Keysight Technologies B1505Aパワーデバイス・ア …...Keysight B1505A パワーデバイス・アナライザ／カーブトレーサは、最大10 kV、1500 Aでパワーデバイスを正確に評価すること

Keysight TechnologiesB1505Aパワーデバイス・アナライザ／カーブトレーサ

Data Sheet

Keysight B1505Aパワーデバイス・アナライザ／カーブトレーサは、最大10 kV、1500 Aでパワーデバイスを正確に評価することができる、次世代のカーブトレーサ機能を備えたワンボックスソリューションです。B1505Aは、広い電圧／電流レンジ、高速パルス発生機能（10 μs）、μΩレベルのオン抵抗測定分解能、サブpAレベルの電流測定機能などの特長を備えているため、あらゆるタイプのパワーデバイスの評価に対応できます。さらに、オシロスコープ表示では、電流と電圧のパルス波形を目視検査できます。

チャネルごとに2つの独立したA/Dコンバータがあり、2 μsのサンプリング間隔で、デバイスの動作に影響を及ぼす可能性のある重要なタイミングを正確にモニタできます。

直流特性に加え、3000 Vまでの高バイアス印加状態での容量測定をおこなうこともできます。B1505Aには、EasyEXPERTソフトウェアが搭載され、カーブトレーサモードも用意されています。これにより、従来のカーブトレーサのユーザーもすぐに使用でき、さらにPCベースの測定器の利便性も追加されています。またモジュールセレクタとクイックテスト機能により、配線を変更せずに、複数のパラメータの自動測定が可能です。これらの使いやすさの向上、優れたデータ解析機能、簡単なデータ管理により、パワーデバイスやパワー回路の測定が効率的に行えます。

はじめに

基本機能

・さまざまなIV測定機能

・最大10 kV/1500 A

・高ピークパワー：22.5 kW

・高電圧バイアスによる中電流測定（例：500 mA/1200 V、ピークパワー：900 W）

・ μΩ抵抗測定

・サブpAリーケージ測定

・高バイアス印加による容量対電圧（CV）測定

・パルス測定（≧10 μs）

・チャネルごとに2つの独立したA/Dコンバータ（22ビット相当）があり、電流と電圧の同時高速（2 μs）サンプリングが可能

・温度測定

・使いやすいEasyEXPERTソフトウェアを搭載

・ノブ掃引機能を備えたカーブトレーサモード

・オシロスコープ表示

・ 10個のモジュールスロットを備えたモジュール構成

・複数種類のソース／モニタ・ユニット（SMU）を使用可能：HPSMU、MPSMU、

HCSMU、MCSMU、HVSMU

・最大6ピンのハイパワーデバイスのサポート

・ GaNの電流コラプスの影響を評価するための高電圧／高電流の高速スイッチング

・マルチ周波数キャパシタンス測定ユニット（MFCMU）（1 kHz～ 5 MHz）を使用可能

・パッケージテスト／ウェーハテスト用の標準アクセサリ：テストフィクスチャ、モジュールセレクタ、高電圧バイアスティー

・ GPIB/USB/LANインタフェースとVGAビデオ出力ポート

・セルフテスト、セルフキャリブレーション、自己診断機能

仕様条件

測定および出力精度は以下の条件下で規定されます。注記：SMUは、Zero Check端子を基準として各モジュール上の接続端子にて規定されます。

1. 温度：23 ℃±5 ℃

2. 湿度：20 ％～ 70 ％

3. 40分のウォームアップ後、自動校正実行

4. 自動校正実行後の周囲温度変化が±1℃以内。（MFCMUには適用されません。）

5. 自動校正実行から1時間以内に測定を実行。（MFCMUには適用されません。）

6. 校正周期：1年

7. SMUの積分時間設定：1 PLC（1 nA～ 1 Aレンジ、電圧レンジ）、200 μs（20 Aレンジ）高速ADCのアベレージング回数：1PLCあたり128サンプル

8. SMUフィルター：オン（HPSMU/MPSMUの場合）

9. SMU測定端子の接続：ケルビン接続（HPSMU、MPSMU、HCSMU、MCSMU）、非ケルビン（HVSMU）

注記：本書では、B1505Aとその関連モジュールの仕様と補足特性を紹介しています。仕様は製品の性能を保証する値です。工場出荷時や修理時の性能確認時にこの値を満足することが保証されています。以下の仕様に示されている「補足」特性は、保証されているものではありませんが、本器の機能／性能に関する有用な情報です。

注記：既存のB1505Aシステムのモジュールアップグレードは、キーサイトのサービスセンターで行う必要があります。システムの仕様を保証するには、新しいモジュールをインストールして、ユニットを校正する必要があります。新しいB1505Aモジュールのインストールおよび校正については、計測お客様窓口までお問い合わせください。

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最大モジュール構成すべてのモジューによる合計消費電力は84 Wまでです。この範囲内であれば、B1505Aには、以下のSMUを任意に組み合わせて搭載できます。

・最大4台のデュアルスロットHPSMU 1

・最大10台のシングルスロットMPSMU

・最大2台のデュアルスロットHCSMU 1

・最大6台のシングルスロットMCSMU

・ 1台のデュアルスロットHVSMU

1. インストールできるHPSMU/HCSMUモジュールの総数は4台までです。

さらに、上にリストされているいずれのSMU構成についても、1つのB1505Aメインフレームにインストールできるのは、1台のシングルスロットMFCMUのみです。

モジュールのインストールは、B1505Aメインフレームの下から順番に、HPSMU、MPSMU、MFCMU、MCSMU、HCSMU、HVSMUとなります。

B1505A仕様

コモン－グランド間の最大電圧≦±42 V

グランド・ユニット（GNDU）仕様GNDUは、B1505Aメインフレームに標準で装備されています。

出力電圧：0 V±100 μV最大シンク電流：±4.2 A接続端子：トライアキシャルコネクタ、ケルビン（リモートセンシング）

GNDU補足特性許容負荷容量：1 μF許容ケーブル抵抗：

Is≦1.6 Aの場合：フォースライン抵抗＜1 Ω1.6 A＜Is≦2.0 Aの場合：フォースライン抵抗＜0.7 Ω2.0 A＜Is≦4.2 Aの場合：フォースライン抵抗＜0.35 Ωセンスライン抵抗≦10 Ω

IsはGNDUに流れる電流値

サポートされるモジュールB1505Aにはモジュール装着用に10のスロットがあります。装着可能なモジュールを以下に示します。製品番号

製品名称占有スロット数

動作範囲測定分解能

B1510A ハイパワー・ソース／モニタ・ユニット（HPSMU） 2 －200 V～ 200 V、－1 A～ 1 A 2 μV、10 fA

B1511A/B ミディアムパワー・ソース／モニタ・ユニット（MPSMU）

1 －100 V～ 100 V、－100 mA～ 100 mA 0.5 μV、10 fA

B1512A 大電流ソース／モニタ・ユニット（HCSMU） 2 －40 V～ 40 V、－1 A～ 1 A－20 V～ 20 V、－20 A～ 20 A （パルスのみ）

200 nV、10 pA

B1513B/C 高電圧ソース／モニタ・ユニット（HVSMU） 2 －3000 V～ 3000 V、－4 mA～ 4 mA－1500 V～ 1500 V、－8 mA～ 8 mA

200 μV、10 fA

B1514A 中電流ソース／モニタ・ユニット（MCSMU） 1 －30 V～ 30 V、－100 mA～ 100 mA －30 V～ 30 V、－1 A～ 1 A （パルスのみ）

200 nV、10 pA

B1520A1 マルチ周波数容量測定ユニット（MFCMU） 1 1 kHz～ 5 MHz 0.035 fFrms2

1. N1300A-100 SMU CMU統合ユニット（SCUU）は、B1505Aではサポートされていません。2. 10 pFキャパシタを次の測定条件で測定端子に接続した場合に有効です。1 MHzの周波数、250 mV ACの信号レベル、1 PLCの測定時間。6桁の表示機能で、表示分解能が0.000001 fF（1 fFオーダの測定）

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HPSMUモジュール仕様

電圧レンジ、分解能、確度（高分解能ADC）電圧レンジ

設定分解能

測定分解能

設定確度 1 測定確度 1 最大電流

±2 V 100 μV 2 μV ±（0.018 ％＋0.4 mV） ±（0.01 ％＋0.14 mV） 1 A

±20 V 1 mV 20 μV ±（0.018 ％＋3 mV） ±（0.009 ％＋0.9 mV） 1 A

±40 V 2 mV 40 μV ±（0.018 ％＋6 mV） ±（0.01 ％＋1 mV） 500 mA

±100 V 5 mV 100 μV ±（0.018 ％＋15 mV） ±（0.012 ％＋2.5 mV） 125 mA

±200 V 10 mV 200 μV ±（0.018 ％＋30 mV） ±（0.014 ％＋2.8 mV） 50 mA1. ±（読み値の％＋オフセット値（mV））

電流レンジ、分解能、確度（高分解能ADC）電流レンジ

設定分解能

測定分解能

設定確度 1 測定確度 1 最大電圧

±1 nA 50 fA 10 fA ±（0.1 ％＋300 fA＋1 fA×Vo） ±（0.1 ％＋200 fA＋1 fA×Vo） 200 V

±10 nA 500 fA 10 fA ±（0.1 ％＋3 pA＋10 fA×Vo） ±（0.1 ％＋1 pA＋10 fA×Vo） 200 V

±100 nA 5 pA 100 fA ±（0.05 ％＋30 pA＋100 fA×Vo） ±（0.05 ％＋20 pA＋100 fA×Vo） 200 V

±1 μA 50 pA 1 pA ±（0.05 ％＋300 pA＋1 pA×Vo） ±（0.05 ％＋100 pA＋1 pA×Vo） 200 V

±10 μA 500 pA 10 pA ±（0.05 ％＋3 nA＋10 pA×Vo） ±（0.04 ％＋2 nA＋10 pA×Vo） 200 V

±100 μA 5 nA 100 pA ±（0.035 ％＋15 nA＋100 pA×Vo） ±（0.03 ％＋3 nA＋100 pA×Vo） 200 V

±1 mA 50 nA 1 nA ±（0.04 ％＋150 nA＋1 nA×Vo） ±（0.03 ％＋60 nA＋1 nA×Vo） 200 V

±10 mA 500 nA 10 nA ±（0.04 ％＋1.5 μA＋10 nA×Vo） ±（0.03 ％＋200 nA＋10 nA×Vo） 200 V

±100 mA 5 μA 100 nA ±（0.045 ％＋15 μA＋100 nA×Vo） ±（0.04 ％＋6 μA＋100 nA×Vo） 200 V2

±1 A 50 μA 1 μA ±（0.4 ％＋300 μA＋1 μA×Vo） ±（0.4 ％＋150 μA＋1 μA×Vo） 200 V 2

1. ±（読み値の％＋オフセットの固定項（A）＋オフセットの比例項（A））2. 200 V（Io≦50 mA）、100 V（50 mA＜Io≦125 mA）、40 V（125 mA＜Io≦500 mA）、20 V（500 mA＜Io≦1 A）、Ioは出力電流（A）

電圧レンジ、分解能、確度（高速ADC）電圧レンジ

設定分解能

測定分解能


±2 V 100 μV 100 μV ±（0.018 ％＋0.4 mV） ±（0.01 ％＋0.7 mV） 1 A

±20 V 1 mV 1 mV ±（0.018 ％＋3 mV） ±（0.01 ％＋4 mV） 1 A

±40 V 2 mV 2 mV ±（0.018 ％＋6 mV） ±（0.015 ％＋8 mV） 500 mA

±100 V 5 mV 5 mV ±（0.018 ％＋15 mV） ±（0.02 ％＋20 mV） 125 mA

±200 V 10 mV 10 mV ±（0.018 ％＋30 mV） ±（0.035 ％＋40 mV） 50 mA1. ±（読み値の％＋オフセット値（mV））。アベレージングは、1 PLCで128サンプル。

電流レンジ、分解能、確度（高速ADC）電流レンジ

設定分解能

測定分解能


±1 nA 50 fA 50 fA ±（0.1 ％＋300 fA＋1 fA×Vo） ±（0.25 ％＋300 fA＋1 fA×Vo） 200 V

±10 nA 500 fA 500 fA ±（0.1 ％＋3 pA＋10 fA×Vo） ±（0.25 ％＋2 pA＋10 fA×Vo） 200 V

±100 nA 5 pA 5 pA ±（0.05 ％＋30 pA＋100 fA×Vo） ±（0.1 ％＋20 pA＋100 fA×Vo） 200 V

±1 μA 50 pA 50 pA ±（0.05 ％＋300 pA＋1 pA×Vo） ±（0.1 ％＋200 pA＋1 pA×Vo） 200 V


±100 μA 5 nA 5 nA ±（0.035 ％＋15 nA＋100 pA×Vo） ±（0.05 ％＋20 nA＋100 pA×Vo） 200 V


±10 mA 500 nA 500 nA ±（0.04 ％＋1.5 μA＋10 nA×Vo） ±（0.04 ％＋2 μA＋10 nA×Vo） 200 V

±100 mA 5 μA 5 μA ±（0.045 ％＋15 μA＋100 nA×Vo） ±（0.1 ％＋20 μA＋100 nA×Vo） 200 V 2

±1 A 50 μA 50 μA ±（0.4 ％＋300 μA＋1 μA×Vo） ±（0.5 ％＋300 μA＋1 μA×Vo） 200 V 2

1. ±（読み値の％＋オフセットの固定項（A）＋オフセットの比例項（A））2. 200 V（Io≦50 mA）、100 V（50 mA＜Io≦125 mA）、40 V（125 mA＜Io≦500 mA）、20 V（500 mA＜Io≦1 A）、Ioは出力電流（A）

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電圧源モード：電圧レンジ消費電力2 V 20×Ic（W）20 V 20×Ic（W）40 V 40×Ic（W）100 V 100×Ic（W）200 V 200×Ic（W）Ic：電流コンプライアンス設定

電流源モード：電圧コンプライアンス

消費電力

Vc≦20 20×Io（W）20＜Vc≦40 40×Io（W）40＜Vc≦100 100×Io（W）100＜Vc≦200 200×Io（W）Vc：電圧コンプライアンス設定 Io：出力電流

HPSMU測定／出力範囲消費電力

電流（mA）

電圧（V）

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MPSMUモジュール仕様

電圧レンジ、分解能、確度（高分解能ADC）電圧レンジ

設定分解能

測定分解能

設定確度1 測定確度1 最大電流

±0.5 V 25 μV 0.5 μV ±（0.018 ％＋0.15 mV） ±（0.01 ％＋0.12 mV） 100 mA±2 V 100 μV 2 μV ±（0.018 ％＋0.4 mV） ±（0.01 ％＋0.14 mV） 100 mA±5 V 250 μV 5 μV ±（0.018 ％＋0.75 mV） ±（0.009 ％＋0.25 mV） 100 mA±20 V 1 mV 20 μV ±（0.018 ％＋3 mV） ±（0.009 ％＋0.9 mV） 100 mA±40 V 2 mV 40 μV ±（0.018 ％＋6 mV） ±（0.01 ％＋1 mV） 2

±100 V 5 mV 100 μV ±（0.018 ％＋15 mV） ±（0.012 ％＋2.5 mV） 2

1. ±（読み値の％＋オフセット値（mV））2. 100 mA（Vo≦20 V）、50 mA（20 V＜Vo≦40 V）、20 mA（40 V＜Vo≦100 V）、Voは出力電圧（V）

電流レンジ、分解能、確度（高分解能ADC）電流レンジ

設定分解能

測定分解能


±1 nA 50 fA 10 fA ±（0.1 ％＋300 fA＋1 fA×Vo） ±（0.1 ％＋200 fA＋1 fA×Vo） 100 V±10 nA 500 fA 10 fA ±（0.1 ％＋3 pA＋10 fA×Vo） ±（0.1 ％＋1 pA＋10 fA×Vo） 100 V±100 nA 5 pA 100 fA ±（0.05 ％＋30 pA＋100 fA×Vo） ±（0.05 ％＋20 pA＋100 fA×Vo） 100 V±1 μA 50 pA 1 pA ±（0.05 ％＋300 pA＋1 pA×Vo） ±（0.05 ％＋100 pA＋1 pA×Vo） 100 V±10 μA 500 pA 10 pA ±（0.05 ％＋3 nA＋10 pA×Vo） ±（0.04 ％＋2 nA＋10 pA×Vo） 100 V±100 μA 5 nA 100 pA ±（0.035 ％＋15 nA＋100 pA×Vo） ±（0.03 ％＋3 nA＋100 pA×Vo） 100 V ±1 mA 50 nA 1 nA ±（0.04 ％＋150 nA＋1 nA×Vo） ±（0.03 ％＋60 nA＋1 nA×Vo） 100 V±10 mA 500 nA 10 nA ±（0.04 ％＋1.5 μA＋10 nA×Vo） ±（0.03 ％＋200 nA＋10 nA×Vo） 100 V±100 mA 5 μA 100 nA ±（0.045 ％＋15 μA＋100 nA×Vo） ±（0.04 ％＋6 μA＋100 nA×Vo） 2

1. ±（読み値の％＋オフセットの固定項（A）＋オフセットの比例項（A））、Voは出力電圧（V）2. 100 V（Io≦20 mA）、40 V（20 mA＜Io≦50 mA）、20 V（50 mA＜Io≦100 mA）、Ioは出力電流（A）

電圧レンジ、分解能、確度（高速ADC）電圧レンジ

設定分解能

測定分解能


±0.5 V 25 μV 25 μV ±（0.018 ％＋0.15 mV） ±（0.01 ％＋0.25 mV） 100 mA±2 V 100 μV 100 μV ±（0.018 ％＋0.4 mV） ±（0.01 ％＋0.7 mV） 100 mA±5 V 250 μV 250 μV ±（0.018 ％＋0.75 mV） ±（0.01 ％＋2 mV） 100 mA±20 V 1 mV 1 mV ±（0.018 ％＋3 mV） ±（0.01 ％＋4 mV） 100 mA±40 V 2 mV 2 mV ±（0.018 ％＋6 mV） ±（0.015 ％＋8 mV） 2

±100 V 5 mV 5 mV ±（0.018 ％＋15 mV） ±（0.02 ％＋20 mV） 2

1. ±（読み値の％＋オフセット値（mV））。アベレージングは、1 PLCで128サンプル2. 100 mA（Vo≦20 V）、50 mA（20 V＜Vo≦40 V）、20 mA（40 V＜Vo≦100 V）、Voは出力電圧（V）

電流レンジ、分解能、確度（高速ADC）電流レンジ

設定分解能

測定分解能


±1 nA 50 fA 50 fA ±（0.1 ％＋300 fA＋1 fA×Vo） ±（0.25 ％＋300 fA＋1 fA×Vo） 100 V±10 nA 500 fA 500 fA ±（0.1 ％＋3 pA＋10 fA×Vo） ±（0.25 ％＋2 pA＋10 fA×Vo） 100 V±100 nA 5 pA 5 pA ±（0.05 ％＋30 pA＋100 fA×Vo） ±（0.1 ％＋20 pA＋100 fA×Vo） 100 V±1 μA 50 pA 50 pA ±（0.05 ％＋300 pA＋1 pA×Vo） ±（0.1 ％＋200 pA＋1 pA×Vo） 100 V±10 μA 500 pA 500 pA ±（0.05 ％＋3 nA＋10 pA×Vo） ±（0.05 ％＋2 nA＋10 pA×Vo） 100 V±100 μA 5 nA 5 nA ±（0.035 ％＋15 nA＋100 pA×Vo） ±（0.05 ％＋20 nA＋100 pA×Vo） 100 V±1 mA 50 nA 50 nA ±（0.04 ％＋150 nA＋1 nA×Vo） ±（0.04 ％＋200 nA＋1 nA×Vo） 100 V±10 mA 500 nA 500 nA ±（0.04 ％＋1.5 μA＋10 nA×Vo） ±（0.04 ％＋2 μA＋10 nA×Vo） 100 V±100 mA 5 μA 5 μA ±（0.045 ％＋15 μA＋100 nA×Vo） ±（0.1 ％＋20 μA＋100 nA×Vo） 2

1. ±（読み値の％＋オフセットの固定項（A）＋オフセットの比例項（A））、Voは出力電圧（V）2. 100 V（（Io≦20 mA）、40 V（20 mA＜Io≦50 mA）、20 V（50 mA＜Io≦100 mA）、Ioは出力電流（A）

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電圧源モード：電圧レンジ消費電力0.5 V 20×Ic（W）2 V 20×Ic（W）5 V 20×Ic（W）20 V 20×Ic（W）40 V 40×Ic（W）100 V 100×Ic（W）Ic：電流コンプライアンス設定


消費電力

Vc≦20 20×Io（W）20＜Vc≦40 40×Io（W）40＜Vc≦100 100×Io（W）Vc：電圧コンプライアンス設定 Io：出力電流

MPSMU測定／出力範囲消費電力

電流（mA）

電圧（V）

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電圧レンジ、分解能、確度電圧レンジ

設定分解能

測定分解能

設定確度 1 測定確度1 最大電流

±0.2 V 200 nV 200 nV ±（0.06 ％＋0.14 mV＋Io×0.05 mV） ±（0.06 ％＋0.14 mV＋Io×0.05 mV） 20 A

±2 V 2 μV 2 μV ±（0.06 ％＋0.6 mV＋Io×0.5 mV） ±（0.06 ％＋0.6 mV＋Io×0.5 mV） 20 A

±20 V 20 μV 20 μV ±（0.06 ％＋3 mV＋Io×5 mV） ±（0.06 ％＋3 mV＋Io×5 mV） 20 A

±40 V 40 μV 40 μV ±（0.06 ％＋3 mV＋Io×10 mV） ±（0.06 ％＋3 mV＋Io×10 mV） 1 A1. ±（読み値の％＋オフセットの固定項（mV）＋オフセットの比例項（mV））、注記：Ioは出力電流（A）

電流レンジ、分解能、確度電流レンジ

設定分解能

測定分解能



±100 μA 100 pA 100 pA ±（0.06 ％＋20 nA＋1 nA×Vo） ±（0.06 ％＋20 nA＋1 nA×Vo） 40 V


±10 mA 10 nA 10 nA ±（0.06 ％＋2 μA＋100 nA×Vo） ±（0.06 ％＋2 μA＋100 nA×Vo） 40 V

±100 mA 100 nA 100 nA ±（0.06 ％＋20 μA＋1 μA×Vo） ±（0.06 ％＋20 μA＋1 μA×Vo） 40 V

±1 A 1 μA 1 μA ±（0.4 ％＋200 μA＋10 μA×Vo） ±（0.4 ％＋200 μA＋10 μA×Vo） 40 V

±20 A2 20 μA 20 μA ±（0.4 ％＋2 mA＋100 μA×Vo） ±（0.4 ％＋2 mA＋100 μA×Vo） 20 V1. ±（読み値の％＋オフセットの固定項（A）＋オフセットの比例項（A））、Voは出力電圧（V）2. パルスモードのみ。パルス出力中のベース電流は最大±100 mA

電圧源モード：電圧レンジ消費電力0.2 V 40×Ic（W）2 V 40×Ic（W）40 V 40×Ic（W）Ic：電流コンプライアンス設定パルス電流（Icp）の場合は Ic＝（デューティ比）×Icp


消費電力

Vc≦0.2 40×Io（W）0.2＜Vc≦2 40×Io（W）2＜Vc≦40 40×Io（W）Vc：電圧コンプライアンス設定 Io：出力電流パルス電流（Icp）の場合は Ic＝（デューティ比）×Icp

最大出力・測定電流範囲2つのHCSMUをデュアルHCSMUコンビネーションアダプタまたはデュアルHCSMUケルビンコンビネーションアダプタで接続することで、最大電流レンジを、40 A（パルス）および2 A（DC）にすることが可能です。

HCSMU測定／出力範囲消費電力

パルスのみ

DCとパルス

HCSMUモジュール仕様

電流（A）

電圧（V）

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HVSMUモジュール仕様

電圧レンジ、分解能、確度

電圧レンジ

設定分解能

測定分解能


±200 V 200 μV 200 μV ±（0.03 ％＋40 mV） ±（0.03 ％＋40 mV） 8 mA

±500 V 500 μV 500 μV ±（0.03 ％＋100 mV） ±（0.03 ％＋100 mV） 8 mA

±1500 V 1.5 mV 1.5 mV ±（0.03 ％＋300 mV） ±（0.03 ％＋300 mV） 8 mA

±3000 V 3 mV 3 mV ±（0.03 ％＋600 mV） ±（0.03 ％＋600 mV） 4 mA1. ±（読み値の％＋オフセット電圧（V））


設定分解能

測定分解能


最小設定電流2

±1 nA 10 fA 10 fA ±（0.1 ％＋600 fA＋1 fA×Vo） ±（0.1 ％＋600 fA＋1 fA×Vo） 3000 V 1 pA

±10 nA 100 fA 100 fA ±（0.1 ％＋2.5 pA＋1 fA×Vo） ±（0.1 ％＋2.5 pA＋1 fA×Vo） 3000 V 1 pA

±100 nA 100 fA 100 fA ±（0.05 ％＋25 pA＋100 fA×Vo） ±（0.05 ％＋25 pA＋100 fA×Vo） 3000 V 100 pA

±1 μA 1 pA 1 pA ±（0.05 ％＋100 pA＋100 fA×Vo） ±（0.05 ％＋100 pA＋100 fA×Vo） 3000 V 100 pA

±10 μA 10 pA 10 pA ±（0.04 ％＋2 nA＋10 pA×Vo） ±（0.04 ％＋2 nA＋10 pA×Vo） 3000 V 10 nA

±100 μA 100 pA 100 pA ±（0.03 ％＋3 nA＋10 pA×Vo） ±（0.03 ％＋3 nA＋10 pA×Vo） 3000 V 10 nA

±1 mA 1 nA 1 nA ±（0.03 ％＋60 nA＋100 pA×Vo） ±（0.03 ％＋60 nA＋100 pA×Vo） 3000 V 100 nA

±10 mA 10 nA 10 nA ±（0.03 ％＋200 nA＋1 nA×Vo） ±（0.03 ％＋200 nA＋1 nA×Vo） 1500 V 1 μA1. ±（読み値の％＋オフセットの固定項（A）＋オフセットの比例項（A））、Voは出力電圧（V）2. 設定出力電流は、表に示す電流よりも大きいこと

電圧源モード：電流コンプライアンス

消費電力

Ic≦4 mA 3000×Ic（W）4 m＜Ic≦8 mA 1500×Ic（W）Ic：電流コンプライアンス設定


消費電力

Vc≦1500 1500×Io（W）1500＜Vc≦3000 3000×Io（W）Vc：電圧コンプライアンス設定 Io：出力電流

HVSMU測定／出力範囲消費電力

電流（mA）

電圧（V）

10

MCSMUモジュール仕様

電圧レンジ、分解能、確度電圧レンジ

設定分解能

測定分解能

設定確度1 測定確度1 最大電流

±0.2 V 200 nV 200 nV ±（0.06 ％＋0.14 mV） ±（0.06 ％＋0.14 mV＋0.05 mV×Io） 1 A

±2 V 2 μV 2 μV ±（0.06 ％＋0.6 mV） ±（0.06 ％＋0.6 mV＋0.5 mV×Io） 1 A

±20 V 20 μV 20 μV ±（0.03 ％＋3 mV） ±（0.06 ％＋3 mV＋5 mV×Io） 1 A

±40 V2 40 μV 40 μV ±（0.03 ％＋3 mV） ±（0.06 ％＋3 mV＋10 mV×Io） 1 A1. ±（読み値の％＋オフセットの固定項（mV）＋オフセットの比例項（mV））、注記：Ioは出力電流（A）2. 最大出力電圧は30 V


設定分解能

測定分解能



±100 μA 100 pA 100 pA ±（0.06 ％＋20 nA＋1 nA×Vo） ±（0.06 ％＋20 nA＋1 nA×Vo） 30 V


±10 mA 10 nA 10 nA ±（0.06 ％＋2 μA＋100 nA×Vo） ±（0.06 ％＋2 μA＋100 nA×Vo） 30 V

±100 mA 100 nA 100 nA ±（0.06 ％＋20 μA＋1 μA×Vo） ±（0.06 ％＋20 μA＋1 μA×Vo） 30 V

±1 A2 1 μA 1 μA ±（0.4 ％＋200 μA＋10 μA×Vo） ±（0.4 ％＋200 μA＋10 μA×Vo） 30 V1. ±（読み値の％＋オフセットの固定項（A）＋オフセットの比例項（A））、Voは出力電圧（V）2. パルスモードのみパルス出力中のベース電流は最大±50 mA

電圧源モード：電圧レンジ消費電力0.2 V 40×Ic（W）2 V 40×Ic（W）40 V 40×Ic（W）Ic：電流コンプライアンス設定


消費電力

Vc≦0.2 40×Io（W）0.2＜Vc≦2 40×Io（W）2＜Vc≦40 40×Io（W）Vc：電圧コンプライアンス設定 Io：出力電流

MCSMU測定／出力範囲消費電力パルスのみ

DCとパルス電流（A）

電圧（V）

11

SMU印加測定モード

HPSMU/MPSMUの場合：電圧印加電流測定、電流印加電圧測定HCSMU/MCSMU/HVSMUの場合：電圧印加電流測定、電圧印加電圧測定、電流印加電圧測定、電流印加電流測定

接続端子：

HPSMU/MPSMUの場合：デュアルトライアキシャルコネクタ、ケルビン（リモートセンシング）

HCSMUの場合：トライアキシャルコネクタ（センス）コアキシャルコネクタ（フォース）ケルビン（リモートセンシング）

MCSMUの場合：デュアルトライアキシャルコネクタ、ケルビン（リモートセンシング）

HVSMUの場合：高電圧トライアキシャルコネクタ、非ケルビン

電圧／電流コンプライアンス（リミット）SMUは、DUTの損傷を防止するために出力電圧または電流を制限できます。

電圧コンプライアンス：0 V～±200 V（HPSMU） 0 V～±100 V（MPSMU）0 V～±40 V（HCSMU） 0 V～±30 V（MCSMU）0 V～±3000 V（HVSMU）電流コンプライアンス：±1 pA～±1 A（HPSMU） ±1 pA～±100 mA（MPSMU）±10 nA～±20 A（HCSMU） ±10 nA～±1 A（MCSMU）±1 pA～±8 mA（HVSMU）コンプライアンス設定確度：電流/電圧の設定確度と同じ

出力コンプライアンス

HPSMUの場合：出力：0.001 W～ 20 W分解能：0.001 W

MPSMUの場合：出力：0.001 W～ 2 W分解能：0.001 W

HCSMUの場合：出力：0.001 W～ 40 W（DC）0.001 W～ 400 W（パルス）分解能：0.001 W

MCSMUの場合：出力：0.001 W～ 3 W（DC）0.001 W～ 30 W（パルス）分解能：0.001 W”

HVSMUの場合：出力コンプライアンスなし

パルス測定

HPSMU/MPSMUの場合：パルス幅：500 μs～ 2 sパルス幅分解能：100 μsパルス周期：5 ms～ 5 s周期≧遅延時間＋パルス幅＋2 ms（遅延時間＋パルス幅≦100 msの場合）周期≧遅延時間＋パルス幅＋10 ms（遅延時間＋パルス幅＞100 msの場合）パルス周期分解能：100 μsパルス遅延時間：0 s

HCSMUの場合：パルス幅：

50 μs～ 1 ms（20 Aレンジ）50 μs～ 2 s（10 μA～ 1 Aレンジ）

パルス幅分解能：2 μsパルス周期：5 ms～ 5 sパルス周期分解能：100 μsパルスデューティ

20 Aレンジの場合：≦1 ％10 μA～ 1 Aレンジ周期≧遅延時間＋パルス幅＋2 ms（遅延時間＋パルス幅≦100 msの場合）周期≧遅延時間＋パルス幅＋10 ms（遅延時間＋パルス幅＞100 msの場合）パルス遅延時間：0 s～（周期－パルス幅）

MCSMUの場合：パルス幅：

10 μs～ 100 ms（1 Aレンジ）10 μs～ 2 s（10 μA～ 100 mA レンジ）

パルス幅分解能：2 μsパルス周期：5 ms～ 5 sパルス周期分解能：100 μsパルスデューティ：

1 Aレンジの場合：≦5 ％10 μA～ 100 mAレンジの場合：

周期≧遅延時間＋パルス幅＋2 ms（遅延時間＋パルス幅≦100 msの場合）周期≧遅延時間＋パルス幅＋10 ms（遅延時間＋パルス幅＞100 msの場合）パルス遅延：0 s～（周期－パルス幅）

HVSMUの場合：パルス幅：500 μs～ 2 sパルス幅分解能：2 μsパルス周期：5 ms～ 5 s周期≧遅延時間＋パルス幅＋2 ms（遅延時間＋パルス幅≦100 msの場合）周期≧遅延時間＋パルス幅＋10 ms（遅延時間＋パルス幅＞100 msの場合）

パルス周期分解能：100 μsパルス遅延時間：0 s～（周期－パルス幅）パルス出力の制限：パルス電圧が1500 Vを超える場合、パルスピークとベースは同一極性であること

パルス測定遅延：2 μs～（周期－パルス測定時間－2 m）s、2 μs分解能

補足特性

電流コンプライアンス設定確度（反対極性側に設定した場合）：

HPSMU/MPSMUの場合：1 pA～ 10 nAレンジの場合：電流／電圧設定確度±レンジの12 ％

100 nA～ 1 Aレンジの場合：電流／電圧設定確度±レンジの2.5 ％

HCSMU/MCSMUの場合：10 μA～ 1 Aレンジの場合：電流／電圧設定確度±レンジの2.5 ％

20 Aレンジの場合（HCSMU）：電流／電圧設定確度±レンジの0.6 ％

HVSMUの場合：1 nA～ 10 nAレンジの場合：電流／電圧設定確度±レンジの12 ％

100 nA～ 10 mAレンジの場合：電流／電圧設定確度±レンジの2.5 ％

12

MCSMUの場合：センス：10 Ωフォース：1 Ω （ロー・フォース）

最大許容インダクタンス：

HCSMU/MCSMUの場合：フォース：3 μH （ロー・フォースをシールドとして使った場合）

最大負荷容量：

HPSMU/MPSMUの場合：1 pA～ 10 nAレンジ：1000 pF100 nA～ 10 mAレンジ：10 nF100 mAレンジ、1 Aレンジ：100 μF

HCSMUの場合：10 μA～ 10 mAレンジ：12 nF100 mA～ 20 Aレンジ：100 μF

MCSMUの場合：10 μA～ 10 mAレンジ：12 nF100 mA～ 1 Aレンジ：100 μF

HVSMUの場合：1 nA～ 1 μAレンジ：1000 pF10 μA～ 10 mAレンジ：10 nF

最大ガード容量：900 pF（HPSMU/MPSMU）1500 pF（HVSMU）

許容シールド容量：5000 pF（HPSMU/MPSMU/HVSMU）

ノイズ特性：

HPSMU/MPSMU/HVSMUの場合（HPSMU/MPSMUはフィルターオン）電圧源：電圧レンジの0.01 ％（rms）

電流源：電流レンジの0.1 ％（rms）

HCSMUの場合：電圧／電流源：最大100 mV（0～ピーク値）

MCSMUの場合：電圧／電流源：最大200 mV（0～ピーク値）

オーバシュート：

（全SMUでフィルターオン）HPSMU/MPSMUの場合：電圧源：電圧レンジの0.03 ％電流源：電流レンジの1 ％

HCSMU/MCSMUの場合（フィルターオン）：電圧／電流源：レンジの10 ％

HVSMUの場合：電圧源：1 V（抵抗負荷時）電流源：電流レンジの1 ％

レンジ切り替え時の過渡ノイズ：

HPSMU/MPSMUの場合（フィルターオン）：電圧レンジの切り替え：250 mV電流レンジの切り替え：70 mV

HCSMU/MCSMUの場合：10 μA～ 1 Aレンジ：電圧レンジの切り替え：250 mV電流レンジの切り替え：70 mV

20 Aレンジ：電圧レンジの切り替え：最大5 V

HVSMUの場合：電圧レンジの切り替え：300 mV電流レンジの切り替え：300 mV

最大ガードオフセット電圧：±1 mV（HPSMU）±3 mV（MPSMU）±5 mV（HVSMU）

最大スルーレート：0.2 V/μs（HPSMU/MPSMU）1 V/μs（HCSMU/MCSMU）0.4 V/μs（HVSMU）

出力セトリング時間

HVSMUの場合：出力セトリング時間：500 μsセトリング値の0.01 ％に達するまで。条件：

100 Vステップ、8 mAコンプライアンス、1000 pF負荷容量

SMUパルス設定確度（固定測定レンジ）：

HPSMU/MPSMUの場合：パルス幅：±0.5 ％±50 μs周期：±0.5 ％±100 μs

HCSMU/MCSMUの場合：パルス幅：±0.1 ％±2 μs周期：±0.1 ％±100 μs

HVSMUの場合：パルス幅：±0.1 ％±2 μs周期：±0.5 ％±100 μs

最小パルス測定時間：16 μs（HPSMU/MPSMU）2 μs（HCSMU/MCSMU）6 μs（HVSMU）

電圧出力抵抗：（フォースライン、非ケルビン接続）

0.2 Ωs（HPSMU）0.3 Ω（MPSMU）3 Ω（HVSMU、10 mAレンジ）

電圧測定の入力抵抗：≧1013 Ω（HPSMU/MPSMU）≧109 Ω（HCSMU、MCSMU、≦1 A）、80 kΩ（HCSMU、20 A）≧1012 Ω（HVSMU）

電流出力抵抗：

≧1013 Ω（HPSMU/MPSMU）≧109 Ω（HCSMU、MCSMU、≦1 A）、80 kΩ（HCSMU、20 A）≧1012 Ω（HVSMU、10 nAレンジ）

最大許容ケーブル抵抗：（ケルビン接続）HPSMU/MPSMUの場合：センス：10 Ωフォース：10 Ω（≦100 mA）、

1.5 Ω（＞100 mA）HCSMUの場合：センス：10 Ωフォース：0.6 Ω （ロー・フォース）

13

測定機能

測定パラメータ：Cp-G、Cp-D、Cp-Q、Cp-Rp、Cs-Rs、Cs-D、Cs-Q、Lp-G、Lp-D、Lp-Q、Lp-Rp、Ls-Rs、Ls-D、Ls-Q、R-X、G-B、Z-θ、Y-θレンジ切り替え：自動（Auto）または固定（Fixed）測定端子：

4端子対構造個のBNC（female）コネクタケーブル長：

1.5 mまたは3 m、アクセサリの自動識別

測定信号

測定周波数：設定範囲：1 kHz～ 5 MHz分解能：最小1 mHz確度：±0.008 ％

信号レベル：レンジ：10 mVrms～ 250 mVrms

設定分解能：1 mVrms

設定確度（オープン負荷）：±（10.0 ％＋1 mVrms）、MFCMUの測定ポートでMFCMUケーブル±（15.0 ％＋1 mVrms）、（1.5 m/3.0 m）の測定ポートで

出力インピーダンス：50 Ω、代表値信号レベル・モニタ：測定範囲：10 mVrms～ 250 mVrms

測定確度：±（10.0 ％＋1 mVrms）MFCMUの測定端子においてMFCMUケーブル±（15.0 ％＋1 mVrms）、（1.5 m/3.0 m）の測定ポートで

DCバイアス機能

DCバイアス設定範囲：0～±25 V設定分解能：1 mV設定確度：±（0.5 ％＋5.0 mV）測定ポートまたはMFCMU/MFCMUケーブル（1.5 m/3 m）で

最大DCバイアス電流（補足特性）：

インピーダンス測定レンジ

最大DCバイアス電流

50 Ω 10 mA

100 Ω 10 mA

300 Ω 10 mA

1 kΩ 1 mA

3 kΩ 1 mA

10 kΩ 100 μA

30 kΩ 100 μA

100 kΩ 10 μA

300 kΩ 10 μA

出力インピーダンス：50 Ω（代表値）DCバイアス・モニタ：測定範囲：0～±25 V測定確度（オープン負荷）：MFCMUケーブル±（読み値の0.2 ％＋10.0 mV）、（1.5 m/3 m）の測定ポートで

掃引機能使用可能な掃引パラメータ：測定信号レベル、DCバイアス電圧、周波数

掃引タイプ：リニア、ログ掃引方向：アップ／ダウン掃引測定点：最大1001点

測定確度MFCMUまたはMFCMUケーブル（1.5 m/3 m）の測定ポートでのインピーダンスの測定確度を表すのに、以下のパラメータを用いています。

ZX：インピーダンスの測定値（Ω）

DX：Dの測定値

E＝EP’＋（ZS’/｜ZX｜＋YO’｜ZX｜）×100（％）

EP’＝EPL＋EPOSC＋EP（％）

YO’＝YOL＋YOSC＋YO（S）

ZS’＝ZSL＋ZOSC＋ZS（Ω）

｜Z｜の確度 ±E（％）

θの確度 ±E/100（ラジアン）

Cの確度 DX≦0.1の場合 ±E（％） DX＞0.1の場合 ±E×（1＋DX

2）1/2（％）

Dの確度 DX≦0.1の場合 ±E/100 DX＞0.1の場合 ±E×（1＋DX）/100

Gの確度 DX≦0.1の場合 ±E/DX（％） DX＞0.1の場合 ±E×（1＋DX

2）1/2 / DX（％）

注記：測定確度は、以下の条件が満たされたときに適用されます温度：23 ℃±5 ℃積分時間：1 PLC

MFCMU（マルチ周波数容量測定ユニット）モジュール仕様

14

パラメータ EPOSC、ZOSC

測定信号レベル EPOSC［％］ ZOSC［mΩ］125 mV＜VOSC≦250 mV 0.03×（250/VOSC－1） 5×（250/VOSC－1）64 mV＜VOSC≦125 mV 0.03×（125/VOSC－1） 5×（125/VOSC－1）32 mV＜VOSC≦64 mV 0.03×（64/VOSC－1） 5×（64/VOSC－1）VOSC≦32 mV 0.03×（32/VOSC－1） 5×（64/VOSC－1）注：VOSCは測定信号レベル［mV］

パラメータEPL YOL ZSL

測定ケーブル長 EPL［％］ YOL［nS］ ZSL［mΩ］1.5 m 0.02＋3×f/100 750×f/100 5.0

3 m 0.02＋5×f/100 1500×f/100 5.0注：fは周波数［MHz］

パラメータ YOSC、YO、Ep、ZS

周波数 YOSC［nS］ YO［nS］ EP［％］ ZS［mΩ］

1 kHz≦f≦200 kHz 1×（125/VOSC－0.5） 1.5 0.095 5.0

200 kHz≦f≦1 MHz 2×（125/VOSC－0.5） 3.0 0.095 5.0

1 MHz＜f≦2 MHz 2×（125/VOSC－0.5） 3.0 0.28 5.0

2 MHz＜f 20×（125/VOSC－0.5） 30.0 0.28 5.0注：fは周波数［Hz］注：VOSCは測定信号レベル［mV］

キャパシタンス／コンダクタンスの測定確度の計算例周波数測定キャパシタンスキャパシタンス

測定確度 1測定コンダクタンスコンダクタンス

測定確度 1

5 MHz 1 pF ±0.61 ％ ≦3 μS ±192 nS

10 pF ±0.32 ％ ≦31 μS ±990 ns

100 pF ±0.29 ％ ≦314 μS ±9 μS

1 nF ±0.32 ％ ≦3 mS ±99 μS

1 MHz 1 pF ±0.26 ％ ≦628 nS ±16 nS

10 pF ±0.11 ％ ≦6 μS ±71 nS

100 pF ±0.10 ％ ≦63 μS ±624 nS

1 nF ±0.10 ％ ≦628 μS ±7 μS

100 kHz 10 pF ±0.18 ％ ≦628 nS ±11 nS

100 pF ±0.11 ％ ≦6 μS ±66 nS

1 nF ±0.10 ％ ≦63 μS ±619 nS

10 nF ±0.10 ％ ≦628 μS ±7 μS

10 kHz 100 pF ±0.18 ％ ≦628 nS ±11 nS

1 nF ±0.11 ％ ≦6 μS ±66 nS

10 nF ±0.10 ％ ≦63 μS ±619 nS

100 nF ±0.10 ％ ≦628 μS ±7 μS

1 kHz 100 pF ±0.92 ％ ≦63 μS ±6 nS

1 nF ±0.18 ％ ≦628 nS ±11 nS

10 nF ±0.11 ％ ≦6 μS ±66 nS

100 nF ±0.10 ％ ≦63 μS ±619 nS1. キャパシタンスおよびコンダクタンスの測定確度は、以下の条件で規定されています。

DX＝0.1 積分時間：1 PLC 測定信号レベル：30 mVrms MFCMUの4端子対測定端子において

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超大電流（UHC）エクスパンダ／フィクスチャ（N1265A）仕様

仕様

機能：フィクスチャ機能電流エクスパンダ機能 B1505Aの電流能力を1500 Aまで拡張します。電流能力は、超大電流ユニット（UHCU）を使用して拡張されます。UHCUは、外部モジュールと、2台のMCSMUまたはHCSMU（混合も可）で構成されます。

セレクタ機能これにより、UHCUとセレクタの入力ポートに接続されている他のモジュールとの間で、出力を切り替えることができます。高電圧入力ポートでサポートされているモジュールは、HVSMUとHVMCUです。SMU入力ポートでサポートされているモジュールは、HPSMUとMPSMUです。

チャネル：

チャネル数入力出力SMU 6（非ケルビン接続使用時）

3（ケルビン接続使用時）トライアキシャル 1 バナナ

UHV 1 UHV同軸（ハイ）、SHV（ロー） UHV同軸（ハイ）、SHV（ロー）バイアスティー

1 SHV×2（ハイ、ロー） SHV×2（ハイ、ロー）

ゲート制御 1 トライアキシャル×2 （フォース、センス）

バナナ×2（ハイ、ロー）

セレクタ 12 HVトライアキシャル×1トライアキシャル×2 （フォース、センス）

バナナ×6（ハイ・フォース／センス、ロー・フォース／センス、ガード、シャーシ）

1. SMU 3ポートに、HCSMUかデュアルHCSMUのいずれかを接続できます。 2. 出力端子には、UHCU、または他の2つのセレクタ入力端子のうちの1つに接続されているモジュールを接続できます。

セレクタ・チャネルの最大出力：

HVSMU出力：±3000 V/4 mA、±1500 V/8 mA

HVMCU出力：±2200 V/1.1 A、±1500 V/2.5 A

HPSMU出力：±200 V/1 A

MPSMU出力：±100 V/100 mA

UHCU出力：±60 V/1500 Aまたは500 A

各モジュールの仕様を参照。

ゲート制御チャネル：

非ケルビン接続

最大電圧：±40 V

最大電流：±1 Aパルス、100m A DC。

出力抵抗：0 Ω/10 Ω/100 Ω/1000 Ω（公称値）

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UHCU：

出力ピークパワー電流レンジピークパワー

±500 A 7.5 kW

±1500 A 22.5 kW

電圧レンジ、分解能、確度電圧レンジ設定分解能測定分解能設定確度1、2、3 測定確度1、3

±60 V 200 μV 100 μV ±（0.2 ％＋10 mV） ±（0.2 ％＋10 mV）

1. ±（読み値の％＋オフセットの固定項（mV）） 2. 設定確度はオープン負荷で定義されています。3. 確度は、1 msパルス幅（500 Aレンジ）および500 μsパルス幅（1500 Aレンジ）で定義されています。

電流レンジ、分解能、確度1

電流レンジ設定分解能測定分解能設定確度2、3 測定確度2、3

±500 A 1 mA 500 μA ±（0.6 ％＋0.3 A＋0.01 AxVo） ±（0.6 ％＋0.3 A＋0.01 AxVo）±1500 A 4 mA 2 mA ±（0.8 ％＋0.9 A＋0.02 AxVo） ±（0.8 ％＋0.9 A＋0.02 AxVo）

1. 電流パルス・モードの場合の最大電圧コンプライアンスは、63 Vです。＞400 A（500 Aレンジ）と＞1200 A（1500 Aレンジ）は、補足特性です。 2. 確度は、1 msパルス幅（500 Aレンジ）および500 μsパルス幅（1500 Aレンジ）で定義されています。3. ±（読み値の％＋オフセットの固定項（A）＋オフセットの比例項（A））、Voは出力電圧。

UHCUパルス幅／分解能電流レンジ電圧パルス幅電流パルス幅分解能パルス周期1

500 A 10 μs～ 1 ms 10 μs～ 1 ms 2 μs デューティ≦0.4 ％1500 A 10 μs～ 500 μs 10 μs～ 500 μs 2 μs デューティ≦0.1 ％

1. 連続最大電流出力では、充電時間が不十分なために、出力電流が減少する場合があります。

17

UHC測定／出力範囲

UHCU出力は、パルスモードでのみ使用可能です。

上の図の式では、"I"は電流を、"V"は電圧を、"Rdut"は被試験デバイスのインピーダンスをそれぞれ表します。

その他の機能

フィルターフィルターはUHC出力（電流モード、 500 Aレンジ）に使用可能。熱電対入力：2個 Kタイプ熱電対入力2個温度範囲：-50 ℃～ 300 ℃。

その他の端子／インジケータデジタルI/O入力：1個デジタルI/O出力：1個パワーインジケータ：1個高電圧インジケータ：1個セレクタインジケータ：1個インターロック端子：1個アース端子：1個リストストラップ端子：1個

UHCU出力抵抗出力範囲公称値

500 A 120 mΩ1500 A 40 mΩ

補足特性

リーケージセレクタチャネル HVSMUのハイ・センス端子に印加：1n A未満 HPSMU/MPSMUのハイ・フォース端子に印加：10 nA未満

UHVUチャネル 1 nA未満

SMUチャネル 1 nA未満

熱電対読取り確度温度範囲確度0 ℃≦T＜100 ℃ ±2 ℃T≧100 ℃ ±5 ℃T＜0 ℃ ±5 ℃

電流（A）

電圧（V）

1500 Aレンジの測定／出力範囲

500 Aレンジの測定／出力範囲

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HVSMU電流エクスパンダ（N1266A）仕様

仕様

機能：電流エクスパンダ機能 HVSMUの電流能力を2.5 Aまで拡張します。電流能力は、高電圧中電流ユニット（HVMCU）を使用して拡張されます。HVMCUは、N1266Aのモジュール、HVSMU、2台のMCSMUから構成されます。

セレクタ機能これにより、出力端子の接続をHVMCUとHVSMUの間で切り替えることができます。HVSMUの出力は、直接または100 kΩ抵抗経由でルーティングできます。

出力端子：ハイ（HVトライアキシャル）ロー（BNC）

最大出力： HVSMU：±3000 V/4 mA、±1500 V/8 mA HVMCU：HVMCU仕様を参照

出力ピークパワー

電圧レンジ

ピークパワー

±2200 V 600 W

±1500 V 900 W

HVMCU

電圧レンジ、分解能、確度電圧レンジ設定分解能測定分解能設定確度1、2、3 測定確度1、2

±2200 V 3 mV 3 mV ±（5 ％＋20 V） ±（0.8 ％＋1.8 V） ±1500 V 1.5 mV 3 mV ±（5 ％＋20 V） ±（0.8 ％＋1.8 V）

1. ±（読み値の％＋オフセットの固定項（V））2. 確度は、100 μsパルス幅（1.1 Aレンジ）および1 msパルス幅（100 mAレンジ）で定義されています。3. 設定確度はオープン負荷で定義されています。

電流レンジ、分解能、確度1、2

電流レンジ測定分解能測定確度1

±2.5 A 4 μA ±（0.9 ％＋4 mA＋300 nA×Vo）±1.1 A 4 μA ±（0.9 ％＋4 mA＋300 nA×Vo）±110 mA 200 nA ±（0.9 ％＋20 mA＋300 nA×Vo）

1. 補足特性（＞1.1 A）。2. 適用条件：20回のアベレージング

19

その他の端子／インジケータ

デジタルI/O入力：1個デジタルI/O出力：1個パワーインジケータ：1個セレクタインジケータ：1個

出力抵抗出力範囲公称値

1500 V/2.5 A 600 Ω2200 V/1.1 A 2000 Ω2200 V/110 mA 20000 Ω

補足特性

HVMCUパルス幅／分解能

出力範囲パルス幅分解能

1500 V/2.5 A 10 μs～ 100 μs 2 μs

2200 V/1.1 A 10 μs～ 100 μs 2 μs

2200 V/110 mA 10 μs～ 1 ms 2 μs

HVMCU測定／出力範囲

HVMCUの出力は、パルスモードでのみ使用可能です。

上の図の式では、"I"は電流を、"V"は電圧を、"Rdut"は被試験デバイスのインピーダンスをそれぞれ表します。

HVMCU電荷容量：0.22 μF

リーケージセレクタ出力 HVSMU：80 pA未満

電流（A）

電圧（V）

測定／出力範囲

20

超高電圧（UHV）エクスパンダ（N1268A）仕様

仕様電圧レンジ、分解能、確度1

電圧レンジ設定分解能測定分解能設定確度2、3 測定確度2

±10 kV 10 mV 10 mV ±（1.2 ％＋42 V） ±（1.2 ％＋42 V）

1. N1268Aでの制御／測定には、2台のMCSMUまたはHCSMUとMCSMUの組み合わせが必要です。2. ±（読み値の％＋オフセットの固定項（V））3. 設定確度はオープン負荷で定義されています。

電流レンジ、分解能、確度1

電流レンジ測定分解能測定確度2

±10 μA 10 pA ±（0.06 ％＋2 nA＋1 nAｘVo）±100 μA 100 pA ±（0.06 ％＋20 nA＋1 nAｘVo）±1 mA 1 nA ±（0.06 ％＋200 nA＋1 nAｘVo）±10 mA 10 nA ±（0.06 ％＋2 μA＋1 nAｘVo）±100 mA3 100 nA ±（0.06 ％＋20 μA＋1 nAｘVo）

1. N1268Aでの制御／測定には、2台のMCSMUまたはHCSMUとMCSMUの組み合わせが必要です。 2. ±（読み値の％＋オフセットの固定項（A）＋オフセットの固定項（A））3. パルスモードのみ（最大パルス幅は1 ms）。最大電流は20 mA。

UHV測定／出力範囲

その他の端子／インジケータデジタルI/O入力：1個パワーインジケータ：1個高電圧インジケータ：1個インターロック端子入力：1個インターロック端子出力：1個アース端子：1個

UHVU出力抵抗出力範囲公称値

ハイ 10000 Ωロー 1000 Ω

補足特性

その他のAC特性スルーレート 100 V/µs（1 mケーブル使用時）オーバシュート設定電圧の±1 ％リップル 3 Vp-p

最大負荷容量 5 nF

最大負荷インダクタンス 5 µH

UHVパルス幅／分解能出力範囲パルス幅分解能100 mA 100 μs

～ 1 ms2 μs

≦10 mA 100 μs～ 2 s

2 μs

出力端子ハイ：UHV同軸ロー：SHV

パルス周期最小値：10 ms最大値：5 s

パルスのみ

DCとパルス

電流（A）

電圧（V）

21

N1267A 高電圧ソース／モニタ・ユニットと大電流ソース／モニタ・ユニットの高速スイッチング

機能N1267Aでは、HVSMUとHCSMUの高速切り替えが可能で、窒化ガリウムデバイスの電流コラプスの影響を測定することができます。

N1267Aスイッチを制御するには、B1505AメインフレームにMCSMUを1台搭載する必要があります。DUT（被試験デバイス）のゲートは、MCSMUまたはHCSMUでドライブできます。

注記1：N1267Aは、B1513B/C HVSMUでのみ使用可能です。B1513A HVSMUでは使用できません。注記2：N1267Aは、HCSMU 40 A 2台構成には対応していません。注記3：N1267Aは、N1265Aテストフィクスチャ／電流エクスパンダをサポートしていません。

仕様入力端子：HVSMUポート 1個（HVトライアキシャル）HCSMUポート 1個（フォース：BNC、センス：トライアキシャル）MCSMUポート 1個（フォース／センス：トライアキシャル）GNDポート 1個（トライアキシャル）出力端子：ハイ（HVトライアキシャル）、ロー（BNC）最大電流：20 A最大電圧：3000 V

測定モードGaN電流コラプス（ダイナミックI-V）測定モード 1. I-Vタイムドメイン測定 2. I-Vトレース測定静特性モード 1. Id-Vds、Vf-If測定 2. Id（off）-Vds、Vr-Ir測定

出力／測定範囲

電流（A）

電圧（V）

パルスモードのみ

HVSMU/HCSMUスイッチング（FET測定用）

HVSMU/HCSMUスイッチング（ダイオード測定用）

パルスモードのみ

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OFF状態のHVSMU出力設定範囲

電圧電流

＋1 V～＋3000 V 1 4 mA（V＞1500 V）、8 mA（V≦1500 V）

GaN電流コラプス測定モードGaN電流コラプス測定ではまず、OFF状態のDUTにHVSMUにより高電圧を印加し、その後、HVSMUにより電圧測定、HCSMUによりI-V測定を実行して、ON状態のDUTの特性をモニタします。ON状態測定では、HVSMUにより電圧を測定し、HVSMUとHCSMUの両方で全電流を測定します。

1 ON状態における電圧値＋1 V以上の値を設定する必要があります。

ON状態のHCSMU出力設定範囲電圧電流

0 V～±40 V 2最大値最小値20 Aパルス（V≦20 V）/1 A DC 20 mA 3

2 被試験デバイス（DUT）に実際に印加される電圧は、設定値－スイッチの電圧降下。3 HCSMUの出力電流とHVSMUの出力電流の全電流がDUTに流れます。

最小電圧測定分解能（OFF状態）：200 μV最小電流測定分解能（ON状態）：100 nA最小遷移時間（OFFからON）：20 μsOFF状態持続時間設定：10 ms～ 655.35サンプリング間隔：2 μs～ 12 μs（電流）、6 μs（電圧）ON状態最小持続時間：50 μs

静特性モード以下の情報は、DUTのON状態の静特性測定に適用されます。N1267Aは、これらの測定中はDUTをON状態に維持します。HVSMUは、0 V（1 μAコンプライアンス）を印加して、VdsまたはVfを測定します。HCSMUも同時にI-V測定を実行します。HCSMUとHVSMUによって測定された全電流を加算することによって、IdまたはIfが求められます。

Id-Vds、Vf-If測定のHCSMU出力設定範囲電圧電流

0 V～±40 V最大値最小値20 Aパルス（V≦20V）/1 A DC 20 mA 4

4 Id-Vds、If-Vf測定のオフセット誤差は、1 µA（代表値）

最小電圧測定分解能：200 μV最小電流測定分解能：10 pA 4

以下の情報は、DUTのOFF状態の静特性測定に適用されます。N1267Aは、これらの測定中はDUTをOFF状態に維持します。HCSMUは0 Vを印加します。HVSMUも同時にI-V測定を実行して、VdsまたはVrを測定します。HCSMUとHVSMUによって測定された全電流を加算することによって、Id（Off）またはIrが求められます。

Id（off）-Vds、Vr-Ir測定のHVSMU出力設定範囲電圧電流

0 V～＋3000 V 最大値最小値4 mA（V＞1500 V）、8 mA （V≦1500 V）

10 μA 5

5 Idss、Ir-Vr測定のリーケージ誤差は、2 nA（代表値）

最小電圧測定分解能：200 μV最小電流測定分解能：10 pA 5

23

N1258Aモジュールセレクタ

仕様入力端子：

HPSMUフォースポート1 1個（トライアキシャル）HPSMUセンスポート1 1個（トライアキシャル）HCSMUフォースポート 1個（BNC）HCSMUセンスポート 1個（トライアキシャル）HVSMUポート2 1個（HVトライアキシャル）GNDUポート 1個（トライアキシャル）デジタルI/Oポート 1個（D-sub 25ピン）AC電源コネクタ 1個1. HPSMUポートには、HPSMUかMPSMUを接続できます。

2. HVSMUポートには、HVSMUかHVMCUを接続できます。

出力端子：ハイ・フォース（HVトライアキシャル）ハイ・センス（HVトライアキシャル）ロー・フォース（BNC）ロー・センス（BNC）外部リレー制御出力（D-sub 25ピン）

プロテクション：HPSMU、GNDU、HCSMUロー・フォース

パワーインジケータ：LED黄色点灯：（AC電源ON時）（モジュール・セレクタ使用可能時）ステータスインジケータ：

LED緑色点灯：（オープン、HCSMU、HPSMU、またはHVSMUの接続パスを示す）

最大電圧／電流：HPSMUポートの場合：±200 V/1 A

HCSMUポートの場合：±40 V/2 A、±20 V/30 A （パルス幅1 ms、デューティ 1 ％）

HVSMUポートの場合：±3000 V/4 mA、±1500 V/2.5 A、 ±2200 V/1.1 A

補足特性リーク電流：

HPSMUの場合：10 pA（200 V印加時）

HCSMUの場合：100 pA（10 V印加時、ハイ・フォースからロー・フォース、ハイ・センスからロー・センス）

HVSMUの場合：10 pA（1500 V印加時、湿度：20 ％～70 ％ RH）20 pA（3000 V印加時、湿度：20 ％～50 ％ RH）

N1259Aテストフィクスチャ


HPSMUポート1 2個フォース、センス（トライアキシャル）

HCSMUポート 2個フォース（BNC）、センス（トライアキシャル）

HVSMUポート2 1個（HVトライアキシャル）GNDUポート 1個（トライアキシャル）AUXポート 2個（BNC）インターロックポート 1個

1. HPSMUポートには、HPSMUかMPSMUを接続できます。


プロテクション：HPSMU、GNDU、HCSMUロー・フォース端子

高電圧プインジケータ：LED赤点灯（SMU出力電圧が42 Vを超えるとき）

最大電圧／電流：HPSMUポートの場合：フォース：±200 V/1 Aセンス：±200 V

HCSMUポートの場合：ハイ・フォース：±40 V/2 A、±20 V/40 A（パルス幅1 ms、デューティ 1 ％）ロー・フォース：±40 V/2 A、±20 V/40 A（パルス幅1 ms、デューティ 1 ％）ハイ・センス：±40 Vロー・センス：±40 V

HVSMUポートの場合：フォース：±3000 V/4 mA、±1500 V/2.5 A、±2200 V/1.1 A

注：動作温度＞35 ℃の環境で、N1259Aを使用する場合、全モジュールによる合計消費電力が50 Wを超えてはいけません。


HPSMU（フォース、センス）ポートの場合：

10 pA（200 V印加時）HCSMU（ハイ・フォース、ハイ・センス）ポートの場合：100 pA（10 V印加時）HVSMU（フォース）ポートの場合：

10 pA（1500 V印加時、湿度：20 ％～70 ％ RH）20 pA（3000 V印加時、湿度：20 ％～50 ％ RH）

N1259A-010インライン・パッケージ・ソケット・モジュール（3ピン）

仕様端子数：ソケット 6個（直経4 mmジャック（バナナ））

DUTインタフェース：インライン・パッケージ・ソケット（3ピン）対端子許容電圧：

3000 Vdc

N1259A-010インライン・パッケージ・ソケット・モジュール（3ピン）

仕様端子数：ソケット 8個（直経4 mmジャック（バナナ））対端子許容電圧：

3000 Vdc

アクセサリ

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N1259A-013カーブトレーサ・テスト・アダプタ・ソケット・モジュール

仕様端子数：ソケット 6個（直径4 mmジャック（バナナ））テストアダプタ端子（*）：ソケット 6個（直径4 mmジャック（バナナ））対端子許容電圧： 3000 V Vdc 対端子許容電流：コレクタ／ドレイン・フォースおよびエミッタ／ソース・フォースの場合39 A（DC）、500 A（パルス）

その他の場合 1 A（DC）、20 A（パルス）

（*）端子には、テクトロニクス社カーブ・トレーサ（370B/371B）用のテストアダプタが装着できます。

N1259A-020高電圧バイアスティー


DCバイアス入力 1個（直経4 mmジャック（バナナ））MFCMUポート 1個

Hcur、Hpot、Lcur、Lpot、（BNC）ガード入力 1個（直径4 mmバナナ・ジャック）

出力端子：MFCMUポートハイ（SHV）ロー（SHV）

外部DCバイアス電圧：±3000 V周波数：

10 kHz～ 1 MHz（10 kHzにおいて150 Ω）直列容量：110 nF±5 ％入力抵抗：100 kΩ±1 ％

N1259A-021 1 MΩ 抵抗ボックス

仕様入力／出力端子：直経4 mmジャック（バナナ） 1個

抵抗値：1 MΩ±5 ％最大電圧：±3000 V電力定格：9 W

補足特性リーク電流：10 pA（100 V印加時）

N1259A-022 100 kΩ 抵抗ボックス


抵抗値：100 kΩ±5 ％最大電圧：±3000 V電力定格：6.4 W


N1259A-030 ゲート用1 kΩ 抵抗ボックス


抵抗値：1 kΩ±10 ％最大電圧：±200 V電力定格：1 W


N1259A-035ユニバーサル抵抗ボックス

仕様入力／出力端子：直径4 mmバナナジャック 1個抵抗：ユーザーがインストール対端子許容電圧：±3000 V

N1259A-300 テスト・フィクスチャ用モジュール・セレクタ


HPSMUポート1 1個フォース、センス（トライアキシャル）

HCSMUポート 1個フォース（BNC）、センス（トライアキシャル）

HVSMUポート2 1個（HVトライアキシャル）GNDUポート 1個（トライアキシャル）デジタルI/Oポート 1個（D-sub 25ピン）AC電源コネクタ 1個



出力端子：ハイ・フォースとガードハイ・センスとガードロー・フォースロー・センス（直経4 mmジャック（バナナ））プロテクション：

HPSMU、GNDU、HCSMUロー・フォースパワーインジケータ：

LED黄色点灯：（AC電源ON時）（モジュール・セレクタ使用可能時）ステータスインジケータ：

LED緑色点灯：（オープン、HCSMU、HPSMU、またはHVSMUの接続パスを示す）

最大電圧／電流：HPSMUポートの場合： ±200 V/1 A

HCSMUポートの場合： ±40 V/2 A、±20 V/30 A （パルス幅1 ms、デューティ 1 ％）

HVSMUの場合：±3000 V/4 mA、 ±1500 V/2.5 A、±2200 V/1.1 A


HPSMUの場合：10 pA（200 V印加時）

HCSMUの場合：100 pA（10 V印加時、ハイ・フォースからロー・フォース、ハイ・センスからロー・センス）

HVSMUの場合：10 pA（1500 V印加時、湿度：20 ％～70 ％ RH）30 pA（3000 V印加時、湿度：20 ％～50 ％ RH）

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N1260A高電圧バイアスティー


HVSMUポート 1個（HVトライアキシャル）

MFCMUポート 1個（4 BNC、Hp、Hc、Lp、Hc）出力端子：

H-ACガード（SHVコネクタ）L-ACガード（SHVコネクタ）

外部DCバイアス電圧：±3000 V周波数：

10 kHz～ 1 MHz（10 kHzにおいて150 Ω）直列容量：110 nF±5 ％入力抵抗：100 kΩ±1 ％

N1261Aプロテクションアダプタ

N1261A-001 HPSMU用プロテクションアダプタ（トライアキシャル出力）

仕様入力端子：フォース（トライアキシャル）センス（トライアキシャル）

出力端子：フォース（トライアキシャル）センス（トライアキシャル）



N1261A-002 GNDU用プロテクションアダプタ（BNC出力）

仕様入力端子：フォース／センス（トライアキシャル）

出力端子：フォース（BNC）センス（BNC）

N1261A-001 HPSMU用プロテクションアダプタ（トライアキシャル出力）

仕様入力端子1：フォース（トライアキシャル）センス（トライアキシャル）

出力端子：フォース（HVトライアキシャル）センス（HVトライアキシャル）



N1261A-004 GNDU用プロテクションアダプタ（SHV出力）

仕様入力端子：フォース／センス（トライアキシャル）

出力端子：フォース（SHV）センス（SHV）

N1262A抵抗ボックス

N1262A-001 1 MΩ抵抗ボックス


HVSMUポート 1個（HVトライアキシャル）出力端子：

SHVコネクタ 1個抵抗値：1 MΩ±5 ％最大電圧：±3000 V電力定格：9 W

補足特性リーク電流： 10 pA（100 V印加時）

N1262A-002 100 kΩ抵抗ボックス


HVSMUポート 1個（HVトライアキシャル）

出力端子：SHVコネクタ 1個

抵抗：100 kΩ±5 ％最大電圧：±3000 V電力定格：6.4 W


N1262A-010 ゲート用 1 kΩ抵抗ボックス（トライアキシャル出力）

仕様入力端子：トライアキシャルコネクタ 1個

出力端子：トライアキシャルコネクタ 1個

抵抗：1 kΩ±10 ％最大電圧：±200 V電力定格：1 W


N1262A-011 ゲート用 1 kΩ抵抗ボックス（SHV出力）


HVトライアキシャルコネクタ 1個出力端子：

SHVコネクタ 1個抵抗：1 kΩ±10 ％最大電圧：±3000 V電力定格：1 W


N1262A-020ユニバーサル抵抗ボックス、トライアキシャル

仕様入力端子：トライアキシャルコネクタ 1個

出力端子：トライアキシャルコネクタ 1個

抵抗：ユーザーがインストール対端子許容電圧：±200 V

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N1262A-021ユニバーサル抵抗ボックス、HVトライアキシャル-SHV


HVSMUポート 1個（HVトライアキシャル）出力端子：

SHVコネクタ 1個抵抗：ユーザーがインストール対端子許容電圧： ±3000 V

N1262A-023超高電圧用ユニバーサル抵抗ボックス


UHV同軸コネクタ 1個出力端子：

UHV同軸コネクタ 1個抵抗：ユーザーがインストール対端子許容電圧： ±10 kV

N1262A-036 50 Ω 終端アダプタ

仕様入力端子（BNC）出力端子（BNC）電力定格：1 W

N1265A用アクセサリ

N1254A-524 500 A 超大電流プローバ・システム・ケーブル

仕様入力端子：8個（直径4 mmジャック（バナナ））セレクタ出力ハイ・フォースハイ・センスロー・フォースロー・センスガード

ゲート出力ハイ・フォースロー・フォース

シャーシ出力端子

ハイ・フォース（直径4 mmジャック（バナナ））ロー・フォース（直径4 mmジャック（バナナ））ハイ・センス（HVトライアキシャル）ロー・センス（BNC）ゲート（BNC）

最大電圧／電流ハイ・フォースの場合±3000 V/39 A（DC）、500 A（パルス）ロー・フォースの場合±200 V/39 A（DC）、500 A（パルス）ハイ・センスの場合±3000 V/1 Aロー・センス、ゲートの場合±200 V/1 A

N1265A-010 500 A 超大電流3ピン・インライン・パッケージ・ソケット・モジュール

仕様端子数：ソケット 6個（直径4 mmジャック（バナナ））

DUTインタフェース：インライン・パッケージ・ソケット（3ピン）対端子許容電圧： 3000 Vdc

対端子許容電流：フォースの場合 39 A（DC）、500 A（パルス）センスの場合 1 A（DC）、20 A（パルス）

N1265A-011ユニバーサル・ソケット・モジュール

仕様端子数：ソケット 6個（直径4 mmジャック（バナナ））対端子許容電圧： 3000 Vdcユニバーサル・ブランク・エリア： 90 mm（幅）×81 mm（奥行き）

N1265A-013カーブトレーサ・テスト・アダプタ・ソケット・モジュール

仕様端子数：ソケット 6個（直径4 mmジャック（バナナ））テストアダプタ端子：*ソケット 6個（直径4 mmジャック（バナナ））対端子許容電圧： 3000 Vdc対端子許容電流：コレクタ／ドレイン・フォースおよびエミッタ／ソース・フォースの場合

39 A（DC）、500 A（パルス）その他の場合 1 A（DC）、20 A（パルス）* 端子には、Tektronix社のカーブ・トレーサ（370B/371B）用のテストアダプタが装着できます。

N1265A-035 N1265A用ユニバーサル抵抗ボックス

仕様入力：4個（直径4 mmプラグ（バナナ））ハイ（フォース、センス）ロー（フォース、センス）出力端子：2個（直径4 mmジャック（バナナ））ハイ、ロー抵抗：ユーザーがインストール対端子許容電圧：±200 V

N1265A-040 10 kV超高電圧ゲート・プロテクション・アダプタ

仕様入力：4個（直径4 mmプラグ（バナナ））ハイ（フォース、センス）ロー（フォース、センス）出力端子：2個（直径4 mmジャック（バナナ））

ハイ、ロー最大電圧：±200 V最大サージ電圧：±10 kV

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N1265A-041熱電対、 Kタイプ、2個

機能N1265A-041はN1265A内の熱電対端子に接続し、B1505Aで熱電対の上部の温度を読み取ることができます。

仕様コネクタ：Kタイププラグ長さ：3000 mm温度範囲：－50 ℃～＋180 ℃

N1265A-045プロテクションアダプタ／バイアスティー用コンテナ

機能N1265A-045には、N1265Aと組み合わせて使用することによりクリーンで安全な環境を実現する、プロテクションアダプタとバイアス・ティーを収納できます。

仕様寸法：420 mm（幅）×193 mm（高さ）×565 mm（奥行き）質量：15 kg最大積載荷重：50 kg

N1269A超高電圧接続アダプタ

機能UHVUをウェーハプローバに接続する場合、接続を容易にし、測定リソースを予期しないサージから保護することができます。

仕様入力端子：ゲートMCSMUフォース 1個（トライアキシャル）

ゲートMCSMUセンス 1個（トライアキシャル）

チャックMCSMUフォース 1個（トライアキシャル）

チャックMCSMUセンス 1個（トライアキシャル）

UHVロー 1個（HVトライアキシャル）出力端子：3個（SHV）ゲート、チャック、ソース最大電圧：±200 V 最大サージ電圧：±10 kV

Keysight EasyEXPERT ソフトウェア

Keysight EasyEXPERTは、B1505Aに内蔵のWindows 7上で動作するGUIベースの常駐ソフトウェアで、対話形式での手動測定から、自動ウェーハプローバを用いたウェーハ全体のテストの自動化まで、効率的で再現性の高いデバイスの特性評価をサポートしています。EasyEXPERTには、数百種類のすぐに使える測定（アプリケーションテスト）が無料で搭載され、複雑なデバイスの特性評価もすぐに実行できます。EasyEXPERTのGUIは、B1505Aの15インチ・タッチスクリーンを使って操作することも、オプションのUSBキーボードやマウスを使って操作することもできます。

EasyEXPERTを使用すれば、測定を実行する度にテスト条件や測定データをワークスペースに自動的に保存でき、重要な情報が失われることはなく、測定を後日再現することも可能です。さらに、EasyEXPERTには、解析機能や複雑なテストアルゴリズムの開発を容易にするグラフィカルなプログラミング環境も内蔵されています。主な特長：・すぐに使えるアプリケーションテスト・ライブラリ

・複数の測定モード（アプリケーションテスト、クラシックテスト、トレーサテスト、オシロスコープ表示、クイックテスト）

・さまざまな測定機能（スポット、掃引、タイムサンプリング、C-V、C-f、C-t など）

・データ表示／解析／演算機能・ワークスペース／データ管理・外部機器制御・さまざまなプログラミング方法（EasyEXPERTリモート制御、FLEX GPIB制御）

・複数のインタフェース（USB、LAN、GPIB、デジタルI/O）

アプリケーションライブラリEasyEXPERTには、デバイスタイプ、アプリケーション、テクノロジーごとに分類された、40種類を超えるアプリケーションテストが付属しています。付属のアプリケーションテストは、ニーズに合わせて簡単に編集／カスタマイズできます。以下のカテゴリのアプリケーションテストが付属しています。アプリケーションテストは予告なしに変更されることがあります。

デバイス・タイプアプリケーション・テストパワー MOSFET （Si、GaN）

Id-Vds、Rds-Id、Id-Vgs、Vth、Cgs、Cds、Cgd、電流コラプス、ブレークダウン、QSCVなど

IGBT Ic-Vce、Ic-Vge、Vth、Cge、Cce、Cgc、ブレークダウンなどSiC Id-Vds、Rds-Id、Id-Vgs、Vth、Cgs、Cds、Cgd、ブレークダウン、

QSCVなどパワー BJT Ic-Vce、Vce（sat）、Ic-Vcbo、Ic-Vceo、Ie-Vbeoなどパワーダイオード If-Vf、Ir-Vr、Cj-Vrなどキャパシタ C-V、C-f、C-t、Ieak-V、ブレークダウン、TDDBなどその他その他

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測定モードと機能

オペレーションモード：アプリケーションテストモードアプリケーションテストモードでは、アプリケーションに基づいた、測定セットアップと実行が、ポイント・アンド・クリックの操作で行えます。デバイスタイプや必要な測定に基づいてライブラリからアプリケーションテストを選択し、デフォルトの入力パラメータを必要に応じて変更した後、テストを実行します。

クラシックテストモードクラシックテストモードでは、旧半導体パラメータ・アナライザ4155/4156と同様の外観、使い勝手、用語で、測定器の機能に基づいた測定のセットアップと実行が可能です。EasyEXPERTでは、EasyEXPERTのGUI機能の利点が活かされ、4155/4156のユーザーインタフェースよりも使いやすくなっています。

トレーサテストモードトレーサテストモードでは、カーブトレーサと同様に回転ノブを使用して、画面を見ながら掃引を制御できます。従来のカーブトレーサ同様、研究開発でのデバイス解析に有用な一方向だけの掃引も、障害解析に有用な双方向の掃引も可能です。トレーサテストモードで作成したテストセットアップは、クラシックテストモードにシームレスに移行でき、さらに詳細に測定や解析を行うことができます。SMUは、一次掃引源（VAR1）、二次掃引源（VAR2）、同期掃引源（VAR1’）または定電圧／電流源（CONST）に設定できます。

オシロスコープ表示オシロスコープ表示（トレーサテストモードで使用可能）では、測定した電流／電圧データの時間変化を表示できます。パルス波形は別ウィンドウに表示され、測定タイミングの検証が容易に行えます。この機能は、波形タイミングの検証やパルス測定のデバッグに利用できます。この表示機能は、次のモジュールでサポートされています。HCSMU、MCSMU、HVSMU、UHCU、HVMCU、UHVU。オシロスコープ表示では、掃引出力の任意（ユーザー指定）の掃引ステップでパルス波形を表示できます。サンプリング間隔：

2 μs（HCSMU/MCSMU/UHCU/HVMCU/UHVU）6 μs（HVSMU）

サンプリング・ポイント：2000サンプル（HCSMU/MCSMU/UHCU/HVMCU/UHVU）4000サンプル（HVSMU）

マーカ機能：各データチャネルの読み値分解能：2 μs

データ保存：数値：Text/CSV/XMLSS画像：EMF/BMP/JPG/PNG

クイックテストモードGUIベースのクイックテストモードでは、プログラムを作成せずに、テストシーケンスを実行できます。マウスによる簡単な操作で、任意のアプリケーションテストの選択、コピー、再配置、切り取り／貼り付けが行えます。テストを選択して配置した後、測定ボタンをクリックするだけで、自動テストシーケンスが実行できます。

測定モード：Keysight B1505Aは以下の測定モードをサポートしています。・ IV測定

- スポット- 階段状掃引- パルススポット- パルス掃引- パルスバイアスを伴う階段状掃引- サンプリング- マルチチャネル掃引- マルチチャネルパルス掃引- リスト掃引- リニアサーチ1

- バイナリサーチ1

・ C測定- スポットC- CV（DCバイアス）掃引- パルススポットC- パルス掃引CV- C-tサンプリング- C-f掃引- CV（ACレベル）掃引- 準静的CV（QSCV）

1. FLEXコマンドでのみサポートされています。

掃引測定ステップ数：1～ 10001（SMU）、1～

1001（CMU）掃引モード：リニアまたはログ掃引方向：シングルまたはダブル掃引ホールド時間：

0 s～ 655.35 s、10 ms分解能遅延時間：

0～ 65.535 s、100 μs分解能0～ 655.35 s、100 μs分解能（CV（ACレベル）掃引、C-f掃引）

ステップ遅延時間0～ 1 s、100 μs分解能

ステップ出力トリガ遅延時間0～（遅延時間）s、100 μs分解能

ステップ測定トリガ遅延時間0～ 65.535 s、100 μs分解能

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サンプリング（タイムドメイン）測定時間に対する電圧および電流測定サンプリングチャネル数：最大10サンプリングモード：リニア、ログサンプリング・ポイント：リニアサンプリングの場合： 1～ 100,001/（チャネル数）ログサンプリングの場合： 1～ 1＋（11ディケード分のデータ数）サンプリング間隔： 100 μs～ 2 ms、10 μsの分解能 2 ms～ 65.535 s、1 msの分解能 2 ms未満の場合：≧100 μs ＋20 μs×（チャネル数－1）ホールド時間、待ち時間：－90 ms～－100 μs、100 μsの分解能 0 s～ 655.35 s、10 msの分解能

測定時間分解能：100 μs

その他の測定特性測定制御シングル、繰り返し、追加、停止

SMU設定機能制限付きオートレンジ、電圧／電流コンプライアンス、パワーコンプライアンス、自動掃引終了機能、セルフテスト、自己校正

スタンバイモード「スタンバイ」状態にあるSMUは、他のユニットが次の測定のためにリセットされても、指定された出力値に設定されたままになります。

バイアスホールド機能この機能を使用すれば、測定と測定の間も出力し続けることができます。出力モジュールは指定したバイアスを、クイックテスト、アプリケーションテストなどの測定と測定の間に、出力し続けます。次の測定開始時に使用するモジュールは設定値に出力を変え、使用しないモジュールは接続を解除されます。

電流オフセットキャンセルこの機能は、オフセット電流を電流測定生データから減算し、その結果を測定データとして返します。測定ケーブル、マニピュレータ、プローブカードなどの測定系に生じる誤差成分（オフセット電流）の補正に有効です。

タイムスタンプB1505Aは、内蔵クォーツ時計を使用したタイムスタンプ機能をサポートしています。分解能：100 μs

データ表示、解析、演算機能

データ表示X-Yグラフのプロット

X軸と最大8本のY軸、リニア／ログスケールによるリアルタイムでのグラフのプロット。X-Yグラフのプロットは、プリントしたり、画像データとしてクリップボードやマスストレージ・デバイスに保存することができます。（ファイル形式：bmp、gif、png、emf）

スケール：オートスケール／ズーム

マーカ：マーカの最小値／最大値への移動、補間機能、ダイレクトマーカ移動、マーカスキップ移動

カーソル：ダイレクトカーソル

ライン：2本のライン、ノーマルモード、グラジエントモード、タンジェントモード、回帰モード

グラフ重ね合わせ比較：

グラフィカルプロットを重ね合わせて表示することができます。

リスト表示測定データとユーザー関数による計算データを、掃引ステップ数またはタイムドメイン・サンプリング・ステップ数と組み合わせてリスト表示。最大20個のデータを表示できます。

データ変数表示最大20個のユーザー定義のパラメータをグラフィック画面に表示できます。

自動解析機能測定が終了すると、あらかじめ指定した自動解析設定条件に従って、測定結果表示画面にマーカやラインを自動的に表示する。自動解析機能、ユーザー関数、読取り機能を使用して、パラメータを自動的に決定することができます。

アナリシス関数数式を用いて、最大20個のユーザー定義のアナリシス関数を定義できます。計算に、測定データ、定義済み変数、読取り機能を使用できます。結果はLCDに表示されます。

読取り機能読取り機能は、マーカ、カーソル、ラインに関連するさまざまな値を読み取るための内蔵機能です。

演算機能ユーザー関数式を使用して最大20個のユーザー定義関数を定義できます。計算には、測定データと定義済み変数を使用できます。結果はLCDに表示されます。

演算子＋、－、＊、／、^、abs（絶対値）、at（アークタンジェント）、avg（アベレージング）、cond（条件付き評価）、delta、diff（微分）、exp（指数関数）、integ（積分）、lgt（対数、基数10）、log（対数、基数e）、mavg（移動平均）、max、min、sqrt、三角関数、逆三角関数など。

物理定数以下のキーボード定数がメモリに保存されています。 q：電子の電荷量、1.602177E-19 C k：ボルツマン定数、1.380658E-23 ε（e）：真空の誘電率、8.854188E-12

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外部機器制御

アプリケーションテストでサポートされている外部機器：Keysight 4284A/E4980A、81110A、3458A

プローバ制御EasyEXPERTでは、一般的な半自動／全自動ウェーハプローバがサポートされています。ウェーハ、ダイ、モジュール情報を定義して、ウェーハ全体をプロービングすることができます。ウェーハプローバ制御と、クイックテストモードまたはアプリケーションテストベースのテストシーケンスを組み合わせれば、ウェーハ上のさまざまなデバイスの複数のテストが行えます。

プログラムおよびインタフェース機能

記憶装置ハードディスク・ドライブ、DVD-Rドライブ

インタフェースGPIB、インターロック、USB（USB 2.0、フロント2、リア2）、LAN（1000BASE-T/100BASE-TX/10BASE-T）、トリガ入力／出力、デジタルI/O、VGAビデオ出力

リモート制御機能・ FLEXコマンド（GPIB）・ EasyEXPERTリモート制御機能（LAN）

トリガ端子この機能は、GPIB FLEXコマンドの使用時にのみ利用できます。

数値定数キーボードでは、以下の単位記号も使用できます。 a（10－18）、f（10－15）、p（10－12）、 n（10－9）、uまたはμ（10－6）、 m（10－3）、k（103）、M（106）、 G（109）、T（1012）、P（1015）

ワークスペース／データ管理

ワークスペースワークスペースは、B1505Aの内蔵ハードディスクドライブに存在する独立した作業エリアです。すべてのワークスペースが以下の機能をサポートしています。・測定のセットアップと実行・ “My Favoriteセットアップ”のセーブ／リコール

・測定データ／設定のセーブ／リコール・デバイス定義、測定設定、my favoriteセットアップ、測定データ、アプリケーションライブラリのインポート／エクスポート

・テスト結果データの管理・プライベート／パブリックアクセス設定

データ自動記録/自動エクスポートEasyEXPERTには、ワークスペース内の測定セットアップ／データを自動的に保存する機能があります。測定データをリアルタイムにさまざまなフォーマットでエクスポートすることもできます。測定器のPCに接続されているストレージドライブならどこにでもデータを保存できます。

ファイルのインポート／エクスポートファイル形式：

Keysight EasyEXPERT形式、XML-SS形式、CSV形式

ワークスペース管理EasyEXPERTにはワークスペースのインポート／エクスポート機能があるので、バックアップや移植が可能です。

DC電圧／電流の設定と測定の前後で、トリガ入力／出力のパルスと同期します。任意のトリガイベントは独立にオン、オフできます。

付属ソフトウェア・プローバ制御実行ファイル・デスクトップEasyEXPERTソフトウェア・ 4155/56セットアップファイル・コンバータ・ツールこのツールは、4155/4156の測定セットアップファイル（ファイル拡張子MESまたはDAT）を同等のEasyEXPERT／デスクトップEasyEXPERTクラシックテストモード・セットアップファイルに変換できます。

・ MDMファイルコンバータこのツールは、EasyEXPERTファイル形式（XTR/ZTR）のデータをKeysight IC-CAP MDMファイル形式に変換できます。 EasyEXPERTを使用した以下のクラシックモード測定だけがサポートされています。- IV掃引- マルチチャネル掃引- CV掃引

サポートされているオペレーティングシステム： Microsoft Windows XP Professional（Service Pack 3以降）、Windows Vista Business（Service Pack 2以降（32ビットのみ））、

Windows 7 Professional（Service Pack 1以降（32ビット/64ビット））

サポート言語：英語（US）、日本語サポートされる.NET Framework： Microsoft .NET Framework 3.5 SP1

推奨するGPIB I/F

1. 安定性とスピードの観点から、82350Bカードの使用を強くお勧めします。2. USB GPIBインタフェースでは、通信方式の本質的な違いにより、シリアルポールエラーが間欠的に発生する可能性があります。

インタフェース B1505A

Keysight

82350B PCI 1

82357A USB 2

82357B USB 2

National Instrument社

GPIB-USB-HS USB 2

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一般仕様温度範囲動作時：＋5 ℃～＋40 ℃ 保管時：－20 ℃～＋60 ℃

湿度範囲1

動作時：20 ％～ 70 ％、相対湿度、非結露保管時：10 ％～ 90 ％、相対湿度、非結露保管時：20 ％～ 80 ％、相対湿度、非結露（N1268A）

高度動作時：0 m～ 2,000 m 保管時：0 m～ 4,600 m 0 m～ 2,000 m（N1268A）

AC電源AC電圧：90 V～ 264 V AC電源周波数：47 Hz～ 63 Hz

最大ボルトアンペア（VA）B1505A：900 VA N1258A：65 VA N1259A-300：35 VA N1265A：400 VA N1266A：60 VA N1268A：350 VA

音響雑音放射LpA＜70 dB

測定確度についてRF電磁界/SMU測定確度：SMUの電圧／電流測定確度は、80 MHz～ 1 GHzの周波数レンジで、3 V/mを超えるRF電磁界強度の影響を受ける可能性があります。どの程度の影響を受けるかは、測定器の配置やシールド状態によって異なります。誘起RF電磁界雑音とSMU測定確度：SMUの電圧／電流測定確度は、150 kHz ～80 MHzの周波数レンジで、3 Vrmsを超える誘起RF電磁界雑音強度の影響を受ける可能性があります。どの程度の影響を受けるかは、測定器の配置やシールド状態によって異なります。

N1268A UHVエクスパンダ：420 mm（幅）×222 mm（高さ）×482 mm（奥行き）

N1269A超高電圧接続アダプタ：

134 mm（幅）×56 mm（高さ）×150 mm（奥行き）

質量B1505A（単体）：20 kg B1511A/B：1.1 kgB1510A：2.0 kgB1512A：2.1 kgB1513B/C：2.0 kg B1514A：1.3 kgB1520A：1.3 kgN1258A：5.0 kgN1259A：12.0 kgN1260A：0.6 kgN1261A：0.3 kgN1262A：0.3 kgN1265A：30 kgN1266A：10 kgN1267A：0.8 kgN1268A：18 kgN1269A：0.4 kg

付属アクセサリ測定ケーブルとアダプタ

HPSMU/MPSMU/MCSMU用トライアキシャルケーブル 2本HCSMUケーブル 1個HCSMUケルビンアダプタ 1個HVSMUケーブル 1個

インターロックケーブル 1個GNDUケーブル 1個キーボード 1個マウス 1個スタイラス・ペン 1個電源ケーブル 1個マニュアルCD-ROM 1個デスクトップEasyEXPERT CD-ROM 1個EasyEXPERTおよびデスクトップ

EasyEXPERT使用ライセンス、ソフトウェアCD-ROM （含むユーティリティ・ツール）

Keysight 4155B/4155C/4156B/4156Cのファームウェアアップデート用ディスクセット、1セット

SMU番号ラベル 1シートN1258A：デジタルI/Oケーブル 1本N1259A-300：デジタルI/Oケーブル 1本N1265A：デジタルI/Oケーブル 1本N1266A：デジタルI/Oケーブル 1本N1268A：デジタルI/Oケーブル 1本、インターロック・ケーブル 1本1. 一部の補足特性については、湿度範囲は20 ％～ 50 ％の相対湿度で定義されています。

規制コンプライアンスEMC：

IEC 61326-1/EN 61326-1カナダ：ICES/NMB-001 AS/NZS CISPR 11

安全規格：IEC61010-1/EN 61010-1CAN/CSA-C22.2 No. 61010-1

認証CE、cCSAus、C-Tick

外形B1505A：

420 mm（幅）×330 mm（高さ）×575 mm（奥行き）

N1258Aモジュールセレクタ：330 mm（幅）×120 mm（高さ）×410 mm（奥行き）

N1259Aテストフィクスチャ：420 mm（幅）×272 mm（高さ）×410 mm（奥行き）

N1260A高電圧バイアスティー：164 mm（幅）×53 mm（高さ）×125 mm（奥行き）

N1261A-001 HPSMUプロテクションアダプタ（トライアキシャル出力）：

80 mm（幅）×40 mm（高さ）×110 mm （奥行き）

N1261A-002 GNDUプロテクションアダプタ（BNC出力）：

80 mm（幅）×40 mm（高さ）×110 mm （奥行き）

N1261A-003 HPSMUプロテクションアダプタ（HVトライアキシャル出力）：

90 mm（幅）×40 mm（高さ）×140 mm（奥行き）

N1261A-004 GNDUプロテクションアダプタ（SHV出力）：

80 mm（幅）×40 mm（高さ）×125 mm （奥行き）

N1262A抵抗ボックス：50 mm（幅）×40 mm（高さ）×125 mm （奥行き）

N1265A UHCエクスパンダ／フィクスチャ：420 mm（幅）×285 mm（高さ）×575 mm（奥行き）

N1266A HVSMU電流エクスパンダ：420 mm（幅）×75 mm（高さ）×575 mm（奥行き）

N1267A HVSMU/HCSMU高速スイッチイング：

202 mm（幅）×56 mm（幅）×175 mm （奥行き）

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メインフレームとモジュール

B1505A パワーデバイス・アナライザ／カーブトレーサ

以下のモジュールを使用可能：ハイパワー SMU（HPSMU）ミディアムパワー SMU（MPSMU）大電流SMU（HCSMU）中電流SMU（MCSMU）高電圧SMU（HVSMU）マルチ周波数CMU（MFCMU）

B1505A-015 1.5 mケーブル

B1505A-030 3.0 mケーブル

B1505A-050 電源周波数50 Hz

B1505A-060 電源周波数60 Hz

B1505A-A6J 校正および校正証明書（校正データ付き） ANSI Z540準拠

B1505A-UK6 校正および校正証明書（校正データ付き）

B1505A-ABA 英文取扱説明書

B1505A-ABJ 和文取り扱い説明書

B1500A-1CM ラックマウントキット

B1505Aエクスパンダ／フィクスチャ

N1259A テストフィクスチャ

N1259A-010 インライン・パッケージ・ソケット・モジュール（3ピン）

N1259A-011 ユニバーサルソケットモジュール

N1259A-012 ブランクPTFEボード

N1259A-013 カーブトレーサ・テスト・アダプタ・ソケット・モジュール

N1259A-020 高電圧バイアスティー

N1259A-021 1 MΩ抵抗ボックス

N1259A-022 100 kΩ抵抗ボックス

N1259A-030 ゲート用1 kΩ抵抗ボックス

N1259A-035 ユニバーサル抵抗ボックス

N1259A-300 モジュールセレクタ

N1265A UHCエクスパンダ／フィクスチャ

N1265A-010 500 A超大電流3ピン・インライン・パッケージ・ソケット・モジュール

N1265A-011 ユニバーサルソケットモジュール

N1265A-013 カーブトレーサ・テスト・アダプタ・ソケット・モジュール

N1265A-015 1500 A電流オプション

N1265A-035 N1265A用ユニバーサル抵抗ボックス

N1265A-040 10 kV超高電圧ゲート・プロテクションアダプタ

N1265A-041 熱電対、Kタイプ、2個

N1265A-045 プロテクションアダプタ／バイアスティー用コンテナ

N1266A 高電圧ソース／モニタ・ユニット電流エクスパンダ

N1267A 高電圧ソース／モニタ・ユニットと大電流ソース／モニタ・ユニットの高速スイッチング

N1268A 超高電圧エクスパンダ

B1505Aアクセサリ

16444A-001 USBキーボード

16444A-002 USBマウス

16444A-003 スタイラスペン

N1253A-100 デジタルI/Oケーブル

N1253A-200 デジタルI/O BNCボックス

N1254A-100 グランド・ユニット・ケルビンアダプタ

N1254A-101 トライアキシアル（オス）-BNC（メス）

N1254A-102 トライアキシャル（オス）-BNC（オス）


N1254A-104 トライアキシアル（メス）-BNC（オス）

N1254A-105 トライアキシアル（メス）-BNC（オス）



N1254A-500 HVジャックコネクタ（はんだ付けタイプ）

N1254A-501 HVジャック／ジャックアダプタ

N1254A-502 HVプラグコネクタ（はんだ付けタイプ）

N1254A-503 BNC同軸ケーブルアセンブリ、1.5 m（オープンエンド）

N1254A-504 HVTriaxジャック同軸ケーブルアセンブリ、 1.5 m（オープンエンド）

N1254A-505 HVTriaxプラグ・トライアキシャルケーブル・アセンブリ、1.5 m（オープンエンド）

N1254A-506 HVTriaxプラグ同軸ケーブルアセンブリ、 1.5 m（オープンエンド）

N1254A-507 HVTriaxプラグ同軸ケーブルアセンブリ、1.5 m

N1254A-508 テストリードケーブル（黒）

N1254A-509 テストリードケーブル（赤）

N1254A-510 ドルフィンクリップ 2個（赤と黒）

N1254A-511 ケーブル遅延アダプタ 2個（赤と黒）

N1254A-512 SHVケーブルアセンブリ、250 mm

N1254A-513 SHV-バナナ

N1254A-514 BNCプラグ-プラグ

N1254A-515 BNCジャック-プラグ-ジャック

N1254A-516 BNCジャック-ジャック-ジャック

N1254A-517 アダプタ、トライアキシャルジャック- トライアキシャルプラグ

N1254A-518 SHVケーブル、1.5 m

N1254A-520 10 kV超高電圧オープンエンドケーブル、1 m

N1254A-521 10 kV超高電圧ジャック間アダプタ

N1254A-522 1500 A超大電流バナナ間ケーブル、2本

N1254A-523 1500 A超大電流バナナ-オープンエンド間ケーブル、1 m、2本

N1254A-524 500 A超大電流プローバシステムケーブル

N1258A モジュールセレクタ

N1260A 高電圧バイアスティー

N1261A プロテクションアダプタ

N1262A 抵抗ボックス

N1262A-020 ユニバーサル抵抗ボックス、トライアキシャル

N1262A-021 ユニバーサル抵抗ボックス、HVトライアキシャル-SHV

N1262A-023 超高電圧用ユニバーサル抵抗ボックス

N1262A-036 50 Ω終端アダプタ

オーダ情報

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SMUケーブル／アクセサリ

16493S-001 HCSMUケーブル（1.5 m）

16493S-002 HCSMUケーブル（3 m）

16493S-010 HCSMUケルビンアダプタ

16493S-011 HCSMU非ケルビンアダプタ

16493S-020 デュアルHCSMUケルビンコンビネーションアダプタ

16493S-021 デュアルHCSMUコンビネーションアダプタ

16493T-001 高電圧トライアキシャルケーブル（1.5 m）

16493T-002 高電圧トライアキシャルケーブル（3 m）

16493U-001 大電流BNCケーブル（1.5 m）

16493U-002 大電流BNCケーブル（3 m）

16494A-001 トライアキシャルケーブル（1.5m）

16494A-002 トライアキシャルケーブル（3m）

16493K-001 ケルビントライアキシャルケーブル（1.5 m）

16493K-002 ケルビントライアキシャルケーブル（3 m）

16493V-001 10 kV超高電圧ケーブル、1.5 m

16493V-002 10 kV超高電圧ケーブル、3 m

N1269A 超高電圧接続アダプタ

CMUアクセサリ

N1300A-001 CMUケーブル（1.5 m）

N1300A-002 CMUケーブル（3 m）

その他のアクセサリ

16493G-001 デジタルI/Oケーブル（1.5 m）

16493G-002 デジタルI/Oケーブル（3 m）

16493J-001 インターロックケーブル（1.5 m）

16493J-002 インターロックケーブル（3 m）

16493L-001 GNDUケーブル（1.5m）

16493L-002 GNDUケーブル（3m）

後付け／アップグレード・キット

B1505AU B1505A用アップグレードキット

B1505AU-001 B1500AからB1505Aへの変換キット

B1505AU-010 ハイパワー・ソース／モニタ・ユニット（B1510A）

B1505AU-011 ミディアムパワー・ソース／モニタ・ユニット（B1511A/B）

B1505AU-012 大電流ソース／モニタ・ユニット（B1512A）

B1505AU-013 高電圧ソース／モニタ・ユニット（B1513B/C）

B1505AU-014 中電流ソース／モニタ・ユニット（B1514A）

B1505AU-020 マルチ周波数キャパシタンス測定ユニット（B1520A）

B1505AU-SWS

EasyEXPERT拡張サポート／アップデート

N1259AU N1259A用アップグレードキット

N1265AU N1265A用アップグレードキット

パッケージ・ソリューション

B1505AP 構成済みパワーデバイス・アナライザ／カーブ・トレーサ（B1505A、モジュール／フィクスチャ搭載）

B1505AP-H20 3 kV/20 A/フィクスチャ・パック

B1505AP-H21 3 kV/20 A/C-V/フィクスチャ・パック





B1505AP-U50 10 kV/500 A/フィクスチャ・パック

B1505AP-U70 10 kV/1500 A/フィクスチャ・パック

オーダ情報

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Keysight B1500A半導体デバイス・アナライザwww.keysight.co.jp/find/B1500A

Keysight B2900Aシリーズプレシジョン・ソース／メジャー・ユニットwww.keysight.co.jp/find/B2900A

キーサイト・テクノロジー合同会社本社〒 192-8550 東京都八王子市高倉町 9-1

計測お客様窓口受付時間 9:00-18:00（土・日・祭日を除く）

TEL ■■ 0120-421-345 (042-656-7832)FAX ■■ 0120-421-678 (042-656-7840)Email [email protected]電子計測ホームページ www.keysight.co.jp

© Keysight Technologies, 2013 - 2014Published in Japan, November 27, 20145990-3853JAJP0000-00DEPwww.keysight.co.jp

35 | Keysight | B1505Aパワーデバイス・アナライザ／カーブトレーサ - Data Sheet

myKeysight

www.keysight.co.jp/find/mykeysightご使用製品の管理に必要な情報を即座に手に入れることができます。

www.axiestandard.org

AXIe（AdvancedTCA® Extensions for Instrumentation and Test）は、AdvancedTCA®を汎用テストおよび半導体テスト向けに拡張したオープン規格です。Keysightは、AXIeコンソーシアムの設立メンバです。

www.lxistandard.org

LXIは、Webへのアクセスを可能にするイーサネットベースのテストシステム用インタフェースです。Keysightは、LXIコンソーシアムの設立メンバです。

www.pxisa.org

PXI（PCI eXtensions for Instrumentation）モジュラ測定システムは、PCベースの堅牢な高性能測定／自動化システムを実現します。

www.keysight.com/go/quality

Keysight Electronic Measurement GroupDEKRA Certified ISO 9001:2008 Quality Management System

契約販売店

www.keysight.co.jp/find/channelpartnersキーサイト契約販売店からもご購入頂けます。お気軽にお問い合わせください。

www.keysight.co.jp/find/b1505a

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Keysight Technologies B1505Aパワーデバイス・ア …...Keysight B1505A パワーデバイス・アナライザ／カーブトレーサ は、最大10 kV、1500 Aでパワーデバイスを正確に評価すること

Keysight Technologies B1505Aパワーデバイス・ア …...Keysight B1505A パワーデバイス・アナライザ／カーブトレーサは、最大10 kV、1500 Aでパワーデバイスを正確に評価すること