台灣半導體研究中心 Taiwan Semiconductor Research Institute (TSRI)

Furnace操作說明 1.先準備清潔過之晶片。

2.查看爐管是否可正常運轉中。

3.電腦點取欲使用的爐管。

4.認清楚所進入之Tube。

5.點選REMOTE操作。

台灣半導體研究中心 Taiwan Semiconductor Research Institute (TSRI) 6.點選REMOTE FUNCTION

7.選取START RUN操作。

8.選取所需之RECIPE再點選Open。

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9.由上往下依序點選OK確定後再點選START。

10.記清楚全部製程結束所需時間並於於爐管出來前五分鐘便至爐管區等候。

11.用n&k量測成長薄膜的厚度。

12.待BOAT-IN程式執行完畢，登出機台。