Upload
yehudi
View
25
Download
0
Embed Size (px)
DESCRIPTION
INTEGRÁLT MIKRORENDSZEREK. MEMS = Micro- Electro- Mechanical Systems. Elektronikus Eszk özök Tanszék 1999. Hogy mit lehet megcsinálni… ! A “nano-gitár”. Egykristályos Si, a húrok szélessége 50 nm = 100 atom!. Egy “bef üggesztett” elem Funkció: „hot plate”. - PowerPoint PPT Presentation
Citation preview
Elektronikus EszkElektronikus Eszközök Tanszéközök Tanszék
19991999
INTEGRÁLT INTEGRÁLT MIKRORENDSZEREKMIKRORENDSZEREK
MEMS = Micro- Electro- Mechanical MEMS = Micro- Electro- Mechanical SystemsSystems
Hogy mit lehet megcsinálni… Hogy mit lehet megcsinálni… !!
A “nano-gitár”A “nano-gitár”
Egykristályos Si, a húrok szélessége 50 nm = 100 Egykristályos Si, a húrok szélessége 50 nm = 100 atom!atom!
Egy “befEgy “befüggesztett” elemüggesztett” elemFunkció: „hot plate”Funkció: „hot plate”
Méretek: pl. 200x200 m, vastagság 3-4 m
HOGYAN HOGYAN KÉSZÜL?KÉSZÜL?
A front-oldali megmunkálásA front-oldali megmunkálásKristálytani iránytól függő, szelektív Kristálytani iránytól függő, szelektív
marásmarás
A felület: A felület:
<100><100> sík sík
<111> s<111> síkokíkok
Alkalmazás:Alkalmazás: gyorsulásmérő, rezgésmérőgyorsulásmérő, rezgésmérő
Szeizmikus Szeizmikus tömegtömeg
Rugalmas nyakRugalmas nyak
Piezorezisztív Piezorezisztív érzékelőérzékelő
(hídkapcsolásban(hídkapcsolásban))
A feláldozandó (sacrified) A feláldozandó (sacrified) rétegréteg
Például: SiO2 a poli alatt
Feláldozandó réteggel Feláldozandó réteggel készült csapágykészült csapágy
Ez a himba elfordulhat
Függesztett membrán, Függesztett membrán, feláldozandó réteggelfeláldozandó réteggel
Elektrosztatikus Elektrosztatikus mozgatás:mozgatás:
elmozdulás keltéselmozdulás keltés
dx
dCU
UC
dx
d
dx
dWF 2
2
2
1...
2
Elektrosztatikus Elektrosztatikus mozgatás:mozgatás:
szögelfordulás keltésszögelfordulás keltés
Elektrosztatikus Elektrosztatikus mozgatás:mozgatás: mikro-motormikro-motor
A mikro-motor légrése és A mikro-motor légrése és csapágyazásacsapágyazása
Elektrosztatikus Elektrosztatikus mozgatás:mozgatás:
billenőtükrös fénymodulátorbillenőtükrös fénymodulátor
Ez egy Ez egy MOEMSMOEMS: Micro- Opto- Electro- Mechanical : Micro- Opto- Electro- Mechanical SystemSystem
A LIGA eljárásA LIGA eljárás A maszk vastag poli-imid réteg, exponálás A maszk vastag poli-imid réteg, exponálás szinkrotron sugárral, előhívás, galvanikus szinkrotron sugárral, előhívás, galvanikus
rétegnövesztésrétegnövesztés
Ezek itt fém Ezek itt fém fogaskerekek!fogaskerekek!