1
-1407 2 VACUUM PUMPS 真空ポンプ -概要- From To Pa N/m 2 Torr mmHgatm mbar psi bf/in 2 kgf/cm 2 mH2O 15°) 1 Pa N/m 2 1 7.5 ×10 3 9.87 ×10 6 10 2 1.45 ×10 4 1.02 ×10 5 1.02 ×10 4 1 Torr mmHg133.32 1 1.316 ×10 3 1.33 1.93 ×10 2 1.359 ×10 3 1.36 ×10 2 1 atm 1.013 ×10 5 760 1 1.013 ×10 3 14.696 1.033 10.34 1 mbar 100 0.75 9.87 ×10 4 1 1.45 ×10 2 1.02 ×10 3 10.206 ×10 3 1 psi bf/in 2 6.89 ×10 3 51.71 6.8 ×10 2 68.9 1 7.031 ×10 2 0.703 1 kgf/cm 2 9.8 ×10 4 735.56 0.968 9.81 ×10 2 14.223 1 10 1 mH2O 9.8 ×10 3 73.49 9.68 ×10 2 98 1.421 0.1 1 Q特長: ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。接ガス部には、油・水などは使用していないドライ真空ポンプです。 全ての機種にサーマルプロテクターを内蔵し、安全面も配慮しました。シンプル構造でメンテナンスも容易です。 Q動作原理 Qダイアフラム型ドライ真空ポンプ Q単位換算表 Qポンプ選定方法 吸入弁 ダイアフラム 吐出弁 回転軸中心 偏芯カム コネクティングロッド 5 3 4 7 6 2 1 1.吸気工程中時間 1ポンプヘッド 2ケーシング 3コネクティングロッド 4ダイアフラム 5ダイアフラム押え板 6排気弁 7吸気弁 7は引き込まれて開く。 6がひきつけられて閉じる。 は空気の流れを示す。 はコネクティングロッドの次の工程への動きを示す。 工程順序は1>2>3>4>1 7は完全に開く。 6が閉じたまま。 7は押されて閉じたまま。 6は押されて完全に開く。 7は押されて閉じる。 6が押されて開く。 3.排気工程中時間 2.吸気工程最終時(下死点) 4.排気工程最終時(上死点) 1.排気時間と排気速度の計算式 ●実際の計算例 t= V S ×2.303 log P1 P2 0=t 1+t 2+t 3+… t:排気時間(minV :タンク容積(lS :ポンプ排気速度(L/min0 :合計排気時間(minP1 :初期圧力(PaP2 :最終圧力(Pa●排気速度曲線 (例125 リットルの容器を、大気圧(101,324Pa)から10,000Pa まで10分で減圧したい場合 10,000Pa5.79L/min以上の排気速度が必要なので、DAPMP6が必要。 ただし、配管コンダクタンスや漏れ等を考慮して、実際には安全率を見込んで選定ください。 (例210 リットルの容器を、大気圧(101,324Pa)から40,000Pa まで減圧するのに必要な時間 ポンプはDAPMP12 を使用する。 1 101,324Pa>80,000Pa S112L/min 110/12 ×2.303log 101,324/80,000)≒0.2 2 80,000Pa>60,000Pa S211L/min 210/11 ×2.303log 80,000/60,000)≒0.26 3 60,000Pa>40,000Pa S36L/min 310/6 ×2.303log 60,000/40,000)≒0.68 合計:t 01.14min SV 25t 10×2.303 log P1 101,324P2 100,0005.79L/min at 1Pa2.真空により吸着吸引する場合の計算式 ●真空吸着 真空吸着とは、真空と大気圧との差圧を利用して、物体を真空側に吸い付ける事です。 大気圧は1kg/cm 2 です。したがって差圧による力は、絶対真空(真空圧力0)の場合は1kg/cm 2 真空圧力50662Pa 1/2気圧)の場合は0.5kg/cm 2 となります。 ●実際の吸着 実際に吸着する際は、一般的に吸着パッド、吸着ブロックが使用されます。 大気の圧力 真空状態 パイプ 漏れが無いこ 吸着パッ 真空ポンプへ 吸着用ブロッ 真空ポンプへ 吸着用ブロック 刃物 真空ポンプ工作機械テーブル 加工物 真空吸着の力は、真空ポンプの性能と吸着パットや吸着ブロックの吸着面積により決まります。 吸着パッドの場合の吸着面積Aの考え方         多孔ブロックの場合の吸着面積Aの考え方 吸着前はA=πd 2 /4 実際に吸着するとA=πD 2 /4 W:理論の吸着力(kgA :吸着パットの面積(cm 2 P:吸着パットの圧力(PaT :大気圧による力(1kg/cm 2 A=πd 2 /4 ×(n :穴の数)となる φd φD φd φd 真空ポンプ●実際の計算式 ●安全率 ●実際の計算例 (例) 0.5kgのワークを垂直吊りする場合、吸着パットの面積は?吸着パットの圧力を40,000Pa とする。 垂直吊りなので、0.83 ×32.69cm 2 W101,324P101,324 ×A ×T A101,324 ×W101,324P)×T 101,324 ×0.5101,32440,000)×1 0.83 cm 2 垂直吊りの場合 理論計算値×3 横吊りの場合 理論計算値×6 0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 10 20 30 40 50 60 Pumping Speed 排気速度 DAPMP12 DAPMP20 DAPMP40 DAPMP6 圧力 Pressure (×10kpaL/min50Hz 5 -1408 2 Type M材質 本体 ポンプヘッド ダイアフラム ヘッドガスケット バルブ DAPMP SUS304 ADC エチレンゴム(EPDMふっ素ゴム FPMType M材質 本体 ダイアフラム ヘッドガスケット エアフィルタ 吸排気弁 DAMP SUS304 剛性ゴム(NBR発泡ウレタン SUSバネ材 型式 実効排気速度 L/min 到達圧力 Pa 使用電動機 全負荷電流 A 質量 kg吸・排気口径 使用雰囲気 温度範囲 ¥基準単価 ¥スライド単価 Type No. 12 34 DAMP 20 20/24 50/60Hz5.33 ×10 3 単相、100V60W4Pcondenser run 1.6 7.2 O.D. φ9 ×I.D. φ5 Rc1/4740 77,000 75,000 40 40/46 50/60Hz19.9 ×10 3 80,000 78,000 型式 実効排気速度 L/min E到達圧力 Pa 使用電動機 全負荷電流 A 質量 kg吸・排気 口径 mm使用雰囲気 温度範囲 ¥基準単価 ¥スライド単価 Type No. 12 34 DAPMP 6 6/7 50/60Hz6.65 ×10 3 1 φ、100V10W 4Pcondenser run 0.5 50/60Hz1.9 Rc1/8 040 20,400 19,500 12 12/14 50/60Hz24 ×10 3 21,200 20,000 E到達圧力とは絶対圧力を表わします。 Q公差・取付け穴情報 ベース部構成部品の組合わせにより、M3ネジ及びM4ネジ位置寸法が公差範囲内でバラツキが生じます。 本ポンプを取付ける場合は、長穴加工をお勧めします。長穴加工例は、P.153 WLM3 または4 を参照ください。 Order 注文例 型式 DAPMP6 DAMP40 CADデータフォルダ名:52_Sanitary_Vacuum_Tanks E吸排管(ホースニップル)は付属しておりません。 E詳細寸法はCAD もご参照ください。 No.6 No.12 91 67 80 4M4タップ 4ーゴム脚 4M3タップ 155 163排気口 Rc1/8タップ 吸気口 Rc1/8 タップ 注意記号ラベル(高温) 94注意記号ラベル(感電) コンデンサケース 91 67 80 155 1639455.5 4224 CCW 89.6 95.6 49 57 100.624 45 67 吸気口 Rc1/8 タップ 排気口 Rc1/8 タップ 注意記号ラベル(感電) コンデンサケース 4M4タップ 4ーゴム脚 樹脂ファンカバー 中間スイッチ付電源コード(約2m4M3タップ M4ネジ EARTH取付注意記号ラベル(高温) VACUUM PUMPS 真空ポンプ -ダイアフラム型- Delivery 出荷日 E ご希望により PM6:00迄、 当日出荷受付致します。 翌日出荷 D P.127 E表示数量超えはWOSにてご確認ください。 数量区分 標準対応 個別対応 小口 大口 数 量 14 5出荷日 通常 お見積り E DAMP20はホースニップルは注意記号ラベル 側に2つ付きます。 写真もしくはCAD もご参照ください。 84 186 236 70 108 112 74 IN OUT 240108 66.5 1800±50 10101117816570排気管(R1/4O.D. φ9 ×I.D. φ5 注意記号ラベル(感電) 注意記号ラベル(高圧ゴム脚 4M4 E E ●排気速度曲線 0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 10 20 30 40 50 60 Pumping Speed 排気速度 DAPMP12 DAPMP20 DAPMP40 DAPMP6 圧力 Pressure (×10kpaL/min50Hz ポンプ停止後に再起動する場合、 ポンプ内が真空状態ですと 再起動しない場合があります。 ポンプ内を大気圧に戻せば 再起動いたします。 吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガス などが混入する場合は、 それらを取り除く必要があります。 注意点

-概要-CCW 8 9. 6 9 5. 6 49 57 ( 1 0 0. 6 ) 24 45 67 吸気口 Rc1/8タップ 排気口 Rc1/8タップ 注意記号ラベル(感電) コ ンデサケース 4ーM4タップ

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Page 1: -概要-CCW 8 9. 6 9 5. 6 49 57 ( 1 0 0. 6 ) 24 45 67 吸気口 Rc1/8タップ 排気口 Rc1/8タップ 注意記号ラベル(感電) コ ンデサケース 4ーM4タップ

-14072 -14082-14072 -14082

VACUUM PUMPS

真空ポンプ-概要-

From To Pa(N/m2) Torr(mmHg) atm mbar psi(bf/in2) kgf/cm2 mH2O(15°)

1 Pa(N/m2) 1 7.5×10-3 9.87×10-6 10-2 1.45×10-4 1.02×10-5 1.02×10-4

1 Torr(mmHg) 133.32 1 1.316×10-3 1.33 1.93×10-2 1.359×10-3 1.36×10-2

1 atm 1.013×105 760 1 1.013×103 14.696 1.033 10.341 mbar 100 0.75 9.87×10-4 1 1.45×10-2 1.02×10-3 10.206×10-3

1 psi(bf/in2) 6.89×103 51.71 6.8×10-2 68.9 1 7.031×10-2 0.7031 kgf/cm2 9.8×104 735.56 0.968 9.81×102 14.223 1 101 mH2O 9.8×103 73.49 9.68×10-2 98 1.421 0.1 1

Q特長: ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。接ガス部には、油・水などは使用していないドライ真空ポンプです。全ての機種にサーマルプロテクターを内蔵し、安全面も配慮しました。シンプル構造でメンテナンスも容易です。

Q動作原理Qダイアフラム型ドライ真空ポンプ

Q単位換算表

Qポンプ選定方法

吸入弁

ダイアフラム

吐出弁

回転軸中心

偏芯カム

コネクティングロッド

5

3 4

76

2

1

1.吸気工程中時間

1ポンプヘッド2ケーシング3コネクティングロッド4ダイアフラム5ダイアフラム押え板6排気弁7吸気弁

7は引き込まれて開く。6がひきつけられて閉じる。

は空気の流れを示す。はコネクティングロッドの次の工程への動きを示す。

工程順序は 1>2>3>4>1

7は完全に開く。6が閉じたまま。

7は押されて閉じたまま。6は押されて完全に開く。

7は押されて閉じる。6が押されて開く。

3.排気工程中時間

2.吸気工程最終時(下死点)

4.排気工程最終時(上死点)

1.排気時間と排気速度の計算式

●実際の計算例

t= VS ×2.303 log P1

P2

t0=t1+t2+t3+…

t:排気時間(min) V:タンク容積(l) S:ポンプ排気速度(L/min)t0:合計排気時間(min) P1:初期圧力(Pa) P2:最終圧力(Pa)

●排気速度曲線(例1)25リットルの容器を、大気圧(101,324Pa)から10,000Paまで10分で減圧したい場合

10,000Paで5.79L/min以上の排気速度が必要なので、DAPMP6が必要。ただし、配管コンダクタンスや漏れ等を考慮して、実際には安全率を見込んで選定ください。

(例2) 10リットルの容器を、大気圧(101,324Pa)から40,000Paまで減圧するのに必要な時間ポンプはDAPMP12を使用する。1:101,324Pa>80,000Pa S1=12L/min t1=10/12×2.303log(101,324/80,000)≒0.22:80,000Pa>60,000Pa S2=11L/min t2=10/11×2.303log(80,000/60,000)≒0.263:60,000Pa>40,000Pa S3=6L/min t3=10/6×2.303log(60,000/40,000)≒0.68

合計:t0=1.14min

S= V(25)t(10) ×2.303 log

P1(101,324)P2(100,000) ≒5.79L/min(at 1Pa)

2.真空により吸着吸引する場合の計算式●真空吸着真空吸着とは、真空と大気圧との差圧を利用して、物体を真空側に吸い付ける事です。大気圧は1kg/cm2です。したがって差圧による力は、絶対真空(真空圧力0)の場合は1kg/cm2、真空圧力50662Pa(1/2気圧)の場合は0.5kg/cm2となります。

●実際の吸着実際に吸着する際は、一般的に吸着パッド、吸着ブロックが使用されます。

大気の圧力

真空状態

パイプ漏れが無いこと

吸着パッド

真空ポンプへ

吸着用ブロック

真空ポンプへ 吸着用ブロック

刃物

真空ポンプへ

工作機械テーブル

加工物

真空吸着の力は、真空ポンプの性能と吸着パットや吸着ブロックの吸着面積により決まります。吸着パッドの場合の吸着面積Aの考え方         多孔ブロックの場合の吸着面積Aの考え方

吸着前はA=πd2/4 実際に吸着するとA=πD2/4

W:理論の吸着力(kg) A:吸着パットの面積(cm2)P:吸着パットの圧力(Pa) T:大気圧による力(1kg/cm2)

A=πd2/4×(n:穴の数)となる

φdφDφd φd

真空ポンプへ

●実際の計算式 ●安全率

●実際の計算例(例)0.5kgのワークを垂直吊りする場合、吸着パットの面積は?吸着パットの圧力を40,000Paとする。

  垂直吊りなので、0.83×3=2.69cm2

W=(101,324-P)

101,324 ×A×T

A= (101,324×W)(101,324-P)×T

= (101,324×0.5)(101,324-40,000)×1

=0.83(cm2)

垂直吊りの場合理論計算値×3

横吊りの場合理論計算値×6

0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10

10

20

30

40

50

60

Pum

ping

Spee

d排気速度

DAPMP12

DAPMP20

DAPMP40

DAPMP6

圧力 Pressure (×10kpa)

(L/min) 50Hz

-14072 -14082

サニタリー管

真空配管部品・タンク

52

-14072 -14082

1407-1408_F52-020 色校

TypeM材質

本体 ポンプヘッド ダイアフラム ヘッドガスケット バルブ

DAPMP SUS304 ADC エチレンゴム(EPDM) ふっ素ゴム(FPM)

TypeM材質

本体 ダイアフラム ヘッドガスケット エアフィルタ 吸排気弁DAMP SUS304 剛性ゴム(NBR) 発泡ウレタン SUSバネ材

型式 実効排気速度L/min

到達圧力Pa 使用電動機 全負荷電流

A質量(kg)吸・排気口径

使用雰囲気温度範囲℃

¥基準単価 ¥スライド単価Type No. 1~2コ 3~4コ

DAMP 20 20/24(50/60Hz) 5.33×103 単相、100V、60W、4P、condenser run 1.6 7.2 O.D.φ9×I.D.φ5

(Rc1/4) 7~4077,000 75,000

40 40/46(50/60Hz) 19.9×103 80,000 78,000

型式 実効排気速度L/min

E到達圧力Pa 使用電動機 全負荷電流

A質量(kg)

吸・排気口径(mm)

使用雰囲気温度範囲℃

¥基準単価 ¥スライド単価

Type No. 1~2コ 3~4コ

DAPMP 6 6/7(50/60Hz) 6.65×103 1φ、100V、10W4P、condenser run 0.5(50/60Hz) 1.9 Rc1/8 0~40

20,400 19,50012 12/14(50/60Hz) 24×103 21,200 20,000

E到達圧力とは絶対圧力を表わします。Q 公差・取付け穴情報ベース部構成部品の組合わせにより、M3ネジ及びM4ネジ位置寸法が公差範囲内でバラツキが生じます。本ポンプを取付ける場合は、長穴加工をお勧めします。長穴加工例は、P.153 WLM3または4を参照ください。

Order注文例

型式DAPMP6DAMP40

CADデータフォルダ名:52_Sanitary_Vacuum_Tanks

E吸排管(ホースニップル)は付属しておりません。E詳細寸法はCADもご参照ください。

No.6 No.12

91

6780

4ーM4タップ 4ーゴム脚4ーM3タップ

155(163)

排気口Rc1/8タップ

吸気口Rc1/8タップ

注意記号ラベル(高温)

(94)

注意記号ラベル(感電) コンデンサケース

91

6780

155(163)

(94)

55.5

(4)(22)

4

CCW

89.6

95.6

4957

(10

0.6)

244567

吸気口Rc1/8タップ排気口Rc1/8タップ

注意記号ラベル(感電) コンデンサケース

4ーM4タップ 4ーゴム脚樹脂ファンカバー

中間スイッチ付電源コード(約2m)4ーM3タップ

M4ネジ(EARTH取付)

注意記号ラベル(高温)

VACUUM PUMPS

真空ポンプ-ダイアフラム型-

Delivery出荷日

E ご希望によりPM6:00迄、当日出荷受付致します。

翌日出荷D P.127

E表示数量超えはWOSにてご確認ください。

数量区分 標準対応 個別対応小口 大口

数 量 1~4 5~出荷日 通常 お見積り

E DAMP20はホースニップルは注意記号ラベル側に2つ付きます。

 写真もしくはCADもご参照ください。

84

186236

70108112

74

IN OUT

(240)

108

66.5

1800±50

(10)

(10)

(11)(

178)

(16

5)(

70)

排気管(R1/4)O.D.φ9×I.D.φ5注意記号ラベル(感電)

注意記号ラベル(高圧)

ゴム脚4ーM4

E E

●排気速度曲線

0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10

10

20

30

40

50

60

Pum

ping

Spee

d排気速度

DAPMP12

DAPMP20

DAPMP40

DAPMP6

圧力 Pressure (×10kpa)

(L/min) 50Hz・ ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。

・ 吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合は、それらを取り除く必要があります。

注意点