• Filtros en INA

• Filtros en SRON (¿problema resuelto?)

• Nanolab en el INA

• SQUIDS PTB

J. Sesé, Reunión XeusSantander 15 Enero 2007

Filtros en INA

• Para depositar Nb superconductor:– Ritmo rápido

– Sputtering

– Distancia target-sustrato de unos pocos cm

– > EQUIPO DEDICADO

Filtros en SRON

Presentación M. Bruijn

Nova 200 Nanolab, FEI Co.

• Equipo dual beam: FIB + SEM

• Inyectores de gases para depositar Pt, W, SiO2, Co y Yodo para atacar

• STEM

• Análisis EDX

• Omniprobe

• Litografia haz de electrones– Raith pattern generator

Si

Si3N4

Mo

Au

MuestraMoAu25/25

MuestraMoAu25/75Membrana

MuestraMoAu25/75

•Cableado en dilución•evitar carga térmica

SQUIDs PTB

•Preparar chip carrier

•PCB con microfresas

Propuesta de planes

• Filtros:– Seguir colaborando SRON, estudiando proceso fabricación con el

NANOLAB

– Proponer Triming de los filtros con FIB

• SQUIDs:– Preparar PCB

– Cableado dilución