If you can't read please download the document
Upload
hesper
View
61
Download
5
Embed Size (px)
DESCRIPTION
Национальная нанотехнологическая лаборатория открытого типа. Микроскопия и анализ. Содержание:. Quanta 3D 200i SEM (растровый электронный микроскоп) FIB (фокусированный ионный пучок) Аналитика (EDAX) Кристаллографический анализ (EBSD) Применение: Материаловедение Биология - PowerPoint PPT Presentation
Citation preview
2:Quanta 3D 200iSEM( )FIB( ) (EDAX) (EBSD):STEM-
3Quanta 3D 200i
4 Quanta 3D 200i:Quanta 3D 200i , - .Quanta 3D 200i- , -SEM , FIB, EDAX EBSD.
5SEM : 3 30 ( SE ) 5 30 (SE) - 15 30 (SE)
: 200 30 k
30 k - 100 A
6 : :-2 - , 250/- -
3- !!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!
8 1. 2. , 3. 4. ( )5.
9GasflowGas flow ESEM
10 : 1 Torr 20 TorrESEM
11 , :: 379 15 525- : 50 50 Z 25 -10 +70 360 300
12
13 :
LCD- ,
14 -10 +70:Si/SiO20255070
15:
16 SiO2
: 17
18
: Ga 1000 9 30 2 30 0.2 65A 20-10019
:
-
-
-
-
-
20
15 mm WD- .21
Quanta 3D 22
- Quanta 3D 200i23
- : 24
. .25
: 26
: . . .27
() 28
: - , 29
30
:
( 4 Be 92 U )
,
( )
( )31
Quanta 3D 200i 32
: () - 33
, Si, Ca ( ):34
( ):35
: 36
37
OIM
(OIM):38
EBSD Quanta 3D 200i39
EBSD:
~ 70 EBSD
40
-:nl = 2dhkl sinq EBSD:41
:42
43
44
: ~ 50 nm : , ..
, . 45
-
46
:47
:48 : , .
:
, , , EDAX STEM
:49