第 46 卷 第 5 期 电 子 科 技 大 学 学 报 Vol.46 No.5 2017年9月 Journal of University of Electronic Science and Technology of China Sep. 2017

基于摩擦纳米发电机的自驱动计步传感器

刘 岩1, 2，欧阳涵3，刘 卓2，邹 洋3，赵璐明3，田静静3， 黎 鸣4，江 文3，李 舟3

(1. 北京航空航天大学航空科学与工程学院 北京 海淀区 100191；2. 北京航空航天大学生物与医学工程学院 北京 海淀区 100191；

3. 中国科学院北京纳米能源与系统研究所国家纳米科学中心 北京 海淀区 100083；4. 北京科技大学新材料技术研究院 北京 海淀区 100083)

【摘要】基于摩擦纳米发电机原理，使用铜、铝、聚二甲基硅氧烷、聚酰亚胺等低成本易获取材料设计出一种自驱动计

步传感器。无电源供应的情况下，该传感器在受测试者走动时可输出最高11 V的电压信号，跑动时输出超过40 V的电压信号。

通过COMSOL软件对该传感器进行有限元分析，所得结果与实测结果有良好的一致性。所获取的信号具有良好的稳定性和重

复性，通过频域分析可以准确得出步伐频率的分布情况。该传感器有望应用于下一代低耗电或完全自驱动计步器，从而在未

来的移动大数据健康医疗领域和智能可穿戴电子设备领域发挥独特的作用。 关 键 词 计步器; 自驱动; 传感器; 摩擦纳米发电机 中图分类号 TP212.3 文献标志码 A doi:10.3969/j.issn.1001-0548.2017.05.023

Self-Powered Pedometer Based on Triboelectric Nanogenerator

LIU Yan1, 2, OUYANG Han3, LIU Zhuo2, ZOU Yang3, ZHAO Lu-ming3, TIAN Jing-jing3,

LI Ming4, JIANG Wen3, and LI Zhou3 (1. School of Aeronautic Science and Engineering, Beihang University Haidian Beijing 100191;

2. School of Biological Science and Medical Engineering, Beihang University Haidian Beijing 100191;

3. Beijing Institute of Nanoenergy and Nanosystems, Chinese Academy of Sciences, National Center for Nanoscience and Technology (NCNST)

Haidian Beijing 100083;

4. Institute for Advanced Materials and Technology, University of Science & Technology Beijing Haidian Beijing 100083)

Abstract A self-powered pedometer based on triboelectric nanogenerator is designed and presented. The

sensor is composed of accessible and low-cost materials such as Al, Cu, polydimethylsiloxane (PDMS) and Kapton. The output voltage of the sensor can reach 11 V and 40 V when the subject with the sensor goes for a walk or run, respectively. Finite element methods is used to calculate the potential distribution of the sensor via COMSOL, and the simulation results correspond well with the experiment results. The electrical signal has good stability and repeatability. The pace frequency distribution can be precisely obtain via the frequency-domain analysis of signal character. This sensor has the potential applications in the next generation pedometer with low power consumption or even self-powered ability. This will play a unique role in the fields of health care and smart wearable electronics.

Key words pedometer; self-powered; sensor; triboelectric nanogenerator

收稿日期：2016 − 10 − 09; 修回日期：2017 − 03 − 10 基金项目：国家自然科学基金(31571006)；北京市拔尖人才基金(2015000021223ZK21) 作者简介：刘岩(1981 − )，男，博士生，主要从事航空材料、生物材料及纳米传感系统方面的研究.

计步器通过统计步数、速度、时间，距离等数

据，测算卡路里或热量消耗，用以掌控运动量，防

止运动量不足，或运动过量的一种工具。随着国民

经济的发展，人们对医疗健康产品有了更多的需求，

移动大数据健康医疗和智能可穿戴电子设备得到飞

速发展，计步器便是其中比较有代表性的产品之一，

目前最常用的计步器主要基于加速度传感器[1]。越

来越多的功能化电子产品被应用于可穿戴领域，但

是这些功能的实现在为人们的日常生活提供便利

时，也让产品的能源问题变得愈加突出。虽然这些

器件的能量需求并不大，但是目前的电源难以满足

器件的长期持续工作，续航能力亟待提高，所以开

发一种低耗电，甚至是不耗电的传感器件十分重要。 摩擦纳米发电机的出现[2-4]为解决医疗电子器

件以及可穿戴器件的能源问题提供了全新的方案，

如自驱动心脏起搏器[5]、可降解生物能源器件[6]。纳

米发电机在不需要电源的情况下可直接感知所承受

的压力，产生的电信号和其所受的压强以及压强的

第5期 刘岩，等: 基于摩擦纳米发电机的自驱动计步传感器

791

变化速率直接相关，因此可以作为一种主动式传感

器[7-8]，这种新一代传感技术已经被用于血压测试[9]、

流体流动速度测试[10]、汽车速度和流量检测[11]等领

域。本文采用摩擦发电技术，设计了一种自驱动计

步传感器并对其性能进行了测试研究。

1 计步器结构 计步器封装结构如图1所示，该装置的设计基于

全封装结构，如图1a所示。首先在100 μm厚的聚酰

亚胺薄膜上通过磁控溅射沉积一层约为50 nm的铜，

聚酰亚胺作为摩擦层而Cu作为集电极。其中聚酰亚

胺薄膜表面通过电感耦合等离子体刻蚀出直径

200～300 nm、高度为1～2 μm的柱状纳米阵列，如

图1b所示。表面电化学腐蚀纳米改性的铝片作为另

一个摩擦层和电极，在两层摩擦层的中间放置两个

厚度为400 μm的聚二甲基硅氧烷作为垫片，其中纳

米结构的引入对于器件信号的提升起着决定性作

用。使用银浆连接漆包线引出电极，然后使用聚二

甲基硅氧烷对该器件进行封装，封装对于器件的抗

干扰能力十分重要。

聚二甲基硅氧烷

铝

铜

聚酰亚胺

a. 计步传感器的结构示意图

b. kapton薄膜表面微纳结构的扫描电子显微镜图片

鞋垫

计步器

c. 计步传感器工作示意图

d. 计步传感器的实物图片 图1 计步器封装结构

铜

铝

原始状态

聚酰亚胺

聚二甲基硅氧烷

完全接触 分离中

完全分离接触中

图2 摩擦纳米发电机的工作原理示意图

电 子 科 技 大 学 学 报 第 46 卷

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2 计步传感器工作原理 在施加外力的情况下，两个摩擦层相互接触，

摩擦效应使表面发生电荷转移。摩电序的不同导致

负电荷从铝片表面注入到聚酰亚胺中，铝片呈现出

正电性，聚酰亚胺呈现出负电性，随着两个摩擦层

发生相对运动，两个电极间伴随着产生电势差，该

电势差可用如下方程表示[12]： 0/V dσ ε= (1)

式中，σ表示摩擦电荷密度； 0ε 表示真空介电常数；

d为摩擦层间的距离。整个过程如图2所示。简单来

说，当人步行时，鞋与地面接触，脚和地面对鞋垫

及植入鞋垫的计步器产生挤压，器件输出一个正的

电压，当鞋离开地面时压力释放，摩擦层相互分离

器件输出一个负的电压，当脚抬至最高点向下踏步

时器件再一次受到挤压，输出一个较小的正的电压

随即压力得到释放，再一次输出一个较小的负电压，

此过程即一次运动循环。电压随时间的变化情况反

映了人的运动情况。

3 实验过程 本文实验中，将计步传感器置于受测试者鞋垫

与鞋底之间，使用示波器(泰克3040)接收传感器输出

的电压信号，实验者使用不同的步态，分别为走动

200 s、跑动200 s、跳动30 s，然后采集不同动作下

的电压信号。通过COMSOL软件使用有限元方法对

不同动作下器件的电压输出进行拟合计算。

4 结果讨论 4.1 不同动作下电压信号分析

在步行的情况下，鞋与地面接触，脚和底边对

鞋垫及植入鞋垫的计步器产生挤压，器件输出一个

正的电压，峰值约为 11 V。当鞋离开地面时压力释

放，摩擦层相互分离，器件输出一个负的电压，峰

值约为−5 V。当脚抬至最高点向下踏步时器件再一

次受到挤压输出一个较小的正电压，峰值达到随即

压力得到释放，再一次输出一个较小的负电压，峰

值约为−3 V，整个运动周期约为 2 s。跑步情况下输

出规律与步行类似，电压信号是步行情况下的 4～5倍。跳动情况下电压信号峰值为间隔很短的双峰，

主要是由于跳动过程中鞋与地面接触后快速回弹然

后在重力作用下与地面再次接触对传感器产生挤压

而形成的。

4.2 传感器件的有限元分析 通过COMSOL软件使用有限元方法对传感器的

输出进行拟合，如图3所示。由分析结果可以得出，

走动时传感器的输出峰值为17.5 V，跑动时传感器的

输出峰值为39.2 V，跳动时其输出峰值高达51.3 V，

拟合结果与实际测量结果一致。

10

0

−10

电压

/V

0 2 4 6 8

20

10

时间/s

a. 走动情况下的电压输出

40

0

−20

电压

/V

0 1 2 3

60

20

−40

4

80

时间/s

b. 跑动情况下的电压信号

40

0

−20

电压

/V

0 2 4 6 10

60

20

−40

8

80

时间/s

c. 跳动情况下的电压输出

5045403530252015105 0

走

电势

/V

d. 走动情况下有限元分析得出的器件周围电势分布结果

第5期 刘岩，等: 基于摩擦纳米发电机的自驱动计步传感器

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50 45 40 35 30 25 20 15 10 5 0

跑

电势

/V

e. 跑动情况下有限元分析得出的器件周围电势分布结果 50

45 40 35 30 25 20 15 10 5 0

跳

电势

V

f. 跳动情况下有限元分析得出的器件周围电势分布结果

图3 不同运动状态下，传感器的电压输出

及电势分布情况的有限元分析

4.3 频域分析 得益于该传感器良好的稳定性和重复性，可以

对获得的信号进行频域分析，如图4所示。

0.4

0.2

0.0

幅度

10 20 30 40

0.3

0.1

50 频率/步⋅min−1

a. 走动情况下运动步伐频率的分布

0.6

0.2

0.0

幅度

80 100 130 140

0.4

15090 110 120 频率/步⋅min−1

b. 跑动情况下运动步伐频率的分布

图4 运动步伐频率的分布

通过对走动和跑动情况下200 s内测到的电压信

号进行傅里叶变换，对数据进行频域分析，走动时

受测试者的步伐频率为30 步/min，跑动时频率高达

100 步/min。

5 结 束 语 本文基于摩擦纳米发电机提出了一种自驱动计

步传感器，不需要电源的供电即可输出电压信号，

在跑动时最高电压输出可达 50 V。有限元分析的结

果与实测值具有良好的一致性。该传感器所获取的

信号具有良好的稳定性和重复性，通过频域分析可

以准确得出步伐频率的分布情况。该传感器有望应

用于新一代的低耗电或完全自驱动的计步器，在未

来的移动，大数据健康医疗领域以及可穿戴智能电

子设备领域发挥独特的作用。

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