機械設計、危害能量隔離、危害警告標示©Ÿ械設計、危害能量隔離... · • 輻射-紫外光(UV Lamp:O3)、Laser 危險鑑別－危害類型驗證方式檔審查

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財團法人精密機械研究發展中心

Precision Machinery R&D Center

財團法人精密機械研究發展中心機械安全部王清松(04)2359-9009 分機864

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機械設計、危害能量隔離、危害警告標示


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機械設計-風險評估與危害鑑別

風險評估相關標準 EN 1050:1996 (歐盟機台安全-風險評估原則)

EN ISO 14121-1:2007 (取代 EN 1050:1996)

ISO 12100-1:2010(取代ISO 12100-1:2003, ISO 12100-2:2003 and ISO 14121-1:2007)

SEMI S10-0307E 風險評估SEMI S14-0309 火災風險評估

SEMI (Semiconductor Equipment and Materials International)

財團法人精密機械研究發展


危險---???? 風險---????



危險-事件概念風險-事件嚴重性+機率概念

Risk — combination of the probability of occurrence of harm and the severity of that harm. (ISO 12100:2010 - 3.12)

風險-發生危害的機率與危害嚴重性的組合



風險---情境判斷(Life Cycle)

搬運設計及製造

維修保養報廢及回收

操作



• 信號機的色燈，一般依紅、黃、綠

的順序看起來有愈來愈近的感覺。

行為認知與失誤



• 輻射- 紫外光(UV Lamp:O3)、 Laser危險鑑別－危害類型

驗證方式 ▓檔審查 ▓實機確認測試標示：雷射等級的分類

危害警告標示

操作手冊：需說明雷射危害及安全使用方法

安全防護裝置確認：

護罩

光學觀測安全系統

防護罩連結鎖(interlock)裝置：當此裝置移除時，需立即關閉雷射電源



噪音引起的危險將導致聽力損失及其他生理上的失調(例如失去平衡感、失去知覺)，甚至操作機械時會幹擾語言溝通或是聲音訊號。

• 噪音危害

危險鑑別－危害類型



• 忽視人因工程原則而衍生− 照明、(觸碰式)視覺顯示器、燈光、聲響、控制面盤

危險鑑別－危害類型



FunctionRisk

Probability

Severityof

HarmOccurrence

Exposure

Avoid

Risk - combination of the probability of occurrence of harm and the severity of that harm. (ISO 12100:2010-3.12)

風險 - 發生危害的機率與危害的嚴重性的組合

風險危害的嚴重性危害的可能性•暴露的人員

•危險的事件發生

• 避免或限制危害的可能性



嚴重性等級 (Severity Grouping)：SEMI S10



可能性等(Likelihood)：SEMI S10



風險矩陣(Risk Ranking Matrix): SEMI S10



人因工程

SEMI S8-半導體製造設備人因工程之安全基準



指示燈

提供警告裝置

燈號



工作區保護，參考EN ISO 13857:2008，設計具有隔離作用之安全防護結構(圍籬) 於危險區域四周。安全防護結構之距離與高度選用，參考下圖與表。

a：危險區域的高度

b：保護裝置的高度

c：至危險區域的水準距離

防護措施-防護結構之距離與高度



危險區域的高度 a

防護結構的高度b （單位mm）

1000 1200 1400 1600 1800 2000 2200 2400 2500 2700

至危險區域的水準距離c

2700 - - - - - - - - - -

2600 900 800 700 600 600 500 400 300 100 -

2400 1100 1000 900 800 700 600 400 300 100 -

2200 1300 1200 1000 900 800 600 400 300 - -

2000 1400 1300 1100 900 800 600 400 - - -

1800 1500 1400 1100 900 800 600 - - - -

1600 1500 1400 1100 900 800 500 - - - -

1400 1500 1400 1100 900 800 - - - - -

1200 1500 1400 1100 900 700 - - - - -

1000 1500 1400 1000 800 - - - - - -

800 1500 1300 900 600 - - - - - -

600 1400 1300 800 - - - - - - -

400 1400 1200 400 - - - - - - -

200 1200 900 - - - - - - - -

0 1100 500 -

(1) 低於1000mm 高度之防護結構不包括在內，因其不足以限制人體之移動。(2) 在表中各值之間不應有內插值存在，當已知a、b 或c 值是介於表中之二個數值之間時，則需採用具有較高的安全水準之值。

防護措施-防護結構之距離與高度

16001500



當設備的移動機構被設計成需於不同狀態下操作時 (例：維修、調

整模式不同速度或能量來源)，應提供模式選擇開關(Key switch)或

Password 密碼，並確保調整與選擇這些模式時能安全的被執行。

Teach Auto

機械安全防護設計之要求 -移動機構之安全設計-模式選擇開關



自動模式

手動模式

設定、調整、校模、維修、保養

SettingAuto


鑰匙-可鎖式



自動模式

手動模式

設定、調整、校模、維修、保養


密碼



壓力檢知式

Safety Mat 型式

存在檢知 sensor

危險區域

反射光式

Safety Laser Scanner 型式

機械安全防護設計之要求 –其它機械安全相關要求-視覺死角



危害能量隔離

危害能量的隔離原則：鈑金或固定式護罩防護等

危害能量的停止原則：連鎖式護罩(搭配interlock)或光柵等安全sensor



隔離原則

設置遮罩的防護・將危險能量隔離・視情況設置最小限度開口

危険源

危険源

危險能量的隔離



危險能量的停止

停止原則

設置安全裝置的防護・未經確認則停止・停止後需經人員確認復歸

危険源

危険源



危險能量的隔離原則危險能量的停止原則

危險能量的停止原則危險能量的停止原則



‧每年一次 -固定式

‧每月一次 -固定式

‧每週一次 -固定式

‧每天一次 -移動式/固定式

‧每天超過一次 -移動式

‧每小時超過一次 -移動式

防護措施-護罩種類選用


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最大動作區域

投光器

受光器

安全距離(S)

投光器

受光器

接觸

安全裝置設置不當

安全防護裝置須正確的安裝才能發揮其功能



機械安全防護設計之要求 -極限溫度

-人體可接觸之表面溫度 -無法執行或設計相關保護時 -包覆與警告標誌



人體可接觸之表面溫度，高溫(限制如下表)或低溫[低於-10C]，應安裝護罩或防止接觸之設計。

接近部位最大表面溫度(℃)

金屬玻璃、陶瓷塑膠、橡膠

手把、旋鈕、柄等，正常使用下短時間(≦5秒)握住或接觸 60 70 85

手把、旋鈕、柄等，正常使用下連續握住 51 56 60

系統外部表面，或系統內部元件可能接觸的地方 65 80 95

機械安全防護設計之要求 -極限溫度-人體可接觸之表面溫度



當暴露於極限溫度，且溫度超過容許值，無法執行或設計相關之保護，應符合以下兩個條件: (1) 不小心接觸到表面而不會造嚴重傷害。(2) 此表面應標示相關溫度傷害之警告標誌。

機械安全防護設計之要求 -極限溫度-無法執行或設計相關保護時



危害點位置及相對應之安全標示

危害警告標示



安全標示型式

SEMI S1標示要求



單一圖案之直式標示

安全標示型式

SEMI S1標示要求



安全標示的內容至少應包含三個部分：警語區、圖案區及訊息區。

SEMI S1標示要求



安全標示內容應傳達以下訊息：(1)警語區傳遞：危害的嚴重性(2)圖案區傳達：危害的種類或此類危害可能衍生的

後果、傳達避免危害的方法(3)訊息區傳達：危險來源、受害程度及可能受害之

機率、迴避方法。

SEMI S1標示要求



警語標示說明（1）警語區(1)警語區使用安全警告符號 (圖頂正三角形中加驚嘆號)及DANGER、WARNING、CAUTION三種警語。DANGER : 會發生立即性的危險情況，該危險發生時

極易造成人員死亡或重傷。

背景及驚嘆號為紅色文字及三角形為白色



警語標示說明（2）警語區(2)警語區使用安全警告符號 (圖頂正三角形中加驚嘆號)及DANGER、WARNING、CAUTION三種警語。WARNING: 會發生潛在性的危險情況，該危險發生

時可能造成死亡或重傷。

背景及驚嘆號為橘色文字及三角形為黑色



警語標示說明（3）警語區(3)警語區使用安全警告符號 (圖頂正三角形中加驚嘆號)及DANGER、WARNING、CAUTION三種警語。CAUTION : 會發生潛在性的危險情況，該危險發生時可能造成中度傷害或輕傷，此警語亦可用來警示不安全之行為動作。

背景及驚嘆號為黃色文字及三角形為黑色



警告標示 - IEC 61310-1 警告標示

易燃物或高溫爆炸物有毒物質腐蝕性物質

放射性物質工程用車危險:有電具強烈磁性

標示的幾何形狀限制和顏色



警告標示 Hazard Identification Symbol




禁止標示 - IEC 61310-1

不准抽煙不准點火行人禁止進入不要用水熄火

不能喝未經准許的人禁止進入

工程用車禁止進入

不准觸碰




禁止標示 Prohibition Symbol




安全要求標示- IEC 61310-1

要戴上眼睛保護裝置

要戴上安全帽要戴上耳朵保護裝置

要戴上呼吸工具

要穿上安全長靴要戴上安全手套要穿上防護衣要戴上臉部的保護裝置





安全要求標示 Mandatory Action Symbol




機械安全部王清松


工具機工業機械(CE、GB)

IC產業(SEMI S2)

綠色環保(ECO)

產業設備高科技設備安全(FPD 、太陽能、LED)

PMC安全技術

設備安全規格書建置暨環安顧問：華星光電8.5G及AMOLED(99年~現今)群創、奇美光電(94年~現今)奇能光電(太陽能廠)友達光電(指定之安全驗證單位)晶元電子(LED) …………

台積電tsmc核可第三公證單位聯華電子SEMI S2計畫中華映管SEMI S2計畫

超過400家機械設備商輔導、驗證

中國鋼鐵設備安全規格書建置暨環安顧問

執行歐盟生態指令輔導、測試、驗證

安全技術教育訓練：晶元電子(LED)奇菱電子友達光電華映……

設備安全規格書建置暨環安顧問科技廠指定之安全驗證單位安全技術教育訓練Robot與AMHS專案加熱器專案化學氣體洩露…………


PMC為台積電(tsmc) 指定之SEMI S2驗證單位



Machinery Safety DepartmentElectromagnetic Compatibility Department

S E M I Semiconductor Process Equipment Manufacturing System Consulting and Examination

CE Marking Consulting and Examination

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