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ＨＧＰ創英角ゴシックＵＢ

ＨＧＰ創英角ゴシックＵＢＨＧＰ創英角ゴシックＵＢ

半導体製造装置 EDA インタフェース (Interface A)

e-fabDoctor™ Passport

e-fabDoctor™ Passport は、SEMI が提唱する業界標準仕様の EDA (Equipment

Data Acquisition) I/F (Interface A) に準拠するソフトウェア・パッケージです。

弊社の EES 製品はもちろん、他社製 EES アプリケーションにも接続可能です。

貴社の半導体装置に本製品をアドオンするだけで、EDA I/F 対応の装置へのアップ

グレードが可能です。

概要

業界標準規格 SEMI EDA (Interface A) に準拠

PLC、センサ、SECS など豊富なデータソースをサポート

高速収集 (最短 5 ミリ秒周期)、大量報告 (40,000VPS)を実現

特徴

SECS-I / HSMS

e-fabDoctor™ Passport

EDA I/F (Interface A)

E120 (CEM), E125 (EqSD), E132 (EqCA), E134 (DCM)

e-fabDoctor™

FDC

e-fabDoctor™

EEManager

e-fabDoctor™ Passport は、装置有効稼働率を改善するためのプラットフォームを

提供します。

■稼働率改善 ■故障予知、異常検出

■機差低減・短期立上 ■装置基本性能の維持・向上

効果

SECS I/F

HSMS, SECS-I

PLC I/F

FA-M3, e-RT3, MELSEC共有メモリ I/F

F-EESHOST

半導体装置制御ソフトウェア

PLCオンライン

通信EQBrain™

All Right Reserved. Copyright @ 2018, Yokogawa Electric Corporation

半導体装置パッケージ担当 〒180-8750 東京都武蔵野市中町2-9-32 0422-52-8150

業界標準規格 (SEMI EDA 1105 , 0710) に準拠

• ECCE (EDA Client Communication Emulator) 接続確認済み

E120 (CEM: Common Equipment Model)

E125 (EqSD: Equipment Self Description)

E132 (EqCA: Equipment Client Authentication and Authorization)

E134 Data Collection Management (DCM)

E138 Common Components Standard

ISMI 発行各種 EDA ガイドライン準拠

高速収集、大量報告

• 最小 5 ミリ秒周期、最大 40,000VPS

でのデータ報告

• 拡張トリガ、高速データ報告なども

独自サポート

豊富なデータソース

• SECS-I / HSMS

• PLC

弊社製 FA-M3, e-RT3

三菱電機製 MELSECNET/10, /H,

CC-Link IE

その他、各社 PLC にも対応可能 (オプション)

• センサ (汎用データ収集 I/F )

オプション対応

機能

PLC データ通信

センサデータ通信

SECS データ通信

EE データ(Ethernet)

EDAクライアント・e-fabDoctor™ EEManager / FDC・他社製 EES アプリケーション

MES(ホスト)

e-fabDoctor™

Passport PC

センサ PLCMMI

e-fabDoctor™ Passport

■ハードウェアCPU : Intel Core i3 2GHz 以上メモリ : 4GB 以上HDD : 100GB 以上

■OSWindows 7

Windows 10

動作環境

YOKOGAWAは”Process Co-Innovation”を通じて、お客様と共に明日をひらく新しい価値を創造します。