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Mikrosystemtechnik: Technologien & Prozesse3. Reinraum & Vakuumtechnik
Was macht einen Reinraum aus?
Kontrolle der Umweltparameter:
h Partikelbelastung
h Raumtemperatur
h Luftfeuchtigkeit
h Luftdruck
h Spektrale Zusammensetzung des Lichts (z.B. bei Räumen mit photosensitiven Chemikalien: Gelbräume)
h SterilitätEin Reinraum ist also weit mehr als nur ein staubfreier Raum!
Ein Reinraum ist also weit mehr als nur ein staubfreier Raum!
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Reinraumklasse Partikelzahl pro foot3
Partikelgröße> 0.5 µm
Partikelgröße> 5 µm
10100
1.00010.000
100.000
10100
1.00010.000
100.000
nicht def.nicht def.
770
700
Reinraumklassen nach US Federal Standard 209b
In einem Reinraum der US-Klasse 100 sind nicht mehr als 100 Partikel, mit einer Größe von mehr als 0,5 µm pro foot3 erlaubt
In einem Reinraum der US-Klasse 100 sind nicht mehr als 100 Partikel, mit einer Größe von mehr als 0,5 µm pro foot3 erlaubt
Partikel
Volumen
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Cleanroom Classification
Concentration limits (particles/m3)
≥0.1µm ≥0.2µm ≥0.3µm ≥ 0.5µm ≥ 1µm ≥5µm10
1001.000
10.000100.000
1.000.000
224
2372.370
23.700237.000
10102
1.02010.200
102.000
435
3523.520
35.200352.000
3.520.00035.200.000
883
8328.320
83.200832.000
8.320.000
29293
2.93029.300
293.000
ISO Class1ISO Class2ISO Class3ISO Class4ISO Class5ISO Class6ISO Class7ISO Class8ISO Class9
In einem Reinraum der ISO-Klasse n sind nicht mehr als 10n Partikel, mit einer Größe von mehr als 0,1 µm pro m3 erlaubt
In einem Reinraum der ISO-Klasse n sind nicht mehr als 10n Partikel, mit einer Größe von mehr als 0,1 µm pro m3 erlaubt
Reinraumklassen nach DIN EN ISO 14644
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0,1 1100
101
102
103
104
105
106
107
100
101
102
103
104
105
106
107
Teilchengröße [µm]
Teilc
hend
icht
e [m
-3]
10
ISO Class 1ISO Class 2ISO Class 3ISO Class 4ISO Class 5ISO Class 6ISO Class 7ISO Class 8ISO Class 9
Reinraumklassen nach DIN EN ISO 14644
Diagrammdarstellung:
10
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Reinraumklassen nach VDI-Standard 2083
In einem Reinraum nach VDI-Standard 2083 (Klasse 3) sind nicht mehr als 100 Partikel, mit einer Größe von mehr als 0,5 µm pro foot3 erlaubt (entspricht US class 100)
In einem Reinraum nach VDI-Standard 2083 (Klasse 3) sind nicht mehr als 100 Partikel, mit einer Größe von mehr als 0,5 µm pro foot3 erlaubt (entspricht US class 100)
Natur
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Korrelation der US-, VDI und ISO Klassen
US - FS 209b VDI - 2083 DIN ISO 14644
Class 0.01Class 0.1Class 1Class 10Class 100Class 1.000Class 10.000
--VDI Class 1VDI Class 2VDI Class 3VDI Class 4VDI Class 5
ISO Class 1ISO Class 2ISO Class 3ISO Class 4ISO Class 5ISO Class 6ISO Class 7
US-Class 100:maximal 100 Partikel, mit einer Größeüber 0,5 µmpro foot3
VDI-Class 3:maximal 100 Partikel, mit einer Größeüber 0,5 µmpro foot3
DIN ISO Class 5:maximal 3520 Partikel, mit einer Größeüber 0,5 µmpro m3
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