真空系統元件SELVACSVSN、VSNP系列

CC-967T

VACUUM SYSTEM COMPONENTS SELVACS VSN/VSNP SERIES

新產品最適於高速搬運電子零件、小型精密零件等

CKD Corporation.

卷首1

010

2030

4050

60

高度

010

2030

4050

60

高度

0

50

10

40

90

60

20

30

80

70

重量

ON OFF ON OFF

→時間

氣導閥訊號

真空

大氣壓

→時間

→真空壓力

→真空壓力

●真空產生器模組VSN●既有的真空產生器模組

應答時間的差異

應答時間的差異

小大

真空

大氣壓

氣導閥訊號

高速應答

ON OFF ON OFF

→時間

パイロットバルブ信号

真空

大気圧

→時間

→真空度

→真空度

●真空発生器VN●従来の真空発生器

応答時間のバラツキが 大きい

応答時間のバラツキが 小さい

真空

大気圧

パイロットバルブ信号

高速応答

ON OFF ON OFF

→時間

パイロットバルブ信号

真空

大気圧

→時間

→真空圧力

→真空圧力

●真空エジェクタユニットVSN●従来の真空エジェクタユニット

応答時間のバラツキが

応答時間のバラツキが 小さ

い大きい

真空

大気圧

パイロットバルブ信号

高速応答

高度

010

2030

4050

高度

010

2030

4050

●單體型 ●連座型

適合安裝空間受限的客戶。小巧、輕盈的真空產生器模組＆真空切換模組。產品高度降得更低了。

實現高速、穩定應答性。（ON/OFF＝5msec以下）主閥採用了直動閥。

真空產生用閥

真空產生用空氣供應（PV）孔口

真空破壞用空氣供應（PS）孔口

真空破壞空氣流量調整針閥

真空破壞用閥

真空（V）孔口

消音器

產生器

真空破壞專用的控制壓力，

支援防止小型工件吹飛對策

的微調整。

小型調壓閥小型插座型

真空過濾器

真空吸盤

工件

真空產生器VSN空氣供應孔口個別型

供應孔口也推出共用型產品種類。※供應孔口：真空產生用空氣供應孔口和

真空破壞用空氣供應孔口共用。

確保真空破壞空氣流量在20ℓ/min。

真空破壞時讓小型工件輕鬆脫離。將真空破壞空氣供應孔口獨立化（選購品）。除了既有的流量調整外，並可透過外部調壓閥調節壓力， 讓真空破壞空氣的微調更容易。

●迴路圖

負壓用 複合壓用

類比開關

分離型LED壓力顯示器＋

類比開關

負圧用 連成圧用

アナログスイッチ

分離型LED圧力表示器＋

アナログスイッチ

負圧用 連成圧用 負圧用 連成圧用分離型LED圧力表示器＋アナログスイッチアナログスイッチ

備有4種類比輸出型壓力感測器。負壓用類比輸出感測器、 分離型LED壓力顯示器＋負壓用類比輸出感測器、 複合壓用類比輸出感測器、 分離型LED壓力顯示器＋複合壓用類比輸出感測器。

真空過濾器改為外接（另購品）。產品小型化，解決了過濾器更換作業的不便。※本產品未內置真空過濾器。　為保產品的長久使用，真空配管務請同時使用本公司出品之真空過濾器（請參照下述。）。

型式／VSFJ

VSFJ-44

VSFJ插座型

型式／VSFU

VSFU-2-44

VSFU小型由令接頭型 ø4

ø4 ø4

ø4

最適於高速搬運電子零件、 小型精密零件等！！

符合RoHS指令已排除鉛及六價鉻等對地球環境造成不良影響的物質。

真空系統元件SELVACS

卷首2

產品安全使用守則使用前請務必詳閱本須知

使用本公司產品進行裝置的設計製作時，針對裝置之機械機構、空壓控制迴路或水控制迴路、及藉由操控上述迴路之電氣控制而運轉的系統，負有實施檢查以確保其安全性並製作安全之裝置的義務。為安全使用本公司產品，產品之選擇、使用、操作、及妥善的安全管理十分重要。為確保裝置的安全性，請務必遵守警告、注意事項。此外，請實施檢查以確保裝置的安全性，製作安全的裝置。

警告

1 本產品係作為一般工業機械用裝置、零件而設計、製造。請由具備充分知識與經驗之人員進行操作。

2 請務必遵守在產品規格範圍內使用。使用時不可超出產品既定規格範圍，且切勿對產品進行改造或額外加工。再者，本產品係以一般工業裝置、零件之使用為適用範圍，不適合於室外使用、或在以下所示之條件或環境中使用。（惟若在採用時已洽詢本公司，且已理解本公司產品規格時則可適用，但仍應採取安全對策，以便萬一發生故障時避免危險。）1 直接接觸核能、鐵路、航空、船舶、車輛、醫療儀器、飲料、食品等之機器或用途；娛樂設備、緊急阻斷迴路、沖床機械、制動迴路、安全對策用途等須講求安全性之用途。

2 可能對人或財產造成重大影響等特別須講求安全的用途。

3 在與裝置設計、管理等相關之安全性上，請務必遵守業界規格、法規等規範。ISO4414、JIS B 8370（空壓系統通則）JFPS2008（空壓氣缸的選定及使用指南）高壓氣體保安法、勞動安全衛生法及其他安全規則、業界規格、法規等。

4 在確認安全之前，切勿操作本產品或卸除配管／元件。1 請在確認與本產品有關之所有系統安全無虞後，再進行機械、裝置的檢查或整理。2 當運轉停止時，仍有可能仍存在高溫部份或充電部份，操作時請注意。3 實施機器／元件的檢查或整理時，請先阻斷能源源頭之供氣、供水、該設備之電源，並釋放系統內之壓縮空氣，注意有無漏水及漏電。

4 欲將使用空壓元件之機械或裝置啟動或再啟動時，請先確認防止飛出處置等確保系統的安全性。

5 為防止事故，請務必遵守次頁起所載之警告、注意事項。

■此處所示注意事項係將安全注意事項分級為「危險」「警告」「注意」，以供區別。

危險： 若操作有誤，則可能會發生死亡或重傷之危險狀態，且限發生危險時其緊急性（迫切的程度）高。

警告： 若操作有誤，則可能會發生死亡或重傷之危險狀態。

注意： 若操作有誤，則可能會發生輕傷或僅物品損壞之危險狀態。

即使是標示為「注意」的事項，依狀況而定，仍有可能導致嚴重結果。所載之內容皆屬重要，請務必遵守。

（DANGER）

（WARNING）

（CAUTION）

免責事項

1． 因使用本公司產品或使用不當，致使發生事業中斷、利益損失、人身傷害、延遲費用、其他附帶或間接損失、費用或損害，本公司恕不負責。

2． 本公司對於下列損害概不負責。1 天災、非可歸責CKD之火災、第三者或客戶之故意或過失等原因引起本公司產品故障所導致的損害。2 將本公司產品納入貴公司機器／元件使用時，若貴公司機器／元件具有業界一般常識應有之功能、結構則可歸避之損害。

3 超出本公司型錄或操作說明書中記載之規格範圍使用，以及不在安裝、固定、調整、保養等注意事項內之行為導致的損害。

4 未經本公司許可的產品改造、與其他軟體或其他連接機器／元件搭配不當等不良現象導致之損害。

卷首3

真空系統元件一般注意事項

■ 吸附物（工件）如有掉落危險之虞，應採取防掉落對策維護安全。

■ 使用時，真空迴路側不得經常施加0.1MPa以上的壓力。真空元件不具防爆結構，本體破損有導致危險的可能。

■ 應注意由於供應空氣、供應電源發生問題導致的真空壓力減低。吸附力減低將有導致吸附物掉落的危險，應採取安全對策。

■ 真空迴路如採取1台產生器搭配2個以上吸盤的設計配管時，其中1個吸盤若發生吸附不良（漏氣），另1個吸盤也會有真空壓力減低導致吸附物鬆脫之危險。

注意

■ 產生器的供應壓力（本文規格值）為操作產生器時的數值。應將壓力降低納入考慮，確保達到本文規格值。若未符合規格值，產生器可能會在特定供應壓力時發出異聲，特性變得不穩定，影響感測器等元件而造成問題。

■ 應以產生器供應壓力側的有效剖面積為噴嘴直徑剖面積3倍之標準，選擇配管及元件。供應流量不足時，將導致性能減低。

真空系統元件

產品安全使用守則使用前請務必詳閱本須知。關於各系列之詳細注意事項，請參閱本文中「 使用注意事項」。

設計／選定時

警告

卷首4

安裝／固定／調整時

■ 產生器各孔口應根據本文及本體標示確認並進行配管。配管錯誤將可能導致本體破損。

■ 產生器供應空氣，應使用已過濾結露水及雜質的清淨空氣。此外，不得以給油器給油。壓縮空氣內含有雜質、油份，將可能導致動作不良、減低性能。

■ 驅動閥件時，應確認洩漏電流在1mA以下。洩漏電流將可能導致誤動作。

■ 閥件長時間連續通電，將導致線圈發熱。高溫將有造成燒燙傷或對週邊元件造成影響等危險。

■ 日光直射處使用時，應加裝保護蓋。

警告

■ 請勿使用螺旋狀的水管。 尤其是用於真空側時，會因為配管阻力導致下列不良發生。 1 真空到達時間延遲 2 吸附端的真空度因流量低下而減低 3 真空開關動作不穩定

■ 真空側配管長度應盡量短，或是加粗內徑。配管過長或內徑較細，可能造成吸附／脫離時的應答時間延遲，以及無法確保必要吸入流量。

■ 真空用壓力開關以及附真空用壓力開關產生器，應盡量配接在真空配管末端處。真空用壓力開關與真空配管末端處距離如果太長，配管阻力變大，感測器部分的真空度在無吸附時仍高，將可能導致真空用壓力開關誤動作。

注意

使用／維護時

■ 使用時，不得有阻塞產生器排氣孔口或造成排氣阻力升高之行為。將導致無法產生真空或真空壓力減低。

■ 產生器的消音器濾心及真空過濾器濾心，應定期進行保養檢查。濾心阻塞將減低性能或引發問題。

■ 濾心更換作業應於充分理解本文中真空產生器用替換濾心後進行更換。

■ 導線不得強力拉伸或過度彎曲。將有造成斷線之危險。

■ 產品若有鎖定螺帽時，請勿使用工具，應徒手確實鎖緊。若使用工具鎖緊，可能造成鎖定螺帽或本體破損。此外，如果無法確實鎖緊，有可能是鎖定螺帽鬆弛，偏離預設設定。

■ 樹脂本體旋轉類型的產品，切勿強行搖動、旋轉。將可能造成本體破損、洩漏。

警告

VSN • VSNP Series一般注意事項

卷首5

真空系統元件

產品安全使用守則使用前請務必詳閱本須知。關於一般真空系統元件，請參閱卷首3。

個別注意事項：真空模組 VSN、VSNP系列

警告 注意

■ 電磁閥驅動時，請確認洩漏電流在1mA以下。洩漏電流將可能導致誤動作。

■ 請勿對產品施加超出規格之振動、衝擊。將有造成產品破損或電磁閥誤動作之危險。

■ 電磁閥長時間連續通電，線圈將會發熱。高溫可能造成燒燙傷或影響週邊元件。若需長時間連續通電，請另洽本公司。

■ 本產品的電磁閥採用電流控制迴路，線圈通電保持時具有調降電流值的機構。禁止用在施加超出規格之振動、衝擊的環境。將會導致閥件誤動作。

■ 真空（V）孔口所連接的配管，選擇時應確保充分的有效剖面積配管長度。若有效剖面積不足，將無法充分獲得吸入流量、真空破壞空氣流量等產品性能。

■ 供應（PS、PV）孔口所連接的配管，選擇時應確保充分的有效剖面積配管長度。若有效剖面積不足，壓縮空氣或真空供應量將不足，無法充分發揮產品性能。

■ 本產品未附真空過濾器。請務必使用本公司的真空過濾器系列產品。若不使用真空過濾器，吸入的塵埃等雜物將堆積在產品內部，導致真空性能減低（產生器系統支援模組）或電磁閥洩漏及動作不良（產生器系統支援模組、真空幫浦系統支援模組）等現象。

（建議真空過濾器：VSFU系列、VSFJ系列）

■ 連座型受到空氣供應量（供應孔口尺寸、配管長度、減壓閥處理流量、其他）以及產生器空氣消耗量（真空特性）等各種條件的限制。如需要連座型同時驅動的用途，請洽本公司營業處。

■ 真空產生器VSN系列的連座型機種，各模組獨立進行大氣開放，真空模組產生器的排氣，有回灌至未發生真空模組之情況（排氣回灌）。如果排氣回灌會造成問題時，請洽本公司營業處。

設計／選擇時

電壓

電流

電磁閥通電時的電流、電壓波形

約20msec

啟動時（消耗功率：2.2W）

保持時（消耗功率：0.6W）

卷首6

警告

注意

■ 不得在產品上踩踏或堆置物品。可能導致摔落意外，或產品因翻倒、掉落造成人員受傷或產品破損，造成誤動作。

■ 請勿以水或溶劑洗淨或進行烤漆。溶劑將造成樹脂零件破損，烤漆將阻塞孔口，導致動作不良。

■ 配管內流入鐵鏽、異物，將導致產品故障、誤動作、性能減低。供應孔口前應裝設5µm以下的過濾器。此外，使用前或每隔一段時間，建議對配管內部進行沖洗。

■ 不得在含腐蝕性空氣、可燃性氣體的環境中使用。同時也應避免用於運輸前述使用流體。本產品不具防爆結構，可能導致火災、爆炸。

■ 請避免在水滴、油滴、灰塵可及的地方使用產品。本產品不具防滴、防塵結構，將可能因而導致產品破損、性能減低。

■ 本產品的電磁閥導線具有極性。極性顛倒時，電磁閥不會動作。

安裝／固定／調整時

警告 注意

■ 如需檢查、調整時，請先切斷電源，停止供氣，確認無殘壓後再開始進行。

■ 請務必於切斷電源的狀態下進行配線、配管作業。此外，電源接通或供氣之前，務必檢查配線或配管有無錯誤。

■ 各部螺絲應以適當扭力固定。安裝產品時的建議固定扭力記載在第21頁的「產品固定方法」第②項；電磁閥的建議固定扭力記載在第21頁的「濾心更換方法」。如果未正確固定，將造成空氣洩漏、產品脫落、製品各處破損等情況。

■ 更換供應（PS、PV）、真空（V）等各孔口的過濾匣時，請於去除密封部附著物後，確實插入止動銷。

■ 產生器系統支援模組的消音器濾心或真空幫浦系統支援模組（單體）的濾心如果大量附著塵埃，將可能導致性能降低。濾心建議應每隔一定時間勤加清掃、更換。

使用／維護時

VSN • VSNP Series個別注意事項

■ 電磁閥及感測器的導線，切勿強力拉伸或過度彎曲。將導致斷線或連接器部破損。

■ 壓縮空氣中含有大量的結露水（水、氧化油、焦油、異物）。結露水將嚴重減低產品性能，應以後置冷卻器、乾燥器除濕，以提升空氣品質。

■ 請勿使用給油器。

1

規格■ 共用

註1： 應答時間為供應額定壓力、額定電壓時，真空孔口檢測到壓力變化的時間。配管前端部（工件）的真空到達時間以及真空破壞時間，隨產生器特性、容積（真空配管長度）、真空破壞流量等條件而異。

項 目 真空產生器模組 VSN 真空切換模組 VSNP使用流體 空壓

使用壓力範圍 MPa 0∼0.55

使用溫度範圍 ℃ 5∼50（避免結露）

使用濕度範圍 35∼85％RH（避免結露）

保護結構 IEC規格 符合IP40

耐振動／衝擊性 m/s2 50以下／150以下

使用真空壓力 kPa － 0∼ー100

產生器特性■ 真空產生器模組

型 號 噴嘴直徑（mm） 額定供應壓力（MPa） 到達真空壓力（-kPa） 吸入流量（ℓ/min﹝ANR﹞） 消耗流量（ℓ/min﹝ANR﹞）VSN-E04 0.4 0.35

90.4

2 6

VSN-H050.5

0.5 7 11.5

VSN-E05 0.35 3 8

VSN-H060.6

0.5 9.5 16

VSN-E06 0.35 4.5 12

電磁閥規格■ 共用

模組

項目

真空產生器模組 VSN 真空切換模組 VSNP

真空產生用閥 真空破壞用閥 真空供應用閥 真空破壞用閥

動作方式 直動驅動

閥結構 彈性體密封、升降閥

額定電壓 DC24V

容許電壓範圍 ±10％

突波保護迴路 內置突波消除器

消耗功率 啟動時：2.2W 保持時：0.6W（內置省功率迴路）

動作顯示指示器 綠色LED

使用壓力範圍 0∼0.55MPa 0∼0.55MPa ー100∼0kPa 0∼0.55MPa

閥類型 NC型

應答時間（註1） 真空產生（OFF→ON）／真空停止（ON→OFF）均為5msec以下

接線方式連接器式（纜線長度：500mm）

紅色導線：＋DC24V；黑色導線：－0V

真空破壞功能■ 共用

項 目

破壞空氣流量 0∼20ℓ/min﹝ANR﹞（0.5MPa供應時）

註：因真空破壞空氣流量調整針閥而可變。

真空流量■ 真空切換模組

項 目

真空流量 8ℓ/min﹝ANR﹞（－80kPa供應時）

實現高速、穩定應答性的小型真空模組

真空產生器模組適用產生器系統型

VSN Series

真空切換模組適用真空幫浦系統型

VSNP Series

2

真空用壓力開關規格■ 共用

項目 負壓規格（-V1） 複合壓規格（-R1）供應電壓 DC10.8∼30V（含漣波）

消耗電流 20mA以下

壓力檢測方法 擴散型半導體壓力感測器、錶壓

使用壓力範圍 ー100∼0kPa ー100∼300kPa

耐壓性 200kPa 600kPa

保存溫度範圍 －20∼70℃（大氣壓、濕度：65％RH以下）

動作溫度範圍 －10∼60℃（避免結露）

動作濕度範圍 35∼85％RH（避免結露）

保護結構 IEC規格 符合IP40

類比輸出

輸出電壓 1∼5V

零點電壓 1±0.1V（＝大氣壓時） 1±0.1V（＝－100kPa時）

最大壓力點電壓 5±0.1V（＝－100kPa時） 5±0.1V（＝300kPa時）

線性 ±0.5％F.S. 以下（at Ta＝25℃）

溫度特性 ±2％F.S. 以下（0∼50℃、Ta＝25℃）

輸出電流 1mA以下（負載電阻：5kΩ以下）

VSN • VSNP Series規格、重量表

電氣迴路圖

● 電磁閥 ● 真空用壓力開關

重量表

■ 真空產生器模組型號 模組內容 重量（g）

VSN-□□-□□□S-3-□ 單體型、空氣供應孔口個別、大氣開放、附感測器 56

VSN-□□-□□□S-3 單體型、空氣供應孔口個別、大氣開放、無感測器 52.5

VSN-□□-□□□J-3-□ 單體型、空氣供應孔口個別、集中排氣、附感測器 58

VSN-□□-□□□J-3 單體型、空氣供應孔口個別、集中排氣、無感測器 54.5

VSN-□□-□□NS-3-□ 單體型、空氣供應孔口共用、大氣開放、附感測器 54

VSN-□□-□□NS-3 單體型、空氣供應孔口共用、大氣開放、無感測器 50.5

VSN-□□-□□NJ-3-□ 單體型、空氣供應孔口共用、集中排氣、附感測器 56

VSN-□□-□□NJ-3 單體型、空氣供應孔口共用、集中排氣、無感測器 52.5

VSN-□□-□□NS-3-2-□ 連座型、空氣供應孔口個別／共用、附感測器 171

VSN-□□-□□NS-3-2 連座型、空氣供應孔口個別／共用、無感測器 164

■ 連座型每增設1組連座，附感測器模組的重量每1連座增加：46.5g，無感測器模組重量每1連座增加：43g。例：真空產生器模組、附感測器、4連連座的重量，為171＋（2×46.5）＝264g→2連連座的重量：171g加上2組模組份的附感測器模組重量：93g。

■ 真空切換模組

型號 模組內容 重量（g）VSNP-□□□-3-□ 單體型、空氣供應孔口個別、大氣開放、附感測器 56

VSNP-□□□-3 單體型、空氣供應孔口個別、大氣開放、無感測器 52.5

VSNP-□□□-3-2-□ 連座型、空氣供應孔口個別／共用、附感測器 171

VSNP-□□□-3-2 連座型、空氣供應孔口個別／共用、無感測器 164

■ 連座型每增設1組連座，附感測器模組的重量每1連座增加：46.5g，無感測器模組重量每1連座增加：43g。例：真空切換模組、附感測器、4連連座的重量，為171＋（2×46.5）＝264g→2連連座的重量：171g加上2組模組份的附感測器模組重量：93g。

－0V（黑）

＋DC24V（紅）

控制迴路

＋DC10.8∼30V（棕）

－0V（藍）

ANALOG OUT（黑）

主迴路

3

05

VSN Series

選擇型號時的注意事項註1： ●A ●B 組合僅限「E04」、「H05」、

「E05」、「H06」、「E06」。

● 保 養零件• 更換用消音器濾心

VSN-E• 專用固定架（VSN、VSNP共用）

VSN-B

型號標示方法● 10.3mm寬度小型真空模組（適用產生器系統型）● 真空產生器模組單體型

VSN記號 內 容

真空特性 註1H 高真空、中流量型

E 高真空、低流量型

噴嘴直徑 註104 φ0.4

05 φ0.5

06 φ0.6

真空孔口（V）4 φ4快速直型接頭

4L φ4快速L管接頭

真空產生用空氣供應孔口（PV）4 φ4快速直型接頭

真空破壞用空氣供應孔口（PS）4 φ4快速直型接頭

N 真空產生用／真空破壞用空氣共用

排氣孔口（EX）註1S 附消音器大氣開放

J φ6快速接頭集中排氣

電磁閥電壓

3 DC24V

真空用壓力開關規格

無記號 無真空用壓力開關

V1 負壓用類比輸出

V2 分離型LED顯示器＋負壓用類比輸出

R1 複合壓用類比輸出

R2 分離型LED顯示器＋複合壓用類比輸出

H

真空特性AA

B

C

D

4 3 V14 4 S

E

F

G

H

噴嘴直徑B

真空孔口C

真空產生用空氣供應孔口D

真空破壞用空氣供應孔口E

排氣孔口F

電磁閥電壓G

真空用壓力開關規格

H

4

真空用壓力開關規格

I選擇型號時的注意事項

註1： ●A ●B 組合僅限「E04」、「H05」、「E05」、「H06」、「E06」、「Z00」。

註2： 如為混合規格，應填寫「混合連座規格書」。更多詳細內容請參閱第25頁。

型號標示方法● 10.3mm寬度小型真空模組（適用產生器系統型）● 真空產生器模組連座型

真空特性A

噴嘴直徑B

真空孔口C

真空產生用空氣供應孔口D

真空破壞用空氣供應孔口E

排氣孔口F

G

連座連數H

VSN Series型號標示方法

VSNM H 05 4 4 4 S 103 V1記號 內 容

真空特性 註1、註2H 高真空、中流量型

E 高真空、低流量型

Z 混合規格時（內容請填入規格書。）

噴嘴直徑 註1、註204 φ0.4

05 φ0.5

06 φ0.6

00 混合規格時（內容請填入規格書。）

真空孔口（V）註24 φ4快速直型接頭

4L φ4快速L管接頭

CX 混合規格時（內容請填入規格書。）

真空產生用空氣供應孔口（PV）真空產生用空氣供應孔口請參閱附表1。

真空破壞用空氣供應孔口（PS）真空破壞用空氣供應孔口請參閱附表2。

排氣孔口（EX）S 附消音器大氣開放

電磁閥電壓

3 DC24V

連座連數

2 2連

∼ ∼

10 10連

真空用壓力開關規格 註2無記號 無真空用壓力開關

V1 負壓用類比輸出

V2 分離型LED顯示器＋負壓用類比輸出

R1 複合壓用類比輸出

R2 分離型LED顯示器＋複合壓用類比輸出

Z 混合規格時（內容請填入規格書。）

A

B

C

D

E

F

G

H

I

● 保養零件• 更換用消音器濾心

VSNM-E

電磁閥電壓

真空產生用空氣供應孔口（PV）孔口型式 直型接頭 L管接頭

接頭尺寸（mm） φ4 φ6 φ8 φ4 φ6 φ8

記

號

限R側 4R 6R 8R 4LR 6LR 8LR兩側 4 6 8 4L 6L 8L限L側 4H 6H 8H 4LH 6LH 8LH

D

附表1

附表2

真空破壞用空氣供應孔口（PS）孔口型式 直型接頭 L管接頭

接頭尺寸（mm） φ4 φ6 φ8 φ4 φ6 φ8

記

號

限R側 4R 6R 8R 4LR 6LR 8LR兩側 4 6 8 4L 6L 8L限L側 4H 6H 8H 4LH 6LH 8LH

真空產生用／真空破壞用共用 N

E

5

● 保養零件• 更換用消音器濾心

VSNP-E• 專用固定架（VSN、VSNP共用）

VSN-B

型號標示方法● 10.3mm寬度小型真空模組（適用真空幫浦系統型）● 真空切換模組單體型

VSNP記號 內 容

真空孔口（V）4 φ4快速直型接頭

4L φ4快速L管接頭

真空產生用空氣供應孔口（PV）4 φ4快速直型接頭

真空破壞用空氣供應孔口（PS）4 φ4快速直型接頭

電磁閥電壓

3 DC24V

真空用壓力開關規格

無記號 無真空用壓力開關

V1 負壓用類比輸出

V2 分離型LED顯示器＋負壓用類比輸出

R1 複合壓用類比輸出

R2 分離型LED顯示器＋複合壓用類比輸出

真空孔口AA

B

C

D

3 V14 4 4

E

真空產生用空氣供應孔口B

真空破壞用空氣供應孔口C

電磁閥電壓D

真空用壓力開關規格E

VSNP Series

6

真空用壓力開關規格

F

型號標示方法● 10.3mm寬度小型真空模組（適用真空幫浦系統型）● 真空切換模組連座型

VSNPM

真空孔口A

3 104 4 4

真空產生用空氣供應孔口B

真空破壞用空氣供應孔口C

電磁閥電壓D

連座連數E

VSNP Series型號標示方法

V1記號 內 容

真空孔口（V）註14 φ4快速直型接頭

4L φ4快速L管接頭

CX 混合規格時（內容請填入規格書。）

真空產生用空氣供應孔口（PV）真空產生用空氣供應孔口請參閱附表1。

真空破壞用空氣供應孔口（PS）真空破壞用空氣供應孔口請參閱附表2。

電磁閥電壓

3 DC24V

連座連數

2 2連

∼ ∼

10 10連

真空用壓力開關規格 註1無記號 無真空用壓力開關

V1 負壓用類比輸出

V2 分離型LED顯示器＋負壓用類比輸出

R1 複合壓用類比輸出

R2 分離型LED顯示器＋複合壓用類比輸出

Z 混合規格時（內容請填入規格書。）

A

B

D

E

F

C

選擇型號時的注意事項註1： 如為混合規格，請務必填寫「混合連座規格

書」。更多詳細內容請參閱第27頁。

真空產生用空氣供應孔口（PV）孔口型式 直型接頭 L管接頭

接頭尺寸（mm） φ4 φ6 φ8 φ4 φ6 φ8

記

號

限R側 4R 6R 8R 4LR 6LR 8LR兩側 4 6 8 4L 6L 8L限L側 4H 6H 8H 4LH 6LH 8LH

B

附表1

附表2

真空破壞用空氣供應孔口（PS）孔口型式 直型接頭 L管接頭

接頭尺寸（mm） φ4 φ6 φ8 φ4 φ6 φ8

記

號

限R側 4R 6R 8R 4LR 6LR 8LR兩側 4 6 8 4L 6L 8L限L側 4H 6H 8H 4LH 6LH 8LH

真空產生用／真空破壞用共用 N

C

7

真空特性

供應壓力－到達真空壓力、吸入流量、消耗流量

真空破壞空氣流量特性

1.上記特性為真空產生時的供應壓力。2. 上記特性的到達真空度在即將到達峰值之前的供應壓力（H型：0.4∼0.45MPa、E型：0.29∼0.32MPa）時，可能會出現異聲（噗滋聲）。發出此異聲的狀態下，特性變得不穩定，噪音也會加大。更可能會影響感測器等元件，發生問題，因此請重新設定供應壓力。

（ex1. H型真空產生器在壓力源為0.5M P a時運轉，供應壓力下降減至0.43M P a時，會發出異聲。→真空產生器運轉供應壓力重設為0.5MPa。）

3. 以噴嘴徑剖面積3倍的有效剖面積為標準，選擇配管或元件。若無法確保充分的供氣流量，則無法充分發揮真空特性。 （噗滋聲在設定壓力時也會發生。吸入流量不足、到達真空度不足等） （ex2. H型真空產生器的真空產生器運轉時壓力已經是0.5MPa，卻發生異聲。→供應空氣流量不足。（因配管阻力等因素，供氣流量在真空

產生器之前縮減，無法獲得發揮特性的供氣流量。→選擇可確保所需有效剖面積的配管及元件。）） （ex3. 噴嘴直徑0.6mm的真空產生器，剖面積為0.32×π＝0.282mm2×3＝0.84mm2，因此選擇確保有效剖面積在0.9mm2以上的配管、元

件。）

VSN Series

100

90

80

70

60

50

40

30

20

10

25

20

15

10

5

VSN-E04到達真空壓力

吸入流量

空氣消耗流量

供應壓力 （MPa）0.2 0.3 0.4 0.5

流量

ℓ／min（ANR）

到達真空壓力

（-kPa）

100

90

80

70

60

50

40

30

20

10

25

20

15

10

5

供應壓力 （MPa）0.2 0.3 0.4 0.5

100

90

80

70

60

50

40

30

20

10

25

20

15

10

5

H型到達真空壓力

H型吸入流量

供應壓力 （MPa）0.2 0.3 0.4 0.5

VSN-H06VSN-E06

E型到達真空壓力

H型空氣消耗流量

E型空氣消耗流量

E型吸入流量

H型到達真空壓力

E型到達真空壓力

H型空氣消耗流

量

E型空氣消耗流

量

H型吸入流量

E型吸入流量

VSN-H05VSN-E05

0.5MPa

0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11針閥開度（旋轉）

30

25

20

15

10

5

VSN-E04

真空破壞空氣流量

ℓ／min（ANR）

0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11針閥開度（旋轉）

30

25

20

15

10

5

VSN-E05

0.5MPa

0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11針閥開度（旋轉）

30

25

20

15

10

5

VSN-H05

0.4MPa

0.3MPa

0.2MPa

0.1MPa

0.4MPa

0.3MPa

0.2MPa

0.1MPa

0.5MPa

0.4MPa

0.3MPa

0.2MPa

0.1MPa

到達真空壓力

（-kPa）

流量

ℓ／min（ANR）

到達真空壓力

（-kPa）

流量

ℓ／min（ANR）

真空破壞空氣流量

ℓ／min（ANR）

真空破壞空氣流量

ℓ／min（ANR）

8

真空特性

真空破壞空氣流量特性

VSNP流量特性

VSNP真空破壞空氣流量特性

VSN • VSNP Series真空特性

0 1 2 3 4 5 6 7 8 9吸入流量

30

25

20

15

10

5

VSN-H06

真空破壞空氣流量

ℓ／min（ANR）

0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11針閥開度（旋轉）

30

25

20

15

10

5

VSN-E06

真空破壞空氣流量

ℓ／min（ANR）

90

80

70

60

50

40

30

20

10

到達真空壓力

（-kPa）

30

25

20

15

10

5

真空破壞空氣流量

ℓ／min（ANR）

0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11針閥開度（旋轉）

0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11針閥開度（旋轉）

0.5MPa

0.4MPa

0.3MPa

0.2MPa

0.1MPa

0.5MPa

0.4MPa

0.3MPa

0.2MPa

0.1MPa

0.5MPa

0.4MPa

0.3MPa

0.2MPa

0.1MPa

9

VSN Series

內部結構圖

● 真空產生器模組單體型 • 空氣供應孔口個別型、大氣開放、附真空用壓力開關

● 真空產生器模組單體型 • 空氣供應孔口共用型、集中排氣、無真空用壓力開關

真空破壞空氣流量調整針閥

真空破壞用空氣供應孔口

真空破壞用閥

感測器模組

真空孔口

消音器濾心產生器部

真空產生用空氣供應孔口

真空產生用閥

連接器

真空破壞空氣流量調整針閥

真空破壞用閥

真空孔口

排氣孔口

產生器部

空氣供應孔口

真空產生用閥

連接器

10

內部結構圖

● 真空產生器模組連座型 • 附真空用壓力開關

● 真空切換模組單體型 • 附真空用壓力開關

● 真空切換模組連座型 • 無真空用壓力開關

VSN • VSNP Series內部結構圖

真空破壞空氣流量調整針閥

真空破壞用空氣供應孔口

真空破壞用閥

感測器模組

真空孔口

消音器濾心

產生器部

真空產生用空氣供應孔口

真空產生用閥

連接器

真空破壞空氣流量調整針閥

真空破壞用空氣供應孔口

真空破壞用閥

感測器模組

真空孔口

濾心

真空空氣供應孔口

真空供應用閥

連接器

真空破壞用空氣供應孔口

真空破壞空氣流量調整針閥

真空孔口真空空氣供應孔口

真空供應用閥

連接器

真空破壞用閥

11

VSN Series

外形尺寸圖（真空產生器模組單體型）

● 空氣供應孔口個別型、大氣開放、無真空用壓力開關 • VSN-□□-□□□S-3

迴路圖

註1： 關於真空（V）孔口的尺寸，請參閱第16頁表1。註2： 關於真空產生用空氣供應（PV）孔口的尺寸，請參閱第16頁表2。註3： 關於真空破壞用空氣供應（PS）孔口的尺寸，請參閱第16頁表2。

● 空氣供應孔口個別型、大氣開放、附真空用壓力開關 • VSN-□□-□□□S-3-□

註1：關於真空（V）孔口的尺寸，請參閱第16頁表1。註2：關於真空產生用空氣供應（PV）孔口的尺寸，請參閱第16頁表2。註3：關於真空破壞用空氣供應（PS）孔口的尺寸，請參閱第16頁表2。

迴路圖

真空產生用閥

真空產生用空氣供應（PV）孔口

真空破壞用空氣供應（PS）孔口

真空破壞空氣流量調整針閥

真空破壞用閥

產生器

消音器

真空（V）孔口

真空產生用空氣供應（PV）孔口（註2）

真空破壞用空氣供應（PS）孔口（註3） 10.3

真空破壞空氣流量調整針閥2-

46.9

2-7

2-50

0

（導線長度）

15.3

5.3

10.8

5.5

12 2-φ3.5（安裝孔）

排氣（EXH）孔口（大氣開放）

真空（V）孔口（註1）

12.9

（針閥行程）

3.5

69.7

51.1

32

6.44.4

真空產生用閥

真空產生用空氣供應（PV）孔口

真空破壞用空氣供應（PS）孔口

真空破壞空氣流量調整針閥

真空破壞用閥

產生器

消音器

真空（V）孔口

壓力感測器

真空產生用空氣供應（PV）孔口（註2）

真空破壞用空氣供應（PS）孔口（註3） 10.3

真空破壞空氣流量調整針閥

2-46

.92-

72-

500

（導線長度）

15.3

5.3

10.8

5.5

12 2-φ3.5（安裝孔）

排氣（EXH）孔口（大氣開放）

真空（V）孔口（註1）

12.9

（針閥行程）

3.5

76.8

51.1

32

6.44.4

75.8

類比感測器

（纜線長度）

3,00

047

.8

12

VSN Series外形尺寸圖

外形尺寸圖（真空產生器模組單體型）

● 空氣供應孔口個別型、集中排氣、無真空用壓力開關 • VSN-□□-□□□J-3

● 空氣供應孔口個別型、集中排氣、附真空用壓力開關 • VSN-□□-□□□J-3-□

註1：關於真空（V）孔口的尺寸，請參閱第16頁表1。註2：關於真空產生用空氣供應（PV）孔口的尺寸，請參閱第16頁表2。註3：關於真空破壞用空氣供應（PS）孔口的尺寸，請參閱第16頁表2。

迴路圖

迴路圖

真空產生用閥

真空產生用空氣供應（PV）孔口

真空破壞用空氣供應（PS）孔口

真空破壞空氣流量調整針閥

真空破壞用閥

產生器

排氣（EXH）孔口

真空（V）孔口

真空產生用空氣供應（PV）孔口（註2）

真空破壞用空氣供應（PS）孔口（註3）

10.3

真空破壞空氣流量調整針閥

2-46

.92-

72-

500

（導線長度）

15.3

5.3

10.8

5.5

12

2-φ3.5（安裝孔）

（軟管插入深度）

真空（V）孔口（註1）12

.9

（針閥行程）

3.5

69.7

51.1

32

6.44.4

11.6

17.3

2.5

可動範圍：360°排氣（EXH）孔口

（φ6）

φ10.5

真空產生用閥

真空產生用空氣供應（PV）孔口

真空破壞用空氣供應（PS）孔口

真空破壞空氣流量調整針閥

真空破壞用閥

產生器

排氣（EXH）孔口

真空（V）孔口

壓力感測器

真空產生用空氣供應（PV）孔口（註2）

真空破壞用空氣供應（PS）孔口（註3）

10.3

真空破壞空氣流量調整針閥

2-46

.92-

72-

500

（導線長度）

15.3

5.3

10.8

5.5

12

2-φ3.5（安裝孔）

真空（V）孔口（註1）

12.9

3.5（針閥行程）

76.8

51.1

32

6.44.4

11.6（軟管插入深度）

17.3

2.5

可動範圍：360°排氣（EXH）孔口

（φ6）

φ10.5

75.8

3,00

0（纜線長度）

類比感測器

47.8

13

外形尺寸圖（真空產生器模組單體型）

● 空氣供應孔口共用型、大氣開放、無真空用壓力開關 • VSN-□□-□□NS-3

註1：關於真空（V）孔口的尺寸，請參閱第16頁表1。註2：關於空氣供應（PV）孔口的尺寸，請參閱第16頁表2。

● 空氣供應孔口共用型、大氣開放、附真空用壓力開關 • VSN-□□-□□NS-3-□

註1：關於真空（V）孔口的尺寸，請參閱第16頁表1。註2：關於空氣供應（PV）孔口的尺寸，請參閱第16頁表2。

VSN Series

迴路圖

迴路圖

真空產生用閥

空氣供應（PV）孔口

真空破壞空氣流量調整針閥

真空破壞用閥

產生器

消音器

真空（V）孔口

空氣供應（PV）孔口（註2）

10.3

真空破壞空氣流量調整針閥

2-46

.92-

72-

500

（導線長度）

15.3

10.8

5.5

12 2-φ3.5（安裝孔）

排氣（EXH）孔口（大氣開放）

真空（V）孔口（註1）12

.9（針閥行程）

3.5

69.7

51.1

32

6.44.4

真空產生用閥

空氣供應（PV）孔口

真空破壞空氣流量調整針閥

真空破壞用閥

產生器

消音器

真空（V）孔口

壓力感測器

空氣供應（PV）孔口（註2）

10.3

真空破壞空氣流量調整針閥

2-46

.92-

72-

500

（導線長度）

15.3

10.8

5.5

12 2-φ3.5（安裝孔）

排氣（EXH）孔口（大氣開放）

真空（V）孔口（註1）

12.9

3.5（針閥行程）

76.8

51.1

32

6.44.4

3,00

0（纜線長度）

75.8

類比感測器

47.8

14

外形尺寸圖（真空產生器模組單體型）

● 空氣供應孔口共用型、集中排氣、無真空用壓力開關 • VSN-□□-□□NJ-3

● 空氣供應孔口共用型、集中排氣、附真空用壓力開關 • VSN-□□-□□NJ-3-□

註1：關於真空（V）孔口的尺寸，請參閱第16頁表1。註2：關於空氣供應（PV）孔口的尺寸，請參閱第16頁表2。

VSN Series外形尺寸圖

註1：關於真空（V）孔口的尺寸，請參閱第16頁表1。註2：關於空氣供應（PV）孔口的尺寸，請參閱第16頁表2。

迴路圖

迴路圖

真空產生用閥

空氣供應（PV）孔口

真空破壞空氣流量調整針閥

真空破壞用閥

產生器

真空（V）孔口

排氣（EXH）孔口

空氣供應（PV）孔口（註2）

10.3

真空破壞空氣流量調整針閥

2-46

.92-

72-

500

（導線長度）

15.3

17.3

5.5

12

2-φ3.5（安裝孔）

真空（V）孔口（註1）12

.93.

5（針閥行程）

69.7

51.1

32

6.44.4

2.5

（軟管插入深度）

11.6

可動範圍：360°排氣（EXH）孔口

（φ6）

φ10.5

真空產生用閥

空氣供應（PV）孔口

真空破壞空氣流量調整針閥

真空破壞用閥

產生器

真空（V）孔口

壓力感測器

排氣（EXH）孔口

空氣供應（PV）孔口（註2）

10.3

真空破壞空氣流量調整針閥

2-46

.92-

72-

500

（導線長度）

15.3

17.3

5.5

2-φ3.5（安裝孔）

真空（V）孔口（註1）

12.9

3.5（針閥行程）

76.8

51.1

32

6.44.4

2.5

11.6（軟管插入深度）

可動範圍：360°

排氣（EXH）孔口

（φ6）

φ10.5

10.8

75.8

12

類比感測器

47.8

3,00

0（纜線長度）

10.8

15

VSNP Series

外形尺寸圖（真空切換模組單體型）

● 無真空用壓力開關 • VSNP-□□□-3

註1：關於真空（V）孔口的尺寸，請參閱第16頁表1。註2：關於真空供應（PV）孔口的尺寸，請參閱第16頁表2。註3：關於真空破壞用空氣供應（PS）孔口的尺寸，請參閱第16頁表2。

● 附真空用壓力開關 • VSNP-□□□-3-□

註1：關於真空（V）孔口的尺寸，請參閱第16頁表1。註2：關於真空供應（PV）孔口的尺寸，請參閱第16頁表2。註3：關於真空破壞用空氣供應（PS）孔口的尺寸，請參閱第16頁表2。

迴路圖

迴路圖

真空供應用閥

真空供應（PV）孔口

真空破壞用空氣供應（PS）孔口

真空破壞空氣流量調整針閥

真空破壞用閥

濾心

真空（V）孔口

10.3

真空破壞空氣流量調整針閥2-

46.9

2-7

2-50

0（導線長度）

15.3

10.8

5.3

12

2-φ3.5（安裝孔）

真空（V）孔口（註1）

12.9

3.5（針閥行程）

69.7

51.1

32

6.44.4

真空供應（PV）孔口（註2）

真空破壞用空氣供應（PS）孔口（註3）

5.5

濾心

真空供應用閥

真空供應（PV）孔口

真空破壞用空氣供應（PS）孔口

真空破壞空氣流量調整針閥

真空破壞用閥

濾心壓力感測器

真空（V）孔口

10.3

真空破壞空氣流量調整針閥

2-46

.92-

72-

500

（導線長度）

15.3

10.8

5.3

12

2-φ3.5（安裝孔）

真空（V）孔口（註1）

12.9

3.5（針閥行程）

76.8

51.1

32

6.44.4

真空供應（PV）孔口（註2）

真空破壞用空氣供應（PS）孔口（註3）

5.5

濾心

75.8

47.8

類比感測器

3,00

0（纜線長度）

16

VSN • VSNP Series外形尺寸圖

外形尺寸圖

● 單體型的接頭部尺寸

● 單體專用固定架 • VSN-B

φ4快速直型接頭 φ4快速L管接頭

表1：真空孔口快速接頭形狀

4（φ4直型）

表2：供應孔口快速接頭形狀

9.8

φ4 5.8

7.8

10.9

9.8

φ4 5.8

7.8

10.9

7.8

15.1

10.9

9.8

φ8

φ4

8

安裝固定架

5

7 20

34

5

10 1.2

11.2

（21

.5）

2-φ3.5

（56

.7）

5.3

15.3

9.810.3 10.8 12 12

5.5

6.4

3-M3×0.5

17

VSN Series

外形尺寸圖（真空產生器模組連座型）

● 空氣供應孔口個別型、無真空用壓力開關 • VSNM-□□-□□□S-3-□

註1：關於真空孔口的尺寸，請參閱第20頁表1。註2：關於真空產生用空氣供應孔口的尺寸，請參閱第20頁表2。註3：關於真空破壞用空氣供應孔口的尺寸，請參閱第20頁表2。

● 空氣供應孔口個別型、附真空用壓力開關 • VSNM-□□-□□□S-3-□-□

註1：關於真空孔口的尺寸，請參閱第20頁表1。註2：關於真空產生用空氣供應孔口的尺寸，請參閱第20頁表2。註3：關於真空破壞用空氣供應孔口的尺寸，請參閱第20頁表2。

2-真空產生用空氣供應（PV）孔口（註2）

2-真空破壞用空氣供應（PS）孔口（註3）

24＋10.3×n

4-φ3.4（安裝孔）排氣孔口（大氣開放）

真空（V）孔口（註1）

3.5（針閥行程）

真空破壞空氣流量調整針閥

真空產生用閥

8＋10.3×n

P=10.3

10

真空破壞用閥

2-10

2-40

32

2-500（導線長度）

2-7 2-41.5

2-20

2-10

2-8

2-20

2-36 2-

54

2-6

69.7

7.5

2-真空產生用空氣供應（PV）孔口（註2）

2-真空破壞用空氣供應（PS）孔口（註3）

24＋10.3×n

4-φ3.4（安裝孔）排氣孔口（大氣開放）

真空（V）孔口（註1）

3.5（針閥行程）

真空破壞空氣流量調整針閥

真空產生用閥

8＋10.3×n

P=10.3

10

真空破壞用閥

2-10

2-40

32

2-500（導線長度）

2-7 2-41.5

2-20

2-10

2-8

2-20

2-36

2-54

2-6

75.8

7.5

3,000（感測器纜線長度）

類比感測器

42.4

76.8

18

VSN Series外形尺寸圖

外形尺寸圖（真空產生器模組連座型）

● 空氣供應孔口共用型、無真空用壓力開關 • VSNM-□□-□□NS-3-□

註1：關於真空孔口的尺寸，請參閱第20頁表1。註2：關於空氣供應孔口的尺寸，請參閱第20頁表2。

● 空氣供應孔口共用型、附真空用壓力開關 • VSNM-□□-□□NS-3-□-□

註1：關於真空孔口的尺寸，請參閱第20頁表1。註2：關於空氣供應孔口的尺寸，請參閱第20頁表2。

2-空氣供應孔口（註2）

24＋10.3×n

4-φ3.4（安裝孔）

排氣孔口（大氣開放）

真空（V）孔口（註1）3.5（針閥行程）

真空破壞空氣流量調整針閥

真空產生用閥

8＋10.3×n

P=10.3

10

真空破壞用閥

2-10

2-40

32

2-500（導線長度）

2-7 2-41.5

2-20

2-10

2-8 2-

36

2-54

2-6

69.7

7.5

2-空氣供應孔口（註2）

24＋10.3×n

4-φ3.4（安裝孔）

真空（V）孔口（註1）

3.5（針閥行程）

真空破壞空氣流量調整針閥

真空產生用閥

8＋10.3×n

P=10.3

10

真空破壞用閥

2-10

2-40

32

2-500（導線長度）

2-7 2-41.5

2-20

2-10

2-8

2-36

2-54

2-6

75.8

7.5

類比感測器

排氣孔口（大氣開放）

76.8

42.43,000（感測器纜線長度）

19

VSNP Series

外形尺寸圖（真空切換模組連座型）

● 無真空用壓力開關 • VSNPM-□□□-3-□

註1：關於真空孔口的尺寸，請參閱第20頁表1。註2：關於真空供應孔口的尺寸，請參閱第20頁表2。註3：關於真空破壞用空氣供應孔口的尺寸，請參閱第20頁表2。

● 附真空用壓力開關 • VSNPM-□□□-3-□-□

註1：關於真空孔口的尺寸，請參閱第20頁表1。註2：關於真空供應孔口的尺寸，請參閱第20頁表2。註3：關於真空破壞用空氣供應孔口的尺寸，請參閱第20頁表2。

2-真空供應孔口（註2）

2-真空破壞用空氣供應孔口（註3）

24＋10.3×n

4-φ3.4（安裝孔）

真空（V）孔口（註1）

真空破壞空氣流量調整針閥

真空供應用閥

8＋10.3×n

P=10.3

10

真空破壞用閥

2-10

2-40

32

2-500（導線長度）

2-7 2-41.5

2-20

2-10

2-8

2-20

2-36 2-

54

2-6

69.7

7.5

2-真空供應孔口（註2）

2-真空破壞用空氣供應（PS）孔口（註3）

24＋10.3×n

4-φ3.4（安裝孔）

真空（V）孔口（註1）

3.5（針閥行程）

真空破壞空氣流量調整針閥

真空供應用閥

8＋10.3×n

P=10.3

10

真空破壞用閥

2-10

2-40

32

2-500（導線長度）

2-7 2-41.5

2-20

2-10

2-8

2-20

2-36

2-54

2-6

75.8

7.5

3,000（感測器纜線長度）

類比感測器

42.4

76.8

20

VSN • VSNP Series外形尺寸圖

外形尺寸圖

連座型接頭部尺寸

φ4快速直型接頭 φ4快速L管接頭

表1：真空孔口快速接頭形狀

φ8快速直型接頭 φ6快速直型接頭 φ4快速直型接頭 盲栓型

φ8快速L管接頭 φ6快速L管接頭 φ4快速L管接頭

表2：供應孔口快速接頭形狀

9.8

φ4 5.8

7.8

10.9

7.815.1

10.9

9.8

φ8

φ4

8

φ8

18.2

13.1φ

616.9

11.5

φ4

14.9

91.5

φ14.5

φ8

22.7

18.1

17φ12.5

φ6

19.7

16.7

14φ10

φ4

18 14.9

13.3

21

關於使用方法

使用樹脂本體的安裝孔（2處），以M3螺絲鎖緊固定。此時的建議固定扭力為0.3∼0.5N·m。以超出建議範圍的固定扭力鎖緊時，可能導致產品脫落或破損。（關於安裝孔的間距，請參閱外形尺寸圖。）

VSN • VSNP Series

1. 固定方法

■ 調整真空破壞空氣流量時，將真空破壞空氣流量調整針閥向右（順時鐘方向）轉，流量變小；向左（逆時鐘方向）轉則流量變大。

※ 真空破壞空氣流量必須使用適合的一字螺絲起子進行調整。

※ 本產品內含彈簧，有針閥止轉功能，並非鎖定螺帽。六角部分不得以扳手等工具旋轉。將導致產品破損。

2. 真空破壞空氣流量的調整方法

■ 更換真空產生器模組單體型的消音器濾心（型號：VSN-E）時，先使用一字螺絲起子取出止動銷，然後進行更換。消音器濾心更換完畢後，請確實插回止動銷。

※ 請注意止動銷的方向。逆向插入的止動銷可能會在使用中因振動等因素而脫落。

3. 消音器濾心的更換方法

■ 更換真空切換模組單體型的濾心（型號：VSNP-E）時，先將真空供應用閥的固定螺絲以適合的十字螺絲起子卸除後，進行更換。濾心更換後，檢查真空供應用閥的墊圈並未脫落後，以0.15∼0.2N·m的固定扭力鎖緊固定螺絲，確實進行安裝。

4. 濾心的更換方法

連座型 單體型直接固定 使用固定架固定單體型時

真空破壞空氣流量調整針閥

向左轉：真空破壞空氣流量增加向右轉：真空破壞空氣流量減少

消音器濾心 止動銷

固定螺絲的固定扭力：0.15∼0.2N·m

真空供應用閥濾心

22

關於使用方法

■ 更換真空產生器模組連座型的消音器濾心（型號：VSNM-E）時，先將真空破壞用閥的固定螺絲以適合的十字螺絲起子卸除後，進行更換。消音器濾心更換後，將止動銷確實插回，並檢查真空供應用閥的墊圈並未脫落後，以0.15∼0.2N·m的固定扭力鎖緊固定螺絲，確實進行安裝。

VSN • VSNP Series關於使用方法

5. 消音器濾心的更換方法

■ 卸下真空破壞用閥，拔出真空孔口固定用止動銷，將感測器模組或真空孔口閥塊卸除後，以老虎鉗拔出分氣器。為防止噴嘴彈出，以海綿等緩衝材塞住本體，並供應真空產生用空氣（註1），將真空產生用閥通電。噴嘴將因空氣力量彈出，此時移除緩衝材，將噴嘴取出。

噴嘴、分氣器內徑及密封處的附著物等，以吹氣、擦拭等方式去除（註2）。 將噴嘴裝入分氣器後插回本體，此時應小心噴嘴脫落。將分氣器壓入，注意不要傷到分氣器前端，然後裝回感測器模組或真空孔口。確實插回真空孔口固定用止動銷後，以0.15∼0.2N·m的固定扭力鎖緊真空破壞用電磁閥的固定螺絲。消音器濾心的安裝，請參閱「消音器濾心的更換方法」。

（註1） ＜警告＞對產品供氣時，不得將噴嘴取出口朝向人體。可能因噴嘴彈出導致人員受傷。（註2） ＜警告＞在真空破壞用閥卸除情況下供氣，破壞空氣將從閥體方孔中噴出。如需在真空破壞用閥卸除情況

下供氣，請將真空破壞空氣流量調整針閥完全關閉。（註3） 真空孔口閥塊裝回本體前，務必先確認O形環有無異物、毛髮等附著物。（註4） 請勿造成噴嘴、分氣器的內徑、密封部、密封零件（O形環）以及本體內徑的損傷。將會導致性能減低。

6. 產生器型噴嘴、分氣器的裝卸與洗淨

消音器濾心

真空破壞用閥

固定螺絲的固定扭力：0.15∼0.2N·m

真空破壞用閥

感測器模組真空孔口閥塊

止動銷

噴嘴

分氣器O形環

23

VSN • VSNP Series

關於使用方法

〈真空孔口〉■ 單體型 真空孔口的匣式接頭，先以φ1mm插銷等治具將插入感測器模組主體或真空孔口閥塊側面部位的彈簧銷（2支）拔出後，進行更換。

※ 匣式接頭裝回本體前，務必先確認O形環有無異物、毛髮等附著物。此外，O形環及本體內徑部分切勿損傷。將會導致真空迴路洩漏，減低性能。

7. 匣式接頭更換方法

■ 連座型 以適合的十字螺絲起子卸除真空破壞用閥。以一字螺絲起子等工具拔出真空孔口閥塊或感測器模組主體固定用止動銷後，由本體卸下。真空孔口的匣式接頭，先以φ1mm插銷等治具將插入感測器模組主體或真空孔口閥塊側面部位的彈簧銷（2支）拔出後，進行更換。更換完畢，檢查真空供應用閥的墊圈並未脫落後，以0.15∼0.2N·m的固定扭力鎖緊固定螺絲，確實進行安裝。

※ 匣式接頭裝回本體前，務必先確認O形環有無異物、毛髮等附著物。此外，O形環及本體內徑部分切勿損傷。將會導致真空迴路洩漏，減低性能。

〈供應孔口〉■ 單體型 以適合的十字螺絲起子卸除真空產生用閥或真空供應用閥。先以一字螺絲起子等工具將真空產生用空氣供應孔口、真空破壞用空氣供應孔口或空氣供應孔口的止動銷，更換匣式接頭後，檢查真空供應用閥的墊圈並未脫落，並以0.15∼0.2N·m的固定扭力鎖緊固定螺絲，確實進行安裝。

※ 匣式接頭裝回本體前，務必先確認O形環有無異物、毛髮等附著物。此外，O形環及本體內徑部分切勿損傷。將導致空氣洩漏。

匣式接頭

匣式接頭

感測器模組主體

彈簧銷

真空孔口閥塊

固定螺絲的固定扭力：0.15∼0.2N·m

真空破壞用閥

止動銷

匣式接頭

感測器模組主體

真空孔口閥塊

彈簧銷

固定螺絲的固定扭力：0.15∼0.2N·m

真空產生用閥或真空供應用閥

真空產生用空氣供應孔口、空氣供應孔口或真空供應孔口用匣式接頭

真空破壞用空氣供應孔口用匣式接頭

盲栓

止動銷

24

關於使用方法

VSN • VSNP Series關於使用方法

■ 連座型 請以一字螺絲起子等工具拔出止動銷，更換匣式接頭。※ 匣式接頭裝回本體前，務必先確認O形環有無異物、毛髮等附著物。此外，O形環及本體內徑部分切勿損傷。將導致空氣洩漏。

※ 請注意止動銷的方向。逆向插入的止動銷可能會在使用中因振動等因素而脫落。

真空產生用空氣供應孔口、空氣供應孔口或真空供應孔口用匣式接頭

真空破壞用空氣供應孔口用匣式接頭

盲栓

真空產生用空氣供應孔口、空氣供應孔口或真空供應孔口用匣式接頭

真空破壞用空氣供應孔口用匣式接頭

盲栓

止動銷

25

VSNM混合連座規格書的製作方法

● 混合連座型號（記載範例）

- - -A B C D E F G H I

● 混合連座規格書

真空產生器模組型號配置位置

數量1 2 3 4 5 6 7 8 9 10

VSNM- H 05 4 R1 ○ ○ 2

VSNM- E 05 4 R2 ○ ○ 2

VSNM- E 05 4L R2 ○ 1

VSNM-

VSNM-

- -

- -

- -

- -

- -

A B C I

〈僅真空孔口尺寸為混合接頭規格時〉

● 混合連座型號（記載範例）

〈填寫注意事項〉• 配管位置請面對真空孔口，從左邊開始依序設置。

• 表右端的必要數量欄位中，請填入指定產品型號的總計數量。

VSNM- Z 00 CX 4R N S 3 5 Z-

VSN Series

● 混合連座規格書

真空產生器模組型號配置位置

數量1 2 3 4 5 6 7 8 9 10

VSNM- H 05 4 V1 ○ ○ 2

VSNM- H 05 4L V1 ○ ○ ○ 3

VSNM-

VSNM-

VSNM-

- -

- -

- -

- -

- -

A B C I

- - -A B C D E F G H I

VSNM- H 05 CX 4R N S 3 5 V1-

真空產生用空氣供應（PV）孔口

真空破壞用空氣供應（PS）孔口

真空（V）孔口

St.1St.2

St.3St.4

L側

R側

26

VSN Series

電磁閥電壓

3 DC24V

連座連數

2 2連

∼ ∼

10 10連

真空感測器規格

無記號 無真空感測器

V1 負壓用類比輸出

V2 分離型LED顯示器＋負壓用類比輸出

R1 複合壓用類比輸出

R2 分離型LED顯示器＋複合壓用類比輸出

Z 混合規格時（內容請填入規格書）

真空特性　註1、2

H 高真空、中流量型

E 高真空、低流量型

Z 混合規格時（內容請填入規格書）

噴嘴直徑　註1、2

04 φ0.4

05 φ0.5

06 φ0.6

00 混合規格時（內容請填入規格書）

真空孔口（V）

4 φ4快速直型接頭

4L φ6快速L管接頭

CX 混合接頭時（內容請填入規格書）

真空產生用空氣供應孔口（PV）

模組組合請參閱P***的附表1。

真空破壞用空氣供應孔口（PS）

模組組合請參閱P***的附表2。

排氣孔口（EX）

S 附消音器大氣開放

VSNM混合連座規格書

承辦人 數量 套 交期 月 日

發 行 年 月 日

公司名稱

承辦人

訂購編號傳票編號 接單編號

● 混合連座型號

VSNM- - -A B C D E G H

A

B

C

D

E

G

H

● 混合連座規格書

真空產生器模組型號配置位置

數量1 2 3 4 5 6 7 8 9 10

VSNM-

VSNM-

VSNM-

VSNM-

VSNM-

-

-

-

-

-

A B C

-F

-I

F

選擇型號時的注意事項註1： ●A ●B 組合僅限「E04」、「H05」、

「E05」、「H06」、「E06」、「Z00」。

-

-

-

-

-

I

I

27

VSNPM混合連座規格書的製作方法

● 混合連座型號（記載範例）

- -A B C D E F

● 混合連座規格書

真空切換模組型號配置位置

數量1 2 3 4 5 6 7 8 9 10

VSNPM- 4 V2 ○ ○ ○ 3

VSNPM- 4L V2 ○ 1

VSNPM- 4L V1 ○ 1

VSNPM-

VSNPM-

-

-

-

-

-

A F

〈僅真空孔口尺寸為混合接頭規格時〉

● 混合連座型號（記載範例）

〈填寫注意事項〉• 配管位置請面對真空孔口，從左邊開始依序設置。

• 表右端的必要數量欄位中，請填入指定產品型號的總計數量。

VSNPM- CX 4R 4 3 5 Z-

VSNP Series

- -A B C D F G

● 混合連座規格書

真空切換模組型號配置位置

數量1 2 3 4 5 6 7 8 9 10

VSNPM- 4 V2 ○ ○ ○ ○ 4

VSNPM- 4L V2 ○ 1

VSNPM-

VSNPM-

VSNPM-

-

-

-

-

-

A F

VSNPM- CX 4 4 3 5 V2-

真空供應（PV）孔口

真空破壞用空氣供應（PS）孔口

真空（V）孔口

St.1St.2

St.3St.4

L側

R側

28

VSNP Series

連座連數

2 2連

∼ ∼

10 10連

真空感測器規格

無記號 無真空感測器

V1 負壓用類比輸出

V2 分離型LED顯示器＋負壓用類比輸出

R1 複合壓用類比輸出

R2 分離型LED顯示器＋複合壓用類比輸出

Z 混合規格時（內容請填入規格書）

真空孔口（V）

4 φ4快速直型接頭

4L φ4快速L管接頭

CX 混合接頭時（內容請填入規格書）

真空產生用空氣供應孔口（PV）

模組組合請參閱P***的附表1。

真空破壞用空氣供應孔口（PS）

模組組合請參閱P***的附表2。

電磁閥電壓

3 DC24V

VSNPM混合連座規格書

承辦人 數量 套 交期 月 日

發 行 年 月 日

公司名稱

承辦人

訂購編號傳票編號 接單編號

● 混合連座型號

VSNPM- - -A B D E

A

B

C

E

F

● 混合連座規格書

真空切換模組型號配置位置

數量1 2 3 4 5 6 7 8 9 10

VSNPM-

VSNPM-

VSNPM-

VSNPM-

VSNPM-

A

C

-F

-

-

-

-

-

F

D

TAIWAN CKD CORPORATION

CKD USA CORPORATION

CKD UK OFFICE

CKD EUROPE B.V.CKD EUROPE BRANCH

CKD FRANKFURTOFFICE

CKD CZECH OFFICE

CKD KOREA CORPORATION

CKD SINGAPORE PTE. LTD.CKD CORPORATION BRANCH OFFICE

CKD VIETNAM ENGINEERING CO.,LTD

PT CKD TRADING INDONESIA

M-CKD PRECISION SDN.BHD.

CKD THAI CORPORATION LTD.

CKD INDIA PRIVATE LTD.CKD INDIA PRIVATE LTD. BANGALORE BRANCH

CKD（SHANGHAI） CORPORATION

CKD MEXICO, S. DE R.L. DE C.V.

Website: http://www.ckdtaiwan.com.tw/ Website: http://www.ckd.co.jp/CKD Corporation Overseas Sales Administration Department. 2-250 Ouji, Komaki City, Aichi 485-8551, Japan

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MexicoCKD MEXICO, S. DE R.L. DE C.V. Cerrada la Noria No. 200 Int. A-01, Querétaro Park II, Parque Industrial

Querétaro, Santa Rosa Jáuregui, Querétaro, C.P. 76220, México PHONE +52-442-161-0624

Europe

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Beechavenue 125A, 1119 RB Schiphol-Rijk, The NetherlandsPHONE +31-23-554-1490

CKD EUROPE B.V.Beechavenue 125A, 1119 RB Schiphol-Rijk, The NetherlandsPHONE +31-23-554-1490

・CZECH OFFICE・UK OFFICE

・GERMANY OFFICE

MalaysiaM-CKD PRECISION SDN.BHD.●HEAD OFFICE

●SALES HEADQUARTERS

Lot No.6,Jalan Modal 23/2, Seksyen 23, Kawasan MIEL, Fasa 8, 40300 Shah Alam,Selangor Darul Ehsan, Malaysia PHONE +60-（0）3-5541-1468 FAX +60-（0）3-5541-1533・JOHOR BAHRU BRANCH OFFICE・PENANG BRANCH OFFICE

ThailandCKD THAI CORPORATION LTD.●SALES HEADQUARTERS

●SALES HEADQUARTERS

Suwan Tower, 14/1 Soi Saladaeng 1, North Sathorn Road, Kwaeng Silom, Khet Bangrak, Bangkok 10500, Thailand

PHONE +66-（0）2-267-6300 FAX +66-（0）2-267-6305・RAYONG OFFICE・NAVANAKORN OFFICE・EASTERN SEABOARD OFFICE・LAMPHUN OFFICE・KORAT OFFICE・AMATANAKORN OFFICE・PRACHINBURI OFFICE・SARABURI OFFICE

SingaporeCKD SINGAPORE PTE. LTD. No.33 Tannery Lane #04-01 Hoesteel Industrial

Building, Singapore 347789, Singapore PHONE +65-67442623 FAX +65-67442486CKD CORPORATION BRANCH OFFICE No.33 Tannery Lane #04-01 Hoesteel Industrial

Building, Singapore 347789, Singapore PHONE +65-67447260 FAX +65-68421022

IndiaCKD INDIA PRIVATE LTD. Unit No. 607, 6th Floor, Welldone Tech Park, Sector 48,

Sohna Road, Gurgaon-122018, Haryana, India PHONE +91- （0）124-418-8212CKD INDIA PRIVATE LTD. BANGALORE BRANCH Divyasree Chambers, 2nd Floor, A Wing,

Vatika Business Centre, 11O'Shaughnessy Road, Langford Town, Bangalore-560025, IndiaPHONE +91-(0)80-4291-1144

IndonesiaP T CKD TRADING INDONESIA

Menara Bidakara 2, 18th Floor, Jl. Jend. Gatot Subroto Kav.71-73, Pancoran, Jakarta 12870, IndonesiaPHONE +62-（0）21-2938-6601 FAX +62-（0）21-2906-9470

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