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東京大学武田先端知ビルスーパークリーンルーム利用マニュアル
平成 19年度版 Ver. 1.0武田先端知ビルクリーンルーム管理委員会編
3
目次
第 1章 武田先端知ビルクリーンルームの概要 5
第 2章 クリーンルームの仕組み 72.1 クリーンルームとは . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
2.2 クリーンルームの基準 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
2.3 クリーンルームの構成 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
第 3章 クリーンルームの使用にあたり守るべき事項 153.1 武田クリーンルーム入室申請 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
3.2 入室の前に . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
3.3 してはならないこと . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
3.4 すべきこと . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
3.5 ゴミの分別と排出 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
3.6 各種届出 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
3.7 ポータルサイト . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
第 4章 クリーンスーツの着用方法 194.1 武田先端知クリーンルームに於けるクリーンスーツの管理 . . . . . . . . . 19
4.2 着用方法 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
4.3 クリーンスーツ等の脱ぎ方 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
第 5章 クリーンクロスの種類と用途 23
第 6章 ドラフトチャンバーの使用方法 256.1 使用の前提条件 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
6.2 ドラフトチャンバーの区分 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26
6.3 ドラフトチャンバーの使い方 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26
6.4 ビーカー類の区分 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29
6.5 pH試験紙の使用方法 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
6.6 廃液の分類 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
6.7 廃液タンクについて . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
第 7章 薬品管理システム 317.1 概要 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
7.2 使用方法 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
7.3 注意事項 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36
第 8章 安全・緊急時の対応 398.1 安全管理一般 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 39
8.2 緊急時の対応（基本的事項） . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 39
8.3 警報への対応 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 39
8.4 ガス漏洩時の人命救助 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 40
4 目次
8.5 火災への対応 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 42
8.6 全館放送の行い方 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 42
8.7 避難経路と緊急設備 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 42
8.8 緊急時の対応（習熟者向け） . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 42
8.9 武田先端知ビルで用いられるプロセスガスと危険性、注意事項 . . . . . . 48
第 9章 PCの使用について 519.1 備え付けの PC . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 51
9.2 PCの持ち込みについて . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 52
第 10章 共有・公開装置 5310.1 工学部スペースの共有装置 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 53
10.2 VDECの公開装置 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 53
5
第 1章
武田先端知ビルクリーンルームの概要
武田先端知ビルクリーンルームは，武田先端知ビルの地下 1∼3階に設置されています。総面積は 600m2 であり，図 1.1 に示すように３つの部屋に分かれています。クラス１のクリーンルーム１には VDECの電子線描画装置が，クラス 100のクリーンルーム２には深掘りエッチング装置などの共同利用設備および研究室所属の装置が，クラス 1000のクリーンルーム３には VDECのテスタ群などと研究室所属の装置が設置されています。図1.2に示すように，皆さんが作業する床面は地下２階に相当し，クリーンルーム１と２の床下には階高１フロア分のリターンスペース兼機器設置スペースがあります。
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図1.1 武田先端知クリーンルームのレイアウト
6 第 1章 武田先端知ビルクリーンルームの概要
図1.2 武田先端知クリーンルーム２と３の断面
7
第 2章
クリーンルームの仕組み
2.1 クリーンルームとはクリーンルームとは、コンタミネーションコントロール（清浄度管理）*1が行われている限られた空間であって、空気中における浮遊微粒子、浮遊微生物が限定された清浄度レベル以下に管理され、また、その空間に供給される材料、薬品、水などについても要求される清浄度が保持され、必要に応じて温度、湿度、圧力などの環境条件についても管理が行われている空間です。もとは宇宙技術の一環としてアメリカの NASAで開発されましたが、現在では以下のようなさまざまな目的に用いられます。
• 超微細デバイスの作製用（武田先端知クリーンルームはこれです）• 食品製造用• 医療用
デバイス作製用には、あるサイズ以上の粒子が空間内に存在することが嫌われます。たとえば、今日の微細化された集積回路では、スイッチ（トランジスタ）１個の大きさが、最新の規格で定義される埃のサイズ（100nm）よりも小さくなっています。もしトランジスタの製造中に埃が落ちてきたら、その集積回路は不良品になってしまいますから、製造工程から埃を除去することはメーカーにとって死活問題なわけです。製品をつくっていない大学のクリーンルームであっても、リソグラフィーでパターンを描いたはずなのに、顕微鏡で見たら埃が載ってパターンが途切れていた、などという笑えない話が管理の悪いクリーンルームだと現実に起こるわけです。物理的に粒子が存在するだけでなく、特定の化学的・生物的性質をもった粒子を除去したい場合がしばしばあります。トランジスタの作製工程では、アルカリ金属（Na, Kなど）の混入は厳禁です。酸化膜製造中に混入してしまったら、膜中や界面に準位をつくってデバイスの特性を台無しにしてしまいます。食品や薬品の製造、医療現場（手術室など）では、ウイルスやカビの混入が問題になる一方、1ミクロン程度の化学的・生物学的に不活性な粒子が存在しても、あまり問題にはなりません。このように、クリーンルームは目的によって制限する粒子の対象やサイズ・数が異なりますが、根本的な原理は共通です。すなわち、排除すべき粒子を
• 持ち込まない• 内部で発生させない• 万が一発生したら速やかに排出・除去し、溜め込まない
という３原則を守ることができれば、クリーンルームは性能を維持できます。*2
*1 限られた空間、製品などの内部、表面または周辺について、要求される清浄度を保持するために必要とするあらゆる事柄について、計画を立て、組織し、実施すること。
*2 世の中には「バイオクリーンルーム」という、主に生物実験に用いられる設備が存在します。この考え方は一般的なクリーンルームとは逆で、クリーンルーム内部で発生したウイルス等を絶対に外に出さない、
8 第 2章 クリーンルームの仕組み
表2.1 クリーン度の基準
FED-209D 粒子の許容数/ft3 JIS 粒子の許容数/m3
（0.5 μm以上） （0.1 μm以上）class 1 101
class 2 102
class 1 1 class 3 103
class 10 10 class 4 104
class 100 100 class 5 105
class 1000 1000 class 6 106
class 10000 10000 class 7 107
2.2 クリーンルームの基準クリーンルームの性能を語るとき、「クラス○○」という言葉を耳にします。クリーン度の基準がどのようなものか、専門家でなくても知っていて損はありません。アメリカの基準（FED-209D）がいまだに広く用いられています。一方、JISや ISOの新しい規格も決められています。表 2.1に FED-209Dと JISによるクリーン度の定義を示します。新しい JISの規格の方が、粒子としてカウントするサイズの下限が 0.1μmと小さくなっていること、基準体積が FED-209Dでは１立方フィートなのが JISでは 1立方メートルであることに注意が必要です。標準的な粒子のサイズ分布を仮定すると、FED-209D
のクラス 1が JISのクラス 3に対応し、あとは表 2.1の同じ行同士が対応するという関係になっています。JISのクラス 1を達成するためには膨大な設備が必要ですので、「われわれのクリーンルームはクラス１」と自慢するときには注意が必要です。これらの数字を見ただけでは実感がわかないでしょうから、一般社会の典型的な粒子数を見てみましょう。われわれの暮らす大気中の埃の数は、0.5μm以上のサイズをカウントして、１立方フィートあたり 107 個に達するといわれています。クラス１ (FED-209D)のクリーンルームでは、大気中の埃に対して 10−7 倍も埃が少ない空間を実現しています。
2.3 クリーンルームの構成では、クリーンルームの構成を、武田先端知ビルクリーンルームの実例に沿って眺めてみましょう。埃の少ない空間を実現するためには、以下のようにハードウエア・ソフトウエアの両面から対策をとっています。
• 埃を持ち込まない外気の濾過、外部よりも室内の圧力を高くする（陽圧の維持）、利用者の清浄化（クリーンスーツ）、高純度ガス・超純水の利用
• 内部で発生させない塵の発生が少ない建材の利用、作業スペース（地下 2階）と機械スペース（地下 3
階）の分離、利用者の適切な行動• 万が一発生したら速やかに排出・除去し、溜め込まないフィルタユニットを循環させつねに室内空気を濾過、天井から床にかけての空気の一方向流れ（ダウンフロー）,入念な室内清掃
図 2.1に、武田先端知ビルクリーンルームの給排気および空調の系統図を示します。クリーンルームに入る外気の流れに沿って眺めてみましょう。
すべてを溜め込む構造になっています。
2.3 クリーンルームの構成 9
クリーンルームへの外気導入
まず、外気はプレフィルター、中性能フィルター、そして HEPA フィルターの順で濾過されてクリーンルームに導入されます（埃を持ち込まない）。プレフィルターはスポンジのような外見のフィルターで、中性能フィルターは蛇腹状の外見のフィルターで、外気中に含まれる埃の 60∼90%を濾し取ります。これらのフィルターには外気の埃などが集積され、すぐに目詰まりしますので、定期的にフィルターを清掃・交換することが必須です。HEPAフィルターは、毛足の長い繊維の中に埃を絡め取るタイプのフィルターです。（図 2.2）直径 0.3 μm以上の粒子の 99.97%以上を除去します。埃が溜まると、目詰まりを起こす前に埃の除去能力が低下します。したがって、外気処理用の HEPA フィルターは、定期的に交換することが重要です。さもないと、クリーンルームに外気と一緒に埃を取り込むことになり、クリーンルーム内部のフィルタの寿命を低下させます。
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図2.1 武田先端知クリーンルームの給排気系統
このように清浄化された空気は、外気処理用空調機ユニット（ACP）で温度・湿度を所定の値に制御された後、クリーンルーム内に放出されます。この温度・湿度制御には多くのエネルギーを必要とします。たとえば、梅雨の時期には外気の温度はそのままでも、湿度を大幅に減少させる必要があります。この場合、外気を露点（水蒸気の凝縮が起こる温度）まで冷却して空気中の水分を減らした後、再度所定の温度まで加熱する作業を行っています。温度制御が不要なのに、むしろ夏場や冬場よりも多くのエネルギーを必要としています。通常の建物空調ではこのような作業は行わないため、梅雨に湿気を除こうとすると部屋を寒くしないといけないわけです。このように、「クリーンルームの空気は高価なもの」という認識を持つことが重要です。
10 第 2章 クリーンルームの仕組み
図2.2 HEPAフィルタの電子顕微鏡写真
クリーンルーム内の空気循環
上記の処理により清浄化、温度・湿度制御が行われた空気は、クリーンルーム内に放出されます。しかし、これだけではクリーンルーム内部の清浄度を維持することはできません。クリーンルーム内の作業者や機器などから絶えず埃が発生するからです。そこで、クリーンルーム内の空気をつねにフィルターに循環させ、浄化する作業が必要になります。このための仕組みが、天井を覆っているファンフィルタユニット（FFU）と床面のグレーティング、そして床下や作業スペース脇に存在するリターンエリアです。すなわち、皆さんがクリーンルームとして目にする特徴的な風景は、たえず空気の浄化を行うための設備なのです。天井の FFUは、空気の流れをつくるファンと ULPAフィルタが組み合わされたものです。天井裏の空気をファンによって作業スペースに吹き付けるのですが、その際に ULPA
フィルタを強制的に通過させます。UPLA フィルタは、HEPA フィルタよりもさらに捕集能力が高く、直径 0.1 μm以上の粒子の 99.99995%以上を除去します。FFUにより噴出される空気は線流速で 30cm/sになるように調整されており、床面にもれなくあいたグレーティングの孔から床下のリターンスペースに流れ込みます。すなわち、われわれが作業を行うスペースでは、空気は 30cm/sの流速でたえず上から下に流れています。これを「ダウンフロー」方式と呼び、作業スペースで発生した埃を素早く床下に除去するためにきわめて有効な方式です。*3
クリーンルームの清浄度は、設備としては、室内で発生した埃がどれだけ効率的に除去されるかにかかっています。すなわち、クリーンルーム内の空気がフィルタを通過する回数（換気回数）がクリーンルームの清浄度を決めています。武田先端知ビルのクラス１(FED-209D)クリーンルームでは、換気回数は 425回/hとなっています。設備としてクラス 100に対応しているクリーンルームを頑張って綺麗に使うと、測定結果としては 1ft3 中に 0.5μmの埃が数個しか検出されないほど立派なクリーン度が達成されることがあります。（武田先端知ビルのクラス 100クリーンルームの実例）しかし、それでもクラス 10のクリーンルームを名乗ることはできません。設備としては、あくまでクラス 100に対応してつくられているからです。逆に、クラス 1のクリーンルームの管理が悪いと、すぐに 1ft3 中に 0.5μmの埃が数個以上検出されてしまいます。この場合、確かに設備はクラス 1ですが、もはやクラス 1を名乗ることはできません。このように、クリーンルームの清浄度は、設備と運用の両面がケアされて初めて達成できるものであることを認識する必要があります。
*3 床のグレーティング上に障害物（装置も含む）があると、FFUから噴き出された空気が障害物によって滞留し、埃の溜まりを作ることになります。したがって、グレーティングの孔を障害物で塞がないことが重要です。装置も設置しないのが一番ですが、これでは実験ができないので、装置を密集させない、作業机や棚などは網目状の空気の流れを妨げないものにする、などの配慮をする必要があります。
2.3 クリーンルームの構成 11
クリーンルームからの排気と陽圧保持
クリーンルーム内の作業環境を良好に維持するためには、クリーンルームに一定量の空気を導入し、それに釣り合う量の空気を外に排出する必要があります。この際、クリーンルームへの埃の流入を防ぐため、クリーン度の高い領域ほど周囲よりも圧力を高く保持する必要があります。このため、クリーンルームからの排気口はコンダクタンスをきちんと設計してつくられています。武田先端知ビルクリーンルームでは、入り口扉の横に重りと蓋（ダンパ）のついた空気の出口スリットが設置されていますが、この重りはまさにクリーンルーム内部の圧力を陽圧に保持するためのものです。クリーンルームに入る際に、入り口扉を開けると、このダンパが閉じるのが観察できます。これは、扉を通ってクリーンルーム内部の空気が抜けてしまうためです。したがって、扉を開けたままにしておくと、クリーンルームの陽圧を保持することはできません。「扉を開けるのはできるだけ短く」というクリーンルームの鉄則が重要になります。同様に、エアシャワーなどで 2重扉になっている部分では、扉を片方ずつ開けて空気の通り道をつくらないようにすることが必要です。このような通路を介した排気以外に、クリーンルーム内部の装置、とくにドラフトチャンバーからの排気を適切にクリーンルーム外に排出することが重要です。コストを度外視すれば、装置やドラフトチャンバーが接続されている排気ダクトの排気量を莫大な量に設定し、それに釣り合う量の外気をつねに供給すれば問題ないわけです。しかし、クリーンルームに導入する外気の処理には、クリーンルームの光熱費のうち相当な部分が費やされていることを忘れてはいけません。省エネルギーでクリーンルームを運用するためには、排気ダクトからの排気量を必要最低限に設定することが不可欠です。そこで、武田先端知ビルクリーンルームでは、ドラフトチャンバの稼動数にしたがって排気量を段階的に増加させ、外気の導入量は室内圧力の測定値を一定に保つよう自動制御する、最新の省エネルギー技術が導入されています。ドラフトチャンバーを稼動させている間は、ファンだけでなく外気処理のコストが余分にかかっていることを忘れないでください。ドラフトチャンバーを動かしたままで放置することは厳禁です。また、室内圧力制御の応答時間が分単位であるため、数分の間にドラフトチャンバーの入切を行ったり、ドアの開閉を繰り返すことはやめましょう。室圧制御がオーバーシュートして、建物の設計上限ぎりぎりまで圧力が上昇する危険があります。最後に、武田先端知ビルクリーンルームの排気系統を説明します。排気は酸・アルカリ・有機の３系統に分かれており、酸・アルカリ排気は屋上に設置したスクラバーで水洗処理、有機排気は屋上に設置した活性炭吸着筒で吸着処理を行った後、外気に放出されます。塩素ガスなど処理が必要なガスを排気する場合は、排気ダクトに接続する前に吸着除害剤などで適切に処理することが必須です。
クリーンルーム内での発塵抑制
これまでに説明したように、クリーンルームには外部の埃を取り込まず、内部で発生した埃も迅速に除去する機能が備わっています。しかし、除去した埃は天井のフィルタに溜め込まれます。フィルタの交換には FFU1台 4万円、クリーンルーム全体では 1千万円以上の費用がかかります。したがって、クリーンルームを低コストで運営するためには内部の発塵量を極力抑制する努力が必要です。クリーンルーム内部での発塵を最小限に抑えるためには、「人間が最大の発塵源である」ことを認識する必要があります。表 2.2に、人間の動作による発塵量をまとめます。人間が立っているだけでも相当数の埃を発していることがわかります。さらに、体の動きが激しくなるにつれて発塵量は増大します*4。作業着のままではすごい数の塵を発生しますが、白衣型のクリーンスーツを着用することで約 1 桁、つなぎ服とフードを着用し
*4 したがって、クリーンルームの中では激しい動きをしないことが、発塵量を減らすためには重要です。
12 第 2章 クリーンルームの仕組み
て体全体をクリーンスーツで包めばさらに１桁発塵量が低下します。このような効果が実証されているからこそ、クリーンルームに入室する際にはクリーンスーツを着用するのです。
クリーンスーツの効用と管理では、クリーンスーツを着用すると、なぜ発塵量が減るのでしょう？クリーンスーツは、ポリエステルなどの発塵量が少ない繊維でできており、体全体を顔面以外くまなく包むようになっています。発塵の原因は、人間の皮膚や衣服がこすれて埃が出ることです。静止していても、すでに人体に吸着している埃が室内に放出されます。クリーンスーツを着用しても、クリーンスーツの内部では相変わらず発塵しています。しかし、クリーンスーツで包まれているために、発生した埃はクリーンスーツ内部に溜め込まれることになります*5。このように、クリーンスーツは、最大の発塵源である人体を包み込み埃を拡散させないという重要な役割を担っています。ですから、着用の際に、フードの裾がはみ出していないか、毛髪がフードからはみ出していないかなど、正しい着用法を守ることがきわめて重要です。また、万が一クリーンルーム内部でクリーンスーツのチャックを開ける*6、袖をまくるなどの行為を行ったらどうなるでしょう？それまでに溜め込んだ埃を一気にクリーンルーム内に放出することになります。このような行為を行っては、クリーンルームに入室する資格なしといわれても文句は言えません。もちろん、クリーンスーツ自体からの発塵を抑制することも重要です。クリーンスーツは、業者によって超純水で洗浄されたあと*7、HEPAフィルタのついた乾燥機で乾燥され、クリーンルーム内でパックされます。表 2.3に示すように、クリーニング直後にクリーンスーツ表面に付着している粒子の数は非常に少なくなっています。しかし、いくらクリー
表2.2 人間の動作による発塵量 (0.3μm以上の粒子、単位は個/min/人)
通常の作業着 クリーンスーツ動作 白衣型（上着のみ） つなぎ服＋フード
立っている時 543,000 151,000 13,800
座っている時 448,000 142,000 14,800
腕の上下 4,450,000 463,000 49,000
上体の前屈 3,920,000 770,000 39,200
腕の自由運動 3,470,000 572,000 52,100
首の上下左右 1,230,000 187,000 22,000
上体のひねり 2,240,000 390,000 31,400
屈伸 4,160,000 1,110,000 62,500
足踏み 4,240,000 1,210,000 92,100
歩行 5,360,000 1,290,000 157,000
表2.3 クリーンスーツに表面に付着した粒子の量 (0.3μm以上の粒子、単位は個/cm2)
クリーニング直後 1週間使用後1∼10 200∼500
*5 武田先端知ビルクリーンルームでは、クリーンスーツの裾を靴の外に出すことにしています。これにより、クリーンスーツ内部に溜まった埃を床下に放出します。クリーンルーム内部はダウンフローになっていますから、グレーティングの真上で放出された埃は作業する領域には戻ってこないわけです。
*6 クリーンスーツの中に携帯電話を入れたままにしてしまった、などチャックを開けたくなる状況がときどき出現します。そのときは、迷わず更衣室に戻り、そこでチャックを開けましょう！
*7 クリーンスーツの洗浄には通常の洗剤は利用できません。（アルカリ金属イオンが含まれるため）したがって、いったんクリーンスーツが「臭くなる」と、通常のクリーニングでは臭いが取れません。黄ばむまでクリーンスーツを利用し続けるのは論外です！
2.3 クリーンルームの構成 13
ンルーム内部でのみ着用していても、何度も着用するにしたがってクリーンスーツ表面に付着した粒子の量は大幅に増大します。したがって、定期的なクリーンスーツの洗浄はきわめて重要です。また、着用後のクリーンスーツは、クリーンエアの循環したクリーンルーム環境で保管するべきです*8。ここまで理解された方は、クリーンスーツに着替える際に、クリーンスーツを床のグレーティングに接触させることがどれほど問題があるか容易に想像がつくでしょう。また、クリーンルーム内で床に座り込んだり、寝転がったりすることが厳禁である*9ことも理解できるでしょう。また、クリーンスーツに触る前に手洗いと手袋の着用を励行する理由もすぐに理解できるでしょう。クリーンスーツについた埃を除去するために、エアシャワーを活用します。クリーンスーツ表面にむらなくエア当てることが必要ですから、エアシャワー内部では手足を動かして、頭の上やわきの下などにもエアを当てましょう。また、もっとも良く動く手先からの発塵を抑制することも重要です。表 2.4に示すように、ラテックス手袋の着用により手先からの発塵は抑制されますが、手袋着用後に純水洗浄を行うと発塵量が劇的に低下します。もちろん、洗浄後にクリーンルームの各所を触ると手先に粒子が付着する可能性もあるので、全員がこのような手順を励行すること、さらに定期的な清掃により手先が触れる部分を清浄に保つことが重要となります。
クリーンルーム入室前の心得前節で述べたように、クリーンスーツや手袋の着用によって最大の発塵源である人間からの発塵を効果的に抑制できますが、人間が吐き出す息に含まれる塵はクリーンスーツでは抑制できません。図 2.3に示すように、喫煙者がマスク無しで吐く息には膨大な量の塵が含まれます。喫煙の権利を妨げることはできませんが、クリーンルームに入室する際には以下の注意が必要です。
• クリーンルーム周辺は当然禁煙（発塵対策以前に、安全にかかわる）• 喫煙後 40分は入室を控える• 入室の際には、きちんとマスクを着用する。（これは非喫煙者も同様）
クリーンルームへの物品持ち込みクリーンルームに持ち込む物品が発塵源になることがよくあります。たとえば、紙からの発塵を表 2.5に示します。繊維の出やすい新聞紙からの発塵が極めて多くなっています。梱包に用いるダンボールからの発塵もほぼ同様です。これらの紙類をクリーンルームに持ち込むことは厳禁です。コピー紙からの発塵も無視できません。うっかり紙を破ろうものなら、すさまじい数の埃が発生します。クリーンルームに持ち込むことができる紙は、コピー紙よりもさらに低発塵である特殊なクリーンルーム専用紙に限られます。
表2.4 パーティクルカウンター上で手を 50回たたいたときの、パーティクルカウンタのカウント数 (0.16μm以上の粒子、単位は個/ft3)
手の状態 カウント数素手 372
ラテックス手袋着用 206
ラテックス手袋着用後純水洗浄＋乾燥 28
*8 武田先端知ビルクリーンルームでは、更衣室もクリーンルーム環境になっています。ただし、一時的に入室する工事業者などは、携帯バッグに保管したクリーンスーツを用いることが多いです。クリーンスーツの保管環境としては良くないですが、実験に使うクリーンスーツと工事用の（比較的汚れた）クリーンスーツを分けて管理するために止むを得ない対応だといえます。
*9 メンテナンス作業など止むを得ない場合は除きます。ただし、そのような場合でも作業に用いたクリーンスーツは直ちにクリーニングに出しましょう。
14 第 2章 クリーンルームの仕組み
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図2.3 喫煙者と非喫煙者の呼気中に含まれる塵埃の数
表2.5 紙からの発塵 (0.5μm以上の粒子、単位は個/min)
上下に動かす 破るコピー紙 8,000 830,000
新聞紙 35,000 4,600,000
紙に限らず、一般の布や木材など、繊維や粒子を容易に放出しそうなものはクリーンルームには持ち込めません。どうしても必要な場合は、周囲を低発塵のビニールなどで密閉し、埃を周囲に拡散しない状態を保つならば持ち込むことが可能です*10。たとえ発塵の少ない工具やノート PCなどであっても、クリーンルームに持ち込む前にはクリーンクロスを用いて表面に付着した埃を除去することが必要です。「埃を持ち込まない」という意識を持てば、これらの行動は自然にできるようになるでしょう。
*10 迷ったらクリーンルーム管理者に相談してください。
15
第 3章
クリーンルームの使用にあたり守るべき事項
3.1 武田クリーンルーム入室申請武田先端知ビルのクリーンルームに入室するためには、入室講習会を受けることが必要です。入室講習会は、全体の講習会が毎年 4,5月ごろ開催されます。それ以外で講習を希望する人は個人入室講習会を受けて入室することが可能です。クリーンルーム管理者に相談してください。下記の書類を添えて申し込んでください。申込先は武田先端知ビル 312 号室中村技術専門職員、03-5841-7673、[email protected]です。
• 東京大学に所属している方– 武田先端知ビルクリーンルーム利用申請書– 職員証あるいは学生証のコピー
• 東京大学以外の方– 武田先端知ビルクリーンルーム利用申請書– 武田先端知ビル入館カード申請書– 身分証のコピー
様式はポータルサイトにあります。クリーンルーム入室講習会を受けると、入室資格者として、単独での入室だけではなく、見学者等を責任を持って入室させることが出来ます。
3.2 入室の前に1. 喫煙したならば、40分間以上経たないと、入室してはならない。2. クリーンルームに物を持ち込みたいときは、持ち込んでよいものかをあらかじめ確認する。不明の場合は管理者に聞く。
3. 前室に入る前に靴を脱ぎ、脱いだ靴は前室の棚に整理する。4. ひどい使い方をした場合、入室禁止の措置をとることがある。
3.3 してはならないこと武田先端知クリーンルームは、特定の人のみが入室する生産工場ではありません。実験系のクリーンルームです。そのため、生産工場のクリーンルームの管理より厳しくはありません。クリーンルームに入室の際は、各個人個人が注意するとともに、相互に注意しあうことが重要です。その点をご理解の上、ご利用ください。クリーンルーム管理者は、クリーンルーム内でのある行為の中止を求める場合がありま
16 第 3章 クリーンルームの使用にあたり守るべき事項
す。利用者は即座にしたがってください。これについておかしい或いは不満であると思う場合はクリーンルーム管理委員会に相談してください。以下にしてはならないこと及びすべきことを列記します。
1. ダンボール等の紙類は入れてはならない。（クリーンペーパーを除く）2. 鉛筆、万年筆は持ち込まない。（サインペン、ボールペンは可能）3. 走らない、運動してはならない。4. クリーンルームの中でクリーンスーツのチャックを開けない。5. クリーンスーツの袖まくりをしない。手袋・マスクを外さない。6. グレーチング上で寝てはいけない。7. 不必要にグレーチング上に座らない。8. 手をたたいてはいけない。9. 見学者、訪問者及び業者の単独行動は厳禁（入室登録者以外）。
10. 更衣室でクリーンスーツを着用した後は、控室や前室に出ない。11. マスクと手袋は再利用しない。特に一度更衣室の外に出したものは絶対に再利用しない。
12. 違うバーコードのブーツをペアにしない。13. クリーンスーツを床に直に置かない。14. 個人占有になっているクリーンスーツ類を勝手に使用しない。15. ウイルス対策をしていない PCをネットワークに接続してはならない。16. 写真撮影は、許可なしに行ってはならない。17. 備品・薬品を持ち出さない。18. 勝手に薬品を持ち込まない。19. クリーンルームに持ち込めない物は更衣室にも持ち込んではならない。（更衣室もクリーンルーム）
3.4 すべきこと1. 更衣室に入ったらまず手を洗い、手袋を着用する。2. エアシャワー入室前に必ず手を洗う。3. クリーンルームに持ち込むものは、ワイパーなどでクリーニングしてから持ち込む。4. ドアは静かに開閉する。開けっ放しにはしない。5. 整理整頓を心がける。6. ゴミ箱のゴミが一杯になったらゴミ袋を交換する。7. 相互に注意をしあう。8. クリーンスーツ・フード・ブーツは所定の位置に正しく戻す。きちんとハンガーに掛ける。
3.5 ゴミの分別と排出ゴミ箱はクリーンルーム 1,2,3それぞれに設置されています。分別を確実に守ってください。
• リサイクルできない不燃ごみ (シリコン片もここに含めるが、シリコン以外の物質がついていると不可)
• 可燃• プラスチック• 酸付きゴミ• アルカリ付きゴミ• レジスト付き可燃ごみ• レジスト付き不燃ごみ
3.6 各種届出 17
レジストがついたゴミは擬似感染性となり、血液の付着が疑われる感染性のゴミとして扱わなくてはなりません。レジスト付きのゴミは必ずレジストゴミに捨ててください。
GaAs基板など、特殊なゴミは各自持ち帰ってください。ゴミ箱が一杯になったら、連絡通路の棚から新しいゴミ袋を取り出して交換してください。ゴミは地下 1階の集積所（エレベータ下りて右）まで持っていってください。ユーザーの皆様のご協力をよろしくお願いいたします。
3.6 各種届出• 残業する前に、残業届平日の 21時以降及び土日祝日にクリーンルームに入室する場合は、電子メールで[email protected]に届け出ること。届け出内容は、
– 開始日時・終了日時– 研究室名– 氏名– 連絡先電話番号– 使用薬品– 使用装置– 一緒に入室する人（クリーンルーム内に 2人存在することが極めて困難な場合は、監視カメラで常時監視出来る、緊急時にはすぐに救助出来る、の 2点を満たす人を同伴者として申請できる。例えば、学内の別の建物から監視しているなど）
• 薬品持ち込み申請新規に薬品をクリーンルームに持ち込む前に提出する。書式はポータルサイトを参照。
3.7 ポータルサイトhttp://sentanchi-lab.t.u-tokyo.ac.jp/
19
第 4章
クリーンスーツの着用方法
4.1 武田先端知クリーンルームに於けるクリーンスーツの管理
2章で述べたように、クリーンスーツを清浄に保つことは、クリーンルームの清浄度維持の為に、極めて重要です。そこで、本クリーンルームでは以下のような管理を行っています。
• クリーンスーツは基本的に共用とし、管理者の責任の下に適切な管理を行います。• 10回着用したら必ずクリーニングを行います。（バーコードリーダーによる着用回数管理を行います）
• 頻繁に使用するユーザーにはクリーンスーツの個人管理を認め、各自の責任でクリーンスーツの清浄度管理を行います。
クリーンスーツを清浄に保つため、以下に述べる手順で正しくクリーンスーツ等を着用してください。
20 第 4章 クリーンスーツの着用方法
4.2 着用方法
� �手洗い � �
乾燥
� �手袋着用 � �
マスク着用
� �フード、クリーンスーツ、
ブーツのバーコードスキャン
（この時、床に置かない）
� �フード着用
図4.1 無塵衣の着方（1）
4.2 着用方法 21
� �クリーンスーツ着用 � �
ブーツ着用
� �手袋ごと手を洗う � � �
乾燥
� � �最終確認（フードの裾が出ていないか）
図4.2 無塵衣の着方（2）
バーコードのスキャンについて
本クリーンルームでは 10回着用したものはクリーニングに出すことにしています。更衣室にはバーコードリーダーがついた PCがあり、常にクリーンスーツ類着用回数管理のシステムが動いています。
1. フード、ブーツ、クリーンスーツに付けられたバーコードをスキャンする。バーコードリーダーのボタンを押しながら、バーコードに近づける。スキャンする順番
22 第 4章 クリーンスーツの着用方法
は関係ない。ブーツは左右同じバーコードがついているので、どちらかだけスキャンする。
2. 3つスキャンしたら returnキーを押すかボタンをクリックする。3. 着用回数が 10回を迎えるものは赤字で表示されるので、着用後に忘れずに控え室のクリーニング箱に入れる。
4. 11 回以上着用することになるもの、着用をやめて控え室のクリーニング箱に入れる。*1
さらに詳しい使用方法は更衣室の壁に掲示してあります。
4.3 クリーンスーツ等の脱ぎ方着たときの逆の順番で脱いで下さい。つまり手袋は一番最後にとります。決して素手でクリーンスーツ類を扱わないようにしてください。また、脱ぐときにクリーンスーツを床に着けないように気をつけましょう。脱ぐときはバーコードをスキャンする手順はありません。また、手袋・マスクは再利用しないでください。図 4.3の様にブーツやスーツを脱ぐことは必ず避けてください。
図4.3 間違った脱ぎ方。
*1 全員が正しく管理すればこのようなことはおこらないはずですが・・・・・
23
第 5章
クリーンクロスの種類と用途
クリーンルームの中で使用して良い布類は図 5.1に示されているものだけです。これ以外のものは持ち込まないでください。特に注意していただきたい点は次の通りです。
• CR1では通常のベンコットは使用不可。テクノワイプのみ使用可能。• 一見すると雑巾風の布（図 5.1最上段）が実は一番高級で、再利用する。• 再利用するものは上記の布と床掃除用のモップだけである。• 再利用しない布は、適切に分別してゴミとして捨てる。• CR1においてレジストの掃除にはテクノワイプを使用する。
クリーンクロス類は連絡通路の棚にストックがあります。必要な量を取り出して使ってください。また、同じ棚に回収箱がありますので、再利用する布はそこへ返却してください。クリーンクロス類の本クリーンルーム以外への持ち出しは堅く禁止します。
24 第 5章 クリーンクロスの種類と用途
��Outlook
�����Name/Characteristics
�Usage
�� ��Clean cloth
����������Supreme wiping
���Low particle generation
��������������������������������
Re-use after cleaning
���� !"#$%&For cleanest usage.
'()*�+,��- .���������� ���
Cleaning around wafers.
Not suitable for chemicals.
@ ¥350
�� ��/0123Clean cloth fragments
����������Supreme wiping
���Low particle generation
4567Disposable
'()*�+,��- .���������� ���
Cleaning around wafers.Not suitable for chemicals.
@ ¥50(small) ~ ¥150(large)
��� ����� ����� ����� ��
Techno-wipe
���Low particle generation
(CR1����, only for CR1)
4567Disposable
89:);�<=>?���Wiping spilt chemicals around
working space.
@AB CD �Maintenance of equipments
@ ¥5
������������������������
Ben-cotton
CR1E�FG�Used outside CR1
4567Disposable
89:);�<=>?���Wiping spilt chemicals around
working space.
@AB CD �Maintenance of equipments
@ ¥3.5
����������������������������
Clean Ace
HIF��JK5LMN�O�PQ�OR%P5L
4567Disposable
STU V� WXYZ[\� W
]^2_<="`�?���For painted floor.
Clean-up when carrying
equipments Into CR.
Wiping spilt chemicals.
@ ¥65
������������������������
Floor mop
��������������������������������
Re-use after cleaning
V� Wa%��bc74d
Floor cleaning
Use with a handle.
@ ¥250
�������������
図5.1 クリーンクロスの種類と用途。
25
第 6章
ドラフトチャンバーの使用方法
図 6.1 に示すように武田先端知ビルのクリーンルームには合計 9 基のドラフトチャンバーが備え付けられています。清浄度や化学物質の種類、金属の有無によって使用すべきドラフトチャンバーが異なります。また、ドラフトチャンバーで薬品を安全に使用するために守るべきルールがあります。ドラフトチャンバーでは豊富な量の超純水 (1 ton/h) と純窒素ガンが使用できます。また、ドラフトチャンバーで使用するビーカー類・ホットプレート・超音波洗浄装置が共通使用器具として備え付けられています。通常の使用の範囲であればドラフトチャンバーで共通使用器具を使用することが出来ます。器具を汚染するおそれがある用途、逆に器具からの汚染を気にする用途には、各研究室で用意して使用してください。ビーカー類を保管するデシケータは各研究室で用意していただき、各研究室の割り当て面積に設置してください。本章では、汚染を防ぎ安全に薬品を使うためのドラフトチャンバー使用方法・付帯器具使用方法を説明します。
6.1 使用の前提条件ドラフトチャンバー・共通のビーカー類・ホットプレートなどを使用したい場合は、東京大学環境安全センターの講習会を受講して、有効な講習修了者番号を取得していることと、本クリーンルームで使用している薬品管理システム用の名札を取得していることが必要です。ただし、新入生に関しては早急に講習会を受講することを条件に、講習修了証取得までの間、使用歴の長い人の監督下でドラフトチャンバーを使用してかまいません。環境安全センターの講習会を受講できない立場にある方は、クリーンルーム管理室までご相談ください。
図6.1 CR1のドラフト群（左）。CR2のドラフト群（右）
26 第 6章 ドラフトチャンバーの使用方法
6.2 ドラフトチャンバーの区分ドラフトチャンバー内で扱って良い薬品の種類・サンプルの金属付着の有無・作業の清浄度により次のように区分されています。
• CR1
– アルカリ現像専用– アルカリ清浄 メタル禁止– 酸清浄 メタル禁止– 有機清浄・有機現像
• CR2
– アルカリ清浄– 酸清浄– 有機清浄– 有機一般– 酸一般
酸・アルカリ・有機の区別を必ず守ってください。それぞれのドラフトチャンバーは酸・アルカリ・有機に適した排気処理装置を介して大気への排気を行っています。酸・アルカリ・有機の区分を守らないと、排気が正しく処理されず環境に悪影響を及ぼす可能性があります。また、酸とアルカリを混ぜれば塩が発生し、ドラフトチャンバーを著しく汚染します。ある種の酸と有機溶媒は混ぜると爆発を起こします。メタル禁止と明記されているドラフトチャンバーには金属付きのサンプルを持ち込まないようにしてください。また、アルカリ現像専用ドラフトチャンバーでは、代表的なアルカリ現像液である TMAH を用いた現像作業のみを行うことができます。「清浄」と「一般」の違いは作業がドラフトチャンバーやビーカーなどをどれだけ汚染しうるかによって区別します。以下に代表的な例を示しますので守ってください。
•「一般」ドラフトチャンバーで行う作業– 真空部品をアセトンで洗浄する。– 著しく汚染されたビーカーを硫酸過水で洗浄する。
•「清浄」ドラフトチャンバーで行う作業– RCA洗浄等、サンプルの洗浄。– フッ酸等を用いたサンプルのエッチング。– アルミのリフトオフ。– フォトマスクの洗浄。
6.3 ドラフトチャンバーの使い方ドラフトチャンバーを使用する手順を説明します。
使用前
次の手順を実行してください。
• 排気ファンのスイッチを入れる。• 蛍光灯をつける。• 使用する純水バルブを開け、フットスイッチを踏んで純水が出ることを確認する。バルブを開閉して流量を調整する。
• ビーカーなどの器具、ピンセットなど必要なものをドラフトチャンバーに入れる。• 窒素ガンを使用する場合は、床近くのバルブで圧力を調整しておく。
6.3 ドラフトチャンバーの使い方 27
• 扉は開閉位置に合わせる。図 6.2を参照。• クリーンクロスを使用する場合は第 5章を参照。• 使用する薬品が毒劇物等危険性が高いものの場合は、エプロン、フェイスガード、エフテロン手袋を着用する。
図6.2 （左）適切な使用位置。使用中はこの位置まで扉を閉じて使用する。適切な位置は矢印で示されている。手は隙間から入れる。（右）開放しきったドラフトチャンバー。このような状態でドラフトチャンバーを使用すると大変危険である。
使用中
次の注意事項を守ってください。
• 薬品を使用する前に、薬品管理システムを操作して薬品使用前処理を行う。• 必要が無い限り扉は開閉位置に合わせたままで使用する。安全に使用できる風速を確保するために必要である。
• 薬品を片付けるまでドラフトチャンバーを離れないことが望ましい。特に加熱が必要だったり発熱反応を伴ったりする作業の場合は離れてはならない。
• サンプルを薬品処理する場合は、図 6.3 の手順に従って、4 次までリンスを行う。図中に述べられているように、ドラフトチャンバーの排水口に排出する化学物質は最低限に抑えなければならない。このことにくれぐれも留意すること。ドラフトチャンバーの排水に異常があれば責任ある処理を要求されることになる。*1
• 薬品に長時間浸けておく作業中にドラフトチャンバーを離れるときは、必ず連絡先と実験内容、使用薬品を紙に明記してドラフトチャンバー至近に掲示する。
*1 排水はいったん B3Fのバッファータンクにためて pHを常にモニタしています。
28 第 6章 ドラフトチャンバーの使用方法
図6.3 薬品使用方法。
使用後
次の手順を実行してください。
• 薬品の廃液は、環境安全センターが定める区分に従って廃液タンクに捨てる。絶対に「危」ラインを超えて廃液を入れてはならない。
• 薬品は最低でも 3次リンスまでを廃液タンクに捨てる。図 6.4を参照。• pH試験紙は pHに応じて適切なゴミ箱に捨てる。• 使用した薬品を返却する前に、薬品管理システムを操作して、薬品使用後処理を行う。
• 使用した器具はきれいに洗って (図 6.4参照)、デシケータの定められたバスケットに返却する。このときビーカーなどはひっくり返さない。洗ったばかりの器具を入れたバスケットは一番下にセットする。タイマーを 1∼2時間にセットして器具を乾燥させる。
• ドラフトチャンバーの前面扉を開閉位置まで閉める。• 純水のバルブを閉める。• 窒素ガンのバルブを閉める。• クリーンクロスを使用したときは、適切に処理する。詳しくは第 5章を参照。• ドラフトチャンバーの前面扉を閉めてから最低 1分間はファンを運転し続ける。その後ファンと蛍光灯のスイッチを切る。
6.4 ビーカー類の区分 29
図6.4 使用後の薬品の廃棄方法。
6.4 ビーカー類の区分薬品の種類・サンプルの金属付着の有無により次のように区分されており、ドラフトチャンバー近くに設置されたデシケーターに保管されています。使用後は図 6.4を参照して、十分に洗浄してから返却してください。
• CR1
– アルカリ現像専用– 酸専用 メタル禁止– アルカリ専用 メタル禁止– 有機専用
• CR2
– アルカリ清浄専用– 酸清浄専用
30 第 6章 ドラフトチャンバーの使用方法
– 有機清浄専用– 有機一般専用– 酸一般専用
6.5 pH試験紙の使用方法廃液がドラフトチャンバー経由で下水道に浸入しないように、ビーカーを洗う前に残留化学物質の濃度が十分低くなっていることを確認する必要があります。用意されているpH試験紙を使って毎回必ず確認してください。pH試験紙は pH7近辺を細かく表示するものをドラフトそばの作業台に用意してあります。3次洗浄液を廃液タンクに入れる前に試験紙を浸けてみて、pH6∼8の間にあることを確認してください。pHが 6∼8の範囲にない場合は、3次洗浄液を入れていたビーカーに純水や適切なリンス液を入れて逐次洗浄してください（図 6.4を参照）。pH試験紙は適切なゴミ箱に捨ててください。
6.6 廃液の分類皆さんの参考の為に、環境安全センターの廃液分類フローチャートをドラフトのそばに掲示してあります。
6.7 廃液タンクについて本クリーンルームで使用している廃液タンクは、そのほとんどがキャスター付きのケースに収められています。これは廃液タンクからの発塵を防ぐための措置です。従って、廃液タンクを使用するときは、ケースの一部分だけを開けて使用するようにしてください。
廃液タンクの処理
廃液タンクが一杯になったら、排出処理をします。「危」ラインを超えないうちに処理してください。廃液タンクの処理はユーザーの皆さんに科せられた義務ですから協力してください。次のようにします。
1. タンクのふたがしっかり閉まっているか確認する。2. ケースに入れたまま、連絡通路まで持ち出す。3. 連絡通路にある汎用 PC で薬品管理システムに接続し、廃液タンク排出前処理を行う。
4. 表示される結果（タンク内容物）をプリントアウトする。もしくは紙にメモする。5. エアシャワーを通して更衣室までケースごと持ち出す。6. クリーンスーツ類を脱ぐ。手袋は着けたままにして、ケースを開ける。7. 中の廃液タンクを取り出して、地下一階の廃液タンク集積所へ持ってゆく。8. 内容物をプリントアウトした紙をタンクに貼り付ける。9. 同色のタンクを CRに持ち込む。VDECというシールが貼ってあるものは使用しないこと。VDEC のシールが貼ってあるタンクは MIBK と Cr エッチャントの廃液専用である。
10. 更衣室でベンコットを使用して廃液タンクを拭く。グレーチング上に直接タンクを置かない。
11. ケースにしまう。手袋を交換し、ケースをよく拭く。12. クリーンスーツを着てタンクと共にクリーンルームに入室し、もとあった場所にタンクを戻す。
13. 新しいバーコードを貼る。（7章を参照）
31
第 7章
薬品管理システム
7.1 概要薬品管理システムは、廃液伝票処理、各種法令への対応の為に作られました。クリーンルームユーザーの方は、薬品を使う際に必ずこのシステムを使用して薬品の追跡が行えるようにしてください。
7.2 使用方法起動
システムはドラフトそばに設置されている PC（図 7.1参照）上で起動している webブラウザに常に表示されています。ブラウザが起動していない場合は、デスクトップにある「薬品管理システム」というショートカットをダブルクリックして起動して下さい。
図7.1 ドラフトそばの PC
メニュー
システムは次のメニューから構成されています。
• 薬品使用前処理• 薬品使用後処理• 廃液タンク排出前処理• 薬品ボトル登録• 空ボトル排出前処理
32 第 7章 薬品管理システム
図7.2 メニュー
薬品ボトル登録
薬品ボトルをクリーンルームに持ち込んだら、最初に登録を行います。この登録作業で、薬品ボトルのバーコードと化学物質の種類と所有する研究室とが関連づけられます。この作業が完了すると、クリーンルームに薬品が搬入されたということになります。まず端末の近くにある環境安全センター謹製のバーコードシールをボトルに貼ります。劇物・毒物には赤色のシールを、それ以外の薬品には黒色のシールを貼ります。赤黒の区別を守れば、それぞれの中ではどのシールを貼っても構いません。次に、メニューから「薬品ボトル登録」をクリックします。
図7.3 薬品ボトル登録
天秤にボトルを置きます。先ほど貼り付けたバーコードをスキャンします。続けて、端末の近くにある薬品表からボトルの内容物を探してスキャンします。なお、バーコードスキャン後は自動的にカーソルが次のフィールドに移動します。次に薬品の正味重量（電子天秤で量った値ではなく、ボトルやカタログ記載の値）を g単位で入力します。次の入力欄に移動して薬品の濃度をキーボードから半角数字で入力します。最後に端末のそばにある研究室表から自分の研究室のバーコードをスキャンします。その後 Enterキーを押すか、「登録」をクリックして下さい。以上で薬品ボトルが登録されたので、このボトルは使用可能になります。通常武田ク
7.2 使用方法 33
リーンルームにある薬品はすべて管理者によってこの作業がすでになされています。シールが貼られているボトルにはこの作業は必要ありません。
薬品使用前処理
薬品を使用する前に、毎回この処理を行います。メニューから「薬品使用前処理」をクリックすると次の画面が表示されます。
図7.4 薬品使用前処理
まず天秤にボトルを置きます。次に名札のバーコードをスキャンします。続けて薬品ボトルのバーコードをスキャンします。最後に天秤の右下の方にある enter,printと書かれたボタンを押します。自動的に次のページに進み、使用前の手続きは完了します。
薬品使用後処理
薬品を使い終わったら、メニューから「薬品使用後処理」をクリックします。次の画面が表示されます。
図7.5 薬品使用後処理 1
まず天秤にボトルを置きます。そして、薬品ボトルのバーコードをスキャンします。その後 Enterキーを押すか、「次へ」をクリックして下さい。
34 第 7章 薬品管理システム
図7.6 薬品使用後処理 2
廃液タンクのバーコードをスキャンします。このバーコードは廃液タンクに元々ついているバーコードではなく、後の注意事項で説明するように、薬品ボトルに貼ってあるシールと同じものです。空の廃液タンクを使うときは黒のバーコードシールを貼って下さい。最後に天秤の右下の方にある enter,printと書かれたボタンを押します。自動的に次のページに進み、使用後の手続きは完了します。
廃液タンク排出前処理
廃液タンクが一杯になったら、メニューから「廃液タンク排出前処理」をクリックします。この処理によって、廃液タンクの中身が計算され、廃液伝票の記入を簡単に行うことができます。
図7.7 廃液タンク排出前処理 1
排出する廃液タンクのバーコードをスキャンして、Enterキーを押すか「次へ」をクリックします。次に名札のバーコードをスキャンして、廃液タンクの体積を入力します。廃液タンクの「危」ラインまで廃液が入っていれば、小タンクは 10L、大タンクは 18Lです。そしてEnterキーを押すか、「登録」をクリックします。
7.2 使用方法 35
図7.8 廃液タンク排出前処理 2
図 7.9のような画面が表示されます。ここには廃液タンクの排出者、環境安全講習会修了者証 ID、内容物と比率が表示されます。廃液タンクの内容物は薬品以外は水であると仮定して比率を計算しています。この画面を廃液伝票に書き写して排出して下さい。また、廃液タンクに貼ってあるバーコードを剥がすのを忘れないで下さい。
図7.9 廃液タンク排出前処理 3
空ボトル排出前処理
空になったボトルは捨てる前に処理が必要です。メニューから「空ボトル排出前処理」をクリックします。
36 第 7章 薬品管理システム
図7.10 空ボトル排出前処理 1
まず天秤にボトルを置きます。そして、薬品ボトルのバーコードをスキャンします。その後 Enterキーを押すか、「次へ」をクリックして下さい。
図7.11 空ボトル排出前処理 2
名札のバーコードをスキャンします。最後に天秤の右下の方にある enter,printと書かれたボタンを押します。自動的に次のページに進み、手続きは完了します。バーコードシールは再利用ができないように破棄して下さい。
7.3 注意事項ここに書かれている事項は必ず守って下さい。
• 薬品ボトルと廃液タンクには図 7.12のバーコードシールを貼って管理します。劇物・毒物には赤色のシール、その他の薬品には黒色のシールを貼ります。この区別さえ守れば、どのシールを貼っても構いません。シールは端末のそばに置いてあります。廃液タンクにはあらかじめ環境安全センターでバーコードを取り付けてありますが、このシステムではさらに廃液タンクが処理から戻ってくる度に、独自のバーコードを付与して管理します。そのため、空の廃液タンクを最初に使うときは、黒色のバーコードシールを貼って下さい。バーコードを貼る位置は図 7.13に示すように廃液タンクの小さな注ぎ口側付近の上面です。このバーコードは廃液タンクを排出する時に必ず剥がして下さい。
7.3 注意事項 37
図7.12 劇物・毒物用 (左)。その他の薬品ボトルと廃液タンク用 (右)
図7.13 廃液タンク用バーコードを貼る位置
• 同じ薬品を別の廃液タンクに排出するような使い方をするときは、その都度「薬品使用前処理」と「薬品使用後処理」を行って下さい。例えば、硫酸過水とアンモニア過水を連続して使う場合、どちらにも過酸化水素水が使われますが、廃液タンクは別になります。そのため、硫酸過水を調合したら、薬品使用後処理を行って、改めて薬品使用前処理を行ってからアンモニア過水を調合するようにして下さい。システムでは廃液タンクの内容物も管理しています。そのため、排出するタンクが異なる場合は、同じ薬品でもその都度処理を行う必要があるのです。
• 廃液タンクに入れない分の使用量はシステムに登録しないで下さい。例えば、真空装置の掃除のためにエタノールを使用する場合、エタノールは大気中に放出されるので、「薬品使用前処理」と「薬品使用後処理」はしないで下さい。
39
第 8章
安全・緊急時の対応
8.1 安全管理一般武田先端知ビルクリーンルームでの安全管理は、東京大学工学系研究科安全マニュアルに準拠しています。クリーンルームに入室する前に、下記のサイトで「安全マニュアル」の重要事項を熟読してください。
http://safetymanual.t.u-tokyo.ac.jp/index.html
8.2 緊急時の対応（基本的事項）• 緊急時には人命救助が優先。危険からすばやく逃げることが第一優先です。避難場所は下記のとおりです。ガス漏洩や火災の場合は、建物全体に被害がおよぶ可能性が高いので第 2次避難場所に避難してください。
– 第１次避難場所：武田ビル１階階段ホール– 第２次避難場所：9号館前駐車場
• 緊急連絡先以下の順番ですべてに連絡してください。(1) 工学系の緊急連絡内線 26119
携帯からは 03-5841-6119
防災センターにはクリーンルームの合鍵がありますので、救助をお願いできます。
(2) 東大の防災センター内線 119
(3) クリーンルーム緊急連絡 (杉山)
080-5693-2336
• 複数人で冷静に行動しましょう。このため、クリーンルーム内部に一人しかいない状況は避けましょう。（とくに休日、夜間の一人行動は厳禁！）
8.3 警報への対応武田先端知ビルクリーンルームで遭遇する警報は下記のとおりです。
• 特殊材料ガス漏洩法令に定められた危険度の高い特殊材料ガスの漏洩です。クリーンルーム入り口、およびクリーンルーム 1, 2, 3の内部で「特殊材料ガスが漏れました」というアナウンスとパトライトで警報が出ます。人命に危害がおよぶ可能性があるので、クリーンスーツを着たまま直ちに非常口から避難してください。
40 第 8章 安全・緊急時の対応
������������������������������������(B2)��������
����
������������������������
������������������������(����)
CVD����()
CVD����
図8.1 武田先端知クリーンルーム入り口の各種警報
• 一般ガス漏洩特殊材料ガス以外のガス漏洩です。クリーンルーム入り口、およびクリーンルーム 1, 2, 3 の内部で「ガスが漏れました」というアナウンスとパトライトで警報が出ます。人命に危害がおよぶ可能性があるので、クリーンスーツを着たまま直ちに非常口から避難してください。
※ 上記のガス漏洩が確認された場合は、全館放送（使い方は別記）を用いて速やかに第２次避難場所（9号館前駐車場）への避難を呼びかけてください。
• 酸素欠乏クリーンルーム内の酸素濃度が低下しています。クリーンルーム入り口で警告灯と警報音が、クリーンルーム 1, 2, 3の内部では酸素濃度センサーから警報音が出ます。警報が出る濃度では直ちに人体に危険な状態ではありませんが、装置などの安全を確保した後、クリーンルームから出てください。クリーンルームへ新規入室は控えてください。
• 気圧異常クリーンルームの清浄度維持のために重要な陽圧が損なわれた状況です。クリーンルーム連絡通路の警告灯が点灯し、警報音が鳴ります。人体には影響ないので、避難の必要はありません。管理者に連絡してください。
8.4 ガス漏洩時の人命救助ガス漏洩の際、クリーンルーム内部に取り残された人を救助する場合、あらかじめ必ず管理者に相談してクリーンルーム内部に入室できる状態であることを確認してください。クリーンルーム内に入室できると判断された場合、１階階段横に設置した空気ボンベ
「ライフゼム」を装着し、クリーンルーム内に入室します。原則として複数人での行動が必要です。「ライフゼム」の持続時間は 10分程度です。無理な救助による２次災害を絶対に起こさないでください。
8.4 ガス漏洩時の人命救助 41
����������������������������������������(2)
�������� �� ���
図8.2 武田先端知クリーンルーム内部の各種警報（緊急性が高くないもの）
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CVD����(�)
� �� �� �� �
� �� �� �� �
CR1
CR2
CR2
CVD��������
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CR3
図8.3 武田先端知クリーンルーム内部の各種警報（緊急性が高いもの）
42 第 8章 安全・緊急時の対応
������(1F 106��)
���������� �
������������
図8.4 1階 106号室入り口にある放送設備
8.5 火災への対応基本的には、クリーンルームから連れ立って避難し、建物一斉放送で建物全体からの避難を呼びかけてください。次に、上記の緊急連絡先に確実に通報し、助けを求めてください。軽微な発火などで初期消火を行う場合、クリーンルーム内部に備え付けの CO2 消火器を使いましょう。この場合も、単独で行動せず、必ず周囲の人間の応援を求めてください。消火栓のホースを使って消火を行うには、消火栓上部の火災報知ボタンを勢いよく押し（この段階で建物全体に火災が通報される）ポンプを作動させ、ホースの先端を消火位置に運んで体勢を整えた後に、もう一人に元弁を開けてもらい放水を開始します。この作業には慣れが要るので、無理をせず逃げることを優先してください。
8.6 全館放送の行い方1階 106号室入り口にある放送設備（図 8.4）の「一斉放送」ボタンを押し、マイクを取ってアナウンスします。（はっきりと、落ち着いて。）
8.7 避難経路と緊急設備1階から地下 3階まで、避難経路および緊急時の対応に用いる設備を図 8.5∼図 8.13に示します。
8.8 緊急時の対応（習熟者向け）ガス漏洩など、生命に関わる緊急事態の場合は、連れ合って逃げることが第一です。以下は、逃げたあと管理者と相談しながら行う対応、あるいは、生命には関係ない水漏れな
8.8 緊急時の対応（習熟者向け） 43
�������
Liq. N2 tank
���(PSA)
N2 gas generator
�������� Equipments for emergency
1F
�� ���� Emergency stop button
��������������������������������
Fire detector controller
Broadcast to all the bldg.
������������
Monitor inside of CR��������������������������������Explosive gas emergency stop
�������� ��� ��� ��� ���
Emergency exit
�������� ��� ��� ��� ���
Emergency exit
�� ��� ��� ��� �Primary site for evacuation
������ ��� ��� ��� �Secondary site for evacuation
���������� ��Air cylinder for rescue from inside CR
図8.5 1Fの緊急設備と避難経路平面図
1F�������
������2���� ��������
�������������� !"�#$%&'��()*+,-./�01�2�
3456 789:;
��������������������������������
<=>
図8.6 1Fの緊急設備
44 第 8章 安全・緊急時の対応
B1 floor
�������� Equipments for emergency
��������� sprinkler stop
� ���� Emergency stop button
�������������
Explosive gases leakage sensor controller
��������������������������������Explosive gas emergency stop
�����
図8.7 B1Fの緊急設備と避難経路平面図
図8.8 B1Fの緊急設備
8.8 緊急時の対応（習熟者向け） 45
B2-P3B2-P2B2-P1 B2-P4 B2-P5
B2-P6 B2-P8 B2-P7
B3-P1
�������� Equipments for emergency
����
21150
21151
����
21153
����
21154
����
21155
����
21156
����
21157
����
21158
����
21159
���Exit
��� Telephone
����
21152
��� Central control unit
������
DI water unit
�� Fireplug
���Fire extinguisher
B2 floor
������Light switch
������� Emergency stop button
����������� sprinkler stop
�� !"� Emergency shower
B2��
#�$%&��Gas leakage sensors control unit
#�$%'(���Gas leakage alarm lamp
図8.9 B2Fの緊急設備と避難経路平面図
46 第 8章 安全・緊急時の対応
����������������������������������������(� ��� ��� ��� ��)
��������������������������������()
CVD����(�)
������������
������������
CR1
CR2
CR2
CVD��������
��������������������
CR3
図8.10 B2Fの緊急設備 (見学通路)
����������������������������������������
�������� �� ���
図8.11 B2Fの緊急設備 (クリーンルーム内部)
8.8 緊急時の対応（習熟者向け） 47
B3 floor
�������� Equipments for emergency
���Exit
���Fireplug
���Fire extinguisher
B3
��� � Emergency stop button
���������� sprinkler stop
������Light switch
���
Cooling water
���������Cylinders of explosive gases
������ !"#Scrubbers of explosive gases
図8.12 B3Fの緊急設備と避難経路平面図
B3F�������
������
���������� ��������������������� !"#$%&'
����������������
����������������
���������� ����#()*+,-./0123"45��1F6/7 B1F1289"'
������������#()*+,-./0123'
図8.13 B3Fの緊急設備
48 第 8章 安全・緊急時の対応
どの事故を復旧させるための対処法です。
1. 窒素漏れ（クリーンルーム内で窒息の危険）配管（ステンレス管）の破損などにより窒素ガスがクリーンルーム内に漏れ出した場合は、１階言問い通り側入り口にあるガスヤードで、窒素発生器の緊急停止（2
箇所）を押し、液体窒素からの気化窒素の供給弁を閉じてください。2. 純水漏れ（クリーンルーム内が水浸しの危険）配管（黒い塩ビ管）の破損などにより純水がクリーンルーム内に漏れ出した場合は、地下２階連絡通路脇の純水機器室で、停止ボタン（2箇所）を押し、純水の供給を止めてください。
3. 実験冷却水漏れ（クリーンルーム内が水浸しの危険）ビニールホースの破損などにより実験冷却水がクリーンルーム内に漏れ出した場合は、漏水センサーが作動し、実験冷却水が自動停止します。万が一停止しない場合は、地下３階エレベータホールの冷却水制御盤で、停止動作を行ってください。
4. スプリンクラーヘッドの破損による水漏れ（クリーンルーム内が水浸しの危険）スプリンクラーヘッドを誤って破損すると、水が噴出します。止めるためには、地下 1∼3階のスプリンクラー制御弁を操作します。火災の際には絶対に止めないでください。
8.9 武田先端知ビルで用いられるプロセスガスと危険性、注意事項
表 8.1に、武田先端知ビルで用いられるプロセスガスと危険性を示します。
特殊材料ガスに指定されているジシラン・ゲルマン・ジボラン・フォスフィンは、いずれも爆発性や毒性が強く、大気中に漏洩しないよう細心の注意をもって扱う必要があります。非常に危険性の高いガスですので、厳しい法規制をクリアしないと使用することができません。したがって、武田先端知ビルクリーンルームでは法規制に準拠した安全装置を完全に備え、厳しい管理体制のもとで安全に利用されています。しかしながら、万が一ガス漏洩が起きると、クリーンルーム内部での爆発や中毒などに
表8.1 武田先端知ビルで用いられるプロセスガスと危険性
ガス 危険性 人体への毒性 許容濃度 特徴特殊材料ガスジシラン 大気中で 皮膚・眼に刺激性、頭痛、 5 ppm 無色気体(Si2H6) 爆発的に燃焼 吐き気、肺水腫 不快臭ゲルマン 大気中で爆発 呼吸困難、激しい頭痛、 0.2 ppm 無色気体(GeH4) 胃腸障害、尿毒症 弱い刺激臭ジボラン 大気中で爆発 頭痛、吐き気、肺水腫、 0.1 ppm 無色気体(B2H6) 心臓・肝臓の一時的障害 ビタミン臭フォスフィン 常温で自然発火 頭痛、貧血、食欲不振、 0.3 ppm 無色気体(PH3) ・急性毒性 呼吸困難、下痢、けいれん 魚の腐った臭い毒性ガス塩素 急性毒性 皮膚に炎症、気管障害 0.5 ppm 黄緑色気体(Cl2) （呼吸困難） 刺激臭３塩化ホウ素 急性毒性 気管障害、肺水腫 未設定 無色気体(BCl3) 刺激臭
8.9 武田先端知ビルで用いられるプロセスガスと危険性、注意事項 49
より人命を奪う危険性があります。したがって、何重にもガスセンサーを配置して、漏洩が起きたらすぐに検知し、直ちにガスボンベの元栓を締める（停電が起きても自動的に締まる）設備を整えています。ガス漏洩警報が出たら直ちに避難することが何よりも重要です。特殊材料ガス以外の塩素、３塩化ホウ素も毒性が強く、万が一ガス漏洩が起きると、クリーンルーム内部での中毒により人命を奪う危険性があります。これらのガスについても、特殊材料ガスと同等の安全対策を施しています。ガス漏洩警報が出たら直ちに避難することが何よりも重要です。その他の注意が必要なガスとして、水素 (H2)があります。毒性はありませんが、空気と混合したときに着火されると爆発します。水素ガスを利用する際にも漏洩センサーの設置を義務付けています。ガス漏洩警報が出たら直ちに避難することが何よりも重要です。以上、武田先端知ビルクリーンルームでは危険性の高いガスを使っていますが、利用に際してはつねに安全を確保するための各種の装置を装備していることを理解してください。必要以上にガスを恐れることは科学者として正しい態度とはいえないでしょう。しかし、いったん危険が察知されたら、つまりガス漏洩警報が鳴ったら、たとえ誤報であっても速やかに避難して身の安全を確保することを忘れないでください。
51
第 9章
PCの使用について
9.1 備え付けの PC
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� � � � � � � � � � � � �� � � � �� � � � �
� � � � � � � � �� � � � �
専用PC
専用PC
専用PC汎用PC
CR2
CR3
CR1
図9.1 PC配置図
図 9.1に示すように、武田先端知ビルクリーンルームには 3台の専用 PCと 1台の汎用PCが設置されています。専用 PCはクリーンルームの運用に欠かせない機能を担っているものですから、私的に使用しないでください。CR1と CR2のドラフトチャンバー付近に備え付けられた PCは薬品管理システムの端末としてのみ使用します。CR3 の見学通路方向に設置された PC
は、安全確保のために見学通路からクリーンルーム内を監視するためのものです。手を触れないでください。連絡通路に設置した汎用 PCは、
• ネットワークへのアクセス• インクジェット複合プリンタ（スキャナ、コピー機として使用可能）• 各種フラッシュメディアリーダー• バーコードリーダー
を備えており、
• SEMで撮影した jpgを研究室のサーバーにアップロードする• 廃液タンク排出処理を行って、結果をプリントアウトして持ち出す• 複合プリンタでクリーンノートのコピーを取る• 複合プリンタでクリーンノートをスキャンして pdfファイルにする
等の用途で使用していただいてかまいません。webの閲覧等にも常識の範囲内でご使用いただいてかまいませんが、以下の行為は禁止します。
52 第 9章 PCの使用について
• 研究に関係ないソフトウェアをインストールする• キーロガーやスパイウェア、トロイの木馬をインストールする。もしくは、セキュリティを低下させる行為をする
• システムの破壊行為を行う
多くの人が使用する PCですので、個人情報や研究の秘密を扱う時は十分に注意してください。クリーンルーム管理委員会では PCの安全を保証することはできません。心配なときは、持ち込み PCを使用してください。
9.2 PCの持ち込みについてデータ収集などの為にクリーンルームにノート PCを持ち込むときは、2章や 3章をよく読み、PCからの発塵を抑えるようにしてください。必ず更衣室で拭き掃除をしてください。
CR2,3においては 801.11bの無線 LAN、CR2の連絡通路付近で有線 LANを使用することができます。いずれも、工学部のネットワークに関する各種規則*1に則って運用されていますので、これらを必ず読んでください。ウイルス対策がなされていないコンピュータのネットワーク接続や P2Pソフトウェアの使用は固く禁じられています。無線 LANのWEPキーはクリーンルーム管理委員会までお問い合わせください。
*1 http://www.t.u-tokyo.ac.jp/internal/network/index.html
53
第 10章
共有・公開装置
10.1 工学部スペースの共有装置武田先端知ビルクリーンルームでは、研究資源の有効利用により研究アクティビティーの向上に資するため、
• 工学系研究科およびユーザー有志が共同出資で整備した装置• ユーザーが単独で所有しているが共用を認めた装置
を共同利用装置として運用しています。基本的な運用方針は
• ユーザーは登録制• 装置ごとに管理者を設定し、管理者がユーザーの資格認定を行う。• 装置運用に関するコストは、管理者のイニシアティブのもとユーザーの間で分担する。そのため、支払い能力を有する教員等が最初に研究グループとしてユーザー登録を行う。
となっています。装置の難易度、危険性によってユーザー資格の取得方法に違いがありますが、基本的には、すでに資格を持っているユーザーと一緒に作業して利用法を習得し、最後に管理者によるテストを経てユーザーとして認められます。塩素など危険なガスを用いる装置では、ユーザー認定の基準が厳しくなります。詳細なルールは、別途「武田先端知ビルクリーンルーム共同利用装置規定」に定めていますので管理者にお問い合わせください。現在の共同利用装置は以下のとおりです。なお、武田先端知ビルユーザーが利用できる装置として、VDECが全国共同利用に供している装置もあります。使える研究資源はフル活用して、良い研究成果を挙げましょう。
10.2 VDECの公開装置VDECは、本来のミッションである教育・研究用 LSI試作環境提供、LSI-CAD環境提供に加えて、大型共同利用装置を公開している。武田 CRで利用できる公開装置は以下のとおりである。
1. ADVANTEST F5112+VD01 8インチ EB 描画装置 (CR1)、マスクエッチング装置(CR3)
2. SII SMI-9800 8インチ FIB装置 (CR2)
3. DISCO DAD-340 8インチダイシングソー (CR3)
4. Westbond 7674Dアルミ/金ウェッジボンダー (CR3)
5. レーザー顕微鏡
その他、ヴァン・パートナーズ株式会社と VDECとの受託研究契約により、同社所有の
54 第 10章 共有・公開装置
表10.1 武田先端知ビルクリーンルーム共同利用装置 (2007/5/1)
装置名 設置場所 管理責任教員 特徴などイオン注入装置 8号館 鳥海教授
B025 （マテリアル）酸化炉・アニール炉 CR2 鈴木准教授 4インチ、マスク用酸化膜形成
（機械）深堀 ICPエッチング装置 CR2 三田准教授 4インチ、Boschエッチング
（電気）汎用エッチング装置 (RIE) CR2 杉山准教授 各種材質対応、Cl2, BCl3
（総合）エッチング装置 (ICP) CR2 山本教授
（理学部物理）段差計 (DEKTAK) CR2 大津教授
（電子）スパッタ装置 CR2 鈴木准教授 4インチ、3ターゲット
（機械）高真空 Al蒸着装置 CR2 三田准教授 4インチ
（電気）
10.2 VDECの公開装置 55
6. FESEM S-4700(CR3)
も共用利用可能である。他にも装置がいくつか存在するが、上記装置に比べると利用の敷居値は高い。公開する/しないの基準は主として「装置講習ならびに壊したときの対応に VDEC教員 (1名)の手が回るかどうか」で決めてあるので、自律分散的に動けるプロのスペシャリストであれば割合簡単に使用許可を出すことが可能である。*1
利用の心得
• VDECの装置は、研究室の教員に利用いただくのが建前であり、研究室構成員は先生の代理で利用しているつもりなので心してほしい。
• 壊さずに自分で使えるスキルを常に身につける覚悟、壊したら素直に報告する心がまえ、仲良くやる心が大切
• 利用記録はかならず記入すること。そのとき装置状態のメモなどを残すといい。
装置 ライセンス証 予約ページ 学習法 利用料F5112 有 有 ライセンス者から 規定有
SMI-9800 有 有 ライセンス者から 利用量に応じ実費DAD-340 無 無 使える人から 壊した刃などボンダー 無 無 使える人から 壊したキャピラリなどレーザ顕微鏡 無 無 使える人から
FESEM 無 無 使える人から メンテ費用を実費
メンテナンスのコンタクト先
装置用教員共通アドレス: 竹中充講師 (三田吉郎准教授) [email protected]
EB装置技術補佐員 田中研M2原田智之 [email protected]
三田研M1今井義朗 [email protected]
今年から、「ナノテクネットワーク」で「EB装置の技術相談のための支援員」が雇われる予定。9月頃から、毎朝午前中に素人の描画相談にのる体制を作る予定。一般ユーザに優先して使うことになるので承知いただきたく。これにともない、利用時間 (夕方) を少しのばす予定 (19時ころまで?)。見返りに、日毎調整はしなくてよくなる、装置が常に良い状態に保たれる (毎日同じ人が見ることになるので)、その人のところに情報が集まるので時間がたてばたつほど経験が蓄積していくので乞御期待。
EB装置の利用法
1. VDECのWEB参照アカウントを申請する (先生)。http://www.vdec.u-tokyo.ac.jp/registration.html
2. http://www.vdec.u-tokyo.ac.jp/Facilities/procedure.htmlを読む。3. EBwiki http://eb3.vdec.u-tokyo.ac.jpも読む。4. 近くの研究室に使える人がいるか調べる (下山研、藤田博之研等)
5. その人について 3回習う。特にトラブル対処など。6. 免許申請を竹中充講師に持っていく。7. 免許が発行される。
*1 この節の著者はだれでしょう。by編集者
![[1].Pps 古埃及文明](https://img.pdfslide.tips/doc/110x75/559deee61a28ab5f468b4647/1pps-.jpg)
