IIndustry ndustry Briefrief

Analyst 이세철 (6309-4523)

seicheol.lee@meritz.co.kr

2013. 05. 20

반도체 Overweight

반도체 구조변화 1: 3D NAND(V-NAND)

Top Picks

삼성전자(005930) Buy, TP 1,970,000원 솔브레인(036830) Buy, TP 60,000원 관련주: 원익 IPS

▶ 결론 - 3D NAND는 평면으로 되어있던 NAND 구조를 수직으로 적층하는 방식 - 삼성전자는 TCAT, 도시바는 Piped-BiCS 방식으로 구현 중. 13년 연말 시현 전망 - 3D NAND 구조로 PE-CVD 장비 수요 급증 전망. HSN 식각액도 중요성 증대 예상.

PE CVD 장비 업체인 원익 IPS 및 HSN 식각액 기술력을 보유한 솔브레인 긍정적 - 반도체 업종 Overweight 유지. 삼성전자, 원익 IPS, 솔브레인 수혜 전망

▶ Investment Point: 3D NAND 구조변화로 PE-CVD장비 및 HSN 식각액 중요성 증대

1. 3D NAND는 반도체 트렌지스터를 수직으로 적층하는 방식 3D NAND는 평면으로 되어있던 트렌지스터를 수직으로 올리는 구조. 3D NAND는 단위 면적당 트렌지스터 집적도가 획기적으로 늘어나게 됨. 3D NAND와 기존 2D NAND 구조간 차이를 살펴보면 마치 아파트 신도시와 일반 주택가로 비유할 수 있음. 일반 주택가는 일렬로 주택들이 나열되어 있는 반면, 아파트 신도시들은 수직 구조로 되어 있어 많은 가구들이 살수 있는 구조와 같은 원리

2. 삼성전자는 TCAT, 도시바는 Piped-BiCS 방식으로 구현 중. 13년 연말 시현 전망 삼성전자는 3D NAND를 TCAT(Terabit Cell Array Transistor) 방식으로 개발중. TCAT은 SiN과 PE-TEOS막질을 차례로 적층한 후 Control Gate를 수직으로 쌓고 에칭을 실시한 후 TANOS 막질을 입히는 방식. Floationg Gate는 CTF(Charge Trap Flash)로 대체. 언론에 따르면 삼성전자는 올해 말 또는 내년 1분기에 3D NAND를 양산할 것으로 예상됨. 도시바 3D NAND는 Piped-Bit cost scalable 방식으로 삼성전자의 TCAT구조와 유사하나 TANOS 대신 SONOS 막질을 사용

3. 3D NAND 구조로 PE-CVD 장비 수요 급증 전망. HSN 식각액도 중요성 증대 예상

3D NAND는 기존 NAND구조보다 4배 이상의 CVD 스텝 증가 예상. 수직 구조로

절연막과 Nitride및 Gate를 쌓기 때문에 특화된 PE-CVD 장비 수요 증가 예상. 또한

Si3N4 식각에 필요한 HSN(고선택비 인산액) 필요성 증대 예상. PE-CVD 장비에

경쟁력을 보유하고 있는 원익 IPS 및 HSN 식각액 업체인 솔브레인 긍정적

메리츠종금증권 리서치센터 2

[그림 1] 옥외주차 방식 (기존 NAND 구조) [그림 2] 복층 주차방식 (3D NAND)

자료: Website, 메리츠종금증권 리서치센터 자료: Website, 메리츠종금증권 리서치센터

[그림 3] 삼성전자 3D NAND: TCAT 구조

자료: Website, 메리츠종금증권 리서치센터

[그림 4] 도시바 3D NAND: Piped-BiCS 구조

자료: Website, 메리츠종금증권 리서치센터

메리츠종금증권 리서치센터 3

[그림 5] 3D NAND Layer구조

Channel Hole

Billions Per Die

Gate Trench

Millions Per Die

APF

Mask Open

Cell Periphery

Staircase Contact (1, 2)

Billions per Die

자료: LAM Research, 메리츠종금증권 리서치센터

[그림 6] 3D NAND 제조 공정 – Gate Last 방식(삼성전자)

자료: VLSI , 메리츠종금증권 리서치센터

메리츠종금증권 리서치센터 4

[그림 7] 3D NAND 제조 공정 - Gate First 방식(도시바)

자료: Toshiba , 메리츠종금증권 리서치센터

메리츠종금증권 리서치센터 5

Compliance Notice

동 자료는 작성일 현재 사전고지와 관련한 사항이 없습니다. 당사는 동 자료에 언급된 종목과 계열회사의

관계가 없으며 2013년 5월 20일 현재 동 자료에 언급된 종목의 유가증권(DR, CB, IPO, 시장조성 등) 발행

관련하여 지난 6개월 간 주간사로 참여하지 않았습니다. 당사는 2013년 5월 20일 현재 동 자료에 언급된

종목의 지분을 1%이상 보유하고 있지 않습니다. 당사의 조사분석 담당자는 2013년 5월 20일 현재 동

자료에 언급된 종목의 지분을 보유하고 있지 않습니다. 본 자료에 게재된 내용들은 본인의 의견을 정확하게

반영하고 있으며, 외부의 부당한 압력이나 간섭 없이 작성되었음을 확인합니다. (작성자: 이세철)

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투자등급 관련사항

1. 종목추천관련 투자등급(추천기준일 종가대비 4등급)

→아래 종목투자의견은 향후 6개월간 추천기준일 종가대비 추천종목의 예상 목표수익률을 의미함.

ㆍStrong Buy : 추천기준일 종가대비 +50%이상.

ㆍBuy : 추천기준일 종가대비 +15%이상 ~ +50%미만.

ㆍHold : 추천기준일 종가대비 +5%이상 ~ +15%미만.

ㆍReduce : 추천기준일 종가대비 +5%미만.

2. 산업추천관련 투자등급(추천기준일 시장지수대비 3등급)

→아래 산업투자의견은 시가총액기준 산업별 시장비중 대비 보유비중의 변화를 추천하는 것.

ㆍ비중확대(Overweight).

ㆍ중립(Neutral).

ㆍ비중축소(Underweight)

메리츠종금증권 리서치센터 6

삼성전자(005930)의 투자등급변경 내용 추천확정일자 자료의 형식 투자의견 목표주가 담당자 주가 및 목표주가 변동추이

2011.05.30 기업브리프 Buy 1,250,000 이선태2011.06.08 산업브리프 Buy 1,250,000 이선태2011.07.04 산업브리프 Buy 1,250,000 이선태2011.08.01 산업브리프 Buy 1,250,000 이선태2011.09.01 산업브리프 Buy 1,250,000 이선태2011.09.19 산업분석 Buy 1,250,000 이선태2011.09.27 기업브리프 Buy 1,250,000 이선태2011.10.04 산업브리프 Buy 1,250,000 이선태2011.10.10 기업브리프 Buy 1,250,000 이선태2011.10.17 산업분석 Buy 1,250,000 이선태2011.10.31 기업브리프 Buy 1,250,000 이선태2011.11.01 산업분석 Buy 1,250,000 이선태2011.11.07 기업브리프 Buy 1,250,000 이선태

담당 애널리스트 변경 2012.03.05 산업분석 Buy 1,500,000 이세철2012.03.23 산업브리프 Buy 1,500,000 이세철2012.03.26 산업브리프 Buy 1,500,000 이세철2012.04.03 기업브리프 Buy 1,700,000 이세철2012.04.09 산업브리프 Buy 1,700,000 이세철2012.04.16 산업브리프 Buy 1,700,000 이세철2012.04.17 산업브리프 Buy 1,700,000 이세철2012.04.19 산업브리프 Buy 1,700,000 이세철2012.04.23 산업브리프 Buy 1,700,000 이세철2012.04.26 산업브리프 Buy 1,700,000 이세철2012.04.30 산업브리프 Buy 1,700,000 이세철2012.05.02 기업브리프 Buy 1,700,000 이세철2012.05.03 산업브리프 Buy 1,700,000 이세철2012.05.07 산업브리프 Buy 1,700,000 이세철2012.05.08 산업브리프 Buy 1,700,000 이세철2012.05.14 산업브리프 Buy 1,700,000 이세철2012.05.15 기업분석 Buy 2,000,000 이세철2012.05.16 산업브리프 Buy 2,000,000 이세철2012.05.21 기업브리프 Buy 2,000,000 이세철2012.05.23 산업브리프 Buy 2,000,000 이세철2012.05.29 산업분석 Buy 2,000,000 이세철2012.05.31 산업브리프 Buy 2,000,000 이세철2012.06.04 산업브리프 Buy 2,000,000 이세철2012.06.07 산업브리프 Buy 2,000,000 이세철2012.06.11 산업브리프 Buy 2,000,000 이세철2012.06.13 산업브리프 Buy 2,000,000 이세철2012.06.19 산업브리프 Buy 2,000,000 이세철2012.06.25 산업브리프 Buy 2,000,000 이세철2012.07.02 산업브리프 Buy 2,000,000 이세철2012.07.09 산업브리프 Buy 2,000,000 이세철2012.07.10 기업브리프 Buy 2,000,000 이세철2012.07.16 산업브리프 Buy 2,000,000 이세철2012.07.30 기업브리프 Buy 1,800,000 이세철2012.08.06 기업브리프 Buy 1,800,000 이세철2012.08.14 기업브리프 Buy 1,800,000 이세철2012.08.21 기업브리프 Buy 1,800,000 이세철2012.08.27 기업브리프 Buy 1,800,000 이세철2012.09.04 기업브리프 Buy 1,800,000 이세철2012.09.11 산업분석 Buy 1,800,000 이세철2012.09.18 산업브리프 Buy 1,800,000 이세철2012.09.25 산업브리프 Buy 1,800,000 이세철2012.09.27 기업브리프 Buy 1,800,000 이세철2012.10.02 산업브리프 Buy 1,800,000 이세철2012.10.04 산업브리프 Buy 1,800,000 이세철2012.10.16 산업브리프 Buy 1,800,000 이세철2012.10.17 산업브리프 Buy 1,800,000 이세철2012.10.29 산업브리프 Buy 1,800,000 이세철2012.10.30 산업브리프 Buy 1,800,000 이세철2012.10.31 산업브리프 Buy 1,800,000 이세철2012.11.14 산업분석 Buy 1,800,000 이세철2012.11.15 산업브리프 Buy 1,800,000 이세철2012.11.16 산업브리프 Buy 1,800,000 이세철2012.11.20 산업브리프 Buy 1,800,000 이세철2012.11.21 산업브리프 Buy 1,800,000 이세철2012.11.26 기업브리프 Buy 1,800,000 이세철2012.11.29 산업브리프 Buy 1,800,000 이세철2012.12.03 산업브리프 Buy 1,800,000 이세철2012.12.04 산업브리프 Buy 1,800,000 이세철2012.12.06 산업브리프 Buy 1,800,000 이세철2012.12.10 산업브리프 Buy 1,800,000 이세철2012.12.17 산업브리프 Buy 1,800,000 이세철2013.01.02 산업브리프 Buy 1,800,000 이세철2013.01.03 기업브리프 Buy 1,970,000 이세철2013.01.08 기업브리프 Buy 1,970,000 이세철2013.01.14 산업브리프 Buy 1,970,000 이세철2013.01.16 산업브리프 Buy 1,970,000 이세철2013.01.28 기업브리프 Buy 1,970,000 이세철2013.01.30 산업브리프 Buy 1,970,000 이세철2013.02.06 산업브리프 Buy 1,970,000 이세철2013.02.12 산업브리프 Buy 1,970,000 이세철2013.02.26 산업브리프 Buy 1,970,000 이세철2013.02.27 산업브리프 Buy 1,970,000 이세철2013.03.04 기업브리프 Buy 1,970,000 이세철2013.03.05 산업분석 Buy 1,970,000 이세철2013.03.11 기업브리프 Buy 1,970,000 이세철2013.03.18 산업브리프 Buy 1,970,000 이세철2013.03.25 기업브리프 Buy 1,970,000 이세철2013.03.27 기업브리프 Buy 1,970,000 이세철2013.04.01 산업브리프 Buy 1,970,000 이세철2013.04.08 기업브리프 Buy 1,970,000 이세철2013.04.15 산업브리프 Buy 1,970,000 이세철2013.04.29 기업브리프 Buy 1,970,000 이세철2013.05.14 산업분석 Buy 1,970,000 이세철 2013.05.20 산업브리프 Buy 1,970,000 이세철

0

500,000

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1,500,000

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2011.04 2011.08 2011.12 2012.04 2012.08 2012.12 2013.04

주가 목표주가(원)

메리츠종금증권 리서치센터 7

솔브레인(036830)의 투자등급변경 내용 추천확정일자 자료의 형식 투자의견 목표주가 담당자 주가 및 목표주가 변동추이

2013.05.14 산업분석 Buy 60,000 이세철

2013.05.20 산업브리프 Buy 60,000 이세철

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2011.05 2011.09 2012.01 2012.05 2012.09 2013.01 2013.05

주가 목표주가(원)