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VOL.21/NO.3/Autumn 2014
23
빔라인 소식
Photoemission 분과
4A2 Angle Resolved PES 빔라인
2014년 여름 휴지기 동안 4A2 빔라
인에서는 1> 빔라인 실험 Manipulator
장치 수리 (thermocouple wire 및 세라
믹 교체, 오염된 부분 세척 및 교체),
2> Manipulator 장치 절연 체크 및 작
동 테스트, 3> Chemical Chamber
Turbo Pump 교체를 통한 진공도 향
상, 4> 실험 측정 및 데이터 처리 소
프트웨어 개발/구축 등을 진행하였
다. 그리고 Liquid Nitrogen Storage
Dewar (100 L)를 구입하여 저온실험
을 보다 원활하게 진행될 수 있게 하
였다.
한편 4A2 ARPES 빔라인은 2014
년도 하반기 이용자 지원을 끝으로
IBS에서 운영하는 spin ARPES 빔라
인으로 용도변경이 되며, 2015년도
부터는 4A1 μ-ARPES 빔라인에서
통합운영하여 이용자 지원을 할 예
정이다. 동시에 spin ARPES 빔라인
은 2016년도부터 운영을 시작하기위
하여 예비 작업을 수행하고 있다.
이영미 선임연구원
10A Nanoscopy 빔라인
2013년 하반기에 Scanning
Transmission X-ray Microscopy
(STXM) 장비를 10A 빔라인에 설치
완료하였다. 두 개의 미러 (M1, M2)
를 적절하게 조정하면서 X-선을
Exit Slit 까지 집속 가능하며 이를
통과한 X-선은 STXM 장비로 들어
가게 된다. 이에 따라 장비 설치와
함께 X-선 빔을 STXM 실험 장비까
지 성공적으로 보내었으며, 2014년
상반기에는 빔라인 자체적으로 언듈
레이터 (EPU72)의 갭과 극성을 조
정하는 시험과 동시에 Premirror 와
Grating을 조정하여 X-선 빔의 에너
지를 제어하는 시험을 하였다. 특히,
2014년 5월에 Bruker와 미국의 ALS
의 전문가가 5일 간 방문해서 최종
적으로 STXM 장비를 점검하였으며
원활한 실험수행을 위해서 최적화하
는 작업을 완료하였다. 결과적으로
Zone Plate로 집속함으로써 얻어진
공간분해능은 20-30 nm 정도이다.
이로써 상반기 기간 동안 생체 세포,
폴리머 박막, 유기박막 소자, 자성박
막, 나노입자, 나노소자 등의 다양
한 시료들에 대한 실험을 수행하였
다. 비록 빔라인 운행 초기이지만 수
십 nm의 공간 분해능을 갖고 안정
적으로 시료들의 X-선 투과 이미지
를 얻고 있다. 다만 탄소 흡수 영역
인 284-300 eV에 해당하는 에너지
를 제외한 200-1800 eV 영역의 에
너지를 이용한 흡수스펙트럼은 현재
잘 얻어지고 있다.
한편, 최적화 이후로 소프트웨어
의 기능을 충분히 활용하게 됨으로
써 일반 이용자들도 쉽게 실험에 익
숙해질 수 있게 되었다. STXM 컨트
롤 소프트웨어를 통해서 시료 장착
이후 모든 모터들의 움직임을 제어
하여 빔 정렬 및 시료를 빔 집속위
치에 손쉽게 가져갈 수 있는 상황이
다. 물론 앞으로 In situ 실험과 같
은 경우는 수정 보완이 필요하겠지
만, 현재 장착된 그대로의 시료 상태
에 대한 투과 이미지와 흡수 스펙트
럼을 얻는 것은 안정적으로 할 수 있
는 상황이다. 고정된 한 에너지에서
2x2 um2 크기의 이미지를 400x400
points 로 얻는데 보통 수 분 안에서
얻을 수 있다. 이 경우 한 픽셀의 크
기는 5 nm 에 해당하며, 1 ms 정도
의 시간동안 데이터를 받아들인다.
한편 수 eV 의 에너지 구간을 작은
에너지 간격으로 연속해서 이미지
를 얻을 수 있는데 이러한 경우 보통
40-50 분 정도의 시간으로 이미지
스택을 얻을 수 있다. 이러한 이미지
스택으로부터 각 위치에 해당하는
에너지 흡수스펙트럼을 얻을 수 있
분야별 빔라인 소식
24 │방사광과학과기술│
빔라인 소식
다는 강력한 기능이 가능한 상황이
다. 이러한 기능을 통해서 수십 나노
미터 영역에서의 화학적 상태를 예측
할 수 있다. 앞으로 이러한 기능을 활
용하여 다양한 분야의 시료들에 대한
실험이 가능하리라 기대한다.
위에 그림들은 초기에 얻은 데이터
들로써, 첫 번째 그림은 20 nm 두께를
가지는 패턴에 대해 25 nm outermost
zone width를 가지는 zone plate로 얻
은 이미지로써 각 패턴들이 잘 분리
되어 나타남을 보여주고 있다.
두 번 째 그림은 300 nm의 직경을
갖는 실리카들에 대해서, 각기 다른
분광정보를 제공해주는 4개의 광자
에너지에서 얻은 이미지들(각 이미
지를 얻은 광자 에너지가 초록색 점
들으로 나타나 있음)과 실리카 외부
및 내부에서 얻은 O K-edge 스펙트
럼들(내부에서 얻은 하늘색과 외부
에서 얻은 빨간색)을 보여주고 있다.
김남동 선임연구원
XRD&Topogrpahy 분과
3D X-ray Scattering 빔라인
3D XRS 빔라인은 X-선 일반 산란
실험을 위한 PLS 최초의 빔라인으로
서 노후화로 수리 및 성능향상이 절
실히 요구되고 있다. 특히, 2014년에
는 2차원 검출기의 설치와 적용, 그
리고 회절기 수리 및 시료 정밀제어
스테이지의 설치를 in-situ 실험의
수월성 확보를 통해 빔라인을 차별화
하기 위한 계획을 진행 중이다. 간략
한 성능향상 계획을 소개하자면, 약
20keV 의 에너지까지 에너지 영역을
확대하고 빔 세기를 높이기 위한 미
러 검토를 완료하고 구매가 진행되
고 있다. 미러와 함께 목표 에너지 영
역에 부적합한 노후화된 현재의 분광
기를 연구소가 보유하고 있는 분광
기로 수정/교체하여 높은 에너지 영
역이 안정적으로 운용되도록 한다.
2014년 여름 휴지기에 2차원 검출기
를 설치/적용하여 3차 빔타임부터는
그림3.(좌)3D빔라인용2차원검출기,(우)3D빔라인회절기
그림1.20nmspacing을가지는패턴에
대한이미지
그림2.300nmsilicaimagesatdifferent
photonenergies&OK-edgespectrafrom
edge¢erofsilicananoparticle
VOL.21/NO.3/Autumn 2014
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빔라인 소식
2차원 검출기(MAR345 Image Plate)
를 이용한 실험이 가능하도록 한다.
2015년 1차 빔타임부터는 시료 위
치 정밀제어 스테이지(XYZ stage)
를 적용하여 다양한 형태의 시료를
정렬하여 2차원 검출기로 측정할
수 있을 것이다. 2014년 여름 휴지
기에 설치된 2차원 검출기(MAR345
Image Plate)의 간단한 사양은 다
음과 같다: 스캔 영역의 직경은
345mm, 픽셀 사이즈는 100x100μm,
픽셀의 수는 3450x3450, dynamic
range는 1:128,000, 스캔/삭제 사이
클 소요시간은 34~108초이다. 예상
되는 in-situ 실험분야로는 2차전지
충방전 실험, 고압실험, 기타 다양한
물리화학적 인자들에 따른 시료의 구
조변화를 실시간으로 관찰하는 실험
들에 적용될 것으로 판단된다. 3D 빔
라인은 포항가속기연구소의 최초의
빔라인이라는 상징적 의미에 머물지
않고 진행되고 있는 성능향상 과정을
통해 in-situ 실험들에 최적화되어
관련 과학분야에 크게 기여할 수 있
을 것으로 기대된다.
전태열 선임연구원
SAXS 분과
9A U-SAXS Beamline Update 상황
9A U-SAXS 빔라인은 2014년 5월
26일부터 6월 4일까지 소각 X선 산란
분야의 전문가인 미국 APS(Advanced
Photon Source)의 이병두 박사를 모
시고 9A U-SAXS 빔라인에서 개선을
진행하고 있는 부문에 대한 자문을
실시하였으며 이를 통해 절대 산란강
도 측정 및 GI-WAXD 실험에서의 입
사각 보정 방법 등 다양한 성능향상
을 실시하였다.
먼저 Glassy Carbon 표준시료를
이용하여 절대 산란강도의 측정 및
보정이 가능하게 되었다. APS에서
보정된 Glassy Carbon 표준시료를
이용하여 9A U-SAXS에서 절대 산
란강도를 측정하였다. 1mm 두께의
Glassy Carbon을 이용하여 4.5m의
SDD (sample- to-detector distance)
실험 조건에서 측정한 결과 아래 그
림과 같이 절대 산란강도 보정 곡선
을 얻을 수 있었으며 추후 이용자 지
원 시 Glassy Carbon을 이용한 절대
산란강도 정보를 제공할 예정이다.
두 번째로 직사각형 형태 (400 μm (H)
* 50 μm (V))의 pin-hole을 부착하여
Theta angle scan시 발생하는 오차를
감소시켰다. 기존 GI-WAXD에서는 샘
플의 정렬을 위하여 Beam stopper에 부
착되어 있는 Photo diode를 이용한
Theta angle scan을 통한 입사각의
보정을 하였다. 하지만 실제 입사각
과 Theta angle scan에 의하여 보정
된 입사각 사이에 약 0.02o의 오차가
발생하는 문제점이 있었으며 이러한
오차 발생의 원인은 800 μm hole을
가지는 pin-hole 내부로 Directed
Beam과 Reflected Beam이 동시에
관측이 되기 때문이다. 오차 발생 원
인을 줄이기 위해서 기존에는 작은
크기의 pin-hole을 (100μm 이하) 부
착하거나 Photo diode의 위치를 수직
방향으로 이동하여 Reflected Beam그림4.GlassyCarbonAbsoluteintensity
측정결과
그림5.Photodiode전면Pinholesize에
따른Thetascan결과
26 │방사광과학과기술│
빔라인 소식
을 피하는 방법을 사용하였다.
하지만 작은 형태의 pin-hole을
사용할 경우 Direct beam이 이동할
경우 Beam의 위치를 찾기 어려운 단
점이 있었으며 Photo diode의 위치
를 임의로 수직방향으로 이동할 경
우 반복적인 실험을 할 때 초기 위치
로 완벽하게 돌아오지 않는다는 단
점이 있었다. 이런 단점을 극복하기
위해서 직사각형 형태 (400 μm (H)
* 50 μm (V))의 pinhole을 부착하
여 Theta angle scan시에 발생하는
Reflected Beam을 제거하고 동시에
Horizontal 방향으로 큰 사이즈의
pin-hole을 사용함으로써 쉽게 Direct
beam의 위치를 찾을 수 있게 되었으
며 동시에 Theta angle scan을 통한 입
사각 보정을 할 경우 아래의 그림과 같
이 실제 입사각과 보정에 의한 수치 오
차가 0.005o이내로 발생하게 되어 더
욱 정교한 GI-WAXD 실험이 가능하게
되었다.
마지막으로 CCD 전면부에 설치되
어 있는 CCD Cover를 샘플의 정렬
을 위해 수동으로 제어 했던 과정을
EPICS 및 SPEC 프로그램과 연동을
통해 자동화 시켜 샘플 정렬 및 시료
측정 중에 별도의 제어가 필요 없이
자동으로 개폐가 가능하게 수정되었
다. 기존의 수동 제어 방법의 경우
시료의 정렬 과정마다 CCD Cover를
열고 닫는 과정이 필요하였으며 동
시에 실험자의 실수로 인하여 CCD
Cover를 닫지 않을 경우 x-ray의 장
시간 노출에 의한 CCD 손상 위험이
있었지만 이번 CCD Cover 자동화를
통해 실험자의 편의성을 확보 할 수
있었고 동시에 CCD 손상 위험을 줄
일 수 있게 되었다.
안형주 선임연구원
MX 분과
5C 구조생물학2 빔라인 소식
2014년 2분기에 있었던 5C 빔라
인의 업데이트 소식이다. 여러가지
크고 작은 일들이 진행되었지만 가
장 먼저 소개하고 싶은 일은 MxDC
프로그램의 업데이트 부분이다. 첫
번째는 Raster 기능을 프로그램에
추가하였다. Raster 기능은 일반적
으로 마이크로 MX 빔라인에서 결정
의 회절능이 가장 좋은 부위를 스캔
하거나 혹은 loop에서 결정의 위치
를 현미경으로 찾을 수 없을 때 사
용하는 기능이다. 현재 5C 빔라인
의 빔의 크기가 100 um 를 기본으로
사용하고 있기 때문에 Raster는 크
게 효과를 발휘할 수는 없으나, 결
정의 크기가 매우 크거나 혹은 막대
기 모양을 가진 결정의 경우에는 회
절능이 좋은 부분을 비교적 편리하
게 찾을 수 있다. 각각의 회절 이미
지는 자동으로 분석되어서 회절능에
그림6.MxDC프로그램의Raster텝.50um크기의빔으로2D스캔할loop부분이원으로표
시되어있다.각각의회절이미지에대한랭킹은우측공란에나타난다.
VOL.21/NO.3/Autumn 2014
27
빔라인 소식
따른 랭킹이 매겨지게 된다. 두번째
는 auto-processing tab의 활성화이
다. 이 텝에서는 수집된 회절 데이터
를 XDS 프로그램을 사용해서 자동
으로 processing 해주는 기능이다.
이를 위해서 다양한 프로그램이 순
차적으로 데이터를 프로세싱하게 된
다. 라이소자임 결정과 같이 회절능
이 좋은 데이터는 매우 정확하게 sp
ace group을 잡아주고 integration에
서 scaling까지 완벽하게 처리해주
는 것을 확인하였다. 본 기능은 제약
회사 등에서 주로 사용하는 다양한
ligand screening 에서는 매우 편리
하게 적용할 수 있을 것으로 생각된
다. 다만 일반 사용자들의 적당한 회
절능을 가지는 결정 데이터에 대한
auto-processing의 적용 여부에 대
해서는 좀더 많은 경험이 필요하다.
김연길 선임연구원
BMI 분과
4B XMD 빔라인 (Imaging 그룹)
2014년에 4B 엑스선 미세회절(X-
Ray Microdiffraction) 빔라인에서
는, 가반 중량의 부족으로 그 동안
가끔 제어성을 읽어버려 문제를 일
으키던 Z축 스테이지를 가반 중량이
25kg인 M-ILS100LM으로 교체 설치
하였으며, 미세실험의 원리상 분광
기의 출력이 원천적으로 낮은 문제
점을 해결하는 방안의 일환으로, 기
존 사용하던 피코 전류계측기(6485)
를 대체하여 펩토 수준의 전류까지
측정 가능한 SourceMeter(2635B)를
그림7.MxDC프로그램의Processing텝.Datacollection에서수집된데이터는XDS를통해
서자동으로분석할수있다.
그림8.시편이송기의재구성
(a)기존미세실험을위한A마운트가시편이송기에장착된모습
(b)B마운트에조립된인장시험기
28 │방사광과학과기술│
빔라인 소식
도입/운용하고 있다. 이 SourceMeter를
이용함으로써 12keV 이상의 에너지 범
위에서 이온 챔버 전류치의 부호가 역
전되던 현상을 제거할 수 있게 되었다.
금년 4월부터 시작된 이용자지원
초기에 빔 궤도 변화로 인하여 빔 강
도가 현저히 약화되었었는데, 허치
내부의 Be 창구 하부에 빔 중심이 가
려지는 것으로 최종적으로 파악되었
으며, Be 창구를 재정렬함으로써 빔
강도를 정상화 시킬 수 있었다.
한편, 기존의 미세회절 실험 및
미세형광 실험에 추가적으로 인장
중 미세실험을 수행할 수 있도록 시
편이송기의 재구성이 이루어졌다.
[그림 8(a)]에는 일반적인 미세회절
및 미세형광 실험을 수행하거나 빔
을 집속할 때 사용되는, 기존의 시
편홀더를 장착할 수 있는 마운트(A
마운트)가 시편이송기에 장착된 모
습이 나타나 있다. [그림 8(b)]에는
도입된 인장시험기를 시편이송기
상부에 장착하기 위해서 설계/제작
된 다른 마운트(B 마운트)에 인장시
험기가 조립된 모습이 나타나 있다.
두 마운트는 시편이송기에 장착되는
부분은 동일한 설계를 가지고 있으
며, 영구자석과 전자석을 겸비한 세
개의“Hybrid Holder”를 구비하고
있어 시편이송기 상에 실험 종류에
따라 간편하게 서로 교체 설치될 수
있도록 설계되었다.
길계환 책임연구원
6C 생명의학영상 빔라인
6C 생명의학영상 빔라인은 단색광
의 방사선 X-선을 이용하여 고해상
도 영상 연구와 방사선치료연구를 수
행하는 시설이다. 2014년 2분기 운
전 기간 중 이용자 지원과 함께 단색
화 장치 (monochromator)의 성능 개
선, X-선 토포그라피 (topography)
와 X-선 굴절차 영상 기법, 다결정체
의 결정 배열 분석 기법 개발 등을 수
행하였다.
20-33 keV 사이의 단색광을 생산
하는 double crystal monochromator
(DCM) 2호기가 빔 정렬이 어렵고 빔
의 밝기가 기대에 미치지 못하는 문
제가 있었는데, 첫 번째 결정으로부
터의 산란을 차폐하는 목적으로 설
치한 덮개를 제거하였더니 밝은 빔을
얻을 수 있게 되었다. 덮개가 빔을 일
부 가리고 있었던 것으로 추정된다.
이 빔의 밝기와 크기 등에 대한 측정
은 가을에 수행할 예정이다. 그리고,
33-50 keV 사이의 단색광을 생산하
는 DCM 1호기도 동일한 문제가 있을
것으로 예상되어 여름 정비기간 중에
진공 챔버를 열고서 덮개를 제거할
계획이다.
밝은 단색광을 제공함으로써 고해
상도 X-선 영상을 빠르게 얻기 위한
double multilayer monochromator
(DMM)은 energy scan을 하기 위한
프로그램을 개발 중에 있다.
X-선 토포그라피는 결정의 다양
한 결함들을 비파괴적으로 관찰하는
영상 기법이며, 특히 산업체에서 수
요가 크다. Lang topography 기법을
사용하여 dislocation, scratch 등을
삼차원 영상화하는데 성공하였다.
그림9.6C생명의학영상빔라인에서개발중인X-선굴절차영상기법으로촬영한관절부
위영상.(좌)일반영상기법,(우)X-선굴절차영상기법
VOL.21/NO.3/Autumn 2014
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빔라인 소식
영상의 질은 백색광 X-선 토포그라
피와 비슷한 수준이었다. 로보트 팔
에 X-선 현미경을 설치하여 결정에
서 반사되는 빔을 검출하였는데, 사
용한 로보트 팔이 공간 상의 임의의
위치와 방향으로 X-선 현미경을
위치시키는데 제약이 많아서 정렬
이 매우 어려웠다. 그래서, 전용의
goniometer를 제작 중에 있다. 가
을에 설치될 예정이다.
X-선 굴절차 영상은 감도를 극대
화하여 미세한 밀도 차이도 영상화
할 수 있는 기법으로, 특히 생명의
학 분야의 연구자들이 연조직 (soft
tissue)에 대한 영상 연구를 위해 필
요성을 제기해 왔다. 이를 구현하
는 여러 가지 방법이 있으나, 본 빔
라인에서는 X-선 토포그라피의 연
장선에 있는 결정 기반의 회절 영상
기법을 구현하였다. 이를 위해 일
본 Tokyo University of Science의
Ando Masami 교수가 큰 도움을 주
었다. 비대칭으로 절삭한 실리콘 결
정을 사용하여 빔의 크기를 수직방
향으로 키워서 현재 수평 3 cm, 수
직 4 cm의 field of view를 제공한다.
그리고 analyzer로는 Laue 결정을
사용하였다. [그림 9]에 나타낸 바와
같이 관절의 연골도 선명하게 볼 수
있었다.
현재 X-선 굴절차 영상 CT를 구
현하기 위해 장치를 개발하고 있다.
가을 운전기간에 CT를 테스트할 예
정이며, 이를 바탕으로 겨울에는 최
적화 및 장치의 안정성을 높혀서 내
년부터 일반 이용자들에게 본 실험
을 제공할 계획이다.
임재홍 선임연구원
30 │방사광과학과기술│
빔라인 소식
3세대 가속기 운전
2014년 2분기 가속기 운전은 9 차
에서 14차 이용자 기간까지 6차례 이
용자 기간이 있었고 이 기간 동안 기
본적으로 Top-up mode 빔 제공을 하
였다. 다만 14차 이용자 기간 중에 선
형가속기 2번 klystron에 문제가 발
생하여 정상적인 빔 입사가 불가능
하여 3일간 Decay mode로 빔을 제
공하였다. 이기간 중에는 단계적으
로 저장 전류를 증가시켜 상반기 마
지막 14차 운전 기간에는 350 mA 빔
을 제공할 예정이었다. 이에 9차 이
용자 기간 250 mA 빔 제공을 시작으
로 10차, 11차는 280 mA, 12차, 13 차
는 320 mA 빔을 제공하였다. 하지만
14차 기간 350 mA 빔 제공 준비 중에
저장링의 진공도가 높아져서 320 mA
빔 제공을 하게되었다. 진공도의 변
화는 빔 수명에도 영향을 주어서 320
mA에서 평균 10 시간에서 평균 7.9
시간으로 감소하였다. 빔 수명의 감
소는 입사 시간을 지연시키는 요인이
된다. 진공도가 높아진 원인을 분석
한 결과, 하게 정비 기간중에 이상 용
인을 제거할 예정이다. Top-up mode
빔 제공 중 입사 간격은 190 초이다.
입사 전하량은 10 Hz로 평균 18.1 pC
이다. 이기간 동안 입사 효율은 평균
70.0 %를 유지했다. 이용자 기간별
저장전류와 입사 전하량, 빔 수명 등
이 표 1에 나타나 있다.
이 기간 동안 사용자에게 빔을 제
공한 전체 시간은 193 시간으로 예
가속기 운전 소식
그림1.이용자기간중빔제공실패횟수(왼쪽)와시간(오른쪽)
표1.이용자기간별최고저장전류및입사전하량,빔수명,빔저장모드
표2.이용자기간별빔제공시간과가용률
VOL.21/NO.3/Autumn 2014
31
빔라인 소식
정은 209 시간이어서 평균 가용율
은 92.9 % 이었다. 9차 이용자기간
에는 전력 공급 계통에 문제가 발생
하여 가용율이 81.0 %였으며 14차 운
전 기간은 선형가속기 klystron 문제
로 입사가 불가하여 가용율이 79.0 %
로 낮아졌다. 이런 가용률 저하를 미
연에 방지하기 위하여 전력 공급 계
통을 다시 점검하는 한편 선형가속
기 보강 사업도 추진 중에 있다. 평균
fault recovery에 걸린 시간(MTTR)은
3.3 시간이며, fault 사이의 평균 시간
(MTBT)은 84.9 시간이다. 이용자 기
간별 운전 시간과 가용율 등이 표 2에
나와있다. [그림 1]에는 이용자 기간
중의 저장링 운전 실패 원인이 발생
한 횟수와 소요된 시간 별로 분석되
어 있다.
김문경 선임연구원
32 │방사광과학과기술│
빔라인 소식
4세대 방사광가속기 사업은 2011
년에 시작, 2015년에 준공을 목표로
건설 중에 있으며, ’14년 8월 현재 4
세대 방사광가속기 기반시설은 터널
공사, 철골설치, 지붕, 벽체 및 기술
지원동 등 전체공정의 약 70%까지
진행되고 있다[그림 1].
기반시설의 완공에 즈음하여 4세
대 방사광가속기 장치 설치를 위한
TFT를 구성하였으며, 장치에 대한
설치 순서 및 공정에 대한 시나리오
를 수립 중이며, 설치완료 후 2016년
시운전에 대한 계획도 수립 중에 있
다. 이에 따라 가속장치는 9월중 터
널을 인도받아 모듈레이터시스템,
가속관 등 주요장치에 대한 설치에
들어갈 예정이다.
빔라인 장치는 빔라인 사양이
결정되어 광학장치 등이 발주 진
행 중에 있다. 특히 CXI 빔라인 실
험장치로 단백질 결정을 냉각하
지 않고 실온에서 단백질 구조 정
보를 얻을 수 있도록 결정 시료를
연속적으로 제공하는 액체빔 샘플
인젝터 시스템을 개발 중에 있다
[그림 2].
4세대 가속기 소식
그림1.4세대방사광가속기건설현장(2014년7월24일)
그림2.공기역학렌즈에의해직경약3마
이크론크기로focusing된액체빔이안정적
으로제공되는상태