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(주)알파플러스

(주)알파플러스는 고진공 및 초고진공 기술을 기반으

로 하는 21세기 선도적 진공 장비 및 부품 전문기업이다.

2000년 5월 포항에서 스퍼터링 증착기를 제조하는 소규

모 지역기업으로 시작하였지만, 꾸준한 기술개발과 사업

화 노력을 경주하여 2002년 E-Beam 증착장비의 해외

수출을 시작으로 2004년 분자선 증착(MBE) 장비의 개

발 및 사업화에 성공하였고, 2006년 신기술(NET) 인증

과 함께 그동안의 기술개발 실적을 인정받아 2008년 벤

처기업 특별상을 수상하였다. 2011년부터 자체개발한 진

공증착용 핵심부품을 국내 대기업에 납품하기 시작하였

고, 2013년 충남 아산시 아산테크노밸리 내에 자리 잡게

되었다.

또한 당사 부설연구소인 창조기술연구소를 중심으로

지속적인 신기술 및 신제품 개발과 제품의 성능향상에 주

력하여 20 여건의 지적재산권을 확보하였고, 다양한 산

학연 융합체제를 구축하여 다수의 국가 연구개발 과제를

성공적으로 수행하고 있으며 개발기술의 사업화에도 전

력을 다하고 있다.

(주)알파플러스의 주요 생산품으로는 증발원(Effusion

Cell), 스퍼터링(Sputtering) 증착장비 및 스퍼터 건

(Sputter Gun), E-Beam 및 Thermal Evaporation 시

스템, MBE 시스템, 박막태양전지 증착장비, 이온펌프 등

문일권

<저자 약력>

문일권 연구소장은 1997년 포스텍에서 물리학 박사학위를 받았으며, Univ. of Tennessee 박사 후 연구원, 삼성전자 수석연구원,

(주)한국메탈 상무이사를 거쳐 2013년부터 (주)알파플러스 창조기술연구소 연구소장으로 재직 중이다. (ikmoon@alpha-plus.

co.kr)

[Fig. 1] (주)알파플러스사옥전경 [Fig. 2] (주)알파플러스주요생산품의적용산업분야

(주)알파플러스는 고진공 및 초고진공 기술을 기반으로 박막제조용 장비 및 핵심부품을 제작판매하

고 있으며 디스플레이, 반도체, 태양광 산업 및 의료장비 산업 등 국내 핵심산업 분야의 기술력 및 경

쟁력 강화를 위하여 전력을 다하고 있다.

진공 이야기 Vacuum Magazine │2015 09 September20

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[Fig. 3] 증발원(EffusionCell)제품 [Fig. 4] 미니스퍼터링시스템및미니ThermalEvaporation시스템

[Fig. 5] 연구개발용MBE시스템

이 있다. 이들 생산품은 OLED 디스플레이 및 조명, 반도

체, 신재생 에너지, 의료장비 등 분야의 산업체와 연구기

관에 생산장비 또는 연구장비로 공급되고 있다.

증발원은 내부에 정교하게 장착된 히터가 도가니

(Crucible)를 가열하면 도가니 속의 증착물질이 고온으로

가열되면서 기화하여 상부에 있는 기판에 박막을 나노단

위로 정밀하게 증착할 수 있는 부품이다. 과거에 증발원

은 초고품질 단결정 박막을 증착하는 MBE 시스템의 핵

심부품으로 사용되었으나, OLED 디스플레이의 출현과

더불어 플라즈마에 취약한 유기물과 유기물 상부의 전극

층을 형성하는 생산공정에 필수적으로 사용되고 있다.

(주)알파플러스는 유기물 증착용 선형증발원(Linear

Effusion Cell)과 금속전극 증착용 점형증발원(Point

Effusion Cell)의 100% 국산화에 성공하였고, 제품의 우

수성을 인정받아 세계적인 경쟁기업들을 물리치고 세계

최대의 OLED 디스플레이 패널 생산라인에 증발원을 공

급하고 있다.

(주)알파플러스의 스퍼터 건은 자기장 정밀해석을 통

해 설계되고 플라즈마 특성의 정밀평가를 거쳐 신뢰도

가 높고 사용자의 용도에 적합한 제품으로 제작된다. 스

퍼터링 증착장비는 스퍼터 건의 특성을 최대화하고 사

용자가 목표로 하는 고품질의 박막을 제조할 수 있도록

제작되고 있다. 스퍼터 건은 용도에 따라 BM & UBM,

High-Yield 마그네트론 건 등으로 구분되며, 형태에 따

라 원형, 사각형, 실린더형 등으로 나누어진다. (주)알파

플러스의 스퍼터 건 및 스퍼터링 증착장비는 E-Beam

Evaporation 시스템과 더불어 현재 반도체, 의료장비 산

업에서 금속전극 박막 또는 산화물 박막을 형성하는 용도

로 사용되고 있다.

또한 산업적 용도의 제품 외에도 연구용 미니 스퍼터링

시스템과 미니 Thermal Evaporation 시스템도 제품화

하여 저렴하게 대학과 연구기관 실험실에 제공하고 있다.

분자선 증착(MBE) 시스템은 1×10-10 Torr 이상의 초

고진공 분위기에서 다양한 원소별 증발원을 가열하여 나

오는 증기를 분자선 형태로 방출시키고, 적당한 거리에

설치된 기판 상에 단결정 박막을 형성하는 물리적 증착장

비이다.

MBE 시스템은 증착박막의 우수한 물질적 특성과 증

착공정의 높은 신뢰성을 보장하기 때문에 ZnO, GaN,

GaAs 등의 화합물 반도체 제조에 주로 사용되고 있

다. 특히 향후에는 차세대 반도체 소자로 부각되고 있는

GaAs 소자 제조의 핵심장비로서 그 중요성이 더욱 커질

전망이다.

(주)알파플러스의 박막태양전지 증착장비는 증발원을

이용하여 차세대 태양전지인 CIGS(Cu(In,Ga)Se2) 박막

21연구실ㆍ기업체 탐방

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태양전지를 제조하기 위한 장비이다. 최근 당사는 그동안

축적된 연구개발용 CIGS 증착장비 제작기술을 바탕으로

유연기판 상에 대면적 CIGS 박막을 형성할 수 있는 롤투

롤(Roll-to-Roll) CIGS 증착장비를 개발한 바 있다.

CIGS 박막태양전지 제조산업은 중국과 유럽을 중심으

로 지속적인 성장을 하고 있기 때문에 (주)알파플러스는

중국시장에 진입하기 위한 노력을 경주하고 있다.

이온펌프는 전자기장을 이용한 스퍼터링 현상과 이온

화된 기체와 전극표면 사이의 반응을 이용하여 진공도

를 낮추는 초고진공 펌프로, 기계적 진동이 없고 외부와

완벽히 차단된 시스템을 구성할 수 있어서 가속기, FE-

SEM, TEM 등의 분석장비, MBE 시스템 등과 같은 초고

진공 시스템에 주로 사용된다. (주)알파플러스의 이온펌

프는 2 ~ 720 L/s 용량의 다양한 제품이 존재하며, 특히

20 L/s 이하의 초소형 미니 이온펌프는 간편하게 휴대하

여 어디서나 사용할 수 있는 특징을 가지고 있다.

위에서 살펴본 바와 같이, (주)알파플러스는 진공기술을

기반으로 국내 핵심산업과 미래 첨단산업이 필요로 하는

기술과 제품의 개발 및 사업화를 위하여 힘쓰고 있고, 부가

가치가 높은 첨단소재 분야의 기술개발도 추진하고 있다.

또한 (주)알파플러스는 고객과 더불어 모든 구성원이

함께 행복을 누릴 수 있는 회사를 만들기 위하여 노력하

고 있으며, 여러 가지 회사차원의 행사와 지원책을 시행

하고 있다. 매년 전임직원이 참여하는 두 차례의 워크숍

과 체육대회를 개최하여 부서 및 임직원 간의 소통과 단

합의 계기를 마련하고, 탁구, 등산, 골프, 볼링, 여행 등

다양한 동아리 활동을 지원하여 친목도모 및 여가활동을

장려하고 있다. 그밖에도 삼시세끼 무료식사 제공, 교통

비 지원, 자녀학비 지원, 우수제안 포상제도, 금연수당 지

급 등 다양한 복리후생 정책으로 임직원들이 삶과 일의

균형을 이루고 하루업무를 기쁘고 즐겁게 수행할 수 있도

록 배려하고 있다.

[Fig. 6] 롤투롤CIGS증착장비 [Fig. 7] 이온펌프및미니이온펌프

[Fig. 9] 사내동호회활동

[Fig. 8] 사내체육대회

진공 이야기 Vacuum Magazine │2015 09 September22