半導體與光電廠務設施半導體與光電廠務設施設施真空系統概說設施真空系統概說

設施工程所採用之真空系統設施工程所採用之真空系統 製程真空製程真空 ~~ 不作為直接對製程機台提供真不作為直接對製程機台提供真空環境，作為製程機台真空設備之末端抽空環境，作為製程機台真空設備之末端抽氣或產生粗略真空氣或產生粗略真空 (( 如供真空吸筆用如供真空吸筆用 )) 潔淨集塵系統潔淨集塵系統 ~~ 屬於負壓型的集塵系統，屬於負壓型的集塵系統，真空度僅為粗略真空，操作壓力介於排氣真空度僅為粗略真空，操作壓力介於排氣系統與製程真空間系統與製程真空間

粗略真空 粗略真空 : 1 atm ~10: 1 atm ~102 2 PaPa 中度真空 中度真空 : 10: 102 ~2 ~1010-1-1PaPa 高真空 高真空 : 10: 10-1 ~-1 ~1010-5-5PaPa 超高真空 超高真空 : 10: 10-5 ~-5 ~1010-8-8PaPa 極高真空 極高真空 : <10: <10-8-8PaPa

真空等級真空等級

氣流壓力範圍劃分氣流壓力範圍劃分

氣流壓力範圍運用氣流壓力範圍運用

真空泵選用範圍真空泵選用範圍

水封式真空泵水封式真空泵 保養容易：僅一轉動葉輪，無金屬摩擦面保養容易：僅一轉動葉輪，無金屬摩擦面 ,, 故內部不須潤滑。故內部不須潤滑。 排氣量大：氣體吸入後被封液冷卻，因此其排氣量較一般容排氣量大：氣體吸入後被封液冷卻，因此其排氣量較一般容積式泵浦大。 積式泵浦大。 出口溫度低：壓縮熱被封液吸住，故排氣溫度低。 出口溫度低：壓縮熱被封液吸住，故排氣溫度低。 振動小：不須昂貴之基礎裝置。 振動小：不須昂貴之基礎裝置。 近似絕熱壓縮：對易爆氣體排氣安全性特高。 近似絕熱壓縮：對易爆氣體排氣安全性特高。 適用任何氣體：以水或其它液體作封液，葉輪採不銹鋼適用任何氣體：以水或其它液體作封液，葉輪採不銹鋼 ,, 適適用於含水份﹑蒸氣﹑微粒固體及腐蝕性氣體之真空排氣。 用於含水份﹑蒸氣﹑微粒固體及腐蝕性氣體之真空排氣。 無脈動及噪音：真空度穩定，出口加裝消音器，噪音可完全無脈動及噪音：真空度穩定，出口加裝消音器，噪音可完全消除。 消除。 修護容易：使用超過年限時，葉輪與風座之間隙若磨損過大，修護容易：使用超過年限時，葉輪與風座之間隙若磨損過大，在正常狀況下，只須將迫緊換薄，重新調整其間隙。在正常狀況下，只須將迫緊換薄，重新調整其間隙。

水封式真空泵水封式真空泵

NO. 零件名稱 NO

. 零件名稱 NO. 零件名稱 NO. 零件名稱10

0 機殼 131 串接出口風座 520 軸承蓋 9215 軸承固定螺帽10

1 機殼 200 葉輪 521 軸承蓋 941

0 擋水環11

0 托架 201 葉輪 900 滾珠軸承 9430 填料

120 入口風座 210 軸 9015.1 鍵 990

3 調隙螺栓121 出口風座 50

0 軸承座 9015.2 鍵 990

6 填料蓋130 串接入口風座 501 軸承座 9015.

3 鍵 　 　

油封式真空泵油封式真空泵

油封式真空泵性能曲線油封式真空泵性能曲線

製程真空系統製程真空系統

設施工程真空管路的尺寸選擇設施工程真空管路的尺寸選擇 利用氣導方式計算 利用氣導方式計算 : : 可不必考慮氣體壓縮密度變可不必考慮氣體壓縮密度變化之效應，但計算複雜管路系統化之效應，但計算複雜管路系統 (( 如設施工程如設施工程 )) 不不便利，多半運用於製程機台側的管路設計便利，多半運用於製程機台側的管路設計 利用質量流率守恒法 利用質量流率守恒法 : : 需考慮氣體壓縮密度變化需考慮氣體壓縮密度變化之效應之效應 (( 可運用一般流體力學上計算壓降的方式可運用一般流體力學上計算壓降的方式處理問題處理問題 )) 壓降限制法 壓降限制法 : : 以不超過系統所設定真空度的以不超過系統所設定真空度的 30%30%為原則，一般多用在只針對單點抽氣之系統為原則，一般多用在只針對單點抽氣之系統

氣導方式氣導方式

質量流率守恒質量流率守恒

潔淨集塵系統潔淨集塵系統

管路的選用管路的選用

濾袋之分類濾袋之分類

震盪式濾袋震盪式濾袋

逆洗式濾袋逆洗式濾袋

脈衝式濾袋脈衝式濾袋

濾袋之清除濾袋之清除

選用濾材考慮的因素選用濾材考慮的因素 溫度溫度 耐酸鹼性耐酸鹼性 纖微的型式及種纖微的型式及種類類 織造方法織造方法 濾材結構濾材結構

濾材表面處理濾材表面處理 耐磨損性耐磨損性 透氣率透氣率 撓曲應力撓曲應力 補集效率補集效率

選用濾布之要點選用濾布之要點 廢氣溫度廢氣溫度 廢氣化學性廢氣化學性質質 露點露點 酸露點酸露點 粉塵粒徑粉塵粒徑

粉塵形狀粉塵形狀 粉塵濃度粉塵濃度 粉塵逆洗方式粉塵逆洗方式 集塵系統配置集塵系統配置 集塵系統尺寸集塵系統尺寸

氣氣 // 布比布比 (Air-Cloth Ratio, A/(Air-Cloth Ratio, A/C)C) 定義定義 : : 總廢氣量 總廢氣量 / / 濾布面積 濾布面積 (m / min)(m / min) ACAC 過低會造成降低集塵效率，降低濾布壽過低會造成降低集塵效率，降低濾布壽命命 機械振盪式 機械振盪式 AC<1AC<1 逆洗式 逆洗式 AC < 1AC < 1 ，可耐高溫，可耐高溫 脈衝式 脈衝式 AC=1.5~3AC=1.5~3

濾袋壓損濾袋壓損