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測定要領 型式 外観図 組合せ測定子 スキッド形状 摘要
汎用測定 010…2701 010…2501DM43801 R32…mmサファイア …· …先端スキッド
…· …ピックアップに標準付属
スキッドレス測定 010…2702-A*1 全測定子 ─ …· …保護用…· …フロントトラベル調整用
一般平面横トレース測定 010…2703*1 010…2501
DM43801 ─…· …両またぎスキッド…· …横トレース時…· …スキッド半径4.5…mm
薄溝歯面測定 010…2706… 010…2512…DM43812 R8…mm工具鋼 …· …両またぎスキッド
曲面測定 010…2707 010…2515DM43815 R32…mmサファイア …· …揺動式スキッド
狭深溝測定 010…2709*1 010…2515DM43815 R32…mmサファイア …· …先端スキッド
R溝測定 010…2710-A*1 010…2515DM43815… R0.8…mmルビー
…· …片またぎスキッド…· …使用倍率5000倍以上…· …測定子との位置調整必要…· …記録のみ
穴深溝測定 010…2723*2 010…2525…DM43825 R32…mmサファイア …· …先端スキッド
…· …測定子との位置調整必要
測定要領 型式 外観図 組合せ測定子 スキッド形状 摘要スキッドレス測定
DM44026-A 全測定子 ─…· …調整ねじによりフロントトラベル…· …調整可能…· …ピックアップE-DT-SS01A・B,…………………………………………………………………………E-DT-SSE01A用
サーフコム コンターレコード
表面粗さ・輪郭形状測定機 SURFCOM・CONTOURECORD オプション
6
9.1
9.118.4
4
20.3
20.3
2.5 1.5
12
ノーズピース
対象機種 ■ FLEX-50 ■ S130 ■ S480 ■ S1400 ■ S1800 ■ S2800
対象機種 ■ S-TOUCH50 ■ S-TOUCH550 ■ S1500 ■ S1900 ■ S1910 ■ S2900 ■ S-NEX ** 1
*1 測定子・ノーズピースセット DM43800 及び 010 2640 の構成品目。*2 RoHS非対応品
標準在庫品
オプション
89
測定要領 型式 外観図 仕様 摘要汎用測定用
DM43801先端 R 2 μm,60°円錐ダイヤ ,0.75 mN
· 全姿勢 · 横トレース可能 · 標準付属品
細線・刃先
DM43802 先端 R 2 μm,60°ナイフエッジダイヤ ,0.75 mN
· 全姿勢
中細穴
DM43809先端 R 2 μm,60°円錐ダイヤ ,0.75 mN
· 全姿勢 · 横トレース可能
極細穴・ギアフランク
DM43811先端 R 2 μm,60°円錐ダイヤ ,0.75 mN
· 全姿勢
細穴・薄溝
DM43812 * 1先端 R 2 μm,60°円錐ダイヤ ,0.75 mN
· 全姿勢 · 横トレース可能
穴底・円錐面
DM43813先端 R 2 μm,60°円錐ダイヤ , 0.75 mN
· 全姿勢 · 横トレース可能
コーナー・歯面
DM43814 * 1先端 R 2 μm,60°円錐ダイヤ , 0.75 mN
· 全姿勢 · 横トレース可能
深溝・R 溝
DM43815 * 1先端 R 2 μm,60°円錐ダイヤ , 0.8 mN
· 下向き測定 · 波形歪み大
細長穴
DM43821先端 R 2 μm,60°円錐ダイヤ ,3 mN
· 下向き測定 · 感度 1/2 · 最高倍率 x5000 · 波形歪み大
低倍率・長穴
DM43822 * 1先端 R 2 μm,60°円錐ダイヤ ,3 mN
· 下向き測定 · 感度 1/2 · 最高倍率 x20000
低倍率・コーナー
DM43824 先端 R 2 μm,60°円錐ダイヤ ,4 mN
· 下向き測定 · 感度 1/2 · 最高倍率 x20000
深溝コーナー
DM43827先端 R 2 μm,60°円錐ダイヤ ,4 mN
· 下向き測定 · 感度 1/2 · 最高倍率 x10000
穴深溝・Oリング溝底面
DM43825先端 R 2 μm,60°円錐ダイヤ ,3.4 mN
· 下向き測定 · 感度 1/2 · 最高倍率 x20000 · 波形歪み大
超深溝
DM43826 先端 R 2 μm,60°円錐ダイヤ ,5 mN
· 下向き測定 · 感度 1/2 · 最高倍率 x5000 · 波形歪み大
測定子セット DM43900 先端 R 2 μm
ノーズピース: DM44026-A 測定子: DM43801, DM43811, DM43812, DM43814, DM43815, DM43822
差し替え粗さ形状測定子(先端半径2 μm)対象機種 ■S-TOUCH50 ■S-TOUCH550 ■FLEX-50 ■S130 ■S1400 ■S1500 ■S1900 ■S1910 ■S480 ■S1800 ■S2800 ■S2900 ■S-NEX**1
*1 測定子・ノーズピースセットDM43800の構成品目。測定力はE-DT-S03A・B/E-DT-SE19A・B/E-DT-SS01A・B/E-DT-SSE01Aに取り付けた時。
ピックアップ E-DT-SS01A・B E-DT-SSE01A用
標準在庫品
サーフコム コンターレコード
表面粗さ・輪郭形状測定機 SURFCOM・CONTOURECORD オプション
33.515
ø2.7
5.7
2.6(4.8)
(0.7)
ø1.2
4.8
90
測定要領 型式 外観図 仕様 摘要汎用測定用
010 2501先端 R 5 μm,90°円錐ダイヤ , 4 mN
· 全姿勢 · 横トレース可能
細線・刃先
010 2502先端 R 5 μm, 90°ナイフエッジダイヤ ,5 mN
· 全姿勢
中細穴
010 2509 * 2先端 R 5 μm,90°円錐ダイヤ ,4 mN
· 全姿勢 · 横トレース可能
極細穴・ギアフランク
010 2511 * 2先端 R 5 μm,90°円錐ダイヤ ,4 mN
· 全姿勢
細穴・薄溝
010 2512 * 1 * 2先端 R 5 μm,90°円錐ダイヤ ,4 mN
· 全姿勢 · 横トレース可能
穴底・円錐面
010 2513 * 2先端 R 5 μm,90°円錐ダイヤ ,4 mN
· 全姿勢 · 横トレース可能
コーナー・歯面
010 2514 * 1先端 R 5 μm,60°円錐ダイヤ ,4 mN
· 全姿勢 · 横トレース可能
深溝・R 溝
010 2515 * 1先端 R 5 μm,90°円錐ダイヤ ,5 mN
· 下向き測定 · 波形歪み大
歯車歯形・ねじフランク
010 2518 * 2先端 R 5 μm,90°円錐ダイヤ ,4 mN
· 最高倍率 x10000
細長穴
010 2521先端 R 5 μm,90°円錐ダイヤ ,5 mN
· 下向き測定 · 感度 1/2 · 最高倍率 x5000 · 波形歪み大
低倍率・長穴
010 2522 * 1 先端 R 5 μm,90°円錐ダイヤ ,5 mN
· 下向き測定 · 感度 1/2 · 最高倍率 x20000
低倍率・コーナー
010 2524先端 R 5 μm,60°円錐ダイヤ ,5 mN
· 下向き測定 · 感度 1/2 · 最高倍率 x20000
深溝コーナー
010 2527 先端 R 5 μm,60°円錐ダイヤ ,8 mN
· 下向き測定 · 感度 1/2 · 最高倍率 x10000 · 波形歪み大
差し替え粗さ形状測定子(先端半径5 μm)対象機種 ■S-TOUCH50 ■S-TOUCH550 ■FLEX-50 ■S130 ■S1400 ■S1500 ■S1900 ■S1910 ■S480 ■S1800 ■S2800 ■S2900 ■S-NEX**1
*1 測定子・ノーズピースセット010 2640の構成品目。測定力はE-DT-S01A・B/E-DT-SE18A・B/E-DT-SS08A・Bに取り付けた時。*2 E-DT-SS01A・B/E-DT-S03A・B/E-DT-SE19A・B/E-DT-SSE01Aでは使用不可。 標準在庫品
15
0.5
75°
6.1
7
40.7
オプション
91
測定要領 型式 外観図 仕様 摘要軟物質
010 2508先端 R 10 μm,90°円錐ダイヤ ,0.75 mN
· 全姿勢 · 横トレース可能 · 左記仕様は E-DT-S02A・B に 装着時
穴深溝・Oリング溝底面
010 2525先端 R 10 μm,90°円錐ダイヤ ,8 mN
· 下向き測定 · 感度 1/2 · 最高倍率 x20000 · 波形歪み大
超深溝
010 2526先端 R 10 μm,90°円錐ダイヤ ,8 mN
· 下向き測定 · 感度 1/2 · 最高倍率 x5000 · 波形歪み大
穴底面
010 2541先端 R 5 μm,90°円錐ダイヤ ,8 mN
· 最高倍率 x5000 · 波形歪み大 · 専用コネクトロッド使用
高倍率測定用
010 2506先端 R 1 μm,60°円錐ダイヤ ,0.75 mN
· 全姿勢 · 横トレース可能 · 左記仕様は E-DT-S04A・B に
装着時
高倍率輪郭形状
010 2528先端 R 1 μm,60°円錐ダイヤ ,8 mN
· 下向き測定 · 感度 1/2 · 最高倍率 x10000 · E-DT-S01A・B, -S03A・B 用
測定要領 型式 外観図 仕様 摘要段差
010 2504先端 R 250 μm, 60°円錐サファイア ,8 mN
· 全姿勢
うねり
010 2505 φ 1.6, ルビー , 4 mN · 全姿勢
極細穴形状
010 2510 φ 0.5, 工具鋼 , 4 mN · 全姿勢 · 最高倍率 x5000 · E-DT-S03A・B/-SS01A・B/
-SE19A・B/-SSE01A を除く
細長穴うねり
010 2520 φ 1.6, ルビー , 5 mN · 下向き測定 · 感度 1/2 · 最高倍率 x10000
大段差
010 2523先端 R 250 μm,サファイア ,5 mN
· 下向き測定 · 感度 1/2 · 最高倍率 x25000
差し替え粗さ形状測定子
差し替えうねり形状測定子
対象機種 ■S-TOUCH50 ■S-TOUCH550 ■FLEX-50 ■S130 ■S1400 ■S1500 ■S1900 ■S1910 ■S480 ■S1800 ■S2800 ■S2900 ■S-NEX**1
対象機種 ■S-TOUCH50 ■S-TOUCH550 ■FLEX-50 ■S130 ■S1400 ■S1500 ■S1900 ■S1910 ■S480 ■S1800 ■S2800 ■S2900 ■S-NEX**1
測定力はE-DT-S01A・B/E-DT-SE18A・Bに取り付けた時。
測定力はE-DT-S01A・B/E-DT-SE18A・Bに取り付けた時。 標準在庫品
標準在庫品
サーフコム コンターレコード
表面粗さ・輪郭形状測定機 SURFCOM・CONTOURECORD オプション
7.2
7.2
7.2
0.29
92
測定要領 型式 外観図 仕様 摘要
低測定力測定用 E-DT-SS01B E-DT-SSE01A
先端 R 2 μm, 60°円錐ダイヤ ,0.75 mN
· 全姿勢 · 横トレース可能 · E-DT-SS01B: S1500, S1900, S1910, S2900
S-NEX ** 1, S-TOUCH550用(標準付属)
· E-DT-SSE01A:S-TOUCH50 用(標準付属) · 測定子 DM43801 付き
汎用測定用 E-DT-SS08B S1500, S1900, S2900, SNEX ** 1, S-TOUCH550 用 先端 R 5 μm, 90°円錐ダイヤ ,4 mN
· 全姿勢 · 横トレース可能 · 測定子 0102501 付き
汎用測定用
E-DT-S01BE-DT-SE18B
先端 R 5 μm, 90°円錐ダイヤ , 4 mN
· 全姿勢 · 横トレース可能 · 測定子 0102501 付き · E-DT-S01B:S480, S1400,
S-TOUCH550 用(TOUCH は専用ケーブル要)
· E-DT-SE18B:S130, S-FLEX50A 用軟物質測定用
E-DT-S02B * 1 先端 R 10 μm, 90°円錐ダイヤ, 0.75 mN
· 全姿勢 · 横トレース可能 · 測定子 0102508 付き
低測定力測定用
E-DT-S03BE-DT-SE19B
先端 R 2 μm, 60°円錐ダイヤ ,0.75 mN
· 全姿勢 · 横トレース可能 · 標準仕様 · 測定子 DM43801 付き · E-DT-S03B:S480, S1400, S-TOUCH550 用(TOUCH は専用ケーブル要)
· E-DT-SE19B:S130, S-FLEX50A 用(標準付属)
高倍率測定用E-DT-S04B * 1 先端 R 1 μm, 60°円錐ダイヤ ,
0.75 mN · 全姿勢 · 横トレース可能 · 測定子 0102506 付き
不連続面測定用
E-DT-S05B * 1 先端 R 5 μm, 90°円錐ダイヤ , 4 mN
· 全姿勢 · 横トレース可能 · フロントトラベル 110 μm 〜 120 μm · 他仕様は E-DT-S01Aと同じ
穴内溝側面測定用
E-DT-S06B * 1 先端 R 5 μm, 90°円錐ダイヤ , 4 mN
· スキッドレス測定専用 · 最高倍率 x10000 · 専用コネクトロッド必要(010 2746) · 専用測定子 0102542 付き
高倍率測定用
E-DT-SH01B * 1 · 最高倍率 x500000 · 測定力 0.2 mN · 測定子 0162854 付き
E-DT-SH01A・B 用測定子
0162854 先端 R 1 μm, 90°円錐ダイヤ · E-DT-SH01A・B に標準付属010 2567 先端 R 1 μm, 60°円錐ダイヤ010 2210 先端 R 10 μm, 60°円錐ダイヤ010 2211 先端 R 5 μm, 60°円錐ダイヤ010 2212 先端 R 0.5 μm, 60°円錐ダイヤ
010 2213 先端 R 0.5 μm,90°幅 2.5 μmナイフエッジダイヤ
薄型ピックアップDM42001-ADM42011-ADM42020-A
先端 R 5 μm, 90°円錐ダイヤ ,2 mN, 横トレース可能測定倍率 x5000 以下
· 測定子 0102501 付き DM42001-A:S1400, S1800, S2800 用 DM42011-A:S480 用
· 測定子 DM43801 付き DM42020-A: リニアシリーズ用(S1500・1900・1910・2900)/ NEXシリーズ用
薄型ピックアップ用ピックアップホルダ E-DH-S60A · クランクシャフトのピンあるいはジャー
ナル等の横トレース測定に使用
非接触測定用 E-DT-SL15A測定範囲 300 μm,スポット径 5 μm,ワークディスタンス 4.5 mm
· カラー共焦点方式 · 光源:LED
*1 S-FLEX50A/S130A/S-TOUCH50では使用不可。S-TOUCH550/S-NEX**1/S1500/S1900/S1910/S2900 での使用についてはお問い合わせください。
各種ピックアップ対象機種 ■S-TOUCH50 ■S-TOUCH550 ■FLEX-50 ■S130 ■S1400 ■S1500 ■S1900 ■S1910 ■S480 ■S1800 ■S2800 ■S2900 ■S-NEX**1
標準在庫品
9.1
23
102.2
111.295.2
115.6
16 4.5 φ
15
123.6
186.
9
169.
4
オプション
93
名称 型式 外観図 仕様 摘要
汎用測定子 DM48505先端 R 2 μm、60°円錐ダイヤ、0.75 mN
· ストローク: 13 mm (S5000/CREST) 12 mm (S3000) 5 mm (S-NEX 100) · 粗さ輪郭両用
汎用高剛性測定子
DM84145
先端 R 2 μm、60°円錐ダイヤ、0.75 mN
· SCREST 用(標準付属) · ストローク:13 mm · 粗さ輪郭両用
DM48507 · S5000/S3000 用(標準付属) · ストローク:13 mm (S5000), 12 mm (S3000)
· 粗さ輪郭両用
DM84071 · S-NEX100 用(標準付属) · ストローク:5 mm · 粗さ輪郭両用
輪郭用高剛性測定子2 倍アーム
DM48775先端 R 25 μm、24°円錐超硬、4 mN 以下
· ストローク: 26 mm (S5000/CREST) 24 mm (S3000) 10 mm (S-NEX 100) · 輪郭専用 · S-NEX 100 標準付属品
輪郭用高剛性測定子2.5 倍アーム
DM48509 φ 1ルビーボール、3.2mN
· ストローク: 32.5 mm (S5000/CREST) 30 mm (S3000) 12.5 mm (S-NEX 100) · 輪郭専用
オフセット測定子 DM48511 先端 R 2 μm、60°円錐ダイヤ、0.75 mN
· ストローク: 13 mm (S5000/CREST) 12 mm (S3000) 5 mm (S-NEX 100) · 粗さ輪郭両用
オフセット測定子2 倍アーム
DM48742先端 R 25 μm、24°円錐超硬、4 mN 以下
· ストローク: 26 mm (S5000/CREST) 24 mm (S3000) 10 mm (S-NEX 100) · 輪郭専用
小穴用測定子 DM48513先端 R 2 μm、60°円錐ダイヤ、0.75 mN
· ストローク: 13 mm (S5000/CREST) 12 mm (S3000) 5 mm (S-NEX 100) · 粗さ輪郭両用
極小穴用測定子 DM48514先端 R 2 μm、60°円錐ダイヤ、0.75 mN
· ストローク: 13 mm (S5000/CREST) 12 mm (S3000) 5 mm (S-NEX 100) · 粗さ輪郭両用
深溝用測定子 DM48515先端 R 2 μm、60°円錐ダイヤ、0.75 mN
· ストローク: 13 mm (S5000/CREST) 12 mm (S3000) 5 mm (S-NEX 100) · 粗さ輪郭両用
微細輪郭用測定子 DM48588先端 R 5 μm、30°円錐ダイヤ、0.75 mN
· ストローク: 13 mm (S5000/CREST) 12 mm (S3000) 5 mm (S-NEX 100) · 粗さ輪郭両用
稜線・歯先用測定子
DM48774先端 R 2 μm、60°ナイフエッジダイヤ0.75 mN
· ストローク: 13 mm (S5000/CREST) 12 mm (S3000) 5 mm (S-NEX 100) · 粗さ輪郭両用
S-CREST/S5000/S3000/SNEX用 差し替え測定子対象機種 ■S-CREST ■S5000DX/SD ■S3000A ■S-NEX1**
● お客様ワークに合わせて、特殊測定子も検討・提案致します。 標準在庫品
サーフコム コンターレコード
表面粗さ・輪郭形状測定機 SURFCOM・CONTOURECORD オプション
1.4
94
名称 型式 外観図 仕様 摘要
汎用測定子
DM47501先端 R 2 μm、 60°円錐ダイヤ、0.75 mN
· 標準付属品 · ストローク 5 mm · 粗さ輪郭両用
DM47508先端 R 5 μm、 30°円錐ダイヤ、0.75 mN
· ストローク 5 mm · 粗さ輪郭両用
DM47548先端 R 5 μm、 40°円錐ダイヤ、4 mN
· ストローク 5 mm · 粗さ輪郭両用
輪郭用測定子2 倍アーム DM47513
先端 R 25 μm、 24°円錐超硬、5 mN
· 標準付属品 · ストローク 10 mm · 輪郭用
輪郭用測定子2 倍アーム DM47525
先端 R 25 μm、12°傾斜超硬、7 mN 以下
· ストローク10 mm · 輪郭用
オフセット測定子 DM47504
先端 R 2 μm、60°円錐ダイヤ、0.75 mN
· ストローク 5 mm · オフセット量 13.5 mm · 粗さ輪郭両用
小穴用測定子 DM47505 先端 R 2 μm、 60°円錐ダイヤ、0.75 mN
· ストローク 5 mm · 粗さ輪郭両用
小穴用測定子 DM47524先端 R 2 μm、60°円錐ダイヤ、0.75 mN
· ストローク5 mm · 粗さ用
小穴用測定子2 倍アーム DM47546
先端 R 2 μm、60°円錐ダイヤ、3 mN 以下
· ストローク10 mm · 粗さ輪郭両用
極小穴用測定子 DM47506先端 R 2 μm、 60°円錐ダイヤ、0.75 mN
· ストローク 5 mm · 粗さ輪郭両用
深溝用測定子DM47507
先端 R 2 μm、 60°円錐ダイヤ、0.75 mN
· ストローク 5 mm · 粗さ輪郭両用
DM47549先端 R 5 μm、 90°円錐ダイヤ、4 mN
· ストローク 5 mm · 粗さ輪郭両用
コーナー・歯面用測定子 DM47523
先端 R 2 μm、 60°円錐ダイヤ、0.75 mN
· ストローク 5 mm · 粗さ用
コーナー・歯面用測定子2 倍アーム
DM47595先端 R 2 μm、60°円錐ダイヤ、4 mN 以下
· ストローク10 mm · 粗さ用
稜線・歯先用測定子 DM47551
先端 R 2 μm、60°ナイフエッジダイヤ、 0.75 mN
· ストローク5 mm · 粗さ輪郭両用
うねり用測定子 DM47540 φ 2ルビーボール0.75mN
· ストローク5 mm · 輪郭(うねり)測定用
S2000DX/SD用 差し替え測定子
LH=65,LV=−14.35
LH=65,LV=−14.5
LH=65,LV=−5.025
LH=65,LV=−5.7
LH=65,LV=−5.025
LH=65,LV=−4.625
LH=65,LV=−30.5
LH=130,LV=−15.5
LH=65,LV=−12.525
LH=130,LV=−13.5
LH=65,LV=−8.35
●お客様ワークに合わせて、特殊測定子も検討・提案致します。
LH=130,LV=−21.5
LH=130,LV=−21.5
対象機種 ■S2000DX/SD
標準在庫品
138.5
138.5オプション
95
測定要領 型式 外観図 d L1 L2 組合せアーム 摘要汎用測定
DM45501 * 2 3 60 52 010 2804
DM45502 3 34 26 010 2800
DM45503 2 21 13 010 2801
汎用測定DM45504 * 2 3 60 52 010 2804
· 標準付属品DM45505 ※ 3 34 26 010 2800
DM45506 2 21 13 010 2801
稜線測定DM45507 * 2 3 60 52 010 2804
DM45508 ※ 3 34 26 010 2800
DM45509 2 21 13 010 2801
小穴測定DM45081 - 12 9
010 2802DM45082 - 7 5
DM45083 * 1 - 3.5 1.5
小穴ねじれ測定DM45084 ※ - 12 9
010 2802DM45085 - 7 5
DM45086※* 1 - 3.5 1.5
一般オフセット測定DM45087 - 12 9
010 2802 · オフセット 25 mmDM45088 - 7 5
DM45089 * 1 - 3.5 1.5
ねじれ面オフセット測定DM45090 - 12 9
010 2802 · オフセット 25 mmDM45091 - 7 5
DM45092 * 1 - 3.5 1.5
高精度測定DM45522 * 2 3 60 52 010 2804
· φ 0.7 ルビーボールDM45523 3 34 26 010 2800
DM45524 2 21 13 010 2801
DM45525 * 2 3 60 52 010 2804
· φ 1 ルビーボールDM45526 3 34 26 010 2800
DM45527 2 21 13 010 2801
輪郭用触針対象機種 ■C1600 ■C1700 ■S1800 ■S1900 触針先端材質:超硬合金
※C1710/S1910用触針・アームはP.98 ~ 99をご参照下さい
※印は触針・アームセット010 2999の構成品目。*1 小穴用マスタボール校正ユニット必要 *2 ピックアップホルダ用継ぎ手必要
標準在庫品
サーフコム コンターレコード
表面粗さ・輪郭形状測定機 SURFCOM・CONTOURECORD オプション
96
測定要領 型式 外観図 組合せ触針 摘要
輪郭検出器
E-DT-CE02B ─ · C1600, S1800D/G
E-DT-CE03C * 1 ─ · C1700DX/SD, S1900DX/SD
汎用測定
010 2800
DM45502DM45505DM45508DM45523DM45526
内面測定
010 2801
DM45503DM45506DM45509DM45524DM45527
小穴測定
010 2802 ※DM45081
〜
DM45092
深溝測定
010 2804
DM45501DM45504DM45507DM45522DM45525
· ピックアップホルダ継手 0102744必要
· 補助ウェイト付き
オフセット測定
010 2805
DM45502DM45505DM45508DM45523DM45526
· オフセット 50 mm · 補助ウェイト付き
010 2806
DM45502DM45505DM45508DM45523DM45526
· オフセット 100 mm · 補助ウェイト付き
010 2807
DM45503DM45506DM45509DM45524DM45527
· オフセット 50 mm · 補助ウェイト付き
長物測定
010 2808
DM45501DM45504DM45507DM45522DM45525
· レバー可動範囲 100 mm · 補助ウェイト付き · ピックアップホルダ継手 0102744必要
長穴測定
0102810
DM45503DM45506DM45509DM45524DM45527
· レバー可動範囲 100 mm · 補助ウェイト付き
アーム触針セット 010 2999 ─
触 針: DM45505, DM45508, DM45084, DM45086アーム: 010 2802, 010 2805
輪郭用検出器、アーム対象機種 ■C1600 ■C1700 ■S1800 ■S1900
※印は触針・アームセット010 2999の構成品目。*1 RoHS非対応品
標準在庫品
※C1710/S1910用触針・アームはP.98 ~ 99をご参照下さい
179
179オプション
97
測定要領 型式 外観図 d L1 L2 組合せアーム 摘要汎用測定
DM45501 3 60 52 DM45531
DM45502 3 34 26 DM45528
DM45503 2 21 13 DM45529
汎用測定 DM45504 3 60 52 DM45531
· 標準付属品: DM45505DM45505 ※ 3 34 26 DM45528
DM45506 2 21 13 DM45529
稜線測定 DM45507 3 60 52 DM45531
DM45508 ※ 3 34 26 DM45528
DM45509 2 21 13 DM45529
小穴測定DM45510 - 12 9
DM45530 · 測定力 10 mN 以下 · たわみ 10 mN 時: 約 1.5 μm
DM45511 - 8 5
DM45512 * 1 - 4.5 1.5
小穴ねじれ測定DM45513 ※ - 12 9
DM45530 · 測定力 10 mN 以下 · たわみ 10 mN 時: 約 1.5 μm
DM45514 - 8 5
DM45515 ※* 1 - 4.5 1.5
一般オフセット測定 DM45516 - 12 9
DM45530 · 測定力 10 mN 以下 · たわみ 10 mN 時: 約 3 μm
DM45517 - 8 5
DM45518 * 1 - 4.5 1.5
ねじれ面オフセット測定 DM45519 - 12 9
DM45530 · 測定力 10 mN 以下 · たわみ 10 mN 時: 約 3 μm
DM45520 - 8 5
DM45521 * 1 - 4.5 1.5
高精度測定
DM45583 - 16.5 8.5 - · φ 0.5 ルビーボール · アーム一体型
DM45522 3 60 52 DM45531
· φ 0.7 ルビーボールDM45523 3 34 26 DM45528
DM45524 2 21 13 DM45529
DM45525 3 60 52 DM45531
· φ 1 ルビーボールDM45526 3 34 26 DM45528
DM45527 2 21 13 DM45529
輪郭用触針対象機種 ■C1710 ■C2600 ■C2700 ■S1910 ■S2800 ■S2900 触針先端材質:超硬合金
標準在庫品※ 印は触針・アームセットDM45500の構成品目。*1 小穴用マスタボール校正ユニット必要
サーフコム コンターレコード
表面粗さ・輪郭形状測定機 SURFCOM・CONTOURECORD オプション
7
7
98
測定要領 型式 外観図 組合せ触針 摘要
輪郭検出器
E-DT-CH07B · C2600, S2800E/G
E-DT-CH08C · C2700DX/SD, S2900DX/SD
E-DT-CH10C · C1710DX/SD, S1910DX/SD
汎用測定
DM45528
DM45502DM45505DM45508DM45523DM45526
· 標準組合せ · たわみ 10 mN 時:約 1.2 μm 30 mN 時:約 3.7 μm
内面測定
DM45529
DM45503DM45506DM45509DM45524DM45527
· たわみ 10 mN 時:約 1.2 μm 30 mN 時:約 3.7 μm
小穴測定
DM45530 ※DM45510
〜
DM45521 · 小穴測定用触針組合せ用アーム
深溝測定
DM45531
DM45501DM45504DM45507DM45522DM45525
· 測定力 10 mN 以下(補助ウェイト付き) · たわみ 10 mN 時:約 1.2 μm
オフセット測定
DM45532 ※
DM45502DM45505DM45508DM45523DM45526
· 測定力 10 mN 以下(補助ウェイト付き) · たわみ 10 mN 時:約 2.6 μm
DM45533
DM45503DM45506DM45509DM45524DM45527
· 測定力 10 mN 以下(補助ウェイト付き) · たわみ 10 mN 時:約 2.6 μm
アーム触針セット DM45500 · 触 針 DM45505, DM45508, DM45513, DM45515 · アーム DM45530, DM45532
輪郭用検出器、アーム対象機種 ■C1710 ■C2600 ■C2700 ■S1910 ■S2800 ■S2900
※ 印は触針・アームセットDM45500の構成品目。 標準在庫品
179
179
オプション
99
測定要領 型式 外観図 d L1 L2 組合せアーム 摘要汎用測定 DM45501 3 60 52 DM83501
DM83517DM83518DM45502 3 34 26
DM45503 2 21 13DM83507DM83519DM83520
汎用測定 DM45504 3 60 52 DM83501DM83517DM83518DM45505 3 34 26 · 標準付属品
DM45506 2 21 13DM83507DM83519DM83520
稜線測定 DM45507 3 60 52 DM83501DM83517DM83518DM45508 3 34 26
DM45509 2 21 13DM83507DM83519DM83520
上下測定 DM83502 * 1 3 26 -DM83501DM83517DM83518
· 測定力 10 mN 以下DM83503 * 1 3 32 -
DM83504 * 1 3 44 -小穴上下測定 DM83534 * 3
φd
L2L1
7315
24°円錐R0.025
3 16 6.5
DM83521 · 測定力 10 mN 以下DM83535 * 3 3 9 3
DM83536 * 3 2 5 1.5
DM83537 * 3 1 2.4 0.7小穴測定 DM83522 - 12 9
DM83521
· 測定力 10 mN 以下DM83523 - 8 5
DM83524 * 2 - 4.5 1.5小穴ねじれ測定 DM83525 - 12 9
· 測定力 10 mN 以下DM83526 - 8 5
DM83527 * 2 - 4.5 1.5一般オフセット測定 DM83528 - 12 9
· 測定力 10 mN 以下 · オフセット 25 mmDM83529 - 8 5
DM83530 * 2 - 4.5 1.5ねじれ面オフセット測定 DM83531 - 12 9
· 測定力 10 mN 以下 · オフセット 25 mmDM83532 - 8 5
DM83533 * 2 - 4.5 1.5高精度測定 DM45522 3 60 52 DM83501
DM83517DM83518 · φ 0.7 ルビーボールDM45523 3 34 26
DM45524 2 21 13DM83507DM83519DM83520
DM45525 3 60 52 DM83501DM83517DM83518 · φ 1 ルビーボールDM45526 3 34 26
DM45527 2 21 13DM83507DM83519DM83520
測定要領 型式 外観図 組合せ触針 摘要
輪郭検出器
E-DT-CH18B ─ · S-NEX *3*
E-DT-CH19B ─ · S-NEX *4*
輪郭用高剛性触針対象機種 ■S-NEX*3*/*4* 触針先端材質:超硬合金
*1 上下測定用マスタボール校正ユニット(E-MC-S97A)必要 *2 小穴用マスタボール校正ユニット(E-MC-S59D)必要 *3 小穴上下測定用校正ユニット(E-MC-S104A)必要 標準在庫品
サーフコム コンターレコード
表面粗さ・輪郭形状測定機 SURFCOM・CONTOURECORD オプション
輪郭用検出器対象機種 ■S-NEX*3*/*4*
24°円錐R0.025
15
73
L1L2
12°
R0.025
15
73
L1L2
12°傾斜R0.025
7325
L1L2
24°円錐R0.025
73
25
L1L2
100
測定要領 型式 外観図 組合せ触針 摘要汎用測定
DM83501
DM45501 DM45502DM45504 DM45505DM45507 DM45508DM45522 DM45523DM45525 DM45526DM83502 DM83503DM83504
· S-NEX * 3 * / * 4 *標準付属 · 触針直径 d = 3 mm 用
内面測定
DM83507
DM45503DM45506DM45509DM45524DM45527
· 触針直径 d = 2 mm 用
小穴測定
DM83521DM83522
〜
DM83537
オフセット測定
DM83517 DM45501 DM45502DM45504 DM45505DM45507 DM45508DM45522 DM45523DM45525 DM45526DM83502 DM83503DM83504
· オフセット 50 mm · 補助ウェイト付き · 測定力 10mN 以下 · 触針直径 d = 3 mm 用
DM83518 · オフセット 100 mm · 補助ウェイト付き · 測定力 10mN 以下 · 触針直径 d = 3 mm 用
DM83519 DM45503DM45506DM45509DM45524DM45527
· オフセット 50 mm · 補助ウェイト付き · 測定力 10mN 以下 · 触針直径 d = 2 mm 用
DM83520 · オフセット 100 mm · 補助ウェイト付き · 測定力 10mN 以下 · 触針直径 d = 2 mm 用
長物測定
DM83512
DM45501 DM45502DM45504 DM45505DM45507 DM45508DM45522 DM45523DM45525 DM45526
· レバー可動範囲 120 mm · 補助ウェイト付き · アームクランプ付 · 触針直径 d = 3 mm 用
長穴測定
DM83514
DM45503DM45506DM45509DM45524DM45527
· レバー可動範囲 120 mm · 補助ウェイト付き · アームクランプ付 · 触針直径 d = 2 mm 用
測定要領 型式 外観図 組合せアーム 摘要
クイックチェンジ対応アタッチメント DM83506
· S-NEX *3* / *4*でリニアシリーズ(C1700・1710・2700・S1900・1910・2900)用アーム・触針使用時に必要
· 下記の補助ウェイト必要
クイックチェンジ対応アタッチメント用補助ウェイト
DM83505-S310 * 1 * 3
0102800 01028050102801 01028060102802 01028070102804
· S-NEX *3*用 · 測定力 10 mN 以下
DM83505-S307 * 1 * 3 0102808 · S-NEX *3*用 · 測定力 10 mN 以下
DM83505-S308 * 1 * 3 0102810 · S-NEX *3*用 · 測定力 10 mN 以下
DM83505-S305 * 1 * 3 0102800 · S-NEX *3*用 · 測定力 30 mN 以下
DM83505-S306 * 1 * 3 0102801 · S-NEX *3*用 · 測定力 30 mN 以下
DM83505-S309 * 2 * 3DM45528 DM45531DM45529 DM45532DM45530 DM45533
· S-NEX *4*用 · 測定力 10 mN 以下
DM83505-S301 * 2 * 3 DM45528DM45529
· S-NEX *4*用 · 測定力 30 mN 以下
アームクランプ DM83538 01028080102810
· リニアシリーズ用ロングアーム 0102808, 0102810 とクイックチェンジ対応アタッチメントを組み合わせて使用する場合に必要
輪郭用高剛性アーム
クイックチェンジ対応アタッチメント
対象機種 ■S-NEX*3*/*4*
対象機種 ■S-NEX*3*/*4*
標準在庫品* 1 S-NEX* 3*用補助ウェイトの選択にあたり、対応するアームと組み合わせて使用できる触針は、P97 記載の各アームの“組合せ触針”欄をご参照ください。* 2 S-NEX* 4*用補助ウェイトの選択にあたり、対応するアームと組み合わせて使用できる触針は、P99 記載の各アームの“組合せ触針”欄をご参照ください。* 3 * 1、* 2 以外の触針とアームを組合せて使用する場合は、別途お問い合わせください。
オプション
101
名称 型式 外観図 直交軸調整(mm) スイベル調整 チルチング調整 テーブルサイズ(mm)
許容積載質量(自重)(kg) 摘要X Y Z 微動 粗動 微動 粗動
調整台 E-AT-S01D 50 50 8° 360° φ 150 20(7) · 最小読取値 10 μm
レベリング調整台 E-AT-S02A ± 1.5° 80 x 110 15(3)
調整台
E-AT-S03A ± 2.5 ± 2° 80 x 58 3(0.9)
· ワーク移動駆動部 E-RM-S75A・B 用
E-AT-S04A ± 8 ± 3° 80 x 125 15(8)
E-AT-S05A ± 3 ± 1° 120 x 58 3(1.4)
· ワーク移動駆動部 E-RM-S76A・B 用
E-AT-S36A ± 3 ± 1° 200 x 120 5(4.5)
· ワーク移動駆動部 E-RM-S77A・C 用
X 方向移動載物調整台 E-AT-S08B 400 150 x 150 20(25)
三次元微調装置 E-AT-S10B 50 50 30 76 x 76 1.6(5) · 真直度精度 0.03 mm
一軸精密微動調整台 E-AT-S11B 50 125 x 150 20(4.9)
· 真直度精度 3 μm · 最小読取値 10 μm
スイベル回転微動台 E-AT-S12B ±5° 360° φ 90 3(0.58) · 最小読取値 5′
傾斜載物台 E-AT-S64B ± 20° 60 x 120 10(1) · 最小読取値 5′
ユニバーサルスタンド E-WJ-S03A 360° ±90° φ 110 3(2.5) · XY 両方向自在
コラム回転スぺーサ
E-CS-S31A* 1
H:100 360° ─ · テーブルとコラム間 に挿入E-CS-S76A* 3
E-CS-S129A* 6 H:100 360° ─ · テーブルとコラム間 に挿入
コラムスぺーサ
E-CS-S32A* 1
H:200 · テーブルとコラム間 に挿入E-CS-S77A* 3
E-CS-S128A* 6 H:100 · テーブルとコラム間 に挿入
駆動部スぺーサ E-CS-S33A * 1 L:70 · 駆動部とコラム間 に挿入
駆動部傾斜装置
E-CA-S24A * 2
E-CA-S85B * 5
E-CA-S92B * 5± 15° ─ · E-CA-S85B 100 mm 駆動部用
· E-CA-S92B 200 mm 駆動部用
E-CA-S32A * 2
± 5° ─ (5) · 粗さ用E-CA-S101B * 4
調整装置対象機種 ■S-TOUCH550 ■S480 ■S1400 ■S1500 ■S2000 ■S5000 ■C1600 ■S1800 ■C1700/1710 ■S1900/S1910 ■S2000 ■C2600 ■S2800 ■C2700 ■S2900 ■S-NEX
標準在庫品
サーフコム コンターレコード
表面粗さ・輪郭形状測定機 SURFCOM・CONTOURECORD オプション
*1 S3000A、S5000、S-CRESTには使用できません。*2 S480A、 S1400D、 S1800D、 S2800E、 C1600D、 C2600E用です。*3 リニアシリーズ (C1500、 C1700、 C1710、 S1900、 S1910、 C2700、 S2900、 S2000) 及び、 S1400G、 C1600G、 S1800G、 C2600G、 S2800Gシリーズ、 S-TOUCH550、 S480用です。*4 NEXシリーズ、 リニアシリーズ (S1500、 S1900、 S1910、 S2900) 及び S1400G、 S1800G、 S2800Gシリーズ、 S-TOUCH550、 S480用です。*5 NEXシリーズ、 リニアシリーズ (C1700、 C1710、 S1900、 S1910、 C2700、 S2900) 及び S1400G、 C1600G、 S1800G、 C2600G、 S2800Gシリーズ、 S-TOUCH550、 S480用です。*6 NEXシリーズ用です。
102
名称 型式 外観図 V 受保持(mm)
チャッキング保持(mm)
バイス保持(mm)
汎用クランプ保持(mm)
平面保持(mm)
許容積載質量(自重)(kg) 摘要
両開きバイス E-WJ-S01B内側:0~57外側:
38~105
5(0.8)
· 傾斜載物台と組み合わせる場合は、お問合せ願います。
V 台セット E-WJ-S02A φ 1 〜φ 150 (1.5) · ワーククランパ付属
V 台ホルダセット E-WJ-S04A φ 12 〜φ 120 (3) · T 溝クランプ専用 2 ヶ組
小型 V 台 E-WJ-S05A φ 4 〜φ 100 (0.4)
載物台 E-WJ-S06A 150 x 150角板 (1)
スクロールチャック E-WJ-R01C外径:
φ 2 〜φ 79内径:
φ 20 〜φ 90(1)
アイリスチャック E-WJ-R10BE-WJ-R378B
外径:φ 5 〜φ 110
外径:φ 5 〜φ 150
00( 3 )
00( 5 )
·(受注対応)
クランプセット JC-3 高さ40 〜 60 ─
セラミック載物板
E-WJ-S252A 300 x 300角板 (5.3) ·(受注対応)
E-WJ-S234A 500 x 500角板 (15) ·(受注対応)
保持装置対象機種 ■S-TOUCH550 ■S480 ■S1400 ■S1500 ■S2000 ■S5000 ■C1600 ■S1800 ■C1700/C1710 ■S1900/S1910 ■S2000 ■C2600 ■S2800 ■C2700 ■S2900 ■S-NEX
V台セットE-WJ-S02A
X方向移動載物調整台E-AT-S08B
調整台E-AT-S04A
スクロールチャックE-WJ-R01C
レベリング調整台E-AT-S02A
ユニバーサルスタンドE-WJ-S03A
調整台E-AT-S04A
V台セットE-WJ-S02A
調整台E-AT-S05A
駆動部E-RM-S76B
調整台E-AT-S01D
V台セットE-WJ-S02A
X方向移動載物調整台E-AT-S08B
両開きバイスE-WJ-S01B
ユニバーサルスタンドE-WJ-S03A
調整台E-AT-S01D
V型ホルダセットE-WJ-S04A
調整・保持装置組立例
標準在庫品
オプション
103
名称 型式 外観図 仕様 摘要
ピックアップ移動型駆動部
(スタンダードシリーズ用)
E-RM-S72D/S138C
駆動距離:100 mm 駆動速度:0.03 mm/s 〜 6.0 mm/s, 8速真直度精度:(0.05 + 1.5L/1000) μm質量:約 9 kg
· E-RM-S72D…C2600,2800 以外 · E-RM-S138C…C2600,2800 用 · E-RM-S71C…S480 用 仕様は左記と同じ
E-RM-S178B/S182B
駆動距離:200 mm 駆動速度:0.03 mm/s 〜 6.0 mm/s, 8速真直度精度:(0.05 + 1.5L/1000) μm質量:約 15 kg
· E-RM-S178B…C2600,2800 以外 · E-RM-S182B…C2600,2800 用 · E-RM-S73B…S480 用 仕様は左記と同じ
ピックアップ移動型駆動部
(リニアシリーズ用)
E-RM-S205A駆動距離:100 mm 駆動速度:0.03 mm/s 〜 6.0 mm/s真直度精度:(0.05 + L/1000) μm質量:約 9 kg
E-RM-S183E 駆動距離:200 mm 駆動速度:0.03 mm/s 〜 6.0 mm/s真直度精度:(0.05 + L/1000) μm質量:約 15 kg
ワーク移動型駆動部
E-RM-S75B
駆動距離:50 mm 駆動速度:0.03 mm/s 〜 6.0 mm/s, 8速真直度精度:(0.05 + 1.5L/1000) μm質量:約 15 kg積載質量:5 kgレベリング範囲:± 1.5°
リニアシリーズでは使用不可ピックアップホルダ台必要
E-RM-S76B
駆動距離:150 mm 駆動速度:0.03 mm/s 〜 6.0 mm/s, 8速真直度精度:(0.05 + 1.5L/1000) μm質量:約 20 kg積載質量:5 kgレベリング範囲:± 1°
リニアシリーズでは使用不可ピックアップホルダ台必要
E-RM-S77C
駆動距離:300 mm 駆動速度:0.03 mm/s 〜 6.0 mm/s, 8速真直度精度:(0.05 + 1.5L/1000) μm 質量:約 32 kg積載質量:10 kgレベリング範囲:± 0.8°
リニアシリーズでは使用不可ピックアップホルダ台必要
コラム横送り装置 E-ST-S131B*1*2移動範囲:X:660 mm Y:200 mm質量:約 370 kg
· 大物・重量部品測定用 (受注対応)
16450
100
周辺装置
サーフコム コンターレコード
表面粗さ・輪郭形状測定機 SURFCOM・CONTOURECORD オプション
*1 NEXシリーズでは使用不可。*2 RoHS非対応品
標準在庫品
104
名称 型式 外観図 仕様 摘要
広範囲ハイブリッド検出器用ホルダ* 1
E-DH-S182A 測定倍率:5000 倍以下真直度:0.5 μm/100 mm
最大突出し量: 駆動部左端面 から90 mm
コ ラ ム 高 さ: 通常高さから 10 mm 減
· S2000DX/SD 用
ピックアップホルダ台 E-CA-S25A 質量:約 1.5 kg · ワーク移動型駆動部使用時
超長穴測定用コネクトロッド
010 2736
測定倍率: スキッド測定 5000 倍最小内径:φ 25 mm まで最大深さ:650 mm質量:約 1.2 kg ロッド径:φ 21.7 mm
· 大型測定台と併用
· S480B, S1400G, S1800G, S2800G 用
DM57537-A
測定倍率:5000 倍まで最小内径:φ 18 mm まで最大深さ:630 mm質量:約 1.2 kgロッド径:φ 14 mm
· S1500, S1900G, S1910, S2900, S-NEX001, 031, 041, 131, 141 用
ピックアップホルダ用継手
010 2744 継手長さ:30 mm 質量:約 0.25 kg
· 輪郭形状アーム 010 2804, 010 2808 と組合せ
· 全機種対応可
010 2745 測定深さ:駆動部下 131 mmまで質量:約 0.47 kg · 全機種対応可
ピックアップ直角継手兼コネクトロッド 010 2746 * 2
測定深さ:検出器ホルダ下142mm質量:約0.2kgロッド径: φ 21.7 mm
· 穴底面用測定子を使用しての ピックアップ垂直測定
卓上型除振台用架台 E-VS-S13A
寸法:510 mm x 430 mm x 643 mm質量:22 kg
· E-VS-S57A/B, E-VS-S58B 用
卓上型除振台
E-VS-S57B
除振方式:ダイヤフラム空気バネ固有振動数:2.5 Hz 〜 3.5 Hz積載質量:130 kg寸法:600 mm x 530 mm x 60 mm · 空気源:0.45 〜 0.7 MPa · 質量:25 kg
· レギュレータ付 · エアチューブ(外径φ 6)付属 · 接続口:外径φ 6mm
チューブ用ワンタッチ管継手
E-VS-S58B* 3
除振方式:ダイヤフラム空気バネ固有振動数:2.5 Hz 〜 3.5 Hz積載質量:130 kg寸法:600 mm x 530 mm x 60 mm質量:25 kg
· 空気源:ポンプ封入
卓上型大型除振台 E-VS-S45A*3
除振方式:ダイヤフラム空気バネ固有振動数:4 Hz積載質量:300 kg寸法:1000 mm x 750 mm x 143 mm質量:80 kg
· 空気源:ポンプ封入
除振台
E-VS-R16D
除振方式:ダイヤフラム空気バネ固有振動数:V; 2 Hz, H; 2.2 Hz積載質量:250 kg寸法:980 mm x 780 mm x 700 mm空気源:0.45 〜 0.7 MPa質量:170 kg
· レギュレータ付 · 接続口:外径φ 6mm
チューブ用ワンタッチ管継手
E-VS-S286A
除振方式:ダイヤフラム空気バネ固有振動数:V; 1.6 Hz, H; 2 Hz積載質量:550 kg 寸法:1100 mm x 850 mm x 700 mm空気源:0.45 〜 0.7 MPa質量:340 kg
· レギュレータ付 · 接続口:外径φ 6mm
チューブ用ワンタッチ管継手
510 430
510
643
1000
750
570
9090
750 125125
143
標準在庫品*1 ただし、後付の場合は、補正値を取り直す必要があります。 *2 NEXシリーズ、リニアシリーズでは使用不可。 *3 RoHS非対応品
オプション
105
名称 型式 外観図 仕様 摘要
システムラック
E-DK-S24A*1寸法:800 mm x 800 mm x (1070 〜 1370 ) mm質量:44.5 kg
E-DK-S25A*1寸法:1200 mm x 800 mm x (1070 〜 1370 ) mm
脇机 E-DK-S10A*1 寸法:400 mm x 700 mm x 700 mm
高倍率防風カバー
E-CV-S02A寸法:W750 mm x D614 mm x H810 mm質量:8 kg
· 粗さ測定用 卓上型除振台 / 架台と組合せ
· スタンダードシリーズ及び リニアシリーズ SDタイプ用
(S5000, S3000 は除く)
E-CV-S03A寸法:W1000 mm x D629 mm x H810 mm質量:13 kg
· 輪郭形状測定用 卓上型除振 台 / 架台と組合せ
· スタンダードシリーズ及び リニアシリーズ SDタイプ用
(S5000, S3000 は除く)
防風カバー E-CV-S25A寸法:W1070 mm x D750 mm x H1050 mm質量:20 kg
· 大型測定台用 除振台 E-VS-S21Bと組合せ
測定位置確認ユニット E-MA-S81A 顕微鏡倍率: x3
焦点距離:60 mm · スタンド方式
標準在庫品
サーフコム コンターレコード
表面粗さ・輪郭形状測定機 SURFCOM・CONTOURECORD オプション
*1 RoHS非対応品
106
名称 型式 外観図 仕様 摘要
標準片 E-MC-S109AE-MC-S24D
E-MC-S109A : 日本国内向け (ミリ表示)
E-MC-S24D : 海外向け (ミリ・インチ表示)
校正面:Ra 約 3.1 μm触針チェック面:Ra 約 0.4 μm実測値表記
· 感度校正及び触針チェック用 · JCSS 校正、NIST 校正可能
段差標準片 E-MC-S57A大範面:約 20 μm小範面:約 2 μm実測値表記
· NEX シリーズ、リニアシリーズの粗さシステム標準付属
· 検出器感度校正及び触針チェック用 · JCSS 校正可能
倍率校正器 E-MC-S50C狭範囲精度:0 〜 10 μm ± 0.1 μm広範囲精度:0 〜 400 μm ± 0.1 μm
· 倍率校正用
マスタボール校正ユニット
E-MC-S65B · 触針下向き測定用 · S-NEX*3*/*4*, C1600G, C2600G に
標準付属
E-MC-S48B マスタボール校正ユニット
· 触針下向き測定用 · S3000A, S5000DX/SD に標準付属
E-MC-S51A · 触針上向き測定用 · C2600E/G, S3000A 用
C2700DX/SD, S5000DX/SD 用
小 穴 用 測 定 子マスタボール校正ユニット
E-MC-S59D ブロックゲージ:1.5mm校正球:φ 1.5mm
· 触針下向き、小穴測定子用 · C1600D, C1700DX/SD, C2600E,
S3000A, C2700DX/SD, S2000DX/SD, S5000DX/SD, S-NEX100, S-NEX *3*/*4* 用
小 穴 上 下 測 定用スタイラス校正ユニット
E-MC-S104A
ピンゲージ(φ 2 mm)
ブロックゲージ(4 mm)
ブロックゲージ(25 mm)
ブロックゲージ(1.5 mm)
E-MC-S104A20
30
(84)
5447
9666 (14.5) (40.5)9
ブロックゲージ:25mm、4mm、1.5mmピンゲージ:φ 2mm
· 小穴上下測定スタイラス用 · S-NEX *3*/*4* 用
ピッチゲージ E-MG-S02B ピン径:7.9 mmピッチ :15 mm寸法:144 mm x 38 mm x 49 mm
触針チェックマスタ E-MG-S24A 先端半径:0.1 μm以下
材質:ナイフエッジダイヤ
電源トランスボックス E-TF-R25A
入力:90 V 〜 240 V 出力:100 V 容量:2.1 kVA 寸法:300 mm x 350 mm x 296 mm質量:45 kg
· 入力電圧をご指定ください。
標準在庫品
115 22
0.75
663
30
ブロックゲージ 1.5mm校正球φ1.5mm
基準板
ブロックゲージ
Y軸方向調整用テーブル
マスタボール
71
8260
181.5
オプション
107
名称 型式 外観図 仕様 摘要
小型測定台 E-ST-S130A
テーブルサイズ: 410 mm x 200 mm最大測定高さ:200 mm質量:18 kg積載質量:20 kg
· 測定物の大きさ形状に合わせて、駆動部の高さ・傾きを調整できます
ピックアップ
E-DT-SSE01A 先端 R 2 μm, 60°円錐ダイヤ、0.75 mN · S-TOUCH50 用(標準付属)
E-DT-SE18B 先端 R 5 μm, 90°円錐ダイヤ、4 mN
· 全姿勢 · 横トレース可能 · 測定子 0102501 付き · FLEX-50A, S130A 用
E-DT-SE19B 先端 R 2 μm, 60°円錐ダイヤ、0.7 mN · FLEX-50A, S130A 用(標準付属)
タッチペンE-MA-S112A · S-TOUCH 用E-MA-S54A · S130A、S480A/B 専用
ロール用足
E-MA-S62A · ロール形状のものに駆動部を載せて、測定を行う為のアタッチメントです
· ロール外径:φ 60mm以上
E-MA-S63A · ロール外径:φ 60mm以上
防塵カバー E-MA-S64A* · 増幅指示部防塵対策用 · S130A、S480A/B 専用
全姿勢ピックアップホルダ E-DH-S107*
· 測定面は水平面に限らず、傾斜面・垂直面・天井面などあらゆる面の粗さ測定が可能です
横トレースピックアップホルダ E-DH-S17A*
· クランクシャフトのように測定方向前後に障害物がある場合、横方向でトレースする為のアタッチメントです
(両またぎスキッド使用) · スキッド測定限定
駆動部アタッチメント E-CA-S62A · 50 mm 駆動部を手動コラム (E-CL-S133A)に取付け
USB ケーブル (1.2 m) E-CS-S655A · アンプとパソコンとの接続に使用
(S-TOUCH シリーズ共通)
USB メモリ E-MA-S104B 4GB · HANDYSURF+ /SURFCOM TOUCH 用
RS-232C ケーブル E-SC-S288A 9pin Windows パソコンに対応
· ケーブル接続時 · S130A 専用
標準片 E-MC-S109AE-MC-S24D
E-MC-S109A : 日本国内向け(ミリ表示)E-MC-S24D : 海外向け(ミリ・インチ表示)校正面:Ra 約 3.1 μm触針チェック面:Ra 約 0.4 μm実測値表記
· 感度校正及び触針チェック用 · JCSS 校正、NIST 校正可能
SURFCOM TOUCH 50、 SURFCOM 130A、 SURFCOM FLEX-50A用オプション
サーフコム コンターレコード
表面粗さ・輪郭形状測定機 SURFCOM・CONTOURECORD オプション
E-DT-SSE01A
7.00
4.00
(1.1) 27.00
(91.1)
54.00
63.00
(9)
(280)
rtip = 2 µm, 60° 円錐, ダイヤモンドrtip = 2 µm, 60° cone, diamond
測定子 DM43801(付属)Stylus DM43801 (Included)
標準在庫品* S130A, FLEX-50A用です。S-TOUCH50用についてはお問い合わせください。108
名称 型式 外観図 仕様 摘要
ピックアップ
E-DT-SM10A 先端 R 5 μm、 90°円錐ダイヤ、 4 mN(35・40 用) · 一般測定用 · 標準付属品E-DT-SM49B 先端 R 2 μm、 60°円錐ダイヤ、 0.75 mN(35・40 用)
E-DT-SM39A 先端 R 5 μm、 90°円錐ダイヤ、 4 mN(45 用)
E-DT-SM11B 先端 R 5 μm、 90°円錐ダイヤ、 4 mN(35・40 用) · 細穴用 · 最小内径φ 5mm
E-DT-SM50B 先端 R 2 μm、 60°円錐ダイヤ、 0.75 mN(35・40 用)
E-DT-SM12A 先端 R 5 μm、 90°円錐ダイヤ、 4 mN (35・40 用) · 極細穴用 · 最小内径φ 3mm
E-DT-SM51B 先端 R 2 μm、 60°円錐ダイヤ、 0.75 mN (35・40 用)
E-DT-SM13A 先端 R 5 μm、 90°円錐ダイヤ、 4 mN(35・40 用) · 深溝用 · 最大深さ7 mm
E-DT-SM52B 先端 R 2 μm、 60°円錐ダイヤ、 0.75 mN(35・40 用)
ボア内径粗さ測定用特殊駆動部 E-RM-S224C*
測定範囲 130 mm最大測定径φ 95 mm最小測定径φ 71.5 mm
· ハンディサーフ E-35B、 及び FLEX-35B 用
· アタッチメント機構付き · 受注生産品
調整具(後側用)E-WJ-S64A · 35・40 用(E-35B・40A,
FLEX-35B・40A に標準付属)
E-WJ-S560A · 45 用(E-45A, FLEX- 45A に標準付属)
調整具(前側用)E-WJ-S80A · 35・40 用
E-WJ-S559A · 45 用
ノーズピース(円筒用)
E-WJ-S85A
下面のVで円筒ワークに当て測定φ 50まで対応
· 35 用
E-WJ-S562A · 35・40 用
ノーズピース(平面用)
E-WJ-S88A 下面の突起と駆動部下面でワークに当て測定
· 35 用
E-WJ-S561A · 35・40 用
ノーズピース(V 型) E-WJ-S536A · 45 用(標準付属)
ノーズピース(接点型) E-WJ-S563A · 45 用
長穴用延長アダプタ DM57506
2 本以上の延長不可DM57506とDM57507 の併用不可
· 35・40 用
横方向測定用アダプタ DM57507 · 35・40 用
穴測定用アダプタ E-WJ-S86A 中央のピンを穴の下部に当て測定 · 35・40 用
標準片 E-MC-S109AE-MC-S24D
E-MC-S109A : 日本国内向け(ミリ表示)E-MC-S24D : 海外向け(ミリ・インチ表示)校正面:Ra 約 3.1 μm触針チェック面:Ra 約 0.4 μm実測値表記
· 感度校正及び触針チェック用
· JCSS 校正、NIST 校正可能
HANDYSURF+ 35・40・45、 HANDYSURF E-35B・40A・45A、 SURFCOM TOUCH 35・40・45、 SURFCOM FLEX-35B・40A・45A 用オプション
67.5~ 80
Ø9.5
長穴測定用アダプタ(DT57507) 駆動部(E-RM-S59A)ピックアップ(E-DT-SM10A)
0.64.5
Ø9.5
1.5 68 22
22.8
横トレ-スホルダ(DT57507)
駆動部(E-RM-S59A)
ピックアップ(E-DT-SM10A)
21~5
標準在庫品
最小測定径:Ø71.5最大測定径:Ø95
208
100
73
クランプ解除レバーワーク端面
クランプローラ
01020304050607080120 90100110130
130 (測定範囲) 340
オプション
109
名称 型式 装置型式 対応システム 摘要CF カード +アダプタ E-MU-S50C 130A, 480A/B · 128 MB
記録紙
E-CH-S21ATOUCH550, 130A, 480A/B · 10 巻 / 箱
· 外径φ 47 mm、外幅 58 mm、ロール長 25 m E-RC-S24A E35A/B・40A・45A 用高速プリンタ
E-CH-S25A
E-RC-S31A TOUCH用内蔵/外付けプリンタ , HANDYSURF+用プリンタ · 10 巻 / 箱 · 外径φ 24 mm、外幅 58 mm、ロール長 7 m
FLEX内蔵プリンタE-RC-S23A E35A/B・40A・45A 用高速プリンタE-RC-S25A/29A E35A/B・40A・45A 用小型プリンタⅡ
E-CH-50AE-RC-S01A/B 100B, 300B, 400B, 500B, 700B, 720B 550A, 900A/B,
920A, 730A, 470A, 740A · 10 巻 / 箱 · 外径φ 58 mm、外幅 80 mm、ロール長 40 m · 方眼幅 50 mmE-RA-S01A/03A 200B/C
E-CH-S05B570A, 590A, 750A, 790A · 10 巻 / 箱
· 外径φ 58 mm、外幅 60 mm、ロール長 40 mE-RC-S09A 440A, 470A, 740A, 900B, 920B
E-CH-S02A 110A, 350A, 550A, 470A, 730A, 740A, 920 · 20 巻 / 箱 · 外径φ 50 mm、外幅 68 mm、ロール長 25 m
JIS No.121 E-RC-XY16 · 100 枚 / 冊、A3リーフ
E-CH-S26A E-RC-S30A E35A/B・40A・45A用小型プリンタⅢ · 10 巻 / 箱 · 外径φ 38 mm、外幅 58 mm、ロール長 19 m
インクリボン E-IR-S01A
名称 型式 外観図 仕様 摘要
マグネットスタンド E-ST-MAC
ポストマウントホルダ 010 2050
ポストマウント E-CS-S26A · φ 6用
ハイトゲージアダプタ E-WJ-S93A ハイトゲージ側のスクライバ取り付け形状断面 9 mm x 9 mm
· ポストマウントE-CS-S26Aと組み合わせて使用します
USB ケーブル (1.2 m) E-SC-S655A
アンプとパソコンとの接続に使用 (SURFCOM TOUCH シリーズ・HANDYSURF+ 共通 )アンプとプリンタとの接続に使用 (SURFCOM TOUCH35/40/45 プリンタ非搭載モデル・HANDYSURF+ 共通 )
RS-232C ケーブルE-SC-S366A
0pin Windows パソコンに対応HANDYSURF E-35B/40A/45A 用
· 通信用サンプルプログラム付き
USB-RS アダプタ · パソコンに RS ポートが無い場合に E-SC-S366Aと併せて使用
プリンタ E-RC-S31A外形寸法: 幅 94 × 奥行き 167 × 高さ 44 mm電圧: 100V, 120V, 220V, 230V
· HANDYSURF+ /SURFCOM TOUCH 用
· 付属品 · 記録紙 2 巻 · ACアダプタ E-MA-S111 · 電源ケーブル · USB ケーブル E-SC-S655A
USB メモリ E-MA-S104B 4GB · HANDYSURF+ /SURFCOM TOUCH 用
校正台 E-WJ-S1045B · HANDYSURF+ /SURFCOM TOUCH 標準付属品
キャリングケース E-TB-S50A · HANDYSURF+ 専用 標準付属品
駆動部ホルダ E-MD-S200A FLEX の増幅指示部側面に取り付けます · FLEX-35B、-40A 用
消耗品
標準在庫品
サーフコム コンターレコード
表面粗さ・輪郭形状測定機 SURFCOM・CONTOURECORD オプション
HANDYSURF+ 35・40・45、 HANDYSURF E-35B・40A・45A、 SURFCOM TOUCH 35・40・45、 SURFCOM FLEX-35B・40A・45A 用オプション
110