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半导体及相关行业赛默飞色谱质谱及光谱仪综合解决方案

The world leader in serving science

多层次技术支撑全面提升产品良率

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在《国家集成电路产业发展推进纲要》推动下，中国半导体市场已成为全球增长引擎。半导体产品良率与经济

效益息息相关，硅片晶圆纯度、生产过程中使用的清洗剂和刻蚀剂、封装材料、环境洁净度等都会影响产品良

率。同时，在当前环境保护要求日益严苛背景下，工业废水等环保问题也成为行业的焦点。

赛默飞世尔科技作为科学服务领域的领导者，拥有行业领先的全方位解决方案，可为半导体行业关键环节提供

多层次技术支撑，全方位满足您的分析需求。半导体材料、高纯试剂、洁净室空气中离子态杂质、痕量超痕量

元素杂质和有机态杂质等可采用赛默飞技术领先的离子色谱、电感耦合等离子体质谱仪（单四极杆、三重四极

杆 ICP-MS）或高分辨电感耦合等离子体质谱仪（HR-ICP-MS）、气质联用仪等进行分析，赛默飞丰富的前处

理产品和分析产品组合同时还可为电子元件 RoHS 检测、废水分析等提供全面解决方案。

目 录

半导体材料分析 ....................................4

VPD-HR-ICPMS 法分析硅片表面超痕量元素 ....4

PGME 液晶样品中超痕量元素含量分析 ............5

高纯试剂分析 ........................................6

超纯水分析 ........................................................6

水溶性溶剂分析 ................................................7

酸分析 ...............................................................9

强碱分析 ...........................................................12

半导体试剂检测自动化方案 ..............................13

电子元件分析 ........................................14

洁净室空气及环境监测 ..........................15

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赛默飞半导体行业检测相关产品及技术

iCAPTM RQ 电感耦合等离子体质谱仪

可进行多元素每周 7×24 小时不间断连续分析，操作简单便捷，快速稳定，满足各种级别检

测需求，适用于对定量分析有较高要求和样品量非常大的实验室，如高纯试剂生产过程中的

日常检测。

iCAPTM TQ 电感耦合等离子体质谱仪

iCAP TQ 三重四极杆质谱仪可在三重四极杆（TQ） 和单四极杆（ SQ） 之间切换。使用 TQ，

系统支持超低检测限和强大的抗干扰能力，适用于分析有挑战性的基质样品，如半导体制造过

程中 QA/QC。

ELEMENTTM 2/XR 高分辨 ICP-MS

作为 ICP-MS 性能的黄金标准，具有出类拔萃的数据可信度，可覆盖亚 ppt 至 % 的浓度范围。

其一流的抗干扰能力，即使不进行样品制备，也可进行准确可靠的多元素超痕量水平定量分析，

尤其适用于半导体及原材料实验室分析。

DionexTM ICS-6000 多功能高压离子色谱（HPICTM）系统

作为顶级离子色谱系统，集大成于顶尖离子色谱技术，配置灵活，功能全面，完全满足半导体

相关行业中如 ppt 级超纯水、ppb 及 ppm 级高纯试剂中痕量阴阳离子杂质以及 % 级混酸含量

测定等分析对仪器耐用性和快速分析性能要求。 

ISQTM 7000 单四极杆 GC-MS 系统

ISQ 7000 单四极杆 GC-MS 系统，拥有高稳定性和卓越灵敏度，可大幅提高实验室效率及生

产力；优良的定性定量能力，满足化学试剂及材料分析、洁净室空气、污染源等挥发性有机

污染分析需求。

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半导体产业中硅片晶圆等原材料纯度要求通常在 99.9999999%（9N）以上。因此，要求分析仪器具有非常高的灵敏度，

强大的干扰去除能力及基质耐受性。Thermo ScientificTM ELEMENTTM 2/XR HR-ICP-MS 最高分辨率可达 10000，能对最具

挑战的基体干扰和分析物离子进行完全分离 , 可帮助轻松实现：1）单晶硅锭和晶圆中痕量元素分析；2）wafer 表面痕量元

素分析；3）高纯硅（Si）中痕量杂质分析。

VPD-HR-ICPMS 法分析硅片表面超痕量元素

半导体产品分析通常通过气相分解或液滴蚀刻进行研究，然后对得到的样品溶液进行示踪元素含量分析。赛默飞高分辨扇

形磁场 HR-ICPMS 具有超高的分辨率可以轻松分离基体（如 Si）多原子干扰。

仪器配置与方法

仪器配置 Element 2 HR-ICPMS；PFA 雾化器和雾室

操作参数 冷却气 16.0 l/min, 辅助气 0.8 l/min, 样品气 1.120 l/min；分辨率 300 或 400

校正方法 4 点，外标法

数据结果

通过气相分解高分辨电感耦合等离子体质谱技术（VPD-HR-ICPMS）, 研究人员成功地对晶圆样品中的 42 种元素进行了定

量分析，大大提高了分析方法的检测限。

检测痛点：Si 基样品中由于干扰的存在， 四极杆 ICP-

MS 仪器很难测定痕量的磷，但这在高分辨 ICPMS 的

中分辨模式下即可轻松完成。

HR-ICPMS 优势：由于 Element 2 高灵敏度，低背景

和出色的干扰消除能力，检测极限相比之前的方法提

高了 3 到 250 倍（下表所示）

元素Q-ICPMS 检测限/1010 原子 /cm-2

HR-ICPMS 检测限/1010 原子 /cm-2 提高的倍数

B 2 0.5 4

Na 0.6 0.005 120

Mg 0.2 0.008 25

Al 0.3 0.02 15

P 3 0.3 10

K 5 0.02 250

Ca 3 0.2 15

Ti 0.02 0.006 30

元素Q-ICPMS 检测限/1010 原子 /cm-2

HR-ICPMS 检测限/1010 原子 /cm-2 提高的倍数

Cr 0.2 0.003 67

Mn 0.04 0.01 40

Fe 2 0.03 67

Co 0.1 0.002 50

Ni 0.1 0.02 5

Cu 0.04 0.06 7

Zn 0.09 0.02 5

结论：使用 Element 2 高分辨率 ICP-MS 平均检出限约为 108 原子 /cm-2，可对硅片表面超痕量元素进行准确定量。

半导体材料分析

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仪器配置Element 2 HR-ICPMS; 50µLPFA 雾化器和雾室 +PFA 注氧端口；1mm 蓝宝石中心管；铂的样品锥和截取锥

操作参数炬管位置（mm）：X=3.1，Y=-0.3mm，Z=-9.8mm；气体流速（L/min）冷却气 =15，辅助气=0.95，样品气 =0.49

校正方法 标准添加法；内标 500pg/g 的 Rh

HR-ICPMS 优势：高分辨率可以使检测的元素与基体

干扰信号实现分离，面对未知样品高分辨 ICPMS 具有

无与伦比的优势，无需碰撞反应池，即可实现真正的

无干扰分析。

中分辨模式下（R=4000）56Fe与 40Ar16O、12C216O2 分离，

并可以在谱图上直接观察谱峰情况。该分析方法在有机

溶剂中的灵敏度与在稀硝酸中相同（＞ 1,000,000 cps/

ng/g In）。

结论

分析结果表明，高分辨率 ICP-MS 具有高分辨率

高灵敏度的特点，可对超痕量元素获得可靠的

数据。中分辨率模式（R=4000）的使用对于 Li,

Mg, Al, K, Ca, Ti, Cr, Mn, Fe, Zn 的测试非常必

要。

在该类型的样品基体分析中，Element 2 表现了

高灵敏度和极低的暗噪音，可以达到亚 pg/g 的

检测限。

同位素 分辨率 检测限（pg/g） 测量值（20 倍稀释）

23Na LR 29 6660Ni LR 6.5 31

63Cu LR 5.5 29118Sn LR 0.7 21208Pb LR 8.1 485

7Li MR 3.0 <3.024Mg MR 29 <2927Al MR 17 29

44Ca MR 50 49747Ti MR 15 <1552Cr MR 0.7 <0.7

55Mn MR 0.9 3.956Fe MR 3.8 9.566Zn MR 11 2139K MR 4.5 781

半导体材料分析

仪器方法检测限

50 μL/min 自吸式 PFA 同心雾化器；PFA 雾室；PFA 注氧端口配件；1 mm 内径蓝宝石中心管；铂的样品锥和截取锥液晶

样品按 1:20 稀释到高纯 PGME 溶剂中，样品内标为 500 pg/g Rh。

PGME 液晶样品中超痕量元素含量分析

液晶（LC）显示技术正向大屏显示发展，液晶显示技术性能与制造过程中微量元素含量有关，因此，直接、快速、可靠的

多元素分析技术越来越受到重视。赛默飞 Element 2 HR-ICP-MS 可以进行液晶材料中亚 ppt 级微量金属元素的检测。

仪器配置与方法

数据结果

使用标准添加法校正数据结果，对液晶样品中的 15 种未知元素进行定量分析。

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在集成电路制造过程中，需要用超纯水、酸、碱及水溶性溶剂作为清洗剂、刻蚀剂和显影剂等。暴露于介质环境中 ppt 级

污染物将会引起晶圆或电子组件腐蚀、侵蚀、电迁移和器件短路，因此，有必要对工艺流程化学品中痕量元素、无机阴阳

离子、过渡金属等杂质进行监测，最大程度减少环境引起的晶圆污染。

1. 超纯水分析

超纯水对于清洁和蚀刻 Si 基板至关重要。随着超大规模集成电路的发展，半导体工业中使用的超纯水所含杂质的测量变得

越来越严格，因此确保半导体制造设施用水保持可达到的最高质量至关重要。

1.1 超纯水中无机阴离子分析

国际半导体产业协会 （SEMI）推荐离子色谱技术作为用于无机阴离子分析的唯一分析技术。采用大定量环上样，可实现

ppb 乃至 ppt 级别杂质离子分析。

1.2 超纯水中超痕量元素分析

由于超纯水中 Si 受到 CO+ 和 N2+ 引起的多

原子干扰，一般 ICPMS 难以获得准确的分

析结果。赛默飞高分辨 ICPMS 的高分辨能

力（分辨率最大可达 10000），可以轻易

分离干扰。

高纯试剂分析

7

2. 水溶性溶剂分析

在半导体工业生产中，异丙醇（IPA）用作溶剂清洗硅片。由于 IPA 与硅片表面直接接触，因此，必须控制其痕量杂质浓度。

2.1 半导体级异丙醇中痕量元素分析

由于 ICP-MS 对元素分析的灵敏度高，可广泛用于半导体行业用材料的质量控制分析。采用 iCAP TQs ICP-MS 技术直接分

析 IPA，可为 IPA 中超痕量分析物（ng/L）提供有用的控制，并避免由样品制备引起的污染。

iCAP TQs ICP-MS 结合了三重四极杆和冷等离子体技术，该高度灵活的方法实现了半导体行业分析所需的超痕量背景等效

浓度（BEC）和检测限（LOD）。

表 1. 高分辨 ICPMS 分析 41 种元素检测限：

同位素 检测限 ng/1 条件 分辨率 同位素 检测限 ng/1 条件 分辨率

7 Li 0.012 冷 300 75 As 0.3 热 10000

9 Be 0.75 热 300 77 Se 2.3 热 10000

11 B 5.4 热 300 88 Sr 0.09 冷 300

23 Na 0.3 冷 300 90 Zr 0.08 热 300

24 Mg 0.2 冷 300 93 Nb 0.000B 热 300

27 AI 0.4 冷 300 98 Mo 0.2 热 300

28 Si 11 热 4000 106 Pd 0.2 冷 300

31 P 18 热 4000 107 Ag 0.4 冷 300

39 K 0.4 冷 10000 114 Cd 0.5 冷 300

44 Ca 1.5 冷 300 115 In 0.2 冷 300

48 Ti 0.4 热 4000 120 Sn 0.25 热 300

51 V 0.07 热 4000 121 Sb 0.07 热 300

52 Cr 0.24 冷 4000 138 Ba 0.7 热 300

55 Mn 0.14 冷 4000 181 Ta 0.0009 热 300

56 Fe 0.9 冷 4000 184 W 0.15 热 300

59 Co 0.14 冷 4000 194 Pt 1.3 冷 300

60 Ni 0.3 冷 300 197 Au 0.8 热 300

63 Cu 0.2 冷 300 205 TI 0.06 冷 300

64 Zn 0.2 冷 300 208 Pb 0.12 冷 300

69 Ga 0.4 冷 300 209 Bi 0.07 热 300

74 Ge 0.7 热 300

高纯试剂分析

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仪器配置和操作参数

参数值

雾化器 PFA 同心雾化器 100 μL-1（自吸式）

雾室 石英旋流雾室，在 -10 ℃ 下冷却

中心管 1.0 mm 内径，石英

接口 铂金采样锥和高灵敏度铂金截取锥

提取透镜 冷等离子体透镜

测量模式单四极杆模式 三重四极杆模式

SQ-STD SQ-KED SQ-CP SQ-CP-NH3 TQ-O2 TQ-NH3

正向功率 1450 W 600 W 1450 W

附加气体 纯 O2，30 mL·min-1

CRC 气体流速 -纯 He 4.2 mL·min-1 -

纯 NH3

0.28 mL·min-1纯 O2

0.3 mL·min-1纯 NH3

0.28 mL·min-1

校正数据

图 1. 显示了 IPA 中 Li、P、K、Ti、As、Zr 和 Ta 的校正曲线。采用校正标准品在 ng·L-1 级水平范围内测得的校正曲线呈现

出优异的线性和灵敏度。通过三重四极杆模式和冷等离子体得到改善的干扰去除可实现更具挑战性分析物的低背景噪声。

高纯试剂分析

表 2. 半导体级 IPA 分析的 BEC、LoD 和回收率数据。请注意，BEC 和 LoD 值取决于

所测量的样品。

分析模式BEC

（ng·L-1）LoD

（ng·L-

1）7Li SQ-CP 0.1 0.019Be SQ-STD 0.7 0.223Na SQ-CP-NH3 3.3 0.424Mg SQ-CP-NH3 0.6 0.327Al SQ-CP-NH3 13.9 0.631P（m/z 47） TQ-O2 1069 9939K SQ-CP-NH3 1.4 0.540Ca SQ-CP-NH3 6.0 1.148Ti at m/z 114 TQ-NH3 0.2 0.00151V at m/z 67 TQ-O2 2.0 0.452Cr SQ-CP 4.7 0.955Mn SQ-CP-NH3 0.4 0.156Fe SQ-CP-NH3 5.0 0.859Co SQ-CP 0.2 0.165Cu SQ-CP 7.6 0.666Zn SQ-CP 1.0 0.471Ga SQ-CP 0.07 0.174Ge SQ-KED 3.0 0.6

分析模式BEC

（ng·L-1）LoD（ng·L-1）

75As at m/z 91 TQ-O2 4.0 0.980Se at m/z 96 TQ-O2 0.7 1.385Rb SQ-CP-NH3 0.2 0.188Sr SQ-CP 0.04 0.0790Zr SQ-KED 0.03 0.0495Mo SQ-STD 0.6 0.2107Ag SQ-STD 0.1 0.08111Cd SQ-STD 0.001 0.001115In SQ-STD 0.2 0.04118Sn SQ-STD 5.4 1.2121Sb SQ-STD 0.05 0.01138Ba SQ-KED 0.01 0.04181Ta SQ-STD 0.1 0.04197Au SQ-STD 0.3 0.09205Tl SQ-STD 0.01 0.04208Pb SQ-CP-NH3 0.2 0.3209Bi SQ-STD 0.06 0.02

校正数据

图 4 显示了 IPA 中 Li、P、K、Ti、As、Zr 和 Ta 的校

正曲线。采用校正标准品在 ng·L-1 级水平范围内测得的

校正曲线呈现出优异的线性和灵敏度。通过三重四极杆

模式和冷等离子体得到改善的干扰去除可实现更具挑战

性分析物的低背景噪声。

图 4a. SQ-CP 模式下 Li 的分析。

图 4c. SQ-CP-NH3 质量数偏移模式下 K 的分析。

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

表 2. 半导体级 IPA 分析的 BEC、LoD 和回收率数据。请注意，BEC 和 LoD 值取决于

所测量的样品。

分析模式BEC

（ng·L-1）LoD

（ng·L-

1）7Li SQ-CP 0.1 0.019Be SQ-STD 0.7 0.223Na SQ-CP-NH3 3.3 0.424Mg SQ-CP-NH3 0.6 0.327Al SQ-CP-NH3 13.9 0.631P（m/z 47） TQ-O2 1069 9939K SQ-CP-NH3 1.4 0.540Ca SQ-CP-NH3 6.0 1.148Ti at m/z 114 TQ-NH3 0.2 0.00151V at m/z 67 TQ-O2 2.0 0.452Cr SQ-CP 4.7 0.955Mn SQ-CP-NH3 0.4 0.156Fe SQ-CP-NH3 5.0 0.859Co SQ-CP 0.2 0.165Cu SQ-CP 7.6 0.666Zn SQ-CP 1.0 0.471Ga SQ-CP 0.07 0.174Ge SQ-KED 3.0 0.6

分析模式BEC

（ng·L-1）LoD（ng·L-1）

75As at m/z 91 TQ-O2 4.0 0.980Se at m/z 96 TQ-O2 0.7 1.385Rb SQ-CP-NH3 0.2 0.188Sr SQ-CP 0.04 0.0790Zr SQ-KED 0.03 0.0495Mo SQ-STD 0.6 0.2107Ag SQ-STD 0.1 0.08111Cd SQ-STD 0.001 0.001115In SQ-STD 0.2 0.04118Sn SQ-STD 5.4 1.2121Sb SQ-STD 0.05 0.01138Ba SQ-KED 0.01 0.04181Ta SQ-STD 0.1 0.04197Au SQ-STD 0.3 0.09205Tl SQ-STD 0.01 0.04208Pb SQ-CP-NH3 0.2 0.3209Bi SQ-STD 0.06 0.02

校正数据

图 4 显示了 IPA 中 Li、P、K、Ti、As、Zr 和 Ta 的校

正曲线。采用校正标准品在 ng·L-1 级水平范围内测得的

校正曲线呈现出优异的线性和灵敏度。通过三重四极杆

模式和冷等离子体得到改善的干扰去除可实现更具挑战

性分析物的低背景噪声。

图 4b. TQ-O2 质量数偏移模式下 P 的分析。

图 4c. SQ-CP-NH3 质量数偏移模式下 K 的分析。

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

©2017 Thermo Fisher Scientific Inc. 保留所有权利。Teledyne 是 Teledyne Instruments，Inc. 的商标。所有其

他商标均为 Thermo Fisher Scientific 的财产。

此信息为展示 Thermo Fisher Scientific 产品功能的一个示例。其无意鼓励以任意可能侵犯他人知识产权的方式

使用这些产品。性能指标、条款和价格可能有所变化。并非所有产品在所有国家（地区）均有销售。有关具体细

节，请咨询本地销售代表。AN44356-EN 1017

通过 thermofisher.com/TQ-ICP-MS 了解更多信息

的分析。

图 4e. TQ-O2 质量数偏移模式下 As 的分析。

图 4f. SQ-KED 模式下 Zr 的分析。

图 4g. SQ-STD 模式下 Ta 的分析。

iCAP TQ ICP-MS 可在多种分析模式之间进行可靠切换，

在一次测量中可实现热和冷等离子体模式之间以及单四

极杆或三重四极杆模式之间平稳过渡，从而提高了易用

性和分析效率。

图 4. IPA 中的校正曲线。

结论

研究表明，Thermo Scientific iCAP TQ ICP-MS 能够对半

导体级 IPA 中超痕量（ng·L-1）元素进行灵敏准确的多元

素分析。无论是否使用冷等离子体，单四极杆和三重四极

杆技术都可以为所有分析物灵活提供最佳条件，从而降低

背景等效浓度并得到出色的检测限。

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

©2017 Thermo Fisher Scientific Inc. 保留所有权利。Teledyne 是 Teledyne Instruments，Inc. 的商标。所有其

他商标均为 Thermo Fisher Scientific 的财产。

此信息为展示 Thermo Fisher Scientific 产品功能的一个示例。其无意鼓励以任意可能侵犯他人知识产权的方式

使用这些产品。性能指标、条款和价格可能有所变化。并非所有产品在所有国家（地区）均有销售。有关具体细

节，请咨询本地销售代表。AN44356-EN 1017

通过 thermofisher.com/TQ-ICP-MS 了解更多信息

图 4d. TQ-NH3 质量数偏移模式下 Ti 的分析。

图 4f. SQ-KED 模式下 Zr 的分析。

图 4g. SQ-STD 模式下 Ta 的分析。

CAP TQ ICP-MS 可在多种分析模式之间进行可靠切换，

在一次测量中可实现热和冷等离子体模式之间以及单四

极杆或三重四极杆模式之间平稳过渡，从而提高了易用

性和分析效率。

图 4. IPA 中的校正曲线。

结论

研究表明，Thermo Scientific iCAP TQ ICP-MS 能够对半

导体级 IPA 中超痕量（ng·L-1）元素进行灵敏准确的多元

素分析。无论是否使用冷等离子体，单四极杆和三重四极

杆技术都可以为所有分析物灵活提供最佳条件，从而降低

背景等效浓度并得到出色的检测限。

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

©2017 Thermo Fisher Scientific Inc. 保留所有权利。Teledyne 是 Teledyne Instruments，Inc. 的商标。所有其

他商标均为 Thermo Fisher Scientific 的财产。

此信息为展示 Thermo Fisher Scientific 产品功能的一个示例。其无意鼓励以任意可能侵犯他人知识产权的方式

使用这些产品。性能指标、条款和价格可能有所变化。并非所有产品在所有国家（地区）均有销售。有关具体细

节，请咨询本地销售代表。AN44356-EN 1017

通过 thermofisher.com/TQ-ICP-MS 了解更多信息

图 4d. TQ-NH3 质量数偏移模式下 Ti 的分析。

图 4e. TQ-O2 质量数偏移模式下 As 的分析。

图 4g. SQ-STD 模式下 Ta 的分析。

iCAP TQ ICP-MS 可在多种分析模式之间进行可靠切换，

在一次测量中可实现热和冷等离子体模式之间以及单四

极杆或三重四极杆模式之间平稳过渡，从而提高了易用

性和分析效率。

图 4. IPA 中的校正曲线。

结论

研究表明，Thermo Scientific iCAP TQ ICP-MS 能够对半

导体级 IPA 中超痕量（ng·L-1）元素进行灵敏准确的多元

素分析。无论是否使用冷等离子体，单四极杆和三重四极

杆技术都可以为所有分析物灵活提供最佳条件，从而降低

背景等效浓度并得到出色的检测限。

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

表 2. 半导体级 IPA 分析的 BEC、LoD 和回收率数据。请注意，BEC 和 LoD 值取决于

所测量的样品。

分析模式BEC

（ng·L-1）LoD

（ng·L-

1）7Li SQ-CP 0.1 0.019Be SQ-STD 0.7 0.223Na SQ-CP-NH3 3.3 0.424Mg SQ-CP-NH3 0.6 0.327Al SQ-CP-NH3 13.9 0.631P（m/z 47） TQ-O2 1069 9939K SQ-CP-NH3 1.4 0.540Ca SQ-CP-NH3 6.0 1.148Ti at m/z 114 TQ-NH3 0.2 0.00151V at m/z 67 TQ-O2 2.0 0.452Cr SQ-CP 4.7 0.955Mn SQ-CP-NH3 0.4 0.156Fe SQ-CP-NH3 5.0 0.859Co SQ-CP 0.2 0.165Cu SQ-CP 7.6 0.666Zn SQ-CP 1.0 0.471Ga SQ-CP 0.07 0.174Ge SQ-KED 3.0 0.6

分析模式BEC

（ng·L-1）LoD（ng·L-1）

75As at m/z 91 TQ-O2 4.0 0.980Se at m/z 96 TQ-O2 0.7 1.385Rb SQ-CP-NH3 0.2 0.188Sr SQ-CP 0.04 0.0790Zr SQ-KED 0.03 0.0495Mo SQ-STD 0.6 0.2107Ag SQ-STD 0.1 0.08111Cd SQ-STD 0.001 0.001115In SQ-STD 0.2 0.04118Sn SQ-STD 5.4 1.2121Sb SQ-STD 0.05 0.01138Ba SQ-KED 0.01 0.04181Ta SQ-STD 0.1 0.04197Au SQ-STD 0.3 0.09205Tl SQ-STD 0.01 0.04208Pb SQ-CP-NH3 0.2 0.3209Bi SQ-STD 0.06 0.02

校正数据

图 4 显示了 IPA 中 Li、P、K、Ti、As、Zr 和 Ta 的校

正曲线。采用校正标准品在 ng·L-1 级水平范围内测得的

校正曲线呈现出优异的线性和灵敏度。通过三重四极杆

模式和冷等离子体得到改善的干扰去除可实现更具挑战

性分析物的低背景噪声。

图 4a. SQ-CP 模式下 Li 的分析。

图 4b. TQ-O2 质量数偏移模式下 P 的分析。

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

©2017 Thermo Fisher Scientific Inc. 保留所有权利。Teledyne 是 Teledyne Instruments，Inc. 的商标。所有其

他商标均为 Thermo Fisher Scientific 的财产。

此信息为展示 Thermo Fisher Scientific 产品功能的一个示例。其无意鼓励以任意可能侵犯他人知识产权的方式

使用这些产品。性能指标、条款和价格可能有所变化。并非所有产品在所有国家（地区）均有销售。有关具体细

节，请咨询本地销售代表。AN44356-EN 1017

通过 thermofisher.com/TQ-ICP-MS 了解更多信息

图 4d. TQ-NH3 质量数偏移模式下 Ti 的分析。

图 4e. TQ-O2 质量数偏移模式下 As 的分析。

图 4f. SQ-KED 模式下 Zr 的分析。

iCAP TQ ICP-MS 可在多种分析模式之间进行可靠切换，

在一次测量中可实现热和冷等离子体模式之间以及单四

极杆或三重四极杆模式之间平稳过渡，从而提高了易用

性和分析效率。

图 4. IPA 中的校正曲线。

结论

研究表明，Thermo Scientific iCAP TQ ICP-MS 能够对半

导体级 IPA 中超痕量（ng·L-1）元素进行灵敏准确的多元

素分析。无论是否使用冷等离子体，单四极杆和三重四极

杆技术都可以为所有分析物灵活提供最佳条件，从而降低

背景等效浓度并得到出色的检测限。

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

表 2. 半导体级 IPA 分析的 BEC、LoD 和回收率数据。请注意，BEC 和 LoD 值取决于

所测量的样品。

分析模式BEC

（ng·L-1）LoD

（ng·L-

1）7Li SQ-CP 0.1 0.019Be SQ-STD 0.7 0.223Na SQ-CP-NH3 3.3 0.424Mg SQ-CP-NH3 0.6 0.327Al SQ-CP-NH3 13.9 0.631P（m/z 47） TQ-O2 1069 9939K SQ-CP-NH3 1.4 0.540Ca SQ-CP-NH3 6.0 1.148Ti at m/z 114 TQ-NH3 0.2 0.00151V at m/z 67 TQ-O2 2.0 0.452Cr SQ-CP 4.7 0.955Mn SQ-CP-NH3 0.4 0.156Fe SQ-CP-NH3 5.0 0.859Co SQ-CP 0.2 0.165Cu SQ-CP 7.6 0.666Zn SQ-CP 1.0 0.471Ga SQ-CP 0.07 0.174Ge SQ-KED 3.0 0.6

分析模式BEC

（ng·L-1）LoD（ng·L-1）

75As at m/z 91 TQ-O2 4.0 0.980Se at m/z 96 TQ-O2 0.7 1.385Rb SQ-CP-NH3 0.2 0.188Sr SQ-CP 0.04 0.0790Zr SQ-KED 0.03 0.0495Mo SQ-STD 0.6 0.2107Ag SQ-STD 0.1 0.08111Cd SQ-STD 0.001 0.001115In SQ-STD 0.2 0.04118Sn SQ-STD 5.4 1.2121Sb SQ-STD 0.05 0.01138Ba SQ-KED 0.01 0.04181Ta SQ-STD 0.1 0.04197Au SQ-STD 0.3 0.09205Tl SQ-STD 0.01 0.04208Pb SQ-CP-NH3 0.2 0.3209Bi SQ-STD 0.06 0.02

校正数据

图 4 显示了 IPA 中 Li、P、K、Ti、As、Zr 和 Ta 的校

正曲线。采用校正标准品在 ng·L-1 级水平范围内测得的

校正曲线呈现出优异的线性和灵敏度。通过三重四极杆

模式和冷等离子体得到改善的干扰去除可实现更具挑战

性分析物的低背景噪声。

图 4a. SQ-CP 模式下 Li 的分析。

图 4c. SQ-CP-NH3 质量数偏移模式下 K 的分析。

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

表 2. 半导体级 IPA 分析的 BEC、LoD 和回收率数据。请注意，BEC 和 LoD 值取决于

所测量的样品。

分析模式BEC

（ng·L-1）LoD

（ng·L-

1）7Li SQ-CP 0.1 0.019Be SQ-STD 0.7 0.223Na SQ-CP-NH3 3.3 0.424Mg SQ-CP-NH3 0.6 0.327Al SQ-CP-NH3 13.9 0.631P（m/z 47） TQ-O2 1069 9939K SQ-CP-NH3 1.4 0.540Ca SQ-CP-NH3 6.0 1.148Ti at m/z 114 TQ-NH3 0.2 0.00151V at m/z 67 TQ-O2 2.0 0.452Cr SQ-CP 4.7 0.955Mn SQ-CP-NH3 0.4 0.156Fe SQ-CP-NH3 5.0 0.859Co SQ-CP 0.2 0.165Cu SQ-CP 7.6 0.666Zn SQ-CP 1.0 0.471Ga SQ-CP 0.07 0.174Ge SQ-KED 3.0 0.6

分析模式BEC

（ng·L-1）LoD（ng·L-1）

75As at m/z 91 TQ-O2 4.0 0.980Se at m/z 96 TQ-O2 0.7 1.385Rb SQ-CP-NH3 0.2 0.188Sr SQ-CP 0.04 0.0790Zr SQ-KED 0.03 0.0495Mo SQ-STD 0.6 0.2107Ag SQ-STD 0.1 0.08111Cd SQ-STD 0.001 0.001115In SQ-STD 0.2 0.04118Sn SQ-STD 5.4 1.2121Sb SQ-STD 0.05 0.01138Ba SQ-KED 0.01 0.04181Ta SQ-STD 0.1 0.04197Au SQ-STD 0.3 0.09205Tl SQ-STD 0.01 0.04208Pb SQ-CP-NH3 0.2 0.3209Bi SQ-STD 0.06 0.02

校正数据

图 4 显示了 IPA 中 Li、P、K、Ti、As、Zr 和 Ta 的校

正曲线。采用校正标准品在 ng·L-1 级水平范围内测得的

校正曲线呈现出优异的线性和灵敏度。通过三重四极杆

模式和冷等离子体得到改善的干扰去除可实现更具挑战

性分析物的低背景噪声。

图 4b. TQ-O2 质量数偏移模式下 P 的分析。

图 4c. SQ-CP-NH3 质量数偏移模式下 K 的分析。

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

©2017 Thermo Fisher Scientific Inc. 保留所有权利。Teledyne 是 Teledyne Instruments，Inc. 的商标。所有其

他商标均为 Thermo Fisher Scientific 的财产。

此信息为展示 Thermo Fisher Scientific 产品功能的一个示例。其无意鼓励以任意可能侵犯他人知识产权的方式

使用这些产品。性能指标、条款和价格可能有所变化。并非所有产品在所有国家（地区）均有销售。有关具体细

节，请咨询本地销售代表。AN44356-EN 1017

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的分析。

图 4e. TQ-O2 质量数偏移模式下 As 的分析。

图 4f. SQ-KED 模式下 Zr 的分析。

图 4g. SQ-STD 模式下 Ta 的分析。

iCAP TQ ICP-MS 可在多种分析模式之间进行可靠切换，

在一次测量中可实现热和冷等离子体模式之间以及单四

极杆或三重四极杆模式之间平稳过渡，从而提高了易用

性和分析效率。

图 4. IPA 中的校正曲线。

结论

研究表明，Thermo Scientific iCAP TQ ICP-MS 能够对半

导体级 IPA 中超痕量（ng·L-1）元素进行灵敏准确的多元

素分析。无论是否使用冷等离子体，单四极杆和三重四极

杆技术都可以为所有分析物灵活提供最佳条件，从而降低

背景等效浓度并得到出色的检测限。

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

©2017 Thermo Fisher Scientific Inc. 保留所有权利。Teledyne 是 Teledyne Instruments，Inc. 的商标。所有其

他商标均为 Thermo Fisher Scientific 的财产。

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图 4d. TQ-NH3 质量数偏移模式下 Ti 的分析。

图 4f. SQ-KED 模式下 Zr 的分析。

图 4g. SQ-STD 模式下 Ta 的分析。

CAP TQ ICP-MS 可在多种分析模式之间进行可靠切换，

在一次测量中可实现热和冷等离子体模式之间以及单四

极杆或三重四极杆模式之间平稳过渡，从而提高了易用

性和分析效率。

图 4. IPA 中的校正曲线。

结论

研究表明，Thermo Scientific iCAP TQ ICP-MS 能够对半

导体级 IPA 中超痕量（ng·L-1）元素进行灵敏准确的多元

素分析。无论是否使用冷等离子体，单四极杆和三重四极

杆技术都可以为所有分析物灵活提供最佳条件，从而降低

背景等效浓度并得到出色的检测限。

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

©2017 Thermo Fisher Scientific Inc. 保留所有权利。Teledyne 是 Teledyne Instruments，Inc. 的商标。所有其

他商标均为 Thermo Fisher Scientific 的财产。

此信息为展示 Thermo Fisher Scientific 产品功能的一个示例。其无意鼓励以任意可能侵犯他人知识产权的方式

使用这些产品。性能指标、条款和价格可能有所变化。并非所有产品在所有国家（地区）均有销售。有关具体细

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图 4d. TQ-NH3 质量数偏移模式下 Ti 的分析。

图 4e. TQ-O2 质量数偏移模式下 As 的分析。

图 4g. SQ-STD 模式下 Ta 的分析。

iCAP TQ ICP-MS 可在多种分析模式之间进行可靠切换，

在一次测量中可实现热和冷等离子体模式之间以及单四

极杆或三重四极杆模式之间平稳过渡，从而提高了易用

性和分析效率。

图 4. IPA 中的校正曲线。

结论

研究表明，Thermo Scientific iCAP TQ ICP-MS 能够对半

导体级 IPA 中超痕量（ng·L-1）元素进行灵敏准确的多元

素分析。无论是否使用冷等离子体，单四极杆和三重四极

杆技术都可以为所有分析物灵活提供最佳条件，从而降低

背景等效浓度并得到出色的检测限。

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

表 2. 半导体级 IPA 分析的 BEC、LoD 和回收率数据。请注意，BEC 和 LoD 值取决于

所测量的样品。

分析模式BEC

（ng·L-1）LoD

（ng·L-

1）7Li SQ-CP 0.1 0.019Be SQ-STD 0.7 0.223Na SQ-CP-NH3 3.3 0.424Mg SQ-CP-NH3 0.6 0.327Al SQ-CP-NH3 13.9 0.631P（m/z 47） TQ-O2 1069 9939K SQ-CP-NH3 1.4 0.540Ca SQ-CP-NH3 6.0 1.148Ti at m/z 114 TQ-NH3 0.2 0.00151V at m/z 67 TQ-O2 2.0 0.452Cr SQ-CP 4.7 0.955Mn SQ-CP-NH3 0.4 0.156Fe SQ-CP-NH3 5.0 0.859Co SQ-CP 0.2 0.165Cu SQ-CP 7.6 0.666Zn SQ-CP 1.0 0.471Ga SQ-CP 0.07 0.174Ge SQ-KED 3.0 0.6

分析模式BEC

（ng·L-1）LoD（ng·L-1）

75As at m/z 91 TQ-O2 4.0 0.980Se at m/z 96 TQ-O2 0.7 1.385Rb SQ-CP-NH3 0.2 0.188Sr SQ-CP 0.04 0.0790Zr SQ-KED 0.03 0.0495Mo SQ-STD 0.6 0.2107Ag SQ-STD 0.1 0.08111Cd SQ-STD 0.001 0.001115In SQ-STD 0.2 0.04118Sn SQ-STD 5.4 1.2121Sb SQ-STD 0.05 0.01138Ba SQ-KED 0.01 0.04181Ta SQ-STD 0.1 0.04197Au SQ-STD 0.3 0.09205Tl SQ-STD 0.01 0.04208Pb SQ-CP-NH3 0.2 0.3209Bi SQ-STD 0.06 0.02

校正数据

图 4 显示了 IPA 中 Li、P、K、Ti、As、Zr 和 Ta 的校

正曲线。采用校正标准品在 ng·L-1 级水平范围内测得的

校正曲线呈现出优异的线性和灵敏度。通过三重四极杆

模式和冷等离子体得到改善的干扰去除可实现更具挑战

性分析物的低背景噪声。

图 4a. SQ-CP 模式下 Li 的分析。

图 4b. TQ-O2 质量数偏移模式下 P 的分析。

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

©2017 Thermo Fisher Scientific Inc. 保留所有权利。Teledyne 是 Teledyne Instruments，Inc. 的商标。所有其

他商标均为 Thermo Fisher Scientific 的财产。

此信息为展示 Thermo Fisher Scientific 产品功能的一个示例。其无意鼓励以任意可能侵犯他人知识产权的方式

使用这些产品。性能指标、条款和价格可能有所变化。并非所有产品在所有国家（地区）均有销售。有关具体细

节，请咨询本地销售代表。AN44356-EN 1017

通过 thermofisher.com/TQ-ICP-MS 了解更多信息

图 4d. TQ-NH3 质量数偏移模式下 Ti 的分析。

图 4e. TQ-O2 质量数偏移模式下 As 的分析。

图 4f. SQ-KED 模式下 Zr 的分析。

iCAP TQ ICP-MS 可在多种分析模式之间进行可靠切换，

在一次测量中可实现热和冷等离子体模式之间以及单四

极杆或三重四极杆模式之间平稳过渡，从而提高了易用

性和分析效率。

图 4. IPA 中的校正曲线。

结论

研究表明，Thermo Scientific iCAP TQ ICP-MS 能够对半

导体级 IPA 中超痕量（ng·L-1）元素进行灵敏准确的多元

素分析。无论是否使用冷等离子体，单四极杆和三重四极

杆技术都可以为所有分析物灵活提供最佳条件，从而降低

背景等效浓度并得到出色的检测限。

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

表 2. 半导体级 IPA 分析的 BEC、LoD 和回收率数据。请注意，BEC 和 LoD 值取决于

所测量的样品。

分析模式BEC

（ng·L-1）LoD

（ng·L-

1）7Li SQ-CP 0.1 0.019Be SQ-STD 0.7 0.223Na SQ-CP-NH3 3.3 0.424Mg SQ-CP-NH3 0.6 0.327Al SQ-CP-NH3 13.9 0.631P（m/z 47） TQ-O2 1069 9939K SQ-CP-NH3 1.4 0.540Ca SQ-CP-NH3 6.0 1.148Ti at m/z 114 TQ-NH3 0.2 0.00151V at m/z 67 TQ-O2 2.0 0.452Cr SQ-CP 4.7 0.955Mn SQ-CP-NH3 0.4 0.156Fe SQ-CP-NH3 5.0 0.859Co SQ-CP 0.2 0.165Cu SQ-CP 7.6 0.666Zn SQ-CP 1.0 0.471Ga SQ-CP 0.07 0.174Ge SQ-KED 3.0 0.6

分析模式BEC

（ng·L-1）LoD（ng·L-1）

75As at m/z 91 TQ-O2 4.0 0.980Se at m/z 96 TQ-O2 0.7 1.385Rb SQ-CP-NH3 0.2 0.188Sr SQ-CP 0.04 0.0790Zr SQ-KED 0.03 0.0495Mo SQ-STD 0.6 0.2107Ag SQ-STD 0.1 0.08111Cd SQ-STD 0.001 0.001115In SQ-STD 0.2 0.04118Sn SQ-STD 5.4 1.2121Sb SQ-STD 0.05 0.01138Ba SQ-KED 0.01 0.04181Ta SQ-STD 0.1 0.04197Au SQ-STD 0.3 0.09205Tl SQ-STD 0.01 0.04208Pb SQ-CP-NH3 0.2 0.3209Bi SQ-STD 0.06 0.02

校正数据

图 4 显示了 IPA 中 Li、P、K、Ti、As、Zr 和 Ta 的校

正曲线。采用校正标准品在 ng·L-1 级水平范围内测得的

校正曲线呈现出优异的线性和灵敏度。通过三重四极杆

模式和冷等离子体得到改善的干扰去除可实现更具挑战

性分析物的低背景噪声。

图 4a. SQ-CP 模式下 Li 的分析。

图 4c. SQ-CP-NH3 质量数偏移模式下 K 的分析。

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

表 2. 半导体级 IPA 分析的 BEC、LoD 和回收率数据。请注意，BEC 和 LoD 值取决于

所测量的样品。

分析模式BEC

（ng·L-1）LoD

（ng·L-

1）7Li SQ-CP 0.1 0.019Be SQ-STD 0.7 0.223Na SQ-CP-NH3 3.3 0.424Mg SQ-CP-NH3 0.6 0.327Al SQ-CP-NH3 13.9 0.631P（m/z 47） TQ-O2 1069 9939K SQ-CP-NH3 1.4 0.540Ca SQ-CP-NH3 6.0 1.148Ti at m/z 114 TQ-NH3 0.2 0.00151V at m/z 67 TQ-O2 2.0 0.452Cr SQ-CP 4.7 0.955Mn SQ-CP-NH3 0.4 0.156Fe SQ-CP-NH3 5.0 0.859Co SQ-CP 0.2 0.165Cu SQ-CP 7.6 0.666Zn SQ-CP 1.0 0.471Ga SQ-CP 0.07 0.174Ge SQ-KED 3.0 0.6

分析模式BEC

（ng·L-1）LoD（ng·L-1）

75As at m/z 91 TQ-O2 4.0 0.980Se at m/z 96 TQ-O2 0.7 1.385Rb SQ-CP-NH3 0.2 0.188Sr SQ-CP 0.04 0.0790Zr SQ-KED 0.03 0.0495Mo SQ-STD 0.6 0.2107Ag SQ-STD 0.1 0.08111Cd SQ-STD 0.001 0.001115In SQ-STD 0.2 0.04118Sn SQ-STD 5.4 1.2121Sb SQ-STD 0.05 0.01138Ba SQ-KED 0.01 0.04181Ta SQ-STD 0.1 0.04197Au SQ-STD 0.3 0.09205Tl SQ-STD 0.01 0.04208Pb SQ-CP-NH3 0.2 0.3209Bi SQ-STD 0.06 0.02

校正数据

图 4 显示了 IPA 中 Li、P、K、Ti、As、Zr 和 Ta 的校

正曲线。采用校正标准品在 ng·L-1 级水平范围内测得的

校正曲线呈现出优异的线性和灵敏度。通过三重四极杆

模式和冷等离子体得到改善的干扰去除可实现更具挑战

性分析物的低背景噪声。

图 4b. TQ-O2 质量数偏移模式下 P 的分析。

图 4c. SQ-CP-NH3 质量数偏移模式下 K 的分析。

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

©2017 Thermo Fisher Scientific Inc. 保留所有权利。Teledyne 是 Teledyne Instruments，Inc. 的商标。所有其

他商标均为 Thermo Fisher Scientific 的财产。

此信息为展示 Thermo Fisher Scientific 产品功能的一个示例。其无意鼓励以任意可能侵犯他人知识产权的方式

使用这些产品。性能指标、条款和价格可能有所变化。并非所有产品在所有国家（地区）均有销售。有关具体细

节，请咨询本地销售代表。AN44356-EN 1017

通过 thermofisher.com/TQ-ICP-MS 了解更多信息

的分析。

图 4e. TQ-O2 质量数偏移模式下 As 的分析。

图 4f. SQ-KED 模式下 Zr 的分析。

图 4g. SQ-STD 模式下 Ta 的分析。

iCAP TQ ICP-MS 可在多种分析模式之间进行可靠切换，

在一次测量中可实现热和冷等离子体模式之间以及单四

极杆或三重四极杆模式之间平稳过渡，从而提高了易用

性和分析效率。

图 4. IPA 中的校正曲线。

结论

研究表明，Thermo Scientific iCAP TQ ICP-MS 能够对半

导体级 IPA 中超痕量（ng·L-1）元素进行灵敏准确的多元

素分析。无论是否使用冷等离子体，单四极杆和三重四极

杆技术都可以为所有分析物灵活提供最佳条件，从而降低

背景等效浓度并得到出色的检测限。

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

©2017 Thermo Fisher Scientific Inc. 保留所有权利。Teledyne 是 Teledyne Instruments，Inc. 的商标。所有其

他商标均为 Thermo Fisher Scientific 的财产。

此信息为展示 Thermo Fisher Scientific 产品功能的一个示例。其无意鼓励以任意可能侵犯他人知识产权的方式

使用这些产品。性能指标、条款和价格可能有所变化。并非所有产品在所有国家（地区）均有销售。有关具体细

节，请咨询本地销售代表。AN44356-EN 1017

通过 thermofisher.com/TQ-ICP-MS 了解更多信息

图 4d. TQ-NH3 质量数偏移模式下 Ti 的分析。

图 4f. SQ-KED 模式下 Zr 的分析。

图 4g. SQ-STD 模式下 Ta 的分析。

CAP TQ ICP-MS 可在多种分析模式之间进行可靠切换，

在一次测量中可实现热和冷等离子体模式之间以及单四

极杆或三重四极杆模式之间平稳过渡，从而提高了易用

性和分析效率。

图 4. IPA 中的校正曲线。

结论

研究表明，Thermo Scientific iCAP TQ ICP-MS 能够对半

导体级 IPA 中超痕量（ng·L-1）元素进行灵敏准确的多元

素分析。无论是否使用冷等离子体，单四极杆和三重四极

杆技术都可以为所有分析物灵活提供最佳条件，从而降低

背景等效浓度并得到出色的检测限。

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

©2017 Thermo Fisher Scientific Inc. 保留所有权利。Teledyne 是 Teledyne Instruments，Inc. 的商标。所有其

他商标均为 Thermo Fisher Scientific 的财产。

此信息为展示 Thermo Fisher Scientific 产品功能的一个示例。其无意鼓励以任意可能侵犯他人知识产权的方式

使用这些产品。性能指标、条款和价格可能有所变化。并非所有产品在所有国家（地区）均有销售。有关具体细

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图 4d. TQ-NH3 质量数偏移模式下 Ti 的分析。

图 4e. TQ-O2 质量数偏移模式下 As 的分析。

图 4g. SQ-STD 模式下 Ta 的分析。

iCAP TQ ICP-MS 可在多种分析模式之间进行可靠切换，

在一次测量中可实现热和冷等离子体模式之间以及单四

极杆或三重四极杆模式之间平稳过渡，从而提高了易用

性和分析效率。

图 4. IPA 中的校正曲线。

结论

研究表明，Thermo Scientific iCAP TQ ICP-MS 能够对半

导体级 IPA 中超痕量（ng·L-1）元素进行灵敏准确的多元

素分析。无论是否使用冷等离子体，单四极杆和三重四极

杆技术都可以为所有分析物灵活提供最佳条件，从而降低

背景等效浓度并得到出色的检测限。

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

表 2. 半导体级 IPA 分析的 BEC、LoD 和回收率数据。请注意，BEC 和 LoD 值取决于

所测量的样品。

分析模式BEC

（ng·L-1）LoD

（ng·L-

1）7Li SQ-CP 0.1 0.019Be SQ-STD 0.7 0.223Na SQ-CP-NH3 3.3 0.424Mg SQ-CP-NH3 0.6 0.327Al SQ-CP-NH3 13.9 0.631P（m/z 47） TQ-O2 1069 9939K SQ-CP-NH3 1.4 0.540Ca SQ-CP-NH3 6.0 1.148Ti at m/z 114 TQ-NH3 0.2 0.00151V at m/z 67 TQ-O2 2.0 0.452Cr SQ-CP 4.7 0.955Mn SQ-CP-NH3 0.4 0.156Fe SQ-CP-NH3 5.0 0.859Co SQ-CP 0.2 0.165Cu SQ-CP 7.6 0.666Zn SQ-CP 1.0 0.471Ga SQ-CP 0.07 0.174Ge SQ-KED 3.0 0.6

分析模式BEC

（ng·L-1）LoD（ng·L-1）

75As at m/z 91 TQ-O2 4.0 0.980Se at m/z 96 TQ-O2 0.7 1.385Rb SQ-CP-NH3 0.2 0.188Sr SQ-CP 0.04 0.0790Zr SQ-KED 0.03 0.0495Mo SQ-STD 0.6 0.2107Ag SQ-STD 0.1 0.08111Cd SQ-STD 0.001 0.001115In SQ-STD 0.2 0.04118Sn SQ-STD 5.4 1.2121Sb SQ-STD 0.05 0.01138Ba SQ-KED 0.01 0.04181Ta SQ-STD 0.1 0.04197Au SQ-STD 0.3 0.09205Tl SQ-STD 0.01 0.04208Pb SQ-CP-NH3 0.2 0.3209Bi SQ-STD 0.06 0.02

校正数据

图 4 显示了 IPA 中 Li、P、K、Ti、As、Zr 和 Ta 的校

正曲线。采用校正标准品在 ng·L-1 级水平范围内测得的

校正曲线呈现出优异的线性和灵敏度。通过三重四极杆

模式和冷等离子体得到改善的干扰去除可实现更具挑战

性分析物的低背景噪声。

图 4a. SQ-CP 模式下 Li 的分析。

图 4b. TQ-O2 质量数偏移模式下 P 的分析。

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

©2017 Thermo Fisher Scientific Inc. 保留所有权利。Teledyne 是 Teledyne Instruments，Inc. 的商标。所有其

他商标均为 Thermo Fisher Scientific 的财产。

此信息为展示 Thermo Fisher Scientific 产品功能的一个示例。其无意鼓励以任意可能侵犯他人知识产权的方式

使用这些产品。性能指标、条款和价格可能有所变化。并非所有产品在所有国家（地区）均有销售。有关具体细

节，请咨询本地销售代表。AN44356-EN 1017

通过 thermofisher.com/TQ-ICP-MS 了解更多信息

图 4d. TQ-NH3 质量数偏移模式下 Ti 的分析。

图 4e. TQ-O2 质量数偏移模式下 As 的分析。

图 4f. SQ-KED 模式下 Zr 的分析。

iCAP TQ ICP-MS 可在多种分析模式之间进行可靠切换，

在一次测量中可实现热和冷等离子体模式之间以及单四

极杆或三重四极杆模式之间平稳过渡，从而提高了易用

性和分析效率。

图 4. IPA 中的校正曲线。

结论

研究表明，Thermo Scientific iCAP TQ ICP-MS 能够对半

导体级 IPA 中超痕量（ng·L-1）元素进行灵敏准确的多元

素分析。无论是否使用冷等离子体，单四极杆和三重四极

杆技术都可以为所有分析物灵活提供最佳条件，从而降低

背景等效浓度并得到出色的检测限。

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

表 2. 半导体级 IPA 分析的 BEC、LoD 和回收率数据。请注意，BEC 和 LoD 值取决于

所测量的样品。

分析模式BEC

（ng·L-1）LoD

（ng·L-

1）7Li SQ-CP 0.1 0.019Be SQ-STD 0.7 0.223Na SQ-CP-NH3 3.3 0.424Mg SQ-CP-NH3 0.6 0.327Al SQ-CP-NH3 13.9 0.631P（m/z 47） TQ-O2 1069 9939K SQ-CP-NH3 1.4 0.540Ca SQ-CP-NH3 6.0 1.148Ti at m/z 114 TQ-NH3 0.2 0.00151V at m/z 67 TQ-O2 2.0 0.452Cr SQ-CP 4.7 0.955Mn SQ-CP-NH3 0.4 0.156Fe SQ-CP-NH3 5.0 0.859Co SQ-CP 0.2 0.165Cu SQ-CP 7.6 0.666Zn SQ-CP 1.0 0.471Ga SQ-CP 0.07 0.174Ge SQ-KED 3.0 0.6

分析模式BEC

（ng·L-1）LoD（ng·L-1）

75As at m/z 91 TQ-O2 4.0 0.980Se at m/z 96 TQ-O2 0.7 1.385Rb SQ-CP-NH3 0.2 0.188Sr SQ-CP 0.04 0.0790Zr SQ-KED 0.03 0.0495Mo SQ-STD 0.6 0.2107Ag SQ-STD 0.1 0.08111Cd SQ-STD 0.001 0.001115In SQ-STD 0.2 0.04118Sn SQ-STD 5.4 1.2121Sb SQ-STD 0.05 0.01138Ba SQ-KED 0.01 0.04181Ta SQ-STD 0.1 0.04197Au SQ-STD 0.3 0.09205Tl SQ-STD 0.01 0.04208Pb SQ-CP-NH3 0.2 0.3209Bi SQ-STD 0.06 0.02

校正数据

图 4 显示了 IPA 中 Li、P、K、Ti、As、Zr 和 Ta 的校

正曲线。采用校正标准品在 ng·L-1 级水平范围内测得的

校正曲线呈现出优异的线性和灵敏度。通过三重四极杆

模式和冷等离子体得到改善的干扰去除可实现更具挑战

性分析物的低背景噪声。

图 4a. SQ-CP 模式下 Li 的分析。

图 4c. SQ-CP-NH3 质量数偏移模式下 K 的分析。

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

表 2. 半导体级 IPA 分析的 BEC、LoD 和回收率数据。请注意，BEC 和 LoD 值取决于

所测量的样品。

分析模式BEC

（ng·L-1）LoD

（ng·L-

1）7Li SQ-CP 0.1 0.019Be SQ-STD 0.7 0.223Na SQ-CP-NH3 3.3 0.424Mg SQ-CP-NH3 0.6 0.327Al SQ-CP-NH3 13.9 0.631P（m/z 47） TQ-O2 1069 9939K SQ-CP-NH3 1.4 0.540Ca SQ-CP-NH3 6.0 1.148Ti at m/z 114 TQ-NH3 0.2 0.00151V at m/z 67 TQ-O2 2.0 0.452Cr SQ-CP 4.7 0.955Mn SQ-CP-NH3 0.4 0.156Fe SQ-CP-NH3 5.0 0.859Co SQ-CP 0.2 0.165Cu SQ-CP 7.6 0.666Zn SQ-CP 1.0 0.471Ga SQ-CP 0.07 0.174Ge SQ-KED 3.0 0.6

分析模式BEC

（ng·L-1）LoD（ng·L-1）

75As at m/z 91 TQ-O2 4.0 0.980Se at m/z 96 TQ-O2 0.7 1.385Rb SQ-CP-NH3 0.2 0.188Sr SQ-CP 0.04 0.0790Zr SQ-KED 0.03 0.0495Mo SQ-STD 0.6 0.2107Ag SQ-STD 0.1 0.08111Cd SQ-STD 0.001 0.001115In SQ-STD 0.2 0.04118Sn SQ-STD 5.4 1.2121Sb SQ-STD 0.05 0.01138Ba SQ-KED 0.01 0.04181Ta SQ-STD 0.1 0.04197Au SQ-STD 0.3 0.09205Tl SQ-STD 0.01 0.04208Pb SQ-CP-NH3 0.2 0.3209Bi SQ-STD 0.06 0.02

校正数据

图 4 显示了 IPA 中 Li、P、K、Ti、As、Zr 和 Ta 的校

正曲线。采用校正标准品在 ng·L-1 级水平范围内测得的

校正曲线呈现出优异的线性和灵敏度。通过三重四极杆

模式和冷等离子体得到改善的干扰去除可实现更具挑战

性分析物的低背景噪声。

图 4b. TQ-O2 质量数偏移模式下 P 的分析。

图 4c. SQ-CP-NH3 质量数偏移模式下 K 的分析。

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

©2017 Thermo Fisher Scientific Inc. 保留所有权利。Teledyne 是 Teledyne Instruments，Inc. 的商标。所有其

他商标均为 Thermo Fisher Scientific 的财产。

此信息为展示 Thermo Fisher Scientific 产品功能的一个示例。其无意鼓励以任意可能侵犯他人知识产权的方式

使用这些产品。性能指标、条款和价格可能有所变化。并非所有产品在所有国家（地区）均有销售。有关具体细

节，请咨询本地销售代表。AN44356-EN 1017

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的分析。

图 4e. TQ-O2 质量数偏移模式下 As 的分析。

图 4f. SQ-KED 模式下 Zr 的分析。

图 4g. SQ-STD 模式下 Ta 的分析。

iCAP TQ ICP-MS 可在多种分析模式之间进行可靠切换，

在一次测量中可实现热和冷等离子体模式之间以及单四

极杆或三重四极杆模式之间平稳过渡，从而提高了易用

性和分析效率。

图 4. IPA 中的校正曲线。

结论

研究表明，Thermo Scientific iCAP TQ ICP-MS 能够对半

导体级 IPA 中超痕量（ng·L-1）元素进行灵敏准确的多元

素分析。无论是否使用冷等离子体，单四极杆和三重四极

杆技术都可以为所有分析物灵活提供最佳条件，从而降低

背景等效浓度并得到出色的检测限。

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

©2017 Thermo Fisher Scientific Inc. 保留所有权利。Teledyne 是 Teledyne Instruments，Inc. 的商标。所有其

他商标均为 Thermo Fisher Scientific 的财产。

此信息为展示 Thermo Fisher Scientific 产品功能的一个示例。其无意鼓励以任意可能侵犯他人知识产权的方式

使用这些产品。性能指标、条款和价格可能有所变化。并非所有产品在所有国家（地区）均有销售。有关具体细

节，请咨询本地销售代表。AN44356-EN 1017

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图 4d. TQ-NH3 质量数偏移模式下 Ti 的分析。

图 4f. SQ-KED 模式下 Zr 的分析。

图 4g. SQ-STD 模式下 Ta 的分析。

CAP TQ ICP-MS 可在多种分析模式之间进行可靠切换，

在一次测量中可实现热和冷等离子体模式之间以及单四

极杆或三重四极杆模式之间平稳过渡，从而提高了易用

性和分析效率。

图 4. IPA 中的校正曲线。

结论

研究表明，Thermo Scientific iCAP TQ ICP-MS 能够对半

导体级 IPA 中超痕量（ng·L-1）元素进行灵敏准确的多元

素分析。无论是否使用冷等离子体，单四极杆和三重四极

杆技术都可以为所有分析物灵活提供最佳条件，从而降低

背景等效浓度并得到出色的检测限。

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

©2017 Thermo Fisher Scientific Inc. 保留所有权利。Teledyne 是 Teledyne Instruments，Inc. 的商标。所有其

他商标均为 Thermo Fisher Scientific 的财产。

此信息为展示 Thermo Fisher Scientific 产品功能的一个示例。其无意鼓励以任意可能侵犯他人知识产权的方式

使用这些产品。性能指标、条款和价格可能有所变化。并非所有产品在所有国家（地区）均有销售。有关具体细

节，请咨询本地销售代表。AN44356-EN 1017

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图 4d. TQ-NH3 质量数偏移模式下 Ti 的分析。

图 4e. TQ-O2 质量数偏移模式下 As 的分析。

图 4g. SQ-STD 模式下 Ta 的分析。

iCAP TQ ICP-MS 可在多种分析模式之间进行可靠切换，

在一次测量中可实现热和冷等离子体模式之间以及单四

极杆或三重四极杆模式之间平稳过渡，从而提高了易用

性和分析效率。

图 4. IPA 中的校正曲线。

结论

研究表明，Thermo Scientific iCAP TQ ICP-MS 能够对半

导体级 IPA 中超痕量（ng·L-1）元素进行灵敏准确的多元

素分析。无论是否使用冷等离子体，单四极杆和三重四极

杆技术都可以为所有分析物灵活提供最佳条件，从而降低

背景等效浓度并得到出色的检测限。

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

表 2. 半导体级 IPA 分析的 BEC、LoD 和回收率数据。请注意，BEC 和 LoD 值取决于

所测量的样品。

分析模式BEC

（ng·L-1）LoD

（ng·L-

1）7Li SQ-CP 0.1 0.019Be SQ-STD 0.7 0.223Na SQ-CP-NH3 3.3 0.424Mg SQ-CP-NH3 0.6 0.327Al SQ-CP-NH3 13.9 0.631P（m/z 47） TQ-O2 1069 9939K SQ-CP-NH3 1.4 0.540Ca SQ-CP-NH3 6.0 1.148Ti at m/z 114 TQ-NH3 0.2 0.00151V at m/z 67 TQ-O2 2.0 0.452Cr SQ-CP 4.7 0.955Mn SQ-CP-NH3 0.4 0.156Fe SQ-CP-NH3 5.0 0.859Co SQ-CP 0.2 0.165Cu SQ-CP 7.6 0.666Zn SQ-CP 1.0 0.471Ga SQ-CP 0.07 0.174Ge SQ-KED 3.0 0.6

分析模式BEC

（ng·L-1）LoD（ng·L-1）

75As at m/z 91 TQ-O2 4.0 0.980Se at m/z 96 TQ-O2 0.7 1.385Rb SQ-CP-NH3 0.2 0.188Sr SQ-CP 0.04 0.0790Zr SQ-KED 0.03 0.0495Mo SQ-STD 0.6 0.2107Ag SQ-STD 0.1 0.08111Cd SQ-STD 0.001 0.001115In SQ-STD 0.2 0.04118Sn SQ-STD 5.4 1.2121Sb SQ-STD 0.05 0.01138Ba SQ-KED 0.01 0.04181Ta SQ-STD 0.1 0.04197Au SQ-STD 0.3 0.09205Tl SQ-STD 0.01 0.04208Pb SQ-CP-NH3 0.2 0.3209Bi SQ-STD 0.06 0.02

校正数据

图 4 显示了 IPA 中 Li、P、K、Ti、As、Zr 和 Ta 的校

正曲线。采用校正标准品在 ng·L-1 级水平范围内测得的

校正曲线呈现出优异的线性和灵敏度。通过三重四极杆

模式和冷等离子体得到改善的干扰去除可实现更具挑战

性分析物的低背景噪声。

图 4a. SQ-CP 模式下 Li 的分析。

图 4b. TQ-O2 质量数偏移模式下 P 的分析。

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

©2017 Thermo Fisher Scientific Inc. 保留所有权利。Teledyne 是 Teledyne Instruments，Inc. 的商标。所有其

他商标均为 Thermo Fisher Scientific 的财产。

此信息为展示 Thermo Fisher Scientific 产品功能的一个示例。其无意鼓励以任意可能侵犯他人知识产权的方式

使用这些产品。性能指标、条款和价格可能有所变化。并非所有产品在所有国家（地区）均有销售。有关具体细

节，请咨询本地销售代表。AN44356-EN 1017

通过 thermofisher.com/TQ-ICP-MS 了解更多信息

图 4d. TQ-NH3 质量数偏移模式下 Ti 的分析。

图 4e. TQ-O2 质量数偏移模式下 As 的分析。

图 4f. SQ-KED 模式下 Zr 的分析。

iCAP TQ ICP-MS 可在多种分析模式之间进行可靠切换，

在一次测量中可实现热和冷等离子体模式之间以及单四

极杆或三重四极杆模式之间平稳过渡，从而提高了易用

性和分析效率。

图 4. IPA 中的校正曲线。

结论

研究表明，Thermo Scientific iCAP TQ ICP-MS 能够对半

导体级 IPA 中超痕量（ng·L-1）元素进行灵敏准确的多元

素分析。无论是否使用冷等离子体，单四极杆和三重四极

杆技术都可以为所有分析物灵活提供最佳条件，从而降低

背景等效浓度并得到出色的检测限。

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

表 2. 半导体级 IPA 分析的 BEC、LoD 和回收率数据。请注意，BEC 和 LoD 值取决于

所测量的样品。

分析模式BEC

（ng·L-1）LoD

（ng·L-

1）7Li SQ-CP 0.1 0.019Be SQ-STD 0.7 0.223Na SQ-CP-NH3 3.3 0.424Mg SQ-CP-NH3 0.6 0.327Al SQ-CP-NH3 13.9 0.631P（m/z 47） TQ-O2 1069 9939K SQ-CP-NH3 1.4 0.540Ca SQ-CP-NH3 6.0 1.148Ti at m/z 114 TQ-NH3 0.2 0.00151V at m/z 67 TQ-O2 2.0 0.452Cr SQ-CP 4.7 0.955Mn SQ-CP-NH3 0.4 0.156Fe SQ-CP-NH3 5.0 0.859Co SQ-CP 0.2 0.165Cu SQ-CP 7.6 0.666Zn SQ-CP 1.0 0.471Ga SQ-CP 0.07 0.174Ge SQ-KED 3.0 0.6

分析模式BEC

（ng·L-1）LoD（ng·L-1）

75As at m/z 91 TQ-O2 4.0 0.980Se at m/z 96 TQ-O2 0.7 1.385Rb SQ-CP-NH3 0.2 0.188Sr SQ-CP 0.04 0.0790Zr SQ-KED 0.03 0.0495Mo SQ-STD 0.6 0.2107Ag SQ-STD 0.1 0.08111Cd SQ-STD 0.001 0.001115In SQ-STD 0.2 0.04118Sn SQ-STD 5.4 1.2121Sb SQ-STD 0.05 0.01138Ba SQ-KED 0.01 0.04181Ta SQ-STD 0.1 0.04197Au SQ-STD 0.3 0.09205Tl SQ-STD 0.01 0.04208Pb SQ-CP-NH3 0.2 0.3209Bi SQ-STD 0.06 0.02

校正数据

图 4 显示了 IPA 中 Li、P、K、Ti、As、Zr 和 Ta 的校

正曲线。采用校正标准品在 ng·L-1 级水平范围内测得的

校正曲线呈现出优异的线性和灵敏度。通过三重四极杆

模式和冷等离子体得到改善的干扰去除可实现更具挑战

性分析物的低背景噪声。

图 4a. SQ-CP 模式下 Li 的分析。

图 4c. SQ-CP-NH3 质量数偏移模式下 K 的分析。

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

表 2. 半导体级 IPA 分析的 BEC、LoD 和回收率数据。请注意，BEC 和 LoD 值取决于

所测量的样品。

分析模式BEC

（ng·L-1）LoD

（ng·L-

1）7Li SQ-CP 0.1 0.019Be SQ-STD 0.7 0.223Na SQ-CP-NH3 3.3 0.424Mg SQ-CP-NH3 0.6 0.327Al SQ-CP-NH3 13.9 0.631P（m/z 47） TQ-O2 1069 9939K SQ-CP-NH3 1.4 0.540Ca SQ-CP-NH3 6.0 1.148Ti at m/z 114 TQ-NH3 0.2 0.00151V at m/z 67 TQ-O2 2.0 0.452Cr SQ-CP 4.7 0.955Mn SQ-CP-NH3 0.4 0.156Fe SQ-CP-NH3 5.0 0.859Co SQ-CP 0.2 0.165Cu SQ-CP 7.6 0.666Zn SQ-CP 1.0 0.471Ga SQ-CP 0.07 0.174Ge SQ-KED 3.0 0.6

分析模式BEC

（ng·L-1）LoD（ng·L-1）

75As at m/z 91 TQ-O2 4.0 0.980Se at m/z 96 TQ-O2 0.7 1.385Rb SQ-CP-NH3 0.2 0.188Sr SQ-CP 0.04 0.0790Zr SQ-KED 0.03 0.0495Mo SQ-STD 0.6 0.2107Ag SQ-STD 0.1 0.08111Cd SQ-STD 0.001 0.001115In SQ-STD 0.2 0.04118Sn SQ-STD 5.4 1.2121Sb SQ-STD 0.05 0.01138Ba SQ-KED 0.01 0.04181Ta SQ-STD 0.1 0.04197Au SQ-STD 0.3 0.09205Tl SQ-STD 0.01 0.04208Pb SQ-CP-NH3 0.2 0.3209Bi SQ-STD 0.06 0.02

校正数据

图 4 显示了 IPA 中 Li、P、K、Ti、As、Zr 和 Ta 的校

正曲线。采用校正标准品在 ng·L-1 级水平范围内测得的

校正曲线呈现出优异的线性和灵敏度。通过三重四极杆

模式和冷等离子体得到改善的干扰去除可实现更具挑战

性分析物的低背景噪声。

图 4b. TQ-O2 质量数偏移模式下 P 的分析。

图 4c. SQ-CP-NH3 质量数偏移模式下 K 的分析。

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

©2017 Thermo Fisher Scientific Inc. 保留所有权利。Teledyne 是 Teledyne Instruments，Inc. 的商标。所有其

他商标均为 Thermo Fisher Scientific 的财产。

此信息为展示 Thermo Fisher Scientific 产品功能的一个示例。其无意鼓励以任意可能侵犯他人知识产权的方式

使用这些产品。性能指标、条款和价格可能有所变化。并非所有产品在所有国家（地区）均有销售。有关具体细

节，请咨询本地销售代表。AN44356-EN 1017

通过 thermofisher.com/TQ-ICP-MS 了解更多信息

的分析。

图 4e. TQ-O2 质量数偏移模式下 As 的分析。

图 4f. SQ-KED 模式下 Zr 的分析。

图 4g. SQ-STD 模式下 Ta 的分析。

iCAP TQ ICP-MS 可在多种分析模式之间进行可靠切换，

在一次测量中可实现热和冷等离子体模式之间以及单四

极杆或三重四极杆模式之间平稳过渡，从而提高了易用

性和分析效率。

图 4. IPA 中的校正曲线。

结论

研究表明，Thermo Scientific iCAP TQ ICP-MS 能够对半

导体级 IPA 中超痕量（ng·L-1）元素进行灵敏准确的多元

素分析。无论是否使用冷等离子体，单四极杆和三重四极

杆技术都可以为所有分析物灵活提供最佳条件，从而降低

背景等效浓度并得到出色的检测限。

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

©2017 Thermo Fisher Scientific Inc. 保留所有权利。Teledyne 是 Teledyne Instruments，Inc. 的商标。所有其

他商标均为 Thermo Fisher Scientific 的财产。

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使用这些产品。性能指标、条款和价格可能有所变化。并非所有产品在所有国家（地区）均有销售。有关具体细

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图 4d. TQ-NH3 质量数偏移模式下 Ti 的分析。

图 4f. SQ-KED 模式下 Zr 的分析。

图 4g. SQ-STD 模式下 Ta 的分析。

CAP TQ ICP-MS 可在多种分析模式之间进行可靠切换，

在一次测量中可实现热和冷等离子体模式之间以及单四

极杆或三重四极杆模式之间平稳过渡，从而提高了易用

性和分析效率。

图 4. IPA 中的校正曲线。

结论

研究表明，Thermo Scientific iCAP TQ ICP-MS 能够对半

导体级 IPA 中超痕量（ng·L-1）元素进行灵敏准确的多元

素分析。无论是否使用冷等离子体，单四极杆和三重四极

杆技术都可以为所有分析物灵活提供最佳条件，从而降低

背景等效浓度并得到出色的检测限。

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

©2017 Thermo Fisher Scientific Inc. 保留所有权利。Teledyne 是 Teledyne Instruments，Inc. 的商标。所有其

他商标均为 Thermo Fisher Scientific 的财产。

此信息为展示 Thermo Fisher Scientific 产品功能的一个示例。其无意鼓励以任意可能侵犯他人知识产权的方式

使用这些产品。性能指标、条款和价格可能有所变化。并非所有产品在所有国家（地区）均有销售。有关具体细

节，请咨询本地销售代表。AN44356-EN 1017

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图 4d. TQ-NH3 质量数偏移模式下 Ti 的分析。

图 4e. TQ-O2 质量数偏移模式下 As 的分析。

图 4g. SQ-STD 模式下 Ta 的分析。

iCAP TQ ICP-MS 可在多种分析模式之间进行可靠切换，

在一次测量中可实现热和冷等离子体模式之间以及单四

极杆或三重四极杆模式之间平稳过渡，从而提高了易用

性和分析效率。

图 4. IPA 中的校正曲线。

结论

研究表明，Thermo Scientific iCAP TQ ICP-MS 能够对半

导体级 IPA 中超痕量（ng·L-1）元素进行灵敏准确的多元

素分析。无论是否使用冷等离子体，单四极杆和三重四极

杆技术都可以为所有分析物灵活提供最佳条件，从而降低

背景等效浓度并得到出色的检测限。

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

表 2. 半导体级 IPA 分析的 BEC、LoD 和回收率数据。请注意，BEC 和 LoD 值取决于

所测量的样品。

分析模式BEC

（ng·L-1）LoD

（ng·L-

1）7Li SQ-CP 0.1 0.019Be SQ-STD 0.7 0.223Na SQ-CP-NH3 3.3 0.424Mg SQ-CP-NH3 0.6 0.327Al SQ-CP-NH3 13.9 0.631P（m/z 47） TQ-O2 1069 9939K SQ-CP-NH3 1.4 0.540Ca SQ-CP-NH3 6.0 1.148Ti at m/z 114 TQ-NH3 0.2 0.00151V at m/z 67 TQ-O2 2.0 0.452Cr SQ-CP 4.7 0.955Mn SQ-CP-NH3 0.4 0.156Fe SQ-CP-NH3 5.0 0.859Co SQ-CP 0.2 0.165Cu SQ-CP 7.6 0.666Zn SQ-CP 1.0 0.471Ga SQ-CP 0.07 0.174Ge SQ-KED 3.0 0.6

分析模式BEC

（ng·L-1）LoD（ng·L-1）

75As at m/z 91 TQ-O2 4.0 0.980Se at m/z 96 TQ-O2 0.7 1.385Rb SQ-CP-NH3 0.2 0.188Sr SQ-CP 0.04 0.0790Zr SQ-KED 0.03 0.0495Mo SQ-STD 0.6 0.2107Ag SQ-STD 0.1 0.08111Cd SQ-STD 0.001 0.001115In SQ-STD 0.2 0.04118Sn SQ-STD 5.4 1.2121Sb SQ-STD 0.05 0.01138Ba SQ-KED 0.01 0.04181Ta SQ-STD 0.1 0.04197Au SQ-STD 0.3 0.09205Tl SQ-STD 0.01 0.04208Pb SQ-CP-NH3 0.2 0.3209Bi SQ-STD 0.06 0.02

校正数据

图 4 显示了 IPA 中 Li、P、K、Ti、As、Zr 和 Ta 的校

正曲线。采用校正标准品在 ng·L-1 级水平范围内测得的

校正曲线呈现出优异的线性和灵敏度。通过三重四极杆

模式和冷等离子体得到改善的干扰去除可实现更具挑战

性分析物的低背景噪声。

图 4a. SQ-CP 模式下 Li 的分析。

图 4b. TQ-O2 质量数偏移模式下 P 的分析。

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

©2017 Thermo Fisher Scientific Inc. 保留所有权利。Teledyne 是 Teledyne Instruments，Inc. 的商标。所有其

他商标均为 Thermo Fisher Scientific 的财产。

此信息为展示 Thermo Fisher Scientific 产品功能的一个示例。其无意鼓励以任意可能侵犯他人知识产权的方式

使用这些产品。性能指标、条款和价格可能有所变化。并非所有产品在所有国家（地区）均有销售。有关具体细

节，请咨询本地销售代表。AN44356-EN 1017

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图 4d. TQ-NH3 质量数偏移模式下 Ti 的分析。

图 4e. TQ-O2 质量数偏移模式下 As 的分析。

图 4f. SQ-KED 模式下 Zr 的分析。

iCAP TQ ICP-MS 可在多种分析模式之间进行可靠切换，

在一次测量中可实现热和冷等离子体模式之间以及单四

极杆或三重四极杆模式之间平稳过渡，从而提高了易用

性和分析效率。

图 4. IPA 中的校正曲线。

结论

研究表明，Thermo Scientific iCAP TQ ICP-MS 能够对半

导体级 IPA 中超痕量（ng·L-1）元素进行灵敏准确的多元

素分析。无论是否使用冷等离子体，单四极杆和三重四极

杆技术都可以为所有分析物灵活提供最佳条件，从而降低

背景等效浓度并得到出色的检测限。

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

图 1. IPA 中的校正曲线。

1a. SQ-CP 模式下 Li 的分析；

1b. TQ-O2 质量数偏移模式下 P 的分析；

1c. SQ-CP-NH3 质量数偏移模式下 K 的分析；

1d. TQ-NH3 质量数偏移模式下 Ti 的分析；

1e. TQ-O2 质量数偏移模式下 As 的分析；

1f. SQ-KED 模式下 Zr 的分析；

1g. SQ-STD 模式下 Ta 的分析；

图 1 a 图 1 c

图 1 e

图 1 g

图 1 b

图 1 d 图 1 f

表 2. 半导体级 IPA 分析的 BEC、LoD 和回收率数据。请注意，BEC 和 LoD 值取决于

所测量的样品。

分析模式BEC

（ng·L-1）LoD

（ng·L-

1）7Li SQ-CP 0.1 0.019Be SQ-STD 0.7 0.223Na SQ-CP-NH3 3.3 0.424Mg SQ-CP-NH3 0.6 0.327Al SQ-CP-NH3 13.9 0.631P（m/z 47） TQ-O2 1069 9939K SQ-CP-NH3 1.4 0.540Ca SQ-CP-NH3 6.0 1.148Ti at m/z 114 TQ-NH3 0.2 0.00151V at m/z 67 TQ-O2 2.0 0.452Cr SQ-CP 4.7 0.955Mn SQ-CP-NH3 0.4 0.156Fe SQ-CP-NH3 5.0 0.859Co SQ-CP 0.2 0.165Cu SQ-CP 7.6 0.666Zn SQ-CP 1.0 0.471Ga SQ-CP 0.07 0.174Ge SQ-KED 3.0 0.6

分析模式BEC

（ng·L-1）LoD（ng·L-1）

75As at m/z 91 TQ-O2 4.0 0.980Se at m/z 96 TQ-O2 0.7 1.385Rb SQ-CP-NH3 0.2 0.188Sr SQ-CP 0.04 0.0790Zr SQ-KED 0.03 0.0495Mo SQ-STD 0.6 0.2107Ag SQ-STD 0.1 0.08111Cd SQ-STD 0.001 0.001115In SQ-STD 0.2 0.04118Sn SQ-STD 5.4 1.2121Sb SQ-STD 0.05 0.01138Ba SQ-KED 0.01 0.04181Ta SQ-STD 0.1 0.04197Au SQ-STD 0.3 0.09205Tl SQ-STD 0.01 0.04208Pb SQ-CP-NH3 0.2 0.3209Bi SQ-STD 0.06 0.02

校正数据

图 4 显示了 IPA 中 Li、P、K、Ti、As、Zr 和 Ta 的校

正曲线。采用校正标准品在 ng·L-1 级水平范围内测得的

校正曲线呈现出优异的线性和灵敏度。通过三重四极杆

模式和冷等离子体得到改善的干扰去除可实现更具挑战

性分析物的低背景噪声。

图 4a. SQ-CP 模式下 Li 的分析。

图 4c. SQ-CP-NH3 质量数偏移模式下 K 的分析。

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

表 2. 半导体级 IPA 分析的 BEC、LoD 和回收率数据。请注意，BEC 和 LoD 值取决于

所测量的样品。

分析模式BEC

（ng·L-1）LoD

（ng·L-

1）7Li SQ-CP 0.1 0.019Be SQ-STD 0.7 0.223Na SQ-CP-NH3 3.3 0.424Mg SQ-CP-NH3 0.6 0.327Al SQ-CP-NH3 13.9 0.631P（m/z 47） TQ-O2 1069 9939K SQ-CP-NH3 1.4 0.540Ca SQ-CP-NH3 6.0 1.148Ti at m/z 114 TQ-NH3 0.2 0.00151V at m/z 67 TQ-O2 2.0 0.452Cr SQ-CP 4.7 0.955Mn SQ-CP-NH3 0.4 0.156Fe SQ-CP-NH3 5.0 0.859Co SQ-CP 0.2 0.165Cu SQ-CP 7.6 0.666Zn SQ-CP 1.0 0.471Ga SQ-CP 0.07 0.174Ge SQ-KED 3.0 0.6

分析模式BEC

（ng·L-1）LoD（ng·L-1）

75As at m/z 91 TQ-O2 4.0 0.980Se at m/z 96 TQ-O2 0.7 1.385Rb SQ-CP-NH3 0.2 0.188Sr SQ-CP 0.04 0.0790Zr SQ-KED 0.03 0.0495Mo SQ-STD 0.6 0.2107Ag SQ-STD 0.1 0.08111Cd SQ-STD 0.001 0.001115In SQ-STD 0.2 0.04118Sn SQ-STD 5.4 1.2121Sb SQ-STD 0.05 0.01138Ba SQ-KED 0.01 0.04181Ta SQ-STD 0.1 0.04197Au SQ-STD 0.3 0.09205Tl SQ-STD 0.01 0.04208Pb SQ-CP-NH3 0.2 0.3209Bi SQ-STD 0.06 0.02

校正数据

图 4 显示了 IPA 中 Li、P、K、Ti、As、Zr 和 Ta 的校

正曲线。采用校正标准品在 ng·L-1 级水平范围内测得的

校正曲线呈现出优异的线性和灵敏度。通过三重四极杆

模式和冷等离子体得到改善的干扰去除可实现更具挑战

性分析物的低背景噪声。

图 4b. TQ-O2 质量数偏移模式下 P 的分析。

图 4c. SQ-CP-NH3 质量数偏移模式下 K 的分析。

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

©2017 Thermo Fisher Scientific Inc. 保留所有权利。Teledyne 是 Teledyne Instruments，Inc. 的商标。所有其

他商标均为 Thermo Fisher Scientific 的财产。

此信息为展示 Thermo Fisher Scientific 产品功能的一个示例。其无意鼓励以任意可能侵犯他人知识产权的方式

使用这些产品。性能指标、条款和价格可能有所变化。并非所有产品在所有国家（地区）均有销售。有关具体细

节，请咨询本地销售代表。AN44356-EN 1017

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的分析。

图 4e. TQ-O2 质量数偏移模式下 As 的分析。

图 4f. SQ-KED 模式下 Zr 的分析。

图 4g. SQ-STD 模式下 Ta 的分析。

iCAP TQ ICP-MS 可在多种分析模式之间进行可靠切换，

在一次测量中可实现热和冷等离子体模式之间以及单四

极杆或三重四极杆模式之间平稳过渡，从而提高了易用

性和分析效率。

图 4. IPA 中的校正曲线。

结论

研究表明，Thermo Scientific iCAP TQ ICP-MS 能够对半

导体级 IPA 中超痕量（ng·L-1）元素进行灵敏准确的多元

素分析。无论是否使用冷等离子体，单四极杆和三重四极

杆技术都可以为所有分析物灵活提供最佳条件，从而降低

背景等效浓度并得到出色的检测限。

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

©2017 Thermo Fisher Scientific Inc. 保留所有权利。Teledyne 是 Teledyne Instruments，Inc. 的商标。所有其

他商标均为 Thermo Fisher Scientific 的财产。

此信息为展示 Thermo Fisher Scientific 产品功能的一个示例。其无意鼓励以任意可能侵犯他人知识产权的方式

使用这些产品。性能指标、条款和价格可能有所变化。并非所有产品在所有国家（地区）均有销售。有关具体细

节，请咨询本地销售代表。AN44356-EN 1017

通过 thermofisher.com/TQ-ICP-MS 了解更多信息

图 4d. TQ-NH3 质量数偏移模式下 Ti 的分析。

图 4f. SQ-KED 模式下 Zr 的分析。

图 4g. SQ-STD 模式下 Ta 的分析。

CAP TQ ICP-MS 可在多种分析模式之间进行可靠切换，

在一次测量中可实现热和冷等离子体模式之间以及单四

极杆或三重四极杆模式之间平稳过渡，从而提高了易用

性和分析效率。

图 4. IPA 中的校正曲线。

结论

研究表明，Thermo Scientific iCAP TQ ICP-MS 能够对半

导体级 IPA 中超痕量（ng·L-1）元素进行灵敏准确的多元

素分析。无论是否使用冷等离子体，单四极杆和三重四极

杆技术都可以为所有分析物灵活提供最佳条件，从而降低

背景等效浓度并得到出色的检测限。

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

©2017 Thermo Fisher Scientific Inc. 保留所有权利。Teledyne 是 Teledyne Instruments，Inc. 的商标。所有其

他商标均为 Thermo Fisher Scientific 的财产。

此信息为展示 Thermo Fisher Scientific 产品功能的一个示例。其无意鼓励以任意可能侵犯他人知识产权的方式

使用这些产品。性能指标、条款和价格可能有所变化。并非所有产品在所有国家（地区）均有销售。有关具体细

节，请咨询本地销售代表。AN44356-EN 1017

通过 thermofisher.com/TQ-ICP-MS 了解更多信息

图 4d. TQ-NH3 质量数偏移模式下 Ti 的分析。

图 4e. TQ-O2 质量数偏移模式下 As 的分析。

图 4g. SQ-STD 模式下 Ta 的分析。

iCAP TQ ICP-MS 可在多种分析模式之间进行可靠切换，

在一次测量中可实现热和冷等离子体模式之间以及单四

极杆或三重四极杆模式之间平稳过渡，从而提高了易用

性和分析效率。

图 4. IPA 中的校正曲线。

结论

研究表明，Thermo Scientific iCAP TQ ICP-MS 能够对半

导体级 IPA 中超痕量（ng·L-1）元素进行灵敏准确的多元

素分析。无论是否使用冷等离子体，单四极杆和三重四极

杆技术都可以为所有分析物灵活提供最佳条件，从而降低

背景等效浓度并得到出色的检测限。

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

表 2. 半导体级 IPA 分析的 BEC、LoD 和回收率数据。请注意，BEC 和 LoD 值取决于

所测量的样品。

分析模式BEC

（ng·L-1）LoD

（ng·L-

1）7Li SQ-CP 0.1 0.019Be SQ-STD 0.7 0.223Na SQ-CP-NH3 3.3 0.424Mg SQ-CP-NH3 0.6 0.327Al SQ-CP-NH3 13.9 0.631P（m/z 47） TQ-O2 1069 9939K SQ-CP-NH3 1.4 0.540Ca SQ-CP-NH3 6.0 1.148Ti at m/z 114 TQ-NH3 0.2 0.00151V at m/z 67 TQ-O2 2.0 0.452Cr SQ-CP 4.7 0.955Mn SQ-CP-NH3 0.4 0.156Fe SQ-CP-NH3 5.0 0.859Co SQ-CP 0.2 0.165Cu SQ-CP 7.6 0.666Zn SQ-CP 1.0 0.471Ga SQ-CP 0.07 0.174Ge SQ-KED 3.0 0.6

分析模式BEC

（ng·L-1）LoD（ng·L-1）

75As at m/z 91 TQ-O2 4.0 0.980Se at m/z 96 TQ-O2 0.7 1.385Rb SQ-CP-NH3 0.2 0.188Sr SQ-CP 0.04 0.0790Zr SQ-KED 0.03 0.0495Mo SQ-STD 0.6 0.2107Ag SQ-STD 0.1 0.08111Cd SQ-STD 0.001 0.001115In SQ-STD 0.2 0.04118Sn SQ-STD 5.4 1.2121Sb SQ-STD 0.05 0.01138Ba SQ-KED 0.01 0.04181Ta SQ-STD 0.1 0.04197Au SQ-STD 0.3 0.09205Tl SQ-STD 0.01 0.04208Pb SQ-CP-NH3 0.2 0.3209Bi SQ-STD 0.06 0.02

校正数据

图 4 显示了 IPA 中 Li、P、K、Ti、As、Zr 和 Ta 的校

正曲线。采用校正标准品在 ng·L-1 级水平范围内测得的

校正曲线呈现出优异的线性和灵敏度。通过三重四极杆

模式和冷等离子体得到改善的干扰去除可实现更具挑战

性分析物的低背景噪声。

图 4a. SQ-CP 模式下 Li 的分析。

图 4b. TQ-O2 质量数偏移模式下 P 的分析。

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

©2017 Thermo Fisher Scientific Inc. 保留所有权利。Teledyne 是 Teledyne Instruments，Inc. 的商标。所有其

他商标均为 Thermo Fisher Scientific 的财产。

此信息为展示 Thermo Fisher Scientific 产品功能的一个示例。其无意鼓励以任意可能侵犯他人知识产权的方式

使用这些产品。性能指标、条款和价格可能有所变化。并非所有产品在所有国家（地区）均有销售。有关具体细

节，请咨询本地销售代表。AN44356-EN 1017

通过 thermofisher.com/TQ-ICP-MS 了解更多信息

图 4d. TQ-NH3 质量数偏移模式下 Ti 的分析。

图 4e. TQ-O2 质量数偏移模式下 As 的分析。

图 4f. SQ-KED 模式下 Zr 的分析。

iCAP TQ ICP-MS 可在多种分析模式之间进行可靠切换，

在一次测量中可实现热和冷等离子体模式之间以及单四

极杆或三重四极杆模式之间平稳过渡，从而提高了易用

性和分析效率。

图 4. IPA 中的校正曲线。

结论

研究表明，Thermo Scientific iCAP TQ ICP-MS 能够对半

导体级 IPA 中超痕量（ng·L-1）元素进行灵敏准确的多元

素分析。无论是否使用冷等离子体，单四极杆和三重四极

杆技术都可以为所有分析物灵活提供最佳条件，从而降低

背景等效浓度并得到出色的检测限。

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

表 2. 半导体级 IPA 分析的 BEC、LoD 和回收率数据。请注意，BEC 和 LoD 值取决于

所测量的样品。

分析模式BEC

（ng·L-1）LoD

（ng·L-

1）7Li SQ-CP 0.1 0.019Be SQ-STD 0.7 0.223Na SQ-CP-NH3 3.3 0.424Mg SQ-CP-NH3 0.6 0.327Al SQ-CP-NH3 13.9 0.631P（m/z 47） TQ-O2 1069 9939K SQ-CP-NH3 1.4 0.540Ca SQ-CP-NH3 6.0 1.148Ti at m/z 114 TQ-NH3 0.2 0.00151V at m/z 67 TQ-O2 2.0 0.452Cr SQ-CP 4.7 0.955Mn SQ-CP-NH3 0.4 0.156Fe SQ-CP-NH3 5.0 0.859Co SQ-CP 0.2 0.165Cu SQ-CP 7.6 0.666Zn SQ-CP 1.0 0.471Ga SQ-CP 0.07 0.174Ge SQ-KED 3.0 0.6

分析模式BEC

（ng·L-1）LoD（ng·L-1）

75As at m/z 91 TQ-O2 4.0 0.980Se at m/z 96 TQ-O2 0.7 1.385Rb SQ-CP-NH3 0.2 0.188Sr SQ-CP 0.04 0.0790Zr SQ-KED 0.03 0.0495Mo SQ-STD 0.6 0.2107Ag SQ-STD 0.1 0.08111Cd SQ-STD 0.001 0.001115In SQ-STD 0.2 0.04118Sn SQ-STD 5.4 1.2121Sb SQ-STD 0.05 0.01138Ba SQ-KED 0.01 0.04181Ta SQ-STD 0.1 0.04197Au SQ-STD 0.3 0.09205Tl SQ-STD 0.01 0.04208Pb SQ-CP-NH3 0.2 0.3209Bi SQ-STD 0.06 0.02

校正数据

图 4 显示了 IPA 中 Li、P、K、Ti、As、Zr 和 Ta 的校

正曲线。采用校正标准品在 ng·L-1 级水平范围内测得的

校正曲线呈现出优异的线性和灵敏度。通过三重四极杆

模式和冷等离子体得到改善的干扰去除可实现更具挑战

性分析物的低背景噪声。

图 4a. SQ-CP 模式下 Li 的分析。

图 4c. SQ-CP-NH3 质量数偏移模式下 K 的分析。

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

表 2. 半导体级 IPA 分析的 BEC、LoD 和回收率数据。请注意，BEC 和 LoD 值取决于

所测量的样品。

分析模式BEC

（ng·L-1）LoD

（ng·L-

1）7Li SQ-CP 0.1 0.019Be SQ-STD 0.7 0.223Na SQ-CP-NH3 3.3 0.424Mg SQ-CP-NH3 0.6 0.327Al SQ-CP-NH3 13.9 0.631P（m/z 47） TQ-O2 1069 9939K SQ-CP-NH3 1.4 0.540Ca SQ-CP-NH3 6.0 1.148Ti at m/z 114 TQ-NH3 0.2 0.00151V at m/z 67 TQ-O2 2.0 0.452Cr SQ-CP 4.7 0.955Mn SQ-CP-NH3 0.4 0.156Fe SQ-CP-NH3 5.0 0.859Co SQ-CP 0.2 0.165Cu SQ-CP 7.6 0.666Zn SQ-CP 1.0 0.471Ga SQ-CP 0.07 0.174Ge SQ-KED 3.0 0.6

分析模式BEC

（ng·L-1）LoD（ng·L-1）

75As at m/z 91 TQ-O2 4.0 0.980Se at m/z 96 TQ-O2 0.7 1.385Rb SQ-CP-NH3 0.2 0.188Sr SQ-CP 0.04 0.0790Zr SQ-KED 0.03 0.0495Mo SQ-STD 0.6 0.2107Ag SQ-STD 0.1 0.08111Cd SQ-STD 0.001 0.001115In SQ-STD 0.2 0.04118Sn SQ-STD 5.4 1.2121Sb SQ-STD 0.05 0.01138Ba SQ-KED 0.01 0.04181Ta SQ-STD 0.1 0.04197Au SQ-STD 0.3 0.09205Tl SQ-STD 0.01 0.04208Pb SQ-CP-NH3 0.2 0.3209Bi SQ-STD 0.06 0.02

校正数据

图 4 显示了 IPA 中 Li、P、K、Ti、As、Zr 和 Ta 的校

正曲线。采用校正标准品在 ng·L-1 级水平范围内测得的

校正曲线呈现出优异的线性和灵敏度。通过三重四极杆

模式和冷等离子体得到改善的干扰去除可实现更具挑战

性分析物的低背景噪声。

图 4b. TQ-O2 质量数偏移模式下 P 的分析。

图 4c. SQ-CP-NH3 质量数偏移模式下 K 的分析。

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

©2017 Thermo Fisher Scientific Inc. 保留所有权利。Teledyne 是 Teledyne Instruments，Inc. 的商标。所有其

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节，请咨询本地销售代表。AN44356-EN 1017

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的分析。

图 4e. TQ-O2 质量数偏移模式下 As 的分析。

图 4f. SQ-KED 模式下 Zr 的分析。

图 4g. SQ-STD 模式下 Ta 的分析。

iCAP TQ ICP-MS 可在多种分析模式之间进行可靠切换，

在一次测量中可实现热和冷等离子体模式之间以及单四

极杆或三重四极杆模式之间平稳过渡，从而提高了易用

性和分析效率。

图 4. IPA 中的校正曲线。

结论

研究表明，Thermo Scientific iCAP TQ ICP-MS 能够对半

导体级 IPA 中超痕量（ng·L-1）元素进行灵敏准确的多元

素分析。无论是否使用冷等离子体，单四极杆和三重四极

杆技术都可以为所有分析物灵活提供最佳条件，从而降低

背景等效浓度并得到出色的检测限。

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

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图 4f. SQ-KED 模式下 Zr 的分析。

图 4g. SQ-STD 模式下 Ta 的分析。

CAP TQ ICP-MS 可在多种分析模式之间进行可靠切换，

在一次测量中可实现热和冷等离子体模式之间以及单四

极杆或三重四极杆模式之间平稳过渡，从而提高了易用

性和分析效率。

图 4. IPA 中的校正曲线。

结论

研究表明，Thermo Scientific iCAP TQ ICP-MS 能够对半

导体级 IPA 中超痕量（ng·L-1）元素进行灵敏准确的多元

素分析。无论是否使用冷等离子体，单四极杆和三重四极

杆技术都可以为所有分析物灵活提供最佳条件，从而降低

背景等效浓度并得到出色的检测限。

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

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图 4d. TQ-NH3 质量数偏移模式下 Ti 的分析。

图 4e. TQ-O2 质量数偏移模式下 As 的分析。

图 4g. SQ-STD 模式下 Ta 的分析。

iCAP TQ ICP-MS 可在多种分析模式之间进行可靠切换，

在一次测量中可实现热和冷等离子体模式之间以及单四

极杆或三重四极杆模式之间平稳过渡，从而提高了易用

性和分析效率。

图 4. IPA 中的校正曲线。

结论

研究表明，Thermo Scientific iCAP TQ ICP-MS 能够对半

导体级 IPA 中超痕量（ng·L-1）元素进行灵敏准确的多元

素分析。无论是否使用冷等离子体，单四极杆和三重四极

杆技术都可以为所有分析物灵活提供最佳条件，从而降低

背景等效浓度并得到出色的检测限。

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

表 2. 半导体级 IPA 分析的 BEC、LoD 和回收率数据。请注意，BEC 和 LoD 值取决于

所测量的样品。

分析模式BEC

（ng·L-1）LoD

（ng·L-

1）7Li SQ-CP 0.1 0.019Be SQ-STD 0.7 0.223Na SQ-CP-NH3 3.3 0.424Mg SQ-CP-NH3 0.6 0.327Al SQ-CP-NH3 13.9 0.631P（m/z 47） TQ-O2 1069 9939K SQ-CP-NH3 1.4 0.540Ca SQ-CP-NH3 6.0 1.148Ti at m/z 114 TQ-NH3 0.2 0.00151V at m/z 67 TQ-O2 2.0 0.452Cr SQ-CP 4.7 0.955Mn SQ-CP-NH3 0.4 0.156Fe SQ-CP-NH3 5.0 0.859Co SQ-CP 0.2 0.165Cu SQ-CP 7.6 0.666Zn SQ-CP 1.0 0.471Ga SQ-CP 0.07 0.174Ge SQ-KED 3.0 0.6

分析模式BEC

（ng·L-1）LoD（ng·L-1）

75As at m/z 91 TQ-O2 4.0 0.980Se at m/z 96 TQ-O2 0.7 1.385Rb SQ-CP-NH3 0.2 0.188Sr SQ-CP 0.04 0.0790Zr SQ-KED 0.03 0.0495Mo SQ-STD 0.6 0.2107Ag SQ-STD 0.1 0.08111Cd SQ-STD 0.001 0.001115In SQ-STD 0.2 0.04118Sn SQ-STD 5.4 1.2121Sb SQ-STD 0.05 0.01138Ba SQ-KED 0.01 0.04181Ta SQ-STD 0.1 0.04197Au SQ-STD 0.3 0.09205Tl SQ-STD 0.01 0.04208Pb SQ-CP-NH3 0.2 0.3209Bi SQ-STD 0.06 0.02

校正数据

图 4 显示了 IPA 中 Li、P、K、Ti、As、Zr 和 Ta 的校

正曲线。采用校正标准品在 ng·L-1 级水平范围内测得的

校正曲线呈现出优异的线性和灵敏度。通过三重四极杆

模式和冷等离子体得到改善的干扰去除可实现更具挑战

性分析物的低背景噪声。

图 4a. SQ-CP 模式下 Li 的分析。

图 4b. TQ-O2 质量数偏移模式下 P 的分析。

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

©2017 Thermo Fisher Scientific Inc. 保留所有权利。Teledyne 是 Teledyne Instruments，Inc. 的商标。所有其

他商标均为 Thermo Fisher Scientific 的财产。

此信息为展示 Thermo Fisher Scientific 产品功能的一个示例。其无意鼓励以任意可能侵犯他人知识产权的方式

使用这些产品。性能指标、条款和价格可能有所变化。并非所有产品在所有国家（地区）均有销售。有关具体细

节，请咨询本地销售代表。AN44356-EN 1017

通过 thermofisher.com/TQ-ICP-MS 了解更多信息

图 4d. TQ-NH3 质量数偏移模式下 Ti 的分析。

图 4e. TQ-O2 质量数偏移模式下 As 的分析。

图 4f. SQ-KED 模式下 Zr 的分析。

iCAP TQ ICP-MS 可在多种分析模式之间进行可靠切换，

在一次测量中可实现热和冷等离子体模式之间以及单四

极杆或三重四极杆模式之间平稳过渡，从而提高了易用

性和分析效率。

图 4. IPA 中的校正曲线。

结论

研究表明，Thermo Scientific iCAP TQ ICP-MS 能够对半

导体级 IPA 中超痕量（ng·L-1）元素进行灵敏准确的多元

素分析。无论是否使用冷等离子体，单四极杆和三重四极

杆技术都可以为所有分析物灵活提供最佳条件，从而降低

背景等效浓度并得到出色的检测限。

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

浓度

强度

参数 值 90% 置信度区间 标准偏差 相对标准偏差 [%]

9

3、酸分析

在半导体行业中，常用作化学刻蚀剂的有氢氟酸、盐酸、硫酸、磷酸和硝酸等酸试剂。

3.1 半导体级氢氟酸中痕量元素分析

氢氟酸用于去除半导体材料中二氧化硅层。半导体级氢氟酸中目标浓度极低，因此应尽量减少样品处理，以避免污染。

iCAP Qs ICP-MS 具有高灵敏度和抗干扰能力，可直接用于测定半导体级 48％ HF 中超痕量（ng/L-1）元素分析，方法快速

简单可靠。

实验条件和要求：

• 实验使用 CETAC ASX-112FR 自动进样器与 iCAP Q ICPMS 联用，且使用 PFA 装置（包括进样管 ）

• 所有与样品接触的管子和瓶子等需在酸槽（3% HF, 2% HNO3, 2% H2O2）中清洗浸泡 72 小时

• 采用标准加入法，在 HF 酸样品中加标 10，20，50，200 ng/L 的 Spex 混合标准溶液，以 Optima HF 加标 20 ng/L 来

测回收率

• 采用冷等离子体测定，条件如下：

实验结果：

Analyte LoD（ng·L-1） BEC（ng·L-1） Recovery（%）7Li 0.03 0.03 97

23Na 0.2 1.6 10024Mg 0.5 0.6 10127AI 0.4 9.7 9139K 0.6 20.4 105

40Ca 1.2 4.8 10252Cr 0.2 12.9 107

55Mn 0.2 0.4 9656Fe 1.1 3.4 10758Ni 0.7 0.7 99

Analyte LoD（ng·L-1） BEC（ng·L-1） Recovery（%）59Co 0.5 0.7 10063Cu 1.6 4.2 9166Zn 3.5 5.0 10688Sr 0.5 0.1 99

107Ag 0.6 0.7 97111Cd 0.7 0.4 90115In 0.1 0.05 96205Tl 0.1 0.03 101

208Pb 0.2 0.02 93209Bi 0.5 0.1 94

Parameter Value

Spray Chamber PFA cyclonic

Nebulizer MicroFlow PFA-100（self-aspirating）

Injector 2.0 mm I.D., Sapphire

Interface Cold plasma platinum sampler and skimmer

Extraction Lens Cold plasma lens kit

高纯试剂分析

2.2 半导体级异丙醇中阴离子分析

在系统中加入浓缩柱，反相有机溶剂经过浓缩柱时，离子被吸附，而主成分无保留，可被超纯水冲走，再由流动相将吸附

的待测离子带入色谱柱分离并检测。

加上原样本P5页中

P10：

3.2 半导体级异丙醇中阴离子分析

在系统中加入浓缩柱，反相有机溶剂经过浓缩柱时，离子被吸附，而主成分无保留，可被超纯水

冲走，再由流动相将吸附的待测离子带入色谱柱分离并检测。

4、酸分析

在半导体行业中，常用作化学刻蚀剂有氢氟酸、盐酸、硫酸、磷酸和硝酸等酸试剂。

4.1 半导体级氢氟酸中痕量元素分析

氢氟酸用于去除半导体材料中二氧化硅层。

半导体级氢氟酸中目标浓度极低，因此应尽量减少样品处理，以避免污染。iCAP Qs ICP-MS 具有

高灵敏度和抗干扰能力，可直接用于测定半导体级 48％ HF 中超痕量（ng∙L-1）元素分析。方法

快速简单可靠。

实验条件和要求：

10

3.2 半导体级氢氟酸中阴离子分析

SEMI 规定氢氟酸中氯化物和硫酸盐浓度必须小于 200 μg/L，硝酸盐和磷酸盐的浓度必须小于 100 μg/L。简单地将氢氟酸

稀释到不会使阴离子交换柱过载的浓度，不能提供足够的灵敏度来确定污染的阴离子。因此，采用阀切换，在线消除弱酸

影响，第一维从基体中分离待测物，减少基体离子含量；将待测物转移至第二维分离、测定。

3.3 半导体级高纯硫酸中超痕量元素分析

高纯浓硫酸（H2SO4）用于半导体工业中去除硅晶圆表面的有机物。碰撞 / 反应池 ICP-MS 能有效地减少 Ar 多原子干扰，

但对含有高浓度基体元素的复杂样品，通过高分辨 ICPMS 可去除基体多原子干扰并获得超低浓度微量元素的准确结果。

而对于浓强酸中的阴离子分析，依托赛默飞高效高容量阴离子交换色谱柱，可直接稀释上机分析，如 68% 硝酸中的阴离子

0.0 5.0 10.0 15.0 20.0 23.0-0.50

1.00

2.00

3.00

4.00 μS

min

1 2

34

0.0 5.0 10.0 15.0 20.0 25.0 30.0 35.0-0.10

0.50

1.00

1.50

2.00

2.50

3.00

1 TAMA blank2 TAMA blank+50PPB3 TAMA blank+100PPBμS

min

3

1 - C

l

2 - S

O4

3 - B

r

4 - N

O3

5 - P

O4

2

1

高纯试剂分析

仪器配置与方法

仪器配置 Element 2 HR-ICPMS; 100µLPFA 雾化器和雾室；1mm 铂金中心管；铂的样品锥和截取锥

操作参数 半导体制冷装置，将雾室降低到 0℃，降低等离子体负载

校正方法 标准添加法

图 2. HR-ICPMS 中分辨模式下实现分

离 Ti 上 SN 和 SNH 干扰

HR-ICPMS 优势：

“硫酸基体 ICPMS 测试的主要问题之一是其严重的基体干扰，这些干扰对 Ti, V,

Cr 和 Zn 的测定有严重的影响”，赛默飞 HR-ICPMS 能够完美解决复杂基体中的

干扰问题，轻松应对挑战。

11

数据结果

数据校正采用标准加入法，标准添加曲线浓度分别为 1, 5 和 10 pg/g，10 pg/g 的 39K 灵敏度为 2000 cps，该样品 39K 的

浓度为 300 fg/g，相当于 3 pg/g 的未稀释样品。该值远低于 SEMI Tier C 最大值为 10 pg/g。

表 2. 10% H2SO4 十次重复分析，计算得到的 21 个元素的 LOD 和 BEC（标记浓度：5pg/g）：

7Li（LR）

11B（LR）

23Na（LR）

24Mg（MR）

27AI（MR）

39K（HR）

44Ca（MR）

48Ti（MR）

51V（MR） 52Cr（MR）

55Mn（MR）

LoD 0.3 1.1 0.3 0.1 1.6 0.04 0.9 0.8 0.05 1.5 0.1

BEC 0.3 5.9 3.7 0.5 4.2 0.4 2.9 1.2 0.2 1.4 0.1

Unspiked 0.3 5.1 ＜ LoD 0.6 5.6 0.5 2.6 1.4 0.2 0.8 0.1

Spike#1 5 8.9 5 5.9 9.6 5.5 7.6 6.5 5.1 6.2 4.9

Spike#2 5.1 9.2 5.1 6 9.8 5.4 8 6.2 5 5.8 5.3

Spike#3 5.6 10.2 5 5.4 9.7 5.4 8.3 6.5 4.7 5.7 4.8

Spike#4 5.5 10 5.1 5.5 10.2 5.6 8.5 7.2 4.7 5.8 5.2

Spike#5 5.2 10.1 5.1 5.6 10.6 5.5 7.6 6.6 5.1 5.8 5.1

Average 5.3 9.7 5.1 5.7 10 5.5 8 6.6 4.9 5.8 5.1

%PSD 4.3 6 1 4.4 4.2 1.5 4.9 5.8 4.4 3.9 3.9

%Recovery 100 91 99 102 87 99 103 103 95 101 99

56Fe（MR）

58Ni（MR）

63Cu（MR）

66Zn（HR）

75As（HR）

111Cd（LR）

118Sn（LR）

121Sb（LR）

138Ba（LR）

208Pb（LR）

LoD 0.4 0.4 0.3 2.4 0.4 0.1 0.3 0.08 0.03 0.05

BEC 4 0.9 0.6 3.9 0.3 0.03 0.8 0.08 0.04 0.08

Unspiked 3.3 0.7 1.2 13.4 0.5 ＜ LoD 1.3 0.1 0.5 0.1

Spike#1 6.6 5.7 6.4 19.8 4.9 4.5 5.8 4.9 5.3 5

Spike#2 7.5 5.9 6.8 17.1 5.4 5.2 6 5.2 5.8 5.2

Spike#3 7.7 5.9 6.5 19.1 5.6 4.9 6 5.3 6.2 5.7

Spike#4 7.7 6.3 6.2 21.1 6.2 4.8 5.6 5.4 5.9 5.5

Spike#5 8.3 5.7 6.4 17.8 5.6 4.9 5.9 5.5 5.5 5.3

Average 7.6 5.9 6.5 19 5.5 4.9 5.9 5.3 5.7 5.3

%PSD 7.8 5.8 3.3 8.4 8.2 5 2.6 4.8 5.6 5.4

%Recovery 86 104 106 112 102 97 92 104 105 105

结论

赛默飞高分辨 ICP-MS 可进行 SEMI 级半导体化学试剂的检测，其高分辨能力能有效去除高基体样品中的多原子干扰。大

多数元素的检测限＜ 0.1 pg/g，且除稀释样品外不需其他样品前处理。

高纯试剂分析

12

高纯试剂分析

4、强碱分析

4.1 半导体级 TMAH 显影剂中的超痕量元素分析

0.3 N 四甲基氢氧化铵（化学式（CH3）4NOH ，简称 TMAH）作为电路板光刻显影剂被广泛应用于半导体产业中，其品质

影响着使用性能。赛默飞 Element 2 高分辨 ICP-MS 具备极强的基体耐受能力和高灵敏度，可以进行 0.3N TMAH 中超低含

量元素的检测。

仪器配置与方法：

仪器配置和参数 热等离子体 冷等离子体

100 μL/min 自吸式 PFA 同心雾化器；PFA 雾室 功率 1030W 功率 725W

带蓝宝石中心管的石英炬管 样品气流速 0.94L/min 样品气流速 1L/min

Ni 样品锥和截取锥 聚焦透镜 -820V 聚焦透镜 -1000V

数据结果

高分辨 ICPMS 分析结果表明，调查的 15 种元素中的 10 种必须用高分辨率来测试，才可排除干扰的影响。

图 3. 锰（m/z=55）在中分辨模式（R=4000）展示 TMAH 基体相关

的 40Ar15N 和 40Ar14NH 干扰

图 4. 中分辨下（R=4000）铁（m/z=56）在冷热不同

等离子体下观察的多原子干扰

表 3. 0.3 N TMAH 样品的浓度数据，15 种元素的检测限（pg/g）

同位素 等离子体 分辨率 浓度 检测限

7Li COLD LR 13.4 0.1

11B HOT LR 177 8.7

23Na COLD LR 55.2 4.8

63Cu COLD LR 13.5 9.2

208Pb COLD LR 2.3 0.7

24Mg HOT MR 12.8 8.2

27Al COLD MR 33.5 1.3

39K COLD MR 21.3 0.4

同位素 等离子体 分辨率 浓度 检测限

44Ca COLD MR 135 0.9

47Ti HOT MR 67.1 6.1

52Cr COLD MR 11.7 2.2

55Mn COLD MR 4.9 1.2

56Fe COLD MR 37.4 8.4

60Ni COLD MR 7.7 6.9

66Zn HOT MR 42.5 4.8

结论

Element 2 HR-ICP-MS可直接进行0.3 N TMAH中pg/g级别微量元素的常规测试。样本基体干扰与冷热等离子体操作条件相关，

结果表明，15 种元素中的 ( 镁、钛、锌在热等离子体下进行测试，铝、钾、钙、铬、锰、铁、镍在冷等离子体下测试 ) 十种元素，

需要在中分辨下进行分析，并获得了准确的结果。

13

离线分析

在线分析

• TXS 或 DTXS 终端从现场取样并输送到 ScoutDX 中央系统用 ICPMS 检测，输送距离达 300 m；

• TXS 终端可以准确并高重复性地采集样品，样品体积小（1到 3 mL） ，并以每秒 1.2 米速度传输到中央 scoutDX 系统；

• DTXS 终端是输送高粘度样品，带柱塞泵的自动稀释装置可样品自动稀释后在传输到中央 ScoutDX 系统用于检测；

5、半导体试剂检测自动化方案

采用 ESI ScoutDX 自动在线控制系统，可 7X24 运行用于 FAB 的实时试剂纯度监控，可连接 20 路过程化学品每小时对杂

质浓度监控一次，并可设置被污染的限制值，提高生产效率，最大程度减少人员与危险性化学试剂接触，提高生产安全性。

iCAP RQ

高纯试剂分析

14

危害有机物样品提取

危险有机物分析色谱与质谱

软件方案色谱软件

重金属 原子光谱、离子色谱

Thermo ScientificTM DionexTM ASETM 350

Thermo ScientificTM ISQTM 7000 GC-MS

Thermo ScientificTM VanquishTM Core HPLC

Thermo ScientificTM iCETM 3000

Thermo ScientificTM iCAPTM RQ ICP-MS

Thermo ScientificTM iCAPTM PRO

Thermo ScientificTM DionexTM Integrion

HPIC™

变色龙实验室数字信息处理系统

半导体集成电路是电子产品的核心器件，电路类器件如二极管，电阻器，连接类器件如印刷电路板（PCB）等的制造需严

格遵循 RoHS 和《电子信息产品污染控制管理办法》指令要求。赛默飞完全理解 RoHS 指令和《电子信息产品污染控制管

理办法》的深远含义，可为阻燃剂、增塑剂及金属离子检测提供全面的解决方案，包括仪器、消耗品、软件和技术支持。

赛默飞可为多溴联苯、多溴二苯醚阻燃剂、邻苯二甲酸酯和多环芳烃等危害有机物的前处理、筛查和测定等提供加速溶剂

萃取 (ASE)、燃烧离子色谱 (CIC)、气相色谱 - 质谱联用仪 (GC-MS) 和高效液相色谱仪（HPLC）等技术，并提供原子吸收

光谱仪 (AAS)、电感耦合等离子发射光谱仪 (ICP-OES)、电感耦合等离子体 - 质谱仪（ICP-MS）和离子色谱仪（IC）用于测

定镉、铅和汞，分离并测定六价铬，帮助电子电器设备制造商应对供应链带来的挑战。

Time [min]0 0.5 1 1.5 2

Void + Cl- Propanolol

Ketoprofen

Verapamilosol

电子元件分析

15

洁净室和微环境中空气贯穿整个生产工艺流程，要最大程度减少环境引起的晶圆污染，必须分析气体介质中微粒、杂质和

特定污染物，包括有机物、痕量金属等等。提高半导体良品率同时需要将制造过程对环境影响降至最低，赛默飞可为废水、

废气中各项污染物都能提供准确的分析解决方案，并能提供 VOCs 和污染离子的 24 小时在线监测。

• 污染源废气中酸雾、氯化氢；废水中酸 / 碱离子、氰根、硫离子等测定；大气中离子在线监测 – 离子色谱仪

• 固定污染源废气中挥发性有机物（苯系物、卤代烃、烷烃等）、非甲烷总烃等分析，VOCs 在线分析 – GC&GCMS

• 洁净室或废水废气中挥发性和半挥发性有机物分析 – GC&GCMS

• 金属离子污染物分析 --TEA

FID 通道 10.0ppb 标样低沸点部分组分色谱图（5 组分） MS 通道 10.0ppb 标样部分组分 TIC 图（112 组分）

洁净室空气中 117 种 VOCs 在线分析

采用 CIA Advantage VOCs 采样系统，结合赛默飞气质联用优良

的定性定量能力，实现洁净室空气中 108 种 VOCs 的在线分析

（PAMS+TO15）。该方案可以用于环境空气、室内空气、污染

源等挥发性有机污染的监测，也可以用于连续不间断在线监测。

洁净室空气及环境监测

赛默飞色谱

与质谱中国

赛默飞

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800 810 5118 400 650 5118

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