ManualInstruction

Fax : +82-31-8065-5575

Home Page : www.vsys.co.kr E-mail : sales@vsys.co.kr

Throttle Valve

VSYS Type VT413

Address : Complex #405, 13, Heungdeok 1ro, Giheung-gu, Yongin-si, Kyeonggido, Korea

Tel : +82-31-8065-5570

WARRANTY

㈜브이시스에서 생산하는 Throttle Valve

(VT413) 은 보증 수리 기간을 1년으로 한다.

단, 사용자의 부주의로 인한 고장일 경우 보증 수리 기간에 관계없이유상 수리를 원칙으로 한다.

Cable 연결 또는 분리할 경우 기기의 전원을 OFF한 후 진행한다.

실 사용자는 제품에 하자가 있거나 이상한 증상을 발견 하였을 경우

임의로 제품을 분해 할 수 없으며, 임의로 제품을 분해 할 경우보증 수리 기간은 해지되며 당사에 적절한

조치 및 수리를 받도록 한다.

그리고 제품에 대한 기타 정보 및 자료들은

Internet Home Page를 통해 제공 받을 수 있다. (http://www.vsys.co.kr)

IMPORTANT

Tel : +82-31-8065-5570

Fax : +82-31-8065-5575

Throttle Valve를 Controller에서 분리 할 경우 반드시 전원이 OFF 된 것을확인하시고 Connector에서 분리 하십시오. Valve의 Motor 부분에 있는Coil에서 역기전력이 발생하여 Controller에 전기 적인 충격이나 오 동작의원인이 됩니다.

※ NOTE : 당사의 제품과 Manual을 더 향상시키기 위하여 항상 노력하고 있습니다. 사용 중에 발생하는 어떠한 불편한 점이라도 알려 주시면 좋은 정보로 활용 하도록 하겠습니다.

E-mail : sales@vsys.co.kr

장비를 Install하거나 Operation하기 전에 꼭 이 Manual을 숙지 하시기 바랍니다.

이 장비의 규정된 방법에 따라 전기적인 Connection과 Grounding을 해야 하므로부적절한 사용으로 인해 발생하는 문제에 대해서는 유상 수리를 원칙으로 하고있습니다. 이 Manual의 지시대로 따라 주시기 바랍니다.

SAFETY WARNING

Home Page : www.vsys.co.kr

1

CAUTION

이 장비를 인도 받았을 때, 전달 도중 장비나 외관에 손상을 입었는지 확인하십시오.

VT413는 기본적으로 VC412 Controller와 같이 사용하도록 되어 있습니다.

Customer Support

기본적으로 유지보수나 수리는 ㈜브이시스 에서만가능하며,물건은 택배나 기타 운송 수단으로 보내주시면 바로 조치가 가능합니다.

사용자가 임의로 분해한 경우 서비스는 제공되지 않습니다.

보내실 곳 : 경기도 용인시 기흥구 흥덕1로 13 컴플렉스동 405호 ㈜브이시스

2

14

CF Series Flanges 15

ASA Series Flanges 17

9

Model & Serial Number 10

Unpacking Check List

VT413 Control Applications

5

6

11

6

6

VT413 Throttle Valve Dimension

Unpack

Electrical Information(Connector Pin Out)

KF Series Flanges 11

ISO-NW Series Flanges

Introduction

Product Specifications

Chapter Ⅰ: General Information

4

JIS Series Flanges 12

Chapter Ⅱ : Installation 6

5

3

Page

Chapter Ⅲ : Flange Types

Installation Environment

VT413 Throttle Valve Specifications

8

CONTENTS

7

Chapter Ⅰ : General Information

Introduction

Model VT413 Exhaust Throttle Valve 는 진공 Chamber의 압력을 조절하는데사용된다. 또한 넓은 범위의 압력을 조절할 수 있도록 제작 되었다.VT413 Exhaust Throttle 는 VC412 Auto Pressure Controller 와 호환 하여사용하도록 설계되어 있다.VT413 Exhaust Throttle Valve 는 Micro-Stepping Motor 및 Gear Driver를사용하여 Valve 의 Resolution을 향상시켰고, 반 영구적으로 사용이 가능하다.VT413 Exhaust Throttle Valve 는 High Torque Motor를 사용하기 때문에Vacuum Line(예:12 inch) 이 Large Size Chamber 에서도 사용이 가능하다.VT413 Valve Body는 150°C 까지 Heating을 하여도 사용이 가능하다.(Sealing Type은 제외)VT413 Throttle Valve는 Flapper의 Position을 User가 외부에서도 확인이가능하도록 Case에 표시하여, Valve의 동작여부를 장비에서 탈 착 하지 않아도확인 가능하게 설계되어 있다.VT413 Valve 는 고객이 원하는 대로 주문시 Flange Style을 설정할 수 있다.(Flange Style : ISO-NW , ASA , CF, JIS , KF, Etc...)

4

Notes:1. Consists with shaft seal and flapper seal o-ring material.2. Where Viton is used, other materials are available. Contact Applications Engineering.

External Leakage atShaft seal

1x10-8 scc/sec He

Materials Exposedto Process

Standard: 304 S.S., Viton (Note 2)Optional: 316 S.S., Viton (Note 2)

Closed Leakage(valves with a flapper o-ring)

Compatible Controller Model VC412MKS Type 651

Differential PressureAcross Valve

1 atm. (15 psig) max.

<10-7(Torr l/s)

Drive Output Torque(with Model VC412 or MKS Type 651)

800 in-oz

Visual PositionIndicator

Standard

Flange Styles:ISO-NWASACFJISKF

Maximum Valve BodyOperating Temperature

Standard 0℃ - 100℃Optional: 0℃ - 150℃ (Note 1)

Valve Motor AmbientOperating Temperature

-20℃ to +40℃

Product Specifications

1.5 sec

Resolution

Speed(open to close)

VT413 Throttle Valve Specifications

(Common to All Sizes & Flanges)

Drive Method

5

1/24000

Direct gear drive

⊙ 사용 주변 온도 : 15 ~ 50℃ ( 59 ~ 122℉) ⊙ 공기 순환이 잘 되는 곳

⊙ 습도가 낮고 건조 한곳

⊙ 제품의 안정된 동작 및 안전을 위하여 Chassis Grounding이 필요함. (필수항목)

당사에서는 본 제품의 포장시 최대한 주의하여 포장하고 있으나 간혹 내용물의분실이나 운송중 파손이 발생할 수도 있으니 사용자께서는 물건을 인수후내용물의 상태를 확인하시기 바랍니다.내용물에 하자가 있을 경우에는 바로 당사에 연락 하여 조치를 받을 수 있도록하십시오.

6

Chapter Ⅱ : Installation

Operating Environmental Requirements

Unpacking Check List

Unpack

Installation Environment

⊙ VT413 Instruction Manual( this book)

⊙ VT413 Exhaust Throttle Valve Unit

VT413 Throttle Valve Dimension

7

Figure 1 : Valve Dimension

먼저 Chamber 의 압력을 Pressure Gauge를 이용하여 읽어서 그 수치를VC412 Controller로 Analog (0~10VDC & 0~5VDC ) 신호로 보내고 Controller에서는 미리 설정된 압력(Set Point Pressure)과 비교하여 Pressure Gauge 에서읽어낸 값보다 설정된 압력이 높으면 Throttle Valve 의 Flapper를 Open 시키고,설정된 압력이 낮으면 Throttle Valve 의 Flapper를 Close시켜 설정된 압력과 실제Chamber 의 압력이 일치하도록 제어한다.

압력이 일치하게 되면 Throttle Valve의 Flapper 가 움직이지 않도록 하여Chamber 의 압력이 변화가 없도록 한다. 만약 Chamber 압력이 변화(Gas Flow 등)가 생기면 위와 같은 방법으로 자동으로 압력이 일치하도록Control 한다.

Figure 2 : Downstream Pressure Control

8

VT413 Control Applications

1 2 4 5

7 8 0

3

6 9

VC412 PRESSURE & FLOW CONTROLLER

CLOSE

MFCVALVE

MENU

ESC

ENT

STOPOPEN

WWW.VSYS.CO.KR

OFF SETONSP2 SP3SP1 SP4 SP5

PC

VC412

MFC 1

MFC 3

MFC 2

MFC 4

VT413Throttle Valve

GaugeProcess

Chamber

Pump

Electrical Information(Connector Pin-out)

+15 V @25mA (for Opto switches)

Table 1 : VT413 Exhaust Throttle Valve Connector Pin-out

5

Yellow

Red

Orange

9

6

Motor winding B low

9

Green

No Connection

7

Grey8

VT413 Exhaust Throttle Valve Connector Pin-out (male)

Motor winding B high

2

Limit switch ground3

Motor winding A high

Brown

Cable ColorPin No.

Close limit switch signal

Motor winding A low

Blue

4 Open limit switch signal

1

Assignment

Purple

Model & Serial Number

Model Number의 자세한 설명은 아래와 같다.

Label은 이 Throttle Valve 의 옆 판에 부착되어 있으며, Model Number, SerialNumber 등이 기록되어 있다.

Model # : VT413-Z-C-X

Z - Flange Style C - Flange Size X - Flapper O-ring

기타 이외의 Number 는 Special Option 제품 입니다.

10

Serial # :

Model # :*RF100-18042012-3

*RF100-IPS

*VT413-28082012-1

*VT413-1-40-1

Flange Styles : ISO-NW , ASA , CF , JIS & KF

KF Series Flanges

Model No.

Figure 3 : Outline Dimensions of a KF Sries Flange

VT413 Exhaust Throttle Valve 는 아래의 Flange Style로 제작이 가능하다.

Chapter Ⅲ : Flange Types

FE

2.95

(75)

1.00

(25)

2.00

(51)

0.779

(20)

D

KF-40 10.25

(260)

A1 A2 B C

1.25

(32)

2.25

(57)

1.385

(35)

1.270

(32)

2.998

(51)

1.886

(48)

0.870

(22)VT413

-20-40-1

-20-40-1

VT413-1-40-1

-1-40-2

-2-50-1

-2-50-2

2.16

(55)

11

3.25

(83)VT413

Table 2 : Size Options for KF Series Flanges

KF-5010.75

(273)

2.75

(70)

Total

Height

6.299

(160)

4

JIS Series Flanges

0.118

(3)

0.197

(5)

3.937

(100)

4.724

(120)

6.890

(175)

45'

5.315

(135)

6.299

(160)

Model NO. A B C

7.28

(185)

3.937

(100)

VT413-2-50J-1

VT413-2-50J-2

VT413-3-80J-1

VT413-3-80J-2

VT413-4-100J-1

VT413-4-100J-2

2.766

(70)

8.268

(210)

.472

(12)

6.524

(166)

7.53

(191)

1.886

(48)

2.886

(73)

10.14

(258)

5.709

(145)

3.885

(99)

0.39

(10)

9.25

(235)

VT413-6-150J-2

VT413-8-200J-2

VT413-10-250J-2

VT413-12-300J-2

4.47

(114)

5.906

(150)

9.645

(244.9)

13.78

(350)

0.315

(8)

12

22.5'

12.72

(323)

10.630

(270)

0.177

(4.5)

0.590

(15)

8

12.598

(320)

8.858

(225)

11.597

(294.5)

15.75

(400)

16.68

(424)

14.566

(370)

10.827

(275)

12.795

(325)

15'

7.677

(195)

11.81

(300)

14.71

(374)

J O-Ring Groove

I.D. Width Depth

VT413-4-100J-1

VT413-4-100J-2

E F G

Model NO. O-Ring

Size

K L Total

Height

H

20.77

(528)

VT413-6-150J-2

VT413-8-200J-2

2.756x0.157

(70x4)

JIS

50MM

JIS

200MM

VT413-2-50J-1

VT413-2-50J-2

11.97

(30.4)

1.00

(25)

VT413-3-80J-1

VT413-3-80J-2

22.74

(578)

VT413-10-250J-2

VT413-12-300J-2

3.937X.157

(100X4)

JIS

80MM

12.58

(320)

4.724X.157

(120X4)

18.78

(477)

0.236X10.709

(6X272)

JIS

250MM

0.236X12.658

(6X321.5)

JIS

100MM

13.59

(345)

.157X6.811

(4X173)

JIS

150MM

JIS

300MM

12

16.20

(411)

1.62

(41)

Table 3 : Size Options for JIS Series Flanges

0.236X8.760

(6X222.5)

Figure 4 : Outline Dimensions of a JIS Sries Flange

13

ISO-NW Series Flanges

Model NO. A B C E F

45'

G H

4.330

(110)NW-63

VT413-3-80-1

VT413-3-80-2

2.886

(73)

5.95

(151)

6.16

(157)

VT413-60-63-1

VT413-60-63-2

2.360

(60)

5.95

(151)

6.16

(157)

7.650

(194)

4.920

(125)NW-80

VT413-4-100-1

VT413-4-100-2

3.885

(99)

7.40

(188)

7.65

(194)

5.710

(145)NW-100

17.67

(449)

VT413-6-160-2 5.869

(149)

8.90

(22.6)

9.79

(249)

13.19

(335)

14.11

(358)

12.200

(310)

VT413-8-200-2

NW-320

15'

NW-200

V413-10-250-2 9.700

(246)

11.22

(285)

12.13

(308)

VT413-12-320-2 12.370

(314)

16.73

(425)

Table 4 : Size Options for ISO-NW Series Flanges

NW-250

22.5'

NW-160

Figure 5 : Outline Dimensions of a ISO-NW Sries Flange

14

K L Total

Height

0.35

(9)

4

0.55

(14)

0.43

(11)

8

12

7.870

(200)

10.240

(260)

15.550

(395)

1.62

(41)

12.22

(310)

13.71

(348)

15.85

(403)

18.19

(462)

20.17

(512)

23.73

(603)

100

(25)

12.22

(310)

3.628

(92)

7.128

(181)

9.128

(232)

30'

22' 30'

11' 15'

9'

2.312

(59)

5.128

(130)

2.850

(72)

.27

(6.8)

.34

(8.6)

.33

(8.4)

6

8

16

20

2411.22

(285)

4.18

(106)

4.68

(119)

5.91

(150)

7.70

(196)

10.76

(273)

12.53

(318)

H K

CF

Size

L Total

Height

7.650

(194)

2.75

(70)

3.25

(83)

4.47

(114)

7.40

(188)

8.90

(226)

CF Series Flanges

Model NO. A B C E F G

.779

(20)

1.886

(48)

1.886

(48)

2.886

(73)

3.885

(99)

5.869

(149)

Table 5 : Size Options for CF Series Flanges

VT413-1-2CF-1

VT413-1-2CF-2

VT413-20-2CF-1

VT413-20-2CF-2

VT413-2-3CF-1

VT413-2-3CF-2

VT413-2-4CF-1

VT413-2-4CF-2

VT413-3-6CF-1

VT413-3-6CF-2

VT413-4-6CF-1

VT413-4-6CF-2

VT413-6-8CF-2

VT413-8-10CF-2

1.270

(32)

16.82

(427)

18.59

(472)7.5'

2-3/4"

3-3/8"

4-1/2"

6"

8"

10"

1.00

(25)

1.62

(41)

10.24

(260)

10.74

(273)

11.97

(304)

13.76

(350)

15

16

Figure 6 : Outline Dimensions of a CF Sries Flange

F G HJ O-Ring Groove

Table 6 : Size Options for ASA Series Flanges

I.D. Width Depth

ASA Series Flanges

Model NO. A B C E

1.62

(41)

15.23

(387)

15.85

(403)

17.87

(454)

20.17

(512)

23.0

(584)VT413-10-10-2

2-258

2-266

2-273

2-278

Model NO. O-Ring

Size

VT413-6-6-2

VT413-8-6-2

VT413-8-8-2

L Total

Hight

VT413-4-4-1

VT413-4-4-2

VT413-6-4-2

1.00

(25)

2-349

1.00

(25)

12.22

(310)

13.71

(348)

O-Ring

Size

L Total

Hight

Model NO.

.185

(4.7)

.112

(2.8)

17

VT413-2-2-1

VT413-2-2-2

VT413-60-2-2

VT413-60-2-1

VT413-3-2-1

VT413-3-2-2

VT413-3-3-1

VT413-3-3-2

VT413-4-3-1

VT413-4-3-2

2-237

5.869

(149)

VT413-2-2-1

VT413-2-2-2

VT413-60-2-2

VT413-60-2-1

VT413-3-2-1

VT413-3-2-2

VT413-3-3-1

VT413-3-3-2

VT413-4-3-1

VT413-4-3-2

VT413-4-4-1

VT413-4-4-2

VT413-10-10-2

1.886

(48)

2.360

(60)

2.886

(74)

2.886

(73)

3.885

(99)

VT413-8-6-2

10.118

(257)

11.81

(300)

14.11

(358)

7.636

(194)

7.636

(194)

VT413-6-4-2

VT413-6-6-2

VT413-8-8-2

9.79

(249)

5.95

(151)

7.40

(188)

8.90

(226)

10.90

(277)

13.19

(335)

3.885

(99)

5.503

(140)

16.00

(406)

16.94

(430)

.75

(19)

.75 (19)

.75 (19)

.88

(22)

1.00

(25)

6.16

(156.6)

7.65

(194.3)

9.17

(233.0)

12

4

4

8

4.750

(121)

6.000

(152)

7.500

(191)

7.500

(190)

9.500

(241)

11.750

(298)

14.250

(362)

45'

45'

15'

22.5'

3.365

(85)

5.995

(152)

8.000

(203)

9.750

(248)

11.938

(303)

.185

(4.7)

.112

(2.8)

4.475

(114)

.285

(7.2)

.172

(4.4)

5.995

(152)

.175

(4.4)

.100

(2.5)

Figure 7 : Outline Dimensions of a ASA Sries Flange

18