High grade & High performance

HM5000シリーズマスフローメータ・マスフローコントローラ

概要HM5000 シリーズは気体計測のマスフローメータ・コントローラです。5mL/min(nor) から 400L/min(nor) までのガス流量を、温度・圧力の変動に殆ど影響されずに流量計測・制御します。流量を計測するマスフローメータとコントロールバルブを内蔵し流量をコントロールするマスフローコントローラの２タイプをご選択いただけます。高性能・汎用と二つのタイプを用意しましたので、用途に合わせてお選び下さい。

特長❑ 広い流量レンジ 最小 0 〜 5mL/min(nor)、最大 0 〜 400L/min(nor) の広範囲に対応❑ 高精度 ±1%F.S.（高性能タイプ）❑ ハイブリッドＩＣ化による信頼性向上と小形化❑ オプションで機能アップが可能 ・ソフトスタート機能（ノーマルクローズタイプのみ） ・ 出力信号 1 〜 5VDC

用途● 一般工業プロセス● 各種化学分析● 半導体製造プロセス● ガス定流量制御・混合制御● 装置組込

形式コード○ 流量レンジは N2 ガスに対するものです。ガスの種類によりこの通りのレンジができない場合があります。○ 校正基準は 0℃、1 atm です。

○ 特殊仕様のご希望は弊社にお問い合わせください。○ オプションのご希望の際は上記コードにその内容を付記してください。

TG-ES796-62015 122001 02

改訂２版

K

HM5000　マスフローメータ・マスフローコントローラ

2 TOKYO KEISO CO., LTD. TG-ES796-6

仕様

類分 ターメーロフスマ ラーロトンコーロフスマ度精 高性能：±1% F.S.（HM5113B, HM5143Bは±2% F.S.）

　汎用：±2% F.S.（HM5123B, HM5173Bは±4% F.S.）性線直 ±：

：5.0 ％ .S.F ±：用汎 1％ .S.F 0

性現再 ± 2.0 ％ .S.F ±：用汎 4.0 ％ .S.F間時答応 の値定設 ±2 でま％ 3 内以秒

力圧作動高最 aPk079圧　耐 aPk0741

失損力圧

圧差作動

囲範度温用使格規クーリ

信号力出 0～ CDV51～ CDV5 ）ンョシプオ（

差誤勢姿付取 　由自は勢姿付取 ± 5.0 ％ NAPSFO質材部スガ接 613SUS FKM、 613SUS FKM、ンロフテ、

手　継 1/4"スウェジロック（VCR, VCOはオプション）：5mL/min(nor) ～20L/min(nor) 3/8"スウェジロック（VCR, VCOはオプション）：30L/min(nor) ～100L/min(nor) 1/2"スウェジロック（VCR, VCOはオプション）：200L/min(nor) ～400L/min(nor)

量　質

ルブーケ

力電費消 W1 内以

トータストフソ路回

校正基準は0℃、1 atmです。（他の温度での校正も出来ます）流量標準レンジはN2ガスに対するものです。ガスの種類によりこの通りのレンジが出来ない場合があります。形式中のNC、NO は、各々ノーマルクローズタイプとノーマルオープンタイプの略です。流量レンジ500L/min(nor)（N2換算）も可能です。シール材としてクロロプレンゴムの選択ができます。

高性能高性能

設定信号

制御範囲 スパンの2～100％

0.1～5VDC

600g（除く電源、ケーブル） ：5mL/min(nor)～20L/min(nor)1.6kg（除く電源、ケーブル） ：30L/min(nor)～200L/min(nor)2kg （除く電源、ケーブル） ：400L/min(nor)

750g（除く電源、ケーブル） ：5 mL/min(nor)～ 20L/min(nor)3kg （除く電源、ケーブル） ：30L/min(nor)～ 200L/min(nor)3.7kg（除く電源、ケーブル） ：400L/min(nor)

コネクタ付ケーブル2m（標準）、3m、5m（オプション）3W以内：5mL/min(nor)～20L/min(nor)5W以内：30L/min(nor)～200L/min(nor)5W以内：400L/min(nor)

5～ 45℃（ガス温度も同じ）1×10－9Pa ･ m3/s（He）以下（標準）

本体内蔵（オプション）ノーマルクローズのみ適用

4.9kPa：5mL/min(nor)～20L/min(nor) 9.8kPa：30L/min(nor)～200L/min(nor)15.7kPa：400L/min(nor)

34.3～274.4kPa：5mL/min(nor)～5L/min(nor) 68.6～274.4kPa：10L/min(nor)～200L/min(nor)107.8～274.4kPa：400L/min(nor)

3秒以内（98％ OF SPAN）

区分 汎用 高性能形式

（マスフローメータ）

形式（マスフローコントローラ）

標準レンジ（N2換算）

HM5122B

HM5172B (NC)HM5182B (NO)

30/50/100/200L/min(nor)

HM5123B

HM5173B (NC)

400L/min(nor)

HM5111B

HM5141B (NC)HM5151B (NO)

HM5112B

HM5142B (NC)HM5152B (NO)

30/50/100/200L/min(nor)

HM5113B

HM5143B (NC)

400L/min(nor)

5/10/20/30/50/100/200/300/500/1000mL/min(nor)2/3/5/10/20L/min(nor)

HM5000　マスフローメータ・マスフローコントローラ

TOKYO KEISO CO., LTD. 3TG-ES796-6

形式の選定例流量レンジは N2 ガスを基準として流量を表しています。N2 ガス以外のガスをはかる場合は、下表に示すコンバージョンファクタ（以下『CF』と記載）を用いて、N2 ガスの流量に換算して、ご希望の形式に入っているか確認して下さい。N2 ガスへの換算流量は次の次式で求めます。

単成分の場合

N2ガス換算流量 = ご使用になるガスの流量

CF

混合ガスの場合混合ガスの場合は混合ガスの CF を求め、単成分ガスと同様に N2 換算を行います。

混合ガスのCF = X1 X2 Xn CF1 CF2 CFn

1

+ + ......+

X1 : 成分1の濃度（VOL%/100)X2 : 成分2の濃度（VOL%/100) Xn : 成分nの濃度（VOL%/100)

CF1 : 成分1のCFCF2 : 成分2のCF

CFn : 成分nのCF

N2ガス換算流量 = 混合ガスの流量混合ガスのCF

… …

… …

流体名 分子式 CF 流体名 分子式 CF

窒素 N2 1.00 酸素 O2 0.99

アルゴン Ar 1.40 モノシラン SiH4 0.66

ジボラン B2H6 0.46 ホスフィン PH3 0.78

一酸化炭素 CO 1.00 二酸化イオウ SO2 0.70

二酸化炭素 CO2 0.74 メタン CH4 0.74

ヘリウム He 1.40 エチレン C2H4 0.64

水素 H2 1.00 エタン C2H6 0.51

ネオン Ne 1.39 プロピレン C3H6 0.44

アンモニア NH3 0.78 プロパン C3H8 0.34

一酸化窒素 NO 0.99 ブタン C4H10 0.32

亜酸化窒素 N2O 0.74 空気 AIR 1.00

アセチレン C2H2 0.66 二酸化窒素 NO2 0.75

代表的ガスのコンバージョンファクタ（CF）

例）流体名：CH4　流量：5L/min(nor)　圧力：0.5MPa　温度：20℃　継手：1/4”SWL流量計のみ　希望精度：±1% F.S.

N2ガス換算流量 = 5L/min (nor)0.74 (CF)

= 6.76L/min (nor) となり、これをカバー出来る形式はHM5111B13ZSとなります。

HM5000　マスフローメータ・マスフローコントローラ

4 TOKYO KEISO CO., LTD. TG-ES796-6

外形寸法図

マスフローメータ

形式 HM5111B（接続：スウェジロック）

JAPANTOKYO KEISO CO.,LTD.

MASS FLOW METER

MFG.NO.PRESSUREFLOW RATE

TYPE

GAS

FLOW

2－M4深サ6（取付用タップ）

(42.3)

13(150.5)

(110)

25

18.4

69.1

126.8

75.4

3.55

25.7

2.75

25.7

51.7

TOKYO KEISO CO.,LTD.JAPAN

FLOW RATEPRESSURE

GAS

MFG.NO.

TYPE

MASS FLOW METER

FLOW

4－M6深サ8（取付用タップ）

(162)

L

92.5

50

35.9

46.25

35.9

(121.5)

25

40

(42.3)

18

形　　式

HM5112B

HM5122B

接　続　口　径

3／8”

1／2”

L

1 5 0 . 5

1 5 1

（接続：スウェジロック） 30L/min（nor）～200L/min（nor）

TOKYO KEISO CO.,LTD.

PRESSUREFLOW RATE

MFG.NO.

GAS

TYPE

JAPAN

MASS FLOW METER

FLOW

4－M6深サ8（取付用タップ）

(172)

50 151.6

31.88831.8

35.9

44

35.9

(131.5)

25

50

(42.3)

24

形式 HM5113B HM5123B（接続：スウェジロック）

HM5000　マスフローメータ・マスフローコントローラ

TOKYO KEISO CO., LTD. 5TG-ES796-6

マスフローコントローラ

TOKYO KEISO CO.,LTD.JAPAN

FLOW RATEPRESSURE

GAS

MFG.NO.

TYPE

MASS FLOW CONTROLLER

FLOW

3.55

25

25.7

18.4

2.75

2－M4深サ6（取付用タップ）

69.1

25.775.4

126.8

13

(110)

(150.5)

(42.3)

51.7

形式 HM5141B HM5151B（接続：スウェジロック） 5mL/min（nor）～20L/min（nor）

MFG.NO.

GAS

PRESSUREFLOW RATE

TOKYO KEISO CO.,LTD.JAPAN

MASS FLOW CONTROLLER

TYPE

FLOW

50 L

138

4－Ｍ6深サ8（取付用タップ）69

35.9

35.9

(42.3)

(162)

40(121.5)

25

18

形　　式

HM5142B

HM5152B

HM5172B

HM5182B

接　続　口　径

3／8”

1／2”

L

1 9 6

1 9 6 . 5

（接続：スウェジロック）

・ 矢印（ 　 ）は御注文品を示します。

TOKYO KEISO CO.,LTD.JAPAN

MASS FLOW CONTROLLER

FLOW RATEPRESSUREMFG.NO.

GAS

TYPE

FLOW

(42.3)

4－M6深サ8（取付用タップ）

204.6

141

(172)

31.8

50

35.9

70.5

35.9

50(131.5)

25

31.8

24

形式 HM5143B HM5173B（接続：スウェジロック）

HM5000　マスフローメータ・マスフローコントローラ

6 TOKYO KEISO CO., LTD. TG-ES796-6

マスフローメータ・マスフローコントローラ用周辺機器

指示計

構成（マスフロー本体と周辺機器）

■ 仕様

一般的な構成を左図に示します

コネクタ付きケーブル（2m標準）

マスフロー本体デジタル指示計デジタル設定器電源ユニット

HM5000DM1501BDP1001BPU1001B

マ ス フ ロ ー メ ー タマスフローコントローラ

CA1252BCA1152B

※設定器はマスフローメータでは使用　しません。

電源部

3 1 2

設定器

デジタル指示計 Black -

Red +

White -

Green +

Red +

Blue-

White

コネクタ付きケーブル

AC 100V

アース M4用圧接端子

本体

■ 接続

■ 外形図

型番表示

オーバー表示電源消費電力質量

DM1101B□□ DM1501B□□LED 7セグメント　赤色表示

1999の点滅 000又は-000の点滅＋DC5V ±5%

1.2W85g

0.3W40g

ドーコ 示　表 ドーコ 示　表 ドーコ 示　表

　

01

02

03

04

05

06

07

08

09

10

11

12

13

14

15

16

17

18

19

20

99

0～5.00 mL/min（nor）0～10.00 mL/min（nor）0～20.0 mL/min（nor）0～30.0 mL/min（nor）0～50.0 mL/min（nor）0～100.0 mL/min（nor）0～200 mL/min（nor）

0～300 mL/min（nor）0～500 mL/min（nor）0～1000 mL/min（nor）0～2.00 L/min（nor）0～3.00 L/min（nor）0～5.00 L/min（nor）0～10.00 L/min（nor）

0～20.0 L/min（nor）0～30.0 L/min（nor）0～50.0 L/min（nor）0～100.0 L/min（nor）0～200 L/min（nor）0～400 L/min（nor）　　特　殊

51 48

24

5

45+0.6-0

22.2+0.3

-0

DM1101B

DM1501B

パネルカット

パネルカット

96

48

パネル板厚　0.8～5.0mm

92-0+0.8

65.553

8.7

7.8

45+0.6

-0

L o H i 0 V + 5 V

I N PU T POWER

アカ

ミドリ

シロ

クロ

DM1101B DM1501B87654321

INPUT POWER

+5V0V(-)(+)

アカクロ

ミドリ

シロ

HM5000　マスフローメータ・マスフローコントローラ

TOKYO KEISO CO., LTD. 7TG-ES796-6

マスフローメータ・マスフローコントローラ用周辺機器

設定器（デジタルポテンショメータ）DP1001B

■ 取付け図

■ 外形図

3 1 2

30

12

1 2 3

25

25.5

44.5

49

16.4 2.4

19±1

#3/8-32NEF-2A

25.4

9.51.6

■ 接続図

3 1

2

3 1 2

セットスクリュウ ピン

ツマミ

ダイアル

ロックレバー ナット

ロックワッシャー

ポテンショメータ

パネル　厚さ1～3mm

19±0.1

5kΩ

アカ アオ シロ

パネルカット図

1台用電源 PU1001B, PU1501B 4台用電源

裏面図

PU1004B

80

53 120

56

32

取付用ネジ穴

14.9

33.3

（コード長 約2ｍ アース線付き）

4

4-M4深さ6電源　100VAC　50/60Hz

80

170

120

1 2 3 4

（コード長 約2ｍ アース線付き）

100 30

1060

（取付用ネジ穴）

4

電源　100VAC　50/60Hz

33.3

35 18 18 18

4-Ｍ4深さ6

http://www.tokyokeiso.co.jp

※記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。

anything@tokyokeiso.co.jp使用可否、形式選定などなんでも（Anything）ご遠慮なくどうぞ。

製品についてのお問い合せを電子メールでも承ります。〒105‒8558 東京都港区芝公園1‒7‒24芝東宝ビル

TEL: 03‒3434‒0441（代）　FAX: 03‒3434‒0455

■ 仕様

形 式1 台用 4 台用

PU1001B PU1501B PU1004B方 式 ドロッパ スイッチング ドロッパ対 象 HM シリーズ全般 主に HM1000 HM シリーズ全般

出 力 +15V 50mA -15V 350mA +5V 250mA

+15V 100mA -15V 350mA +5V 200mA

+15V 0.2A -15V 1.4A +5V 1.0A

電 源 100VAC±10％　50/60Hz使用温度範囲 5 〜 45℃

塗装色 メタリックシルバー質 量 1kg 0.6kg 2kg

電源ユニット■ 外形図