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表面粗さ・輪郭形状測定機 表面粗さ・輪郭形状測定機
表面粗さ測定と高精度輪郭形状測定を可能にした高精度複合機
NEXシリーズ
NEX 041 DX/SD専用カタログを準備しています。
型式 SURFCOM NEX12 13 14 15 22 23 24 25
駆動部 Ｘ軸（L：測定長さmm）
センシング方式 リニアスケール
真直度精度 輪郭測定用高精度検出器使用時（µm/mm） 1.0/100 2.0/200粗さ測定用ピックアップ使用時（µm）
（0.05…+…1.0L/1000）
Ｘ軸指示精度 ：横方向 輪郭測定用高精度検出器使用時（µm）
±（1.0…+…1.0L/100）……※100…mm駆動部…輪郭測定時
分解能（µm） 0.016
速度（mm/s） 移動時 0.03 〜 60測定時 0.03 〜 20傾斜角度（° ）
輪郭測定用高精度検出器、粗さ測定用ピックアップ使用時 ±15（傾斜装置オプション）
測定台 コラム 速度（mm/s） 移動時 Max.…10ベース 材質 はんれい岩
NEX…041は表面粗さ測定と高精度輪郭形状測定が可能な複合モデルです。（検出器付け替え要） ※駆動部傾斜装置はオプションです。詳細は表面粗さ測定に関しては22
〜 23ページ、輪郭形状測定に関しては18 〜 21ページを参照下さい。
輪郭測定用高精度検出器
（E-DT-CH19B）
測定範囲 Ｚ軸 （mm）：縦方向 60.0…
輪郭測定（H：測定高さmm）
センシング方式 レーザ光回折スケール測定レンジ （mm） 60.0…測定分解能 （µm） 0.02…（フルレンジ）指示精度
（µm）：縦方向 ±（0.8…+…|2H|/100）機能 上下向き測定/衝突検知安全機構/リトラクト機能
測定子 輪郭用
型式 DM45505交換方式 交換式測定力 （mN） 2 〜 30（ACCTeeから設定）触針材質 超硬合金触針形状
先端R…25…μm/24°円錐
粗さ測定用ピックアップ
（E-DT-SS01B）
測定範囲 Ｚ軸（µm）：縦方向 1000
粗さ測定
センシング方式 差動インダクタンス測定レンジ（µm） 6.4 〜 1000測定分解能（nm） 0.1 〜 20機能
下向き上向き測定/上側リミット検出安全機構
測定子 粗さ用
型式 DM43801交換方式 交換式測定力（mN） 0.75触針材質 ダイヤモンド触針形状 先端R…2…μm/60°円錐
検出器
測定部
DXタイプ SDタイプ
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表面粗さ
・輪郭形
状統合測
定機表
面粗
さ測
定機
輪郭
形状
測定
機表
面粗
さ・
輪郭
形状
複合
測定
機
NEX
表面粗さ測定と輪郭形状測定を有する複合機のスタンダード
NEXシリーズ
NEX 031 DX/SD専用カタログを準備しています。
DXタイプ SDタイプ
型式 SURFCOM NEX12 13 14 15 22 23 24 25
駆動部 Ｘ軸（L：測定長さmm）
センシング方式 リニアスケール
真直度精度 輪郭測定用汎用検出器使用時（µm/mm） 1.0/100 2.0/200粗さ測定用ピックアップ使用時（µm）
（0.05…+…1.0L/1000）Ｘ軸指示精度
：横方向 輪郭測定用汎用検出器使用時（µm） ±（1.0…+…1.0L/100）……※100…mm駆動部…輪郭測定時
分解能（µm） 0.016
速度（mm/s） 移動時 0.03 〜 60測定時 0.03 〜 20傾斜角度（° ）
輪郭測定用汎用検出器、粗さ測定用ピックアップ使用時 ±15（傾斜装置オプション）
測定台 コラム 速度（mm/s） 移動時 Max.…10ベース 材質 はんれい岩
NEX…031は表面粗さ測定と輪郭形状測定が可能な複合モデルです。（検出器付け替え要） ※駆動部傾斜装置はオプションです。詳細は表面粗さ測定に関しては22
〜 23ページ、輪郭形状測定に関しては18 〜 21ページを参照下さい。
検出器
測定部
輪郭測定用汎用検出器
（E-DT-CH18B）
測定範囲 Ｚ軸（mm）：縦方向 60.0…
輪郭測定（H：測定高さmm）
センシング方式 高精度スケール測定レンジ（mm） 60.0…測定分解能（µm） 0.04（フルレンジ）指示精度（µm）：縦方向
±（1.5…+…|2H|/100）機能 上下向き測定/衝突検知安全機構/リトラクト機能
測定子 輪郭用
型式 DM45505交換方式 交換式測定力（mN） 10 〜 30（手動調整）触針材質 超硬合金触針形状
先端R…25…μm/24°円錐
粗さ測定用ピックアップ
（E-DT-SS01B）
測定範囲 Ｚ軸（µm）：縦方向 1000
粗さ測定
センシング方式 差動インダクタンス測定レンジ（µm） 6.4 〜 1000測定分解能（nm） 0.1 〜 20機能
下向き上向き測定/上側リミット検出安全機構
測定子 粗さ用
型式 DM43801交換方式 交換式測定力（mN） 0.75触針材質 ダイヤモンド触針形状 先端R…2…μm/60°円錐
