サーモフィッシャーサイエンティフィック株式会社モレキュラー営業部

7 0120-753-670　Fax.0120-753-671本　　社 〒221-0022 横浜市神奈川区守屋町3-9 C棟大阪支店 〒532-0011 大阪市淀川区西中島6-3-14 DNX新大阪ビル

E-mail : analyze.jp@thermofisher.comwww.thermoscientific.jp

販売店

G1301 3000

ⓒ2013 Thermo Fisher Scientific Inc. All rights reserved.● このカタログに記載の内容は、装置の改善のため、仕様、構成および価格を予告無しに変更する場合があります。● このカタログに記載の製品名は、米国Thermo Fisher Scientificおよびその他の国における登録商標または商標です。

m i c r o a n a l y s i s

Thermo ScientificNORAN System 7電子顕微鏡用エネルギー分散型 X線分析システム

高速・高精度分析を実現した究極のEDSIntegrated EDS

Direct to Phase

● データ収集中に各相の生スペクトルをライブラリと照合してベストマッチの物質名をラベリング● データ収集中に結果が出るので収集時間に無駄がありません● 元素マップではなく成分相のマップが得られます

最速のリアルタイム相分析

データ収集中にCOMPASS、XPhaseソフトを走らせ、成分相の結果を表示する機能です。

Step1 領域指定

Step3 レポート出力

電子顕微鏡に試料を入れ、観察領域を設定。

レポート作成ボタンをクリック。パワーポイントやワードへ自動貼付。

をクリックして収集をスタート。収集中にリアルタイムで相分析の結果が自動更新されます。

満足のいく結果が得られた時点で、収集を終了。

Step2 クリック　　スタート

スペクトルはMoS2の生データを表示

MoS2

データ収集中に自動決定した樹脂・MoS2・BaSO4・Moの相を重ね合わせて表示した例

Easyユーザーフレンドリーで簡単操作

NORAN System 7　～短時間で正確な結果を提供～

UltraDry EDS Detector　～高分解能、ハイカウントレートを実現～

● 正確なピークの同定

● 高精度スタンダードレス定量

● 特許のCOMPASS、 リアルタイム相分析

● サイトライセンス

● デュアル検出器対応可能

● ワンクリックレポート

● EDS、WDS、EBSD統合可能（シングルインターフェイス）

● 検出器の豊富な選択肢 （有効面積：10mm2、30mm2、60mm2、100mm2）

● ユニークなスロット型コリメータ採用

● 1,000,000cps 以上の　　　　　　　　　　　　　　　インプットレート

SMART 元素設定

SMART 定性、定量

● 高い精度を誇る自動ピーク定性

● アローキーによる元素サーチとKLMマーカー表示

● ソフトウェア上の周期律表によって、ピーク同定、定量分析、X 線マッピング、ラインスキャンの元素設定が可能

● スペクトル収集時、抽出時に自動ピーク定性の実行

● シミュレーションモデルをオーバーラップさせるスペクトルチェック機能で、自動定性やマニュアル定性結果の検証が容易

● バルク試料用、薄膜試料用の定量マトリックス補正プログラムを完 備（φp（z）アルゴリズムのPROZAを含む）

Smart高分解能、しかも高速。必要なデータを効率よく。

SMART 高速データ収集

SMART データ処理

● データ収集時の最適条件（X 線発生量に応じたタイムコンスタントとエネルギーカットオフ）を自動設定

● 自動多点データ収集（Point and Shoot）は、完全自動分析モードとインタラクティブ操作モードが選択可能

● ドリフト補正（オプション）は、高倍率でのデータ収集、長時間のデータ収集に非常に有効。

● X線マッピング、デジタルラインスキャン、電子線イメージでは、カーソルによって任意箇所の分析元素のX 線強度を表示

● 電子線イメージとX 線マップを重ねて表示し、色の濃淡も容易に調整可能

● 各元素マップの色は、自動的に一番見やすい状態に調整

圧倒的なパフォーマンス!　NORAN System 7の面分析

シリコン

タンタル

窒化シリコン

酸化シリコン

酸化タングステン

樹脂

酸化タングステン

樹脂

シリコン

タンタル

酸化シリコン

窒化シリコン

Thermo Scientific独自のソフトウェアは、従来の元素マップから、一歩先へ行く分析を提供します。自動でしかも高速な操作環境。必要な解析結果が容易に得られます。

高分解能、しかも高速。必要なデータを効率よく。

＊ ピーク分離マップは、常識をくつがえす精度で重なり合うピークの影響を除去できます。処理時間も業界最速です。

＊ COMPASSは完全自動で、各主成分（化合物を含む）のスペクトルとその強度分布マップを抽出します。

＊ データ収集中リアルタイムで抽出した主成分強度マップに基づいて、自動相分析が行えます。

Powerful卓越した解析機能

わずか5分の収集時間で、EDSでは難関とされるSi、Ta、Wのピーク分離マップに成功しました。　加速電圧：7kVX線保存レート：62,500cps

COMPASS多変量イメージ解析

数分、かつリアルタイムで各主成分を抽出

従来のピークカウントマップ ピーク分離マップ 主成分波形とその強度分布マップ

サーモフィッシャーサイエンティフィック株式会社モレキュラー営業部

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E-mail : analyze.jp@thermofisher.comwww.thermoscientific.jp

販売店

G1301 3000

ⓒ2013 Thermo Fisher Scientific Inc. All rights reserved.● このカタログに記載の内容は、装置の改善のため、仕様、構成および価格を予告無しに変更する場合があります。● このカタログに記載の製品名は、米国Thermo Fisher Scientificおよびその他の国における登録商標または商標です。

有効面積 エネルギー分解能（Mn-K α）

100mm2 136eV, 140eV

60mm2 134eV, 139eV

30mm2 127eV, 129eV, 134eV

10mm2 123eV, 126eV, 129eV

■ 検出器仕様

NSS112EX線スペクトル解析システム

NSS212Eスペクトルイメージングシステム

NSS312Eリアルタイム相分析システム

スペクトル収集、定性、定量、スペクトルチェック ○ ○ ○

Ｘ線マッピング × ○ ○

ポイント＆シュート × ○ ○

スペクトルイメージング × ○ ○

定量ラインスキャン × ○ ○

ドリフト補正 × オプション ○

COMPASS（自動主成分分析） × オプション ○

Xphase（相分析） × オプション ○

スペクトルマッチ オプション オプション ○

Direct to Phase（リアルタイム相分析） × オプション ○

粒子解析 × オプション オプション

共通仕様

インプットレート：1,000,000cps以上、保存レート：300,000cps以上 電 　 　 源：50 〜60Hz、100/120/230/240VAC消 費 電 力：120W（PC、モニター含まず）使 用 環 境：湿度 動作時20 〜80％、32℃にて凝結しないこと　　　　　　温度 動作時10 〜40℃寸法 /重量：171（W）×318（D）×380（H）mm/約11kg

■ アナライザー仕様

※ ○は標準、×は不可。