今後の整備計画今後の整備計画((METIMETI委託事業を想定して)委託事業を想定して)
今後の整備計画今後の整備計画((METIMETI委託事業を想定して)委託事業を想定して)
H21 H22 H2318,700 7000 6700 5000
エミッション顕微鏡を使用した誤動作メカニズムの解析 3,700 1,000 1,700 1,000
レーザーを使用した誤動作解析の高効率化 3,000 1,000 1,000 1,000
SASEBO EMを用いた 解析技術の開発 12,000 5,000 4,000 3,000
40,800 15,500 20,300 5,000※ハードは事業終了後に払い下げを検討中/ソフトは共同研究先に無償提供を予定電流リーク解析 850X4/ 4,000 5,200 1,200 1,000誤動作解析(電源グリッチ) 700X6/ 7,000 8,400 1,400 1,400誤動作解析(レーザー) 3,600X2/ 7,000 1,900 9,700 2,600電磁波リーク解析 (電流リークに含む)/ 8,000 0 8,000 0
6,000 3000 3000 065,500 25,500 30,000 10,000
人材育成合計
総額 年度ごとの計画
装置等の整備(ハード/ソフト)
研究開発