外乱振動制御

磁場変動制御

■アクティブ除振

・ 極限まで低床化

・ XYZ 方向及び各回転軸の制御

・ 少ないエアー消費 （当社比 約 1/10）

・ オプション対応 ： 振動状況のモニタリング + 監視機能

STEP3　設計･製作

STEP4　設置･制御調整

■アクティブ磁場キャンセラー

・ 直流、 交流を同時に制御

・ 設置環境に合わせたﾌﾚｰﾑ構造

・ 高性能 ・ 最大 40 ～ 60dB の優れた減衰性能

・ 低コスト ・ シールドによる磁場対策に比べ約 1/10 のコストを実現

・ 簡単施工 ・ 装置周辺にコイルを固定するだけの簡単施工

地盤･外乱振動 ・ 電磁変動 ・ 音響などの設置環境を自社開

発品のサーボ型加速度センサー､低域振動計､ＦＦＴアナライ

ザーなどを使用し現地にて測定､解析いたします。STEP1　調査･解析

対象機の性能を十分引き出す最適なプランをご提案。STEP2　ご提案

専業メーカーとして常に研究開発と製品改良を行っております。

その蓄積から最も効果的な製品をご提供します。

補償磁場外乱磁場 電子線応用装置

パソコン

磁場センサフラックスゲート

アンプ＆コントローラ(DM-70)

磁場発生用コイルヘルムホルツコイル

■システムブロック図

除振装置の据付は約 3 時間｡ 装置搭載後のシステム稼働､

性能確認まで約 2 時間で完了します。

メンテナンスサービス､サポートは当社にお任せください。STEP4　メンテナンス

事前環境計測から設置、 立ち上げまで一貫して対応いたします。

電子顕微鏡向け低床除振装置 　 L　　　　　　　　+アクティブ磁場キャンセラー　AMC

快適で最適な検査環境を

低床アクティブ除振装置 +アクティブ磁場キャンセラーで実現

αα高重心装置対応

アンプ&コントローラー DM-70

外乱振動制御

磁場変動制御

■仕様 ■仕様

低床アクティブ除振装置　 アクティブ磁場キャンセラー　

・ 高性能 ： 最大 40 ～ 60dB の優れた減衰性能

・ 低コスト ： シールドによる磁場対策に比べ約 1/10 のコストを実現

・ 簡単施工 ： 装置周辺にコイルを固定するだけの簡単施工

・ 制御方式 ： 直流代表値制御 + 各軸独立フィードバック制御

・ 制御範囲 ： ±15μT （認定可）

・ 制御周波数 ： 準 DC ～ 1kHz

・ 減衰率 ： 40 ～ 60dB

・ 本体外形寸法 ： 902×1102×152 ( 浮上時 155） (mm)　

・ 本体重量 ： 320kg

・ 搭載重量 : 1000kg

・ 空気源 ( クリーンエアー )

・ 圧　力 ： 0.6MPa

・ 最大流量 ： 通常時 1L/min 以下 (A.N.R)

( 初期立上げ時 21L/min(A.N.R))

・ 電源 ： 単相 100 ～ 240V　50/60Hz

・ 設置面 ： 2mm

・ アンカー固定 ： 対応

■磁場キャンセラーＯＮＯＦＦによるＳＥＭ画像

■実測データ一例■実測データ一例

αα AMCL

※設置条件により振動伝達率は変化します。

制御ON【環境外乱】

磁束

密度

制御ON

【200Hz外乱】

磁束

密度

精密振動系商品のご相談は､豊富な経験･実績で信頼できる特許機器へ http:∥www.tokkyokiki.co.jp

東京営業課

関西営業課

本社 ・ 工場

〒101-0031　東京都千代田区東神田 2-5-15

〒660-0833　兵庫県尼崎市南初島町 10-133

〒660-0833　兵庫県尼崎市南初島町 10-133

TEL (03) 6831-0011

TEL (06) 6487-3931

TEL (06) 6487-3939

(代 )

(代)

(代)

Cat No.19.12.03