キャリアの処理を繰り返す。
搬入元が同じキャリアの各ウェーハが累積使用回数上限値を超えたか?
Yes
4b
Filler(定常)のウェーハ毎に使用回数履歴を管理すること
Filler(定常)のウェーハは、偏った使用をしないこと。
搬入元が同じキャリアの各ウェーハが累積使用回数基準値を超えたか?
Yes
No
4a
Filler(定常)キャリア内の全ウェーハが累積使用回数上限値となった場合には、そのウェーハをキャリアへ払い出すこと。
Filler(定常)キャリア内の全ウェーハが累積使用回数基準値となった場合には、そのキャリアに対するApproachingComplteイベントを上げること。
4d
No
製品用キャリアのスロットマップ照合
処理中
処理完了
Filler(定常)ウェーハ毎の使用回数履歴を更新
する
Filler(定常)用ウェーハをキャリアへ払出す
Filler(定常)用ウェーハを払出す
アプローチングコンプリートイベント通知 Filler(定常)用ウェーハ
を払出すか決める
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
116
図 2-29 Filler(定常) 運用フロー (4)
コメントオペレータホスト装置AMHS
4Filler(定常型)
4a
Filler(定常)を払出す?
Yes
5b
No
4b4d 払出すFiller(定常)用キャリ
アが複数ある場合は、払出すキャリア数分だけ、処理を繰り返す。
Filler(定常)用キャリアが複数ある場合は、払出すキャリア数分だけ、処理を繰り返す。
S2F41 CarrierStatusChangeにてそのキャリアへの処理を終了すること。
4c
4d
5a
Filler(定常)キャリアを払出すか判断する時に、ホストは、次回処理でもFiller(定常)ウェーハが足りるかをこ考慮する。
Filler(定常)用キャリアを払出す
キャリア払出し指示受信
Filler(定常)用のキャリアを内部バッファからFIMSポートへ移動さ
せる
Filler(定常)用ウェーハを処理位置からFOUPへ移動する
FOUPを閉じ、キャリアを内部バッファへ移動する
Filler(定常)用キャリア搬出処理
製品キャリア内部バッファ保管処理
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
117
図 2-30 Filler(定常) 運用フロー (5)
コメントオペレータホスト装置AMHS
5Filler(定常型)
5a
通常の製品キャリアの搬入と同様となる。
キャリア搬入可能通知
製品キャリアは、バッチ数分だけ搬出する
5b
Filler(定常)キャリア搬出済み?
Yes
次の製品キャリアの搬入可能状態となる。
Filler(定常)キャリア払出通知
製品キャリア搬出処理
Filler(定常)用キャリア搬出処理
Filler(定常)用キャリア搬入処理
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
119
Filler(定常) 前提条件
項目 条件 コントロールモード オンラインリモート アクセスモード オート 処理キャリア数 4キャリア コントロールジョブ数 1コントロールジョブ プロセスジョブ数 1プロセスジョブ コントロールジョブ、プロセスジョブの作成とキャリア配送 配送後 Carrier ID/Slot Map照合 ホスト照合 搬送機器 AMHS(AGV/RGV/OHT) Filler(定常)への条件指定 装置定数
製品キャリア C1~C4、 Filler(定常)キャリア C5、 Filler(非定常)キャリア C6 がある。
C1
製品キャリアC1~C4
Filler(定常)キャリアC5
内部バッファ
C2
C3
C4
C5
C6
Filler(非定常)キャリア
C6
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
120
# 運用 # 処理 SF 方 メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ コメント
向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP
PJ
0 初期状態 RTL NA NR UOC No No No No No No No
(#1,#2) State State State State State State State
1 装置定数設定 1-1 装置定数設定 S2F15 H->E Equipment Constant Send
S2F16 H->E Ack
2 Filler(定常) 2-1 ロード開始 S6F11 H<-E TransferBlocked TB
キャリア搬入 S6F12 H->E Ack
移載 2-2 ロード終了 S6F11 H<-E MaterialHasArrived
S6F12 H->E Ack
3 Filler(定常) 3-1 CarrierID読取り S6F11 H<-E Waiting for Host WFH SNR NA
キャリアID照合 S6F12 H->E Ack
3-2 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Associated A
S6F12 H->E Ack
3-3 CarrierID照合OK S3F17 H->E ProceedWithCarrier
S3F18 H<-E Ack
3-4 CarrierID照合完了 S6F11 H<-E ID Verification OK IVO
S6F12 H->E Ack
4 Filler(定常) 4-1 バッファキャパシティ変更報告 S6F11 H<-E BufferCapacityChange
内部バッファ S6F12 H->E Ack
保管 4-2 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E CarrierLocationChanged
S6F12 H->E Ack
4-3 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Not Associated NA
S6F12 H->E Ack
4-4 ロードポート搬入可能状態 S6F11 H<-E ReadyToLoad RTL
S6F12 H->E Ack
5 製品キャリア 5-1 ロード開始 S6F11 H<-E TransferBlocked TB
搬入移載 S6F12 H->E Ack
5-2 ロード終了 S6F11 H<-E MaterialHasArrived
S6F12 H->E Ack
6 製品キャリアID 6-1 CarrierID読取り S6F11 H<-E Waiting for Host
照合 S6F12 H->E Ack
6-2 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Associated A
S6F12 H->E Ack
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
121
# 運用 # 処理 SF 方 メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ コメント
向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP
PJ
6-3 CarrierID照合OK S3F17 H->E ProceedWithCarrier WFH SNR NA
S3F18 H<-E Ack
6-4 CarrierID照合完了 S6F11 H<-E ID Verification OK IVO
S6F12 H->E Ack
7 内部バッファ 7-1 バッファキャパシティ変更報告 S6F11 H<-E BufferCapacityChange
保管 S6F12 H->E Ack
7-2 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E CarrierLocationChanged
S6F12 H->E Ack
7-3 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Not Associated NA
S6F12 H->E Ack
7-4 ロードポート搬入可能状態 S6F11 H<-E ReadyToLoad RTL
S6F12 H->E Ack
1バッチ分のキャリア全てが搬入されるまで5-1~7-4が繰返される
8 レシピの確認 8-1 レシピリスト確認 S7F19 H->E Current EPPD Request
S7F20 H<-E Ack
8-2 LOAD問合せ S7F1 H->E Process Program Load Inquire
(装置にレシピがない場合) S7F2 H<-E Ack
8-3 プロセスプログラム送信 S7F23 H->E Process Program Send
S7F24 H<-E Ack
8-4 レシピ妥当性送信 S7F27 H<-E Process Program Verification Send
S7F28 H->E Ack
9 PJ作成 9-1 PJの空きスペースの確認 S16F21 H->E PRGetSpace
CJ作成 S16F22 H<-E Ack
CJ、PJ実行 9-2 CJの空きスペースの確認 S1F3 H->E CJQueueSpace
S1F4 H<-E CJQueueSpaceResponse
9-3 PJ生成 S16F15 H->E PRJobMultiCreate
S16F16 H<-E PR Job Create Ack
9-4 PJ生成完了 S6F11 H<-E PR Job Pooled PRJob S6F12 H->E Ack Pooled 9-5 CJ生成 S14F9 H->E CJCreate S14F10 H<-E Ack
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
122
# 運用 # 処理 SF 方 メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ コメント
向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP
PJ
9-6 CJ生成完了 S6F11 H<-E Queued Queued S6F12 H->E Ack 9-7 CJ選択報告 S6F11 H<-E Selected Selected S6F12 H->E Ack 9-8 CJ実行報告 S6F11 H<-E Execution began Executing S6F12 H->E Ack PJ開始準備 S6F11 H<-E PRJob Setup SettingUp
9-9
S6F12 H->E Ack Filler(定常)用ウェーハが必要か装置が判断する 必要な場合は、No.10,11の処理をおこなう。 不要な場合は、No.12の処理へ 10 Filler(定常)用 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E CarrierLocationChanged
ウェーハが必要
10-1
(内部バッファからFIMSポートへ) S6F12 H->E Ack
な場合 FOUP Open S6F11 H<-E Carrier Opened (Filler(定常)の
10-2
S6F12 H->E Ack
スロットマップ スロットマップ読込み完了 S6F11 H<-E Wairing for Host 照合)
10-3
S6F12 H->E Ack
10-4 ウエハオブジェクト作成 S6F11 H<-E Substrate At Source AS NP S6F12 H->E Ack 10-5 サブストレート取得 S6F11 H<-E Substrate Occupied OC S6F12 H->E Ack (#1) 10-6 スロットマップ照合OK S3F17 H->E Proceed With Carrier S3F18 H<-E Ack 10-7 スロットマップ照合完了 S6F11 H<-E SlotMap Verification OK SVO S6F12 H->E Ack
11 Filler(定常) 11-1 キャリア処理中 S6F11 H<-E Carrier In Access IA
キャリア処理中 S6F12 H->E Ack
11-2 ウエハ移動 S6F11 H<-E Substrate Location Unoccupied UOC
(ウエハがキャリアから取られた) S6F12 H->E Ack (#1)
11-3 ウエハ移動 S6F11 H<-E Substrate At Work AW
(キャリアからボートへ) S6F12 H->E Ack
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
123
# 運用 # 処理 SF 方 メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ コメント
向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP
PJ
11-4 ウエハ移動 S6F11 H<-E Substrate Location Occupied OC
(ウエハがボート移動した) S6F12 H->E Ack (#2)
キャリア内の必要ウエハ枚数分112~11-4を繰返す
11-5 FOUP Close S6F11 H<-E Carrier Closed
S6F12 H->E Ack
11-6 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E CarrierLocationChanged
(FIMSポートから内部バッファへ) S6F12 H->E Ack
12 製品キャリア 12-1 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E CarrierLocationChanged スロットマップ (内部バッファからFIMSポートへ) S6F12 H->E Ack 照合 12-2 FOUP Open S6F11 H<-E Carrier Opened S6F12 H->E Ack 12-3 スロットマップ読込み完了 S6F11 H<-E Wairing for Host WFH S6F12 H->E Ack 12-4 ウエハオブジェクト作成 S6F11 H<-E Substrate At Source AS NP S6F12 H->E Ack 12-5 サブストレート取得 S6F11 H<-E Substrate Occupied OC S6F12 H->E Ack (#1) 12-6 スロットマップ照合OK S3F17 H->E Proceed With Carrier S3F18 H<-E Ack 12-7 スロットマップ照合完了 S6F11 H<-E SlotMap Verification OK SVO S6F12 H->E Ack
13 製品キャリア 13-1 キャリア処理中 S6F11 H<-E Carrier In Access IA
処理中 S6F12 H->E Ack
13-2 ウエハ移動 S6F11 H<-E Substrate Location Unoccupied UOC
(ウエハがキャリアから取られた) S6F12 H->E Ack (#1)
13-3 ウエハ移動 S6F11 H<-E Substrate At Work AW
(キャリアからボートへ) S6F12 H->E Ack
13-4 ウエハ移動 S6F11 H<-E Substrate Location Occupied OC
(ウエハがボート移動した) S6F12 H->E Ack (#2)
キャリア内のウエハ枚数分13-2~13-4を繰返す
13-5 FOUP Close S6F11 H<-E Carrier Closed
S6F12 H->E Ack
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
124
# 運用 # 処理 SF 方 メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ コメント
向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP
PJ
13-6 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E CarrierLocationChanged
(FIMSポートから内部バッファへ) S6F12 H->E Ack
バッチ数分12-1~13-6を繰返す
13-7 Boat Load開始 S6F11 H<-E PRJob Processing Processing
(PJ開始報告) S6F12 H->E PRJob Processing Ack
13-8 ウエハ実処理開始 S6F11 H<-E Substrate InProcess INP
S6F12 H->E Ack
14 処理終了 14-1 ウエハ実処理完了 S6F11 H<-E Substrate Processing Complete PRC
S6F12 H->E Ack
14-2 アプローチングイベント報告 S6F11 H<-E Approching Complete
S6F12 H->E Ack
14-3 Boat Unload完了 S6F11 H<-E PJ Processing Complete Process
(PJプロセス終了報告) S6F12 H->E Ack Complete
Filler(定常)ウェーハの使用履歴を更新する
15 製品処理終了で No.17の処理へ
Filler(定常)
ウェーハの累積
使用回数上限
値
を超えた場合
(キャリア内の
全ウェーハ)
16 製品処理終了で アプローチングイベント報告 S6F11 H<-E Approching Complete
Filler(定常)
16-1
S6F12 H->E Ack
ウェーハの累積 新しいFiller(定常)キャリアを使用するか判断する。
使用回数基準
値
新しいFiller(定常)キャリアを使用する場合は、No.17の処理へ
を超えた場合 新しいFiller(定常)キャリアを使用しない場合は、Np.18の処理へ
(キャリア内の 16-2 キャリアステータス変更要求 S2F41 H->E CarrierComplete
全ウェーハ) S2F42 H<-E Ack
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
125
# 運用 # 処理 SF 方 メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ コメント
向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP
PJ
製品処理終了で No.18の処理へ
Filler(定常)
ウェーハの累積
使用回数基準
値
を超えなかった
場合(キャリア内
の全ウェーハ)
17 Filler(定常) 17-1 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier Location Changed
キャリア (内部バッファからFIMSポートへ) S6F12 H->E Ack
内部バッファ 17-2 FOUP Open S6F11 H<-E Carrier Opened
保管 S6F12 H->E Ack
17-3 ウエハ移動 S6F11 H<-E Substrate Location Unoccuppied UOC
(ウエハがボートから取られた) S6F12 H->E Ack (#2)
17-4 ウエハ移動 S6F11 H<-E Substrate At Distination AD
(ボートからキャリアへ) S6F12 H->E Ack
17-5 ウエハ移動 S6F11 H<-E Substrate Location Occuppied OC
(ウエハがキャリアへ移動した) S6F12 H->E Ack (#1)
キャリア内のウエハ枚数分17-3~17-5を繰返す
17-6 FOUP Close S6F11 H<-E Carrier Closed
S6F12 H->E Ack
17-7 キャリア処理完了 S6F11 H<-E Carrier Complete CC
S6F12 H->E Ack
17-8 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E CarrierLocationChanged
(FIMSポートから内部バッファへ) S6F12 H->E Ack
18 製品キャリア 18-1 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier Location Changed
内部バッファ (内部バッファからFIMSポートへ) S6F12 H->E Ack
保管 18-2 FOUP Open S6F11 H<-E Carrier Opened
S6F12 H->E Ack
18-3 ウエハ移動 S6F11 H<-E Substrate Location Unoccuppied UOC
(ウエハがボートから取られた) S6F12 H->E Ack (#2)
18-4 ウエハ移動 S6F11 H<-E Substrate At Destination AD
(ボートからキャリアへ) S6F12 H->E Ack
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
126
# 運用 # 処理 SF 方 メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ コメント
向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP
PJ
18-5 ウエハ移動 S6F11 H<-E Substrate Location Occuppied OC
(ウエハがキャリアへ移動した) S6F12 H->E Ack (#1)
キャリア内のウエハ枚数分18-3~18-5を繰返す
18-6 PJ完了報告 S6F11 H<-E PRJob Complete PRJob
S6F12 H->E Ack Complete
↓
No
State
18-7 CJ完了報告 S6F11 H<-E Complete Complete
S6F12 H->E Ack
18-8 CJ削除 S14F11 H->E Delete Request
S14F12 H<-E Ack
18-9 CJ削除報告 S6F11 H<-E Deleted No
S6F12 H->E Ack State
18-6~18-9は、バッチの最後のキャリアの処理終了時のみ
18-10 FOUP Close S6F11 H<-E Carrier Closed
S6F12 H->E Ack
18-11 キャリア処理完了 S6F11 H<-E Carrier Complete CC
S6F12 H->E Ack
18-12 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E CarrierLocationChanged
(FIMSポートから内部バッファへ) S6F12 H->E Ack
バッチ数分18-1~18-12を繰返す
19 Filler(定常) 19-1 キャリア払出指示 S3F17 H->E CarrierOut
キャリアの搬出 S3F18 H<-E Ack
が必要な場合 19-2 キャリア払出 S6F11 H<-E TransferBlocked TB
No.17のFiller(定 (内部バッファ→ロードポート) S6F12 H->E Ack
常)キャリアの保 19-3 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Associated A
管処理をおこな S6F12 H->E Ack
った場合 19-4 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Reserved R
S6F12 H->E Ack
19-5 キャリアロケーション変更通知 S6F11 H<-E CarrierLocationChanged
S6F12 H->E Ack
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
127
# 運用 # 処理 SF 方 メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ コメント
向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP
PJ
19-6 キャリアがロードポートに払出される S6F11 H<-E BufferCapacityChange
S6F12 H->E Ack
19-7 キャリア搬出可能 S6F11 H<-E ReadyToUnload RTU
S6F12 H->E Ack
19-8 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Not Reserved NR
S6F12 H->E Ack
19-9 アンロード搬送開始 S6F11 H<-E TransferBlocked TB
S6F12 H->E Ack
19-10 キャリア搬出 S6F11 H<-E MaterialHasRemoved
S6F12 H->E Ack
19-11 キャリアオブジェクト消滅 S6F11 H<-E Deleted UOC No No No
S6F12 H->E Ack (#1,#2) State State State
19-12 サブストレートオブジェクト消滅 S6F11 H<-E Deleted No No
S6F12 H->E Ack State State
19-13 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Not Associated NA
S6F12 H->E Ack
19-14 ロードポート搬入可能状態 S6F11 H<-E ReadyToLoad RTL
S6F12 H->E Ack
20 製品 20-1 キャリア払出指示 S3F17 H->E CarrierOut
キャリアの搬出 S3F18 H<-E Ack
20-2 キャリア払出 S6F11 H<-E TransferBlocked TB
(内部バッファ→ロードポート) S6F12 H->E Ack
20-3 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Associated A
S6F12 H->E Ack
20-4 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Reserved R
S6F12 H->E Ack
20-5 キャリアロケーション変更通知 S6F11 H<-E CarrierLocationChanged
S6F12 H->E Ack
20-6 キャリアがロードポートに払出される S6F11 H<-E BufferCapacityChange
S6F12 H->E Ack
20-7 キャリア搬出可能 S6F11 H<-E ReadyToUnload RTU
S6F12 H->E Ack
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
128
# 運用 # 処理 SF 方 メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ コメント
向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP
PJ
20-8 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Not Reserved NR
S6F12 H->E Ack
20-9 アンロード搬送開始 S6F11 H<-E TransferBlocked TB
S6F12 H->E Ack
20-10 キャリア搬出 S6F11 H<-E MaterialHasRemoved
S6F12 H->E Ack
20-11 キャリアオブジェクト消滅 S6F11 H<-E Deleted UOC No No No
S6F12 H->E Ack (#1,#2) State State State
20-12 サブストレートオブジェクト消滅 S6F11 H<-E Deleted No No
S6F12 H->E Ack State State
20-13 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Not Associated NA
S6F12 H->E Ack
20-14 ロードポート搬入可能状態 S6F11 H<-E ReadyToLoad RTL
S6F12 H->E Ack
1バッチ分のキャリア全てが搬出されるまで20-1~20-14が繰返される
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
129
2.1.6.3. Filler(非定常)NPW 運用シナリオ
Filler(非定常)はプロセス処理室内における製品品質の均一化をはかるために、ボート内のウェーハの歯抜けを補うために用いる。なお、Filler(非定常)用の NPWは再利用可能であるものとする。 以下のシナリオを実現するため、装置は下記要求機能を満足しなければならない。 1) 累積使用回数をウェーハオブジェクトの属性として用意すること。 2) 装置定数に以下の情報を用意すること。 累積使用回数基準値:NPWの交換を推奨する累積使用回数 累積使用回数上限値:NPWの使用限界を示す累積使用回数
3) Filler(非定常)用NPWキャリアのアクセスステータスを変更可能なリモートコマンドを用意すること。
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
130
図 2-31 Filler(非定常) 運用フロー (1)
コメントオペレータホスト装置AMHS
1
Filler(非定常型)
非定常型のFillerを搬入する前に、あらかじめ装置定数にて次の項目を設定する。1.累積使用回数基準値2.累積使用回数上限値
ジョブは、製品についての処理条件を設定する。
製品キャリアとは別に、キャリアUsageがFiller(非定常)のキャリアを前もって搬入し、キャリアID照合、スロットマップ照合をおこなったうえで、内部バッファで保管しておく
2a
装置定数設定
Filler(非定常)キャリア搬入処理
Filler(非定常)キャリアID照合処理
Filler(非定常)キャリア内部バッファ保
管処理
製品キャリア搬入処理
製品キャリアID照合処理
製品キャリア内部バッファ保管処理
レシピの確認
PJ作成、CJ作成
ジョブ開始
製品キャリアスロットマップ照合
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
131
図 2-32 Filler(非定常) 運用フロー (2)
コメントオペレータホスト装置AMHS
2Filler(非定常型)
2a
Filler(非定常)のウェーハが必要かどうかは、装置が判断すること。
3a
製品、Filler(定常)等必要なウェーハを処理
室へ入れる
Filler(非定常)用のキャリアを内部バッファからF
IMSポートへ移動させる
FOUPを空け、スロットマップ照合をおこなう
スロットマップ照合OK
ウェーハを処理位置へ移動する
FOUPを閉じ、キャリアを内部バッファへ移動
する
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
132
図 2-33 Filler(非定常) 運用フロー (3)
コメントオペレータホスト装置AMHS
3Filler(非定常型)
3a
搬入元が同じキャリアの各ウェーハが累積使用回数基準値を超えたか?
搬入元が同じキャリアの各ウェーハが累積使用回数上限値を超えたか?
Filler(非定常)を搬出する?
Yes
No
4a
Yes
No
4c
No
Yes
4b
Filler(非定常)キャリア内の全ウェーハが累積使用回数上限値となった場合には、ウェーハをキャリアに払い出すこと。
Filler(非定常)キャリア内の全ウェーハが累積使用回数基準値となった場合には、そのキャリアに対するApproachingComplteイベントを上げること。
処理中
処理完了
Filler(非定常)ウェーハ毎の使用回数履歴
を更新する
Filler(非定常)キャリア搬出処理
アプローチングコンプリートイベント通知
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
133
図 2-34 Filler(非定常) 運用フロー (4)
コメントオペレータホスト装置AMHS
4Filler(非定常型)
払出すFiller(非定常)用キャリアが複数ある場合は、払出すキャリア数分だけ、処理を繰り返す。
4a
S2F41 CarrierCompleteにてそのキャリアへの処理を終了すること。
Filler(非定常)用キャリアが複数ある場合は、払出すキャリア数分だけ、処理を繰り返す。
5b
4b
4c
5a
Filler(非定常)用キャリアを払出す
キャリア払出し指示受信
Filler(非定常)用のキャリアを内部バッファからFIMSポートへ移動させる
Filler(非定常)用ウェーハを処理位置からFOUPへ移動する
FOUPを閉じ、キャリアを内部バッファへ移動する
Filler(非定常)用キャリアのロードポートへの払出を指示する
製品キャリア内部バッファ保管処理
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
134
図 2-35 Filler(非定常) 運用フロー (5)
コメントオペレータホスト装置AMHS
5Filler(非定常型)
5a
通常の製品キャリアの搬入と同様となる。
キャリア搬入可能通知
製品キャリアは、バッチ数分だけ搬出する
5b
Filler(非定常)キャリア搬出済み?
Yes
Filler(非定常)用キャリアのロードポートへの払出を指示する
Filler(非定常)用キャリア搬出処理
製品キャリア搬出処理
Filler(非定常)キャリア搬入処理
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
135
Filler(非定常) 前提条件
項目 条件 コントロールモード オンラインリモート アクセスモード オート 処理キャリア数 4キャリア コントロールジョブ数 1コントロールジョブ プロセスジョブ数 1プロセスジョブ コントロールジョブ、プロセスジョブの作成とキャリア配送 配送後 Carrier ID/Slot Map照合 ホスト照合 搬送機器 AMHS(AGV/RGV/OHT) Filler(定常)への条件指定 ジョブ
製品キャリア C1~C4、 Filler(定常)キャリア C5、 Filler(非定常)キャリア C6 がある。
C1
製品キャリアC1~C4
Filler(定常)キャリアC5
内部バッファ
C2
C3
C4
C5
C6
Filler(非定常)キャリア
C6
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
136
# 運用 # 処理 SF 方 メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ コメント
向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP
PJ
0 初期状態 RTL NA NR UOC No No No No No No No
(#1,#2) State State State State State State State
1 装置定数設定 1-1 装置定数設定 S2F15 H->E Equipment Constant Send
S2F16 H->E Ack
2 Filler(非定常) 2-1 ロード開始 S6F11 H<-E TransferBlocked TB
キャリア搬入 S6F12 H->E Ack
移載 2-2 ロード終了 S6F11 H<-E MaterialHasArrived
S6F12 H->E Ack
3 Filler(非定常) 3-1 CarrierID読取り S6F11 H<-E Waiting for Host WFH SNR NA
キャリアID照合 S6F12 H->E Ack
3-2 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Associated A
S6F12 H->E Ack
3-3 CarrierID照合OK S3F17 H->E ProceedWithCarrier
S3F18 H<-E Ack
3-4 CarrierID照合完了 S6F11 H<-E ID Verification OK IVO
S6F12 H->E Ack
4 Filler(非定常) 4-1 バッファキャパシティ変更報告 S6F11 H<-E BufferCapacityChange
内部バッファ S6F12 H->E Ack
保管 4-2 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E CarrierLocationChanged
S6F12 H->E Ack
4-3 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Not Associated NA
S6F12 H->E Ack
4-4 ロードポート搬入可能状態 S6F11 H<-E ReadyToLoad RTL
S6F12 H->E Ack
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
137
# 運用 # 処理 SF 方 メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ コメント
向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP
PJ
5 製品キャリア 5-1 ロード開始 S6F11 H<-E TransferBlocked TB
搬入移載 S6F12 H->E Ack
5-2 ロード終了 S6F11 H<-E MaterialHasArrived
S6F12 H->E Ack
6 製品キャリアID 6-1 CarrierID読取り S6F11 H<-E Waiting for Host WFH SNR NA
照合 S6F12 H->E Ack
6-2 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Associated A
S6F12 H->E Ack
6-3 CarrierID照合OK S3F17 H->E ProceedWithCarrier
S3F18 H<-E Ack
6-4 CarrierID照合完了 S6F11 H<-E ID Verification OK IVO
S6F12 H->E Ack
7 製品キャリア 7-1 バッファキャパシティ変更報告 S6F11 H<-E BufferCapacityChange
内部バッファ S6F12 H->E Ack
保管 7-2 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E CarrierLocationChanged
S6F12 H->E Ack
7-3 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Not Associated NA
S6F12 H->E Ack
7-4 ロードポート搬入可能状態 S6F11 H<-E ReadyToLoad RTL
S6F12 H->E Ack
1バッチ分のキャリア全てが搬入されるまで5-1~7-4が繰返される
8 レシピの確認 8-1 レシピリスト確認 S7F19 H->E Current EPPD Request
S7F20 H<-E Ack
8-2 LOAD問合せ S7F1 H->E Process Program Load Inquire
(装置にレシピがない場合) S7F2 H<-E Ack
8-3 プロセスプログラム送信 S7F23 H->E Process Program Send
S7F24 H<-E Ack
8-4 レシピ妥当性送信 S7F27 H<-E Process Program Verification Send
S7F28 H->E Ack
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
138
# 運用 # 処理 SF 方 メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ コメント
向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP
PJ
9 PJ作成 9-1 PJの空きスペースの確認 S16F21 H->E PRGetSpace
CJ作成 S16F22 H<-E Ack
CJ、PJ実行 9-2 CJの空きスペースの確認 S1F3 H->E CJQueueSpace
S1F4 H<-E CJQueueSpaceResponse
9-3 PJ生成 S16F15 H->E PRJobMultiCreate
S16F16 H<-E PR Job Create Ack
9-4 PJ生成完了 S6F11 H<-E PR Job Pooled PRJob S6F12 H->E Ack Pooled 9-5 CJ生成 S14F9 H->E CJCreate S14F10 H<-E Ack 9-6 CJ生成完了 S6F11 H<-E Queued Queued S6F12 H->E Ack 9-7 CJ選択報告 S6F11 H<-E Selected Selected S6F12 H->E Ack 9-8 CJ実行報告 S6F11 H<-E Execution began Executing S6F12 H->E Ack PJ開始準備 S6F11 H<-E PRJob Setup SettingUp
9-9
S6F12 H->E Ack 10 製品キャリア 10-1 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E CarrierLocationChanged
スロットマップ (内部バッファからFIMSポートへ) S6F12 H->E Ack 照合 10-2 FOUP Open S6F11 H<-E Carrier Opened S6F12 H->E Ack 10-3 スロットマップ読込み完了 S6F11 H<-E Wairing for Host WFH S6F12 H->E Ack 10-4 ウエハオブジェクト作成 S6F11 H<-E Substrate At Source AS NP S6F12 H->E Ack 10-5 サブストレート取得 S6F11 H<-E Substrate Occupied OC S6F12 H->E Ack (#1) 10-6 スロットマップ照合OK S3F17 H->E Proceed With Carrier S3F18 H<-E Ack 10-7 スロットマップ照合完了 S6F11 H<-E SlotMap Verification OK SVO S6F12 H->E Ack
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
139
# 運用 # 処理 SF 方 メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ コメント
向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP
PJ
11 製品キャリア 11-1 キャリア処理中 S6F11 H<-E Carrier In Access IA
処理中 S6F12 H->E Ack
11-2 ウエハ移動 S6F11 H<-E Substrate Location Unoccupied UOC
(ウエハがキャリアから取られた) S6F12 H->E Ack (#1)
11-3 ウエハ移動 S6F11 H<-E Substrate At Work AW
(キャリアからボートへ) S6F12 H->E Ack
11-4 ウエハ移動 S6F11 H<-E Substrate Location Occupied OC
(ウエハがボート移動した) S6F12 H->E Ack (#2)
キャリア内のウエハ枚数分11-2~11-4を繰返す
11-5 FOUP Close S6F11 H<-E Carrier Closed
S6F12 H->E Ack
11-6 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E CarrierLocationChanged
(FIMSポートから内部バッファへ) S6F12 H->E Ack
バッチ数分10-1~11-6を繰返す
Filler(非定常)ウェーハが必要かを装置が判断する。
Filler(非定常)ウェーハが必要な場合は、No.12以降の処理をおこなう。
Filler(非定常)ウェーハが不要な場合は、No.14以降の処理をおこなう。
12 Filler(非定常) キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E CarrierLocationChanged 用ウェーハが
12-1
(内部バッファからFIMSポートへ) S6F12 H->E Ack
必要 FOUP Open S6F11 H<-E Carrier Opened (Filler(非定常)
12-2
S6F12 H->E Ack
のスロットマップ スロットマップ読込み完了 S6F11 H<-E Wairing for Host 照合)
12-3
S6F12 H->E Ack
12-4 ウエハオブジェクト作成 S6F11 H<-E Substrate At Source AS NP S6F12 H->E Ack 12-5 サブストレート取得 S6F11 H<-E Substrate Occupied OC S6F12 H->E Ack (#1) 12-6 スロットマップ照合OK S3F17 H->E Proceed With Carrier S3F18 H<-E Ack 12-7 スロットマップ照合完了 S6F11 H<-E SlotMap Verification OK SVO S6F12 H->E Ack
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
140
# 運用 # 処理 SF 方 メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ コメント
向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP
PJ
13 Filler(非定常) 13-1 キャリア処理中 S6F11 H<-E Carrier In Access IA
キャリア処理中 S6F12 H->E Ack
ウェーハ1枚目の処理開始時のみ
13-2 ウエハ移動 S6F11 H<-E Substrate Location Unoccupied UOC
(ウエハがキャリアから取られた) S6F12 H->E Ack (#1)
13-3 ウエハ移動 S6F11 H<-E Substrate At Work AW
(キャリアからボートへ) S6F12 H->E Ack
13-4 ウエハ移動 S6F11 H<-E Substrate Location Occupied OC
(ウエハがボート移動した) S6F12 H->E Ack (#2)
キャリア内の必要ウエハ枚数分13-2~13-4を繰返す
13-5 FOUP Close S6F11 H<-E Carrier Closed
S6F12 H->E Ack
13-6 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E CarrierLocationChanged
(FIMSポートから内部バッファへ) S6F12 H->E Ack
14 実処理 14-1 Boat Load開始 S6F11 H<-E PRJob Processing Processing
処理終了 (PJ開始報告) S6F12 H->E PRJob Processing Ack
14-2 ウエハ実処理開始 S6F11 H<-E Substrate InProcess INP
S6F12 H->E Ack
14-3 ウエハ実処理完了 S6F11 H<-E Substrate Processing Complete PRC
S6F12 H->E Ack
14-4 アプローチングイベント報告 S6F11 H<-E Approching Complete
S6F12 H->E Ack
14-5 Boat Unload完了 S6F11 H<-E PJ Processing Complete Process
(PJプロセス終了報告) S6F12 H->E Ack Complete
Filler(非定常)ウェーハの使用履歴を更新する
15 Filler(非定常) 15-1 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier Location Changed
キャリア (内部バッファからFIMSポートへ) S6F12 H->E Ack
内部バッファ 15-2 FOUP Open S6F11 H<-E Carrier Opened
保管 S6F12 H->E Ack
15-3 ウエハ移動 S6F11 H<-E Substrate Location Unoccuppied UOC
(ウエハがボートから取られた) S6F12 H->E Ack (#2)
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
141
# 運用 # 処理 SF 方 メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ コメント
向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP
PJ
15-4 ウエハ移動 S6F11 H<-E Substrate At Distination AD
(ボートからキャリアへ) S6F12 H->E Ack
15-5 ウエハ移動 S6F11 H<-E Substrate Location Occuppied OC
(ウエハがキャリアへ移動した) S6F12 H->E Ack (#1)
キャリア内のウエハ枚数分17-3~17-5を繰返す
15-6 FOUP Close S6F11 H<-E Carrier Closed
S6F12 H->E Ack
15-7 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E CarrierLocationChanged
(FIMSポートから内部バッファへ) S6F12 H->E Ack
アプローチングイベント報告 S6F11 H<-E Approching Complete
15-8
S6F12 H->E Ack
処理終了でFiller(非定常)キャリア内の全ウェーハの類積使用回数が基準値を越えた場合、1回のみ送信
15-9 キャリアステータス変更要求 S2F41 H->E CarrierComplete CC
S2F42 H<-E Ack
ホストが新しいFiller(非定常)キャリアを使用することを決定した場合、上記コマンドを送信
15-10 キャリア処理完了 S6F11 H<-E Carrier Complete
S6F12 H->E Ack
ホストからキャリアステータス変更要求を受信するか、もしくは、処理終了でFiller(非定常)キャリア内の全ウェ
ーハの累積使用回数が上限値を越えた場合に送信
16 製品キャリア 16-1 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier Location Changed
内部バッファ (内部バッファからFIMSポートへ) S6F12 H->E Ack
保管 16-2 FOUP Open S6F11 H<-E Carrier Opened
S6F12 H->E Ack
16-3 ウエハ移動 S6F11 H<-E Substrate Location Unoccuppied UOC
(ウエハがボートから取られた) S6F12 H->E Ack (#2)
16-4 ウエハ移動 S6F11 H<-E Substrate At Distination AD
(ボートからキャリアへ) S6F12 H->E Ack
16-5 ウエハ移動 S6F11 H<-E Substrate Location Occuppied
OC
(ウエハがキャリアへ移動した) S6F12 H->E Ack (#1)
キャリア内のウエハ枚数分18-3~18-5を繰返す
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
142
# 運用 # 処理 SF 方 メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ コメント
向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP
PJ
16-6 PJ完了報告 S6F11 H<-E PRJob Complete PRJob
S6F12 H->E Ack Complete
↓
No
State
16-7 CJ完了報告 S6F11 H<-E Complete Complete
S6F12 H->E Ack
16-8 CJ削除 S14F11 H->E Delete Request
S14F12 H<-E Ack
16-9 CJ削除報告 S6F11 H<-E Deleted No
S6F12 H->E Ack State
18-6~18-9は、バッチの最後のキャリアの処理終了時のみ
16-10 FOUP Close S6F11 H<-E Carrier Closed
S6F12 H->E Ack
16-11 キャリア処理完了 S6F11 H<-E Carrier Complete CC
S6F12 H->E Ack
16-12 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E CarrierLocationChanged
(FIMSポートから内部バッファへ) S6F12 H->E Ack
バッチ数分18-1~18-12を繰返す
17 Filler(非定常) 17-1 キャリア払出指示 S3F17 H->E CarrierOut
キャリアの搬出 S3F18 H<-E Ack
が必要な場合 17-2 キャリア払出 S6F11 H<-E TransferBlocked TB
(内部バッファ→ロードポート) S6F12 H->E Ack
17-3 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Associated A
S6F12 H->E Ack
17-4 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Reserved R
S6F12 H->E Ack
17-5 キャリアロケーション変更通知 S6F11 H<-E CarrierLocationChanged
S6F12 H->E Ack
17-6 キャリアがロードポートに払出される S6F11 H<-E BufferCapacityChange
S6F12 H->E Ack
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
143
# 運用 # 処理 SF 方 メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ コメント
向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP
PJ
17-7 キャリア搬出可能 S6F11 H<-E ReadyToUnload RTU
S6F12 H->E Ack
17-8 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Not Reserved NR
S6F12 H->E Ack
17-9 アンロード搬送開始 S6F11 H<-E TransferBlocked TB
S6F12 H->E Ack
17-10 キャリア搬出 S6F11 H<-E MaterialHasRemoved
S6F12 H->E Ack
17-11 キャリアオブジェクト消滅 S6F11 H<-E Deleted UOC No No No
S6F12 H->E Ack (#1,#2) State State State
17-12 サブストレートオブジェクト消滅 S6F11 H<-E Deleted No No
S6F12 H->E Ack State State
17-13 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Not Associated NA
S6F12 H->E Ack
17-14 ロードポート搬入可能状態 S6F11 H<-E ReadyToLoad RTL
S6F12 H->E Ack
18 製品 18-1 キャリア払出指示 S3F17 H->E CarrierOut
キャリアの搬出 S3F18 H<-E Ack
18-2 キャリア払出 S6F11 H<-E TransferBlocked TB
(内部バッファ→ロードポート) S6F12 H->E Ack
18-3 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Associated A
S6F12 H->E Ack
18-4 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Reserved R
S6F12 H->E Ack
18-5 キャリアロケーション変更通知 S6F11 H<-E CarrierLocationChanged
S6F12 H->E Ack
18-6 キャリアがロードポートに払出される S6F11 H<-E BufferCapacityChange
S6F12 H->E Ack
18-7 キャリア搬出可能 S6F11 H<-E ReadyToUnload RTU
S6F12 H->E Ack
18-8 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Not Reserved NR
S6F12 H->E Ack
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
144
# 運用 # 処理 SF 方 メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ コメント
向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP
PJ
18-9 アンロード搬送開始 S6F11 H<-E TransferBlocked TB
S6F12 H->E Ack
18-10 キャリア搬出 S6F11 H<-E MaterialHasRemoved
S6F12 H->E Ack
18-11 キャリアオブジェクト消滅 S6F11 H<-E Deleted UOC No No No
S6F12 H->E Ack (#1,#2) State State State
18-12 サブストレートオブジェクト消滅 S6F11 H<-E Deleted No No
S6F12 H->E Ack State State
18-13 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Not Associated NA
S6F12 H->E Ack
18-14 ロードポート搬入可能状態 S6F11 H<-E ReadyToLoad RTL
S6F12 H->E Ack
1バッチ分のキャリア全てが搬出されるまで20-1~20-14が繰返される
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
145
2.1.6.4. モニター NPW 運用シナリオ
内部バッファ装置に用いるモニターは、ボート内での処理品質のばらつきを確かめるため、ボ
ート内を均等に分けるように用いられる。なお、モニター用の NPWは再利用不可であるものとする。 以下のシナリオを実現するため、装置は下記要求機能を満足しなければならない。 1) モニター用 NPW 保管キャリアのアクセスステータスを変更可能なリモートコマンドを用
意すること。
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
146
図 2-36 Monitor 運用フロー (1)
コメントオペレータホスト装置
1
モニター
AMHS
製品キャリアとは別に、キャリアUsageがMonitorのキャリアを前もって搬入し、キャリアID照合をおこなったうえで、内部バッファで保管しておく
製品キャリアを搬入し、キャリアID照合をおこなったうえで、内部バッファに保管する。
続けて、Monitor用NPWを回収するための空キャリアを搬入し、キャリアID照合をおこなったうえで、内部バッファに保管する。
ジョブで、どのMonitor用NPWを使用するかを指定する。
2a
Monitorキャリア搬入処理
MonitorキャリアID照合処理
Monitorキャリア内部バッファ保管処理
製品キャリア搬入処理
製品キャリアID照合処理
製品キャリア内部バッファ保管処理
モニター回収用キャリア搬入処理
モニター回収用キャリアID照合処理
モニター回収用キャリア内部バッファ保管処理
レシピの確認
PJ作成、CJ作成
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
147
図 2-37 Monitor 運用フロー (2)
コメントオペレータホスト装置
2
モニター
AMHS
2a
ここでは、ジョブ開始後にジョブで指定されているMonitor用NPWの処理について示している。
ここでは、製品ウェーハの移動より先にMonitor用NPWの移動をおこなっているが、製品ウェーハの移動をが先になっても問題はない。
3a
一度スロットマップ照合を完了しているNPWキャリアであれば、再びスロットマップ照合をおこなう必要はない。
ジョブを開始する
Monitor用のキャリアを内部バッファからFIMSポートへ移動させる
FOUPを開け、スロットマップを読み込む
スロットマップ照合OK
Monitor用NPWをジョブで指定された位置へ移動する
FOUPを閉じ、キャリアを内部バッファへ
移動する
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
148
図 2-38 Monitor 運用フロー (3)
コメントオペレータホスト装置
3
モニター
AMHS
3a
4a
回収用空キャリアについてもスロットマップ照合をおこなう必要がある。なお、空キャリアにはウェーハがないはずなので、CarrierInAccess状態になるタイミングは、スロットマップ照合完了時とする。
CarrierInAccessにならなければ、ジョブ開始後に、誤って空キャリアを払出される恐れがある。
製品キャリアを内部バッファからFIMSポートへ移動させる
FOUPを開け、スロットマップを読み込む
スロットマップ照合OK
製品ウェーハをジョブで指定された位置へ移動する
FOUPを閉じ、キャリアを内部バッファへ
移動する
Monitor回収用キャリアを内部バッファからFIMSポートへ移動させる
FOUPを開け、スロットマップ読込みをお
こなう
スロットマップ照合OK
FOUPを閉じ、キャリアを内部バッファへ
移動する
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
149
図 2-39 Monitor 運用フロー (4)
コメントオペレータホスト装置
4
モニター
AMHS
4a
製品キャリアを内部バッファからFIMSポートへ移動させる
FOUPを開け、製品ウェーハを回
収する
FOUPを閉じ、キャリアを内部バッファへ
移動する
空キャリアを内部バッファからFIMSポートへ移動させる
FOUPを開け、Montior用NPWを回
収する
FOUPを閉じ、キャリアを内部バッファへ
移動する
5a
ウェーハ処理開始
ウェーハ処理中
ウェーハ処理終了
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
150
図 2-40 Monitor 運用フロー (5)
コメントオペレータホスト装置
5
モニター
AMHS
5a
Monitor用NPWキャリアを払出す?
Yes
Monitor用キャリア終了処理
製品キャリア搬出処理
Monitor回収lキャリア搬出処理
Monitor用キャリア搬出処理
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
151
Monitor 前提条件
項目 条件 コントロールモード オンラインリモート アクセスモード オート 処理キャリア数 4キャリア+Monitor回収用1キャリア コントロールジョブ数 1コントロールジョブ プロセスジョブ数 1プロセスジョブ コントロールジョブ、プロセスジョブの作成とキャリア配送 配送後 Carrier ID/Slot Map照合 ホスト照合 搬送機器 AMHS(AGV/RGV/OHT) Filler(定常)への条件指定 装置定数
製品キャリア C1~C2、 Monitor回収用キャリア C3、Filler(定常)キャリア C4、 Filler(非定常)キャリア C5 Monitorキャリア C6 がある。
C1
製品キャリアC1~C4
Filler(定常)キャリアC6
内部バッファ
C2
C3
C4
C5
C6Filler(非定常)キャリアC7
C7
C8
MonitorキャリアC8
Monitor回収キャリア
C5
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
152
# 運用 # 処理 SF 方 メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ コメント
向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP
PJ
0 初期状態 RTL NA NR UOC No No No No No No No
(#1,#2) State State State State State State State
1 装置定数設定 1-1 装置定数設定 S2F15 H->E Equipment Constant Send
S2F16 H->E Ack
2 Monitor 2-1 ロード開始 S6F11 H<-E TransferBlocked TB
キャリア搬入 S6F12 H->E Ack
移載 2-2 ロード終了 S6F11 H<-E MaterialHasArrived
S6F12 H->E Ack
3 Monitor 3-1 CarrierID読取り S6F11 H<-E Waiting for Host WFH SNR NA
キャリアID照合 S6F12 H->E Ack
3-2 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Associated A
S6F12 H->E Ack
3-3 CarrierID照合OK S3F17 H->E ProceedWithCarrier
S3F18 H<-E Ack
3-4 CarrierID照合完了 S6F11 H<-E ID Verification OK IVO
S6F12 H->E Ack
4 Monitorキャリア 4-1 バッファキャパシティ変更報告 S6F11 H<-E BufferCapacityChange
内部バッファ S6F12 H->E Ack
保管 4-2 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E CarrierLocationChanged
S6F12 H->E Ack
4-3 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Not Associated NA
S6F12 H->E Ack
4-4 ロードポート搬入可能状態 S6F11 H<-E ReadyToLoad RTL
S6F12 H->E Ack
5 製品キャリア 5-1 ロード開始 S6F11 H<-E TransferBlocked TB
搬入移載 S6F12 H->E Ack
5-2 ロード終了 S6F11 H<-E MaterialHasArrived
S6F12 H->E Ack
6 製品キャリアID 6-1 CarrierID読取り S6F11 H<-E Waiting for Host WFH SNR NA
照合 S6F12 H->E Ack
6-2 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Associated A
S6F12 H->E Ack
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
153
# 運用 # 処理 SF 方 メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ コメント
向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP
PJ
6-3 CarrierID照合OK S3F17 H->E ProceedWithCarrier
S3F18 H<-E Ack
6-4 CarrierID照合完了 S6F11 H<-E ID Verification OK IVO
S6F12 H->E Ack
7 内部バッファ 7-1 バッファキャパシティ変更報告 S6F11 H<-E BufferCapacityChange
保管 S6F12 H->E Ack
7-2 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E CarrierLocationChanged
S6F12 H->E Ack
7-3 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Not Associated NA
S6F12 H->E Ack
7-4 ロードポート搬入可能状態 S6F11 H<-E ReadyToLoad RTL
S6F12 H->E Ack
1バッチ分のキャリア全てが搬入されるまで5-1~7-4が繰返される この中には回収用キャリアも含める
8 レシピの確認 8-1 レシピリスト確認 S7F19 H->E Current EPPD Request
S7F20 H<-E Ack
8-2 LOAD問合せ S7F1 H->E Process Program Load Inquire
(装置にレシピがない場合) S7F2 H<-E Ack
8-3 プロセスプログラム送信 S7F23 H->E Process Program Send
S7F24 H<-E Ack
8-4 レシピ妥当性送信 S7F27 H<-E Process Program Verification Send
S7F28 H->E Ack
9 PJ作成 9-1 PJの空きスペースの確認 S16F21 H->E PRGetSpace
CJ作成 S16F22 H<-E Ack
CJ、PJ実行 9-2 CJの空きスペースの確認 S1F3 H->E CJQueueSpace
Monitorについ S1F4 H<-E CJQueueSpaceResponse
ての処理条件も 9-3 PJ生成 S16F15 H->E PRJobMultiCreate
ジョブの中に含 S16F16 H<-E PR Job Create Ack
める。 9-4 PJ生成完了 S6F11 H<-E PR Job Pooled PRJob S6F12 H->E Ack Pooled 9-5 CJ生成 S14F9 H->E CJCreate S14F10 H<-E Ack
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
154
# 運用 # 処理 SF 方 メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ コメント
向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP
PJ
9-6 CJ生成完了 S6F11 H<-E Queued Queued S6F12 H->E Ack 9-7 CJ選択報告 S6F11 H<-E Selected Selected S6F12 H->E Ack 9-8 CJ実行報告 S6F11 H<-E Execution began Executing S6F12 H->E Ack 9-9 PJ開始準備 S6F11 H<-E PRJob Setup SettingUp S6F12 H->E Ack 10 Monitor用 10-1 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E CarrierLocationChanged
キャリア (内部バッファからFIMSポートへ) S6F12 H->E Ack スロットマップ照合 10-2 FOUP Open S6F11 H<-E Carrier Opened S6F12 H->E Ack 10-3 スロットマップ読込み完了 S6F11 H<-E Wairing for Host S6F12 H->E Ack 10-4 ウエハオブジェクト作成 S6F11 H<-E Substrate At Source AS NP S6F12 H->E Ack 10-5 サブストレート取得 S6F11 H<-E Substrate Occupied OC S6F12 H->E Ack (#1) 10-6 スロットマップ照合OK S3F17 H->E Proceed With Carrier S3F18 H<-E Ack 10-7 スロットマップ照合完了 S6F11 H<-E SlotMap Verification OK SVO S6F12 H->E Ack
11 Monitor用 11-1 キャリア処理中 S6F11 H<-E Carrier In Access IA
ウェーハ投入 S6F12 H->E Ack
11-2 ウエハ移動 S6F11 H<-E Substrate Location Unoccupied UOC
(ウエハがキャリアから取られた) S6F12 H->E Ack (#1)
11-3 ウエハ移動 S6F11 H<-E Substrate At Work AW
(キャリアからボートへ) S6F12 H->E Ack
11-4 ウエハ移動 S6F11 H<-E Substrate Location Occupied OC
(ウエハがボート移動した) S6F12 H->E Ack (#2)
Monitor用ウェーハとして必要枚数分11-2~11-4を繰返す
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
155
# 運用 # 処理 SF 方 メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ コメント
向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP
PJ
11-5 FOUP Close S6F11 H<-E Carrier Closed
S6F12 H->E Ack
11-6 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E CarrierLocationChanged
(FIMSポートから内部バッファへ) S6F12 H->E Ack
12 製品キャリア 12-1 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E CarrierLocationChanged スロットマップ (内部バッファからFIMSポートへ) S6F12 H->E Ack 照合 12-2 FOUP Open S6F11 H<-E Carrier Opened S6F12 H->E Ack 12-3 スロットマップ読込み完了 S6F11 H<-E Wairing for Host WFH S6F12 H->E Ack 12-4 ウエハオブジェクト作成 S6F11 H<-E Substrate At Source AS NP S6F12 H->E Ack 12-5 サブストレート取得 S6F11 H<-E Substrate Occupied OC S6F12 H->E Ack (#1) 12-6 スロットマップ照合OK S3F17 H->E Proceed With Carrier S3F18 H<-E Ack 12-7 スロットマップ照合完了 S6F11 H<-E SlotMap Verification OK SVO S6F12 H->E Ack
13 製品ウェーハ 13-1 キャリア処理中 S6F11 H<-E Carrier In Access IA
投入 S6F12 H->E Ack
13-2 ウエハ移動 S6F11 H<-E Substrate Location Unoccupied UOC
(ウエハがキャリアから取られた) S6F12 H->E Ack (#1)
13-3 ウエハ移動 S6F11 H<-E Substrate At Work AW
(キャリアからボートへ) S6F12 H->E Ack
13-4 ウエハ移動 S6F11 H<-E Substrate Location Occupied OC
(ウエハがボート移動した) S6F12 H->E Ack (#2)
キャリア内のウエハ枚数分13-2~13-4を繰返す
13-5 FOUP Close S6F11 H<-E Carrier Closed
S6F12 H->E Ack
13-6 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E CarrierLocationChanged
(FIMSポートから内部バッファへ) S6F12 H->E Ack
バッチ数分12-1~13-6を繰返す
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
156
# 運用 # 処理 SF 方 メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ コメント
向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP
PJ
14 Monitor回収用 14-1 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E CarrierLocationChanged キャリア (内部バッファからFIMSポートへ) S6F12 H->E Ack スロットマップ 14-2 FOUP Open S6F11 H<-E Carrier Opened 照合 S6F12 H->E Ack 14-3 スロットマップ読込み完了 S6F11 H<-E Wairing for Host WFH S6F12 H->E Ack 14-4 スロットマップ照合OK S3F17 H->E Proceed With Carrier S3F18 H<-E Ack 14-5 スロットマップ照合完了 S6F11 H<-E SlotMap Verification OK SVO S6F12 H->E Ack
14-6 FOUP Close S6F11 H<-E Carrier Closed
S6F12 H->E Ack
14-7 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E CarrierLocationChanged
(FIMSポートから内部バッファへ) S6F12 H->E Ack
15 実処理 15-1 Boat Load開始 S6F11 H<-E PRJob Processing Processing
処理終了 (PJ開始報告) S6F12 H->E PRJob Processing Ack
15-2 ウエハ実処理開始 S6F11 H<-E Substrate InProcess INP
S6F12 H->E Ack
15-3 ウエハ実処理完了 S6F11 H<-E Substrate Processing Complete PRC
S6F12 H->E Ack
15-4 アプローチングイベント報告 S6F11 H<-E Approching Complete
S6F12 H->E Ack
15-5 Boat Unload完了 S6F11 H<-E PJ Processing Complete Process
(PJプロセス終了報告) S6F12 H->E Ack Complete
16 Monitorウェーハ 16-1 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier Location Changed
回収用キャリア (内部バッファからFIMSポートへ) S6F12 H->E Ack
に回収 16-2 FOUP Open S6F11 H<-E Carrier Opened
S6F12 H->E Ack
16-3 ウエハ移動 S6F11 H<-E Substrate Location Unoccuppied UOC
(ウエハがボートから取られた) S6F12 H->E Ack (#2)
16-4 ウエハ移動 S6F11 H<-E Substrate At Distination AD
(ボートからキャリアへ) S6F12 H->E Ack
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
157
# 運用 # 処理 SF 方 メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ コメント
向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP
PJ
16-5 ウエハ移動 S6F11 H<-E Substrate Location Occuppied OC
(ウエハがキャリアへ移動した) S6F12 H->E Ack (#1)
ボート内のMonitorウェーハ枚数分15-3~15-5を繰返す
16-6 FOUP Close S6F11 H<-E Carrier Closed
S6F12 H->E Ack
16-7 キャリア処理完了 S6F11 H<-E Carrier Complete CC
S6F12 H->E Ack
16-8 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E CarrierLocationChanged
(FIMSポートから内部バッファへ) S6F12 H->E Ack
17 製品ウェーハ 17-1 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier Location Changed
キャリアに回収 (内部バッファからFIMSポートへ) S6F12 H->E Ack
17-2 FOUP Open S6F11 H<-E Carrier Opened
S6F12 H->E Ack
17-3 ウエハ移動 S6F11 H<-E Substrate Location Unoccuppied UOC
(ウエハがボートから取られた) S6F12 H->E Ack (#2)
17-4 ウエハ移動 S6F11 H<-E Substrate At Distination AD
(ボートからキャリアへ) S6F12 H->E Ack
17-5 ウエハ移動 S6F11 H<-E Substrate Location Occuppied OC
(ウエハがキャリアへ移動した) S6F12 H->E Ack (#1)
キャリア内のMonitorウエハ枚数分16-3~16-5を繰返す
17-6 PJ完了報告 S6F11 H<-E PRJob Complete PRJob
S6F12 H->E Ack Complete
↓
No
State
17-7 CJ完了報告 S6F11 H<-E Complete Complete
S6F12 H->E Ack
17-8 CJ削除 S14F11 H->E Delete Request
S14F12 H<-E Ack
17-9 CJ削除報告 S6F11 H<-E Deleted No
S6F12 H->E Ack State
17-6~17-9は、バッチの最後のキャリアの処理終了時のみ
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
158
# 運用 # 処理 SF 方 メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ コメント
向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP
PJ
17-10 FOUP Close S6F11 H<-E Carrier Closed
S6F12 H->E Ack
17-11 キャリア処理完了 S6F11 H<-E Carrier Complete CC
S6F12 H->E Ack
17-12 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E CarrierLocationChanged
(FIMSポートから内部バッファへ) S6F12 H->E Ack
バッチ数分17-1~17-12を繰返す
18 Monitor回収用 18-1 キャリア払出指示 S3F17 H->E CarrierOut
キャリアの搬出 S3F18 H<-E Ack
18-2 キャリア払出 S6F11 H<-E TransferBlocked TB
(内部バッファ→ロードポート) S6F12 H->E Ack
18-3 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Associated A
S6F12 H->E Ack
18-4 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Reserved R
S6F12 H->E Ack
18-5 キャリアロケーション変更通知 S6F11 H<-E CarrierLocationChanged
S6F12 H->E Ack
18-6 キャリアがロードポートに払出される S6F11 H<-E BufferCapacityChange
S6F12 H->E Ack
18-7 キャリア搬出可能 S6F11 H<-E ReadyToUnload RTU
S6F12 H->E Ack
18-8 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Not Reserved NR
S6F12 H->E Ack
18-9 アンロード搬送開始 S6F11 H<-E TransferBlocked TB
S6F12 H->E Ack
18-10 キャリア搬出 S6F11 H<-E MaterialHasRemoved
S6F12 H->E Ack
18-11 キャリアオブジェクト消滅 S6F11 H<-E Deleted UOC No No No
S6F12 H->E Ack (#1,#2) State State State
18-12 サブストレートオブジェクト消滅 S6F11 H<-E Deleted No No
S6F12 H->E Ack State State
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
159
# 運用 # 処理 SF 方 メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ コメント
向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP
PJ
18-13 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Not Associated NA
S6F12 H->E Ack
18-14 ロードポート搬入可能状態 S6F11 H<-E ReadyToLoad RTL
S6F12 H->E Ack
19 製品 19-1 キャリア払出指示 S3F17 H->E CarrierOut
キャリアの搬出 S3F18 H<-E Ack
19-2 キャリア払出 S6F11 H<-E TransferBlocked TB
(内部バッファ→ロードポート) S6F12 H->E Ack
19-3 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Associated A
S6F12 H->E Ack
19-4 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Reserved R
S6F12 H->E Ack
19-5 キャリアロケーション変更通知 S6F11 H<-E CarrierLocationChanged
S6F12 H->E Ack
19-6 キャリアがロードポートに払出される S6F11 H<-E BufferCapacityChange
S6F12 H->E Ack
19-7 キャリア搬出可能 S6F11 H<-E ReadyToUnload RTU
S6F12 H->E Ack
19-8 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Not Reserved NR
S6F12 H->E Ack
19-9 アンロード搬送開始 S6F11 H<-E TransferBlocked TB
S6F12 H->E Ack
19-10 キャリア搬出 S6F11 H<-E MaterialHasRemoved
S6F12 H->E Ack
19-11 キャリアオブジェクト消滅 S6F11 H<-E Deleted UOC No No No
S6F12 H->E Ack (#1,#2) State State State
19-12 サブストレートオブジェクト消滅 S6F11 H<-E Deleted No No
S6F12 H->E Ack State State
19-13 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Not Associated NA
S6F12 H->E Ack
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
160
# 運用 # 処理 SF 方 メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ コメント
向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP
PJ
19-14 ロードポート搬入可能状態 S6F11 H<-E ReadyToLoad RTL
S6F12 H->E Ack
1バッチ分のキャリア全てが搬出されるまで20-1~20-14が繰返される
Monitor保管用キャリアをキャリアを搬出するかをホストが判断する。
20 Monitor保管用 20-1 キャリアステータス変更要求 S2F41 H->E CarrierComplete
キャリア終了 S2F42 H<-E Ack
要求 20-2 キャリア処理完了 S6F11 H<-E Carrier Complete CC
S6F12 H->E Ack
21 Monitor保管用 21-1 キャリア払出指示 S3F17 H->E CarrierOut
キャリアの搬出 S3F18 H<-E Ack
21-2 キャリア払出 S6F11 H<-E TransferBlocked TB
(内部バッファ→ロードポート) S6F12 H->E Ack
21-3 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Associated A
S6F12 H->E Ack
21-4 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Reserved R
S6F12 H->E Ack
21-5 キャリアロケーション変更通知 S6F11 H<-E CarrierLocationChanged
S6F12 H->E Ack
21-6 キャリアがロードポートに払出される S6F11 H<-E BufferCapacityChange
S6F12 H->E Ack
21-7 キャリア搬出可能 S6F11 H<-E ReadyToUnload RTU
S6F12 H->E Ack
21-8 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Not Reserved NR
S6F12 H->E Ack
21-9 アンロード搬送開始 S6F11 H<-E TransferBlocked TB
S6F12 H->E Ack
21-10 キャリア搬出 S6F11 H<-E MaterialHasRemoved
S6F12 H->E Ack
21-11 キャリアオブジェクト消滅 S6F11 H<-E Deleted UOC No No No
S6F12 H->E Ack (#1,#2) State State State
21-12 サブストレートオブジェクト消滅 S6F11 H<-E Deleted No No
S6F12 H->E Ack State State
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
161
# 運用 # 処理 SF 方 メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ コメント
向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP
PJ
21-13 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Not Associated NA
S6F12 H->E Ack
21-14 ロードポート搬入可能状態 S6F11 H<-E ReadyToLoad RTL
S6F12 H->E Ack
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
162
2.2. 通信シナリオで使用されるメッセージフォーマット
通信シナリオで使用した SECS-Ⅱメッセージ及び E87ハンドシェークシーケンスを例として、立上げ処理、ロット処理、立ち下げ処理の 3つに分けて示す。 なお、 で囲んだ番号とシナリオの処理番号は一致している。
2.2.1. 立上げ処理
1-2
S1F13 H->E Establish Communication Request < S1F13 W < L > > S1F14 H<-E Establish Communication Request Acknowledge < S1F14 < L 2 < B[1] 0 > < L 2 < A[n] > // MDLN < A[n]> // SOFTREV > > >
2-1 S1F17 H->E Request ON-LINE <SIF17> S1F18 H<-E ON-LINE Acknowledge <S1F18 <B[1] 0> //ONLACK >
2-2
S6F11 H<-E Event Report Send < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 100 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 100 > < L 2 <A[16] > // GEM timestamp <U1[1] 2 > // Control Mode 0=Offline, 1=Local, 2=Remote > > > > > S6F12 H->E Event Report Acknowledge < S6F12 < B[1] 0 > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
163
3-1
S2F31 H->E Date and Time Set Request < S2F31 W < A[16] > // YYYYMMDDhhmmsscc > S2F32 H<-E Date and Time Set Request Ack < S2F32 < B[1] 0 > // TIACK >
4-1
S1F3 H->E Selected Equipment Status Request < S1F3 W < L n < U2[1] > // SVID : : < U2[1] > // SVID > > S1F4 H<-E Selected Equipment Status Data < S1F4 < L n < ? > // SV : : < ? > // SV > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
164
4-2
S14F1 H->E GetAttr Request < S14F1 W
< L 5 < A[0] > // OBJSPEC < A "ControlJob" > // OBJTYPE < L 0 > < L 0 > < L 1
< A "State" > >
> > S14F2 H<-E GetAttr Data < S14F2
< L 2 < L # // # = number of Objects
< L 2 < A[n] > // ObjID < L 1
< L 2 < A "State" > // ATTRID < A[n] > // ATTRDATA
> >
> : :
< L 2 < A[n] > // ObjID < L 1
< L 2 < A "State" > // ATTRID < A[n] > // ATTRDATA
> >
> > < L 2
< B[1] > // OBJACK < L 0 >
> >
>
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
165
4-3
S16F19 H->E PR Get All Jobs < S16F19 > S16F20 H->E PR Get All Jobs Acknowledge < S16F20 < L n < L 2 <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID <A[n] "PRJOBPOOLED" > // PRJobState attribute- Current State of the PJ model > < L 2 <A[n] "PRJob002" > // Process Job ID <A[n] "PRJOBPOOLED" > // PRJobState attribute- Current State of the PJ model > : : < L 2 <A[n] "PRJob005" > // Process Job ID <A[n] "PRJOBPOOLED" > // PRJobState attribute- Current State of the PJ model > > >
4-4
S14F1 H->E GetAttr Request < S14F1 W
< L 5 < A[0] > // OBJSPEC < A "Carrier" > // OBJTYPE < L 0 > < L 0 > < L 4
< A "CarrierIDStatus" > < A "CarrierAccessingStatus" > < A "SlotMapStatus" > < A "LocationID" >
> >
>
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
166
S14F2 H<-E GetAttr Data < S14F2
< L 2 < L # // # = number of Objects
< L 2 < A[n] > // ObjID < L 4
< L 2 < A "CarrierIDStatus" > // ATTRID < A[n] > // ATTRDATA
> < L 2
< A "CarrierAccessingStatus" > // ATTRID < A[n] > // ATTRDATA
> < L 2
< A "SlotMapStatus" > // ATTRID < A[n] > // ATTRDATA
> < L 2
< A "LocationID" > // ATTRID < A[n] > // ATTRDATA
> >
> : :
< L 2 < A[n] > // ObjID < L 4
< L 2 < A "CarrierIDStatus" > // ATTRID < A[n] > // ATTRDATA
> < L 2
< A "CarrierAccessingStatus" > // ATTRID < A[n] > // ATTRDATA
> < L 2
< A "SlotMapStatus" > // ATTRID < A[n] > // ATTRDATA
> < L 2
< A "LocationID" > // ATTRID < A[n] > // ATTRDATA
> >
> > < L 2
< B[1] > // OBJACK < L 0 >
> >
>
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
167
4-5
S14F1 H->E GetAttr Request < S14F1 W
< L 5 < A[0] > // OBJSPEC < A "Substrate" > // OBJTYPE < L 0 > < L 0 > < L 2
< A "SubstrateProcState" > < A "SubstrateLocID" >
> >
> S14F2 H<-E GetAttr Data < S14F2
< L 2 < L # // # = number of Objects
< L 2 < A[n] > // ObjID < L 2
< L 2 < A "SubstrateProcState" > // ATTRID < A[n] > // ATTRDATA
> < L 2
< A "SubstrateLocID" > // ATTRID < A[n] > // ATTRDATA
> >
> : :
< L 2 < A[n] > // ObjID < L 2
< L 2 < A "SubstrateProcState" > // ATTRID < A[n] > // ATTRDATA
> < L 2
< A "SubstrateLocID" > // ATTRID < A[n] > // ATTRDATA
> >
> > < L 2
< B[1] > // OBJACK < L 0 >
> >
>
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
168
5-1
S2F37 H->E Enable/Disable Event Report < S2F37 W < L 2 < Bool TRUE > < L 0 > // All Event Enable > > S2F38 H<-E Enable/Disable Event Report Acknowledge < S2F38 < B[1] 0 > >
5-2
S5F3 H->E Enable/Disable Alarm Send < S5F3 W < Bool TRUE > // ALED < U2[0] > // ALID ( All Alarm Enable ) > S5F4 H<-E Enable/Disable Alarm Acknowledge < S5F4 < B[1] 0 > >
6-1
S3F23 H->E Change Access < S3F23 W < L 3 < A[n] "CHANGEACCESS" > < A[n] > // Port Group Name < L 2 < A[n] "AccessMode" > < U1[1] 1 > // Access Mode 0=Manual, 1=Auto > > > S3F24 H<-E Ack < S3F24 < U1[1] 0 > CAACK >
6-2 S6F11 H<-E Auto
< S6F11 W < L, 3 < U4 0 > // DATAID < U4 260 > // CEID < L, 1 < L, 2 < U4 503 > // RPTID < L, 2 <U1[1]> // PortID <U1[1] 1> // AccessMode > > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
169
> >
S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
170
2.2.2. ロット処理
1-1 S6F11 H<-E TransferBlocked < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[0]> // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
1-2 S6F11 H<-E MaterialHasArrived < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 300 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[0]> // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
171
2-1
S6F11 H<-E Waiting for Host < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 214 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
2-2 S6F11 H<-E Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 227 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
172
2-3 S3F17 H->E ProceedWithCarrier < S3F17 W < L 5 < A[n] "PROCEEDWITHCARRIER" > // DATAID < A[n] "ProceedWithCarrier" > // CARRIERACTION < A[n] "Carrier001" > // Carrier ID < U1[1] 1 > // PTN < L 2
< L 2 < A[n] �ContentMap�> // CATTRID < L n
< A[n] �Carrier001wf01�> // CATTRDATA : :
< A[n] �Carrier001wf25�> // CATTRDATA >
> < L 2
< A[n] "Usage" > // CATTRID < A[n] "PRUDUCT" > // CATTRDATA > > >
> S3F18 H<-E Ack < S3F18 < L 2 < B[1] 0 > // CAACK < L > > >
2-4 S6F11 H<-E ID Verification OK < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 215 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
173
3-1 S6F11 H<-E BufferCapacityChange < S6F11 W
< A[n] > // DATAID < U1[1] 275 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 510 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <L //BufferPartitionInfo <A[n]> // PartitionID- ID of Partition <A[n]> // PartitionType <U1[1]> // Available Physical Partition Capacity <U1[1]> // Partition Capacity <U1[1]> // UnAllocated Partition Capacity > > >
> >
S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
3-2
S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
174
3-3 S6F11 H<-E Not Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 228 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > > 3-4 S6F11 H<-E ReadyToLoad < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 2 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
175
4-1 S7F19 H->E Current EPPD Request < S7F19 W > S7F20 H<-E Ack < S7F20 < L n < A[n] > // PPID : : < A[n] > // PPID > >
4-2 S7F1 H->E Process Program Load Inquire < S7F1 W < L 2 < A[n] > // PPID < U2[1] > // Length > > S7F2 H<-E Ack < S7F2 < B[1] 0 > // PPGNT >
4-3 S7F23 H->E Process Program Send < S7F23 W < L 4 < A[n] > // PPID < A[n] > // MDLN < A[n] > // SOFTREV < L n < L 2 < ? > // CCODE < L n < ? > // PPARM : : < ? > // PPARM > > : : < L 2 < ? > // CCODE < L n < ? > // PPARM : : < ? > // PPARM > > > > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
176
S7F24 H<-E Ack < S7F24 < B[1] 0 > // ACKC7 >
4-4 S7F27 H<-E Process Program Verification Send < S7F27 W < L 2 < A[n] > // PPID < L > // No Error > S7F28 H->E Ack < S7F28 >
5-1 S16F21 H->E PR Get Space < S16F21 W > S16F22 H<-E PR Get Space Response < S16F22 < U1[1] > // PRJOBSPACE >
5-2 S1F3 H->E CJ Queue Space < S1F3 W < L 1 < U2[1] > // SVID > > S1F4 H<-E Selected Equipment Status Data < S1F4 < U1[1] > // SV >
5-3 S16F15 H->E PRJobMultiCreate < S16F15 W < L < A[n] > // DATAID < L 1 < L 6 < A[n] "PRJob001" > // PRJobID < B[1] 13 > // MF < L n // # is numbers of carrier < L 2 < A[n] "Carrier001" > // CarrierID < L < U1[1] 1 > : < U1[1] 25 > > > : :
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
177
< L < A[n] "Carrier00n" > // CarrierID < L < U1[1] 1 > : < U1[1] 25 > > > > < L < A[n] > // PRRECIPEMETHOD < A[n] > // RECIPESPEC < L < L < L < A[n] > // RCPPARNM < ? > // RCPPARVAL > : : < L < A[n] > // RCPPARNM < ? > // RCPPARVAL > > > > < Bool TRUE > // Sets start method to autostart < L // PRPAUSEEVENT List of CEID
> > > > > S16F16 H<-E RPJobMultiCreate Acknowledge < S16F16 <L2 < L < A[n] "PRJob001"> // Created PRJobID > < L < B[1] 0 > // ACKA < L > > > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
178
5-4 S6F11 H<-E PRJob Pooled < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 601 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID <A[n] "PRJOBPOOLED" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model <A[n]> // recipe ID for this process job > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
5-5 S14F9 H->E CJCreate < S14F9 W < L < A[n] "Equipment" > // OBJSPEC < A[n] "ControlJob" > // ObjType < L < L 2 < A[n] "ControlJobID" > // ATTRID < A[n] "ControlJob001" > // ATTRDATA > < L 2 < A[n] "ProcessingCtrlSpec" > // ATTRID < L 1 < A[n] "PRJob001" > // ATTRDATA > > < L 2 < A[n] "CarrierInputSpec" > // ATTRID < L < A[n] "Carrier001" > // ATTRDATA : : < A[n] "Carrier00n" > // ATTRDATA > > < L < A[n] "MtrlOutSpec" > // ATTRID < A[0] > // ATTRDATA > < L < A[n] "ProcessOrderMgmt" > // ATTRID < A[0] "LIST" > // ATTRDATA > < L
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
179
< A[n] "StartMethod" > // ATTRID < Bool TRUE > // ATTRDATA > > > > S14F10 H<-E Ack < S14F10 < L < A[n] "EQUIPMENT" > // OBJSPEC < L < L < A[n] "ControlJobID" > // ATTRID < A[n] "ControlJob001" > // ATTRDATA > < L < A[n] "ProcessingCtrlSpec" > // ATTRID < L < A[n] "PRJob001" > // ATTRDATA > > < L < A[n] "CarrierInputSpec" > // ATTRID < L < A[n] "Carrier001" > // ATTRDATA : : < A[n] "Carrier00n" > // ATTRDATA > > < L < A[n] "MtrlOutSpec" > // ATTRID < A[0] > // ATTRDATA > < L < A[n] "ProcessOrderMgmt" > // ATTRID < A[0] "LIST" > // ATTRDATA > < L < A[n] "StartMethod" > // ATTRID < Bool TRUE > // ATTRDATA > > < L < U1[1] 0 > // OBJACK < L > > > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
180
5-6 S6F11 H<-E Queued < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 500 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob001" > // Control Job ID <U1[1] 1 > // Current State of the CJ model > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
5-7 S6F11 H<-E Selected < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 501 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob001" > // Control Job ID <U1[1] 2 > // Current State of the CJ model > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
5-8 S6F11 H<-E Execution began < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 502 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob001" > // Control Job ID
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
181
<U1[1] 4 > // Current State of the CJ model > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
5-9 S6F11 H<-E PRJob Setup < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 601 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID <A[n] "SETTINGUP" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model <A[n]> // recipe ID for this process job > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
182
6-1 S6F11 H<-E CarrierLocationChange < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
6-2 S6F11 H<-E Carrier Opened < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 220 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
183
6-3
S6F11 H<-E Waiting for Host < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 222 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 502 > < L 9 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 2 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute <A[19] �VERIFICATION NEEDED� > // Reason < L n < U1[1] 1 > // Slotmap : : < U1[1] 1 > // Slotmap > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
6-4 S6F11 H<-E Substrate At Source < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 402 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 531 > < L 7 < A[16] > // GEM timestamp <A[n]> // LotID attribute <L // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > <A[n]> // SubstLocIDAttribute <U1[1] 1 > // SubstProc State Attribute <U1[1] 1 > // SubstState Attribute <A[n] "PRDUCT" > // SubstUsage Attribute > > > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
184
> S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
6-5 S6F11 H<-E Substrate Occupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 410 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
6-6 S3F17 H->E ProceedWithCarrier < S3F17 W < L 5 < A[n] "PROCEEDWITHCARRIER" > // DATAID < A[n] "ProceedWithCarrier" > // CARRIERACTION < A[n] "Carrier001" > // Carrier ID < U1[1] 1 > // PTN < L > > > S3F18 H<-E Ack < S3F18 < L 2 < B[1] 0 > // CAACK < L > > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
185
6-7 S6F11 H<-E Slot Map Verification OK < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 223 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
7-1 S6F11 H<-E CarrierInAccsess < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 208 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
186
7-2 S6F11 H<-E Substrate Location Unoccupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 411 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L 3 // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
7-3 S6F11 H<-E Substrate AT WORK < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 403 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
187
7-4 S6F11 H<-E Substrate Location Occupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 410 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
7-5 S6F11 H<-E Carrier Closed < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 221 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
188
7-6 S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > > 7-7 S6F11 H<-E PRJob Processing < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 602 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID <A[n] "PROCESSING" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model <A[n]> // recipe ID for this process job > > > > > S6F12 H->E PRJob Processing Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
189
7-8 S6F11 H<-E Substrate In Process < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 404 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
8-1 S6F11 H<-E Substrate ProcessingComplete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 405 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
190
8-2 S6F11 H<-E Approching Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 250 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 501 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute <U1[1] 5 > // Carrier Complete remain time [min] > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
8-3 S6F11 H<-E Processing Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 605 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID <A[n] "PROCCOMPLETE" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model <A[n]> // recipe ID for this process job > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
191
9-1 S6F11 H<-E CarrierLocationChange < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
9-2 S6F11 H<-E Carrier Opened < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 220 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
192
9-3 S6F11 H<-E Substrate Location Unoccupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 411 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L 3 // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
9-4 S6F11 H<-E Substrate AT DESTINATION < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 406 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
193
9-5 S6F11 H<-E Substrate Location Occupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 410 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
9-6
S6F11 H<-E PJ Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 606 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID <A[n] "PRJOBCOMPLETE" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model <A[n]> // recipe ID for this process job > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
194
9-7
S6F11 H<-E CJ Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 503 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob001"> // Control Job ID <U1[1] 6 > // Current State of the CJ model > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
9-8
S14F11 H->E Delete Request < S14F11 W < L 2 < A[n] "EQUIPMENT" > // OBJSPEC < L 1 < L 2 < A[n] "ControlJob" > // ATTRID < A[n] "ControlJob001" > // ATTRDATA > > > > S14F12 H<-E Ack < S14F12 < L 2 < L > < L 2 < U1[1] 0 > // OBJACK < L > > > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
195
9-9 S6F11 H<-E Deleted < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 504 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob001" > // Control Job ID <U1[0]> // Current State of the CJ model > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
9-10
S6F11 H<-E Carrier Closed < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 221 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
196
9-11
S6F11 H<-E CarrierComplete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 209 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
9-12
S6F11 H<-E CarrierLocationChange < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
197
10-1
S3F17 H->E CarrierOut < S3F17 W
< L 5 < A[n] > // DATAID < A "CARRIEROUT" > // CARRIERACTION < A[n] > // CARRIERSPEC(CarrierID) < U1[0] > // PTN < L > >
>
< S3F18 < L 2 < U1[1] > // CAACK < L > >
>
10-2
S6F11 H<-E TransferBlocked < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
198
10-3
S6F11 H<-E Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 227 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
10-4
S6F11 H<-E Reserved < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 241 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID < > // CarrierID < > // CarrierIDStatus Attribute < > // SlotMapStatus Attribute < > // Port Association State VID < > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
199
10-5 S6F11 H<-E CarrierLocationChange < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
10-6
S6F11 H<-E BufferCapacityChange < S6F11 W
< A[n] > // DATAID < U1[1] 275 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 510 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <L //BufferPartitionInfo <A[n]> // PartitionID- ID of Partition <A[n]> // PartitionType <U1[1]> // Available Physical Partition Capacity <U1[1]> // Partition Capacity <U1[1]> // UnAllocated Partition Capacity > > >
> >
S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
200
10-7
S6F11 H<-E ReadyToUnload < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 206 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 3 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
10-8
S6F11 H<-E Not Reserved < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 242 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID < > // CarrierID < > // CarrierIDStatus Attribute < > // SlotMapStatus Attribute < > // Port Association State VID < > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
201
10-9
S6F11 H<-E TransferBlocked < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 207 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
10-10
S6F11 H<-E MaterialHasRemoved < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 300 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
202
10-11
S6F11 H<-E Deleted < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 290 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001"> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
10-12 S6F11 H<-E Deleted < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 407 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
203
10-13 S6F11 H<-E Not Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 228 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
10-14 S6F11 H<-E ReadyToLoad < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 2 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
204
2.2.3. 立ち下げ処理
1-1 S1F3 H->E Selected Equipment Status Request < S1F3 W < L n < U2[1] > // SVID : : < U2[1] > // SVID > > S1F4 H<-E Selected Equipment Status Data < S1F4 < L n < ? > // SV : : < ? > // SV > >
2-1
S3F23 H->E Change Access < S3F23 W < L 3 < A[n] "CHANGEACCESS" > < A[n] > // Port Group Name < L 2 < A[n] "AccessMode" > < U1[1] 0 > // Access Mode 0=Manual, 1=Auto > > > S3F24 H<-E Ack < S3F24 < U1[1] 0 > CAACK >
2-2 S6F11 H<-E Manual
< S6F11 W < L, 3 < U4 0 > // DATAID < U4 260 > // CEID < L, 1 < L, 2 < U4 503 > // RPTID < L, 2 <U1[1]> // PortID <U1[1] 0> // AccessMode > > > > >
S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
205
>
3-1 S1F15 H->E Request OFF-LINE < S1F15 W > S1F16 H<-E OFF-LINE Acknowledge < S1F16 < B[1] 0 > // OFLACK >
3-2 S6F11 H<-E Equipment Requests OFF-LINE < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 100 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 100 > < L 2 <A[16] > // GEM timestamp <U1[1] 0 > // Control Mode 0=Offline, 1=Local, 2=Remote > > > > > S6F12 H->E Equipment Requests OFF-LINE Acknowledge < S6F12 < B[1] 0 > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
206
2.2.4. QTAT処理(1) 内部バッファ内のキャリアを搬出せずに、現在処理中のキャリアが終了してから特急キャ
リアの処理をおこなう場合を示す。
1-1 S14F3 H->E SetAttr for ControlJob Object < S14F3 W < L 4 < A[0] > // OBJSPEC < A "ControlJob" > // OBJTYPE < L 1 < A[n] > // ControlJobID > < L 1 < L 2 < A "Damming" > < Bool TRUE > > > > S14F4 H<-E SetAttr Data < S14F4 H<-E < L 2 < L 1 < L 2 < A[n] > // ControlJobID < L 1 < L 2 < A "Damming" > // ATTRID < Bool TRUE > // ATTRDATA > > > > < L 2 < U1[1] > // OBJACK < L 0 > > > >
2-1 S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
207
> > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
2-2
S6F11 H<-E Carrier Opened < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 220 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
2-3 S6F11 H<-E Waiting for Host < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 222 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 502 > < L 9 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 2 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute <A[19] �VERIFICATION NEEDED� > // Reason < L n < U1[1] 1 > // Slotmap : : < U1[1] 1 > // Slotmap > > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
208
> > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
2-4 S6F11 H<-E Substrate At Source < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 402 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 531 > < L 7 < A[16] > // GEM timestamp <A[n]> // LotID attribute <L // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > <A[n]> // SubstLocIDAttribute <U1[1] 1 > // SubstProc State Attribute <U1[1] 1 > // SubstState Attribute <A[n] "PRDUCT" > // SubstUsage Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
2-5 S6F11 H<-E Substrate Occupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 410 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
209
S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
2-6 S3F17 H->E ProceedWithCarrier < S3F17 W < L 5 < A[n] "PROCEEDWITHCARRIER" > // DATAID < A[n] "ProceedWithCarrier" > // CARRIERACTION < A[n] > // Carrier ID < U1[1] 1 > // PTN < L > > > S3F18 H<-E Ack < S3F18 < L 2 < U1[1] 0 > // CAACK < L > > >
2-7
S6F11 H<-E Slot Map Verification OK < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 223 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 >
> 3-1
S6F11 H<-E CarrierInAccsess < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 208 > // CEID < L 1 < L 2
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
210
< U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier00n" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
3-2 S6F11 H<-E Substrate Location Unoccupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 411 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L 3 // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
3-3 S6F11 H<-E Substrate AT WORK < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 403 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
211
: : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
3-4 S6F11 H<-E Substrate Location Occupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 410 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
3-5
S6F11 H<-E Carrier Closed < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 221 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier00n" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
212
> > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
3-6 S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
3-7 S6F11 H<-E PRJob Processing < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 602 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID <A[n] "PROCESSING" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model <A[n]> // recipe ID for this process job > > > > > S6F12 H->E PRJob Processing Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
3-8 S6F11 H<-E Substrate In Process
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
213
< S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 404 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
4-1 S6F11 H<-E Substrate ProcessingComplete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 405 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
4-2 S6F11 H<-E Approching Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 250 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 501 > < L 4
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
214
<A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute <U1[1] 5 > // Carrier Complete remain time [min] > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
4-3 S6F11 H<-E PJ Processing Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 605 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob00n" > // Process Job ID <A[n] "PROCCOMPLETE" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model <A[n]> // recipe ID for this process job > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
5-1
S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
215
S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
5-2
S6F11 H<-E Carrier Opened < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 220 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
5-3 S6F11 H<-E Substrate Location Unoccupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 411 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L 3 // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
5-4
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
216
S6F11 H<-E Substrate AT DESTINATION < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 406 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
5-5 S6F11 H<-E Substrate Location Occupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 410 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
5-6 S6F11 H<-E PJ Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 606 > // CEID < L 1 < L 2
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
217
< U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob00n" > // Process Job ID <A[n] "PRJOBCOMPLETE" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model <A[n]> // recipe ID for this process job > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
5-7 S6F11 H<-E CJ Complete
< S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 503 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob001"> // Control Job ID <U1[1] 6 > // Current State of the CJ model > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
5-8 S14F11 H->E Delete Request < S14F11 W < L 2 < A[n] "EQUIPMENT" > // OBJSPEC < L 1 < L 2 < A[n] "ControlJob" > // ATTRID < A[n] "ControlJob001" > // ATTRDATA > > > > S14F12 H<-E Ack < S14F12 < L 2 < L > < L 2 < U1[1] 0 > // OBJACK < L >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
218
> > >
5-9 S6F11 H<-E Deleted < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 504 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob001" > // Control Job ID <U1[0]> // Current State of the CJ model > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
5-10 S6F11 H<-E Carrier Closed < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 221 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier00n" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
5-11 S6F11 H<-E CarrierComplete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 209 > // CEID < L 1
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
219
< L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
5-12
S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
6-1
S3F17 H->E CarrierOut < S3F17 W
< L 5 < A[n] > // DATAID < A "CARRIEROUT" > // CARRIERACTION < A[n] > // CARRIERSPEC(CarrierID) < U1[0] > // PTN < L > >
>
< S3F18 < L 2 < U1[1] > // CAACK
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
220
< L > >
>
6-2 S6F11 H<-E TransferBlocked < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
6-3
S6F11 H<-E Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 227 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
6-4 S6F11 H<-E Reserved <S6F11 W <L
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
221
<U2 1> <U2 241> //Event= NotReservedToReserved <L <L <U2 515> //Report 515 <L <A[16] > //GEM timestamp- CLOCK <U1[1] 1> // PortTransfer State <U1[1] 1> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[1] 0> // Port Reservation State > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
6-5
S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
6-6 S6F11 H<-E BufferCapacityChange < S6F11 W
< A[n] > // DATAID < U1[1] 275 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 510 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <L //BufferPartitionInfo
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
222
<A[n]> // PartitionID- ID of Partition <A[n]> // PartitionType <U1[1]> // Available Physical Partition Capacity <U1[1]> // Partition Capacity <U1[1]> // UnAllocated Partition Capacity > > >
> >
S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
6-7
S6F11 H<-E ReadyToUnload < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 206 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 3 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier00n" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
6-8
S6F11 H<-E Not Reserved <S6F11 W <L <U2 1> <U2 242> //Event= ReservedToNotReserved <L <L <U2 515> //Report 515 <L <A[16] > //GEM timestamp- CLOCK <U1[1] 1> // PortTransfer State <U1[1] 1> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[1] 1> // Port Reservation State > > > > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
223
> S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
6-9 S6F11 H<-E TransferBlocked < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 207 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier00n" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
6-10 S6F11 H<-E MaterialHasRemoved < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 300 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier00n" > // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
224
6-11 S6F11 H<-E Deleted < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 290 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier00n"> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
6-12 S6F11 H<-E Deleted < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 407 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
6-13 S6F11 H<-E Not Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
225
< U1[1] 228 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
6-14 S6F11 H<-E ReadyToLoad < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 2 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
7-1 S6F11 H<-E TransferBlocked < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205> // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
226
<U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[0]> // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
7-2 S6F11 H<-E MaterialHasArrived < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 300 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[0]> // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
8-1
S6F11 H<-E Waiting for Host < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 214 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
227
<U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
8-2 S6F11 H<-E Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 227 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID <U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
8-3 S3F17 H->E ProceedWithCarrier < S3F17 W < L 5 < A[n] "PROCEEDWITHCARRIER" > // DATAID < A[n] "ProceedWithCarrier" > // CARRIERACTION < A[n] > // Carrier ID < U1[1] 1 > // PTN < L 2
< L 2 < A[n] �ContentMap�> // CATTRID < L n
< A[n] �Carrier00Nwf01�> // CATTRDATA : :
< A[n] �Carrier00Nwf25�> // CATTRDATA >
> < L 2
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
228
< A[n] "Usage" > // CATTRID < A[n] "PRUDUCT" > // CATTRDATA > > >
> S3F18 H<-E Ack < S3F18 < L 2 < U1[1] 0 > // CAACK < L > > >
8-4 S6F11 H<-E ID Verification OK < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 215 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
9-1 S6F11 H<-E BufferCapacityChange < S6F11 W
< A[n] > // DATAID < U1[1] 275 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 510 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <L //BufferPartitionInfo <A[n]> // PartitionID- ID of Partition <A[n]> // PartitionType <U1[1]> // Available Physical Partition Capacity <U1[1]> // Partition Capacity <U1[1]> // UnAllocated Partition Capacity > > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
229
> >
S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
9-2 S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
9-3 S6F11 H<-E Not Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 228 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
230
9-4
S6F11 H<-E ReadyToLoad < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 2 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
10-1 S7F19 H->E Current EPPD Request < S7F19 W > S7F20 H<-E Ack < S7F20 < L n < A[n] > // PPID : : < A[n] > // PPID > >
10-2 S7F1 H->E Process Program Load Inquire < S7F1 W < L 2 < A[n] > // PPID < U2[1] > // Length > > S7F2 H<-E Ack < S7F2 < B[1] 0 > // PPGNT >
10-3 S7F23 H->E Process Program Send < S7F23 W < L 4
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
231
< A[n] > // PPID < A[n] > // MDLN < A[n] > // SOFTREV < L n < L 2 < ? > // CCODE < L n < ? > // PPARM : : < ? > // PPARM > > : : < L 2 < ? > // CCODE < L n < ? > // PPARM : : < ? > // PPARM > > > > > S7F24 H<-E Ack < S7F24 < B[1] 0 > // ACKC7 >
10-4
S7F27 H<-E Process Program Verification Send < S7F27 W < L 2 < A[n] > // PPID < L > // No Error > S7F28 H->E Ack < S7F28 >
11-1 S16F21 H->E PR Get Space < S16F21 W > S16F22 H<-E PR Get Space Response < S16F22 < U1[1] > // PRJOBSPACE >
11-2 S1F3 H->E CJ Queue Space < S1F3 W < L 1 < U2[1] > // SVID > > S1F4 H<-E Selected Equipment Status Data
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
232
< S1F4 < U1[1] > // SV >
11-3 S16F15 H->E PRJobMultiCreate < S16F15 W < L < A[n] > // DATAID < L 1 < L 6 < A[n] "PRJob00n" > // PRJobID < B[1] 13 > // MF < L n // # is numbers of carrier < L 2 < A[n] "Carrier001" > // CarrierID < L < U1[1] 1 > : < U1[1] 25 > > > : : < L < A[n] "Carrier00n" > // CarrierID < L < U1[1] 1 > : < U1[1] 25 > > > > < L < A[n] > // PRRECIPEMETHOD < A[n] > // RECIPESPEC < L < L < L < A[n] > // RCPPARNM < ? > // RCPPARVAL > : : < L < A[n] > // RCPPARNM < ? > // RCPPARVAL > > > > < Bool TRUE > < L > > > > > S16F16 H<-E RPJobMultiCreate Acknowledge < S16F16 <L2
<L <A �PRJob00n�> //PROCESSJOB ID
>
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
233
<L <Bool TRUE> <L >
> >
>
11-4 S6F11 H<-E PRJob Pooled < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 601 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob00n" > // Process Job ID <A[n] "PRJOBPOOLED" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model <A[n]> // recipe ID for this process job > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
11-5 S14F9 H->E CJCreate < S14F9 W < L 3 < A[n] "Equipment" > // OBJSPEC < A[n] "ControlJob" > // ObjType < L 6 < L 2 < A[n] "ControlJobID" > // ATTRID < A[n] "ControlJob00n" > // ATTRDATA > < L 2 < A[n] "ProcessingCtrlSpec" > // ATTRID < L n < A[n] "PRJob00m" > // ATTRDATA : : < A[n] "PRJob00n" > // ATTRDATA > > < L 2 < A[n] "CarrierInputSpec" > // ATTRID < L n < A[n] "Carrier00m" > // ATTRDATA : : < A[n] "Carrier00n" > // ATTRDATA > > < L 2
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
234
< A[n] "MtrlOutSpec" > // ATTRID < A[0] > // ATTRDATA > < L 2 < A[n] "ProcessOrderMgmt" > // ATTRID < A[0] "LIST" > // ATTRDATA > < L 2 < A[n] "StartMethod" > // ATTRID < Bool TRUE > // ATTRDATA > > > > S14F10 H<-E Ack < S14F10 < L 3 < A[n] "EQUIPMENT" > // OBJSPEC < L 6 < L 2 < A[n] "ControlJobID" > // ATTRID < A[n] "ControlJob00n" > // ATTRDATA > < L 2 < A[n] "ProcessingCtrlSpec" > // ATTRID < L n < A[n] "PRJob00m" > // ATTRDATA : : < A[n] "PRJob00n" > // ATTRDATA > > < L 2 < A[n] "CarrierInputSpec" > // ATTRID < L n < A[n] "Carrier00m" > // ATTRDATA : : < A[n] "Carrier00n" > // ATTRDATA > > < L 2 < A[n] "MtrlOutSpec" > // ATTRID < A[0] > // ATTRDATA > < L 2 < A[n] "ProcessOrderMgmt" > // ATTRID < A[0] "LIST" > // ATTRDATA > < L 2 < A[n] "StartMethod" > // ATTRID < Bool TRUE > // ATTRDATA > > < L 2 < U1[1] 0 > // OBJACK < L > > > >
11-6 S6F11 H<-E Queued < S6F11 W
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
235
< L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 500 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob00n" > // Control Job ID <U1[1] 1 > // Current State of the CJ model > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
11-7 S6F11 H<-E Selected < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 501 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob00n" > // Control Job ID <U1[1] 2 > // Current State of the CJ model > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
11-8 S6F11 H<-E Execution began < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 502 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob00n" > // Control Job ID <U1[1] 4 > // Current State of the CJ model > > > > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
236
S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
11-9 S6F11 H<-E PRJob Setup < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 601 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob00n" > // Process Job ID <A[n] "SETTINGUP" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model <A[n]> // recipe ID for this process job > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
12-1 S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 >
> 12-2
S6F11 H<-E Carrier Opened < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
237
< U1[1] 220 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
238
12-3
S6F11 H<-E Waiting for Host < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 222 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 502 > < L 9 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 2 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute <A[19] �VERIFICATION NEEDED� > // Reason < L n < U1[1] 1 > // Slotmap : : < U1[1] 1 > // Slotmap > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
12-4 S6F11 H<-E Substrate At Source < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 402 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 531 > < L 7 < A[16] > // GEM timestamp <A[n]> // LotID attribute <L // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > <A[n]> // SubstLocIDAttribute <U1[1] 1 > // SubstProc State Attribute <U1[1] 1 > // SubstState Attribute <A[n] "PRDUCT" > // SubstUsage Attribute > > > > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
239
S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
12-5 S6F11 H<-E Substrate Occupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 410 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
12-6 S3F17 H->E ProceedWithCarrier < S3F17 W < L 5 < A[n] "PROCEEDWITHCARRIER" > // DATAID < A[n] "ProceedWithCarrier" > // CARRIERACTION < A[n] > // Carrier ID < U1[1] 1 > // PTN < L > > > S3F18 H<-E Ack < S3F18 < L 2 < U1[1] 0 > // CAACK < L > > >
12-7 S6F11 H<-E Slot Map Verification OK < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 223 > // CEID < L 1 < L 2
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
240
< U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
13-1
S6F11 H<-E CarrierInAccsess < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 208 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier00n" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
13-2 S6F11 H<-E Substrate Location Unoccupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 411 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L 3 // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
241
: : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
13-3 S6F11 H<-E Substrate AT WORK < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 403 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
13-4 S6F11 H<-E Substrate Location Occupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 410 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
242
> > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
13-5 S6F11 H<-E Carrier Closed < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 221 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier00n" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
13-6 S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
243
13-7 S6F11 H<-E PRJob Processing < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 602 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID <A[n] "PROCESSING" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model <A[n]> // recipe ID for this process job > > > > > S6F12 H->E PRJob Processing Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
13-8
S6F11 H<-E Substrate In Process < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 404 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
14-1 S6F11 H<-E Substrate ProcessingComplete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 405 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
244
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
14-2 S6F11 H<-E Approching Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 250 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 501 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute <U1[1] 5 > // Carrier Complete remain time [min] > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > > 14-3 S6F11 H<-E PJ Processing Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 605 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID <A[n] "PROCCOMPLETE" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model <A[n]> // recipe ID for this process job > > > > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
245
S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
15-1 S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
15-2
S6F11 H<-E Carrier Opened < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 220 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
246
15-3 S6F11 H<-E Substrate Location Unoccupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 411 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L 3 // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
15-4
S6F11 H<-E Substrate AT DESTINATION < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 406 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
247
15-5 S6F11 H<-E Substrate Location Occupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 410 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
15-6
S6F11 H<-E PJ Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 606 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob00n" > // Process Job ID <A[n] "PRJOBCOMPLETE" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model <A[n]> // recipe ID for this process job > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
248
15-7 S6F11 H<-E CJ Complete
< S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 503 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob001"> // Control Job ID <U1[1] 6 > // Current State of the CJ model > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
15-8
S14F11 H->E Delete Request < S14F11 W < L 2 < A[n] "EQUIPMENT" > // OBJSPEC < L 1 < L 2 < A[n] "ControlJob" > // ATTRID < A[n] "ControlJob001" > // ATTRDATA > > > > S14F12 H<-E Ack < S14F12 < L 2 < L > < L 2 < U1[1] 0 > // OBJACK < L > > > >
15-9 S6F11 H<-E Deleted < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 504 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob001" > // Control Job ID <U1[0]> // Current State of the CJ model
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
249
> > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
15-10 S6F11 H<-E Carrier Closed < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 221 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier00n" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
15-11
S6F11 H<-E CarrierComplete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 209 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
250
S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
15-12
S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
16-1
S14F3 H->E SetAttr for ControlJob Object < S14F3 W < L 4 < A[0] > // OBJSPEC < A "ControlJob" > // OBJTYPE < L 1 < A[n] > // ControlJobID > < L 1 < L 2 < A "Damming" > < Bool FALSE > > > > S14F4 H<-E SetAttr Data < S14F4 H<-E < L 2 < L 1 < L 2 < A[n] > // ControlJobID < L 1 < L 2 < A "Damming" > // ATTRID < Bool FALSE > // ATTRDATA > > > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
251
< L 2 < U1[1] > // OBJACK < L 0 > > > >
16-2 S6F11 H<-E Selected < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 501 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob001" > // Control Job ID <U1[1] 2 > // Current State of the CJ model > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
16-3 S6F11 H<-E Execution began < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 502 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob001" > // Control Job ID <U1[1] 4 > // Current State of the CJ model > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
16-4 S6F11 H<-E PRJob Setup < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
252
< U1[1] 601 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID <A[n] "SETTINGUP" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model <A[n]> // recipe ID for this process job > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 >
>
17-1 S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
17-2
S6F11 H<-E Carrier Opened < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 220 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
253
<U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
17-3 S6F11 H<-E Waiting for Host < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 222 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 502 > < L 9 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 2 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute <A[19] �VERIFICATION NEEDED� > // Reason < L n < U1[1] 1 > // Slotmap : : < U1[1] 1 > // Slotmap > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
17-4 S6F11 H<-E Substrate At Source < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 402 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 531 > < L 7 < A[16] > // GEM timestamp <A[n]> // LotID attribute <L // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute :
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
254
: <A[n]> // WaferID attribute > <A[n]> // SubstLocIDAttribute <U1[1] 1 > // SubstProc State Attribute <U1[1] 1 > // SubstState Attribute <A[n] "PRDUCT" > // SubstUsage Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
17-5 S6F11 H<-E Substrate Occupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 410 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
17-6 S3F17 H->E ProceedWithCarrier < S3F17 W < L 5 < A[n] "PROCEEDWITHCARRIER" > // DATAID < A[n] "ProceedWithCarrier" > // CARRIERACTION < A[n] > // Carrier ID < U1[1] 1 > // PTN < L > > > S3F18 H<-E Ack < S3F18 < L 2 < U1[1] 0 > // CAACK < L > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
255
>
17-7 S6F11 H<-E Slot Map Verification OK < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 223 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
256
2.2.5. QTAT処理(2) 内部バッファ内のキャリアを搬出してから特急キャリアの処理をおこなう場合を示す。
1-1 S14F3 H->E SetAttr for ControlJob Object < S14F3 W < L 4 < A[0] > // OBJSPEC < A "ControlJob" > // OBJTYPE < L 1 < A[n] > // ControlJobID > < L 1 < L 2 < A "Damming" > < Bool TRUE > > > > S14F4 H<-E SetAttr Data < S14F4 H<-E < L 2 < L 1 < L 2 < A[n] > // ControlJobID < L 1 < L 2 < A "Damming" > // ATTRID < Bool TRUE > // ATTRDATA > > > > < L 2 < U1[1] > // OBJACK < L 0 > > > >
2-1 S16F27 H->E CJCancel < S16F27 W < L 3 < A[n] > // ControlJobID < U1[1] 4 > // CTLJOBCMD (CJCancel=4) < L > > > < S16F28 H<-E < L 2 < Bool TRUE > // ACKA < L > > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
257
2-2
S6F11 H<-E CJ Canceled <S6F11 W <L <U2 1> <U2 505> //Event= CJCanceled <L <L <U2 600> //Report 600 <L <A[16] > //GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Control Job ID <U1[1] 7> // Current State of the CJ model > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
2-3 S16F5 H->E PJCancel < S16F5 W < A[n] "PRJOBCANCEL" > // DATAID < A[n] > // PRJobID < A[n] "CANCEL" > // PRCMDNAME < L > > S16F6 H<-E < < A[n] > // PRJobID < L < Bool TRUE > // ACKA < L > > > 2-4 3F17 H->E CancelCarrier < S3F17 W < L < A[n] "CANCELCARRIER" > // DATAID < A[n] "CancelCarrier" > // CARRIERACTION < A[n] > // Carrier ID < U1[0] > // PTN < L > > > S3F18 H<-E Ack < S3F18 < L < U1[1] 0 > // CAACK < L > > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
258
2-5
S3F17 H->E CarrierOut < S3F17 W
< L 5 < A[n] > // DATAID < A "CARRIEROUT" > // CARRIERACTION < A[n] > // CARRIERSPEC(CarrierID) < U1[0] > // PTN < L > >
>
< S3F18 < L 2 < U1[1] > // CAACK < L > >
>
2-6 S6F11 H<-E TransferBlocked < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier00n" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
2-7
S6F11 H<-E Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 227 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
259
<U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
2-8 S6F11 H<-E Reserved <S6F11 W <L <U2 1> <U2 241> //Event= NotReservedToReserved <L <L <U2 515> //Report 515 <L <A[16] > //GEM timestamp- CLOCK <U1[1] 1> // PortTransfer State <U1[1] 1> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[1] 0> // Port Reservation State > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
2-9
S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
260
< B[1] 0 > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
261
2-10 S6F11 H<-E BufferCapacityChange < S6F11 W
< A[n] > // DATAID < U1[1] 275 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 510 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <L //BufferPartitionInfo <A[n]> // PartitionID- ID of Partition <A[n]> // PartitionType <U1[1]> // Available Physical Partition Capacity <U1[1]> // Partition Capacity <U1[1]> // UnAllocated Partition Capacity > > >
> >
S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 >
> 2-11
S6F11 H<-E ReadyToUnload < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 206 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 3 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier00n" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
262
2-12
S6F11 H<-E Not Reserved <S6F11 W <L <U2 1> <U2 242> //Event= ReservedToNotReserved <L <L <U2 515> //Report 515 <L <A[16] > //GEM timestamp- CLOCK <U1[1] 1> // PortTransfer State <U1[1] 1> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[1] 1> // Port Reservation State > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
2-13
S6F11 H<-E TransferBlocked < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 207 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier00n" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
2-14 S6F11 H<-E MaterialHasRemoved < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 300 > // CEID
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
263
< L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier00n" > // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
2-15 S6F11 H<-E Deleted < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 290 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier00n"> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
2-16
S6F11 H<-E Not Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 228 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
264
<U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
2-17 S6F11 H<-E ReadyToLoad < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 2 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 >
>
3-1 S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
265
> > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
3-2
S6F11 H<-E Carrier Opened < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 220 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
3-3 S6F11 H<-E Waiting for Host < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 222 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 502 > < L 9 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 2 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute <A[19] �VERIFICATION NEEDED� > // Reason < L n < U1[1] 1 > // Slotmap : : < U1[1] 1 > // Slotmap > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
266
> > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
3-4
S6F11 H<-E Substrate At Source < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 402 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 531 > < L 7 < A[16] > // GEM timestamp <A[n]> // LotID attribute <L // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > <A[n]> // SubstLocIDAttribute <U1[1] 1 > // SubstProc State Attribute <U1[1] 1 > // SubstState Attribute <A[n] "PRDUCT" > // SubstUsage Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
3-5 S6F11 H<-E Substrate Occupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 410 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
267
> > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
3-6 S3F17 H->E ProceedWithCarrier < S3F17 W < L 5 < A[n] "PROCEEDWITHCARRIER" > // DATAID < A[n] "ProceedWithCarrier" > // CARRIERACTION < A[n] > // Carrier ID < U1[1] 1 > // PTN < L > > > S3F18 H<-E Ack < S3F18 < L 2 < U1[1] 0 > // CAACK < L > > >
3-7
S6F11 H<-E Slot Map Verification OK < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 223 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 >
> 4-1
S6F11 H<-E CarrierInAccsess < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 208 > // CEID
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
268
< L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier00n" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
4-2 S6F11 H<-E Substrate Location Unoccupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 411 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L 3 // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
4-3 S6F11 H<-E Substrate AT WORK < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 403 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
269
<L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
4-4 S6F11 H<-E Substrate Location Occupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 410 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
4-5
S6F11 H<-E Carrier Closed < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 221 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier00n" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
270
> > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
4-6 S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
4-7 S6F11 H<-E PRJob Processing < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 602 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID <A[n] "PROCESSING" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model <A[n]> // recipe ID for this process job > > > > > S6F12 H->E PRJob Processing Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
271
4-8 S6F11 H<-E Substrate In Process < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 404 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
5-1
S6F11 H<-E TransferBlocked < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[0]> // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
5-2 S6F11 H<-E MaterialHasArrived < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
272
< U1[1] 300 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[0]> // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
6-1 S6F11 H<-E Waiting for Host < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 214 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID <U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
6-2 S6F11 H<-E Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 227 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
273
<U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID <U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
6-3
S3F17 H->E ProceedWithCarrier < S3F17 W < L 5 < A[n] "PROCEEDWITHCARRIER" > // DATAID < A[n] "ProceedWithCarrier" > // CARRIERACTION < A[n] > // Carrier ID < U1[1] 1 > // PTN < L 2
< L 2 < A[n] �ContentMap�> // CATTRID < L n
< A[n] �Carrier00Nwf01�> // CATTRDATA : :
< A[n] �Carrier00Nwf25�> // CATTRDATA >
> < L 2
< A[n] "Usage" > // CATTRID < A[n] "PRUDUCT" > // CATTRDATA > > >
> S3F18 H<-E Ack < S3F18 < L 2 < U1[1] 0 > // CAACK < L > > >
6-4 S6F11 H<-E ID Verification OK < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 215 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
274
<U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
7-1 S6F11 H<-E BufferCapacityChange < S6F11 W
< A[n] > // DATAID < U1[1] 275 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 510 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <L //BufferPartitionInfo <A[n]> // PartitionID- ID of Partition <A[n]> // PartitionType <U1[1]> // Available Physical Partition Capacity <U1[1]> // Partition Capacity <U1[1]> // UnAllocated Partition Capacity > > >
> >
S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
7-2 S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
275
<A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
7-3 S6F11 H<-E Not Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 228 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
7-4 S6F11 H<-E ReadyToLoad < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 2 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
276
> > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
8-1 S7F19 H->E Current EPPD Request < S7F19 W > S7F20 H<-E Ack < S7F20 < L n < A[n] > // PPID : : < A[n] > // PPID > >
8-2 S7F1 H->E Process Program Load Inquire < S7F1 W < L 2 < A[n] > // PPID < U2[1] > // Length > > S7F2 H<-E Ack < S7F2 < B[1] 0 > // PPGNT >
8-3 S7F23 H->E Process Program Send < S7F23 W < L 4 < A[n] > // PPID < A[n] > // MDLN < A[n] > // SOFTREV < L n < L 2 < ? > // CCODE < L n < ? > // PPARM : : < ? > // PPARM > > : : < L 2 < ? > // CCODE < L n < ? > // PPARM : : < ? > // PPARM
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
277
> > > > > S7F24 H<-E Ack < S7F24 < B[1] 0 > // ACKC7 >
8-4
S7F27 H<-E Process Program Verification Send < S7F27 W < L 2 < A[n] > // PPID < L > // No Error > S7F28 H->E Ack < S7F28 >
9-1 S16F21 H->E PR Get Space < S16F21 W > S16F22 H<-E PR Get Space Response < S16F22 < U1[1] > // PRJOBSPACE >
9-2 S1F3 H->E CJ Queue Space < S1F3 W < L 1 < U2[1] > // SVID > > S1F4 H<-E Selected Equipment Status Data < S1F4 < U1[1] > // SV >
9-3 S16F15 H->E PRJobMultiCreate < S16F15 W < L < A[n] > // DATAID < L 1 < L 6 < A[n] "PRJob00n" > // PRJobID < B[1] 13 > // MF < L n // # is numbers of carrier < L 2 < A[n] "Carrier001" > // CarrierID < L < U1[1] 1 > : < U1[1] 25 > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
278
> : : < L < A[n] "Carrier00n" > // CarrierID < L < U1[1] 1 > : < U1[1] 25 > > > > < L < A[n] > // PRRECIPEMETHOD < A[n] > // RECIPESPEC < L < L < L < A[n] > // RCPPARNM < ? > // RCPPARVAL > : : < L < A[n] > // RCPPARNM < ? > // RCPPARVAL > > > > < Bool TRUE > < L > > > > > S16F16 H<-E RPJobMultiCreate Acknowledge < S16F16 <L2
<L <A �PRJob00n�> //PROCESSJOB ID
> <L
<Bool TRUE> <L >
> >
>
9-4 S6F11 H<-E PRJob Pooled < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 601 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob00n" > // Process Job ID <A[n] "PRJOBPOOLED" >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
279
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model <A[n]> // recipe ID for this process job > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
9-5
S14F9 H->E CJCreate < S14F9 W < L 3 < A[n] "Equipment" > // OBJSPEC < A[n] "ControlJob" > // ObjType < L 6 < L 2 < A[n] "ControlJobID" > // ATTRID < A[n] "ControlJob00n" > // ATTRDATA > < L 2 < A[n] "ProcessingCtrlSpec" > // ATTRID < L n < A[n] "PRJob00m" > // ATTRDATA : : < A[n] "PRJob00n" > // ATTRDATA > > < L 2 < A[n] "CarrierInputSpec" > // ATTRID < L n < A[n] "Carrier00m" > // ATTRDATA : : < A[n] "Carrier00n" > // ATTRDATA > > < L 2 < A[n] "MtrlOutSpec" > // ATTRID < A[0] > // ATTRDATA > < L 2 < A[n] "ProcessOrderMgmt" > // ATTRID < A[0] "LIST" > // ATTRDATA > < L 2 < A[n] "StartMethod" > // ATTRID < Bool TRUE > // ATTRDATA > > > > S14F10 H<-E Ack < S14F10 < L 3 < A[n] "EQUIPMENT" > // OBJSPEC < L 6 < L 2
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
280
< A[n] "ControlJobID" > // ATTRID < A[n] "ControlJob00n" > // ATTRDATA > < L 2 < A[n] "ProcessingCtrlSpec" > // ATTRID < L n < A[n] "PRJob00m" > // ATTRDATA : : < A[n] "PRJob00n" > // ATTRDATA > > < L 2 < A[n] "CarrierInputSpec" > // ATTRID < L n < A[n] "Carrier00m" > // ATTRDATA : : < A[n] "Carrier00n" > // ATTRDATA > > < L 2 < A[n] "MtrlOutSpec" > // ATTRID < A[0] > // ATTRDATA > < L 2 < A[n] "ProcessOrderMgmt" > // ATTRID < A[0] "LIST" > // ATTRDATA > < L 2 < A[n] "StartMethod" > // ATTRID < Bool TRUE > // ATTRDATA > > < L 2 < U1[1] 0 > // OBJACK < L > > > >
9-6 S6F11 H<-E Queued < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 500 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob00n" > // Control Job ID <U1[1] 1 > // Current State of the CJ model > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 >
>
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
281
10-1 S6F11 H<-E Substrate ProcessingComplete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 405 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
10-2 S6F11 H<-E Approching Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 250 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 501 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute <U1[1] 5 > // Carrier Complete remain time [min] > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
10-3 S6F11 H<-E PJ Processing Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 605 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
282
<A[n] "PRJob00n" > // Process Job ID <A[n] "PROCCOMPLETE" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model <A[n]> // recipe ID for this process job > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
11-1 S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
11-2
S6F11 H<-E Carrier Opened < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 220 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
283
> > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
11-3 S6F11 H<-E Substrate Location Unoccupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 411 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L 3 // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
11-4
S6F11 H<-E Substrate AT DESTINATION < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 406 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
284
11-5
S6F11 H<-E Substrate Location Occupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 410 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
11-6
S6F11 H<-E PJ Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 606 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob00n" > // Process Job ID <A[n] "PRJOBCOMPLETE" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model <A[n]> // recipe ID for this process job > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
11-7 S6F11 H<-E CJ Complete
< S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 503 > // CEID < L 1
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
285
< L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob001"> // Control Job ID <U1[1] 6 > // Current State of the CJ model > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
11-8
S14F11 H->E Delete Request < S14F11 W < L 2 < A[n] "EQUIPMENT" > // OBJSPEC < L 1 < L 2 < A[n] "ControlJob" > // ATTRID < A[n] "ControlJob001" > // ATTRDATA > > > > S14F12 H<-E Ack < S14F12 < L 2 < L > < L 2 < U1[1] 0 > // OBJACK < L > > > >
11-9 S6F11 H<-E Deleted < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 504 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob001" > // Control Job ID <U1[0]> // Current State of the CJ model > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
286
>
11-10 S6F11 H<-E Carrier Closed < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 221 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier00n" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
11-11
S6F11 H<-E CarrierComplete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 209 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
11-12
S6F11 H<-E Carrier Location Change
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
287
< S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
12-1 S3F17 H->E CarrierOut < S3F17 W
< L 5 < A[n] > // DATAID < A "CARRIEROUT" > // CARRIERACTION < A[n] > // CARRIERSPEC(CarrierID) < U1[0] > // PTN < L > >
>
< S3F18 < L 2 < U1[1] > // CAACK < L > >
>
12-2 S6F11 H<-E TransferBlocked < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
288
> > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
12-3
S6F11 H<-E Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 227 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
12-4 S6F11 H<-E Reserved <S6F11 W <L <U2 1> <U2 241> //Event= NotReservedToReserved <L <L <U2 515> //Report 515 <L <A[16] > //GEM timestamp- CLOCK <U1[1] 1> // PortTransfer State <U1[1] 1> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[1] 0> // Port Reservation State > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
289
12-5
S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
12-6 S6F11 H<-E BufferCapacityChange < S6F11 W
< A[n] > // DATAID < U1[1] 275 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 510 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <L //BufferPartitionInfo <A[n]> // PartitionID- ID of Partition <A[n]> // PartitionType <U1[1]> // Available Physical Partition Capacity <U1[1]> // Partition Capacity <U1[1]> // UnAllocated Partition Capacity > > >
> >
S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 >
> 12-7
S6F11 H<-E ReadyToUnload < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 206 > // CEID
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
290
< L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 3 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier00n" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
12-8 S6F11 H<-E Not Reserved <S6F11 W <L <U2 1> <U2 242> //Event= ReservedToNotReserved <L <L <U2 515> //Report 515 <L <A[16] > //GEM timestamp- CLOCK <U1[1] 1> // PortTransfer State <U1[1] 1> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[1] 1> // Port Reservation State > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
12-9 S6F11 H<-E TransferBlocked < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 207 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier00n" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
291
<U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
12-10 S6F11 H<-E MaterialHasRemoved < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 300 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier00n" > // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
12-11 S6F11 H<-E Deleted < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 290 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier00n"> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
292
> S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
12-12 S6F11 H<-E Deleted < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 407 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
12-13 S6F11 H<-E Not Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 228 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
293
12-14
S6F11 H<-E ReadyToLoad < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 2 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
13-1 S6F11 H<-E Selected < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 501 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob001" > // Control Job ID <U1[1] 2 > // Current State of the CJ model > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
13-2 S6F11 H<-E Execution began < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 502 > // CEID < L 1
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
294
< L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob001" > // Control Job ID <U1[1] 4 > // Current State of the CJ model > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
13-3 S6F11 H<-E PRJob Setup < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 601 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID <A[n] "SETTINGUP" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model <A[n]> // recipe ID for this process job > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
14-1
S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
295
> S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
14-2
S6F11 H<-E Carrier Opened < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 220 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
14-3 S6F11 H<-E Waiting for Host < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 222 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 502 > < L 9 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 2 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute <A[19] �VERIFICATION NEEDED� > // Reason < L n < U1[1] 1 > // Slotmap : : < U1[1] 1 > // Slotmap > > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
296
> > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
14-4 S6F11 H<-E Substrate At Source < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 402 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 531 > < L 7 < A[16] > // GEM timestamp <A[n]> // LotID attribute <L // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > <A[n]> // SubstLocIDAttribute <U1[1] 1 > // SubstProc State Attribute <U1[1] 1 > // SubstState Attribute <A[n] "PRDUCT" > // SubstUsage Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
14-5 S6F11 H<-E Substrate Occupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 410 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
297
S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
14-6 S3F17 H->E ProceedWithCarrier < S3F17 W < L 5 < A[n] "PROCEEDWITHCARRIER" > // DATAID < A[n] "ProceedWithCarrier" > // CARRIERACTION < A[n] > // Carrier ID < U1[1] 1 > // PTN < L > > > S3F18 H<-E Ack < S3F18 < L 2 < U1[1] 0 > // CAACK < L > > >
14-7 S6F11 H<-E Slot Map Verification OK < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 223 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
15-1
S6F11 H<-E CarrierInAccsess < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 208 > // CEID < L 1 < L 2
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
298
< U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier00n" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
15-2 S6F11 H<-E Substrate Location Unoccupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 411 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L 3 // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
15-3 S6F11 H<-E Substrate AT WORK < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 403 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
299
: : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
15-4 S6F11 H<-E Substrate Location Occupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 410 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
15-5 S6F11 H<-E Carrier Closed < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 221 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier00n" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
300
> > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
15-6 S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
15-7 S6F11 H<-E PRJob Processing < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 602 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID <A[n] "PROCESSING" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model <A[n]> // recipe ID for this process job > > > > > S6F12 H->E PRJob Processing Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
15-8
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
301
S6F11 H<-E Substrate In Process < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 404 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
16-1
S6F11 H<-E Substrate ProcessingComplete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 405 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
16-2 S6F11 H<-E Approching Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 250 > // CEID < L 1 < L 2
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
302
< U1 RPTID 501 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute <U1[1] 5 > // Carrier Complete remain time [min] > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
16-3 S6F11 H<-E PJ Processing Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 605 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob00n" > // Process Job ID <A[n] "PROCCOMPLETE" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model <A[n]> // recipe ID for this process job > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
17-1
S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
303
> S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
17-2
S6F11 H<-E Carrier Opened < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 220 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
17-3 S6F11 H<-E Substrate Location Unoccupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 411 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L 3 // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
304
17-4
S6F11 H<-E Substrate AT DESTINATION < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 406 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
17-5 S6F11 H<-E Substrate Location Occupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 410 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
17-6
S6F11 H<-E PJ Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
305
< U1[1] 606 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob00n" > // Process Job ID <A[n] "PRJOBCOMPLETE" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model <A[n]> // recipe ID for this process job > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
17-7 S6F11 H<-E CJ Complete
< S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 503 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob001"> // Control Job ID <U1[1] 6 > // Current State of the CJ model > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
17-8
S14F11 H->E Delete Request < S14F11 W < L 2 < A[n] "EQUIPMENT" > // OBJSPEC < L 1 < L 2 < A[n] "ControlJob" > // ATTRID < A[n] "ControlJob001" > // ATTRDATA > > > > S14F12 H<-E Ack < S14F12 < L 2 < L >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
306
< L 2 < U1[1] 0 > // OBJACK < L > > > >
17-9 S6F11 H<-E Deleted < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 504 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob001" > // Control Job ID <U1[0]> // Current State of the CJ model > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
17-10 S6F11 H<-E Carrier Closed < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 221 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier00n" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
17-11
S6F11 H<-E CarrierComplete
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
307
< S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 209 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
17-12 S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
18-1
S14F3 H->E SetAttr for ControlJob Object < S14F3 W < L 4 < A[0] > // OBJSPEC < A "ControlJob" > // OBJTYPE < L 1 < A[n] > // ControlJobID > < L 1 < L 2
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
308
< A "Damming" > < Bool FALSE > > > > S14F4 H<-E SetAttr Data < S14F4 H<-E < L 2 < L 1 < L 2 < A[n] > // ControlJobID < L 1 < L 2 < A "Damming" > // ATTRID < Bool FALSE > // ATTRDATA > > > > < L 2 < U1[1] > // OBJACK < L 0 > > > >
18-2 S6F11 H<-E Selected < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 501 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob001" > // Control Job ID <U1[1] 2 > // Current State of the CJ model > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
18-3 S6F11 H<-E Execution began < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 502 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
309
<A[n] "ControlJob001" > // Control Job ID <U1[1] 4 > // Current State of the CJ model > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
18-4 S6F11 H<-E PRJob Setup < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 601 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID <A[n] "SETTINGUP" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model <A[n]> // recipe ID for this process job > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 >
>
19-1 S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
310
< B[1] 0 > >
19-2
S6F11 H<-E Carrier Opened < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 220 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
19-3 S6F11 H<-E Waiting for Host < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 222 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 502 > < L 9 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 2 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute <A[19] �VERIFICATION NEEDED� > // Reason < L n < U1[1] 1 > // Slotmap : : < U1[1] 1 > // Slotmap > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
311
< B[1] 0 > >
19-4 S6F11 H<-E Substrate At Source < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 402 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 531 > < L 7 < A[16] > // GEM timestamp <A[n]> // LotID attribute <L // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > <A[n]> // SubstLocIDAttribute <U1[1] 1 > // SubstProc State Attribute <U1[1] 1 > // SubstState Attribute <A[n] "PRDUCT" > // SubstUsage Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
19-5 S6F11 H<-E Substrate Occupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 410 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
312
19-6
S3F17 H->E ProceedWithCarrier < S3F17 W < L 5 < A[n] "PROCEEDWITHCARRIER" > // DATAID < A[n] "ProceedWithCarrier" > // CARRIERACTION < A[n] > // Carrier ID < U1[1] 1 > // PTN < L > > > S3F18 H<-E Ack < S3F18 < L 2 < U1[1] 0 > // CAACK < L > > >
19-7 S6F11 H<-E Slot Map Verification OK < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 223 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
2.2.6. E84 Fail (1)キャリア搬入時 キャリアハンドオフ失敗
1-1 S6F11 H<-E Ready To Load < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
313
<A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 2 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
1-2 S6F11 H<-E TransferBlocked < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 207 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1> // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
314
1-3 S5F1 H<-E Carrier Transfer Failed (Alarm) <S5F1 W <L 3 <B[1]> // ALCD <U4[1]> // ALID <A[40]> // ALTX > > S5F2 H->E ON-LINE Acknowledge <S5F2 <B[1] 0> //ACKC5 >
2-1 S5F1 H<-E Carrier Transfer Fail Recover <S5F1 W <L 3 <B[1]> // ALCD <U4[1]> // ALID <A[40]> // ALTX > > S5F2 H->E ON-LINE Acknowledge <S5F2 <B[1] 0> //ACKC5 >
3-1
S6F11 H<-E MaterialHasArrived < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 300 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[0]> // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
315
(2)キャリア搬出時 キャリアハンドオフ失敗
1-1 S6F11 H<-E Ready To Unload < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 206 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 3 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
1-2 S6F11 H<-E TransferBlocked < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 207 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
1-3 S5F1 H<-E Carrier Transfer Failed (Alarm) < S5F1 W < L 3 < B[1] > // ALCD
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
316
< U4[1] > // ALID < A[40] > // ALTX > > S5F2 H->E ON-LINE Acknowledge <S5F2 < B[1] 0 > //ACKC5 >
2-1 S5F1 H<-E Carrier Transfer Fail Recover <S5F1 W <L 3 <B[1]> // ALCD <U4[1]> // ALID <A[40]> // ALTX > > S5F2 H->E ON-LINE Acknowledge <S5F2 <B[1] 0> //ACKC5 >
3-1
S6F11 H<-E Material Has Removed < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 300 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
3-2 S6F11 H<-E Substrate Unoccupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 411 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
317
<A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
3-3 S6F11 H<-E Deleted < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 290 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001"> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
3-4 S6F11 H<-E Deleted < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 407 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
318
> > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
3-5 S6F11 H<-E Not Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 228 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
3-6 S6F11 H<-E Ready To Load < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 2 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
319
2.2.7. スロットマップ照合エラー (1)スロットマップリードエラー発生後 ジョブキャンセル
1-1 S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
1-2 S6F11 H<-E Carrier Opened < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 220 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1] > // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
1-3 S5F1 H<-E Slot Map Read Failed (Alarm) < S5F1 W
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
320
< L 3 < B[1] > // ALCD < U4[1] > // ALID < A[40] > // ALTX > > S5F2 H->E Acknowledge <S5F2 < B[1] 0 > //ACKC5 >
1-4 S6F11 H<-E Waiting for Host < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 222 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 502 > < L 10 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1] > // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 2 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute <A[9] �READ FAIL� > // Reason < L n < U1[1] 0 > // Slotmap 0: Undefined : 1: Empty : 2: Not Empty : 3: Normal : 4: Double Slotted < U1[1] 0 > // Slotmap 5: Cross Slotted > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 >
1-5 S3F17 H->E Cancel Carrier < S3F17 W < L 5 < A[n] "CANCELCARRIER" > // DATAID < A[n] "CancelCarrier" > // CARRIERACTION < A[n] "Carrier001" > // Carrier ID < U1[1] 1 > // PTN < L > > > S3F18 H<-E Ack < S3F18 < L 2 < B[1] 0 > // CAACK < L > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
321
>
1-6 S6F11 H<-E Slot Map Verification NG < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 223 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 4 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
1-7 S6F11 H<-E Carrier Closed < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 221 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 4 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
1-8 S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
322
< U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
2-1 S3F17 H->E CarrierOut < S3F17 W
< L 5 < A[n] > // DATAID < A "CARRIEROUT" > // CARRIERACTION < A[n] > // CARRIERSPEC(CarrierID) < U1[0] > // PTN < L > >
> S3F18 H<-E Ack < S3F18
< L 2 < U1[1] > // CAACK < L > >
>
2-2 S6F11 H<-E TransferBlocked < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 207 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 4 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
323
> S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
2-3 S6F11 H<-E Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 227 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 4 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
2-4 S6F11 H<-E Reserved < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 241 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID < > // CarrierID < > // CarrierIDStatus Attribute < > // SlotMapStatus Attribute < > // Port Association State VID < > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
2-5 S6F11 H<-E CarrierLocationChange
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
324
< S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
2-6 S6F11 H<-E BufferCapacityChange < S6F11 W
< A[n] > // DATAID < U1[1] 275 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 510 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <L //BufferPartitionInfo <A[n]> // PartitionID- ID of Partition <A[n]> // PartitionType <U1[1]> // Available Physical Partition Capacity <U1[1]> // Partition Capacity <U1[1]> // UnAllocated Partition Capacity > > >
> > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
2-7 S6F11 H<-E Ready To Unload < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 206 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 3 > // PortTransfer State
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
325
<U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 4 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
2-8 S6F11 H<-E Not Reserved < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 242 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID < > // CarrierID < > // CarrierIDStatus Attribute < > // SlotMapStatus Attribute < > // Port Association State VID < > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
3-1 S16F27 H->E CJStop < S16F27 W < L 3 < A[n] > // CTLJOBID < U1[1] 4 > // CTLJOBCMD < L > > > S16F28 H->E Ack < S16F28 < B[1] 0 > // ACKA < L > >
3-2 S6F11 H<-E PJ Stopping < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
326
< U1[1] 606 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID <A[n] "PRJOBSTOPPING" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model <A[n]> // recipe ID for this process job > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
3-3 S6F11 H<-E PJ Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 606 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID <A[n] "PRJOBCOMPLETE" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model <A[n]> // recipe ID for this process job > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
3-4 S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
327
> > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
3-5 S6F11 H<-E Carrier Opened < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 220 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
3-6 S6F11 H<-E Substrate Location Unoccupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 411 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L 3 // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
328
3-7 S6F11 H<-E Substrate AT DESTINATION < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 406 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
3-8 S6F11 H<-E Substrate Location Occupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 410 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
3-9 S6F11 H<-E CJ Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 503 > // CEID
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
329
< L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob001"> // Control Job ID <U1[1] 6 > // Current State of the CJ model > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
3-10 S14F11 H->E Delete Request < S14F11 W < L 2 < A[n] "EQUIPMENT" > // OBJSPEC < L 1 < L 2 < A[n] "ObjID" > // ATTRID < A[n] "ControlJob001" > // ATTRDATA > > > > S14F12 H<-E Ack < S14F12 < L 2 < L > < L 2 < U1[1] 0 > // OBJACK < L > > > >
3-11 S6F11 H<-E Deleted < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 504 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob001" > // Control Job ID <U1[0]> // Current State of the CJ model > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
330
3-12 S6F11 H<-E Carrier Closed < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 221 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier00n" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
3-13 S6F11 H<-E Carrier Stopped < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 211 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 4 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
3-14 S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
331
< U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
3-15 S16F5 H->E PJ Cancel Request < S16F5 W < L 4 < A[n] �CANCEL� > // DATAID < A[n] �PRJob001� > // PRJOBID < A [n] �Cancel� > // PRCMDNAME <L> > > S16F6 H->E Ack < S16F6 <L 2 < B[1] 1 > // ACKA <L> > >
3-16 S6F11 H<-E PJ Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 606 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID <A[n] "PRJOBCOMPLETE" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model <A[n]> // recipe ID for this process job > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
332
(2)スロットマップ ホスト照合異常発生後 ジョブキャンセル
1-1 S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
1-2 S6F11 H<-E Carrier Opened < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 220 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
1-3 S6F11 H<-E Waiting for Host < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 222 > // CEID
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
333
< L 1 < L 2 < U1 RPTID 502 > < L 10 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 2 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute <A[n] �VERIFICATION NEEDED� > // Reason < L n < U1[1] 0 > // Slotmap 0: Undefined : 1: Empty : 2: Not Empty : 3: Normal : 4: Double Slotted < U1[1] 0 > // Slotmap 5: Cross Slotted > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
1-4 S6F11 H<-E Substarate At Source < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 402 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 531 > < L 7 < A[16] > // GEM timestamp <A[n]> // LotID attribute <L // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > <A[n]> // SubstLocIDAttribute <U1[1] 1 > // SubstProc State Attribute <U1[1] 1 > // SubstState Attribute <A[n] "PRDUCT" > // SubstUsage Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
334
1-5 S6F11 H<-E Substarate Occupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 410 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
1-6 S3F17 H->E Cancel Carrier < S3F17 W < L 5 < A[n] "CANCELCARRIER" > // DATAID < A[n] "CancelCarrier" > // CARRIERACTION < A[n] "Carrier001" > // Carrier ID < U1[1] 1 > // PTN < L > > > S3F18 H<-E Ack < S3F18 < L 2 < B[1] 0 > // CAACK < L > > >
1-7 S6F11 H<-E Slot Map Verification NG < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 223 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
335
<U1[1] 4 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
1-8 S6F11 H<-E Carrier Closed < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 221 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
1-9 S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
336
< S6F12 < B[1] 0 > >
2-1 S3F17 H->E CarrierOut < S3F17 W
< L 5 < A[n] > // DATAID < A "CARRIEROUT" > // CARRIERACTION < A[n] > // CARRIERSPEC(CarrierID) < U1[0] > // PTN < L > >
> S3F18 H<-E Ack < S3F18
< L 2 < U1[1] > // CAACK < L > >
>
2-2 S6F11 H<-E TransferBlocked < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 207 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
2-3 S6F11 H<-E Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 227 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
337
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
2-4 S6F11 H<-E Reserved < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 241 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID < > // CarrierID < > // CarrierIDStatus Attribute < > // SlotMapStatus Attribute < > // Port Association State VID < > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
2-5 S6F11 H<-E CarrierLocationChange < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
338
> S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
2-6 S6F11 H<-E BufferCapacityChange < S6F11 W
< A[n] > // DATAID < U1[1] 275 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 510 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <L //BufferPartitionInfo <A[n]> // PartitionID- ID of Partition <A[n]> // PartitionType <U1[1]> // Available Physical Partition Capacity <U1[1]> // Partition Capacity <U1[1]> // UnAllocated Partition Capacity > > >
> > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
2-7 S6F11 H<-E Ready To Unload < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 206 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 3 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
2-8 S6F11 H<-E Not Reserved < S6F11 W
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
339
< L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 242 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID < > // CarrierID < > // CarrierIDStatus Attribute < > // SlotMapStatus Attribute < > // Port Association State VID < > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
3-1 S16F27 H->E CJStop < S16F27 W < L 3 < A[n] > // CTLJOBID < U1[1] 4 > // CTLJOBCMD < L > > > S16F28 H->E Ack < S16F28 < B[1] 0 > // ACKA < L > >
3-2 S6F11 H<-E PJ Stopping < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 606 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID <A[n] "PRJOBSTOPPING" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model <A[n]> // recipe ID for this process job > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
340
3-3 S6F11 H<-E PJ Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 606 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID <A[n] "PRJOBCOMPLETE" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model <A[n]> // recipe ID for this process job > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
3-4 S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
3-5 S6F11 H<-E Carrier Opened < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 220 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
341
< L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
3-6 S6F11 H<-E Substrate Location Unoccupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 411 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L 3 // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
3-7 S6F11 H<-E Substrate AT DESTINATION < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 406 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
342
> > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
3-8 S6F11 H<-E Substrate Location Occupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 410 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
3-9 S6F11 H<-E CJ Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 503 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob001"> // Control Job ID <U1[1] 6 > // Current State of the CJ model > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
3-10 S14F11 H->E Delete Request
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
343
< S14F11 W < L 2 < A[n] "EQUIPMENT" > // OBJSPEC < L 1 < L 2 < A[n] "ObjID" > // ATTRID < A[n] "ControlJob001" > // ATTRDATA > > > > S14F12 H<-E Ack < S14F12 < L 2 < L > < L 2 < U1[1] 0 > // OBJACK < L > > > >
3-11 S6F11 H<-E Deleted < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 504 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob001" > // Control Job ID <U1[0]> // Current State of the CJ model > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
3-12 S6F11 H<-E Carrier Closed < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 221 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier00n" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
344
> > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
3-13 S6F11 H<-E Carrier Stopped < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 211 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 4 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
3-14 S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
345
3-15 S16F5 H->E PJ Cancel Request < S16F5 W < L 4 < A[n] �CANCEL� > // DATAID < A[n] �PRJob001� > // PRJOBID < A [n] �Cancel� > // PRCMDNAME <L> > > S16F6 H->E Ack < S16F6 <L 2 < B[1] 1 > // ACKA <L> > >
3-16 S6F11 H<-E PJ Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 606 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID <A[n] "PRJOBCOMPLETE" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model <A[n]> // recipe ID for this process job > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
346
(3)ダブルスロット/クロススロット発生後、ジョブキャンセル
1-1 S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
1-2 S6F11 H<-E Carrier Opened < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 220 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
1-3 S5F1 H<-E Improper Wafer Position (Alarm) < S5F1 W < L 3 < B[1] > // ALCD < U4[1] > // ALID
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
347
< A[40] > // ALTX > > S5F2 H->E Acknowledge <S5F2 < B[1] 0 > //ACKC5 >
1-4 S6F11 H<-E Waiting for Host < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 222 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 502 > < L 10 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 2 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute <A[n] �IMPROPER WAFER POSITION� > // Reason < L n < U1[1] 0 > // Slotmap 0: Undefined : 1: Empty : 2: Not Empty : 3: Normal : 4: Double Slotted < U1[1] 0 > // Slotmap 5: Cross Slotted > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
1-5 S6F11 H<-E Substarate At Source < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 402 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 531 > < L 7 < A[16] > // GEM timestamp <A[n]> // LotID attribute <L // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > <A[n]> // SubstLocIDAttribute
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
348
<U1[1] 1 > // SubstProc State Attribute <U1[1] 1 > // SubstState Attribute <A[n] "PRDUCT" > // SubstUsage Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
1-6 S6F11 H<-E Substarate Occupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 410 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
1-7 S3F17 H->E Cancel Carrier < S3F17 W < L 5 < A[n] "CANCELCARRIER" > // DATAID < A[n] "CancelCarrier" > // CARRIERACTION < A[n] "Carrier001" > // Carrier ID < U1[1] 1 > // PTN < L > > > S3F18 H<-E Ack < S3F18 < L 2 < B[1] 0 > // CAACK < L > > >
1-8 S6F11 H<-E Slot Map Verification NG < S6F11 W < L 3
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
349
< A[n] > // DATAID < U1[1] 223 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 4 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
1-9 S6F11 H<-E Carrier Closed < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 221 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
1-10 S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
350
<L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
2-1 S3F17 H->E CarrierOut < S3F17 W
< L 5 < A[n] > // DATAID < A "CARRIEROUT" > // CARRIERACTION < A[n] > // CARRIERSPEC(CarrierID) < U1[0] > // PTN < L > >
> S3F18 H<-E Ack < S3F18
< L 2 < U1[1] > // CAACK < L > >
>
2-2 S6F11 H<-E TransferBlocked < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 207 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
2-3 S6F11 H<-E Associated
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
351
< S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 227 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
2-4 S6F11 H<-E Reserved < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 241 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID < > // CarrierID < > // CarrierIDStatus Attribute < > // SlotMapStatus Attribute < > // Port Association State VID < > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
2-5 S6F11 H<-E CarrierLocationChange < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
352
<A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
2-6 S6F11 H<-E BufferCapacityChange < S6F11 W
< A[n] > // DATAID < U1[1] 275 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 510 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <L //BufferPartitionInfo <A[n]> // PartitionID- ID of Partition <A[n]> // PartitionType <U1[1]> // Available Physical Partition Capacity <U1[1]> // Partition Capacity <U1[1]> // UnAllocated Partition Capacity > > >
> > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
2-7 S6F11 H<-E Ready To Unload < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 206 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 3 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
353
> > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
2-8 S6F11 H<-E Not Reserved < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 242 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID < > // CarrierID < > // CarrierIDStatus Attribute < > // SlotMapStatus Attribute < > // Port Association State VID < > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
3-1 S16F27 H->E CJStop < S16F27 W < L 3 < A[n] > // CTLJOBID < U1[1] 4 > // CTLJOBCMD < L > > > S16F28 H->E Ack < S16F28 < B[1] 0 > // ACKA < L > >
3-2 S6F11 H<-E PJ Stopping < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 606 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
354
<A[n] "PRJOBSTOPPING" > // PRJobState attribute- Current State of the PJ model
<A[n]> // recipe ID for this process job > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
3-3 S6F11 H<-E PJ Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 606 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID <A[n] "PRJOBCOMPLETE" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model <A[n]> // recipe ID for this process job > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
3-4 S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
355
3-5 S6F11 H<-E Carrier Opened < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 220 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
3-6 S6F11 H<-E Substrate Location Unoccupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 411 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L 3 // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
3-7 S6F11 H<-E Substrate AT DESTINATION < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 406 > // CEID < L 1
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
356
< L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
3-8 S6F11 H<-E Substrate Location Occupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 410 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
3-9
S6F11 H<-E CJ Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 503 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob001"> // Control Job ID <U1[1] 6 > // Current State of the CJ model >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
357
> > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
3-10 S14F11 H->E Delete Request < S14F11 W < L 2 < A[n] "EQUIPMENT" > // OBJSPEC < L 1 < L 2 < A[n] "ObjID" > // ATTRID < A[n] "ControlJob001" > // ATTRDATA > > > > S14F12 H<-E Ack < S14F12 < L 2 < L > < L 2 < U1[1] 0 > // OBJACK < L > > > >
3-11 S6F11 H<-E Deleted < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 504 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob001" > // Control Job ID <U1[0]> // Current State of the CJ model > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
3-12 S6F11 H<-E Carrier Closed < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 221 > // CEID < L 1 < L 2
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
358
< U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier00n" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
3-13 S6F11 H<-E Carrier Stopped < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 211 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 4 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
3-14 S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
359
<A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
3-15 S16F5 H->E PJ Cancel Request < S16F5 W < L 4 < A[n] �CANCEL� > // DATAID < A[n] �PRJob001� > // PRJOBID < A [n] �Cancel� > // PRCMDNAME <L> > > S16F6 H->E Ack < S16F6 <L 2 < B[1] 1 > // ACKA <L> > >
3-16 S6F11 H<-E PJ Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 606 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID <A[n] "PRJOBCOMPLETE" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model <A[n]> // recipe ID for this process job > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
360
2.2.8. キャリア ID照合失敗
(1)キャリア ID読み込み失敗
1-1
S5F1 H<-E Alarm Report Send <S5F1 W
<L, 3 < B > // ALCD
< U4 > // ALID < A[40] > // ALTX > > S5F2 H<-E Ack < S5F2 < B[1] 0 > // ACKC5 >
1-2
S6F11 H<-E Carrier ID Read Fail < S6F11 W
< L, 3 < U4 0 > // DATAID < U4 295 > // CEID < L, 1 < L, 2 < U4 500 > // RPTID < L, 9 > <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1> // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1> // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
3-1
S3F17 H->E CancelCarrier at Port < S3F17 W
< L < A[n] "CANCELCARRIERATPORT" > // DATAID < A[n] "CancelCarrieratPort" > // CARRIERACTION < A[n] > // Carrier ID < U1[0] > // PTN < L >
> >
S3F18 H<-E Ack < S3F18
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
361
< L < U1[1] 0 > // CAACK < L >
> >
3-2
S6F11 H<-E ReadyToUnload < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 206 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 3 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
362
(2)キャリアIDの不一致
1-1
S6F11 H<-E Waiting for Host < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 214 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID <U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
1-2
S6F11 H<-E Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 227 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID <U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
363
1-3 S3F17 H->E CancelCarrier
< S3F17 W < L
< A[n] "CANCELCARRIER" > // DATAID < A[n] "CancelCarrier" > // CARRIERACTION < A[n] > // Carrier ID < U1[0] > // PTN < L >
> >
S3F18 H<-E Ack
< S3F18 < L
< U1[1] 0 > // CAACK < L >
> >
1-4 S6F11 H<-E ID Verification Failed < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 216 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID <U1[1] 4 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
2-1
S6F11 H<-E ReadyToUnload < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 206 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 3 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
364
<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
365
2.2.9. ジョブ作成失敗
(1)プロセスジョブ作成失敗
1-1 S16F21 H->E PR Get Space < S16F21 W > S16F22 H<-E PR Get Space Response < S16F22 < U1[1] > // PRJOBSPACE >
1-2 S1F3 H->E CJ Queue Space < S1F3 W < L 1 < U2[1] > // SVID > > S1F4 H<-E Selected Equipment Status Data < S1F4 < U1[1] > // SV >
1-3 S16F15 H->E PRJobMultiCreate < S16F15 W < L < A[n] > // DATAID < L 1 < L 6 < A[n] "PRJob001" > // PRJobID < B[1] 13 > // MF < L n // # is numbers of carrier < L 2 < A[n] "Carrier001" > // CarrierID < L < U1[1] 1 > : < U1[1] 25 > > > : : < L < A[n] "Carrier00n" > // CarrierID < L < U1[1] 1 > : < U1[1] 25 > > > > < L < A[n] > // PRRECIPEMETHOD < A[n] > // RECIPESPEC < L < L
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
366
< L < A[n] > // RCPPARNM < ? > // RCPPARVAL > : : < L < A[n] > // RCPPARNM < ? > // RCPPARVAL > > > > < Bool TRUE > // Sets start method to autostart < L // PRPAUSEEVENT List of CEID
> > > > > S16F16 H<-E RPJobMultiCreate Acknowledge < S16F16 < L2 < L < A[n] "PRJob001"> // Created PRJobID > < L < B[1] 1 > // ACKA < L > > > >
3a-1 S16F21 H->E PR Get Space < S16F21 W > S16F22 H<-E PR Get Space Response < S16F22 < U1[1] > // PRJOBSPACE >
3a-2 S1F3 H->E CJ Queue Space < S1F3 W < L 1 < U2[1] > // SVID > > S1F4 H<-E Selected Equipment Status Data < S1F4 < U1[1] > // SV >
3a-3 S16F15 H->E PRJobMultiCreate < S16F15 W < L < A[n] > // DATAID < L 1 < L 6 < A[n] "PRJob00n" > // PRJobID
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
367
< B[1] 13 > // MF < L n // # is numbers of carrier < L 2 < A[n] "Carrier001" > // CarrierID < L < U1[1] 1 > : < U1[1] 25 > > > : : < L < A[n] "Carrier00n" > // CarrierID < L < U1[1] 1 > : < U1[1] 25 > > > > < L < A[n] > // PRRECIPEMETHOD < A[n] > // RECIPESPEC < L < L < L < A[n] > // RCPPARNM < ? > // RCPPARVAL > : : < L < A[n] > // RCPPARNM < ? > // RCPPARVAL > > > > < Bool TRUE > < L > > > > > S16F16 H<-E RPJobMultiCreate Acknowledge < S16F16 <L2
<L <A �PRJob00n�> //PROCESSJOB ID
> <L
<Bool TRUE> <L >
> >
>
3a-4 S6F11 H<-E PRJob Pooled < S6F11 W < L 3
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
368
< A[n] > // DATAID < U1[1] 601 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob00n" > // Process Job ID <A[n] "PRJOBPOOLED" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model <A[n]> // recipe ID for this process job > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
3b-1 S3F17 H->E CancelCarrier < S3F17 W < L < A[n] "CANCELCARRIER" > // DATAID < A[n] "CancelCarrier" > // CARRIERACTION < A[n] > // Carrier ID < U1[0] > // PTN < L > > > S3F18 H<-E Ack < S3F18 < L < U1[1] 0 > // CAACK < L > > >
3b-2
S6F11 H<-E TransferBlocked < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
369
> > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
3b-3 S6F11 H<-E Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 227 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
3b-4 S6F11 H<-E Reserved < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 241 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID < > // CarrierID < > // CarrierIDStatus Attribute < > // SlotMapStatus Attribute < > // Port Association State VID < > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
370
3b-5
S6F11 H<-E CarrierLocationChange < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
3b-6 S6F11 H<-E BufferCapacityChange < S6F11 W
< A[n] > // DATAID < U1[1] 275 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 510 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <L //BufferPartitionInfo <A[n]> // PartitionID- ID of Partition <A[n]> // PartitionType <U1[1]> // Available Physical Partition Capacity <U1[1]> // Partition Capacity <U1[1]> // UnAllocated Partition Capacity > > >
> >
S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
3b-7 S6F11 H<-E ReadyToUnload < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 206 > // CEID < L 1 < L 2
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
371
< U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 3 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
3b-8 S6F11 H<-E Not Reserved < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 242 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID < > // CarrierID < > // CarrierIDStatus Attribute < > // SlotMapStatus Attribute < > // Port Association State VID < > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
3b-9
S6F11 H<-E TransferBlocked < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 207 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
372
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
3b-10
S6F11 H<-E MaterialHasRemoved < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 300 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
3b-11
S6F11 H<-E Deleted < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 290 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001"> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
373
> S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
3b-12 S6F11 H<-E Not Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 228 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
3b-13 S6F11 H<-E ReadyToLoad < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 2 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
374
S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
375
(2)コントロールジョブ作成失敗
1-1 S16F21 H->E PR Get Space < S16F21 W > S16F22 H<-E PR Get Space Response < S16F22 < U1[1] > // PRJOBSPACE >
1-2 S1F3 H->E CJ Queue Space < S1F3 W < L 1 < U2[1] > // SVID > > S1F4 H<-E Selected Equipment Status Data < S1F4 < U1[1] > // SV >
1-3 S16F15 H->E PRJobMultiCreate < S16F15 W < L < A[n] > // DATAID < L 1 < L 6 < A[n] "PRJob001" > // PRJobID < B[1] 13 > // MF < L n // # is numbers of carrier < L 2 < A[n] "Carrier001" > // CarrierID < L < U1[1] 1 > : < U1[1] 25 > > > : : < L < A[n] "Carrier00n" > // CarrierID < L < U1[1] 1 > : < U1[1] 25 > > > > < L < A[n] > // PRRECIPEMETHOD < A[n] > // RECIPESPEC < L < L < L < A[n] > // RCPPARNM
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
376
< ? > // RCPPARVAL > : : < L < A[n] > // RCPPARNM < ? > // RCPPARVAL > > > > < Bool TRUE > // Sets start method to autostart < L // PRPAUSEEVENT List of CEID
> > > > > S16F16 H<-E RPJobMultiCreate Acknowledge < S16F16 < L2 < L < A[n] "PRJob001"> // Created PRJobID > < L < B[1] 0 > // ACKA < L > > > >
1-4 S6F11 H<-E PRJob Pooled < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 601 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob00n" > // Process Job ID <A[n] "PRJOBPOOLED" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model <A[n]> // recipe ID for this process job > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
1-5
S14F9 H->E CJCreate < S14F9 W < L 3 < A[n] "Equipment" > // OBJSPEC < A[n] "ControlJob" > // ObjType
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
377
< L 6 < L 2 < A[n] "ObjID" > // ATTRID < A[n] "ControlJob00n" > // ATTRDATA > < L 2 < A[n] "ProcessingCtrlSpec" > // ATTRID < L n < A[n] "PRJob00m" > // ATTRDATA : : < A[n] "PRJob00n" > // ATTRDATA > > < L 2 < A[n] "CarrierInputSpec" > // ATTRID < L n < A[n] "Carrier00m" > // ATTRDATA : : < A[n] "Carrier00n" > // ATTRDATA > > < L 2 < A[n] "MtrlOutSpec" > // ATTRID < A[0] > // ATTRDATA > < L 2 < A[n] "ProcessOrderMgmt" > // ATTRID < A[0] "LIST" > // ATTRDATA > < L 2 < A[n] "StartMethod" > // ATTRID < Bool TRUE > // ATTRDATA > > > > S14F10 H<-E Ack < S14F10 < L 3 < A[n] " ControlJob00n " > // OBJSPEC < L 6 < L 2 < A[n] "ControlJobID" > // ATTRID < A[n] "ControlJob00n" > // ATTRDATA > < L 2 < A[n] "ProcessingCtrlSpec" > // ATTRID < L n < A[n] "PRJob00m" > // ATTRDATA : : < A[n] "PRJob00n" > // ATTRDATA > > < L 2 < A[n] "CarrierInputSpec" > // ATTRID < L n < A[n] "Carrier00m" > // ATTRDATA : : < A[n] "Carrier00n" > // ATTRDATA > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
378
< L 2 < A[n] "MtrlOutSpec" > // ATTRID < A[0] > // ATTRDATA > < L 2 < A[n] "ProcessOrderMgmt" > // ATTRID < A[0] "LIST" > // ATTRDATA > < L 2 < A[n] "StartMethod" > // ATTRID < Bool TRUE > // ATTRDATA > > < L 2 < U1[1] 1 > // OBJACK < L > > > >
3a-1 S1F3 H->E CJ Queue Space < S1F3 W < L 1 < U2[1] > // SVID > > S1F4 H<-E Selected Equipment Status Data < S1F4 < U1[1] > // SV >
3a-2 S14F9 H->E CJCreate < S14F9 W < L 3 < A[n] "Equipment" > // OBJSPEC < A[n] "ControlJob" > // ObjType < L 6 < L 2 < A[n] "ControlJobID" > // ATTRID < A[n] "ControlJob00n" > // ATTRDATA > < L 2 < A[n] "ProcessingCtrlSpec" > // ATTRID < L n < A[n] "PRJob00m" > // ATTRDATA : : < A[n] "PRJob00n" > // ATTRDATA > > < L 2 < A[n] "CarrierInputSpec" > // ATTRID < L n < A[n] "Carrier00m" > // ATTRDATA : : < A[n] "Carrier00n" > // ATTRDATA > > < L 2 < A[n] "MtrlOutSpec" > // ATTRID
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
379
< A[0] > // ATTRDATA > < L 2 < A[n] "ProcessOrderMgmt" > // ATTRID < A[0] "LIST" > // ATTRDATA > < L 2 < A[n] "StartMethod" > // ATTRID < Bool TRUE > // ATTRDATA > > > > S14F10 H<-E Ack < S14F10 < L 3 < A[n] "EQUIPMENT" > // OBJSPEC < L 6 < L 2 < A[n] "ControlJobID" > // ATTRID < A[n] "ControlJob00n" > // ATTRDATA > < L 2 < A[n] "ProcessingCtrlSpec" > // ATTRID < L n < A[n] "PRJob00m" > // ATTRDATA : : < A[n] "PRJob00n" > // ATTRDATA > > < L 2 < A[n] "CarrierInputSpec" > // ATTRID < L n < A[n] "Carrier00m" > // ATTRDATA : : < A[n] "Carrier00n" > // ATTRDATA > > < L 2 < A[n] "MtrlOutSpec" > // ATTRID < A[0] > // ATTRDATA > < L 2 < A[n] "ProcessOrderMgmt" > // ATTRID < A[0] "LIST" > // ATTRDATA > < L 2 < A[n] "StartMethod" > // ATTRID < Bool TRUE > // ATTRDATA > > < L 2 < U1[1] 0 > // OBJACK < L > > > >
3a-3 S6F11 H<-E Queued < S6F11 W < L 3
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
380
< A[n] > // DATAID < U1[1] 500 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob00n" > // Control Job ID <U1[1] 1 > // Current State of the CJ model > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 >
>
3b-1 S16F5 H->E PJCancel < S16F5 W < A[n] "PRJOBCANCEL" > // DATAID < A[n] > // PRJobID < A[n] "CANCEL" > // PRCMDNAME < L > > S16F6 H<-E < < A[n] > // PRJobID < L < Bool TRUE > // ACKA < L > > >
3b-2 S6F11 H<-E PJ Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 606 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID <A[n] "PRJOBCOMPLETE" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model <A[n]> // recipe ID for this process job > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
3c-1
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
381
S16F5 H->E PJCancel < S16F5 W < A[n] "PRJOBCANCEL" > // DATAID < A[n] > // PRJobID < A[n] "CANCEL" > // PRCMDNAME < L > > S16F6 H<-E < < A[n] > // PRJobID < L < Bool TRUE > // ACKA < L > > >
3c-2 S6F11 H<-E PJ Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 606 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID <A[n] "PRJOBCOMPLETE" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model <A[n]> // recipe ID for this process job > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
3c-3 S3F17 H->E CancelCarrier < S3F17 W < L < A[n] "CANCELCARRIER" > // DATAID < A[n] "CancelCarrier" > // CARRIERACTION < A[n] > // Carrier ID < U1[0] > // PTN < L > > > S3F18 H<-E Ack < S3F18 < L < U1[1] 0 > // CAACK < L > > >
4c-1
S6F11 H<-E TransferBlocked
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
382
< S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205> // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
4c-2 S6F11 H<-E Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 227 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
4c-3 S6F11 H<-E Reserved < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 241 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
383
<A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID < > // CarrierID < > // CarrierIDStatus Attribute < > // SlotMapStatus Attribute < > // Port Association State VID < > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
4c-4 S6F11 H<-E CarrierLocationChange < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
4c-5 S6F11 H<-E BufferCapacityChange < S6F11 W
< A[n] > // DATAID < U1[1] 275 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 510 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <L //BufferPartitionInfo <A[n]> // PartitionID- ID of Partition <A[n]> // PartitionType <U1[1]> // Available Physical Partition Capacity <U1[1]> // Partition Capacity <U1[1]> // UnAllocated Partition Capacity >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
384
> >
> >
S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
4c-6 S6F11 H<-E ReadyToUnload < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 206 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 3 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
4c-7 S6F11 H<-E Not Reserved < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 242 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID < > // CarrierID < > // CarrierIDStatus Attribute < > // SlotMapStatus Attribute < > // Port Association State VID < > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
385
< B[1] 0 > >
4c-8
S6F11 H<-E TransferBlocked < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 207 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
4c-9
S6F11 H<-E MaterialHasRemoved < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 300 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
4c-10
S6F11 H<-E Deleted < S6F11 W < L 3
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
386
< A[n] > // DATAID < U1[1] 290 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001"> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
4c-11 S6F11 H<-E Not Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 228 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
4c-12 S6F11 H<-E ReadyToLoad < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
387
< U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 2 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
388
2.2.10. (アン)クランプ/(アン)ドッキング失敗 (1)クランプ失敗
1-1
S5F1 H<-E Alarm Report Send <S5F1 W
<L, 3 < B > // ALCD
< U4 > // ALID < A[40] > // ALTX > > S5F2 H<-E Ack < S5F2 < B[1] 0 > // ACKC5 >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
389
(2)ドッキング失敗
1-1
S5F1 H<-E Alarm Report Send <S5F1 W
<L, 3 < B > // ALCD
< U4 > // ALID < A[40] > // ALTX > > S5F2 H<-E Ack < S5F2 < B[1] 0 > // ACKC5 >
2-1 S16F27 H->E CJStop < S16F27 W < L 3 < A[n] > // CTLJOBID < U1[1] 4 > // CTLJOBCMD < L > > > S16F28 H->E Ack < S16F28 < B[1] 0 > // ACKA < L > >
2-2 S6F11 H<-E PJ Stopping < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 606 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID <A[n] "PRJOBSTOPPING" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model <A[n]> // recipe ID for this process job > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
2-3 S6F11 H<-E PJ Complete < S6F11 W < L 3
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
390
< A[n] > // DATAID < U1[1] 606 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID <A[n] "PRJOBCOMPLETE" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model <A[n]> // recipe ID for this process job > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
2-4 S6F11 H<-E CJ Complete
< S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 503 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob001"> // Control Job ID <U1[1] 6 > // Current State of the CJ model > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
391
(3)アンドッキング失敗
1-1
S5F1 H<-E Alarm Report Send <S5F1 W
<L, 3 < B > // ALCD
< U4 > // ALID < A[40] > // ALTX > > S5F2 H<-E Ack < S5F2 < B[1] 0 > // ACKC5 >
2-1 S16F27 H->E CJStop < S16F27 W < L 3 < A[n] > // CTLJOBID < U1[1] 4 > // CTLJOBCMD < L > > > S16F28 H->E Ack < S16F28 < B[1] 0 > // ACKA < L > >
2-2 S6F11 H<-E PJ Stopping < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 606 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID <A[n] "PRJOBSTOPPING" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model <A[n]> // recipe ID for this process job > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
2-3 S6F11 H<-E PJ Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
392
< U1[1] 606 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID <A[n] "PRJOBCOMPLETE" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model <A[n]> // recipe ID for this process job > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
2-4 S6F11 H<-E CJ Complete
< S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 503 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob001"> // Control Job ID <U1[1] 6 > // Current State of the CJ model > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
393
(4)アンクランピング失敗
1-1
S5F1 H<-E Alarm Report Send <S5F1 W
<L, 3 < B > // ALCD
< U4 > // ALID < A[40] > // ALTX > > S5F2 H<-E Ack < S5F2 < B[1] 0 > // ACKC5 >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
394
2.2.11. Filler(定常)NPW シナリオ
1-1
S2F15 H->E Equipment Constant Send <S2F15 W
<L, n <L,2 < ??? > // ECID
< ??? > // ECV > : <L,2 < ??? > //ECID < ??? > // ECV >
> > S5F2 H<-E Ack < S5F2 < B[1] 0 > // EAC >
2-1 S6F11 H<-E TransferBlocked < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[0]> // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
2-2 S6F11 H<-E MaterialHasArrived < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 300 > // CEID < L 1 < L 2
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
395
< U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[0]> // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
3-1
S6F11 H<-E Waiting for Host < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 214 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
3-2 S6F11 H<-E Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 227 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
396
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
3-3 S3F17 H->E ProceedWithCarrier < S3F17 W < L 5 < A[n] "PROCEEDWITHCARRIER" > // DATAID < A[n] "ProceedWithCarrier" > // CARRIERACTION < A[n] "Carrier001" > // Carrier ID < U1[1] 1 > // PTN < L 2
< L 2 < A[n] �ContentMap�> // CATTRID < L n
< A[n] �Carrier001wf01�> // CATTRDATA : :
< A[n] �Carrier001wf25�> // CATTRDATA >
> < L 2
< A[n] "Usage" > // CATTRID < A[n] "SFILLER" > // CATTRDATA (Static Filler) > > >
> S3F18 H<-E Ack < S3F18 < L 2 < B[1] 0 > // CAACK < L > > > >
3-4 S6F11 H<-E ID Verification OK < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 215 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
397
<U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
4-1 S6F11 H<-E BufferCapacityChange < S6F11 W
< A[n] > // DATAID < U1[1] 275 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 510 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <L //BufferPartitionInfo <A[n]> // PartitionID- ID of Partition <A[n]> // PartitionType <U1[1]> // Available Physical Partition Capacity <U1[1]> // Partition Capacity <U1[1]> // UnAllocated Partition Capacity > > >
> >
S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
4-2
S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
398
> > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
4-3 S6F11 H<-E Not Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 228 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
4-4 S6F11 H<-E ReadyToLoad < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 2 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
399
S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
5-1 S6F11 H<-E TransferBlocked < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[0]> // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
5-2 S6F11 H<-E MaterialHasArrived < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 300 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[0]> // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
400
>
6-1 S6F11 H<-E Waiting for Host < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 214 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
6-2 S6F11 H<-E Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 227 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
6-3 S3F17 H->E ProceedWithCarrier < S3F17 W
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
401
< L 5 < A[n] "PROCEEDWITHCARRIER" > // DATAID < A[n] "ProceedWithCarrier" > // CARRIERACTION < A[n] "Carrier001" > // Carrier ID < U1[1] 1 > // PTN < L 2
< L 2 < A[n] �ContentMap�> // CATTRID < L n
< A[n] �Carrier001wf01�> // CATTRDATA : :
< A[n] �Carrier001wf25�> // CATTRDATA >
> < L 2
< A[n] "Usage" > // CATTRID < A[n] "PRODUCT" > // CATTRDATA > > >
> S3F18 H<-E Ack < S3F18 < L 2 < B[1] 0 > // CAACK < L > > > >
6-4 S6F11 H<-E ID Verification OK < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 215 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
7-1
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
402
S6F11 H<-E BufferCapacityChange < S6F11 W
< A[n] > // DATAID < U1[1] 275 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 510 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <L //BufferPartitionInfo <A[n]> // PartitionID- ID of Partition <A[n]> // PartitionType <U1[1]> // Available Physical Partition Capacity <U1[1]> // Partition Capacity <U1[1]> // UnAllocated Partition Capacity > > >
> >
S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
7-2
S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
7-3 S6F11 H<-E Not Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 228 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
403
< L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
7-4 S6F11 H<-E ReadyToLoad < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 2 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
8-1 S7F19 H->E Current EPPD Request < S7F19 W > S7F20 H<-E Ack < S7F20 < L n < A[n] > // PPID : : < A[n] > // PPID > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
404
8-2 S7F1 H->E Process Program Load Inquire < S7F1 W < L 2 < A[n] > // PPID < U2[1] > // Length > > S7F2 H<-E Ack < S7F2 < B[1] 0 > // PPGNT >
8-3 S7F23 H->E Process Program Send < S7F23 W < L 4 < A[n] > // PPID < A[n] > // MDLN < A[n] > // SOFTREV < L n < L 2 < ? > // CCODE < L n < ? > // PPARM : : < ? > // PPARM > > : : < L 2 < ? > // CCODE < L n < ? > // PPARM : : < ? > // PPARM > > > > > S7F24 H<-E Ack < S7F24 < B[1] 0 > // ACKC7 >
8-4 S7F27 H<-E Process Program Verification Send < S7F27 W < L 2 < A[n] > // PPID < L > // No Error > S7F28 H->E Ack < S7F28 >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
405
9-1 S16F21 H->E PR Get Space < S16F21 W > S16F22 H<-E PR Get Space Response < S16F22 < U1[1] > // PRJOBSPACE >
9-2 S1F3 H->E CJ Queue Space < S1F3 W < L 1 < U2[1] > // SVID > > S1F4 H<-E Selected Equipment Status Data < S1F4 < U1[1] > // SV >
9-3 S16F15 H->E PRJobMultiCreate < S16F15 W < L < A[n] > // DATAID < L 1 < L 6 < A[n] "PRJob001" > // PRJobID < B[1] 13 > // MF < L n // # is numbers of carrier < L 2 < A[n] "Carrier001" > // CarrierID < L < U1[1] 1 > : < U1[1] 25 > > > : : < L < A[n] "Carrier00n" > // CarrierID < L < U1[1] 1 > : < U1[1] 25 > > > > < L < A[n] > // PRRECIPEMETHOD < A[n] > // RECIPESPEC < L < L < L < A[n] > // RCPPARNM < ? > // RCPPARVAL > :
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
406
: < L < A[n] > // RCPPARNM < ? > // RCPPARVAL > > > > < Bool TRUE > // Sets start method to autostart < L // PRPAUSEEVENT List of CEID
> > > > > S16F16 H<-E RPJobMultiCreate Acknowledge < S16F16 <L2 < L < A[n] "PRJob001"> // Created PRJobID > < L < B[1] 0 > // ACKA < L > > > >
9-4 S6F11 H<-E PRJob Pooled < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 601 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID <A[n] "PRJOBPOOLED" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model <A[n]> // recipe ID for this process job > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
9-5 S14F9 H->E CJCreate < S14F9 W < L < A[n] "Equipment" > // OBJSPEC < A[n] "ControlJob" > // ObjType < L < L 2
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
407
< A[n] "ControlJobID" > // ATTRID < A[n] "ControlJob001" > // ATTRDATA > < L 2 < A[n] "ProcessingCtrlSpec" > // ATTRID < L 1 < A[n] "PRJob001" > // ATTRDATA > > < L 2 < A[n] "CarrierInputSpec" > // ATTRID < L < A[n] "Carrier001" > // ATTRDATA : : < A[n] "Carrier00n" > // ATTRDATA > > < L < A[n] "MtrlOutSpec" > // ATTRID < A[0] > // ATTRDATA > < L < A[n] "ProcessOrderMgmt" > // ATTRID < A[0] "LIST" > // ATTRDATA > < L < A[n] "StartMethod" > // ATTRID < Bool TRUE > // ATTRDATA > > > > S14F10 H<-E Ack < S14F10 < L < A[n] "EQUIPMENT" > // OBJSPEC < L < L < A[n] "ControlJobID" > // ATTRID < A[n] "ControlJob001" > // ATTRDATA > < L < A[n] "ProcessingCtrlSpec" > // ATTRID < L < A[n] "PRJob001" > // ATTRDATA > > < L < A[n] "CarrierInputSpec" > // ATTRID < L < A[n] "Carrier001" > // ATTRDATA : : < A[n] "Carrier00n" > // ATTRDATA > > < L < A[n] "MtrlOutSpec" > // ATTRID < A[0] > // ATTRDATA > < L < A[n] "ProcessOrderMgmt" > // ATTRID < A[0] "LIST" > // ATTRDATA >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
408
< L < A[n] "StartMethod" > // ATTRID < Bool TRUE > // ATTRDATA > > < L < U1[1] 0 > // OBJACK < L > > > >
9-6 S6F11 H<-E Queued < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 500 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob001" > // Control Job ID <U1[1] 1 > // Current State of the CJ model > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
9-7 S6F11 H<-E Selected < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 501 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob001" > // Control Job ID <U1[1] 2 > // Current State of the CJ model > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
9-8 S6F11 H<-E Execution began
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
409
< S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 502 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob001" > // Control Job ID <U1[1] 4 > // Current State of the CJ model > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
9-9 S6F11 H<-E PRJob Setup < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 601 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID <A[n] "SETTINGUP" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model <A[n]> // recipe ID for this process job > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
10-1 S6F11 H<-E CarrierLocationChange < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
410
<A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
10-2 S6F11 H<-E Carrier Opened < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 220 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
10-3
S6F11 H<-E Waiting for Host < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 222 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 502 > < L 9 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 2 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute <A[19] �VERIFICATION NEEDED� > // Reason
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
411
< L n < U1[1] 1 > // Slotmap : : < U1[1] 1 > // Slotmap > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
10-4 S6F11 H<-E Substrate At Source < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 402 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 531 > < L 7 < A[16] > // GEM timestamp <A[n]> // LotID attribute <L // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > <A[n]> // SubstLocIDAttribute <U1[1] 1 > // SubstProc State Attribute <U1[1] 1 > // SubstState Attribute <A[n] "PRDUCT" > // SubstUsage Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
10-5 S6F11 H<-E Substrate Occupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 410 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
412
<A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
10-6 S3F17 H->E ProceedWithCarrier < S3F17 W < L 5 < A[n] "PROCEEDWITHCARRIER" > // DATAID < A[n] "ProceedWithCarrier" > // CARRIERACTION < A[n] "Carrier001" > // Carrier ID < U1[1] 1 > // PTN < L > > > S3F18 H<-E Ack < S3F18 < L 2 < B[1] 0 > // CAACK < L > > >
10-7 S6F11 H<-E Slot Map Verification OK < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 223 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
413
< B[1] 0 > >
11-1 S6F11 H<-E CarrierInAccsess < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 208 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
11-2 S6F11 H<-E Substrate Location Unoccupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 411 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L 3 // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
414
11-3 S6F11 H<-E Substrate AT WORK < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 403 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
11-4 S6F11 H<-E Substrate Location Occupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 410 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
11-5 S6F11 H<-E Carrier Closed < S6F11 W
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
415
< L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 221 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
11-6 S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
12-1 S6F11 H<-E CarrierLocationChange < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
416
< L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
12-2 S6F11 H<-E Carrier Opened < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 220 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
12-3
S6F11 H<-E Waiting for Host < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 222 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 502 > < L 9 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
417
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 2 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute <A[19] �VERIFICATION NEEDED� > // Reason < L n < U1[1] 1 > // Slotmap : : < U1[1] 1 > // Slotmap > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
12-4 S6F11 H<-E Substrate At Source < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 402 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 531 > < L 7 < A[16] > // GEM timestamp <A[n]> // LotID attribute <L // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > <A[n]> // SubstLocIDAttribute <U1[1] 1 > // SubstProc State Attribute <U1[1] 1 > // SubstState Attribute <A[n] "PRDUCT" > // SubstUsage Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
12-5 S6F11 H<-E Substrate Occupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 410 > // CEID < L 1
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
418
< L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
12-6 S3F17 H->E ProceedWithCarrier < S3F17 W < L 5 < A[n] "PROCEEDWITHCARRIER" > // DATAID < A[n] "ProceedWithCarrier" > // CARRIERACTION < A[n] "Carrier001" > // Carrier ID < U1[1] 1 > // PTN < L > > > S3F18 H<-E Ack < S3F18 < L 2 < B[1] 0 > // CAACK < L > > >
12-7 S6F11 H<-E Slot Map Verification OK < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 223 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
419
> > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
13-1 S6F11 H<-E CarrierInAccsess < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 208 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
13-2 S6F11 H<-E Substrate Location Unoccupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 411 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L 3 // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
420
S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
13-3 S6F11 H<-E Substrate AT WORK < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 403 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
13-4 S6F11 H<-E Substrate Location Occupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 410 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
421
13-5 S6F11 H<-E Carrier Closed < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 221 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
13-6 S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > > 13-7 S6F11 H<-E PRJob Processing < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
422
< U1[1] 602 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID <A[n] "PROCESSING" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model <A[n]> // recipe ID for this process job > > > > > S6F12 H->E PRJob Processing Ack < S6F12 < B[1] 0 > > 13-8 S6F11 H<-E Substrate In Process < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 404 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
14-1 S6F11 H<-E Substrate ProcessingComplete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 405 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
423
<L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
14-2 S6F11 H<-E Approching Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 250 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 501 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute <U1[1] 5 > // Carrier Complete remain time [min] > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
14-3 S6F11 H<-E Processing Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 605 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID <A[n] "PROCCOMPLETE" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model <A[n]> // recipe ID for this process job > > > > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
424
S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
16-1 S6F11 H<-E Approching Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 250 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 501 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute <U1[1] 5 > // Carrier Complete remain time [min] > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
16-2 S2F41 H->E CarrierComplete < S2F41 W < L 2 < A[n] �CarrierComplete� > // RCMD < L 1 < L 2 <A[n] �CARRIEID� > // CPNAME <U1[1] 2 > // CPVAL (CarrierComplete) > > > > S2F42 H->E Ack < S2F42 <L 2 < B[1] 0 > //HCACK < L 0 > > >
17-1 S6F11 H<-E CarrierLocationChange < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
425
< L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
17-2 S6F11 H<-E Carrier Opened < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 220 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
17-3 S6F11 H<-E Substrate Location Unoccupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 411 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L 3 // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
426
<A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
17-4 S6F11 H<-E Substrate AT DESTINATION < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 406 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
17-5 S6F11 H<-E Substrate Location Occupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 410 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
427
> > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
17-6
S6F11 H<-E Carrier Closed < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 221 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
17-7
S6F11 H<-E CarrierComplete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 209 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
428
> > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
17-8
S6F11 H<-E CarrierLocationChange < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
18-1 S6F11 H<-E CarrierLocationChange < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
429
>
18-2 S6F11 H<-E Carrier Opened < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 220 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
18-3 S6F11 H<-E Substrate Location Unoccupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 411 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L 3 // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
18-4
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
430
S6F11 H<-E Substrate AT DESTINATION < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 406 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
18-5 S6F11 H<-E Substrate Location Occupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 410 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
18-6 S6F11 H<-E PJ Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 606 > // CEID < L 1 < L 2
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
431
< U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID <A[n] "PRJOBCOMPLETE" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model <A[n]> // recipe ID for this process job > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
18-7
S6F11 H<-E CJ Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 503 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob001"> // Control Job ID <U1[1] 6 > // Current State of the CJ model > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
18-8
S14F11 H->E Delete Request < S14F11 W < L 2 < A[n] "EQUIPMENT" > // OBJSPEC < L 1 < L 2 < A[n] "ControlJob" > // ATTRID < A[n] "ControlJob001" > // ATTRDATA > > > > S14F12 H<-E Ack < S14F12 < L 2 < L > < L 2 < U1[1] 0 > // OBJACK < L > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
432
> >
18-9 S6F11 H<-E Deleted < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 504 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob001" > // Control Job ID <U1[0]> // Current State of the CJ model > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
18-10
S6F11 H<-E Carrier Closed < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 221 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
18-11
S6F11 H<-E CarrierComplete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 209 > // CEID
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
433
< L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
18-12
S6F11 H<-E CarrierLocationChange < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
19-1
S3F17 H->E CarrierOut < S3F17 W
< L 5 < A[n] > // DATAID < A "CARRIEROUT" > // CARRIERACTION < A[n] > // CARRIERSPEC(CarrierID) < U1[0] > // PTN < L > >
>
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
434
< S3F18 < L 2 < U1[1] > // CAACK < L > >
>
19-2
S6F11 H<-E TransferBlocked < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
19-3
S6F11 H<-E Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 227 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
435
< B[1] 0 > >
19-4
S6F11 H<-E Reserved < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 241 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID < > // CarrierID < > // CarrierIDStatus Attribute < > // SlotMapStatus Attribute < > // Port Association State VID < > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
19-5 S6F11 H<-E CarrierLocationChange < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
19-6
S6F11 H<-E BufferCapacityChange < S6F11 W
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
436
< A[n] > // DATAID < U1[1] 275 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 510 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <L //BufferPartitionInfo <A[n]> // PartitionID- ID of Partition <A[n]> // PartitionType <U1[1]> // Available Physical Partition Capacity <U1[1]> // Partition Capacity <U1[1]> // UnAllocated Partition Capacity > > >
> >
S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
19-7
S6F11 H<-E ReadyToUnload < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 206 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 3 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
19-8
S6F11 H<-E Not Reserved < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 242 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
437
< L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID < > // CarrierID < > // CarrierIDStatus Attribute < > // SlotMapStatus Attribute < > // Port Association State VID < > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
19-9
S6F11 H<-E TransferBlocked < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 207 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
19-10
S6F11 H<-E MaterialHasRemoved < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 300 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
438
<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
19-11
S6F11 H<-E Deleted < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 290 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001"> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
19-12 S6F11 H<-E Deleted < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 407 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
439
> > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
19-13 S6F11 H<-E Not Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 228 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
19-14 S6F11 H<-E ReadyToLoad < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 2 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
440
> S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
20-1
S3F17 H->E CarrierOut < S3F17 W
< L 5 < A[n] > // DATAID < A "CARRIEROUT" > // CARRIERACTION < A[n] > // CARRIERSPEC(CarrierID) < U1[0] > // PTN < L > >
>
< S3F18 < L 2 < U1[1] > // CAACK < L > >
>
20-2
S6F11 H<-E TransferBlocked < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
20-3
S6F11 H<-E Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
441
< U1[1] 227 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
20-4
S6F11 H<-E Reserved < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 241 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID < > // CarrierID < > // CarrierIDStatus Attribute < > // SlotMapStatus Attribute < > // Port Association State VID < > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
20-5 S6F11 H<-E CarrierLocationChange < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
442
<L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
20-6
S6F11 H<-E BufferCapacityChange < S6F11 W
< A[n] > // DATAID < U1[1] 275 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 510 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <L //BufferPartitionInfo <A[n]> // PartitionID- ID of Partition <A[n]> // PartitionType <U1[1]> // Available Physical Partition Capacity <U1[1]> // Partition Capacity <U1[1]> // UnAllocated Partition Capacity > > >
> >
S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
20-7
S6F11 H<-E ReadyToUnload < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 206 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 3 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
443
> > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
20-8
S6F11 H<-E Not Reserved < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 242 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID < > // CarrierID < > // CarrierIDStatus Attribute < > // SlotMapStatus Attribute < > // Port Association State VID < > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
20-9
S6F11 H<-E TransferBlocked < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 207 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
444
S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
20-10
S6F11 H<-E MaterialHasRemoved < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 300 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
20-11
S6F11 H<-E Deleted < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 290 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001"> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
445
20-12 S6F11 H<-E Deleted < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 407 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
20-13 S6F11 H<-E Not Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 228 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
20-14 S6F11 H<-E ReadyToLoad
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
446
< S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 2 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
447
2.2.12. Filler(非定常)NPW シナリオ
1-1
S2F15 H->E Equipment Constant Send <S2F15 W
<L, n <L,2 < ??? > // ECID
< ??? > // ECV > : <L,2 < ??? > //ECID < ??? > // ECV >
> > S5F2 H<-E Ack < S5F2 < B[1] 0 > // EAC >
2-1 S6F11 H<-E TransferBlocked < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[0]> // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
2-2 S6F11 H<-E MaterialHasArrived < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 300 > // CEID < L 1 < L 2
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
448
< U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[0]> // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
3-1
S6F11 H<-E Waiting for Host < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 214 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
3-2 S6F11 H<-E Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 227 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
449
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
3-3 S3F17 H->E ProceedWithCarrier < S3F17 W < L 5 < A[n] "PROCEEDWITHCARRIER" > // DATAID < A[n] "ProceedWithCarrier" > // CARRIERACTION < A[n] "Carrier001" > // Carrier ID < U1[1] 1 > // PTN < L 2
< L 2 < A[n] �ContentMap�> // CATTRID < L n
< A[n] �Carrier001wf01�> // CATTRDATA : :
< A[n] �Carrier001wf25�> // CATTRDATA >
> < L 2
< A[n] "Usage" > // CATTRID < A[n] "DFILLER" > // CATTRDATA (Dynamic Filler) > > >
> S3F18 H<-E Ack < S3F18 < L 2 < B[1] 0 > // CAACK < L > > > >
3-4 S6F11 H<-E ID Verification OK < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 215 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
450
<U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
4-1 S6F11 H<-E BufferCapacityChange < S6F11 W
< A[n] > // DATAID < U1[1] 275 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 510 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <L //BufferPartitionInfo <A[n]> // PartitionID- ID of Partition <A[n]> // PartitionType <U1[1]> // Available Physical Partition Capacity <U1[1]> // Partition Capacity <U1[1]> // UnAllocated Partition Capacity > > >
> >
S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
4-2
S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
451
> > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
4-3 S6F11 H<-E Not Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 228 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
4-4 S6F11 H<-E ReadyToLoad < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 2 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
452
S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
5-1 S6F11 H<-E TransferBlocked < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[0]> // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
5-2 S6F11 H<-E MaterialHasArrived < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 300 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[0]> // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
453
>
6-1 S6F11 H<-E Waiting for Host < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 214 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
6-2 S6F11 H<-E Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 227 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
6-3 S3F17 H->E ProceedWithCarrier < S3F17 W
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
454
< L 5 < A[n] "PROCEEDWITHCARRIER" > // DATAID < A[n] "ProceedWithCarrier" > // CARRIERACTION < A[n] "Carrier001" > // Carrier ID < U1[1] 1 > // PTN < L 2
< L 2 < A[n] �ContentMap�> // CATTRID < L n
< A[n] �Carrier001wf01�> // CATTRDATA : :
< A[n] �Carrier001wf25�> // CATTRDATA >
> < L 2
< A[n] "Usage" > // CATTRID < A[n] "PRODUCT" > // CATTRDATA > > >
> S3F18 H<-E Ack < S3F18 < L 2 < B[1] 0 > // CAACK < L > > > >
6-4 S6F11 H<-E ID Verification OK < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 215 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
7-1
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
455
S6F11 H<-E BufferCapacityChange < S6F11 W
< A[n] > // DATAID < U1[1] 275 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 510 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <L //BufferPartitionInfo <A[n]> // PartitionID- ID of Partition <A[n]> // PartitionType <U1[1]> // Available Physical Partition Capacity <U1[1]> // Partition Capacity <U1[1]> // UnAllocated Partition Capacity > > >
> >
S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
7-2
S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
7-3 S6F11 H<-E Not Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 228 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
456
< L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
7-4 S6F11 H<-E ReadyToLoad < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 2 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
8-1 S7F19 H->E Current EPPD Request < S7F19 W > S7F20 H<-E Ack < S7F20 < L n < A[n] > // PPID : : < A[n] > // PPID > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
457
8-2 S7F1 H->E Process Program Load Inquire < S7F1 W < L 2 < A[n] > // PPID < U2[1] > // Length > > S7F2 H<-E Ack < S7F2 < B[1] 0 > // PPGNT >
8-3 S7F23 H->E Process Program Send < S7F23 W < L 4 < A[n] > // PPID < A[n] > // MDLN < A[n] > // SOFTREV < L n < L 2 < ? > // CCODE < L n < ? > // PPARM : : < ? > // PPARM > > : : < L 2 < ? > // CCODE < L n < ? > // PPARM : : < ? > // PPARM > > > > > S7F24 H<-E Ack < S7F24 < B[1] 0 > // ACKC7 >
8-4 S7F27 H<-E Process Program Verification Send < S7F27 W < L 2 < A[n] > // PPID < L > // No Error > S7F28 H->E Ack < S7F28 >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
458
9-1 S16F21 H->E PR Get Space < S16F21 W > S16F22 H<-E PR Get Space Response < S16F22 < U1[1] > // PRJOBSPACE >
9-2 S1F3 H->E CJ Queue Space < S1F3 W < L 1 < U2[1] > // SVID > > S1F4 H<-E Selected Equipment Status Data < S1F4 < U1[1] > // SV >
9-3 S16F15 H->E PRJobMultiCreate < S16F15 W < L < A[n] > // DATAID < L 1 < L 6 < A[n] "PRJob001" > // PRJobID < B[1] 13 > // MF < L n // # is numbers of carrier < L 2 < A[n] "Carrier001" > // CarrierID < L < U1[1] 1 > : < U1[1] 25 > > > : : < L < A[n] "Carrier00n" > // CarrierID < L < U1[1] 1 > : < U1[1] 25 > > > > < L < A[n] > // PRRECIPEMETHOD < A[n] > // RECIPESPEC < L < L < L < A[n] > // RCPPARNM < ? > // RCPPARVAL > :
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
459
: < L < A[n] > // RCPPARNM < ? > // RCPPARVAL > > > > < Bool TRUE > // Sets start method to autostart < L // PRPAUSEEVENT List of CEID
> > > > > S16F16 H<-E RPJobMultiCreate Acknowledge < S16F16 <L2 < L < A[n] "PRJob001"> // Created PRJobID > < L < B[1] 0 > // ACKA < L > > > >
9-4 S6F11 H<-E PRJob Pooled < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 601 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID <A[n] "PRJOBPOOLED" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model <A[n]> // recipe ID for this process job > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
9-5 S14F9 H->E CJCreate < S14F9 W < L < A[n] "Equipment" > // OBJSPEC < A[n] "ControlJob" > // ObjType < L < L 2
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
460
< A[n] "ControlJobID" > // ATTRID < A[n] "ControlJob001" > // ATTRDATA > < L 2 < A[n] "ProcessingCtrlSpec" > // ATTRID < L 1 < A[n] "PRJob001" > // ATTRDATA > > < L 2 < A[n] "CarrierInputSpec" > // ATTRID < L < A[n] "Carrier001" > // ATTRDATA : : < A[n] "Carrier00n" > // ATTRDATA > > < L < A[n] "MtrlOutSpec" > // ATTRID < A[0] > // ATTRDATA > < L < A[n] "ProcessOrderMgmt" > // ATTRID < A[0] "LIST" > // ATTRDATA > < L < A[n] "StartMethod" > // ATTRID < Bool TRUE > // ATTRDATA > > > > S14F10 H<-E Ack < S14F10 < L < A[n] "EQUIPMENT" > // OBJSPEC < L < L < A[n] "ControlJobID" > // ATTRID < A[n] "ControlJob001" > // ATTRDATA > < L < A[n] "ProcessingCtrlSpec" > // ATTRID < L < A[n] "PRJob001" > // ATTRDATA > > < L < A[n] "CarrierInputSpec" > // ATTRID < L < A[n] "Carrier001" > // ATTRDATA : : < A[n] "Carrier00n" > // ATTRDATA > > < L < A[n] "MtrlOutSpec" > // ATTRID < A[0] > // ATTRDATA > < L < A[n] "ProcessOrderMgmt" > // ATTRID < A[0] "LIST" > // ATTRDATA >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
461
< L < A[n] "StartMethod" > // ATTRID < Bool TRUE > // ATTRDATA > > < L < U1[1] 0 > // OBJACK < L > > > >
9-6 S6F11 H<-E Queued < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 500 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob001" > // Control Job ID <U1[1] 1 > // Current State of the CJ model > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
9-7 S6F11 H<-E Selected < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 501 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob001" > // Control Job ID <U1[1] 2 > // Current State of the CJ model > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
9-8 S6F11 H<-E Execution began
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
462
< S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 502 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob001" > // Control Job ID <U1[1] 4 > // Current State of the CJ model > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
9-9 S6F11 H<-E PRJob Setup < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 601 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID <A[n] "SETTINGUP" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model <A[n]> // recipe ID for this process job > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
10-1 S6F11 H<-E CarrierLocationChange < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
463
<A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
10-2 S6F11 H<-E Carrier Opened < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 220 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
10-3
S6F11 H<-E Waiting for Host < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 222 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 502 > < L 9 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 2 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute <A[19] �VERIFICATION NEEDED� > // Reason
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
464
< L n < U1[1] 1 > // Slotmap : : < U1[1] 1 > // Slotmap > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
10-4 S6F11 H<-E Substrate At Source < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 402 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 531 > < L 7 < A[16] > // GEM timestamp <A[n]> // LotID attribute <L // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > <A[n]> // SubstLocIDAttribute <U1[1] 1 > // SubstProc State Attribute <U1[1] 1 > // SubstState Attribute <A[n] "PRDUCT" > // SubstUsage Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
10-5 S6F11 H<-E Substrate Occupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 410 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
465
<A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
10-6 S3F17 H->E ProceedWithCarrier < S3F17 W < L 5 < A[n] "PROCEEDWITHCARRIER" > // DATAID < A[n] "ProceedWithCarrier" > // CARRIERACTION < A[n] "Carrier001" > // Carrier ID < U1[1] 1 > // PTN < L > > > S3F18 H<-E Ack < S3F18 < L 2 < B[1] 0 > // CAACK < L > > >
10-7 S6F11 H<-E Slot Map Verification OK < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 223 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
466
< B[1] 0 > >
11-1 S6F11 H<-E CarrierInAccsess < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 208 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
11-2 S6F11 H<-E Substrate Location Unoccupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 411 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L 3 // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
467
11-3 S6F11 H<-E Substrate AT WORK < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 403 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
11-4 S6F11 H<-E Substrate Location Occupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 410 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
11-5 S6F11 H<-E Carrier Closed < S6F11 W
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
468
< L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 221 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
11-6 S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
12-1 S6F11 H<-E CarrierLocationChange < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
469
< L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
12-2 S6F11 H<-E Carrier Opened < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 220 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
12-3
S6F11 H<-E Waiting for Host < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 222 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 502 > < L 9 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
470
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 2 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute <A[19] �VERIFICATION NEEDED� > // Reason < L n < U1[1] 1 > // Slotmap : : < U1[1] 1 > // Slotmap > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
12-4 S6F11 H<-E Substrate At Source < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 402 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 531 > < L 7 < A[16] > // GEM timestamp <A[n]> // LotID attribute <L // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > <A[n]> // SubstLocIDAttribute <U1[1] 1 > // SubstProc State Attribute <U1[1] 1 > // SubstState Attribute <A[n] "PRDUCT" > // SubstUsage Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
12-5 S6F11 H<-E Substrate Occupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 410 > // CEID < L 1
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
471
< L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
12-6 S3F17 H->E ProceedWithCarrier < S3F17 W < L 5 < A[n] "PROCEEDWITHCARRIER" > // DATAID < A[n] "ProceedWithCarrier" > // CARRIERACTION < A[n] "Carrier001" > // Carrier ID < U1[1] 1 > // PTN < L > > > S3F18 H<-E Ack < S3F18 < L 2 < B[1] 0 > // CAACK < L > > >
12-7 S6F11 H<-E Slot Map Verification OK < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 223 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
472
> > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
13-1 S6F11 H<-E CarrierInAccsess < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 208 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
13-2 S6F11 H<-E Substrate Location Unoccupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 411 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L 3 // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
473
S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
13-3 S6F11 H<-E Substrate AT WORK < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 403 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
13-4 S6F11 H<-E Substrate Location Occupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 410 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
474
13-5 S6F11 H<-E Carrier Closed < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 221 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
13-6 S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > > 14-1 S6F11 H<-E PRJob Processing < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
475
< U1[1] 602 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID <A[n] "PROCESSING" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model <A[n]> // recipe ID for this process job > > > > > S6F12 H->E PRJob Processing Ack < S6F12 < B[1] 0 > > 14-2 S6F11 H<-E Substrate In Process < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 404 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
14-3 S6F11 H<-E Substrate ProcessingComplete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 405 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
476
<L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
14-4 S6F11 H<-E Approching Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 250 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 501 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute <U1[1] 5 > // Carrier Complete remain time [min] > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
14-5 S6F11 H<-E Processing Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 605 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID <A[n] "PROCCOMPLETE" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model <A[n]> // recipe ID for this process job > > > > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
477
S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
15-1 S6F11 H<-E CarrierLocationChange < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
15-2 S6F11 H<-E Carrier Opened < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 220 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
478
15-3 S6F11 H<-E Substrate Location Unoccupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 411 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L 3 // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
15-4 S6F11 H<-E Substrate AT DESTINATION < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 406 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
15-5 S6F11 H<-E Substrate Location Occupied
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
479
< S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 410 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
15-6
S6F11 H<-E Carrier Closed < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 221 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
15-7
S6F11 H<-E CarrierLocationChange < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
480
< U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
15-8 S6F11 H<-E Approching Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 250 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 501 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute <U1[1] 5 > // Carrier Complete remain time [min] > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
15-9 S2F41 H->E CarrierComplete < S2F41 W < L 2 < A[n] �CarrierComplete� > // RCMD < L 1 < L 2 <A[n] �CARRIERID� > // CPNAME <A[n] �Carrier00n� > // CPVAL (CarrierComplete) > > > > S2F42 H->E Ack < S2F42 <L 2
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
481
< B[1] 0 > //HCACK < L 0 > > >
15-10
S6F11 H<-E CarrierComplete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 209 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
16-1 S6F11 H<-E CarrierLocationChange < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
16-2
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
482
S6F11 H<-E Carrier Opened < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 220 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
16-3 S6F11 H<-E Substrate Location Unoccupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 411 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L 3 // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
16-4 S6F11 H<-E Substrate AT DESTINATION < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
483
< U1[1] 406 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
16-5 S6F11 H<-E Substrate Location Occupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 410 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
16-6 S6F11 H<-E PJ Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 606 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
484
<A[n] "PRJOBCOMPLETE" > // PRJobState attribute- Current State of the PJ model
<A[n]> // recipe ID for this process job > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
16-7
S6F11 H<-E CJ Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 503 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob001"> // Control Job ID <U1[1] 6 > // Current State of the CJ model > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
16-8
S14F11 H->E Delete Request < S14F11 W < L 2 < A[n] "EQUIPMENT" > // OBJSPEC < L 1 < L 2 < A[n] "ControlJob" > // ATTRID < A[n] "ControlJob001" > // ATTRDATA > > > > S14F12 H<-E Ack < S14F12 < L 2 < L > < L 2 < U1[1] 0 > // OBJACK < L > > > >
16-9
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
485
S6F11 H<-E Deleted < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 504 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob001" > // Control Job ID <U1[0]> // Current State of the CJ model > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
16-10
S6F11 H<-E Carrier Closed < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 221 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
16-11
S6F11 H<-E CarrierComplete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 209 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
486
<A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
16-12
S6F11 H<-E CarrierLocationChange < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
17-1
S3F17 H->E CarrierOut < S3F17 W
< L 5 < A[n] > // DATAID < A "CARRIEROUT" > // CARRIERACTION < A[n] > // CARRIERSPEC(CarrierID) < U1[0] > // PTN < L > >
>
< S3F18 < L 2 < U1[1] > // CAACK < L >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
487
> >
17-2
S6F11 H<-E TransferBlocked < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
17-3
S6F11 H<-E Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 227 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
17-4
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
488
S6F11 H<-E Reserved < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 241 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID < > // CarrierID < > // CarrierIDStatus Attribute < > // SlotMapStatus Attribute < > // Port Association State VID < > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
17-5 S6F11 H<-E CarrierLocationChange < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
17-6
S6F11 H<-E BufferCapacityChange < S6F11 W
< A[n] > // DATAID < U1[1] 275 > // CEID < L 1 < L 2
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
489
< U1[1] 510 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <L //BufferPartitionInfo <A[n]> // PartitionID- ID of Partition <A[n]> // PartitionType <U1[1]> // Available Physical Partition Capacity <U1[1]> // Partition Capacity <U1[1]> // UnAllocated Partition Capacity > > >
> >
S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
17-7
S6F11 H<-E ReadyToUnload < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 206 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 3 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
17-8
S6F11 H<-E Not Reserved < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 242 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
490
< > // CarrierID < > // CarrierIDStatus Attribute < > // SlotMapStatus Attribute < > // Port Association State VID < > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
17-9
S6F11 H<-E TransferBlocked < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 207 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
17-10
S6F11 H<-E MaterialHasRemoved < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 300 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
491
> > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
17-11
S6F11 H<-E Deleted < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 290 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001"> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
17-12 S6F11 H<-E Deleted < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 407 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
492
> S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
17-13 S6F11 H<-E Not Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 228 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
17-14 S6F11 H<-E ReadyToLoad < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 2 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
493
< B[1] 0 > >
18-1
S3F17 H->E CarrierOut < S3F17 W
< L 5 < A[n] > // DATAID < A "CARRIEROUT" > // CARRIERACTION < A[n] > // CARRIERSPEC(CarrierID) < U1[0] > // PTN < L > >
>
< S3F18 < L 2 < U1[1] > // CAACK < L > >
>
18-2
S6F11 H<-E TransferBlocked < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
18-3
S6F11 H<-E Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 227 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
494
< L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
18-4
S6F11 H<-E Reserved < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 241 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID < > // CarrierID < > // CarrierIDStatus Attribute < > // SlotMapStatus Attribute < > // Port Association State VID < > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
18-5 S6F11 H<-E CarrierLocationChange < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
495
> > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
18-6
S6F11 H<-E BufferCapacityChange < S6F11 W
< A[n] > // DATAID < U1[1] 275 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 510 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <L //BufferPartitionInfo <A[n]> // PartitionID- ID of Partition <A[n]> // PartitionType <U1[1]> // Available Physical Partition Capacity <U1[1]> // Partition Capacity <U1[1]> // UnAllocated Partition Capacity > > >
> >
S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
18-7
S6F11 H<-E ReadyToUnload < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 206 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 3 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
496
S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
18-8
S6F11 H<-E Not Reserved < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 242 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID < > // CarrierID < > // CarrierIDStatus Attribute < > // SlotMapStatus Attribute < > // Port Association State VID < > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
18-9
S6F11 H<-E TransferBlocked < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 207 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
497
18-10
S6F11 H<-E MaterialHasRemoved < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 300 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
18-11
S6F11 H<-E Deleted < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 290 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001"> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
18-12
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
498
S6F11 H<-E Deleted < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 407 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
18-13 S6F11 H<-E Not Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 228 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
18-14 S6F11 H<-E ReadyToLoad < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
499
< U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 2 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
500
2.2.13. Monitor NPW シナリオ
1-1
S2F15 H->E Equipment Constant Send <S2F15 W
<L, n <L,2 < ??? > // ECID
< ??? > // ECV > : <L,2 < ??? > //ECID < ??? > // ECV >
> > S5F2 H<-E Ack < S5F2 < B[1] 0 > // EAC >
2-1 S6F11 H<-E TransferBlocked < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[0]> // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
2-2 S6F11 H<-E MaterialHasArrived < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 300 > // CEID < L 1 < L 2
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
501
< U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[0]> // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
3-1
S6F11 H<-E Waiting for Host < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 214 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
3-2 S6F11 H<-E Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 227 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
502
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
3-3 S3F17 H->E ProceedWithCarrier < S3F17 W < L 5 < A[n] "PROCEEDWITHCARRIER" > // DATAID < A[n] "ProceedWithCarrier" > // CARRIERACTION < A[n] "Carrier001" > // Carrier ID < U1[1] 1 > // PTN < L 2
< L 2 < A[n] �ContentMap�> // CATTRID < L n
< A[n] �Carrier001wf01�> // CATTRDATA : :
< A[n] �Carrier001wf25�> // CATTRDATA >
> < L 2
< A[n] "Usage" > // CATTRID < A[n] "MONITOR" > // CATTRDATA > > >
> S3F18 H<-E Ack < S3F18 < L 2 < B[1] 0 > // CAACK < L > > > >
3-4 S6F11 H<-E ID Verification OK < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 215 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
503
<U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
4-1 S6F11 H<-E BufferCapacityChange < S6F11 W
< A[n] > // DATAID < U1[1] 275 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 510 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <L //BufferPartitionInfo <A[n]> // PartitionID- ID of Partition <A[n]> // PartitionType <U1[1]> // Available Physical Partition Capacity <U1[1]> // Partition Capacity <U1[1]> // UnAllocated Partition Capacity > > >
> >
S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
4-2
S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
504
> > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
4-3 S6F11 H<-E Not Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 228 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
4-4 S6F11 H<-E ReadyToLoad < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 2 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
505
S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
5-1 S6F11 H<-E TransferBlocked < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[0]> // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
5-2 S6F11 H<-E MaterialHasArrived < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 300 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[0]> // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
506
>
6-1 S6F11 H<-E Waiting for Host < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 214 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
6-2 S6F11 H<-E Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 227 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
6-3 S3F17 H->E ProceedWithCarrier < S3F17 W
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
507
< L 5 < A[n] "PROCEEDWITHCARRIER" > // DATAID < A[n] "ProceedWithCarrier" > // CARRIERACTION < A[n] "Carrier001" > // Carrier ID < U1[1] 1 > // PTN < L 2
< L 2 < A[n] �ContentMap�> // CATTRID < L n
< A[n] �Carrier001wf01�> // CATTRDATA : :
< A[n] �Carrier001wf25�> // CATTRDATA >
> < L 2
< A[n] "Usage" > // CATTRID < A[n] "PRODUCT" > // CATTRDATA > > >
> S3F18 H<-E Ack < S3F18 < L 2 < B[1] 0 > // CAACK < L > > > >
6-4 S6F11 H<-E ID Verification OK < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 215 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
7-1
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
508
S6F11 H<-E BufferCapacityChange < S6F11 W
< A[n] > // DATAID < U1[1] 275 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 510 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <L //BufferPartitionInfo <A[n]> // PartitionID- ID of Partition <A[n]> // PartitionType <U1[1]> // Available Physical Partition Capacity <U1[1]> // Partition Capacity <U1[1]> // UnAllocated Partition Capacity > > >
> >
S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
7-2
S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
7-3 S6F11 H<-E Not Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 228 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
509
< L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
7-4 S6F11 H<-E ReadyToLoad < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 2 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
8-1 S7F19 H->E Current EPPD Request < S7F19 W > S7F20 H<-E Ack < S7F20 < L n < A[n] > // PPID : : < A[n] > // PPID > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
510
8-2 S7F1 H->E Process Program Load Inquire < S7F1 W < L 2 < A[n] > // PPID < U2[1] > // Length > > S7F2 H<-E Ack < S7F2 < B[1] 0 > // PPGNT >
8-3 S7F23 H->E Process Program Send < S7F23 W < L 4 < A[n] > // PPID < A[n] > // MDLN < A[n] > // SOFTREV < L n < L 2 < ? > // CCODE < L n < ? > // PPARM : : < ? > // PPARM > > : : < L 2 < ? > // CCODE < L n < ? > // PPARM : : < ? > // PPARM > > > > > S7F24 H<-E Ack < S7F24 < B[1] 0 > // ACKC7 >
8-4 S7F27 H<-E Process Program Verification Send < S7F27 W < L 2 < A[n] > // PPID < L > // No Error > S7F28 H->E Ack < S7F28 >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
511
9-1 S16F21 H->E PR Get Space < S16F21 W > S16F22 H<-E PR Get Space Response < S16F22 < U1[1] > // PRJOBSPACE >
9-2 S1F3 H->E CJ Queue Space < S1F3 W < L 1 < U2[1] > // SVID > > S1F4 H<-E Selected Equipment Status Data < S1F4 < U1[1] > // SV >
9-3 S16F15 H->E PRJobMultiCreate < S16F15 W < L < A[n] > // DATAID < L 1 < L 6 < A[n] "PRJob001" > // PRJobID < B[1] 13 > // MF < L n // # is numbers of carrier < L 2 < A[n] "Carrier001" > // CarrierID < L < U1[1] 1 > : < U1[1] 25 > > > : : < L < A[n] "Carrier00n" > // CarrierID < L < U1[1] 1 > : < U1[1] 25 > > > > < L < A[n] > // PRRECIPEMETHOD < A[n] > // RECIPESPEC < L < L < L < A[n] > // RCPPARNM < ? > // RCPPARVAL > :
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
512
: < L < A[n] > // RCPPARNM < ? > // RCPPARVAL > > > > < Bool TRUE > // Sets start method to autostart < L // PRPAUSEEVENT List of CEID
> > > > > S16F16 H<-E RPJobMultiCreate Acknowledge < S16F16 <L2 < L < A[n] "PRJob001"> // Created PRJobID > < L < B[1] 0 > // ACKA < L > > > >
9-4 S6F11 H<-E PRJob Pooled < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 601 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID <A[n] "PRJOBPOOLED" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model <A[n]> // recipe ID for this process job > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
9-5 S14F9 H->E CJCreate < S14F9 W < L < A[n] "Equipment" > // OBJSPEC < A[n] "ControlJob" > // ObjType < L < L 2
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
513
< A[n] "ControlJobID" > // ATTRID < A[n] "ControlJob001" > // ATTRDATA > < L 2 < A[n] "ProcessingCtrlSpec" > // ATTRID < L 1 < A[n] "PRJob001" > // ATTRDATA > > < L 2 < A[n] "CarrierInputSpec" > // ATTRID < L < A[n] "Carrier001" > // ATTRDATA : : < A[n] "Carrier00n" > // ATTRDATA > > < L < A[n] "MtrlOutSpec" > // ATTRID < A[0] > // ATTRDATA > < L < A[n] "ProcessOrderMgmt" > // ATTRID < A[0] "LIST" > // ATTRDATA > < L < A[n] "StartMethod" > // ATTRID < Bool TRUE > // ATTRDATA > > > > S14F10 H<-E Ack < S14F10 < L < A[n] "EQUIPMENT" > // OBJSPEC < L < L < A[n] "ControlJobID" > // ATTRID < A[n] "ControlJob001" > // ATTRDATA > < L < A[n] "ProcessingCtrlSpec" > // ATTRID < L < A[n] "PRJob001" > // ATTRDATA > > < L < A[n] "CarrierInputSpec" > // ATTRID < L < A[n] "Carrier001" > // ATTRDATA : : < A[n] "Carrier00n" > // ATTRDATA > > < L < A[n] "MtrlOutSpec" > // ATTRID < A[0] > // ATTRDATA > < L < A[n] "ProcessOrderMgmt" > // ATTRID < A[0] "LIST" > // ATTRDATA >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
514
< L < A[n] "StartMethod" > // ATTRID < Bool TRUE > // ATTRDATA > > < L < U1[1] 0 > // OBJACK < L > > > >
9-6 S6F11 H<-E Queued < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 500 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob001" > // Control Job ID <U1[1] 1 > // Current State of the CJ model > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
9-7 S6F11 H<-E Selected < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 501 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob001" > // Control Job ID <U1[1] 2 > // Current State of the CJ model > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
9-8 S6F11 H<-E Execution began
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
515
< S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 502 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob001" > // Control Job ID <U1[1] 4 > // Current State of the CJ model > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
9-9 S6F11 H<-E PRJob Setup < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 601 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID <A[n] "SETTINGUP" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model <A[n]> // recipe ID for this process job > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
10-1 S6F11 H<-E CarrierLocationChange < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
516
<A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
10-2 S6F11 H<-E Carrier Opened < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 220 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
10-3
S6F11 H<-E Waiting for Host < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 222 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 502 > < L 9 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 2 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute <A[19] �VERIFICATION NEEDED� > // Reason
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
517
< L n < U1[1] 1 > // Slotmap : : < U1[1] 1 > // Slotmap > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
10-4 S6F11 H<-E Substrate At Source < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 402 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 531 > < L 7 < A[16] > // GEM timestamp <A[n]> // LotID attribute <L // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > <A[n]> // SubstLocIDAttribute <U1[1] 1 > // SubstProc State Attribute <U1[1] 1 > // SubstState Attribute <A[n] "PRDUCT" > // SubstUsage Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
10-5 S6F11 H<-E Substrate Occupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 410 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
518
<A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
10-6 S3F17 H->E ProceedWithCarrier < S3F17 W < L 5 < A[n] "PROCEEDWITHCARRIER" > // DATAID < A[n] "ProceedWithCarrier" > // CARRIERACTION < A[n] "Carrier001" > // Carrier ID < U1[1] 1 > // PTN < L > > > S3F18 H<-E Ack < S3F18 < L 2 < B[1] 0 > // CAACK < L > > >
10-7 S6F11 H<-E Slot Map Verification OK < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 223 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
519
< B[1] 0 > >
11-1 S6F11 H<-E CarrierInAccsess < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 208 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
11-2 S6F11 H<-E Substrate Location Unoccupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 411 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L 3 // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
520
11-3 S6F11 H<-E Substrate AT WORK < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 403 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
11-4 S6F11 H<-E Substrate Location Occupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 410 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
11-5 S6F11 H<-E Carrier Closed < S6F11 W
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
521
< L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 221 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
11-6 S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
12-1 S6F11 H<-E CarrierLocationChange < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
522
< L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
12-2 S6F11 H<-E Carrier Opened < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 220 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
12-3
S6F11 H<-E Waiting for Host < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 222 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 502 > < L 9 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
523
<A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 2 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute <A[19] �VERIFICATION NEEDED� > // Reason < L n < U1[1] 1 > // Slotmap : : < U1[1] 1 > // Slotmap > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
12-4 S6F11 H<-E Substrate At Source < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 402 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 531 > < L 7 < A[16] > // GEM timestamp <A[n]> // LotID attribute <L // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > <A[n]> // SubstLocIDAttribute <U1[1] 1 > // SubstProc State Attribute <U1[1] 1 > // SubstState Attribute <A[n] "PRDUCT" > // SubstUsage Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
12-5 S6F11 H<-E Substrate Occupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 410 > // CEID < L 1
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
524
< L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
12-6 S3F17 H->E ProceedWithCarrier < S3F17 W < L 5 < A[n] "PROCEEDWITHCARRIER" > // DATAID < A[n] "ProceedWithCarrier" > // CARRIERACTION < A[n] "Carrier001" > // Carrier ID < U1[1] 1 > // PTN < L > > > S3F18 H<-E Ack < S3F18 < L 2 < B[1] 0 > // CAACK < L > > >
12-7 S6F11 H<-E Slot Map Verification OK < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 223 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
525
> > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
13-1 S6F11 H<-E CarrierInAccsess < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 208 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
13-2 S6F11 H<-E Substrate Location Unoccupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 411 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L 3 // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
526
S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
13-3 S6F11 H<-E Substrate AT WORK < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 403 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
13-4 S6F11 H<-E Substrate Location Occupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 410 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
527
13-5 S6F11 H<-E Carrier Closed < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 221 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
13-6 S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
14-1 S6F11 H<-E CarrierLocationChange < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
528
< L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
14-2 S6F11 H<-E Carrier Opened < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 220 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
14-3
S6F11 H<-E Waiting for Host < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 222 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 502 > < L 9
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
529
<A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 2 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute <A[19] �VERIFICATION NEEDED� > // Reason < L n < U1[1] 1 > // Slotmap : : < U1[1] 1 > // Slotmap > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
14-4 S3F17 H->E ProceedWithCarrier < S3F17 W < L 5 < A[n] "PROCEEDWITHCARRIER" > // DATAID < A[n] "ProceedWithCarrier" > // CARRIERACTION < A[n] "Carrier001" > // Carrier ID < U1[1] 1 > // PTN < L > > > S3F18 H<-E Ack < S3F18 < L 2 < B[1] 0 > // CAACK < L > > >
14-5 S6F11 H<-E Slot Map Verification OK < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 223 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
530
<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
14-6 S6F11 H<-E Carrier Closed < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 221 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
14-7 S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
531
S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
15-1 S6F11 H<-E PRJob Processing < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 602 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID <A[n] "PROCESSING" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model <A[n]> // recipe ID for this process job > > > > > S6F12 H->E PRJob Processing Ack < S6F12 < B[1] 0 > > 15-2 S6F11 H<-E Substrate In Process < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 404 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
532
15-3 S6F11 H<-E Substrate ProcessingComplete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 405 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
15-4 S6F11 H<-E Approching Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 250 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 501 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute <U1[1] 5 > // Carrier Complete remain time [min] > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
15-5 S6F11 H<-E Processing Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 605 > // CEID < L 1
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
533
< L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID <A[n] "PROCCOMPLETE" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model <A[n]> // recipe ID for this process job > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
16-1 S6F11 H<-E CarrierLocationChange < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
16-2 S6F11 H<-E Carrier Opened < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 220 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
534
<U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
16-3 S6F11 H<-E Substrate Location Unoccupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 411 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L 3 // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
16-4 S6F11 H<-E Substrate AT DESTINATION < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 406 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
535
> > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
16-5 S6F11 H<-E Substrate Location Occupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 410 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
16-6
S6F11 H<-E Carrier Closed < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 221 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
536
S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
16-7
S6F11 H<-E CarrierComplete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 209 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
16-8
S6F11 H<-E CarrierLocationChange < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
537
17-1 S6F11 H<-E CarrierLocationChange < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
17-2 S6F11 H<-E Carrier Opened < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 220 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
17-3 S6F11 H<-E Substrate Location Unoccupied < S6F11 W < L 3
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
538
< A[n] > // DATAID < U1[1] 411 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L 3 // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
17-4 S6F11 H<-E Substrate AT DESTINATION < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 406 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
17-5 S6F11 H<-E Substrate Location Occupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 410 > // CEID < L 1 < L 2
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
539
< U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
17-6 S6F11 H<-E PJ Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 606 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID <A[n] "PRJOBCOMPLETE" >
// PRJobState attribute- Current State of the PJ model <A[n]> // recipe ID for this process job > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
17-7
S6F11 H<-E CJ Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 503 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob001"> // Control Job ID <U1[1] 6 > // Current State of the CJ model > > > > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
540
S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
17-8
S14F11 H->E Delete Request < S14F11 W < L 2 < A[n] "EQUIPMENT" > // OBJSPEC < L 1 < L 2 < A[n] "ControlJob" > // ATTRID < A[n] "ControlJob001" > // ATTRDATA > > > > S14F12 H<-E Ack < S14F12 < L 2 < L > < L 2 < U1[1] 0 > // OBJACK < L > > > >
17-9 S6F11 H<-E Deleted < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 504 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob001" > // Control Job ID <U1[0]> // Current State of the CJ model > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
17-10
S6F11 H<-E Carrier Closed < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 221 > // CEID < L 1 < L 2
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
541
< U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
17-11
S6F11 H<-E CarrierComplete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 209 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
17-12
S6F11 H<-E CarrierLocationChange < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
542
<L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
18-1
S3F17 H->E CarrierOut < S3F17 W
< L 5 < A[n] > // DATAID < A "CARRIEROUT" > // CARRIERACTION < A[n] > // CARRIERSPEC(CarrierID) < U1[0] > // PTN < L > >
>
< S3F18 < L 2 < U1[1] > // CAACK < L > >
>
18-2
S6F11 H<-E TransferBlocked < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
543
>
18-3
S6F11 H<-E Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 227 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
18-4
S6F11 H<-E Reserved < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 241 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID < > // CarrierID < > // CarrierIDStatus Attribute < > // SlotMapStatus Attribute < > // Port Association State VID < > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
18-5 S6F11 H<-E CarrierLocationChange < S6F11 W
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
544
< A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
18-6
S6F11 H<-E BufferCapacityChange < S6F11 W
< A[n] > // DATAID < U1[1] 275 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 510 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <L //BufferPartitionInfo <A[n]> // PartitionID- ID of Partition <A[n]> // PartitionType <U1[1]> // Available Physical Partition Capacity <U1[1]> // Partition Capacity <U1[1]> // UnAllocated Partition Capacity > > >
> >
S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
18-7
S6F11 H<-E ReadyToUnload < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 206 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
545
<A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 3 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
18-8
S6F11 H<-E Not Reserved < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 242 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID < > // CarrierID < > // CarrierIDStatus Attribute < > // SlotMapStatus Attribute < > // Port Association State VID < > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
18-9
S6F11 H<-E TransferBlocked < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 207 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
546
<U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
18-10
S6F11 H<-E MaterialHasRemoved < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 300 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
18-11
S6F11 H<-E Deleted < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 290 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001"> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
547
> > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
18-12 S6F11 H<-E Deleted < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 407 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
18-13 S6F11 H<-E Not Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 228 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
548
S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
18-14 S6F11 H<-E ReadyToLoad < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 2 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
19-1
S3F17 H->E CarrierOut < S3F17 W
< L 5 < A[n] > // DATAID < A "CARRIEROUT" > // CARRIERACTION < A[n] > // CARRIERSPEC(CarrierID) < U1[0] > // PTN < L > >
>
< S3F18 < L 2 < U1[1] > // CAACK < L > >
>
19-2
S6F11 H<-E TransferBlocked < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
549
< L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
19-3
S6F11 H<-E Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 227 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
19-4
S6F11 H<-E Reserved < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 241 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
550
<U1[1]> // PortID < > // CarrierID < > // CarrierIDStatus Attribute < > // SlotMapStatus Attribute < > // Port Association State VID < > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
19-5 S6F11 H<-E CarrierLocationChange < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
19-6
S6F11 H<-E BufferCapacityChange < S6F11 W
< A[n] > // DATAID < U1[1] 275 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 510 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <L //BufferPartitionInfo <A[n]> // PartitionID- ID of Partition <A[n]> // PartitionType <U1[1]> // Available Physical Partition Capacity <U1[1]> // Partition Capacity <U1[1]> // UnAllocated Partition Capacity > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
551
> > >
S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
19-7
S6F11 H<-E ReadyToUnload < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 206 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 3 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
19-8
S6F11 H<-E Not Reserved < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 242 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID < > // CarrierID < > // CarrierIDStatus Attribute < > // SlotMapStatus Attribute < > // Port Association State VID < > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
552
< S6F12 < B[1] 0 > >
19-9
S6F11 H<-E TransferBlocked < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 207 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
19-10
S6F11 H<-E MaterialHasRemoved < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 300 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
553
19-11
S6F11 H<-E Deleted < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 290 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001"> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
19-12 S6F11 H<-E Deleted < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 407 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
19-13 S6F11 H<-E Not Associated < S6F11 W
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
554
< L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 228 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
19-14 S6F11 H<-E ReadyToLoad < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 2 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
20-1 S2F41 H->E CarrierComplete < S2F41 W < L 2 < A[n] �CarrierComplete� > // RCMD < L 1 < L 2 <A[n] �CARRIERID� > // CPNAME
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
555
<A[n] �Carrier00n�> // CPVAL (CarrierComplete) > > > > S2F42 H->E Ack < S2F42 <L 2 < B[1] 0 > //HCACK < L 0 > > >
20-2
S6F11 H<-E CarrierComplete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 209 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
21-1
S3F17 H->E CarrierOut < S3F17 W
< L 5 < A[n] > // DATAID < A "CARRIEROUT" > // CARRIERACTION < A[n] > // CARRIERSPEC(CarrierID) < U1[0] > // PTN < L > >
>
< S3F18 < L 2 < U1[1] > // CAACK < L > >
>
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
556
21-2
S6F11 H<-E TransferBlocked < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
21-3
S6F11 H<-E Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 227 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
21-4
S6F11 H<-E Reserved < S6F11 W
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
557
< L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 241 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID < > // CarrierID < > // CarrierIDStatus Attribute < > // SlotMapStatus Attribute < > // Port Association State VID < > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
21-5 S6F11 H<-E CarrierLocationChange < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
21-6
S6F11 H<-E BufferCapacityChange < S6F11 W
< A[n] > // DATAID < U1[1] 275 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 510 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
558
<A[n]> // CarrierID <L //BufferPartitionInfo <A[n]> // PartitionID- ID of Partition <A[n]> // PartitionType <U1[1]> // Available Physical Partition Capacity <U1[1]> // Partition Capacity <U1[1]> // UnAllocated Partition Capacity > > >
> >
S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
21-7
S6F11 H<-E ReadyToUnload < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 206 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 3 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
21-8
S6F11 H<-E Not Reserved < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 242 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID < > // CarrierID < > // CarrierIDStatus Attribute < > // SlotMapStatus Attribute
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
559
< > // Port Association State VID < > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
21-9
S6F11 H<-E TransferBlocked < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 207 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
21-10
S6F11 H<-E MaterialHasRemoved < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 300 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
560
> > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
21-11
S6F11 H<-E Deleted < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 290 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001"> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
21-12 S6F11 H<-E Deleted < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 407 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
561
< S6F12 < B[1] 0 > >
21-13 S6F11 H<-E Not Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 228 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
21-14 S6F11 H<-E ReadyToLoad < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 2 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
562
2.2.14. 搬入時 E84ハンドシェークシーケンス
L REQ(P"A)
U REQ(P"A)
READY(P"A)
CS_0(A"P)
CS_1(A"P)
VALID(A"P)
TR REQ (A"P)
BUSY(A"P)
CONT(A"P)
COMPT (A"P)
HO_AVBL
(P"A)
CS isSpecified
TransferStart
Carrier isdetected
Transfer isCompleted
ReleaseCS is
specified
(P"A)
ES
3
6
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
563
2.2.15. 搬出時 E84ハンドシェークシーケンス
L_RE Q(P"A)
U_REQ(P"A)
READY(P"A)
CS_0(A" P)
CS_1(A" P)
VALID(A" P)
TR_REQ (A"P)
BUSY(A" P)
CONT(A" P)
COM PT (A"P)
HO_AV BL
(P" A)
CS isSpecified
TransferStart
Carrier isrem oved
Transfer isCom pleted
ReleaseCS is
specified
(P"A)E S
59
62
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
564
2.2.16. E84タイマー一覧 AMHS側 監視タイマー
タイマータイマータイマータイマー 監視内容監視内容監視内容監視内容 標準値標準値標準値標準値 単位単位単位単位 範囲範囲範囲範囲
TA1 VAILD信号 ONから L_REQ/U_REQ信号 ONまで 2 秒 1-999
TA2 TR_REQ信号 ONから READY信号 ONまで 2 秒 1-999
TA3 COMPT信号 ONから READY信号 OFFまで 2 秒 1-999
TA4 BUSY信号 ONから L_REQ(U_REQ)信号 OFFまで 60 秒 1-999
※ 1 Seleteにて独自に要求(SEMIスタンダードに記述なし)
製造装置側 監視タイマー
タイマータイマータイマータイマー 監視内容監視内容監視内容監視内容 標準値標準値標準値標準値 単位単位単位単位 範囲範囲範囲範囲
TP1 L_REQ/U_REQ信号 ONから TR_REQ信号 ONまで 2 秒 1-999
TP2 READY信号 ONから BUSY信号 ONまで 2 秒 1-999
TP3 BUSY 信号 ON からキャリアプレースメントセンサーON まで(搬入時)、またはキャリアプレゼンスセンサーOFF まで(搬出時)
60 秒 1-999
TP4 L_REQ/U_REQ信号 OFFから BUSY信号 OFFまで 60 秒 1-999
TP5 BUSY信号 OFFから VAILD信号 OFFまで 2 秒 1-999
TP6 VAILD信号OFFから次のハンドオフのためのVAILD信号ONまで(連続移載のためのCONT信号がONである場合に監視する)
2 秒 1-999
AMHS側 遅延タイマー
タイマータイマータイマータイマー 監視内容監視内容監視内容監視内容 標準値標準値標準値標準値 単位単位単位単位 範囲範囲範囲範囲
TD1 VAILD信号OFFから次のハンドオフのためのVAILD信号ONまで(連続移載を必要とする場合に使用する)
1 秒 1-999
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
565
2.2.17. イベントレポートフォーマット
今回のシナリオで使用しているイベントレポートの ID及びフォーマットを次に示す。 ReportID
500 Loadport and Carrier state
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1]> // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n]> // CarrierID
<U1[1]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[1]> // Port Association State VID
<U1[1]> // Carrier AccessingStatus Attribute
501 Carrier state and Aproaching
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<U1[1]> // Carrier AccessingStatus Attribute
<U1[1]> // Carrier Complete remain time
502 Carrier state and Slotmap State
<A[16]> // GEM timestamp
<U1[1]> // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n]> // CarrierID
<U1[1]> // CarrierIDStatus Attribute
<U1[1]> // SlotMapStatus Attribute
<U1[1]> // Port Association State VID
<U1[1]> // Carrier AccessingStatus Attribute
<A[n]> // Reason
< L
< U1[1] > // Slotmap
:
< U1[1] > // Slotmap
>
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
566
510 Buffer Capacity
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<L //BufferPartitionInfo
<A[n]> // PartitionID- ID of Partition
<A[n]> // PartitionType
<U1[1]> // Available Physical Partition Capacity
<U1[1]> // Partition Capacity
<U1[1]> // UnAllocated Partition Capacity
>
512 Carrier Location State
<A[16]> // GEM timestamp
<A[n]> // CarrierID
<A[n]> // Location ID
<L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair
<L
<A[n]> // Location ID
<A[n]> // CarrierID
>
>
515 Loadport Reserve State
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<U1[1]> // PortTransfer State
<U1[1]> // PortID
<A[n]> // CarrierID
<U1[1]> // Port Reservation State
通信シナリオ参考書 <内部バッファ/バッチ処理装置編>
株式会社 半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日
567
530 Substrate State
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // LotID attribute
<L // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
<A[n]> // SubstLocIDAttribute
<U1[1]> // SubstProc State Attribute
<U1[1]> // SubstState Attribute
<A[n]> // SubstUsage Attribute
531 Substrate Location State
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Location ID
<L // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1
<A[n]> // WaferID attribute
:
:
<A[n]> // WaferID attribute
>
600
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Control Job ID
<U1[1]> // Current State of the CJ model
700
<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK
<A[n]> // Process Job ID
<A[n]> // PRJobState attribute- Current State of the PJ model
<A[n]> // recipe ID for this process job