20
富士 I GBT モジュ V - 120 シリー 技術資料 1 RBSOA, SCSOA MT5F24325 2 大電流出力特性 MT5F24326 3 Rg Cge による逆回 dv/dt とスイッチング 損失特性 MT5F21391 4 接合耐圧 VCES と接合温度 Tj MT5F24327 5 -Vge とスイッチング損失特性 MT5F21212 6 サー ジ電圧のゲー ト抵抗依存性 MT5F24328 7 ター ンオフ時の-dIc/dt Tj 特性 MT5F24329 8 ダイナミックアバンラシェ 電圧 Vav Tj 特性 MT5F24330 9 2in1 パッケー ジモジュ ルの並列接続 MT5F24335 サージ電圧のゲート抵抗依存性 MT5F26530 12 11 ゲート容量接続位置違いによる放射ノイズ比較 MT5F25003 13 Rg-dV/dt 依存性グラフ ・・・・・・・・・・・・・・・・・ MT5F29532 10 短絡耐量 MT5F24336 JANUARY 2015

富士 IGBT モジュール V-120 シリーズ 技術資料...2015/01/15  · 1) Y. Onozawa et al., “Investigation of carrier streaming effect for the low spike fast IGBT turn-off”,

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富士 IGBT モジュール V-120 シリーズ

技術資料

1 RBSOA, SCSOA ・・・・・・・・・・・・・・・・・ MT5F24325

2 大電流出力特性 ・・・・・・・・・・・・・・・・・ MT5F24326

3 Rg と Cge による逆回復 dv/dt とスイッチング

損失特性 ・・・・・・・・・・・・・・・・・ MT5F21391

4 接合耐圧 VCES と接合温度 Tj ・・・・・・・・・・・・・・・・・ MT5F24327

5 -Vge とスイッチング損失特性 ・・・・・・・・・・・・・・・・・ MT5F21212

6 サージ電圧のゲート抵抗依存性 ・・・・・・・・・・・・・・・・・ MT5F24328

7 ターンオフ時の-dIc/dt と Tj 特性 ・・・・・・・・・・・・・・・・・ MT5F24329

8 ダイナミックアバンラシェ電圧 Vav と Tj 特性 ・・・・・・・・・・・・・・・・・ MT5F24330

9 2in1 パッケージモジュールの並列接続 ・・・・・・・・・・・・・・・・・ MT5F24335

サージ電圧のゲート抵抗依存性 ・・・・・・・・・・・・・・・・・ MT5F26530

12

11

ゲート容量接続位置違いによる放射ノイズ比較 ・・・・・・・・・・・・・・・・・ MT5F25003

13 Rg-dV/dt 依存性グラフ ・・・・・・・・・・・・・・・・・ MT5F29532

10 短絡耐量 ・・・・・・・・・・・・・・・・・ MT5F24336

JANUARY 2015

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1

- 富士 IGBT モジュール V シリーズ 1200V 系列 -

RBSOA と SCSOA

技術資料:MT5F24325

Reverse bias safe operating area[1200V Inverter IGBT]

+Vge=15V, -Vge15V, RgRg(spec.) Tj=150oC

0

1

2

3

4

5

6

7

8

0 200 400 600 800 1000 1200 1400

Collector-Emitter voltage : VCE [V]

Col

lect

or c

urre

nt :

x I

c ra

ting

[a.u

.]

RBSOA(Repetitive pulse)

SCSOA(Non-repetitive pulse)

図 RBSOA と SCSOA

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1

- 富士 IGBT モジュール V シリーズ 1200V 系列 -

大電流出力特性

V シリーズ 1200V 系列

条件: Tj=25℃、125℃、150℃

Vge=15V

注)本データは代表波形であるとともに、モジュールの内部抵抗を含まないチップでの数値です。

技術資料:MT5F24326

0.0

0.5

1.0

1.5

2.0

2.5

3.0

3.5

4.0

4.5

0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10

Collector to Emitter voltage Vce (V)

Rat

io o

f col

lect

or c

urre

nt to

rat

ing

(a.u

.)

Tj=25deg.C

Tj=125deg.C

Tj=150deg.C

Vge=15V

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1

- 富士 IGBT モジュール V シリーズ 1200V 系列 -

Rg と Cge による逆回復 dv/dt とスイッチング損失特性

測定素子: 2MBI600VN-120-50

条件: Vdc=600V, Ic, If=40A or 600A, Vge=+/-15V, Rg=vari., Cge=0, 47, 94nF,

Tj=25oC or 125oC

(a) 逆回復 dv/dt の Rg 依存性 (b) ターンオン損失の Rg 依存性

(c) ターンオフ損失の Rg 依存性 (d) 逆回復損失の Rg 依存性

If=40A

Tj=25oC

Ic=600A

Tj=125oC

Ic=600A

Tj=125oC

If=600A

Tj=125oC

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2

スイッチング損失の総和逆回復 dv/dt の Cge、Rg 依存性から、Cies を付加することで損失総和と逆回復

時の dv/dt の関係性が改善されていることがわかります。

逆回復 dv/dt を低減させるためには、ゲート-エミッタ間に Cge を付加することが効果的です。しかし

ながら Cge を付加することでスイッチング損失は増加するため、ゲート抵抗を低減する必要があります。

概ね同一のスイッチング損失を得るための Cge、Rg としては、Cge は仕様書記載の Cies の約 2 倍、Rg

は適用している Rg に対して約半分を適用いただきますと、概ね Cies 付加前の損失と同程度の総損失を得

ることが可能となります。しかしながら詳細につきましては、実機にて確認いただきますようお願いいた

します。

技術資料:MT5F21319

スイッチング損失総和と逆回復 dv/dt に関する Cge と Rg 依存性

0V0A

IF

VR

dv/dt

0V0A

IF

VR

dv/dt

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1

- 富士 IGBT モジュール V シリーズ 1200V 系列 -

接合耐圧 VCES と接合温度 Tj

一般的に半導体素子は、低温になるに従ってシリコン結晶内の格子振動が低下しキャリアの衝突が抑制

されます。これによりインパクトイオン化率が高くなるため、素子耐圧が低くなります。したがって低温

での使用が想定される状況におきましては、その耐圧低下を含めた設計をお願いいたします。

技術資料:MT5F24327

接合耐圧の接合温度依存性

Typ.

Min.

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1

- 富士 IGBT モジュール V シリーズ 1200V 系列 -

-Vge とスイッチング損失特性

測定素子: 2MBI300VN-120-50

条件: Vdc=600V, Ic=300A, Vge=+15V, -Vge=vari., Rg=0.92

技術資料:MT5F21212

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1

- 富士 IGBT モジュール V シリーズ 1200V 系列 -

サージ電圧のゲート抵抗依存性

評価素子: 2MBI450VN-120-50

条件: Vdc=600V, Ic=450A, Vge=+/-15V, Ls=70nH, Rg=vari.

IGBT モジュールのターンオフ時に発生するサージ電圧はゲート抵抗に依存します。

上図からわかるように、サージ電圧のゲート抵抗依存性はピークを持つ関係となります。このような関

係になる詳細な理由についてはここでは触れませんが、IGBT チップがターンオフする際の素子内部のキャ

リアの挙動と IGBT のゲートを構成する MOSFET 部から流れ込む電流の挙動に起因します 1)。

したがってサージ電圧抑制のためにゲート抵抗 Rg を大きくした場合、予想に反して逆にサージ電圧が

大きくなる場合がありますのでご注意ください。

参考文献

1) Y. Onozawa et al., “Investigation of carrier streaming effect for the low spike fast IGBT turn-off”,

Proc. ISPSD, pp173-176, 2006.

技術資料:MT5F24328

ターンオフサージ電圧のゲート抵抗依存性

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1

- 富士 IGBT モジュール V シリーズ 1200V 系列 -

ターンオフ時の-dIc/dt と Tj 特性

技術資料:MT5F24329

2MBI600VN-120-50

図 ターンオフ時の-dIc/dt と Tj 特性

Vge

Ic

Vce

-dIc/dt

Vge

Ic

Vce

-dIc/dt

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- 富士 IGBT モジュール V シリーズ 1200V 系列 -

ダイナミックアバンラシェ電圧 Vav と Tj 特性

型式:2MBI600VN-120-50

技術資料:MT5F24330

図 ダイナミックアバンラシェ電圧 Vav と Tj 特性

Vav diffinition (from turn-off waveform) Vcc=600V, Ic=2xIc(nom) Rg=Rg(spec), Vge=15V/-15V

Ic

VGE

VCE

Vav

Typ.

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1

- 富士 IGBT モジュール V シリーズ 1200V 系列 -

2in1 パッケージモジュールの並列接続

回路構成と計算式

ΔVon=|Von2-Von1| (Von2>Von1)

Ic(ave)=(I1+I2)/2

電流アンバランスは Von1、Von2 の差異によ

って発生し、電流は I1、I2 に分かれます。こ

の場合、電流アンバランスは下記の計算式で

求めることができます。

1001)(

1

aveCI

I (%)

ΔVon と電流アンバランス率

n 素子を並列接続した場合の許容最大電流∑I は、2 並列時の電流アンバランス率αを用いて以下の式で

表すことができます。なお本許容最大電流∑I は参考値となります。

1001

1001

)1(1(max)

nII C

0

5

10

15

20

25

30

0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6

Von at Tj=25oC (V)

Cur

rent

imba

lanc

e ra

te

at

Tj=

125o

C (

%)

IGBT

FWD

Von1

I1 ↓ ↓ I2

Von2

技術資料:MT5F24335

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- 富士 IGBT モジュール V シリーズ 1200V 系列 -

短絡耐量

技術資料:MT5F24336

250 500 750 10000

10

20

30

40

50

Vge=15V

[email protected] [email protected] [email protected] [email protected]

1200V-V serise

Vcc [V]

Sho

rt c

ircui

t ca

pabi

lity

: P

w [

sec]

図 印加電圧と短絡耐量の相関関係(1200V 系列)

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1

- 富士 IGBT モジュール V シリーズ 1200V 系列 -

サージ電圧のゲート抵抗依存性

評価素子: 2MBI600VE-120-50

評価条件: Vdc=600V, Ic=600A, Vge=+/-15V, Tj=25deg.C, Rg=vari.

IGBT モジュールのターンオフ時に発生するサージ電圧はゲート抵抗に依存します。

上図からわかるように、サージ電圧のゲート抵抗依存性はピークを持つ関係となります。これは IGBT

チップがターンオフする際の素子内部のキャリアの挙動と IGBTのゲートを構成するMOSFET部から流れ

込む電流の挙動に起因します 1)。

したがってサージ電圧抑制のためにゲート抵抗 Rg を大きくした場合、予想に反して逆にサージ電圧が

大きくなる場合がありますのでご注意ください。

参考文献

1) Y. Onozawa et al., “Investigation of carrier streaming effect for the low spike fast IGBT turn-off”, Proc.

ISPSD, pp173-176, 2006.

技術資料:MT5F26530

600

700

800

900

1000

1100

0.1 1 10 100

Rg (ohm)

Vcep

(V

Snubber C=0.47uFx1

Snubber C=1.80uFx1

Snubber C=1.80uFx2

ターンオフサージ電圧のゲート抵抗依存性

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1

- 富士 IGBT モジュール V シリーズ 1200V 系列 -

ゲート容量接続位置違いによる放射ノイズ比較

被測定素子:2MBI300VH-120-50

上図から判るように、Cge をモジュール端子直近に接続することで、より高いノイズ低減効果がえられま

す。

技術資料:MT5F25003

0

10

20

30

40

50

60

70

80

90

30 40 50 60 70 80 90 100 110 120 130

周波数(MHz)

電界

強度

(dbuV)

Rg_4.7Ω/Cge_22nF_基板側取付

Rg_4.7Ω/Cge_22nF_端子根元取付

RG

RG

CGE

CGE

CGE

CGE

約 30cm 制御基板

CGE を制御基板側

に取付けた場合

CGE を端子根元に

取付けた場合

図 CGE 取付位置違いによる放射ノイズの差比較

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1

富士電機株式会社

M

T5

F2

95

32

- 富士

IGB

Tモジュール

S

,U,Vシリーズ

1200

V系列 -

S,U

,Vシリーズの

Rg-d

V/d

t依存性グラフ

評価素子:

2M

BI7

5S

-12

0, 2M

BI7

5U

4A

-120

, 2M

BI7

5V

A-1

20-5

0

評価条件:

V

dc=

600V

, Ic

=7.5

A(ターンオン

,逆回復

),75A

(ターンオフ

), V

ge=

+/-

15V

, T

j=25deg

.C, R

g=

var

i.

Rg

on

-ターンオン

dV

/dt依存性グラフ

R

goff

-ターンオフ

dV

/dt依存性グラフ

Rg

on

-逆回復

dV

/dt依存性グラフ

10

0

10

00

10

00

0

10

00

00

02

04

06

08

01

00

Turn on dV/dt (V/usec)

Rgo

n (Ω

)

V-se

ries

S-se

ries

U-se

ries

10

0

10

00

10

00

0

10

00

00

02

04

06

08

01

00

Turn off dV/dt (V/usec)

Rgo

ff (Ω

)

V-se

ries

S-se

ries

U-se

ries

10

00

10

00

0

10

00

00

10

00

00

0

02

04

06

08

01

00

Reverse recovery dV/dt (V/usec)

Rgo

n (Ω

)

V-se

ries

S-se

ries

U-se

ries

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2

富士電機株式会社

M

T5

F2

95

32

評価素子:

2M

BI1

00S

-12

0, 2M

BI1

00S

C-1

20

, 2M

BI1

00U

4A

-120-5

0, 2M

BI1

00V

A-1

20-5

0

評価条件:

V

dc=

600V

, Ic

=10A

(ターンオン

,逆回復

),100A

(ターンオフ

), V

ge=

+/-

15V

, T

j=25deg

.C, R

g=

var

i.

Rg

on

-ターンオン

dV

/dt依存性グラフ

R

goff

-ターンオフ

dV

/dt依存性グラフ

Rg

on

-逆回復

dV

/dt依存性グラフ

評価素子:

2M

BI1

50S

-12

0, 2M

BI1

50S

C-1

20

, 2M

BI1

50U

4A

-120-5

0, 2M

BI1

50V

A-1

20-5

0, 2M

BI1

50V

B-1

20

-50

評価条件:

V

dc=

600V

, Ic

=15A

(ターンオン

,逆回復

),150A

(ターンオフ

), V

ge=

+/-

15V

, T

j=25deg

.C, R

g=

var

i.

Rg

on

-ターンオン

dV

/dt依存性グラフ

R

goff

-ターンオフ

dV

/dt依存性グラフ

Rg

on

-逆回復

dV

/dt依存性グラフ

10

0

10

00

10

00

0

10

00

00

02

04

06

08

01

00

Turn on dV/dt (V/usec)

Rgo

n (Ω

)

U-se

ries

V-se

ries

S-se

ries

10

0

10

00

10

00

0

10

00

00

02

04

06

08

01

00

Turn off dV/dt (V/usec)

Rgo

ff (Ω

)

U-se

ries

V-se

ries

S-se

ries

10

00

10

00

0

10

00

00

10

00

00

0

02

04

06

08

01

00

Reverse recovery dV/dt (V/usec)

Rgo

n (Ω

)

U-se

ries

V-se

ries

S-se

ries

10

0

10

00

10

00

0

10

00

00

02

04

06

08

01

00

Turn on dV/dt (V/usec)

Rgo

n (Ω

)

U-se

ries

V-se

ries

S-se

ries

10

0

10

00

10

00

0

10

00

00

02

04

06

08

01

00

Turn off dV/dt (V/usec)

Rgo

ff (Ω

)

U-se

ries

V-se

ries

S-se

ries

10

00

10

00

0

10

00

00

10

00

00

0

02

04

06

08

01

00

Reverse recovery dV/dt (V/usec)

Rgo

n (Ω

)

U-se

ries

V-se

ries

S-se

ries

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3

富士電機株式会社

M

T5

F2

95

32

評価素子:

2M

BI2

00S

-12

0, 2M

BI2

00S

B-1

20

, 2M

BI2

00U

4B

-120-5

0, 2M

BI2

00U

4H

-120

-50, 2M

BI2

00V

B-1

20

-50,

2M

BI2

00

VH

-12

0-5

0

評価条件:

V

dc=

600V

, Ic

=20A

(ターンオン

,逆回復

),200A

(ターンオフ

), V

ge=

+/-

15V

, T

j=25deg

.C, R

g=

var

i.

Rg

on

-ターンオン

dV

/dt依存性グラフ

R

goff

-ターンオフ

dV

/dt依存性グラフ

Rg

on

-逆回復

dV

/dt依存性グラフ

評価素子:

2M

BI2

25U

4J-

120-5

0, 2M

BI2

25U

4N

-120-5

0, 2M

BI2

25V

J-120

-50, 2M

BI2

25

VN

-120-5

0

評価条件:

V

dc=

600V

, Ic

=22.5

A(ターンオン

,逆回復

),225A

(ターンオフ

), V

ge=

+/-

15V

, T

j=25deg

.C, R

g=

var

i.

Rg

on

-ターンオン

dV

/dt依存性グラフ

R

goff

-ターンオフ

dV

/dt依存性グラフ

Rg

on

-逆回復

dV

/dt依存性グラフ

10

0

10

00

10

00

0

10

00

00

02

04

06

08

01

00

Turn on dV/dt (V/usec)

Rgo

n (Ω

)

U-se

ries

V-se

ries

S-se

ries

10

0

10

00

10

00

0

10

00

00

02

04

06

08

01

00

Turn off dV/dt (V/usec)

Rgo

ff (Ω

)

U-se

ries

V-se

ries

S-se

ries

10

00

10

00

0

10

00

00

10

00

000

02

04

06

08

01

00

Reverse recovery dV/dt (V/usec)

Rgo

n (Ω

)

U-se

ries

V-se

ries

S-se

ries

10

0

10

00

10

00

0

10

00

00

02

04

06

08

01

00

Turn on dV/dt (V/usec)

Rgo

n (Ω

)

U-se

ries

V-se

ries

10

0

10

00

10

00

0

10

00

00

02

04

06

08

01

00

Turn off dV/dt (V/usec)

Rgo

ff (Ω

)

U-se

ries

V-se

ries

10

00

10

00

0

10

00

00

10

00

00

0

02

04

06

08

01

00

Reverse recovery dV/dt (V/usec)

Rgo

n (Ω

)

U-se

ries

V-se

ries

Page 18: 富士 IGBT モジュール V-120 シリーズ 技術資料...2015/01/15  · 1) Y. Onozawa et al., “Investigation of carrier streaming effect for the low spike fast IGBT turn-off”,

4

富士電機株式会社

M

T5

F2

95

32

評価素子:

2M

BI3

00S

-12

0, 2M

BI3

00U

4D

-12

0-5

0, 2M

BI3

00U

4E

-120, 2M

BI3

00U

4H

-12

0-5

0,

2M

BI3

00

U4J-

120-5

0,

2M

BI3

00

U4

N-1

20-5

0,

2M

BI3

00V

D-1

20-5

0, 2M

BI3

00V

E-1

20-5

0, 2M

BI3

00V

H-1

20-5

0, 2M

BI3

00V

J-120-5

0, 2

MB

I30

0V

N-1

20

-50

評価条件:

V

dc=

600V

, Ic

=30A

(ターンオン

,逆回復

),300A

(ターンオフ

), V

ge=

+/-

15V

, T

j=25deg

.C, R

g=

var

i.

Rg

on

-ターンオン

dV

/dt依存性グラフ

R

goff

-ターンオフ

dV

/dt依存性グラフ

Rg

on

-逆回復

dV

/dt依存性グラフ

評価素子:

2M

BI4

00U

4H

-120-5

0, 2M

BI4

00V

D-1

20-5

0

評価条件:

V

dc=

600V

, Ic

=40A

(ターンオン

,逆回復

),400A

(ターンオフ

), V

ge=

+/-

15V

, T

j=25deg

.C, R

g=

var

i.

Rg

on

-ターンオン

dV

/dt依存性グラフ

R

goff

-ターンオフ

dV

/dt依存性グラフ

Rg

on

-逆回復

dV

/dt依存性グラフ

10

0

10

00

10

00

0

10

00

00

02

04

06

08

01

00

Turn on dV/dt (V/usec)

Rgo

n (Ω

)

U-se

ries

V-se

ries

S-se

ries

10

0

10

00

10

00

0

10

00

00

02

04

06

08

01

00

Turn off dV/dt (V/usec)

Rgo

ff (Ω

)

U-se

ries

V-se

ries

S-se

ries

10

0

10

00

10

00

0

10

00

00

02

04

06

08

01

00

Reverse recovery dV/dt (V/usec)

Rgo

n (Ω

)

U-se

ries

V-se

ries

S-se

ries

10

0

10

00

10

00

0

10

00

00

02

04

06

08

01

00

Turn on dV/dt (V/usec)

Rgo

n (Ω

)

U-se

ries

V-se

ries

10

0

10

00

10

00

0

10

00

00

02

04

06

08

01

00

Turn off dV/dt (V/usec)

Rgo

ff (Ω

)

U-se

ries

V-se

ries

10

0

10

00

10

00

0

10

00

00

02

04

06

08

01

00

Reverse recovery dV/dt (V/usec)

Rgo

n (Ω

)

U-se

ries

V-se

ries

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5

富士電機株式会社

M

T5

F2

95

32

評価素子:

2M

BI4

50U

4E

-120

, 2M

BI4

50U

4J-

120-5

0,

2M

BI4

50U

4N

-120

-50, 2M

BI4

50V

E-1

20-5

0, 2

MB

I450V

H-1

20-5

0, 2

MB

I450V

J-1

20

-50, 2

MB

I450V

N-1

20

-50

評価条件:

V

dc=

600V

, Ic

=45A

(ターンオン

,逆回復

),450A

(ターンオフ

), V

ge=

+/-

15V

, T

j=25deg

.C, R

g=

var

i.

Rg

on

-ターンオン

dV

/dt依存性グラフ

R

goff

-ターンオフ

dV

/dt依存性グラフ

Rg

on

-逆回復

dV

/dt依存性グラフ

10

0

10

00

10

00

0

10

00

00

02

04

06

08

01

00

Turn on dV/dt (V/usec)

Rgo

n (Ω

)

U-se

ries

V-se

ries

10

0

10

00

10

00

0

10

00

00

02

04

06

08

01

00

Turn off dV/dt (V/usec)

Rgo

ff (Ω

)

U-se

ries

V-se

ries

10

0

10

00

10

00

0

10

00

00

02

04

06

08

01

00

Reverse recovery dV/dt (V/usec)

Rgo

n (Ω

)

U-se

ries

V-se

ries

Page 20: 富士 IGBT モジュール V-120 シリーズ 技術資料...2015/01/15  · 1) Y. Onozawa et al., “Investigation of carrier streaming effect for the low spike fast IGBT turn-off”,

1. このカタログの内容(製品の仕様、特性、データ、材料、構造など)は 2015年 1 月現在のものです。 この内容は製品の仕様変更のため、または他の理由により事前の予告なく変更されることがあります。このカタログに記載されて

いる製品を使用される場合には、その製品の最新版の仕様書を入手して、データを確認してください。

2. 本カタログに記載してある応用例は、富士電機の半導体製品を使用した代表的な応用例を説明するものであり、本カタログによって工業所有権、その他権利の実施に対する保証または実施権の許諾を行うものではありません。

3. 富士電機(株)は絶えず製品の品質と信頼性の向上に努めています。しかし、半導体製品はある確率で故障する可能性があります。 富士電機の半導体製品の故障が、結果として人身事故,火災等による財産に対する損害や、社会的な損害を起こさぬように冗長設

計、延焼防止設計、誤動作防止設計など安全確保のための手段を講じてください。

4. 本カタログに記載している製品は、普通の信頼度が要求される下記のような電子機器や電気機器に使用されることを意図して造られています。

・コンピュータ ・OA 機器  ・通信機器(端末)  ・計測機器 ・工作機械 ・オーディオビジュアル機器  ・家庭用電気製品  ・パーソナル機器  ・産業用ロボット など 

5. 本カタログに記載の製品を、下記のような特に高い信頼度を持つ必要がある機器に使用をご予定のお客様は、事前に富士電機(株)へ必ず連絡の上、了解を得てください。このカタログの製品をこれらの機器に使用するには、そこに組み込まれた富士電機の半導体製品が故障しても、機器が誤動作しないように、バックアップ・システムなど、安全維持のための適切な手段を講じることが必要です。

・輸送機器(車載、舶用など) ・幹線用通信機器 ・交通信号機器 ・ガス漏れ検知及び遮断機 ・防災/防犯装置 ・安全確保のための各種装置     ・医療機器

6. 極めて高い信頼性を要求される下記のような機器及び戦略物資に該当する機器には、本カタログに記載の製品を使用しないでください。

・宇宙機器     ・航空機搭載用機器     ・原子力制御機器     ・海底中継機器

7. 本カタログの一部または全部の転載複製については、文書による当社の承諾が必要です。

8. このカタログの内容にご不明の点がありましたら、製品を使用する前に富士電機(株)または、その販売店へ質問してください。 本注意書きの指示に従わないために生じたいかなる損害も富士電機(株)とその販売店は責任を負うものではありません。

ご 注 意