Termomechanikus aktuátorok

Termomechanikus aktuátorok

BME Elektronikus Eszközök TanszékeBME Elektronikus Eszközök Tanszéke

Székely VladimírSzékely Vladimír

Budapest, 2007Budapest, 2007

Bent-beam electrothermal actuator

Bent-beam electrothermal actuator

L. Que et.al.:Bent-beam electrothermal actuators - Part I, Journal of Microelectromechanical systems, V.10,pp.247-254, 2001

Bent-beam electrothermal actuator

Bent-beam electrothermal actuator

Si beam, méretei 800x13,9x3,7 m, 5 m elmozdulás 180 mW teljesítmény mellett, 1-10 mN erő, 700 Hz sávszélesség

Bent-beam electrothermal actuator

Bent-beam electrothermal actuator

Motor kétfokozatú

megtört rúddal

Motor kétfokozatú

megtört rúddal

Hőmérséklet eloszlás egy rúd menténHőmérséklet eloszlás egy rúd mentén

Az élettartam vizsgálat eredményeiAz élettartam vizsgálat eredményei

A feltapadás elleni bütyök hatásaA feltapadás elleni bütyök hatása

Mind poli, mind egykristály Si 400 fok alatt

dc üzem >1400 perc

impulzus üzem >30 milllió ciklus

Mind poli, mind egykristály Si 400 fok alatt

dc üzem >1400 perc

impulzus üzem >30 milllió ciklus

Egy nagy kitérésű megtört rudas meghajtó

Egy nagy kitérésű megtört rudas meghajtó

W=8 um D=34 um L=1000 um

Anyag: Ni

Egy nagy kitérésű megtört rudas meghajtó

Egy nagy kitérésű megtört rudas meghajtó

Egy nagy kitérésű megtört rudas meghajtó

Egy nagy kitérésű megtört rudas meghajtó

P = 495 N

Tmax 400 oC

3 V 670 mW

Egy nagy kitérésű megtört rudas meghajtó

Egy nagy kitérésű megtört rudas meghajtó

Kétrudas meghajtóKétrudas meghajtó

Hot arm width, WHOT (nm) 350 Hot arm length, LHOT (m) 38 Cold arm width, WCOLD ( m) 1.5Cold arm length, LCOLD ( m) 28.5 Flexure width, WFLEX (nm) 350Flexure width, WFLEX ( m) 9.5

Sub-micron metallic electrothermal actuatorsJeong-Soo Lee, Daniel Sang-Won Park, Arun Kumar Nallani,Gil-Sik Lee and Jeong-Bong LeeJOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING

Kétrudas meghajtóKétrudas meghajtó

NickelYoung’s modulus 200 GPaPoisson’s ratio 0.31Thermal expansion coefficient, 17 ppm/KThermal conductivity 91 W/(mK)Resistivity 15 µcm

MEMS integrált izzólámpaMEMS integrált izzólámpa

Electrical and Optical Characteristics of Vacuum-sealed Polysilicon Microlamps, C.H.Mastrangelo et. al.

IEEE Trans. on El. Dev. V.39, No.6

MEMS integrált izzólámpaMEMS integrált izzólámpa

Optikai teljesítmény 0.25mW

Spektrum maximum 2,5 m

Az izzószál 510x5x1m

Fűtés 5 mW 1400K

Thomson effektus!

Pirani elvű vákuummérőPirani elvű vákuummérő

Fabrication and performance of a fully integrated -Pirani pressure gauge with digital readout

C.H.Mastrangelo, R.S.Muller

Pirani elvű vákuummérőPirani elvű vákuummérő

Pirani elvű vákuummérőPirani elvű vákuummérő

adalékolt poli-Si, vastagság 1 um,alatta 1,5 um gap, 0,02 ohmcm adalékolás.

ON-CHIP HERMETIC PACKAGING ENABLED BY POST-DEPOSITION ELECTROCHEMICAL ETCHING OF POLYSILICONRihui He and Chang-Jin “CJ” Kim

Megtört rudas nyúlásmérőMegtört rudas nyúlásmérő

Megtört rudas nyúlásmérőMegtört rudas nyúlásmérő

Megtört rudas nyúlásmérőMegtört rudas nyúlásmérő