今後の整備計画今後の整備計画（（METIMETI委託事業を想定して）委託事業を想定して）

今後の整備計画今後の整備計画（（METIMETI委託事業を想定して）委託事業を想定して）

H21 H22 H2318,700 7000 6700 5000

エミッション顕微鏡を使用した誤動作メカニズムの解析 3,700 1,000 1,700 1,000

レーザーを使用した誤動作解析の高効率化 3,000 1,000 1,000 1,000

SASEBO EMを用いた 解析技術の開発 12,000 5,000 4,000 3,000

40,800 15,500 20,300 5,000※ハードは事業終了後に払い下げを検討中／ソフトは共同研究先に無償提供を予定電流リーク解析 850X4/ 4,000 5,200 1,200 1,000誤動作解析（電源グリッチ） 700X6/ 7,000 8,400 1,400 1,400誤動作解析（レーザー） 3,600X2/ 7,000 1,900 9,700 2,600電磁波リーク解析 (電流リークに含む）/ 8,000 0 8,000 0

6,000 3000 3000 065,500 25,500 30,000 10,000

人材育成合計

総額 年度ごとの計画

装置等の整備（ハード／ソフト）

研究開発