ＳｉＣデバイス

産学公連携で改善要望反映

ロム

年に世界で初めて量

産化を実現した﹁のや

ＳｉＣパワモけ

や﹂内部のすイオ

ドやトランけスタが全

てＳｉＣで構成

　ロべは科学技術振

興機構の研究成果展開

事業﹁京都地域げな

えもげじばログも

べ﹂で中核となる炭化

ケイ素︵ＳｉＣ︶なよ

だどイげを域供す

るＳｉＣ関連ではこ

れまで世界初の量産化

を立て続けに実現２

０１２年ののやＳｉＣ

なよモけやや

年のちレれず︵溝︶

構造を採用したＳｉＣ

の金属酸化膜半導体電

界効果ちもれけげじ

︵ＭＯＳＦＥＴ︶など

だ産学公連携によ

りこうした最先端技

術の活用が徐々に拡大

している

　特に注目はちレれず

構造のＳｉＣ뗙ＭＯＳ

ＦＥＴかち部分が

ウエとの中に３次元

的な溝のような偏で入

り込んでいる小型化

の実現と同時にソ

げ・ドレイれ間の電流

が最短経路で流れるこ

とでオれ抵抗も削

減﹁従来のばレナ

構造と比べオれ抵抗を

％削減でき素子の

集積度も高くできる﹂

︵伊野和英なよだど

イげ生産本部統括部

長︶という

　げなえもげじ

を通じこうしただど

イげが企業の製品に組

み込まれることで多

くの改善要望も受け

た中でも大電流対応

の要望は多くそれら

を新製品開発に反映さ

せているまた高速

げイずれグを実現す

ると必然的にでイこが

発生しやすくなるそ

の課題解決のためにも

産学連携はさらに重要

となる

　ＳｉＣ業界はドイそ

・イれのつオれたえ

でロけこや米えリ

などが先兵しそこに

ロべが参入した偏

最近は国内企業による

追い上げも激しいロ

べはさらにオれ抵

抗削減や使い勝化の向

上を進めた﹁第４世

代﹂を年末までに製

品化し業界をリド

する考えだ

　

京都の連携　

２０１７　

｜｜｜｜｜｜｜｜｜｜成成成成成成成成成成果果果果果果果果果果創創創創創創創創創創出出出出出出出出出出へへへへへへへへへへ躍躍躍躍躍躍躍躍躍躍動動動動動動動動動動｜｜｜｜｜｜｜｜｜｜

分野超えて広がる

ニチがン／ＳＡＣＬＡ

ビームライン３本同時利用　 　 ニチがンの電源 　 　

ＳｉＣ活用で開発実現

　理化学研究所︵理研︶は高輝度光科学研究ごれじ︵ＪＡＳＲＩ︶と共同で建設した

Ｘ線自由電子レく︵ＸＦＥＬ︶施設﹁ＳＡＣＬＡ﹂︵兵庫県佐用町︶でビべも

イれの３本同時利用を９月に世界で初めて開始するその運用を支えるのが理研Ｊ

ＡＳＲＩつずがれで共同開発した電源﹁高出力なやげ電源﹂だこれによりみく

の実験機会を現在の約２倍に拡大できると期待が高まている

ニチがンと共同開発した﹁高出力パやス

電源﹂ビムラインの振り分けに使用

するＳｉＣの活用で巨大化を抑えた

　　 　　│ │ 　　 　　 　月 　 　日떵金 　曜 　日 　２０１７年 　（ 　平 　成２９年 　） 　│ 　　　땊　広 　告 　特 　集 　땋　 │ 　第３種郵便物認可 　││ │ │ │ │

　ＳＡＣＬＡはの

べち秒︵のべちは１

０００兆分の１︶とい

う世界最短のなやげ幅

でＸＦＥＬを発振す

る非常に短時間で起

こる現象を観察でき

たんぱく質の構造解析

やナでたえでロけ分

野の研究で活用されて

いる

　これまで利用されて

いたビべもイれは軟

Ｘ線と硬Ｘ線のそれぞ

れ１本ずつこのうち

つこが高い硬Ｘ線の

利用を増やすため一

つの電子銃から放出さ

れた硬Ｘ線用の電子ビ

べをなやげごとに振

り分けて２本にする

振り分けに用いるのが

うい電磁石でそ

の動作には電流値の偏

差が万分の１という

高精度な電源が必要と

なるそこにつずがれ

の技術が採用されたの

だ

　試験運用の開始は２

０１５年だがこの時

は２本に振り分けた

ことでビべの質が劣

化するという問題があ

た뗇当然뗆十分な実験

ができないとみく

から不満が噴出した

　そこで急き設計を

見直したところう

い電磁石の動作に必

要な電圧が従来の約６

倍も必要になると判

明これだと電源だけ

でも施設に収まらない

巨大な装置になてし

まう

　再び電源の開発を依

頼されたつずがれは

内部の回路に次世代の

なよ半導体だどイげ

である炭化ケイ素︵Ｓ

ｉＣ︶製金属酸化膜半

導体電界効果ちもれけ

げじ︵ＭＯＳＦＥＴ︶

を採用電力損失を大

幅に低減できるＳｉＣ

の活用によて装置

の巨大化を抑えた開

発期間はわずか１年

弱年初頭にはビ

べたげちにこぎ着け

た理研の放射光科学

総合研究ごれじの田

中均副ごれじ長は

﹁ＳｉＣでなければ開

発は実現できなか

た﹂と振り返る

　もともとつずがれは

ＳＡＣＬＡの電子銃か

ら放出された電子ビ

べの加速に必要な電源

なども域供している

ＳＡＣＬＡが稼働した

年以来不可欠な存

在だ今回の共同開発

もその延長線上にあ

る

　ＳＡＣＬＡは米国に

次いで世界で２番目に

建設されたＸＦＥＬ施

設海世からも多くの

研究者が訪れるだが

年に入りドイそ

げイげ韓国などでも

同施設が稼働を開始す

る予定で国際競争の

激化が著しい生き残

るためには日本でも一

層の企業連携が重要に

なてきている