ウエッジボンディング...4 ウエッジボンディング細線ウエッジボンディングの流れ 1．ウエッジボンディングは、始めにワイヤーをウエッジに通します。2．荷重と超音波振動がワイヤーに

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ウエッジボンディング細線ウエッジボンディングの流れ

１．ウエッジボンディングは、始めにワイヤーをウエッジに通します。

２．荷重と超音波振動がワイヤーに加わり、ファーストボンドが作られます。

３．ウエッジが移動し、ループが作られます。４．荷重と超音波振動がワイヤーに加わり、セカンドボンドが作られます。

５．ウエッジが上昇します。６．クランプ板でワイヤーを挟み、引きちぎります。この時残ったワイヤーが次のファーストボンドのテール長さになります。

推奨される破断モード・中央部での破断ボンディングの強度が

ワイヤーの張力を上回っている・セカンドボンドでの破断・ヒール部での破断

望ましくない破断モード・弱い強度でのヒール部からの破断・ボンド剥がれ

ウエッジボンディングプロセス

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図４低周波によるボンディング

図１ (1992 by C.Alfaro)高周波ボンディングの接合パターン

（縦方向のライン）

図２ (1978 by V.H Winchell)低周波ボンディングの接合パターン（中心部の空間）

図３高周波によるボンディング

細線用ウエッジボンディング

ウエッジボンディング

ウエッジーウエッジ超音波接合

ウエッジボンディングは、超音波エネルギーを利用した、もっとも古い接合技術です。熱エネルギーを加えることにより、接合をより進めることも可能です。。

使用される超音波の周波数は、長い間 60KHZ が主流でしたが、この周波数では 38 μ m 以上のワイヤーが使用される製品では低すぎるため、最近では、60KHZ 以上の高周波が使用されるようになりました。60KHZ 以上の高周波の使用により、金線とアルミパッドの接合では合金層が広がり、ボンドサイクルをより速くすることができました。高周波によるボンディングでは、ボンド面にワイヤーが接触すると同時に接合が始まります。

高周波ボンディングでは、ボンド面を剥がすと下の図ー 1のように縦方向に平行した接合のラインが見られます。従来の低周波ボンディングでは、縦方向のラインは見られず、下の図ー２のようなつぶれ幅の外周と中心に空間（ボイド）が見られます。

高周波ボンディングでは、小さな振幅で高速に振動するため接合のための大きなエネルギーを発生します。また、小さな振幅は、つぶれ幅 ( ボンド ) の小さな変形でより強い接合とヒールクラック（ヒール部のひび）を防ぎます。

ウエッジボンディングでは、主にアルミ線と金線が使用されます。従来、ボールボンディングに対するウエッジボンディングの不利な点は、ワイヤーの接合スピードの違いとウエッジの一方向にのみのボンディングのために、ワークを回転させなければならないことでした。しかし、現在のウエッジボンダーは、これらの問題点に対して著しい進歩を遂げております。最新の全自動ウエッジボンダーは、十分なスピードを有し、ロータリーヘッドウエッジボンダーでは、ボールボンダーと同じように、３６０度全方向にボンディングが可能になりました。

ウエッジボンディングでは、アルミ線は、一般的にチップオンボード（ＣＯＢ）ボンディングで使用され、金線は、マイクロ波デバイスやハイブリットデバイスに使用されます。金線に加え、金のリボンワイヤーが、高周波デバイスで使用される割合も増えてきました。

キャピラリーボンディングでは、時間、荷重、超音波エネルギー及び加熱温度がワイヤー接合のための重要な要素ですが、ウエッジボンディングにおいては、アルミ線、金線とも電気トーチ（ＥＦＯ）によるボールの形成はなく、金線ボンディングでは主に荷重が、アルミ線ボンディングでは荷重と超音波エネルギーが作用します。また、ヒーターステージの採用やツールを加熱することにより、ボンディングの効率を上げることが出来ます。ウエッジボンディングは、一般的には、超音波ボンディングと言われます。

ウエッジボンディングとは、超音波のエネルギーがトランスデューサーを通じてボンディングツールに伝えられ超音波エネルギーが機械的振動を起こし、ボンド面の酸化膜を破壊し、接合を助ける摩擦熱を発生します。接合面の加熱やツールの加熱も接合を助けます。

アルミ線のウエッジボンディングは、金線に比べて経済的な理由でも採用されます。また、ウエッジボンディングは、狭ピッチで細く小さいパッドでのボンディングでも経済的に低コストと言われています。

マイクロ波デバイスでは、超高周波対応に、低く、平たく、短いループの形成が可能で、要求される形状にコントロールすることが出来ます。リボンボンディングでは高周波通信、マイクロ波機器、アンテナ工学で見られる ”スキンエフェクト”が可能です。

クアーズテック／ガイザーでは、低周波から高周波ボンディングまでの豊富な基礎データーを蓄積し、ウエッジ形状、ウエッジ材質の研究開発に取り組んでいます。これからウエッジボンディングを始められる方は、弊社にご相談ください。

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図８左から、Ｖ－ノッチ、マキシガイド、マキシボンドウエッジです。それぞれの形状のガイドの比較を示しています。Ｖ－ノッチウエッジは、ワイヤーのコントロール性で劣ります。ワイヤーはしばしばスプールに巻かれた形状を維持しようとします。これによって、ホールから出たワイヤーは、ボンドフット部からずれる場合があります。マキシボンドやマキシガイドウエッジは、ワイヤーをボンドフットの中心に導入するように作用します。


図５標準仕様のＶ－ノッチウエッジ

図６標準仕様のマキシガイドウエッジ

ウエッジの先端形状は、従来Ｖーノッチとマキシガイド

の２つの種類がありました。Ｖ－ノッチが最初に開発されましたが、ワイヤーのセンタリングに優れたマキシガイドが主流になりました。マキシガイドはワイヤーをツールの中心部へ誘導（ガイド）します。しかし、Ｖーノッチは、小さく窪んだボンドパッドに接合するために、Ｗ値を最小にすることが可能で、また、ファーストボンドのヒールとセカンドボンドのテールを最良にすることを可能にする完全な形状のＢＲを持っています。クアーズテック／ガイザーが開発したマキシボンドデザインは、Ｖ－ノッチとマキシガイドの長所を併せ持った形状です。

ウエッジのデザイン

キャピラリーボンディングと比較してウエッジボンディングの利点としては、深いキャビティやパッケージの内部へのボンディングが可能なことです。標準仕様のウエッジツールの長さは 1.078in/27mm まで可能で、これは、最も長いセラミックキャピラリーのツール長 0.750in/19mm と比較しても長いことがわかります。一般的にウエッジのワイヤーフィード角は、30°、38°、45°、60°ですが、フィード角 60°でも深いボンディングでは、パーケージの側壁やほかのデバイスが障害となることがあります。そのため、従来のウエッジボンディングと異なり、ウエッジの内部を通してワイヤーを供給する特殊な形状のウエッジが開発されました。ディープアクセスウエッジボンディングです。キャピラリーと同様な動作が可能となりました。

図９従来のウエッジボンディングは、ワイヤーとクランプがウエッジの背後に位置するために動作に限界があります。

図７標準仕様のマキシボンドウエッジ



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ウエッジのボンドフットは、ワイヤーを加圧する重要な

部分で、フロントラディアス（ＦＲ）、ボンド長（ＢＬ）、バックラディアス（ＢＲ）、及びウエッジ幅（Ｗ）により構成されます。ボンドフットのデザインによってワイヤーへの加圧力が変化し、ボンドしたワイヤーの接合強度と信頼性に影響を与え、作られるボンドの大きさが決定されます。

ボンドフットの形状は、フラット（－Ｆ）とコーンケーブ（－ＣＣ）の２種類があります。

クアーズテック／ガイザーでは、アルミ線用として、材料をタングステンカーバイド（ＷＣ）でコーンケーブのボンドフットを、金線用としては、材質をチタンカーバイド（ＴＩＣ）或いは、先端サーメット (BKCER) 材で、フラットフェイスのボンドフットをお奨めします。また、金線用としては、クロスグルーブ（横溝＝ＣＧ）を付けることもあります。

図１１コーンケーブフット

コーンケーブフットは、ボンディング中にワイヤーをフットの中心に保つようにデザインされています。これは、上図に示すように、凹型（コーンケーブ）のため内側に働く力が生じるからです。

図１２フラットフェイス

外側へ、ボンドを押し出します。

一般的には、ボンド長は、ワイヤーの径の１．５倍から２．５倍のツールが使用されます。直径 0.00125 in/32 μのワイヤーの場合、一般に必要とされるＢＬ値は、0.0025in/64 μです。典型的なＢＬ値とボンドパッドのサイズの関係を下表に示します。

ボンドパッドサイズin/ μ m

ボンドレングス (BL)in/ μ m

.0030/ 76 .0020/ 51

.0035/ 89 .0020/ 51 - .0022/ 56

.0040/ 102 .0025/ 64

.0050/ 127 .0030/ 76


図１０ディープアクセスウエッジボンディングは、ワイヤーをウエッジの真上から通すようにデザインされています。ワイヤーがウエッジの内部を通して降ろされ、一度外へ出て、ウエッジの先端部で再びウエッジの内部に導入されます。このデザインによって、キャピラリーと同様な動作性が得られます。

ボンドフット ( FR,BL, 及び BR を含む）

ボンドフット長（ＦＬ）

フット長（ＦＬ）と呼ばれる長さは、ＦＲ、ＢＬ、ＢＲと、それぞれの公差を加えた値です。ＦＬを一定にしないと、それぞれの公差の合算により、実際のボンド長が、所定の値より長くなったり短すぎたりします。

図１３フラットフェイスとコーンケーブタイプのボンドフット

フラットフェイスウエッジでは、ＢＬの長さは、ＢＲの２５％、ＦＲの２５％、とフラット面の長さです。コーンケーブフェイスのＢＬは、ＢＲの２５％とフラット面の長さです。ＦＲは考慮しません。

ボンドレングス（ＢＬ）

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ＦＲは、ワイヤーのファーストボンドからセカンドボン

ドへの移動とセカンドボンドの形成に作用します。セカンドボンドのトウ（つまさき）部の大きさを決めます。一般的には、アルミ線用ウエッジの標準シリーズでは、セカンドボンドのトウ（つまさき）部のクラック発生を最小に抑えるために、ＦＲを.001in/25μ以上としています。クアーズテック／ガイザーでは、アルミ線用ウエッジのＦＲは、使用するワイヤー径と同等かそれ以上にデザインすることをお勧めします。

金線用ボンディングでは、特にワイヤー径が 0.001in/25 μ以下の場合、ＦＲをワイヤー径より小さくできます。マイクロ波デバイス用ウエッジでは、ＦＲ値は 0.0004in/10 μとなっています。

図１４このセカンドボンドは、ＦＲ値が、0.001in/25 μのウエッジで形成したものです。

図１５このセカンドボンドは、0.001in/25 μの金線を使用して、ＦＲ値0.0004in/10 μでクロスグルーブ（ＣＧ）付きのウエッジで形成したものです。

図１７小さなヒールクラック許容されるヒールクラックは、ユーザーの品質基準によ

り決定されます。ＢＲの形状とサイズによって、ヒールクラックをある程度は軽減、あるいは解消することができます。


フロントラディアス（ＦＲ）

バックラディアス（ＢＲ）

バックラディアス（ＢＲ）には、２つの機能があります。

ファーストボンド（ダイボンド）後のループの形成とセカンドボンドでワイヤーを切断する機能です。

テールは、電気の回路のショートを防ぐために、パッドを越えないようにすべきです。直線形のＢＲの場合、常に安定したテールが形成されます。

図１６このファーストボンドは、標準の直線形のＢＲをもつ 2130-2525-Lを使用。左側のボンドされていない部分をテールと呼びます。

ヒールクラックの問題は、金線より、アルミ線に多く発生します。ヒールクラックは、ワイヤー導入角が大きいものより、３０゜の場合により頻繁に発生します。これは、ルーピング中にワイヤーがより大きく上下するためです。ワイヤーは、３０゜でスタートし、ループの始まりで、約９０゜で引き上げられてループを作り、再度３０゜に戻りセカンドボンドを形成します。

図１８この写真は、2131-2525-L を用いて作成した、ファーストボンドです。このウエッジは、楕円形のＢＲを持っています。ヒール部の断面積を大きくし、ヒールクラックを防ぎます。しかし、テールがばらつくことがあります。

図１９この写真は、2130-2525-L-CBR(.001) を用いて作成したファーストボンドです。特別仕様（ＣＢＲ）は、ＢＲを面取りして円形ＢＲよりヒールクラックを少なくしますが、一方、強固なヒール部は、セカンドボンド時のテールの切れを悪くし、テールがばらつくことがあります。



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図２４ホール部のポリッシュ（研磨）仕上げ

クアーズテック／ガイザーでは、ワイヤーの導入をスムーズにするため、ホール内部の研磨仕上げを標準仕様にしています。


図２０この写真は、2160-2525-L-PBR-PFR を用いて作成したファーストボンドです。特別仕様の (-PBR-PFR) は、BR部と FR 部を研磨して、アルミ線の付着を少なくし、ヒールクラックを防ぎます。しかし、ツールがワイヤー上で滑って超音波の伝達が弱くなります。ＢＲ部だけの研磨（ＰＢＲ）でも、ヒールクラックを防ぐことが可能です。

図２１この写真は、良好なセカンドボンドです。テールの長さが最小になっています。

図２２この写真は、ワイヤーつぶれの例です。ワイヤーの潰れすぎは、セカンドボンドで、ＢＲがきちんとワイヤーを切断せずに、テールの長さが短い場合に起こります。ウエッジボンディングには、ＦＲとＢＲ部で等しく力が加るように十分なワイヤー長さが必要です。そうでないと、加圧力が強すぎて、つぶれの大きなボンディングやヒール部の弱いボンディングになります。

ホール径

一般的には、ウエッジのホール径（Ｈ）は、ワイヤー径

の 1.5 倍から２倍にします。ワイヤー径に対してホール径を小さくして、クリアランスを少なくすると、ワイヤーの位置決めや、ガイド性は良くなりますが、ホール径が小さすぎると、ホール部にアルミが付着し、ワイヤーに傷を付けます。

図２３ワイヤーのひっかき傷が発生する原因には、次のことが考えられます。

１．ワイヤーがウエッジの角度と異なった角度で導入されている２．スプールを出たワイヤーにすでに傷が付いている３．ワイヤークランプが正しく調整されていない４．ホールの内部に異物が付着している５．ウエッジにアルミ（または金）の付着がひどく、

取り替えが必要６．ホール部の仕上げが粗い７．ワイヤーがホール径に対して小さすぎる

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図２５上図は、楕円形ホールのウエッジです。楕円形ホールは、ホールの幅がホールの高さより狭くデザインされています。このホール形状は、主にファインピッチボンディングで使用され、通常の真円のホールの持つワイヤー通りの良さと良好なルーピング特性を持ち、ワイヤーの位置決め精度を上げることがでます。

ウエッジのボンドフット面にアルミ付着の発生を少なく

するためには、ボンドフットの全面を研磨するオプションのーＰＢＦを選択します。しかし、超音波の伝達が弱くなりますので、ほかの方法でよい結果が得られない場合以外はお勧めできません。

図２７研磨仕上げのボンドフット（ＰＢＦ）光沢のあるボンドが要求される場合にも使用されます。

金線を使用する場合、ウエッジからワイヤーへの超音波

エネルギーの伝達を増加させるために、クロスグルーブ付（横溝、ＣＧ）や粗いマット仕上げ（ＲＭＦ ) をお勧めします。

図２８クロスグルーブ仕上げのタングステンカーバイドウエッジ

先端部仕上げ

図２９標準的なアルミ線を使用したボンディング

図３０クロスグルーブ付のサーメットチップ ( BKCER )


ウエッジツールの材質

クアーズテック／カイザーのウエッジツールは、ボンド

フットがＥＤＭ（放電加工）マット仕上げが標準です。通常アルミ線、金線の両方に用いられます。

図２６標準ＥＤＭ（放電加工）マット仕上げ

ウエッジツールの材質の選定は、使用されるワイヤーの

種類によって決まります。アルミ線の場合、タングステンカーバイド材（ＷＣ）が使用されます。

金線を使用したウエッジボンディングの場合、標準のタ

ングステンカーバイド材は、摩耗が速く、交換頻度が高くなります。そのため、チタンカーバイド材（ TIC ）または、先端サーメット材 ( BKCER ) をお勧めします。



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図３１クアーズテック／ガイザーの先端サーメット材のウエッジでは、サーメット材とタングステンカーバイド材を接合しています。接合部が非常に薄いため（殆ど０um）、両材料間での超音波エネルギー伝達の減少がありません。


図３５先端部サーメット材を使用したボンド先端サーメット材は、ラフ（粗い）マット仕上げが標準となります。タングステンカーバイド材に比べ、摩耗が少なくなります。

図３２他社の先端サーメット材のウエッジでは、サーメット材とタングステンカーバイド材の接合部分が大きく、この大きな接合部が２種類の材料間での超音波エネルギー減衰と伝達特性の違いをさらに増加します。

図３３クアーズテック／ガイザーの研磨仕上げのワイヤー導入口は、ワイヤーの流れをスムーズにして、ワイヤーの傷等の発生を防ぎます。

図３４研磨仕上げの無い、ワイヤー導入角では、ワイヤーの供給がスムーズでなく、ワイヤーに傷等が発生することがあります。

リボンワイヤー用ウエッジ

金やアルミのリボン状ワイヤーがウエッジボンディン

グで使用されることがあります。リボンワイヤーの接合には、２つの方法があります。１つは、ギャップウエルダーを用いて溶接する方法で、もう一つは、リボンワイヤー用ウエッジを用いる方法です。リボンワイヤー用ウエッジは、従来のワイヤー導入角を持った形状とディープアクセス（深打ち）形状があります。

図３６このデバイスは金のリボンワイヤーが使用されています。

これらのボンドには、クロスグルーブの跡があります。

ボンド長（ＢＬ）が 0.0015in/38 μ以上では、クロスグルーブ（ＣＧ）を

付けることができます。リボンワイヤー用ウエッジは、フラット面のボンドフットが標準です。

クアーズテック／ガイザーでは、標準タイプのボンダー

用とディープアクセスボンダー用の両方に、リボンボンディングウエッジツールの供給が可能です。

図３７ 4760VR シリーズのディープアクセスウエッジで作成したアルミリボンワイヤー（クロスグルーブの跡があります。

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ファインピッチ・ウエッジボンディング

ファインピッチ・ウエッジボンディングでの重要要素

ボンドパッドピッチ : ボンドパッドの中心間の距離

ボンドパッド幅 : ツールの“Ｗ”（幅）の選択 .

ボンドパッド長 : ツールのボンド長（幅）の選択

ループの高さ : 最も重要な高さは、ウエッジ側面に最も隣接するループの高さです。

クリアランス : ボンダーの精度、パッドピッチ、ツールの選択、ユーザーの要求度などによって決定されます。一般的な最小のクリアランス（間隔）は、0.0005in/13 μです。

クリアランス = ピッチ - ＤＳＲ幅 - ワイヤー径２

ホール径：通常はワイヤー径の２倍が標準ですが、ファインピッチボンディングでは、ワイヤー径の１．４倍から１．８倍のホール径を使用します。また、楕円形ホール（１０、１８頁参照）は、ファインピッチボンディングに対し、非常に効果があります。

ボンドレングス：ボンドレングス（ＢＬ）は、通常ワイヤー径の２倍が標準ですが、ファインピッチボンディングの場合、ワイヤー径の１．５倍から１．８倍の長さが使用されることが多くあります。また、潰されたボンドの幅は、一般的にはワイヤー径の１．３倍から１．８倍になります。ボンドの長さが長くなれば、ボンドの幅は小さくなります。




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図４０ダブルサイドレリーフと４５゜サイドチャンファーを組み合わせたファインピッチ・ウエッジツール

パッドピッチと DSR ウエッジツールワイヤー導入角 30°～ 45°の場合

ピッチμ m

ワイヤー径in/ μ m

DSR W 値

150 .00125/ 32 N/A .004 以上

125 .00125/ 32 N/A .004

100 .00125/ 32N/A to

(.005x010)

.003

.003

80 .00125/ 32 (.004x010) .0025

60 .00125/ 32 (.003x008) .0025

50 .0010/ 25 特別設計


図３８ダブルサイドレリーフ（ＤＳＲ）

ダブルサイドレリーフは、きわめて密に配置されたボンドパッドでも、隣接するワイヤーと十分なクリアランス（間隔）を取ることができます。

図３９４５゜サイドチャンファー

４５゜サイドチャンファーは、隣接するボンドに接触しないように、先端部を４５゜で、面取りをした特別仕様です。先端部のみを面取りするため、“Ｗ”を最大値にすることが可能です。これにより、ツール自体の強度をあげ、超音波の伝達効率も上がります。この特別仕様の指示は、パーツ番号の最後に“ー４５ＳＣ（Ｗの値）”と指示ください。

ファインピッチ・ウエッジボンディングでは、ダブルサイドレリーフ（ＤＳＲ）と４５゜サイドチャンファー（４５ＳＣ）を組み合わせて、より狭ピッチに対応できようなツールも可能です。

パッドピッチにより、使用できるウエッジツールの幅

（Ｗ）が制限されます。下記の表のように３２ミクロンのワイヤーを使用したファインピッチボンディングでは、１００μピッチまでは、W=.004in/102 μのウエッジツールでボンディングが可能です。しかし、９０μピッチ以下では、ダブルサイドレリーフ加工のウエッジツールが必要になります。

ファインピッチ向け特別仕様



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図４６これは、100,000 回ボンディングを行った後のマキシガイドウエッジのアルミ付着です。

図４７これは、アルミが付着したウエッジか、あるいは摩耗したウエッジを用いた場合に生じた、少し変形したボンドの表面です。

図４８ウエッジのボンドフット上のアルミ付着は、20％の苛性ソーダ水溶液で、除去することができます。できれば、超音波洗浄器を併用することでアルミの除去を早めることができます。超音波洗浄器を用いると、クリーニングは約 10 分で可能ですが、用いない場合、クリーニングは約２時間必要です。超音波洗浄器中でツール先端同士が当たらないように、上図に示すようなウエッジを保持するために穴を開けたプラスチック製のブロックを用意されることをお勧めします。

ウエッジを苛性ソーダ水溶液から取り出した後は、純水

で洗浄し、ブロー乾燥させることを少なくとも２度繰り返すことが必要です。洗浄後、洗浄度と摩耗の程度をチェックする必要があります。アルミ付着がひどい場合は、この洗浄工程を繰り返してください。ウエッジホール部にアルミの付着がある場合は、上記洗浄に加えて、詰まり除去用プローブか、カットタングステンワイヤーを使用してください。もし、これらを使用したときは、もう一度洗浄を行ってください。これによってウエッジのホール内や導入口、あるいはマキシガイドのスロット部から金属付着を完全に取り除き、ワイヤー供給時の引っ掛かりや、デバイス

面上への汚染物の落下を防ぐことができます。


アルミウエッジの洗浄

一定期間ウエッジを使用すると、ウエッジのボンドフッ

トにアルミが付着します。ＦＲやＢＲを研磨したり、ＦＭＦ（ファインマット）仕上げにしたり、ウエッジの形状を変えることによって、この付着を多少は少なくすることができます。しかし実際は、ウエッジの表面にアルミが付着がひどくなると、ウエッジの洗浄か交換が必要になります。

図４９これは、図４０のウエッジを苛性ソーダ水溶液で洗浄した後の写真です。アルミの付着はきれいにとれていますが、ボンドフットがわずかに摩耗しています。

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細線用ウエッジのパーツ番号注文の方法

A. & B. シリーズ番号とワイヤーフィード角 :

2130-2025-L

A. シリーズ番号

B. ワイヤーフィード角 *

C. ホールサイズ

D. ボンド長

E. ツールの長さ

C. ホール径 :ワイヤー径とワイヤー導入角によって決まります。各ワイヤーに対するホール径の推奨値は、パーツ番号表をご覧ください。XX = 0.00XX in20 = 0.0020 in./51 μ

E. ツールの長さ :ボンダーの仕様によって決まります。一般的なツールの長さは、次の頁をご覧ください。

F. 特別仕様 :

“F”= フラットフェース“CG-F”= クロスグルーブとフラットフェイス“CC-CG”= コーンケーブとクロスグローブ“LG”= 縦形グルーブ“PBR”= 研磨仕上げのバックラディアス（ＢＲ）**“PFR”= 研磨仕上げのフロントラディアス（ＦＲ）**“PBF”= 研磨仕上げのフロントラディアス＆バックラディアス

＆ボンドレングス（ＢＬ）**“PCS”= 研磨仕上げのカウンターシンク（導入口）“V”= 垂直バックグラインド（次ページ参照）

G. 材質 :タングステンカーバイド：アルミ線向き。標準のため、特に指示する必要はありません。チタンカーバイド : 金線に適しています。パーツ番号のあとに “-TIC”と指示してください。サーメットチップ : 金線に適しています。パーツ番号のあとに “-BKCER”と指示してください。

パーツ番号例アルミ線向け

2130-2025-L-CG-F-TIC

F. 特別仕様（クロスグルーブ）

G. 材質の指示

D. ボンド長（BL）ボンドパッドの寸法とワイヤー径によって決められます。XX = 0.00XX in15 = 0.0015 in./38 μ

“10DBA”= 10 ゜バックアングル（背面角 10 ゜）“20DBA”= 20 ゜バックアングル（背面角 20 ゜）“CSF”= コーンケーブ両サイドフラット“45SC(W= 寸法指定 )”= 45 ゜サイドチャンファー“ELBR”= 楕円形バックラディアス“CBR( 指定 )”= チャンファーバックラディアス“MOD C”= 最大のＣ値（クリアランス）“180 REV”= 180 ゜反転したシャンクスタイル

** サーメットチップには不可上記特別仕様の詳しい説明は、”ウエッジの特別仕様”の頁をご参照ください。上記の特別仕様は、一部のシリーズでは、標準仕様になっているため特に指示を必要としないものもあります。

パーツ番号で、ツールの長さの指定の後に以下の記号で指示してください。

特別仕様（フラットフェイス）

アルミ線および金線用ウエッジのスタイルについては、各々のシリーズをご覧ください。＊ 2131 シリーズは、楕円形のバックラディアス（ＢＲ）が標準のウエッジで、ワイヤー導入角は、38゜です。

パーツ番号例金線向け

（シリーズによっては、フラットフェイスが標準）



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細線用ウエッジのパーツ番号シャンク形状と長さ

（注）細線用ウエッジのシャンク形状は、使用目的とボンダーの種類によって、異なることがあります。必要なシャンクの仕様については、それぞれのシリーズの頁をご参照ください。

特に指定のない場合、単位はインチ (in) です。

１０゜バックグラインド（標準）

垂直バックグラインド（特注）

標準の１／１６in 径シャンクの仕様

180 ゜反転シャンクスタイルダイアスボンダーUS1800A, US1900A 用K&S ボンダー8060 & 8090 用

（ディープアクセス垂直バックグラインドタイプには不可）

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ウエッジの特別仕様

ダブルサイドレリーフ

パーツ番号に-DSR(“W”x“H”)

と指示してください。

幅が 0.005in/127 μで、高さが 0.012in/305 μのダブルサイドレリーフの場合、パーツ番号に“-DSR(005x012)”と指示してください。

楕円形のホール

パーツ番号に(“幅”x“高さ”）

と指示してください。幅が 0.0015in/38 μで、高さが 0.0020in/51 μの楕円形ホールの場合、パーツ番号のホール径に

“15x20”と指示してください。例 2130-15x2015-L-F

Ｗアングル３０゜

パーツ番号に“-30DG”


クロスグルーブ

（一部のシリーズでは、標準）接合性の悪い場合、超音波の伝達を高めることができます。フラットフェイスの金線用ウエッジにお勧めします。パーツ番号に

“-CG-F”と指示してください。

垂直バックグラインド仕上げ

（一部のシリーズでは標準）垂直バックグラインドの高さは、0.040in/1mm です。パーツ番号に

“-V”と指示してください。

楕円形ホール



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コーンケーブサイドフラット

パーツ番号に、“-CSF”


45 ゜サイドチャンファー

ファインピッチボンディング用

パーツ番号に、“-45SC( Ｗ = チャンファーのＷ長 )”

と指示してください。例： 2130-2020-L-45SC(W=003)

小さな”Ｔ”値

ウエッジの特別仕様

縦方向に狭い間隔にボンディングする場合

T=0.010in/254 μの場合、パーツ番号に ,“-T=010”と指示してください。

Ｃ値の変形

背面のクリアランスを最大にすることができます。パーツ番号に、“-MOD C”と指示してください。

バックラディアスの面取り

パーツ番号に、“-CBR”と指示してください。この場合、CBR の幅は、0.0010in/ 25um

他の幅を指定する場合は、寸法を表記する。例 CBR(0008), CBR(0012)

特に指示のない場合、単位はインチ (in) です。

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V- ノッチ1960 年代開発

マキシガイドウエッジ1979 年開発

マキシボンド2005 年開発

US 特許番号 7.451.905

V ノッチの欠点ワイヤーがボンドフットからはずれやすい

マキシガイドウエッジの長所ワイヤーをボンドフットの中心に導入する

マキシボンドの長所ワイヤーをボンドフットの中心に導入する

Vノッジパッシベーションや保護膜を破壊することなく、小さく窪んだパッドにボンディングが出来る。

マキシガイドウエッジ小さく窪んだパッドに対しては、パッシベーションや保護膜に接触してしまう。

マキシボンドパッシベーションや保護膜を破壊することなく、小さく窪んだパッドにボンディングが出来る。

新しく開発されたマキシボンドは、従来の細線用ウエッジのデザインを一段と改良したものです。パッケージやパッドサイズがより微細化すると、従来のマキシガイドやポケットタイプのウエッジ形状では限界があります。そのため、昔の Vノッチタイプのウエッジを使用しなければならないケースも出てきました。

マキシボンドのデザインは、Vノッチウエッジの欠点を補って、マキシガイドではボンディングが不可能な深いエリアにマキシガイドとＶノッチの長所を活かしたボンディングを可能にした形状です。

マキシボンドウエッジ

V ノッチ vs マキシガイド vs マキシボンド



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マキシガイドウエッジ小さなＷが必用な場合

マキシボンドＷを縮小

マキシボンド特徴• W の縮小が可能• パッシベーションや保護膜を破壊することなく、小さく窪んだパッドにボンディングが可能。

• マキシガイドと比較してより完全な BRが出来るため、ファーストボンドのヒール部とセカンドボンドのテールの切れが安定する。

• ワイヤーが中心からずれないようにガイドされる。• ワイヤーの潰れ過ぎを予防。• ファインピッチボンディングに適した形状

ワイヤーの潰れ過ぎの予防。より完全な BRが出来るため、ファーストボンドのヒール部が強く、セカンドボンドのテールの切れが安定する。

ガイド部がボンドフットの上に位置した構造・マキシガイドと同じようにワイヤー

をボンドフットの中心にガイドする。

・W を縮小しても、十分なガイドの肉厚

を確保出来て、ワイヤーの引っかかりの

無い導入穴の加工が可能。

ボンドフットが突き出した構造• 完全なバックラディアス（ＢＲ）の加工が可能なため、小さなパッ

ドへのボンディングでも、ファーストボンドのヒール部の厚みを十

分確保し、セカンドボンドのテールの切れを安定させ、そしてワイ

ヤー潰れを防ぎます。

ファーストボンドワイヤーの潰れ過ぎの例

マキシガイドで起こりやすい

セカンドボンドワイヤーの潰れ過ぎの例

マキシガイドで起こりやすい

マキシボンドガイド部の壁がＢＲの奥に位置

するため、完全なＢＲの加工が

可能で、ボンドがガイドの壁に

当たらないため潰しすぎを防ぎ

ます。

マキシガイドガイド部の壁のため、完全な加

工ができないＢＲとガイドの壁

でボンドの潰しすぎが起こる。

解決法

マキシボンドでの 1st ボンド潰れすぎを防ぎ、ヒール部が安定

マキシボンドでの 2nd ボンド潰れすぎを防ぎ、テール部が安定


V ノッチ vs マキシガイド vs マキシボンド

（サイドカット）（サイドカット）

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マキシガイドウエッジ

2130,2138,2145 シリーズ

材質：タングステンカーバイド標準チタンカーバイドは特注となります。（パーツ番号に“ーＴＩＣ”と指示）サーメットチップは、特注となります。（パーツ番号に“ー BKCER”と指示）

特徴：マキシガイド形状はワイヤーを両側よりガイドし、ボンドフットの中央に位置するように導きますので、ワイヤーのセンターずれを防ぐのに優れています。

パーツ番号：シリーズ番号／ワイヤー導入角度ーホール径／ボンド長（ＢＬ）ーツールの長さー特注指示

例：2145-2020-S2130-1510-3/4-F-TIC



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2130,2138,2145 シリーズ

＊フラットフェイスのみ他の寸法も製作可能ですのでご相談ください。特に指定のない限り、表中の単位は、インチ (in) です。

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2155,2160 シリーズ


特徴：マキシガイド形状はワイヤーを両側よりガイドし、ボンドフットの中央に位置するように導きますので、ワイヤーのセンターずれを防ぐのに優れています。

パーツ番号：シリーズ番号／導入角ーホール径／ボンド長（ＢＬ）ー長さー特注

例：2160-2020-S2155-1510-3/4-F-TiC



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特に指定のない限り、表中の単位は、インチ (in) です。


2155,2160 シリーズ

＊フラットフェイスのみ他の寸法も製作可能ですのでご相談ください。

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2131 シリーズ

特徴：楕円形バックラディアス（ＢＲ）は、ヒールクラックの発生を少なくします。


例：2131-2020-S2131-1510-3/4-F-TIC




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2131 シリーズ

＊フラットフェイスのみ他の寸法も製作可能ですのでご相談ください。

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2130MB,2138MB,2145MB シリーズ



例：2145MB-2020-S2130MB-1510-3/4-F-TIC



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2130MB,2138MB,2145MB シリーズ

* フラットフェイスのみ他の寸法も製作可能ですのでご相談ください特に指定のない限り、表中の単位は、インチ (in) です。

ファインピッチ対応の


（特別仕様のＤＳＲとＷの採用） 0.0010 in/25 μ

ワイヤー

0.0008 in/20 μ

ワイヤー

ファインピッチの例

Ю８０μピッチ７０μピッチ６０μピッチ

Ю７０μピッチ６０μピッチ５０μピッチ

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2155MB,2160MB シリーズ



例：2160MB-2020-S2155MB-1510-3/4-F-TIC



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2155MB,2160MB シリーズ





ワイヤー

0.0008 in/20 μ

ワイヤー




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ワイヤー

V- ノッジウエッジ



ワイヤー

ワイヤー

V ーノッジ、マキシガイド、マキシボンド

先端形状



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マイクロ波デバイス用金線ウエッジ

2M30,2M38 シリーズ

特徴：フラットフェイス、小寸法、垂直バックグラインドのため、厳しいファインピッチのボンディングに適しています。


例：2M30-2020-S2M38-1510-3/4-TIC


他の寸法も製作可能ですので、ご相談ください。特に指定のない限り、表中の単位は、インチ (in) です。

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2M45 シリーズ

特徴：フラットフェイス、小寸法、垂直バックグラインドのため、厳しいファインピッチに適しています。


例：2M45-2020-S2M45-1510-3/4-TIC





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2M55,2M60 シリーズ

特徴：フラットフェイス、小寸法、垂直バックグラインドのため、厳しいファインピッチに適しています。


例：2M55-2020-S2M60-1510-3/4-TIC



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金線用ウエッジ

2G30,2G30K,2G38 シリーズ



例：2G30-2020-S2G30K-1510-3/4-TIC



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2G30,2G30K,2G38 シリーズ

他の寸法も製作可能ですのでご相談ください。特に指定のない限り、表中の単位は、インチ (in) です。

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2G45,2G55,2G60 シリーズ


例：2G45-2020-S2G60-1510-3/4-TIC




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2G45,2G55,2G60 シリーズ

他の寸法も製作可能ですのでご相談ください。特に指定のない限り、表中の単位は、インチ (in) です。

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ディープアクセス（深打ち）ウエッジ標準仕様のシャンク形状

ディープアクセスウエッジは、深いキャビティのパッ

ケージへのボンディングの要求に応えるためにデザインされたものです。高い側壁のために、従来の３０゜ , ４５゜６０゜のウエッジではボンディングするのが大変難しくなります。従来のボンダーでは、ワイヤークランプがボンディングウエッジの背面に位置しており、深いパッケージではアクセスに限界があります。さらに、ワイヤーがこれらの壁のためにワイヤークランプとウエッジ間で妨げられます。

ディープアクセスボンダーでは、ワイヤーがツールの内部を垂直に導入されます。ワイヤークランプはワイヤーの背面ではなく、ウエッジの上方に位置します。このようにクランプを位置することによって、ウエッジは、キャビティパッケージの深いところまで到着することができます。

ディープアクセス・ボンディングウエッジは、ウエッジとキャピラリーを組み合わせたようなものです。ワイヤーは、ウエッジシャンクの内部を通過し、下に向かってウエッジの後ろに出て、ワイヤーは再び４５゜、６０゜のホールに導入されます。このウエッジボンディングの開発によって、深いキャビティパッケージでの短いボンディングが可能になりました。

マキシガイドスタイルＶ－ノッチスタイル

4445, 4645, 4660, 4645R, 4660R は、標準スタイルのシャンクです。



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ディープアクセス（深打ち）ウエッジクロスガイドシャンク形状

クロスガイドマキシガイドスタイルクロスガイドＶ－ノッチスタイル

4345, 4545, 4560 シリーズはクロスガイドシャンクです。

クロスガイドシャンクでは、シャンクのホールがウエッジの導入穴に近いため、障害物との間隔を最小にすることができます。

下記のボンダーは、ディープアクセスウエッジツールを使用することができます。

Hybond 社： Model 572

K&S 社： Model 4129

Mech El 社： Model 990

West Bond 社： Model 4600 & 7400A-46

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ディープアクセスＶ－ノッチウエッジ

4445,4345 シリーズ



例：4445-2020-S4345-1510-3/4-F-V-BKCER

* サーメットチップ材を選択する場合は、垂直バックグラインド仕上げのみとなります。パーツ番号に”-V”とご指定ください。

4445 標準シャンクスタイル

4345 クロスガイドシャンクスタイル



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ディープアクセスＶ－ノッチウエッジ

4445,4345 シリーズ

* フラットフェイスのみ他の寸法も製作可能ですのでご相談ください。

特に指定のない限り、表中の単位はインチ (in) です。

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ディープアクセスマキシガイドウエッジ

4645,4545 シリーズ



例：4645-2020-S4545-1510-3/4-F-V-BKCER

* サーメットチップ材を選択する場合は、垂直バックグラインド仕上げのみとなります。パーツ番号に”-V”とご指定ください。





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4645,4545 シリーズ



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4660,4560 シリーズ



例：4660-2020-S4560-1510-3/4-F-BKCER





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4660,4560 シリーズ



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ディープアクセスウエッジ

4160,4160V,4760,4760V シリーズ（両サイドフラットタイプ）



例：4160-2020-S4760V-1510-3/4-F-BKCER

特徴 :Palomar 社

2470 ディープアクセスボンダー用



4160V 垂直グラインドシャンクスタイル

4760V 垂直グラインドシャンクスタイル

ワイヤーガイド付きシャンク

パーツ番号に“-MS1”と指示



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ディープアクセスウエッジ

4160,4160V,4760,4760V シリーズ（両サイドフラットタイプ）



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ディープアクセスマキシボンドウエッジ

4645MB,4660MB シリーズ（標準シャンク）


例：4645MB-2020-L4660MB-1510-3/4-F-BKCER*4645MB-2020-3/4-F-V-BKCER


4645MB標準シャンクデザイン


＊ 4645MB でサーメットチップをご指定の場合、右の垂直バックグラインドのみ製作可能となりますので、品番に -V をお付けください。



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4645MB,4660MB シリーズ（標準シャンク）

* フラットフェイスのみ** T 45°は、FR=.0010/25 μ mとなります。T 60°は、FR=.0015/38 μ mとなります。他の寸法も製作可能ですのでご相談ください特に指定のない限り、表中の単位は、インチ (in) です。




ワイヤー

0.0008 in/20 μ

ワイヤー




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4545MB,4560MB シリーズ（クロスガイドシャンク）


例：4545MB-2020-L4560MB-1510-3/4-F-BKCER*4545MB-2020-3/4-F-V-BKCER


4545MBクロスガイドシャンクデザイン

4560MBクロスガイドシャンクデザイン

＊ 4545MB でサーメットチップをご指定の場合、右の垂直バックグラインドのみ製作可能となりますので、品番に -V をお付けください。



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TelFax

+1.805.644.5583+1.805.644.2013

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4545MB,4560MB シリーズ（クロスガイドシャンク）





ワイヤー

0.0008 in/20 μ

ワイヤー




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4845MB,4855MB,4860MB シリーズ（ウエストボンド用）


例：4845MB-2020-6254860MB-1510-3/4-CG-F-BKCER


長さ：-625 = 625 in（多く使用される）-3/4 = 750 in-L = 828 in

4845MBシャンクデザイン

4855MB,4860MBシャンクデザイン

ウエストボンドディープアクセスワイヤーボンダー用ウエッジツール



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4845MB,4855MB,4860MB シリーズ（ウエストボンド用）





ワイヤー

0.0008 in/20 μ

ワイヤー




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4155MB,4160MB,4155VMB,4160VMB シリーズ（両サイドフラットタイプ）


例：4160MB-2020-3/44160VMB-1510-3/4-CG-BKCER


長さ：-3/4 = .750in-1.0 = 1.000 in-1.078 = 1.078 in


4160VMB垂直グラインドシャンクデザイン

Palomar 2470Hesse & Knippsディープアクセスワイヤーボンダー向けウエッジツール



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4155MB,4160MB,4155VMB,4160VMB シリーズ（両サイドフラットタイプ）





ワイヤー

0.0008 in/20 μ

ワイヤー




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特注ウエッジ

2100,2100A,2100B シリーズ

2100 シリーズ 2100A シリーズ

シャンク仕様

シャンク

シャンク径 (SD)in/ mm

+.0001/.003-.0002/.005

シャンクフラットの寸法 (SDF)

in/ mm± .0005/ .013

1/16 0.0624/ 1.585 0.0460/ 1.168

1/16A 0.0624/ 1.585 0.0590/ 1.500

2mm 0.0786/ 2.000 0.0630/ 1.600

3/32 0.0936/ 2.377 0.0880/ 2.235

3mm 0.1179/ 2.995 0.0900/ 2.290

1/8 0.1249/ 3.172 0.1180/ 3.000

パーツ番号の例 :2100(W-FR-F-BR)- 長さ - シャンク径

パーツ番号の例 :2100A(T-LR-F-RR)- 長さ - シャンク径

パーツ番号の例 :2100B(F-BF-FR-BR-LR-RR)- 長さ - シャンク径

2100B シリーズシリーズ番号

W：幅 (“40”= 0.0040in)FR：フロントラディアス (“10”=0.0010in)

F：フラット部 (“20”= 0.0020in)BR：バックラディアス (“5”= 0.0005in)

ツールの長さ (“Ｓ”= 0.437in)

シャンク径（下表を参照）

パーツ番号の例

2100(40-10-20-5)-S-1/16



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シャンク仕様

シャンク

シャンク径 (SD)in/ mm

+.0001/.003-.0002/.005

シャンクフラットの寸法 (SDF)

in/ mm± .0005/ .013

1/16 0.0624/ 1.585 0.0460/ 1.168

1/16A 0.0624/ 1.585 0.0590/ 1.500

2mm 0.0786/ 2.000 0.0630/ 1.600

3/32 0.0936/ 2.377 0.0880/ 2.235

3mm 0.1179/ 2.995 0.0900/ 2.290

1/8 0.1249/ 3.172 0.1180/ 3.000

特注ウエッジ

2300,2300A,2300C シリーズ

パーツ番号の例 :2300(W-FR-F-BR-GD-GR)- 長さ - シャンク径

パーツ番号例 :2300A(W-LR-T-RR-GD-GR)- 長さ -シャンク径

パーツ番号の例 :2300C(W-FR-F-BR-GD-GR-GW)- 長さ - シャンク径

シリーズ番号

W: 幅 (“40”= 0.0040in)

FR: フロントラディアス

(“10”= 0.0010in)

F: フラット部 (“50”= 0.0050in)

BR: バックラディアス (“10”= .0010in)

GD: グルーブの深さ (“5”= 0.0005in)

GR: グルーブラディアス (“10”= 0.0010in)

シャンクの長さ (“S”= 0.437in)

シャンク径 (1/16・下表を参照 )

2300 シリーズ 2300A シリーズ

2300C シリーズ

2300-(40-10-50-10-5-10)-S-1/16パーツ番号の例 :

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ウエッジボンディング...4 ウエッジボンディング 細線ウエッジボンディングの流れ 1．ウエッジボンディングは、始めにワイヤーを ウエッジに通します。2．荷重と超音波振動がワイヤーに

ウエッジボンディング...4 ウエッジボンディング細線ウエッジボンディングの流れ 1．ウエッジボンディングは、始めにワイヤーをウエッジに通します。2．荷重と超音波振動がワイヤーに