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• 1016Ωまでの抵抗測定

• 1fA–20mA の電流測定範囲• 最小電流レンジで<20µV の入力電圧降下

• 200TΩ入力インピーダンス

• <3fAバイアス電流• 最大425読取/秒• 0.75fA p-pノイズ• 内蔵±1kV電圧源• ユニークな電圧反転法(高抵抗 測定)

ケースレーの51 ⁄2桁、6517B型エレクトロメータ/絶縁抵抗計は、このタイプの他のどのようなメータでも達成できない測定確度および感度性能を実現しています。また、絶縁材料の高抵抗や抵抗率の測定を簡素化する豊富な特長を提供します。最大425読取/秒の読取レートに加えて、6517B型は競合のエレクトロメータに比べて著しく高速なので、低レベルの電流測定を容易にすばやく行えます。

比類ない測定性能ハーフラックの6517B型は、最小レンジにおいて、たった0.75fA p-p (ピークto ピーク)ノイズで<3fAの入力バイアス電流と、<20µVの入力電圧降下となる特別の低電流入力アンプを搭載しています。電圧および抵抗測定での入力インピーダンスは

200TΩで、理想的な回路負荷といえます。これらの仕様が、物性、光学、ナノテクノロジ、そして材料科学などの研究分野での低電流、高インピーダンス電圧、抵抗および電荷を正確に測定するための確度と感度を確実にします。スイープ機能のある内蔵の±1kV電圧源により、リーク、ブレークダウンおよび抵抗の試験に加えて絶縁材料の体積抵抗率(Ω-cm)と表面抵抗率(Ω/)の測定を簡素化します。広い測定範囲6517B型は、電流、電圧、抵抗、および電荷測定の全レンジにわたって完全なオートレンジを提供します。

• 電流測定 1fA～20mA• 電圧測定 10µV～200V• 抵抗測定 50Ω～1016Ω

• 電荷測定 10fC～2µC

ご注文案内6517B エレクトロメータ/

絶縁抵抗計

付属アクセサリ237-ALG-2 ローノイズトライアキシャルケーブル、3スロットトライアキシャル-ワニ口クリップ、2m8607高電圧用デュアル安全テストリード6517-TP熱電対ビードプローブCS-1305インターロックコネクタ

ケーブル6517B-ILc-3 インターロックケーブル7007-1 Ieee-488 ケーブル(シールド付)、1m 7007-2 Ieee-488 ケーブル(シールド付)、2m7009-5 rs-232ケーブル7078-TrX-3 ローノイズトライアキシャルケーブル、3

スロットトライアキシャルコネクタ、0.9m7078-TrX-10 ローノイズトライアキシャルケーブル、3

スロットトライアキシャルコネクタ、 3m

7078-TrX-20 ローノイズトライアキシャルケーブル、3スロットトライアキシャルコネクタ、 6m

8501-1 トリガリンクケーブル、1m8501-2 トリガリンクケーブル、2m8503 トリガリンクケーブル、- 2オスBNc、1m8607 1kv印加バナナケーブル(6517Bに付属)

プローブ6517-rH 延長ケーブル付き湿度プローブ6517-TP 温度ビードプローブ (6517Bに付属)

テストフィクスチャ8009 抵抗率テストフィクスチャその他cs-1305 インターロックコネクタ

アダプタ237-BNc-TrX オスBNc-3ラグメストライアキシャルアダ

プタ237-TrX-NG トライアキシャルオス-メスアダプタ

(ガード非接続)237-TrX-T 3スロットオストライアキシャル-デュアル

3ラグメストライアキシャルＴアダプタ237-TrX-TBc 3ラグメストライアキシャル・バルクヘッ

ドコネクタ(1.1kv仕様)7078-TrX-BNc 3スロットオストライアキシャル-BNcアダ

プタ7078-TrX-GND 3スロットオストライアキシャル-BNcアダ

プタ(ガードなし)7078-TrX-TBc 3ラグメストライアキシャルバルクヘッド

コネクタ(キャップ付き)ソフトウェア6524 高抵抗測定ソフトウェアラックマウントキット4288-1 固定ラックマウントキット(片側)4288-2 固定ラックマウントキット(両側)スキャナカード6521 低電流スキャナカード6522 電圧/低電流スキャナカードGPIBインタフェースKPcI-488LP Ieee-488インタフェースコントローラ(PcI

バス用)KPXI-488 Ieee-488インタフェースボード(PXIバス)KusB-488a Ieee-488 usB-GPIBインタフェース

アダプタ

別売アクセサリ

6517B エレクトロメータ/絶縁抵抗計

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6517B エレクトロメータ/絶縁抵抗計

DMMのように簡単な操作6517B型は、表面パネルから、あたかもデジタルマルチメータ(DMM)を操作するように、たとえば、抵抗測定のような重要なファンクションを1回タッチするだけで済む簡単な操作性を実現しています。また、内蔵のIEEE-488インタフェースを介してコントロールできるので、外部コンピュータからすべてのファンクションをプログラムすることができます。

高確度の高抵抗測定6517B型は、高抵抗測定のアプリケーションを精度よく行うための多くの特長と機能を持っています。たとえば、内蔵の電圧源を使うと、絶縁物の抵抗率と印加電圧レベルの関係を簡単に見出すことができます。コンデンサのリーク/絶縁抵抗測定、プリント基板の表面絶縁抵抗の試験、抵抗の電圧係数試験そしてダイオードのリーク評価などで便利です。

測定サンプルの固有バックグラウンド電流によって以前は正確な測定ができなかったデバイスや材料の非常に高い抵抗の測定のために6517B型に組み込まれた試験シーケンスが電圧反転法を実現しています。オプションの6524型ソフトウェアパッケージを使うと、コンピュータを介して6517B型の操作が単純化され、特定の材料や被測定物の試験パラメータ(遅延時間、電圧など)を最適化するのが容易になります。6517Bメータ、ソフトウェア、抵抗率フィクスチャを組み合わせて特定の材料やデバイスの試験アプリケーションが行えるようになります。詳しくは、65型の資料を参照ください。

温度スタンプと湿度スタンプ湿度と温度は材料の抵抗率に大きく影響する場合があります。変化する条件下で収録される読み値を正確に比較するため、6517B型は内蔵のKタイプ熱電対とオプションの6517-RH型相対湿度プローブが用意されています。内蔵しているデータ保存バッファに、収録された時点での時刻、温度、相対湿度でスタンプされた読み値を記録でき、呼び出すこともできます。

測定機能を拡張するアクセサリ6517B型のアプリケーションを拡張し、その性能を十分に活用するための種々のアクセサリが用意されています。

スキャナカード 複数の信号のスキャンを単純化する2つのスキャナがあります。どちらのカードも測定器の背面パネルのオプションスロットに簡単に装着できます。6521型スキャナカードは低レベルの電流のスキャン用で10チャンネル構成です。6522型スキャナカードは高インピーダンス電圧のスイッチングまたは低電流のスイッチング用で10チャンネルです。 テストフィクスチャ 8009型抵抗率チャンバは被測定材料の体積または表面抵抗率の測定用のガードされたテストフィクスチャです。ASTM規格に準じたステンレス電極を使っています。フィクスチャの電極寸法はあらかじめ6517B型にプログラムされるので、それらの値を計算して手入力する必要がありません。このアクセサリは、チャンバの蓋を空けると自動的に6517B型の電源をオフにすることで危険電圧との不測の接触を起こさないように設計されています。

アプリケーション6517B型は物理、光学、材料科学といった研究分野での低電流、高インピーダンス電圧、抵抗、電荷の測定に最適な製品です。入力電圧降下が極端に小さいので特に太陽電池関係のアプリケーションに向いており、内蔵電圧源と高感度電流測定によりポリマーベースのナノワイヤのようなナノ材料の高抵抗測定にも絶好のソリューションになります。測定のスピードが速く使いやすい測定器なので、リーク、ブレークダウンや抵抗測定が必要となる品質管理、製品技術、製造試験アプリケーションにも有効にお使いいただけます。6517B型の電圧反転法を使うことで、非導体材料の体積および表面抵抗率の測定を確実に行えます。

6517B型背面パネル

6517B型での性能拡張6517B型は1996年に発売された6517A型を置き換える刷新バージョンです。6517A型用にSCPIコマンドで作られたソフトウェアアプリケーションはそのまま6517Bで実行できます。しかし、6517B型では、6517A型に対していくつかの有用な性能拡張を行っています。バッテリバックアップされた内部メモリバッファは50,000点まで格納でき、より長い期間での試験結果を蓄積、試験結果に関連するデータも収録することができます。測定の読取レートが速くなり、内部バッファに対しては最大425読取/秒、IEEEバスを介しての外部メモリに対しては最大400読取/秒となっています。最新の接続方法の採用や安全性の観点からいくつかのコネクタが変更になっています。

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Mod

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517B

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ifica

tions

6517B エレクトロメータ/絶縁抵抗計

電圧 確度 温度 (1年)1 係数 5½桁　 18°–28°c 0°–18°c & 28°–50°c レンジ 分解能 ±(読みの%+カウント) ±(読みの%+カウント)/°c

2 v 10 µv 0.025 + 4 0.003 + 2 20 v 100 µv 0.025 + 3 0.002 + 1 200 v 1 mv 0.06 + 3 0.002 + 1

NMrr: 2v/20vレンジ>60dB、200vレンジ>55dB、50Hzまたは60Hz2

cMrr: >120dB@Dc、50Hzまたは60Hz入力インピーダンス: >200TΩ (並列容量20pF)、<2pFでガード (zero check

オンで1MΩ)プリアンプ出力での小信号バンド幅: 100kHz(代表値) (–3dB)1. zero実施、5½桁、1 PLc (電源ラインサイクル)、メディアンフィルタオン、デジタルフ

ィルタ = 10読取2. Line syncオン

電流 確度 温度 (1年)1 係数 5½桁 18°–28°c 0°–18°c & 28°–50°c レンジ 分解能 ±(読みの%+カウント) ±(読みの%+カウント)/°c

20 pa 100 aa 2 1 + 30 0.1 + 5 200 pa 1 fa 2 1 + 5 0.1 + 1 2 na 10 fa 0.2 + 30 0.1 + 2 20 na 100 fa 0.2 + 5 0.03 + 1 200 na 1 pa 0.2 + 5 0.03 + 1 2 µa 10 pa 0.1 + 10 0.005 + 2 20 µa 100 pa 0.1 + 5 0.005 + 1 200 µa 1 na 0.1 + 5 0.005 + 1 2 ma 10 na 0.1 + 10 0.008 + 2 20 ma 100 na 0.1 + 5 0.008 + 1

入力バイアス電流: <3fa@TcaL(校正温度)、温度係数=0.5fa/°c、20paレンジ入力バイアス電流ノイズ: <750aa p-p (入力キャップ時)、0.1Hz〜10Hzバン

ド幅、dampingオン、デジタルフィルタ=40読取、20paレンジ入力電圧降下の温度係数@TcaL ±1°c:

<20µv (20pa, 2na, 20na, 2µa, 20µaレンジ) <100µv (200pa, 200na, and 200µaレンジ) <2mv (2maレンジ)、<5mv (20maレンジ)

入力電圧降下の温度係数: <10µv/°c (pa, na, µa レンジ)プリアンプのセトリング時間 (最終値の10%) (代表値): 0.5s (dampingオフ)

、2.0 s (dampingオン)、paレンジ; 15ms (dampingオフ)、naレンジ ;1ms (dampingオフ)、µaレンジ; 500µs (dampingオフ) maレンジ

NMrr: >60dB、全レンジ、50Hzまたは60Hz3

1. zero実施、5½桁、1PLc (電源ラインサイクル)、メディアンフィルタオン、デジタルフィルタ=10読取

2. aa = 10–18a、fa = 10–15a3. Line syncオン

電荷 確度 温度 (1年)1, 2 係数 5½桁 18°–28°c 0°–18°c & 28°–50°c レンジ 分解能 ±(読みの%+カウント) ±(読みの%+カウント)/°c

2 nc 10 fc 0.4 + 5 0.04 + 3 20 nc 100 fc 0.4 + 5 0.04 + 1 200 nc 1 pc 0.4 + 5 0.04 + 1 2 µc 10 pc 0.4 + 5 0.04 + 11. 仕様は電荷収録直後に適用される。次を追加する。 |Qav|

(4fa + _____ ) Ta rc

Ta = クーロンzeroと測定の間の期間(秒) Qav = Ta期間で測定された平均電荷、rc = 300,000 (代表値)2. zero実施、5½桁、1PLc (電源ラインサイクル)、メディアンフィルタオン、デジタルフィ

ルタ = 10読取り

入力バイアス電流: <4fa at TcaL. 温度係数 = 0.5fa/°c、2ncレンジ

抵抗 (通常手法) 温度 確度1 係数 (10–100% レンジ) (10–100%レンジ) 5½桁 18°–28°c (1年) 0°–18°c & 28°–50°c 自動 電流 レンジ 分解能 ±(読みの%+カウント) ±(読みの%+カウント) 電圧源 レンジ 2 MΩ 10 Ω 0.125 + 1 0.01 + 1 40 v 200 µa 20 MΩ 100 Ω 0.125 + 1 0.01 + 1 40 v 20 µa 200 MΩ 1 kΩ 0.15 + 1 0.015 + 1 40 v 2 µa 2 GΩ 10 kΩ 0.225 + 1 0.035 + 1 40 v 200 na 20 GΩ 100 kΩ 0.225 + 1 0.035 + 1 40 v 20 na 200 GΩ 1 MΩ 0.35 + 1 0.110 + 1 40 v 2 na 2 TΩ 10 MΩ 0.35 + 1 0.110 + 1 400 v 2 na 20 TΩ 100 MΩ 1.025 + 1 0.105 + 1 400 v 200 pa 200 TΩ 1 GΩ 1.15 + 1 0.125 + 1 400 v 20 pa1. 仕様の条件：自動電圧源でのΩ、zero実施、5½桁、1PLc(電源ラインサイクル)、メディアンフィルタオン、デジタ

ルフィルタ = 10 読取り。ユーザ指定の電圧の場合はマニュアルモードを使用のこと。マニュアルモードでは測定電流から計算された抵抗 (最大1018Ω)を表示する。確度は電圧源の確度と選択された電流レンジの確度の和になる。

プリアンプセトリング時間: 電流仕様中のプリアンプセトリング時間に電圧源のセトリング時間を足す。20GΩを超えるレンジでは負荷の特性に基づく追加のセトリングが必要になる。

抵抗 (極性反転法)極性反転シーケンスではサンプル材料やデバイスのバックグラウンド(オフセット)電流を補償す

る。最大許容オフセットは使用電流レンジのフルスケールケースレー8009型フィクスチャを使用した場合リピータビリティ: DIBG × r/vaLT + 0.1% (1σ) (測定器温度変動 ±1°c)確度: (vsrcerr + IMeaserr × r)/vaLT

DIBG；サンプルとフィクスチャからの代表的なバックグラウンド電流ノイズ測定値 vaLT；使用された極性反転電圧 vsrcerr; vaLT を設定した電圧源の確度(V) IMeaserr; vaLT /rを読み込む電流計の確度(a)

電圧源 温度 確度 (1年) 係数 5½桁 18°–28°c 0°–18°c & 28°–50°c レンジ 分解能 ±(設定の% + オフセット) ±(設定の%+オフセット)/°c

100 v 5 mv 0.15 + 10 mv 0.005 + 1 mv 1000 v 50 mv 0.15 + 100 mv 0.005 + 10 mv

最大出力電流: 100vレンジ: ±10ma、ハードウェア短絡保護@<14ma 1000vレンジ: ±1ma、ハードウェア短絡保護@<1.4ma

セトリング時間: 100vレンジ: <8ms(規定確度まで) 1000vレンジ: <50ms(規定確度まで)

ノイズ (代表値): 100vレンジ: <2.6mv rms 1000vレンジ: <2.9mv rms

温度 (熱電対) 確度 (1年)1 熱電対 18°–28°c タイプ レンジ ±(読みの% + °c)

K –25°c〜150°c ±(0.3% + 1.5°c)1. プローブ誤差を除く、Tcal ± 5°c、1 PLc積分時間

湿度 確度 (1年)1 レンジ 18°–28°c, ±(読みの% + % rH)

0–100% ±(0.3% +0.5)1. 湿度プローブ確度を追加すること。6517-rH型では±3% rH、65°cまで、85°cを超

えてはならない

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517B

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ifica

tions

6517B エレクトロメータ/絶縁抵抗計

インタフェース情報GPIB制御コマンド: SCPI (IEEE-488.2、SCPI-1999.0)トリガから読み完了まで: 150ms(代表値、外部トリガを利用)

RS-232: 制御コマンド: SCPI 1991.0 ボーレート: 300、600、1200、2400、4800、 9600、19.2k、38.4k、57.6k、115.2kフロー制御: None、Xon/Xoffコネクタ: DB-9 TXD/RXD/GND

一般仕様

仕様は予告なく変更になる場合があります。Keithleyの商標はすべてKeithley Instruments, Incに帰属します。

その他の商標は各所有会社に帰属します。

A G R E A T E R M E A S U R E O F C O N F I D E N C E

表示: 6½桁真空蛍光表示器オーバレンジ表示: レンジの105%を超える読み値に対して“OVERFLOW”と表示。過度のオーバレンジ状態では“OUT OF LIMIT”と表示レンジング: 自動またはマニュアル変換時間: 0.01PLCから10PLCまで選択可最大入力: 250Vピーク、DC～60Hzサイン波; mAレンジでは1分間に最大10秒最大コモンモード電圧 (DC～60Hzサイン波): エレクトロメータ500Vピーク、電圧源750Vピークアイソレーション (メータコモン - シャーシ):

>1010Ω、<500pF入力コネクタ: 3ラグトライアキシャル(背面パネル)2Vアナログ出力: フルレンジ入力で2V、電圧モードでは非反転、電流/抵抗/電荷に対しては反転、出力インピーダンス10kΩプリアンプ出力: 電圧測定ではガード出力、反転出力として使用可、あるいは電流/電荷モードで外部フィードバックと共に使用可 外部トリガ: TTL互換ガード: スイッチ可能な電圧ガードありデジタルI/Oとトリガライン: あり、使用時はマニュアルを参照

EMC: European Union Directive 89/336/EEC, EN 61326-1に適合

安全性: European Union Directive 73/23/EEC, EN 61010-1に適合読取値格納: 50,000読取レート: 対内部バッファ: 425読取/秒1 対IEEE-488バス: 400読取/秒1, 2 バス転送: 3300読取/秒2

1. 0.01PLC、デジタルフィルタオフ、表面パネルオフ、湿度+ RHオフ、Line Syncオフ

2. バイナリ転送モード

デジタルフィルタ: メディアンおよび平均環境: 動作時: 0°–50°C; 相対湿度 70%、結露なし、35°Cまで

保存時: –25°～+65°C高度: 最大海抜2000m (EN 61010-1に準拠)ワームアップ: 規定確度に達するまで1時間電源: 選択可、100、120、220、240VAC±10% 　 50/60Hz、最大100VA筐体寸法: 90mm(高さ) × 214mm (幅) × 369mm (奥行き)、電源コードとIEEE-488のコネクタを含めると奥行きは394mm質量: 5.4kg出荷質量: 6.9kg

ケースレーインスツルメンツ株式会社

本社105-0022 東京都港区海岸1-11-1 ニューピア竹芝ノースタワー13F TEL:03-5733-7555 FAX:03-5733-7556 www.keithley.jp大阪オフィス564-0052 大阪府吹田市広芝町9番地 第11マイダビルTEL:06-6190-0014 FAX:06-6190-0017 info.jp@keithley.com

© Copyright 2008 Keithley Instruments, Inc. Printed in China. No. 2980-J