s u r f a c e a n a l y s i s

Thermo Scientific ESCALAB 250XiSurface Analysis System

定量イメージングと多機能表面分析

イメージングXPSマイクロプローブ

ESCALAB 250Xi はサーモフィッシャーサイエンティフィックの最上位シリーズESCALAB の最新版です。最新技術の採用により究極の高感度とエネルギー分解能を実現しました。

ESCALAB 250Xi には多種多様なオプションが用意されており、ありとあらゆるニーズに対応できます。システムコントロールからデータ測定、データ解析、レポート作成まで、あらゆる機能はAvantage データシステムによりシームレスに統合され、容易な操作と高い生産性を実現しました。

パフォーマンスのためのデザイン

究極のパフォーマンス● 高感度・高エネルギー分解能XPS● 高速パラレルイメージング＜3µm● 定量スペクトルイメージング● 6µm 以下でのスペクトル取得● マイクロフォーカス型モノクロメーターX線源搭載● 主成分イメージング（相分析）● 低加速対応・高フラックスイオン銃● ターンキー帯電中和銃

効率的オペレーション● 先進自動化機構

ｰ 分析位置の選択とレンズ設定

ｰ 真空操作とガスハンドリング

● 自動キャリブレーションｰ エネルギー軸、透過関数

ｰ イオン銃のフォーカスとアライメント

● サンプルナビゲーションｰ 分析位置のリアルタイム観察

ｰ 高輝度サンプルイルミネーション

フレキシブルデザイン● ISS 測定、REELS 測定標準● UPS、AES/SEM/SAM オプション● 予備処理チャンバー標準● 予備処理オプション

ｰ 試料破断機構

ｰ 試料劈開機構

ｰ 試料加熱/冷却

ｰ 高圧反応ガスセル

ESCALAB 250Xi — 多機能表面分析装置

ラージエリアXPS（LAXPS）高効率レンズ系と検出器のコンビネーションにより高感度・高速のXPS 分析を実現しています。● 高い化学状態検出能力● 6 チャンネル・チャンネルトロンの使用による広い

ダイナミックレンジ● ツインクリスタル・モノクロメーターX 線源の採用

による高いX 線フラックス

スモールエリアXPS（SAXPS）ESCALAB 250Xi では高速で正確な微小部分析が可能です。● 20µm から900µm までの分析が可能● モノクロメーターX 線源の既定する微小領域分析

200µm～900µm● アナライザーレンズにより規定する微小領域分析

20µm 以下● 試料のリアルタイム観察と自動測定エリア制御に

より、目的に合わせたサイズ選択が可能

高速パラレルイメージング（XPI）パラレルイメージングは高速で高分解能な化学状態XPS 測定を可能にします。● 化学状態イメージング<3µm● イメージからのスペクトル抽出<6µm● 微小部、大面積それぞれのイメージングが可能● イメージングとスペクトル測定で、同一のインプッ

トレンズ、アナライザーレンズ系を使用● イメージ群の取得による定量化学状態イメージング● 主成分分析（PCA）により、元素濃度イメージング

ではなく、成分相イメージングが可能

エネルギー分解能ツインクリスタル・マイクロフォーカス型モノクロメーターX 線源の採用により、優れたエネルギー分解能を提供します。● 化学種の正確な同定と定量● わずかな化学状態の違いを正確に分離

絶縁物分析最新の帯電中和機構により、あらゆる絶縁物の測定が容易に行えます。● 絶縁物の自動分析● 試料や測定条件によらず高い信頼性

デプスプロファイリング新開発・低加速対応イオン銃の採用により、低加速時でも高いイオン密度を達成。自動調整機能により常に安定した操作が可能です。● デプスプロファイル時の試料面内回転● イオン銃の完全PC 制御● 自動ガス導入機構

角度分解XPS 測定● 光電子見込み角度のPC 制御● ユーセントリック回転により試料の厚みによらず

正確な分析位置を保証● ダイレクトドライブ機構による正確な角度制御● 最大エントロピー法、多層膜の膜厚計算アプリケー

ション

パーティクル

マトリックス

パーティクル

マトリックス

パーティクル

マトリックス

パーティクル

マトリックス

パーティクル

マトリックス

パーティクル

マトリックス

フルオロカーボン上のコンタミネーションパーティクルのスペクトルイメージ

サーモフィッシャーサイエンティフィック株式会社モレキュラー営業部

本　　　社 〒221-0022 横浜市神奈川区守屋町3-9 C棟大阪営業所 〒532-0011 大阪市淀川区西中島6-3-14 DNX新大阪ビル

E-mail : analyze.jp@thermofisher.comwww.thermoscientific.jp

販売店

● このカタログに記載の内容は、装置の改善のため、仕様、構成および価格を予告無しに変更する場合があります。● このカタログに記載の各種名称、会社名、商品名などは、各社の登録商標または商標です。

0120-753-670　Fax.0120-753-671G1300 0000

標準

反射電子エネルギー損失分光（REELS）

インレンズ電子銃を使用し、標準でREELS 測定に対応● 狭いエネルギー分散● エネルギー範囲：0～1000eV

イオン散乱分光（ISS）

インプットレンズとアナライザーの極性反転により標準でISS測定に対応● マルチチャンネルトロンの採用により高カウント

レートの測定にも対応

オプション

オージェ電子分光測定（AES、SEM、SAM）

オプションのフィールドエミッション電子銃を搭載可能● 95nm 高分解能オージェ電子分光測定（ビーム電

流5nA 時）● マルチチャンネルトロンの採用により高カウント

レートの測定にも対応

紫外光電子分光● 安定した電源系の採用で仕事関数も容易に測定

可能● ミューメタルチャンバーによるすぐれた磁場遮蔽

マルチテクニックデザイン 主な仕様

電子アナライザー● ダブルフォーカス 180 度同心半球型アナライザー● マルチエレメント静電レンズおよび磁場レンズ● 視野制限スリット、レンズ見込み角度の完全 PC

制御

光電子検出機構● マルチチャンネルトロン

XPS、REELS、AES、ISS 用● イメージング検出器

高分解能2 次元検出器（パルスカウンティング方式）

マイクロフォーカス型モノクロメーターX 線源● 500mm ローランド径モノクロメーター● マイクロフォーカス電子銃● マルチポジションAl アノード● ツイントロイダルクォーツクリスタル

帯電中和銃● 帯電中和機能● 反射電子イメージング機能● REELS 分析（標準）

イオン銃● 深さ方向分析（スパッタデプスプロファイル）● サンプルクリーニング機能● ISS 分析（標準）

サンプルナビゲーションとサンプルステージ● 分析位置のポイントアンドシュート● 分析位置のリアルタイム観察● 5 軸自動サンプルステージ● 加熱、冷却オプション※

● 面内回転オプション※※

Avantage データシステム● 装置の完全PC 制御● データ測定、解析、レポート作成● 測定からレポート出力までのレシピモード● 自動分析機能

ツインアノードXPS オプション● デュアルアノード（Mg Kα/Al Kα）X 線源● 異なるターゲット材の選択が可能（Zr、Ag 等）

UPS オプション● 高輝度紫外線源● 高精度ヘリウムガス導入機構

95nmAES/SEM/SAM FE 電子銃オプション● ショットキータイプ・フィールドエミッション電子銃● 差動排気機構（イオンポンプ）● SEM 測定用、2 次電子検出器● 防振機構● 絶縁試料の帯電中和機構

Thermo Scientific™ MAGCISAr 単原子イオン・クラスターイオンデュアルモードイオン源● クラスターイオンモード

ポリマー等の有機材料の低損傷クリーニングおよび深さ方向分析用

● Ar 単原子イオンモード

標準 Ar イオン銃と同様の、単原子イオンモードオペレーション　

※試料の加熱にはオプションの加熱用サンプルホルダー、加熱冷却機構の選択が必要です。※※試料回転にはオプションの面内回転ホルダーの選択が必要です。