120

三次元座標測定機

三次元座標測定機

三次元座標測定機シリーズ一覧　〉〉〉

●CNCタイプで、カーボディ測定に最適●コンパクトで金型測定などにも適します

ホリゾンタルアーム型三次元座標測定機

●高精度機／大型機のラインナップが充実

●生産現場の環境に優れた適応能力

●VASTプローブヘッドタイプは高精度・高速スキャニング測定に対応

PRISMOシリーズ

UPMC-CARAT●動的剛性に優れたZEISS特許の「門－センタ駆動方式」

●基準スケールにZEISSZerodurを採用し温度変化の影響を排除

SMC/SMMCarmet

CNC三次元座標測定機　

CenterMax●生産ライン計測対応の本格的三次元座標測定機

●リアルタイムの現場測定・生産ラインへのフィードバック

●優れた耐環境性

●VASTプローブをはじめとする優れたZEISS技術・特許を搭載

●非接触高速測定センサ（SMCに搭載）

Eagle Eye

121

三次元座標測定機

三次元座標測定機 XYZAXシリーズ

MMZ-G●大型で高精度部品に最適

●フロアーそのものを測定テーブルとして、測定が可能

世界初「AI機能」採用による計測システム

CONTURA● 経済的で高性能

● Zeissの最新スキャニング技術を結集し、高密度データ収集(200点/秒)が可能

● 高速スキャニングプローブヘッドVAST XTを搭載

ザイザックスRVA-A●ドイツCarl Zeiss社の制御技術と東京精密のハードが結合したCNC機

●東京精密の特許であるAI機能による簡単操作

●耐環境性を向上させる温度補正機能を標準装備

ZEISS テクノロジーと結合した新シリーズAI機 能

ザイザックスSVA-A●空間精度補正技術により、測定精度が大幅に向上（E=2.4+4L／1000μm：SVA800A）

●東京精密のアドバンテージ、AI機能を標準装備（国内、海外特許取得）

●温度補正機能を標準装備し、耐環境性向上

●多彩なソフトウェアプログラム

ザイザックスRVF-A●ドイツCarl Zeiss社のコントローラと、東京精密のハードが融合したマシン

●タッチパネル機能付きカラーLCDモニタを標準装備。AI機能（特許）により初心者でも簡単に操作が可能

●Z軸にターミネートスイッチを標準装備。Z軸から手を離さずに測定を続けることが可能（特許）

AI機能を搭載した簡単操作のマニュアル機

世界最高の精度。測定技術を極限まで追求した高精度CNC三次元座標測定機。

UPMC 850 CARAT

UPMC 1200 CARAT

●世界最高精度E=0.4+L/1000μm（UPMC 850

Ultra ACC ）

●新技術CARAT 素材により高いガイド精度を維持

●動的剛性に優れた門‐ センタ駆動方式（ZEISS 特許）

●応用範囲が広いハイスピード スキャニング プローブ

ヘッドHSS

●万全の環境温度対策

●測定室における基準ゲージ類の測定と校正オプション、

試作品や検査工具等の検査、測定など、きわめて高い

精度を要求される測定に理想的

“妥協のない精密技術”－UPMC は、極めて高い精度を要求される測定に応えるために誕生しました。高精度はもちろんのこと、高速性、剛性、操作性、経済性、そのすべてをバランスよく、高い次元でクリア。さらに、最新の宇宙工学における材料研究の成果を導入し、安定性と信頼性を約束。三次元測定の完成域へ到達した、世界最高精度のマザーマシンです。

122

三次元座標測定機

三次元座標測定機

〉〉〉

UPMC 550 CARAT（写真は埋込式ロータリーテーブル

RT 05-400搭載モデル）

u［μm］

L［mm］

CARAT

℃ ℃

精度

許容温度範囲 従来機種

高精度を必要とする測定では、環境温度や床振動など、解決しなければならないさまざまな問題があります。UPMC は、こうした環境条件に対応しながら、安定した高精度測定にお応えします。特に、新技術CARAT の使用により高い安定性を維持します。ツァイスの最先端技術とノウハウを結集して、トップレベルの測定を追求しています。

世界最高を誇る測定精度､E=0.4+L/1000μm （UPMC 850 Ultra ACC ）新技術CARAT の導入で安定した精度を保証します。

UPMC は、測定室における基準ゲージ類の測定と校正、

製品検査など、最高度の精度要求に応え、基準測定機

としての役割を果たす高精度三次元座標測定機です。

世界最高精度E=0.4+L/1000μm（UPMC 850 Ultra ACC ）

多くの鋳造品の場合、長期間の安定性に欠けることが少

なくありません。UPMC では、特殊合金と宇宙工学に

よる完成された表面処理方法を採用して作られた新しい

材料技術CARAT（カラート,Coated Aging Resistant

Alloy Technology ）を使用す

ることで、この問題を解決。は

んれい岩の80 倍もの熱伝導率

をもっているため、ガイド要素

における温度勾配（外部と内部

の差）がなく、さらに温度変化

によるゆがみを生じさせません。

CARAT は、長期間にわたりき

わめて高い安定性を維持します。

新技術CARAT の採用で、高いガイド精度を維持

基準スケールには、熱膨張係数±0.05 ･10－6 ･K－1 のゼロデュアを各軸に

採用。つまり、温度変化の影響を実際上受けない、最良の熱特性が保証

されています。

万全の環境温度対策

UPMC の精度に関する一貫したコンセプトは、誤差の除去と補正です。

外気温の影響は効率よく除去され、残りの熱放射などによる影響はコン

ピュータで補正されます。ガイド、スケール、直交度などの系統誤差は、

コンピュータによる精度補正CAA（Computer Aided Accuracy ）で

解決。その際、補正はプローブ球の中心点に対して行なわれます。これ

によってUPMC では、理想的な温度条件下でなくても、きわめて高い

測定精度を達成させることが可能です。

マシンによる温度補正

はんれい岩を使用しているテーブルで、たとえば熱放射を遮断できてい

ても温度勾配が生じているような場合に、数値的に補正することが可能。

テーブルの上と下の面に設置した複数個の温度センサで温度を検出し、

CAA による補正方法を拡張して温度変化によるゆがみを補正します。

テーブルの温度勾配を補正

測定に影響を与える建物や、周囲の機械的な妨害振動を効率よく減衰さ

せることができます。

外部からの振動を効率的に除去する自動レベリング式エアダンパ

周囲の温度変化による影響を最小限に抑えるCARAT ガイド要素

理想的でない温度条件下でもより高い測定精度の実現

123

三次元座標測定機

1

0.8

0.6

0.4

0.2

0

-0.2

-0.4

-0.6

-0.8

-1

E=0.4+L/1000μm

mm

100 200 300 400 500 600 700

124

三次元座標測定機

三次元座標測定機

軽快なフットワークを示す高速性。フレキシブルなプロービングで測定効率をアップします。高速で、しかも高効率を達成するには卓越したプロービング技術が欠かせません。たとえばセットアップ時間が短いこと、部品交換に手間がかからないこと。さらに高い将来性がなければ、価値のある計測機とは言えません。UPMCでは精度を重視するとともに、多彩なスキャニング方法を用意。新しい時代を先取りするための特性を備えています。

フレキシブルに対応するハイスピードスキャニングプローブヘッドHSSハイスピード スキャニング プローブヘッド

HSS は、平行板ばね、差動トランスによる変

位量測定システム、独立したクランプ機構から

成り立ち、精度、再現性および機能面において

卓越した特性を保持。UPMC では、さまざま

な測定値の取り込み方法によって、三次元測定

における測定項目に対して実際上制限のない応

用性を備えています。

静的測定による高い測定精度最高の精度が要求される場合には、測定値の静的取り込み方法が最適。

この場合、測定値は動的な影響を受けることなく、測定機の移動軸がプ

ローブ系のゼロ点に静止して初めて取り込まれます。マルチプロセッシ

ング・プロービングとその平均値化が再現性を良くし、また間接的に分

解能を高めます。

作業性に優れた静止式測定機テーブル門移動（テーブル静止式）の構造により、ロータリーテーブル（オプシ

ョン）の組み込みが容易で、機械の設置面が小さいにもかかわらずワー

ク固定面が大きく、装置をコンパクトにしています。特に、重いワーク

でも直接測定テーブルの支点で受けることができ、ワーク重量によるガ

イドの真直度への影響がありません。また、ワークの固定も簡単に行な

えます。

安定性をもたらすテーブル材質測定機テーブルには、はんれい岩が使用されています。大きな寸法にも

1 枚の岩で対応できること、硬度が高いこと、完全な耐蝕性があること、

測定機ガイドとして要求される平面の製造技術が完成されていることな

どが、その特色です。

成熟したテクノロジーの結集。高い剛性が計測のクォリティを高めます。どんなに高精度、高速を誇っても、そのクォリティが維持されなければ生産性につながりません。そのために、UPMCはさまざまな技術的配慮を施しました。エアベアリングをはじめ、門移動（テーブル静止式）方式、はんれい岩の使用など、剛性、耐蝕性に優れた構造を採用。充実した機能がバランスよく配置されており、計測への信頼が生まれます。

高速測定を実現するスキャニング測定点間隔の密度が高く、しかも迅速なスキャニング測定（形状測定）

に有効なプロービング技術を採用。プローブヘッドは任意の面の輪郭に

沿って接触した状態で移動し、その走行中に測定値が連続的に取り込ま

れていきます。

測定時間を短縮する多点測定ならい制御と同じように、プローブはワークと接触したまま点から点へ

移動します。その短い静止時間のあいだに測定値が取り込まれ、測定効

率をアップさせます。

再現性の高いプローブ交換方式UPMC では、ハイスピード スキャニング プローブヘッド HSS にプロ

ーブ交換機構が組み込まれているため、セットアップに手間がかかりま

せん。また、交換時の再現性がきわめて高いので、その都度再校正をす

る必要もなく、急を要する“割り込み測定”にも即座に対応。オプショ

ンで、プローブ自動交換システムもご用意しています。

ねじ、穴、みぞの測定に有効な求心プロービングプロービングの際の位置決め制御は、同時

に複数の軸に対して行なうこともできるた

め、たとえば、みぞ、歯みぞ、小穴などの

求心プロービングによる測定も可能。該当

する軸は電気的にクランプ解除され、正し

い位置へのプロービングをループ制御で行

ないます。

動的剛性に優れた門-センタ駆動式構造超高精密を求めたツァイス特許の駆動方式は、門の駆動が重心点の近く

で行なわれるため、一段と高い推力を備えています。また、質量慣性モ

ーメントによるねじれがないため、門移動時のピッチング（縦揺れ）お

よびヨーイング（横揺れ）が最小限に抑えられます。そしてこの駆動方

式によって、測定精度を損なうことなく、手動またはCNC 時における

高速測定が可能です。

〉〉〉

125

三次元座標測定機

■オプションロータリーテーブルRT05-400 埋込み式

UPMCをさらに有効な4 軸制御のCNC測定機として、応用範囲を拡張します。

●回転対称ワークを効率よく測定●プロービングがより簡単に●測定時間が短縮●プローブ構成をより単純化●有効測定範囲が拡大●目視条件が良くなる●真直度およびそれに類した測定において、誤差要因が減少

分解能：0.5 秒角度誤差PW ：2 秒位置決め精度：0.5 秒軸方向の振れfa ：0.3μm

ラジアル方向の振れfr ：0.5μm軸の倒れf α：0.5 秒許容荷重：3000N許容モーメント：50Nm

仕 様

UPMC 550 CARAT

Standard SuperACC

UPMC 1200 CARAT

Standard SuperACC

UPMC 850 CARAT

Standard SuperACC Ultra ACC型式

測定範囲

測定精度 *1

温度条件

測長スケール

分解能（μm）

テーブル

被測定物

案内方式

駆動速度

（mm/s）

駆動加速度（mm/s2）

プロービング方式

測定力

プローブヘッド可動範囲（mm）

1秒毎のスキャニング点数（点）

プローブ

取付

空気源

電源

本体寸法

本体質量（kg）

X軸（mm）

Y軸（mm）

Z軸（mm）

標準プローブ

115mmの場合

長さ200mm

プローブの場合

環境温度

温度変化

温度差

材質

使用可能幅（mm）

使用可能奥行（mm）

床からの高さ（mm）

ワーク固定ねじ（M12）数

最大高さ（mm）

最大質量（kg）

ジョイスティックモード

CNCモード

スキャニングモード

最大質量（g）

最大長さ（mm）

供給空気圧（MPa）

使用空気圧（MPa）

空気消費量（Nr/min）

供給電圧（V）、周波数（Hz）

消費電力（VA）

幅（mm）

奥行き（mm）

高さ（mm）

E（μm）

R（μm）

E（μm）

R（μm）

550

500

450

700

1170

850

16

490

600

最大65

最大110

最大130

60（大気圧換算）

最大2000VA

1260

1620

2725

2100

1150

1500

1000

1500

2650

600

48

1050

2000

最大65

最大260

最大430

90（大気圧換算）

最大3300VA

2330

4330

4050

7100

850

1150

600

0.7＋L/600

0.6

0.7＋L/600

0.6

20℃±1K

0.5

0.5

0.5

光学式 ： Zeiss PHOCOSIN、ゼロデュアスケール

0.08

はんれい岩

1000

1970

850

40

640

1500

エアベアリング

最大65

最大110

最大20

最大130

ポイント・ツー・ポイント方式　及び　スキャニング方式

0.2N（0.1～1.0N：1mNステップで可変可能）

±2.5

100

600（自動ウェイトバランス付き、交換皿込み）

600

0.6～1.0

0.5

60（大気圧換算）

単相100V±10％、50または60Hz

最大2000VA

1590

2935

3025

4000

＊1 ：E 、R は、ISO 10360-2 による。L は任意の測定長さ。　※機械設置にあたり、周囲環境（温度勾配等）の考慮が必要です。

1.2＋L/400

1.2

1.2＋L/400

1.2

20℃±3K

1.0

1.5

1.5

0.2

最大40

1.2＋L/400

1.2

1.2＋L/400

1.2

20℃±3K

1.0

1.5

1.5

0.2

最大40

0.4＋L/1000

0.5

0.7＋L/600

0.6

20℃±0.5K

0.5

0.5

0.5

0.08

最大20

1.9＋L/300

2.1

1.9＋L/300

2.1

20℃±3K

1.0

1.5

1.5

0.2

最大40

1.5＋L/300

1.5

1.5＋L/300

1.5

20℃±1K

1.0

1.0

1.0

0.08

最大20

0.8＋L/600

0.8

0.8＋L/600

0.8

20℃±1K

0.5

0.5

0.5

0.08

最大20

1時間当り（K/h）

1日当り（K/d）

高さ方向

組み合わせプローブ（全長600mm）

φ0.3mmプローブ

大型ワークの測定

■スキャニング測定例

生産ライン計測に対応出来る三次元座標測定機。生産現場環境下で、測定室無しで高精度測定を実現！

高精度CNC三次元座標測定機リアルタイムの測定、生産ラインへのフィードバックが可能です。少量多品種生産に対応したフレキシブル計測が可能です。

126

三次元座標測定機

三次元座標測定機

〉〉〉

●一般の三次元座標測定機は使用温度が

20℃±数℃なので、生産ラインで使用す

るには専用の検査室が必要です。

●但し、検査室にワークを入れると温度変化

によるワーク変形が生じるため、温度なら

しが必要となり、リアルタイム測定が出来

なくなります。

● CenterMaxは専用の検査室無しで、常温

で機械精度を保証出来ます（15℃～

35℃）。

また、温度補正をしないので、測定の不確

かさも極小に抑えられます。

● CenterMaxは耐環境性を飛躍的に向上さ

せた三次元座標測定機です。

（詳細解説参照）

●ワークの温度補正は付属の温度センサ

（プローブチェンジャーによる自動交換式）

にて対応可能です。

●スタイラスは温度変化に対して伸縮しない

特殊スタイラス（サーモフィット）を開発

しました。

●機械のデザインはワークの搬入・搬出を考

慮した設計であり、またグラナイトテーブ

ル･ロータリーテーブル･パレットテーブル

を用途により選択可能です。

CenterMaxは上記の優れた特徴により、生

産ライン環境での計測対応が可能となりまし

た。

CenterMax：生産ライン計測の要求への対応

ワーク搬出･入図

生産現場設置例

127

三次元座標測定機

128

三次元座標測定機

三次元座標測定機

〉〉〉

②

①

⑦

③

④

⑤

⑥

⑧

⑨

■ CenterMaxの構造

■ TVA（Thermal Variable Accuracy）

■ オプション

①耐熱構造インバー支柱(低熱膨張係数材質)採用に

よる安定した耐熱特性。

②優れた防塵構造エアベアリング部とスケール部に対し、

外部のダスト、オイルミストをシャット

アウト(ZEISS特許)。

●熱による伸縮のない特殊カーボンの開発により、スタイラス部の測定の不確かさを極小化。●軽量かつ高剛性であり、複雑形状のワークもフレキシブルに測定可能。●ZEISS特許●生産現場の精密測定に不可欠です。

異なる設置環境における各々の周囲温度に対して、機械の保証精度を明確化しました。

③アクティブアンチバイブレーションシステム床振動の影響を最小化。

④TRF（Temperature Resistance Frame）

⑤オイルドレーンワークテーブルの下方に液体(オイル､

水)を効率的に排出。

⑥上方ガイドウェイ構造Xガイドを上方に設置することにより､

移動重量を最小化し､高速測定に対し

より高精度化を実現。また、ワークロ

ーディング、クランピングエリア作業

効率UP。

⑦耐環境性ボディ材質：ミネラルキャスト特殊材質(ZEISS特許)による理想的な

耐熱･耐振特性の実現。

⑧VASTプローブヘッドZEISSスキャニングプローブヘッド

VAST(ZEISS特許)の採用による高耐

振特性、安定した測定精度。

⑨熱伸縮しないスタイラスエクステンション：サーモフィット（ZEISS特許）オプション

各周囲温度における精度

1.精密測定室

2.空調設備の整った生産ライン

3.従来の生産現場

22℃

28℃

35℃

E=1.7＋L/286μm

E=2.0＋L/244μm

E=2.35＋L/195μm

E=1.6+（0.05× 　ζ ）+L/（300－（7× 　ζ ）） 　 ζ ：20℃に対する環境温度偏差

サーモフィット

プローブ組み合わせ例

129

三次元座標測定機

仕 様

C e n t e r M a x型式

測定範囲（mm）

精度

テーブル

被測定物

プローブマガジン

スロット数

プローブ取付条件

案内方式

駆動速度

駆動加速度

空気源

電源

本体寸法

本体質量（kg）

設置場所の天井の高さ（mm）

搬入高さ（mm）

X軸（mm）

Y軸（mm）

Z軸（mm）

指示精度

プロービング精度

測長スケール

材質

使用可能幅（mm）

使用可能奥行き（mm）

床からのテーブル面高さ（mm）

最大高さ（mm）

最大質量（kg）

標準

最大（オプション）

最大質量（g）

最大長さ（mm）

ジョイスティックモード（mm/s）

CNCモード各軸方向（mm/s）

ベクトル方向（mm/s）

スキャニングモード（mm/s）

各軸方向（mm/s2）

ベクトル方向（mm/s2）

幅（mm）

奥行き（mm）

高さ（mm）

900（1100）

1200

700

1.6+(0.05× 　ζ ) +L/(300-(7× 　ζ )） 　ζ ：20℃に対する環境温度偏差

1.7＋L/286（22℃）

2.0＋L/244（28℃）

2.35＋L/195（35℃）

1.7

15－35

2.0

8.0

2.0

ゼロデュアスケール（分解能0.2μm）

8

24

450（交換皿含む）

600

エアベアリング

70

300

520

100

1400

2400

供給圧力：0.6～1.0MPa、 使用圧力：0.5MPa、 消費量：120NR/min

供給電圧：単相AC100V(±10%)、 周波数：50/60Hz(±5%)／消費電力：最大2000VA

2090

2130

3000

6000

3200

2900

*1 : E,RはISO 10360-2による精度評価方法。 　　オプションでロータリーテーブルを取り付け可能です。

E（μm）*1

R（μm）*1

環境温度（℃）

温度変化（℃/hour）

（℃/day）

（℃/m－高さ）

ユニバーサルプレート

900

1200

660

870

1000

グラナイト（はんれい岩）

900

1200

770

760

750

130

三次元座標測定機

三次元座標測定機

〉〉〉

PRISMO Vario ------様々なプローブ

（ポイント、スキャニング、非接触）を

搭載可能な汎用タイプ。

PRISMO HTG VAST ------高範囲の環

境温度でも高精度を維持したタイプ（仕

様欄参照）

PRISMO Super ACC VAST ------さら

に高精度を追究した上位タイプ

幅広い環境条件下で安定した高精度を実現する、高速CNC三次元座標測定機。

PRISMO 10 HTG VAST

温度変化や振動、汚れなど、どんな環境条件下でも高速かつ安定した精度を保つ

こと。あらゆる測定に対し、柔軟に対応できること。そして、操作に専門的な知

識を必要としないこと。PRISMO は、これら生産現場におけるユーザニーズを

取り入れ、生産ラインに対応します。カール・ツァイスの三次元座標測定機に関

する20 年以上の経験を随所に生かし、精度、高速性、安定性、操作性など、多

方面にわたる優れた精度技術と機能をフル装備。計測のクオリティとコストパフ

ォーマンスの高い測定機です。

●生産現場の測定に十分な高精度

E=1.7+L/330μm

（PRISMO 5/7 HTG VAST ）

更に高精度仕様E=1.2+L/350μm

（PRISMO 5 S-ACC VAST）

●VAST プローブヘッドによるポイント測

定とスキャニング測定

●毎秒200 ポイントの高速スキャニング測

定（VAST ）

●広範囲の環境温度でも高精度を維持（HTG ）

●わかりやすいグラフィック・ユーザ・イン

ターフェイス

●ユーザニーズに応えるラインナップ

■ 特　長

■高速スキャニング測定VASTプローブヘッドのスキャニング測定では、毎秒200 ポイントの

高速測定を実現しています。

■一回の作業でボア形状の測定を完了最も頻繁に行なわれる測定の一つにボアや円筒の検査があります。形状

公差が問題になるこれらの検査においては、VASTの画期的な性能が真

価を発揮。VASTスキャニングは多点測定ですので、どんなプラグやリ

ングゲージの寸法も評価できますし、公差限界までの寸法も表示できま

す。当然ながら、ポイント・ツー・ポイントで測定するよりも多点でス

キャニングする方が直径や位置寸法も、より高い信頼性と繰り返し精度

をもって判定されます。このVAST による一回の測定作業でさまざまな

評価に対応することができます。

131

三次元座標測定機

■生産現場でも保証できる測定精度E=1.7+L/330μm（PRISMO 5/7 HTG VAST ）さらにワンランク上の高精度仕様はE=1.2+L/350μm（PRISMO 5 S-ACC VAST）

測定精度は製品の寸法公差の範囲を有効に利用するためにも重要なもの

です。そのため、測定機の選択にあたっては、その測定精度が通常加工

する寸法公差の20 ％以下であることが必要です。たとえば、直径が50

H7（すなわち寸法公差が±15μm）のボアでは、測定精度が3μm 以

内でなければなりません。PRISMO は、最高速度と加速度、広い温度

範囲など、あらゆる測定条件において、この基準を十分クリアできる精

度を持っています。

■ VAST プローブヘッドによるポイント測定とスキャニング測定

PRISMO‐VASTに標準搭載されたVASTプローブヘッドは、ポイン

ト・ツー・ポイント測定と高速スキャニング測定という二つのプロービ

ング技術を複合。寸法の測定だけでなく形状検査や位置検査も同じ測定

機で行なうことを可能にしました。

生産現場での測定を考慮して設計されたPRISMO は、検査に十分に対応する精度と、その精度をあらゆる環境条件下でいかに維持するかをテーマとしています。そのために、さまざまな技術的配慮を施し、幅広い環境温度、床振動などの環境条件のもとでも、仕様の精度を保証します。また、VAST バージョンでは、多点スキャニングを採用し、幅広い測定項目に対してハイレベルな測定を追求しています。

生産現場の検査に十分な高精度、E=1.7+L/330μm。

■広い公差はより高速に、狭い公差はより高精度にVAST は、測定作業や寸法公差に応じて、スキャニング時の速度／精度

の設定を選択可能。このVAST スキャニングには、加工技術における

「粗仕上げと仕上げ」のような二つの段階があります。

■ VAST スキャニング・レベル1 ：［高精度測定］

-高精度測定と形状評価に有効

-直径（寸法）、位置、真円度の高精度な評価

■ VAST スキャニング・レベル2 ：［高速測定］

-公差が緩やかな場合に高速測定が可能

（このレベルでは測定誤差が大きくなります）

-直径や中心点位置を再現する際の測定時間の短縮

■多機能インターフェイスによる温度管理（オプション）VAST ではワークの温度も自動測定。ツァイス温度センサは、プロー

ブ・チェンジャー・マガジンを介して組み込まれ、正確に決められた位

置でワークの温度を測定／記録するようにプログラムされています。そ

の結果はリアルタイムに転送され、測定データにワークの熱膨張分の補

正をかけることが可能です。

ポイント・ツー・ポイント測定では、表面の一部しか決定できません。

VAST スキャニングでは、多点測定により形状全体がわかります。

工具類や薄板部品を含む型などの高速で精密な測定

VAST ＝Variable Accuracy and Speed ProbingTechnology

■ 一つのプローブでの全方向測定を可能にするRDS新開発の2 軸回転式プローブホルダRDS は、2.5°刻みでほぼすべて

の空間角度方向（合計144 ×144 ＝20,736 通り）にプローブ

を向けることができます。このため、空間方向に合わせてプローブを

多様に使い分ける手間が軽減されます。

132

三次元座標測定機

三次元座標測定機

〉〉〉

単なる速度スペックだけでは、生産性につながる高速測定を語ることはできません。たとえば、プロービングごとの休止時間が短いこと。セットアップに手間がかからないこと。PRISMO は、これらの生産現場で求められる課題をクリアする、高速かつ高精度な測定を目指して設計されました。この二つを高い次元で両立させるために、独自のノウハウが豊富に取り入れられています。

高速、しかも高効率。短い休止時間により測定効率を向上します。

■高速度と高精度を両立させる独自の設計思想各軸に高分解能のゼロデュアスケールを採用。さらに、強力な制御

技術を採用し、かつブリッジの移動質量を最小限に抑えました。

この安定性のある独自の設計思想が、高速かつ高精度な測定を可能に

しています。

■ ポータブルな操作ボックス測定作業中でも、最も重要な機能や頻繁に使用される測定プログラム

などを操作パネルから直接呼び出すことができます。

■ 温度補正なしでの精度保証熱伸縮のないゼロデュアスケール、熱に対して安定した構造・材質の

ブリッジ（ゆがみのない単純伸縮）、更に熱伸縮のないスタイラス

サーモフィットの採用により、温度補正をしないで広範囲温度にて精

度が保証されます。補正による測定の不確かさは最小化されます。

ロータリーテーブルを装着したPRISMO5 S-ACC VAST

■セットアップ時間を短縮するプローブ自動交換システム少数のワーク検査なら、一つのプローブコンビネーションで十分です。

しかし、測定箇所の多いワークや多品種ワークの測定においては、プ

ローブ自動交換システムが測定効率を大幅にアップさせます。また、

交換時の再現性が極めて高いので、その都度再校正を行なう必要はあ

りません。

RDS/RSTプローブによる測定

VAST プローブによる測定

133

三次元座標測定機

■万全の環境温度対策一定の精度を保つことができる温度範囲は、16 ～30℃です（PRISMO

5/7 HTG VAST）。PRISMO では、スケールに熱膨張が事実上ゼロの

ゼロデュアを採用。さらに、ワーク温度を測定するための温度センサを

二個装備しています。

■高剛性のエアベアリングY軸ガイドには、8個のエアベアリングを使用して、ねじれに対する剛

性を高めています。また、ガイドを四方向から包む構造のエアベアリン

グは、高速でも一定の精度を保証します。

生産現場の測定には、温度変化、床の振動、オイルミストなどの問題がつきまといます。PRISMO では、こうした環境条件下でのさまざまな問題を測定機が代わってフォローします。たとえば、熱膨張係数が低い素材の使用をはじめ、ガイドと基準スケールのカバー、熱源の断熱、床振動の吸収など。また、生産現場に空調やキャビンを設置する必要がなく、コストダウンにもつながります。

生産現場環境を十分に考慮した設計。16 ～30 ℃の範囲を温度補正なしで仕様の測定精度を保証(PRISMO 5/7 HTG VAST)します。（仕様欄参照）

Y 軸左側ガイドの保護カバー

■汚れや損傷に対する保護ガイド面と基準スケールは、保護カバーにより汚れや損傷からしっ

かり保護。PRISMO‐VAST では、X軸とY軸のガイドが保護さ

れています。

■剛性に優れたブリッジブリッジは軽量で、かつ静的および動的な剛性が得られるように有限要

素法に基づいて設計。さらに、最新の素材を要所に使用しています。

■熱影響を極力避けた斬新なデザイン断熱のため、石定盤は上面以外すべてカバーされています。前面のカバ

ーには、操作パネルを設置できます。

■作業性に優れたテーブルテーブル面は、測定範囲であると同時にワークの固定面として有効に使

用できます。

■機能性に優れた設計操作や装着、保守・点検が容易に行なえます。もちろん、機械的および

電気的な安全規格はすべて満たされています。

■設備コストの節減事実上、空調費用はかからず、測定室や特別な基礎を必要としないので、

設備コストの節減につながります。

134

三次元座標測定機

三次元座標測定機

〉〉〉

お客様の様々な測定ニーズにお応えするため、豊富なセンサバラエティ対応機PRISMO Varioを新たにラインナップ化しました。非接触測定センサも搭載し、シートメタル、ソフトプラスティック、プリント基板、ゴム、樹脂等、測定対象ワークの幅が広がりました。

PRISMO Vario

※PRISMO HTG､S-ACCバージョンでは、VASTプローブヘッド(標準)、RDS-RST／TP6プローブ　(オプション)仕様のみでの対応となります。

RDS+DTS RDS+Vi Scan

DTプローブヘッド VAST-XTプローブヘッド RDS-RST

PRISMO Varioは、以下のセンサシステムが対応出来ます。（ご購入の際にお選び戴けます）1) 平均読取式シングルポイントプローブヘッド：DT（ダイナタッチ）

2) 高速スキャニングプローブヘッド：VAST-XT（DTからVAST-XTへのアップグレードが可能）

3) 旋回式ロータリーダイナミックセンサ：RDS（専用プローブマガジンにより、下記センサ

の自動交換可能）

・ タッチトリガー式シングルポイント測定プローブ：RST-P（PRISMO5／7シリーズ）

：TP6（PRISMO10シリーズ）

・ オプチカル2-Dオートフォーカスカメラセンサ（非接触式）：ViScan

・ オプチカルシングルポイント測定ダイオードプローブ（非接触式）：DTS

※ ViScan、DTSはCalypsoソフトウェアでの対応となります。

PRISMO 5 Vario ViScan 測定表示例

三次元座標測定機

135

仕 様

E、RはISO10360-2による精度評価方法。 RDS/RST、Viscan、DTS各プローブの精度は別途となります。

PRISMO 7 PRISMO 10 (X:1200) PRISMO 10 (X:1600)PRISMO 5型式

X

Y

Z（HTG/S-ACC）

Z（Vario）

E（μm）

R（μm）

環境温度（℃）

温度変化（℃/h）

（℃/day）

（℃/m－高さ）

E（μm）

R（μm）

環境温度（℃）

温度変化（℃/h）

（℃/day）

（℃/m－高さ）

E（μm）

R（μm）

環境温度（℃）

温度変化（℃/h）

（℃/day）

（℃/m－高さ）

2.0＋L/300（*2.3＋L/300）

2.0

18～22（*18～26）

1.0

2.0

1.0

ゼロデュアスケール

1.7＋L/330（*1.9＋L/300）

1.5

18～26（*16～30）

2.0

5.0

1.0

ゼロデュアスケール

1.5

18～22

1.0

2.0

1.0

ゼロデュアスケール

1.2＋L/350

1.7＋L/350

ゼロデュアスケール

ゼロデュアスケール

ゼロデュアスケール

620

3590

3740

3840

Y:スチールテープスケール

Y:スチールテープスケール

Y:スチールテープスケール

670

3590

3790

3890

ゼロデュアスケール

ゼロデュアスケール

ゼロデュアスケール

Y:スチールテープ スケール

Y:スチールテープ スケール

Y:スチールテープ スケール

2.9＋L/250（*3.2＋L/250）

2.9

18～22（*18～26）

1.0

2.0

1.0

2.4＋L/300

1.9

18～28

2.0

5.0

1.0

1.9＋L/350

1.7

18～22

1.0

2.0

1.0

4.7＋L/200（*5.0＋L/200）

6.8

18～22（*18～26）

1.0

2.0

1.0

4.2＋L/250

6.0

18～28

2.0

5.0

1.0

3.5＋L/280

5.1

18～22

1.0

2.0

1.0

測定範囲（mm)

PRISMO

Vario VAST-XT

PRISMO

HTG VAST

PRISMO

S-ACC VAST

テーブル

（mm）

被測定物

案内方式

駆動速度

（mm/s）

駆動加速度

（mm/s2）

空気源

電源

本体寸法

（mm）

本体質量（kg）

設置場所の天井高さ（mm）

搬入時高さ（+100mm）要す（mm）

指示精度

プローピング精度

測長スケール

指示精度

プローピング精度

測長スケール

指示精度

プローピング精度

測長スケール

材質

使用可能幅

使用可能奥行き

床からのテーブル面高さ

最大高さ（mm）

最大質量（kg）

ジョイスティックモード

CNCモード各軸方向

ベクトル方向

スキャニングモード

各軸方向

ベクトル方向

幅

奥行

高さ

12/42/10

1200

4200

1000

1000

16/18/10

1600

1800

1000

1000

16/24/10

1600

2400

1000

1000

16/30/10

1600

3000

1000

1000

12/30/10

1200

3000

1000

1000

12/24/10

1200

2400

1000

1000

12/18/10

1200

1800

1000

1000

9/18/7

900

1800

650

700

9/15/7

900

1500

650

700

9/12/7

900

1180

650

700

7/9/5

700

900

500

500

9/24/7

900

2400

650

700

4820

3500

5340

10310

2420

3500

2940

8500

1670

3020

620

1379（HTG/S-ACC VAST）

1479（Vario VAST-XT）

3500

600

1000

2450

3540

3890

10500

4040（HTG/S-ACC）

4140（Vario）

3200

3620

3500

4140

12500

3620

3500

4140

7820

3020

2500

3540

7250

2420

2000

2940

6000

2120

1500

2640

3360

1820

850

1500

1400

2400

2340

2850

1520

1300

2040

2200

925

1220

595

1200

1525

1740

2930

1650

3230

1750

2950

2000

3240

4740

1100

705（HTG/S-ACC VAST）

805（Vario VAST-XT）

1700

3030

3230（HTG/S-ACC）

3330（Vario）

1850

1435

1060（HTG/S-ACC VAST）

1179（Vario VAST-XT）

800

1400

2050

2500

はんれい岩

エアベアリング

0～70mm/s

最大 300

最大 520

最大 100

供給圧力：0.6～1.0MPa、 使用圧力：0.5MPa、 空気消費量：120R/min（ANR）

供給電圧：単相AC100V±10%、 周波数：50/60Hz±5%、 最大消費電力：2000VA

三次元座標測定機

三次元座標測定機

〉〉〉

136

CONTURAは、低価格で高性能の三次元測定機です。

Zeissは、1970年代にCNCスキャニン

グプローブを開発し、1989年には高速

スキャニングプローブ（HSS）を開発し

ました。そして1994年には「測定基準

クラス」の測定性能を生産現場でも使用

できる高速スキャニング座標測定機とし

てPRISMO VAST を開発しました。

CONTURA は、PRISMO VAST を基に

さらに経済性を追及した測定機です。

高速スキャニングプローブヘッドVAST XT重いプローブや長く複雑な形状のエク

ステンションも取り付け可能です。

※平均読取式シングルポイント測定プ

ローブDTの搭載及びVAST-XTへの

アップグレードが可能です。

プローブ交換マガジンプローブ自動交換が可能になります。

●Zeiss の最新スキャニング技術を結集

し、高密度データ収集（200 点/秒）

が可能

● 高速スキャニングプローブヘッド：

VAST XT を搭載（スキャニング最大

速度：70mm/秒）

■ 特　長

コントローラを架台に収納このため、CMM の設置面積を最小限

にすることを可能にしました。コント

ローラは、スキャニング測定のために

特に開発された新しい32 ビットISC

（インテリジェント・スキャニング・

コントローラ）を採用。

Yガイドには、剛性に優れたエアベ

アリングを採用しており、高速度・高

加速度駆動に対し、安定した性能を発

揮します。（PRISMOと同様）

X軸・Z軸ガイドには、固くて温度変化

や湿気に対し安定性が高い、セラ

ミックを採用しています。

標準操作盤

137

137

三次元座標測定機

仕 様

C O N T U R A 7 0 0 C O N T U R A 1 0 0 0

7 / 7 / 6 7 / 1 0 / 6 1 0 / 1 2 / 6 1 0 / 1 6 / 6型式

測定範囲（mm）

CONTURA

Standard VAST-XT

　　　　　　 DT

CONTURA

HTG VAST-XT

　　　　　　 DT

テーブル（mm）

被測定物

案内方式

駆動速度

（mm/s）

駆動加速度

（mm/s2）

空気源

電源

本体寸法（mm）

本体質量（kg）

設置場所の天井高さ（mm）

搬入高さ（mm）

指示精度

プロービング精度

測長スケール

指示精度

プロービング精度

測長スケール

材質

使用可能幅

使用可能奥行き

床からのテーブル面高さ

最大高さ（mm）

最大質量（kg）

ジョイスティックモード

CNCモード各軸方向

ベクトル方向

スキャニングモード

各軸方向

ベクトル方向

STANDARD

HTG

※E,RはISO 10360-2による精度評価方法。

X軸

Y軸

Z軸

E（μm）

R（μm）

環境温度（℃）

温度変化（℃/hour）

　　　　（℃/day）

　　（℃/m－高さ）

E（μm）

R（μm）

環境温度（℃）

温度変化（℃/hour）

　　　　（℃/day）

　　（℃/m－高さ）

18～22

1.0

1.5

1.0

ツァイスガラススケール

18～26

2.0

3.0

1.0

ツァイスガラススケール

はんれい岩

850

680

エアベアリング

70

250

425

70

1000

1700

供給圧力：0.6～0.8MPa、使用圧力：0.5MPa、消費量：180NL/min

供給電圧：単相AC100V（±10％）、周波数：50/60Hz（±3.5％）

消費電力：最大2000VA

2900

2620

700

700

600

1040

560

1430（W）×1540（D）×2800（H）

1580（W）×1540（D）×2800（H）

1100

700

1000

600

1340

730

1430（W）×1850（D）×2800（H）

1580（W）×1850（D）×2800（H）

1300

1000

1200

600

1545

1150

1735（W）×2050（D）×2800（H）

1870（W）×2050（D）×2800（H）

2150

1000

1600

600

1945

1500

1735（W）×2450（D）×2800（H）

1870（W）×2450（D）×2800（H）

2550

2.7＋L/250

2.4

2.3＋L/300

2.0

920

2.9＋L/250

2.6

2.5＋L/300

2.2

1225

138

三次元座標測定機

三次元座標測定機

〉〉〉

超大型三次元座標測定機

/

●航空機部品、自動車、工作機械、印刷

機など、大型で高精度部品に最適な三

次元座標測定機です。

●フロアそのものを測定テーブルとして、

大型重量物の測定を行なえますので、

ワークの搬送等は容易にできます。

（MMZ-G）

●基本構造は有限要素法に基づいて設計

されています。

●プローブヘッドには、UPMCにも搭載

しているHSS（ハイスピード・スキャ

ニング・ヘッド）にて測定点の高速検

出と、測定力のベクトル制御を可能に

しています。

/

仕 様

M M Z 1 6 0 0 M M Z 2 0 0 0 M M Z - G

S-ACC S-ACC Std. S-ACC Std. S-ACC Std. S-ACC Std. S-ACC Std. S-ACC Std.型式

※MMZシリーズは受注対応です。※上記以外のサイズについては別途お問い合わせください。

X軸（mm）

Y軸（mm）

Z軸（mm）

E（μm）

R（μm）

環境温度（℃）

1600

2400

1200

3.0+L/300

4.8

18～24

1600

3000

1200

3.0+L/300

3.2

18～22

1600

3000

1600

4.5+L/250

4.8

18～24

1600

3000

1600

3.5+L/300

3.2

18～22

2000

3000

1600

6.0+L/250

6.3

18～24

2000

3000

1600

5.0+L/250

5.3

18～22

2000

3000

2000

5.0+L/200

5.3

18～22

2000

3000

2000

3.5+L/200

3.7

19～21

2500

3000

2000

5.5+L/200

5.8

18～22

2500

3000

2000

4.0+L/200

4.2

19～21

3000

4000

2000

6.0+L/200

6.3

18～22

3000

4000

2000

4.5+L/200

4.8

19～21

3000

6000

2500

6.0+L/200

6.8

18～22

●シンメトリーなテーブル構造により、

大型・重量ワークでもセッティングが

容易。

●テーブル高さを低くし、高い固有剛性

を実現。

MMZ-G

MMZ

139

三次元座標測定機

三次元座標測定機

スキャニング測定技術　　〉〉〉

スキャニング技術他の三次元座標測定機メーカーが既存のハードウェアへの追加としてスキャニングプローブを採用したのとは違って、Zeiss は特に高密度データ収集能力に対応した総合スキャニング測定システムとしての測定機を開発しました。Zeissのスキャニング技術は、信頼性のある測定を提供します。

Zeiss独自のスキャニングプローブシステムでは、プローブヘッドの変位および測定力を常に制御しています。プローブヘッド内には電磁力を用いた測定力制御装置があり、測定力を絶えず一定になるように制御しています。また、測定力をかける方向はワーク表面に対し法線方向に制御されています。このため、プローブたわみ量の変位を容易に補正できるため、高い精度で測定が行なえます。また、広範囲スキャニング制御により、ワーク形状にそってスムーズなスキャニング測定が可能であり、高速に安定したデータが取り込め、高精度の測定が可能です。

VAST テクノロジー：測定力コントロール有制御範囲が広いためCMM 本体Z

軸の位置決めが最小限に押さえられ

ます。そのため、測定精度が上がり、

スキャニング速度も上がります。

VAST テクノロジー：測定力コントロール有電磁力により一定の小さな測定力を発

生させ、ワークの法線方向に測定力を

かけます。そのため、プローブのたわ

み量が小さくかつ、一定で精度が向上

します。

電磁力により測定力 を発生させる

電磁力により測定力 を発生させる

従来のシステム：測定力コントロール無制御範囲が狭いためZ 軸を頻繁に位

置決めしなければなりません。その

ため、測定力が変化し、精度やスキ

ャニング速度が上がりません。

従来のシステム：測定力コントロール無機械的なバネを使用しているため、

測定力が不均一になり、プローブた

わみ量も変化するため、精度が上が

りません。

変位量

プローブたわみ

測定力

スキャニング測定の有効性スキャニング測定では、ひとつの形状に沿って連続測定を行ない、隣接した一

続きの点を測定します。ワーク表面をできる限り多数点測定することで得ら

れる高密度のデータからは、より実際の形状に近い結果を得ることできます。

従来のポイント測定では、容認できる時間内で比較的少数の点で測定が行なわ

れてきました。即ち、特に形状測定において、これは実際の値とは異なった

結果を得るという危険を冒してきました。

スキャニング測定では、短時間に高密度のデータを得ることで、この問題を

解消することが可能となります。高密度のデータから得られた寸法形状、位

置、方向などの測定結果は、測定の信頼性及び安定性をより一層高め、製品

生産の歩留まりの改善に大きな成果を発揮します。

スキャニング測定の有効性の例内径測定の例では、データの密度や適用された計算

方法に基づく寸法や位置によっては極端に異なった

結果がでてくる可能性があります。スキャニングに

よる高密度データで求めた最大内接円と従来の数ポ

イントのデータから最小自乗法によるベストフィッ

ト円を比較したときの両者の寸法と位置の相違を調

査した結果を示します。

下図のように与えられた形状の実際の値を見つける

ためには、高密度データから求める方法が良いこと

が立証できます。下図の違いは全ての形状測定に当

てはめることができます。

測定点数の違いによる不確かさ

→ 信頼性の欠如、測定の不確かさ大

ポイント・ツー・ポイントの一般範囲

スキャニングの一般範囲

測定点数10点 測定点数100点 測定点数1000点

高信頼性 ←

スキャニング測定データから 得られた最大内接円

4ヶ所の測定点から計算した 最小二乗ベストフィット円

実際の形状

個々の測定点 （4点測定）

最大内接円および最小二乗ベスト フィット円の中心座標差

測定力

測定力

140

三次元座標測定機

三次元座標測定機

〉〉〉

柔軟性を備えたホリゾンタルアーム型CMM シリーズ

Carmet には4つのサイズ

が用意されており、大型の

2機種はアーム2本タイプ

が可能です。それぞれのサ

イズでCNC機、モータ駆

動機およびマニュアル機が

選択できます。調和のとれ

たデザインはモールドやモ

デルメーカー、金型製作の

現場に最適です。

CNC機はモータ駆動を切

離してマニュアル操作も可

能です。（オプション）

マニュアル機は後からモー

タ駆動機へ、モータ駆動機

はCNC機へとアップグレ

ードが可能です。

Carmet CNC機はカールツァイス製のRDS ：

2 軸回転式ホルダ/TP6 プローブヘッドが標準

装備されています。RDSは2.5°毎に2軸の回

転角度が設定できますので、深穴を測定する際

にシャフトがワークに接触せずに測定が可能で

す。またRDSはプローブ交換マガジン（オプシ

ョン）を装備すると、プローブ自動交換も可能

です。CNC 機にモータ駆動切離装置（オプシ

ョン）を装備すると、マニュアル操作が可能と

なります。RDSを非相似形キューブ（CNC

機：オプション）に交換すれば、ケガキ針や刻

印等の工具が取り付けられ、昔ながらの作業も

1 台の機械で行なえます。Carmet マニュア

ル機・モータ駆動機にはMIH-S 手動2 軸回転

式ホルダ/TP6 プローブヘッドが標準装備され

ています。MIH-Sにセンサインターフェイスを

接続すると、設定角度を操作パネルで確認する

こともできます。また非相似形キューブは標準

装備されていますので、ケガキ針等の工具も容

易に取り付けが可能です。

測定する所に移動可能なグラフィック操作パネルを使用グラフィック操作パネルはどこへでも移動して

使用することができます。

一台の機械で多彩な測定、様々な作業

RDS＋TP6プローブ（CNCタイプ）

MIH-S＋TP6プローブ（マニュアルおよびモータ駆動タイプ）

鋳造品や鍛造品のけがきも可能なアクセサリ

Carmet 62/2×16/21C10=manualC11=motorizedC12=CNC

Carmet 50/2×16/21C7=manualC8=motorizedC9=CNC

Carmet 30/16/21C4=manualC5=motorizedC6=CNC

Carmet 20/12/15C1=manualC2=motorizedC3=CNC

三次元座標測定機

仕 様

C a r m e t型式

構造

プローブシステム

コントローラ

操作方法

操作盤

サイズ

測定範囲（mm）

ワーク最大寸法（mm）　X/Y方向

測定機高さ（mm）

ワーク最大質量（kg）

測定機質量（kg）

測長システム

測定精度（μm）

L=測定長さ（mm）

プロービング精度（μm）

駆動速度

駆動加速度

プローブシステム

電源

消費電力

空気源　　　CNC：RDS使用時

空気消費量　CNC：RDS使用時

環境温度

湿度

測定精度保証の

温度条件

※精度試験および評価方法は、VDI/VDE2617または、ISO10360-2によります。

ホリゾンタルアーム型測定機

手動2軸回転式プローブホルダ：MIH－S ＋タッチトリガープローブ：TP6

手動2軸回転式プローブホルダ：MIH－S ＋タッチトリガープローブ：TP6

自動2軸回転式プローブホルダ：RDS＋タッチトリガープローブ：TP6

ダイオードプローブ

MZ1070 II

C99

C99

手動操作

手動操作およびジョイスティック操作

ジョイスティック操作およびCNCプログラム操作

標準操作盤

標準操作盤

標準操作盤

反射光測長システム

1 軸：Max 150mm/s ， 3 軸：Max 260mm/s

駆動加速度1 軸：Max 125mm/s 2 ， 3 軸：Max 215mm/s 2

タッチトリガープローブヘッド

120°回転

手動2軸回転式プローブヘッドホルダ

自動2軸回転式プローブヘッドホルダ

100V±10％、50Hzまたは60Hz±3.5％

コントローラ　800VA/シングル、最大3800VA

供給圧力：0.6～0.8MPa、使用圧力：0.6MPa

10　l/h（0.6MPa）、大気圧換算：　70　l/h（1.2　l/min）

＋10℃～＋35℃

30％～70％

20℃±4K

1時間当り：1.5K/h、　1日当り：3.0K/d、　高さ方向：0.5K/m

20/12/15

シングルコラム

2000

1200

1500

2140/1357

3115

1000

3050

20＋L/50≦50

25＋L/50≦70

ーーーーー

25＋L/50≦70

20

30/16/21

シングルコラム

3000

1600

2100

3140/1757

3765

1500

5170

25＋L/50≦60

30＋L/50≦80

ーーーーー

30＋L/50≦80

25

50/2×16/21

ダブルコラム

5000

2710（CNC：2586）

2100

5140/2800

3765

5000

11900

25＋L/50≦60

30＋L/50≦80

40＋L/35≦100

30＋L/50≦80

25

62/2×16/21

ダブルコラム

6200

2710（CNC：2586）

2100

6140/2800

3765

6000

15300

25＋L/50≦60

30＋L/50≦80

40＋L/35≦100

30＋L/50≦80

25

マニュアル

モータ駆動

CNC

オプション

マニュアル

モータ駆動

CNC

マニュアル

モータ駆動

CNC

マニュアル

モータ駆動

CNC

X軸

Y軸

Z軸

U1

U3

U3D

E3

V2

TP6

ダイオードプローブ

MIH-S

RDS

環境温度

温度勾配

本体長さ　　　　　　　41mm

本体直径　　　　　　　25mm

測定力　　　　　　　　0.11 ～0.13N （最大0.3N ）

本体長さ　　　　　　　315mm

精度　　　　　　　　　40μm

回転角度　　　　　　　A軸 0°～105°

　　　　　　　　　　　B軸 ±180°

角度ピッチ　　　　　　 7.5°，720 ポジション

回転角度　　　　　　　A軸 ±180°

　　　　　　　　　　　B軸 ±180°

角度ピッチ　　　　　　 2.5°， 20736 ポジション

最大プローブ長さ　　　　50mm

最大プローブ質量　　　　5g

最小プローブボール径　　0.5mm

校正時の繰り返し精度　　10μm

測定条件　　　　　　　　黒色－白色部分

位置決め繰り返し精度　　1μm

本体質量　　　　　　　　580g

位置決め繰り返し精度　　1 秒

本体質量　　　　　　　　1000g

141

142

三次元座標測定機

三次元座標測定機

〉〉〉

カーボディ、シートメタルなどを測定するための、高性能三次元座標測定機

Eagle Eye（SMCに搭載）シートメタルの幾何要素測定を高速で行なえる非

接触センサです。

パッチ面、丸穴、球、フラッシュ＆ギャップを

サポートします。

●構造がホリゾンタルアーム型のため、特別に長いワーク

にも対応し生産ラインへも設置できます。

●プローブ先端からY軸のコラムまでの多様な衝突防止機

能を備えています。

●2軸回転式プローブホルダDSE05には標準のタッチトリ

ガプローブRSTまたはレーザプローブLTP60/LTP60E

（オプション）を取り付けでき、非接触でも測定が可能

です。

●RSTとLTP60/LTP60Eを自動で交換できる自動セン

サ交換マガジンASM4をオプションとして用意してい

ます。

SMM

143

三次元座標測定機

マルチセンサ接触式、非接触式センサを交換

して使用することができます。

交換は最短時間で行なうことが

できます。

プローブホルダDSEは、無段階

に角度を設定することができま

す。

■ 特　長

RST-Pピエゾ素子の採用により、ばら

つきを最小に抑え、高精度を実

現。プローブエクステンション

は600mmまで使用可能で、ア

クセス可能範囲が拡大されます。

新コンセプトのXガイド新素材の採用で、温度の影響を

最小に抑えるとともに、新設計

で、基礎工事のコスト抑制も可

能としました。

三点指示方式なので、インスト

ール期間も短縮されます。

フレキシブルに設置オンフロア、アンダーフロアの

設置の両方にフレキシブルに対

応できます。

ソフトウェア”Easy To Use”（簡単操作）

がSMCのコンセプトです。

CMM-OS、HOLOSなどのソフ

トウェアにより、簡単に高度な

測定を行なうことができます。

Eagle Eye非接触センサEagle Eyeにより、

シートメタル上の幾何要素、エ

ッジポイントなどを、短時間で

測定することができます。

Zeissの先進の6軸制御技術がそ

れを支えています。

新しいデザイン新しいトータルデザインにより、

安全装置などの設置にも、フレ

キシブルに対応できるようにな

っています。

三次元座標測定機

〉〉〉

144

三次元座標測定機

三次元座標測定機

〉〉〉

仕 様

SMC シングルコラム（石定盤）タイプ 型式

構造

プローブヘッド

駆動系

コントローラ

操作盤

特別装置

測定範囲

測定機本体の重量（kg）

最大許容ワーク重量（kg）

クランプ面

測長システム

分解能

測定精度　※1

駆動速度

プローブヘッド

2軸回転式プローブホルダDSE

電源

消費電力

空気源

空気消費量

機械動作のための環境温度

湿度

測定精度保証の温度条件

※1：精度試験および評価方法はVDI/VDE2617によります。RST用標準プローブ使用時。L=任意の測定長さ。　　※2：150mm/s以下のCNC測定時にのみ適用可能。

精密石定盤上に設置されるホリゾンタルアーム型測定機

タッチトリガープローブヘッドRST　全方向で測定データ取り込み可能

レーザプローブヘッドLTP60/LTP60E　非接触測定が可能

電子監視機構を持った高推進力DCサーボ駆動

マイクロプロセス3軸ベクトルコントロール

DSE（センサ交換機能付き2軸回転式プローブホルダ）のコントロール

英数字キー付き大型操作盤

（コンピュータのキーボードを使用せず操作盤でほとんどの操作が可能）

ジョイスティックによる測定機およびDSEの手動操作、微動切替も可能

シリコンオイル除去装置

自動レベリングエア除振装置

ASM（プローブマガジンによるCNCセンサ交換装置）

Y軸の衝突保護機構

2400、3000、4200

1350

1500、2000、2400

約11500～17000

1500

X：Xの測定範囲プラス1200mm

Y：1500mm

固定ネジグリッド　600×500mm

反射光測長システム

1μm

（温度仕様A：標準）

35＋L/50≦75

45＋L/40≦85

0～100mm/s（プローブシステムに対して完全な衝突保護が可能）

0～150mm/s（プローブシステムに対して制限付きで衝突保護が可能）

0～300mm/s（測定機とプローブシステムに対して細かい制限付きで衝突保護が可能）

測定圧力（データ取り込み時）

最大プローブ長さ

最大プローブ重さ

最小プローブボール径

最大延長シャフト長さ

外観寸法（長さ×直径）

測定範囲

作動距離（測定範囲の中央まで）

測定精度（セラミック校正基準6δ）

直交する2つの軸でそれぞれ±180°のモータ回転が可能

インクリメント測長システム

最大角度回転速度

角度位置決め誤差

最大回転モーメント

交換するセンサの最大重量

交換時の再現性

交換できるセンサの種類

AC100V±10％、50～60Hz±3.5％

約3000VA

0.6～1.0MPa

0.5MPa

120R/min（大気圧換算）

＋15℃～＋35℃（精度保証の温度条件ではありません）

40％～70％ 結露が無いこと

（温度仕様A）

＋18℃～＋30℃

2.0K/h

8.0K/d

0.5K/m

標準

オプション

標準

オプション

X軸（mm）

Y軸（mm）

Z軸（mm）

U1（μm）

U3（μm）

ジョイスティック測定時

CNC測定時

CNC測定時（オプション）

RST

LTP60/LTP60E

供給圧力

使用圧力

環境温度

温度勾配 1時間当り

1日当り

高さ方向

（温度仕様B：オプション）

25＋L/120≦40

25＋L/80≦50

0.01N以下

90mm

10g

φ0.5mm

400mm

65mm×φ26mm

60mm（±30mm）

125mm

15μm

分解能　0.5秒

40°/s

±3秒

100Ncm

1000g

≦1μm/200mm

タッチトリガプローブヘッドRST

レーザプローブヘッドLTP60

レーザプローブヘッドLTP60E

（温度仕様B ※2）

＋20℃～＋24℃

1.0K/h

3.0K/d

0.5K/m

三次元座標測定機

仕 様

SMCダブルコラム（Xガイド独立）タイプ 型式

構造

プローブヘッド

駆動系

コントローラ

操作盤

特別装置

測定範囲

測長システム

分解能

測定精度　※1

駆動速度

プローブヘッド

2軸回転式プローブホルダDSE

電源

消費電力

空気源

空気消費量

機械動作のための環境温度

湿度

測定精度保証の温度条件

※1：精度試験および評価方法はVDI/VDE2617によります。RST用標準プローブ使用時。L=任意の測定長さ。　　※2：150mm/s以下のCNC測定時にのみ適用可能。

独立したXガイド上に設置されるホリゾンタルアーム型測定機　（基礎工事が必要です）

タッチトリガープローブヘッドRST　全方向で測定データ取り込み可能

レーザプローブヘッドLTP60/LTP60E　非接触測定が可能

電子監視機構を持った高推進力DCサーボ駆動

マイクロプロセス3軸ベクトルコントロール

DSE（センサ交換機能付き2軸回転式プローブホルダ）のコントロール

英数字キー付き大型操作盤

（コンピュータのキーボードを使用せず操作盤でほとんどの操作が可能）

ジョイスティックによる測定機およびDSEの手動操作、微動切替も可能

各コラムにインターロック機能を装備

ASM（プローブマガジンによるCNCセンサ交換装置）

Y軸の衝突保護機構

4200、6000、9000

1350

2000、2400

反射光測長システム

1μm

（温度仕様A：標準）

35＋L/50≦75

45＋L/40≦85

0～100mm/s（プローブシステムに対して完全な衝突保護が可能）

0～150mm/s（プローブシステムに対して制限付きで衝突保護が可能）

0～300mm/s（測定機とプローブシステムに対して細かい制限付きで衝突保護が可能）

測定圧力（データ取り込み時）

最大プローブ長さ

最大プローブ重さ

最小プローブボール径

最大延長シャフト長さ

外観寸法（長さ×直径）

測定範囲

作動距離（測定範囲の中央まで）

測定精度（セラミック校正基準6δ）

直交する2つの軸でそれぞれ±180°のモータ回転が可能

インクリメント測長システム

最大角度回転速度

角度位置決め誤差

最大回転モーメント

交換するセンサの最大重量

交換時の再現性

交換できるセンサの種類

AC100V±10％、50～60Hz±3.5％

約3000VA

0.6～1.0MPa

0.5MPa

120R/min（大気圧換算）

＋15℃～＋35℃（精度保証の温度条件ではありません）

40％～70％ 結露が無いこと

（温度仕様A）

＋18℃～＋30℃

2.0K/h

8.0K/d

0.5K/m

標準

オプション

標準

オプション

X軸（mm）

Y軸（mm）

Z軸（mm）

U1（μm）

U3（μm）

ジョイスティック測定時

CNC測定時

CNC測定時（オプション）

RST

LTP60/LTP60E

供給圧力

使用圧力

環境温度

温度勾配 1時間当り

1日当り

高さ方向

（温度仕様B：オプション）

25＋L/120≦40

25＋L/80≦50

0.01N以下

90mm

10g

φ0.5mm

400mm

65mm×φ26mm

60mm（±30mm）

125mm

15μm

分解能　0.5秒

40°/s

±3秒

100Ncm

1000g

≦1μm/200mm

タッチトリガプローブヘッドRST

レーザプローブヘッドLTP60

レーザプローブヘッドLTP60E

（温度仕様B ※2）

＋20℃～24℃

1.0K/h

3.0K/d

0.5K/m

145

145

146

三次元座標測定機

三次元座標測定機

〉〉〉

SVA-A は、お客様のコスト削減と品質向上をサポートします。

CNC 三次元座標測定機

■ 特　長

ZEISS テクノロジーと結合した新シリーズ空間精度補正技術により、測定精度が大幅に向上（E=2.4+4L／1000μm：SVA800A）東京精密のアドバンテージ、AI機能を標準装備（国内、海外特許取得）温度補正機能を標準装備し、耐環境性向上多彩なソフトウェアプログラム

ZEISS テクノロジーとの技術融合ドイツ、Carl Zeiss 社の制御技術と東京精密のハードが結合したCNC

機です。

高速測定Carl Zeiss 社の高性能コントローラとの結合により、CNC 測定所要時

間が約30%短縮されました。（当社比）

AI 機能搭載（国内及び海外特許取得）AI 機能で測定した形状を自動認識。

処理項目の入力回数を大幅に削減し、初心者でも簡単に操作が可能です。

温度補正機能を標準装備測定室温度環境：16 ～26 ℃まで対応。

空調のランニングコストを減少します。

小型操作盤操作盤は、小型で測定テーブル上のお好きな場所で操作ができます。

タッチパネル付きLCD モニタをオプション装備移動型載せ台に載り、操作しやすい位置で使用できます。

147

三次元座標測定機

タッチパネル付きLCDモニタ 小型操作盤

仕 様

型式

測定範囲（mm）

測長方式

最小表示

測定精度

（μｍ）

テーブル

（mｍ）

被測定物

駆動速度

各軸の案内方式

最大プローブ質量

外形寸法

（mｍ）

本体質量（kg）

温度条件

※測定精度の指示精度（E）およびプロービング精度（R）は、JISB7440-2 に基く、三次元座標測定機の評価方法です。　※指示精度（E）のLは、任意の2点間の距離で、単位mmです。 　測定精度は、標準スタイラスを使用した場合の数値です。 　※標準スタイラス仕様 　①ＴＰ２／ＴＰ２０／ＴＰ２００・・・先端φ４Ｌ２０ｍｍ，レニショー製特注スタイラス 　②ＰＴＳ－３０・・・・・・・・・・・・・・先端φ４Ｌ５０ｍｍ弊社製スタイラス

X軸

Y軸

Z軸

指示精度

プロービング精度

材 質

使用可能幅（Ｘ）

使用可能奥行（Ｙ）

床からの高さ

平 面 度

被測定物取付ねじ

最大高さ（mｍ）

最大質量（kg）

最大加減速度

速度可変範囲

測定速度

幅

奥行き

高さ

環境温度（℃）

温度変化

TP2

TP20

TP200

PTS-30

（℃/hour）

（℃/day）

（℃/m）

SVA600A

650 500 300

800 1220

470 400

1415 1390 2205 1300

SVA800A

600

1370

800

1540

1600

SVA1000A

850 1000

1000 1810

1000

1615 1980

2700

SVA1500A

1500

2310

1500

2480

3400

SVA1010A

1000

1810

1000

1980

3000

SVA1012A

1000 1200

1150 2010

1200

1765 2180

3200

SVA1015A

1500

2310

1500

2480

3500

600

770

2655

モアレ縞式測長方式 0.01μｍ

はんれい岩

725 ＪＩＳ１級 Ｍ10ねじ穴

1700mm/sec2

エアベアリング 2ｋｇ

16～26 2.0 5.0 1.0

2.9 2.9 2.7 2.6

3.4 3.4 3.2 3.1

3.4 3.4 3.2 3.1

2.4＋4L/1000 2.9＋4L/1000 2.9＋5L/1000

オートモード自動測定：0.01～425mm/sec(無段階可変) ジョイスティック及びマニュアルモード(自動測定) 操作：0～120mm/sec(無段階可変) ジョイスティック及びマニュアルモード(自動測定) 操作：0～5mm/sec

148

三次元座標測定機

三次元座標測定機

〉〉〉

電子プローブ

PH10T-TP200/TP20 PTS-30 PH1-TP2

■ 基本システム構成

下記タイプより選択

・ ・

PH1-TP2　（TP2用スタイラス3本附属）

・ PH10T-TP20　（TP2用スタイラス3本附属） PH10T-TP200　（TP2用スタイラス3本附属）

・ PTS-30　（C3フィーラセット附属）

測定機本体 ザイザックス SVA-Aシリーズ 電子プローブ

ボール原点ブロック

M10クランピングキット カラープリンタ

キーボード

マウス

LCDモニタ

コントローラ

ZEISS製 C99

小型操作盤

・ Calypso・ XYANA2000

下記タイプより選択

データ処理装置

CNC汎用測定プログラム

（オプション）

高精度化の実現SVA 800A指示精度　E=2.4＋4L／1000um空間精度補正（CAA）技術および温度補正機能により、測定精度が大幅に向上しました。（従来機RVA 800A：E＝3.5＋5L／1000um）

空間精度　U3 ・SVA800A+CALYPSO

-5

-3

-1

1

3

5

0 100 200 300 400 500 600

－ U3P1－ U3P2－ U3P3－ U3P4－許容値

標準ソフトウェア オプションソフトウェア

CAD I/Fオプション穴パターンベストフィットネジ穴測定オプションCalypso-CURVECURVE ASCII入出力Calypso-TIMS変換IGES/DXF変換DIMENSIONHYPER STATIS

HOLOS-NT2.0- Light Plus- Extension- GEO- DigitizeTESCART32 Calypso-CURVE(手動)Calypsoテキストデータ出力PH9/10リスト校正オプション

幾何偏差オプション位置偏差ベストフィットネジ穴測定オプション内外接円オプション四則演算オプションTESCHARTDMIS対応

形状測定プログラム- 手動測定- 自動測定- 評価機能

中国語表示

Calypso

XYANA2000

三次元座標測定機

149

CMMコントロール

三次元用搬送装置

パトライト 測定結果

LAN接続

OK/NG判定

搬送装置／CMM操作盤

ライン用制御盤

製造加工ライン

･ 測定ワーク自動搬入出

･ 測定ワーク自動測定

･ 測定結果自動出力

CMM用PC&コントローラ

自動 自動

統計解析／データ管理システム

ユーザーネットワーク

三次元用制御盤

制御コントロール

三次元座標測定機　SVA 　　自動インラインシステム

･ 測定ワークは加工ラインから搬送装置が自動搬入出 ･ 測定、搬送は、加工ラインとCMMでの連動制御

・ 搬入出装置操作 ・ 測定操作 ・ 測定手順指定 ・ CMM操作 ・ 全自動測定

ロボット搬送例

RVAシステム例 PRISMOシステム例（1）

PRISMOシステム例（2）

150

三次元座標測定機

三次元座標測定機

〉〉〉

RVA-A は、お客様のコスト削減と品質向上をサポートします。

CNC 三次元座標測定機

ZEISS テクノロジーと結合したCNC機東京精密の特許であるAI 機能による簡単操作耐環境性を向上させる温度補正機能を標準装備

151

三次元座標測定機

仕 様

XYZAX RVA-A型式

測定範囲（mm）

最小表示量（mm）

測長スケール

測定精度

（μm）

テーブル

（mm）

測定物

駆動速度

（mm/s）

最大駆動加速度（mm/s2）

各軸の案内方式

最大プローブ質量

空気源

本体寸法

（mm）

本体質量（kg）

温度条件

※測定精度の指示精度（E）およびプロービング精度（R）は、JISB7440-2 に基く、三次元座標測定機の評価方法です。　※指示精度（E）のLは、任意の2点間の距離で、単位mmです。 ※全てのシリーズに対して、オートレベリング空気圧式除振台をオプションでご用意しています。 ※温度補正機能を標準装備しています。 * Y軸2000mmモデルの対応も可能です。

0.00001

高精度モアレ縞スケール

はんれい岩

755、　600（Z=1000）

JIS1級

770（Z=600）、970（Z=800）、1170（Z=1000）

0.01～250mm/s（無段階可変）

移動速度：0～100（無段階可変）、測定速度：0～5

1000

高剛性エアベアリング

2kg

供給圧力：0.49～0.69MPa、使用圧力：0.39MPa、消費量：30l/min（大気圧換算）

2670（Z=600）、3070（Z=800）、3320（Z=1000）

18～28、 18～22（Z=800、1000）

2.0、 1.0（Z=800、1000）

5.0、 2.0（Z=800、1000）

1.0、 1.0（Z=800、1000）

650

500

300

2.9＋4L/1000

2.8

780

1270

470

400

1372

1365

2070

1300

850

600

600

3.5＋5L/1000

3.0

980

1370

800

1572

1535

1600

850

1000

600

980

1810

1000

1572

1975

2700

3.9＋5L/1000

3.8

850

1500

600

980

2310

1500

1572

2475

3400

1000

1000

600/800

1110

1810

1000

1712

1975

3000

1000

1200

600/800

4.1＋5L/1000（Z=600）

5.0＋5L/1000（Z=800）

3.8（Z=600）

4.5（Z=800）

1110

2010

1200

1712

2175

3200

1000

1500

600/800

1110

2310

1500

1712

2475

3500

1200

1500*

800/1000

5.5＋5L/1000（Z=800）

5.5＋5L/1000（Z=1000）

4.5(Z=800)

5.0（Z=1000）

1310

2310

1500

1912

2475

3800

X軸

Y軸

Z軸

指示精度

プロービング精度

材質

使用可能範囲

床からの高さ

平面度

最大高さ（mm）

最大積載質量（kg）

CNC自動測定時

ジョイスティック操作時

（W）

（D）

（H）

環境温度（℃）

温度変化

（TP200）

（W）

（D）

（℃/hour）

（℃/day）

（℃/m）

600A 800A 1000A 1500A 1010A 1012A 1015A 1215A

■ Calypso カリプソ

用途により選べる2種類のソフトウェア

高い機能、拡張性、将来性のソフトウェア●Calipsoは、Carl Zeiss社によって開発された先進ソフトウェアで、Windows2000/NT上で動作します。

●優れたグラフィック機能及びAI機能（要素自動判別、座標系自動設定）が標準装備されます。

●CADデータを取り込み（IGES、CATIA、VDA、STAT、pro-engineerなど）、CAD要素上で測定手順作成（簡易オフラインティーチング）が可能です。

■ XYANA2000 ザイアナ簡単操作が最優先のソフトウェア●XYANA2000は東京精密が開発したノギス感覚で寸法測定が出来る汎用測定専用のソフトウェアです。●タッチパネルにより、抜群の操作性を提供します。●従来のAI機能も標準装備されています。

多彩なオプションソフトウェア●自由曲面測定プログラム：HOLOS●形状測定プログラム：Calypso Curve、XYANA形状●二次元断面解析プログラム：Calypso-TIMS変換●検査表作成プログラム：TESCHART●デジタイジングプログラム：DIMENSION●DMIS対応プログラム●オフラインティーチング インターフェイスプログラム●統計処理プログラム：Hyper Statis

※その他 多種プログラム対応いたします。

152

三次元座標測定機

三次元座標測定機

〉〉〉

AI機能搭載（国内及び海外特許取得）ノギス感覚の簡単な測定操作

三次元座標測定機

■ 基本システム構成

下記タイプより選択

・ TP1（星型 スタイラス付 属） ・ PH1＋ TP2（ TP2用スタイラス 3本付属） ・ MIP（ TP2用スタイラス 3本付属）

測定機本体 ザイザックス

RVF-Aシリーズ 電子プローブ

セラ ミ ッ ク ボール原点ブ ロ ッ ク カラープリンタ

キーボード /マウス

システ ムイ ンターフ ェ イ ス ZEISS製

MZ1070Ⅱ使用

タッチパネル機能付き カラー LCDモニタ

データ処理装置 ザイアナ 2000システム

汎用測定プログラム AI機能搭載タイプ 各種オプションソフト

・幾何偏差作図プログラム ・位置偏差ベストフィットプログラム ・ TESCHART32 検査表作成システム

ZEISS テクノロジーと結合したマシンAI 機能付きで驚きの簡単操作

■ 特長ZEISS テクノロジーとの技術融合ドイツ、Carl Zeiss 社のコントローラMZ1070-IIと東京精密のハード

が結合したマシンです。

タッチパネル機能付きカラーLCD モニタを標準装備すべての機能がLCD モニ

タのカラーアイコンで表示

しており、初心者でも簡単

に操作が可能です。移動載

せ台（オプション）を使用

すれば、測定ポジションに

簡単に移動が可能です。

三次元座標測定機

仕 様

XYZAX RVF-A型式

測定範囲（mm）

最小表示量（mm）

測長スケール

測定精度

テーブル

測定物

各軸の案内方式

Z軸のプローブ質量

空気源

電源

本体寸法

本体質量（kg）

X軸（mm）

Y軸（mm）

Z軸（mm）

U1（μm）

U3（μm）

材質

使用範囲（mm）

床からの高さ（mm）

平面度

最大高さ（mm）

最大積載質量（kg）

供給圧力

空気消費量

電圧、消費電力

幅×奥行き×高さ（mm）

400

350

300

2.6＋4.0L/1000

3.0＋4.0L/1000

600×895

450

300

0.4～0.69MPa

990×895×2105

580

400A600

500

300

3.0＋4.0L/1000

4.0＋5.0L/1000

800×1045

450

400

0.4～0.69MPa

1190×1045×2105

770

600A800

600

600

1000×1250

750

600

1490×1250×2705

1200

800A800

1000

600

1000×1750

750

800

1490×1750×2705

1700

1000A

4.4＋4.5L/1000

5.4＋5.5L/1000

0.5～0.69MPa

0.00001

高精度モアレ縞スケール

はんれい岩

760

JIS1級

高剛性エアベアリング

0～1kgまでの200g毎に前面から交換可能

40NR/min（大気圧換算）

AC100V±10％、500VA

153

153

TP1

■ 電子プローブ

PH1-TP2

MIP

長時間測定でも疲れないアルミ合金採用X ガイドとZ 軸には、真直度を高精度に仕上げ、時効処

理と表面硬化処理を施したアルミ合金を採用。可動部の

質量が軽いため測定時の慣性が小さく、長時間の操作で

も疲れません。

高剛性のテーブル両側面ガイド方式（特許取得）Y軸は測定精度のベースとなるため、安定したガイド方式

が要求されます。測定機本体はテーブル側面を精密加工仕

上げし、バネ機構を用いたテーブル両側面ガイド方式を採

用。高剛性で安定した測定精度が長時間維持できます。

ツマミ操作によるスムーズな微動送りX ・Y ・Z 軸の調節ツマミは操作しやすい位置に配置。

0.5mm/1 回転のスムーズな微動送りは顕微鏡やITV カ

メラによる測定で特に威力を発揮します。

Z 軸にターミネートスイッチを標準装備（特許出願中）測定・ターミネート・中間点の操作スイッチを自由に選

択でき、手元操作が可能です。Z 軸から手を離さずに測

定を続けることが可能です。

データ処理装置用縦型ラック（オプション）コンピュータをコ

ンパクトなラック

に収納することで

省スペース化が可

能です。

154

三次元座標測定機

三次元座標測定機

ソフトウェア　〉〉〉

CONTURA

PRISMOシリーズ

UPMC-CARAT

SVA-A

RVF-A

標準ソフトウェア オプションソフトウェア測定機

標準ソフトウェア オプションソフトウェア測定機

CAD I/Fオプション穴パターンベストフィットネジ穴測定オプションCalypso-CURVECURVE ASCII入出力Calypso-TIMS変換IGES/DXF変換DIMENSIONHYPER STATIS

HOLOS-NT2.0- Light Plus- Extension- GEO- DigitizeTESCART32 Calypso-CURVE(手動)Calypsoテキストデータ出力PH9/10リスト校正オプション

幾何偏差オプション位置偏差ベストフィットネジ穴測定オプション内外接円オプション四則演算オプションTESCHARTDMIS対応

形状測定プログラム- 手動測定- 自動測定- 評価機能

中国語表示

CAD I/Fオプション穴パターンベストフィットネジ穴測定オプションCalypso-CURVECURVE ASCII入出力Calypso-TIMS変換IGES/DXF変換DIMENSIONHYPER STATIS

HOLOS-NT2.0- Light Plus- Extension- GEO- DigitizeTESCART32 Calypsoテキストデータ出力DMISポストプロセッサ

形状測定 KUM/LX歯車測定 GON/LXDIMENSIONHYPER STATISネジ穴測定オプションKUM-TIMS変換IGES/DXF変換DMISポストプロセッサデータ転送プログラム(DCOM)

HOLOS-NT2.0- Light Plus- Extension- GEO- DigitizeTESCART32

ベベルギア測定 Bevel-Pro (RT必須)歯車測定 Involute-Pro (RT必須)

Calypso

UMESS/LX

Calypso

XYANA2000

■ソフトウェア構成

三次元座標測定機

155

■TEXTデータ出力オプションプログラム（Calypso）

測定結果をEXCELへ取り込むため、TAB形式でテキストファイルに出力します。EXCELのTAB区切りで読み込むとセルにデータが取り込まれます。

テキストファイル

3次元CAD

IGESファイル CATIAファイル

VDAFSファイル Pro-Engineer ファイル

STEPファイル Unigraphics ファイル

SATファイル IDEASファイル

Calypso

●CalypsoはドイツのCarl Zeiss社によって開発された先進のソフトウェアです。Windows2000／NT上で動作し、新しい測定環境を提供します。

●優れたグラフィック機能およびAI機能（要素自動判別、座標系自動設定）が標準装備されています。

●CADデータ（IGES、VDAFS、STEP、SAT、CATIA、Pro-En-gineer、Unigraphics、IDEAS）を取り込み、CAD要素上で測定手順作成（簡易オフラインティーチング）が可能です。（オプション）

■多彩なプリントアウト

■CADデータの取り込み

■AI機能

判定項目の入力を行なわずに直接プロービングして測定することにより幾何形状を自動的に認識します。

安全退避面、補助退避面、測定点数やプロービング戻り距離の条件により、測定パスを自動生成します。迂回点やプロービング点は測定要素内や測定要素間で任意に指定できるため、より最適な測定パスを測定者が作成できます。

三次元座標測定機 ソフトウェア

■汎用測定プログラム：Calypso

■測定パス自動生成

3次元CADモデルを読み込み、ウィンドウ上で操作可能です。（自由曲面測定プログラム：HOLOSも同様です）

■TESCHART：検査表作成プログラム

測定結果をEXCELへ取り込み、検査成績書を作成するアドインプログラム。公差判定／図形の挿入／グラフの作成が容易LAN／FDによるファイル転送が可能CalypsoおよびXYANA2000のデータ利用可能

測定データ（テーブルファイル）

LAN-FD

Calypso

XYANA2000

TESCHART

（EXCEL97/2000）

測定データをデータベース化して編集・統計処理を行なうことができます。

■HyperStatis：統計処理プログラム

Hyper Statis（ハイパースタティス）で作成した表およびグラフは、ExcelおよびWordへ貼り付けが可能です。Excel、Wordを使って、自由な書式で統計値出力可能。Excelへの簡単エクスポート機能。リアルタイム解析。自動出力（印刷）処理。

156

三次元座標測定機

三次元座標測定機

ソフトウェア　〉〉〉

HOLOSは、未知の自由曲面のデジタイジングおよびCADモデル等の設計値がある自由曲面の測定と比較評価を行なうことができます。

座標系の設定は、三次元ベストフィット機能で行なうことができます。

■HOLOS：自由曲面測定・デジタイズプログラム

豊富なグラフィック機能により、測定データとCADデータとの照合が容

易です。測定結果を直感的に評価できます。

●HOLOSを使用する効果・メリット（1）

エッジ測定評価 標準幾何要素評価

断面評価、部分ビュー表示

カラーマップ

クロマチック

タグ

測定→結果出力→解析・判定→再測定フィードバックがリアルタイムで

可能になります。

●HOLOSを使用する効果・メリット（2）

デジタイズ機能

点群データからCADに必要な面を作成します。

※ 別置3D-CADシステム で測定結果（数値羅列） をグラフィック表示し判定 と設計値作成を行う。

従来システム HOLOSシステム

測定室

解析室

測定

END

結果出力 ファイル

外部システム （CAD）

解析・判定

設計値作成

中間ファイル・ プログラム

NG部を厳密 に再測定

測定室

解析・判定

測定

END

※ 測定メーカーのシステムとしてパッケージ化 したことにより測定結果をその場で判定でき、 再測定へのフィードバックが即座に可能に なりました。

CADデータインポート CADモデル上で測定点定義 測定パス自動生成・ 測定シミュレーション

評価

測定

＊：Calypso I/FでCADのライセンスが必要です。　※CATIA Direct I/Fはオプションです。

ProE* , UG*

IDEAS* , STEP

Calypso

I/F

HOLOS

SAT I/F

CATIA

HOLOS

CATIA

Direct

I/F

HOLOS

IGES

I/F

HOLOSモデル

HOLOS

VDA

I/F

IGES VDAFS

157

三次元座標測定機

点、線、面、円、楕円、円筒、円錐、球 等の基本的幾何要素をマニュ

アルまたは自動で測定し、寸法、位置等の評価、出力を行ないます。

■UMESS：汎用測定プログラム

測定結果表示例

真円度、平行度、位置度、直角度、同軸度等も評価可能です。アイコン

による処理選択方式で、初心者にもわかりやすい操作環境を提供します。

既知／未知の輪郭形状測定および設計値照合を行ないます。測定データ

は、設計値との法線方向誤差として出力します。また、基準ずれ等によ

る誤差の偏りがある場合、2次元ベストフィットにより、不適切な測定

基準の誤差を取り除いて形状の評価を行なうことができます。

■KUM：形状測定プログラム

設計値照合

スクロールのスキャニング測定

スクロール底面の平面度

インボリュート歯型の平歯車、はずば歯車の測定と評価を行ないます。

歯車の諸元データを入力するだけで、自動測定が可能です。本プログラ

ムはロータリーテーブル無しでも測定できます。

■GON：インボリュートギア測定プログラム

歯車測定

トポグラフィ解析

・グラフィカルユーザインターフェイスの採用。 ・諸元入力等のビジュアル化で、操作性向上。 ・ＣＡＤモデルの利用 ・測定シミュレーションの実行（オフライン機能）

Gear-PRO

158

三次元座標測定機

三次元座標測定機

ソフトウェア　〉〉〉

KUM,Calypso-Curveの測定データを輪郭解析ソフトウェア（TIMS変

換プログラム）の機能を用いて評価することができます。

■TIMS変換プログラム

〈PRISMOによる測定例〉厚さ1.0mmの鍵を直径0.6mmプローブでスキャニング測定（未知形状スキャニング）

解析結果

任意の面上をプロービングして得た不規則な測定データから、規則的な

点列データや面の生成ができます。DIMENSIONは、未知の自由曲面の

数値化（デジタイジング）に威力を発揮し、リバースエンジニアリング

に有効です。

■DIMENSIONプログラム

■オフラインティーチングプログラム

多彩な編集機能搭載・トリムドサーフェス・フィレット生成・COPからの曲面生成・自由曲面の分割・拡張・HOLOSとのデータ共有化

オブジェクト COP（点群） NURBS面

レンダリング表示 CADモデル（フェイス） トリミングカーブ

DMIS

DMIS

プラス

CMM制御（eM-Inspector)

オフラインティーチングシステム （Cimstation Inspection)

3D-CAD+オフラインティーチングシステム （eM-probeCAD)

DMISポストプロセッサ

DMISポストプロセッサ

Calypso ZVIプログラム

159

三次元座標測定機

三次元座標測定機に搭載できる各種プローブ

仕 様

VAST XT VAST HSS型式

測定方式

スタイラス最大重量（g）

スタイラス最大長さ（mm）

先端チップ最小径（mm）

対応機種

スキャニング/ポイント

400

300

1.0

PRISMO Vario , CONTURA

スキャニング/ポイント

600

600

0.5

PRISMO HTG/S-ACC, （CenterMax）

スキャニング/ポイント

600

600

0.3

UPMC , MMZ

※DT（Dyna Touch）プローブは、スキャニングプローブVAST XTプローブへのアップグレード対応が可能です。 ※DTプローブのスタイラス最大重量・最大長さ・先端チップ最小径はVAST XTプローブと同等です。

仕 様

DT(Dyna Touch)型式

測定方式

対応機種

ポイント

PRISMO Vario , CONTURA

RDS/RST

ポイント

PRISMO , Carmet , SMC

PTS30

ポイント

RVA-A , SVA-A

レニショー

ポイント

RVA-A , （RVF-A）

仕 様

ViScan型式

対応機種 PRISMO Vario

DTS

PRISMO Vario

EagleEye

SMC

LTP 60

SMC

温度センサ

PRISMO , CenterMax

高精度アクティブスキャニングプローブ

ポイント測定プローブ

非接触式プローブ/温度センサ

三次元座標測定機

プローブ　〉〉〉

名 称 ボールフィーラ ボールフィーラ M2-M5間継手

形　　　　　　状

数　量

1 4 1 4 2 2 2 2 1

C2

C1

1 4 1 4 2 2 0 2 1

C3 0 0 1 1 1 1 0 1 0

図 番 78011 78016 78131 78136 78126 78141 78146 78151 74001

名 称 スイベルジョイント 直角ジョイント 360°回転ジョイント 90°回転ジョイント

形　　　　　　状

数　量

1 2 1 1 1 4 2 1 1

C2

C1

1 1 0 0 1 1 1 1 1

C3 0 1 0 0 1 1 1 1 0

図 番 78021 78056 74003 2689 78156 78061 78066 78071 78076

三次元座標測定機

各種プローブ　〉〉〉

三次元座標測定機

160

PTS-30 仕様測 定 方 向 ±X、±Y、±Z

繰 り 返 し 精 度 標準偏差σ＝0.5μm以内

測 定 力 約0.01N（1gf）

測 定 速 度 1～50mm/s

最大フィーラ長さ 200mm

最大フィーラ質量 300gf

構成品･プローブ本体（PTS-30）

･格納箱

･取扱説明書

･信号用アダプターケーブル

作動原理フィーラがワークに接触すると、測定力1gf（0.01N）

でセンサが検出信号を出します。このときほぼ同時に、

接点による確認信号が出てはじめて、センサの検出信

号が有効であると判断します。

したがって、検出信号と確認信号の両方が出たときに

限り、信号を測定データの座標値として読み込みます。

■フィーラセット C1、C2、C3 フィーラの組み合わせでC1、C2、C3の3種類のセット。PTS-30用フィーラセットです。特注品も製作いたします。

C1・C2には、ルビーボールφ2・φ4・φ8が各2ケと接着剤が付きます。C1・C2・C3には、フィーラ交換治具・六角レンチ・格納台が付きます。

プローブ番号

CM92204

●あらゆる方向から高精度測定が可能プローブの機構に方向性がなく、高感度センサ内蔵によりわずか1gfの測定力で、瞬時に高精度で読み取ります。

●取り付けフィーラは組み合わせ自由最長200mm、最大質量300gまでの間で、自由にフィーラを組み合わせて、多様なワークの形状に適合させることができます。

●フィーラのバランス調整を装備バランス調整が付いていますので、自由に組み合わせたフィーラの重量バランスを的確に調節することができます。

■高精度タッチトリガープローブ PTS-30

エクステンション

■低測定力電子プローブ TS-2

■低測定力特殊電子プローブ

プローブ番号

68466

三次元座標測定機

161

TS-2 仕様測 定 方 向 ±X、±Y、＋Z

繰 り 返 し 精 度 標準偏差σ＝0.5μm以内

測 定 力 0.03N（3gf）

取 付 姿 勢 鉛直方向、下向きで使用

移 動 速 度 20mm／s以内

構成品･プローブ本体（TS-2）

･φ2，φ5ボールフィーラ　各1本

･フィーラ交換工具

･格納箱

･取扱説明書

TS-2で標準フィーラ以外のものを希望されるときは、

お問い合わせ願います。

低測定力特殊電子プローブ 仕様繰 り 返 し 精 度 標準偏差σ＝0.001μm以内

測 定 力 0.01～0.04N（1～4gf）

本プローブは、お打ち合わせの上、製作いたします。

三次元座標測定機

各種プローブ　〉〉〉

三次元座標測定機

162

■電子プローブ PH10T＋TP2

PH10T 仕様水平面回転角度 ±180°（7.5°ステップ　48ポジション）

垂直面回転角度 0～＋105°（7.5°ステップ　15ポジション）

TP2 仕様測 定 方 向 ±X、±Y、＋Z

繰 り 返 し 精 度 標準偏差2σ＝0.35μm以内

測 定 力 約0.07～0.15N（7～15gf，プローブ軸心に垂直方向）

約0.4N（約40gf，プローブ軸心方向）

構成品･プローブヘッド （PH10T）

･プローブヘッドコントローラ （PHC10-2）

･プローブヘッドドライバ （HCU1）

･電子プローブ （TP2）

･φ4ボールフィーラ

･格納箱

･取扱説明書

■電子プローブ PH10T＋TP20／ＴＰ200

PH10T 仕様水平面回転角度 ±180°（7.5°ステップ　48ポジション）

垂直面回転角度 0～＋105°（7.5°ステップ　15ポジション）

TP20 仕様測 定 方 向 ±X、±Y、＋Z

繰 り 返 し 精 度 標準偏差2σ＝0.35μm以内（長さ10mmフィーラ時）

測 定 力 約0.08N（8gf，プローブ軸心に垂直方向）（SFモジュール時） 約0.7N（約70gf，プローブ軸心方向）

TP200 仕様測 定 方 向 ±X、±Y、＋Z

繰 り 返 し 精 度 0.40（50mmスタイラス）

測 定 力 約0.02N（2gf，プローブ軸心に垂直方向）（SFモジュール時） 約0.15N（15～35gf，プローブ軸心方向）

構成品･プローブヘッド （PH10T）

･プローブヘッドコントローラ （PHC10-2）

･プローブヘッドドライバ （HCU1）

･電子プローブ （TP20）→SFモジュール：2ヶ付

（TP200）→SFモジュール：1ヶ付

･φ4ボールフィーラ

･格納箱

･取扱説明書

■ PH10T＋TP20＋MCR20システムPH10T＋TP200＋SCR200システム

■PH10T用軽量エクステンションバー

モジュールチェンジャーラック（MCR20）スタイラスチェンジャーラック（SCR200）どちらも最大6個のプローブモジュールが格納できます。

PEL3：L＝200

PEL2：L＝100

PEL1：L＝50

セットの場合は格納箱と

スパナセットが付属します。

※図はSCR200チェンジャーラックです。

構成･MCR200

モジュールチェンジャーラック：MCR20

SFモジュール：2ヶ

設置用キット

アライメント測定用スタイラス

･SCR200

スタイラスチェンジャーラック：SCR200

接続ケーブル（10m）

SFモジュール：3ヶ

設置用キット

アライメント測定用スタイラス

プローブ番号

CM99907-D002

プローブ番号

CM99907-D003

■電子プローブ PH10M＋TP2

PH10M 仕様水平面回転角度 ±180°（7.5°ステップ　48ポジション）

垂直面回転角度 －0～＋105°（7.5°ステップ　15ポジション）

TP2 仕様測 定 方 向 ±X、±Y、＋Z

繰 り 返 し 精 度 標準偏差2σ＝0.35μm以内

測 定 力 約0.07～0.15N（7～15gf，プローブ軸心に垂直方向）

約0.4N（約40gf，プローブ軸心方向）

構成及び詳細についてはお問い合わせ願います。

■PH10M＋ACシステム

PH10Mオートチェンジラック最大8個のプローブ、エクステンション、

その両方を組み合わせたものが格納できます。

構成品及び詳細についてはお問い合わせ願います。 三次元座標測定機

163

区 分 ボールフィーラ ディスクフィーラ

形　　　状

名 称 PS10R

図 番 64031

PS9R

64032

PS8R

64033

PS1R

64034

PS12R

64035

PS13R

64036

PS14R

64037

PS15R

64038

PS23R

64039

PS2R

64040

PS16R

64041

PS17R

64042

PS3R

64043

PS4R

64044

PS22R

64045

区 分 星形フィーラ その他フィーラ エクステンションバー スイングジョイント 5方向ジョイント

形　　　状

名 称 PS7R

図 番 64046

PS6R

64047

PS18R

64048

PS19R

64049

PS20R

64050

PS21R

64051

SE7

64052

SE4

64053

SE5

64054

SE6

64055

SK2

64056

SC2

64057

■電子プローブTP2／TP20／TP200用フィーラ フィーラセット、エクステンションセットも用意しています。（次ページ参照）その他特注品も製作いたします。

三次元座標測定機

各種プローブ　〉〉〉

三次元座標測定機

164

プローブ番号

CM92203

■電子プローブ PH1＋TP2

PH1 仕様水平面回転角度 360°（15°ステップ）

垂直面回転角度 ±115°

TP2 仕様測 定 方 向 ±X、±Y、＋Z

繰 り 返 し 精 度 標準偏差2σ＝0.35μm以下

測 定 力 約0.07～0.15N（7～15gf，プローブ軸心に垂直方向）

約0.4N（約40gf，プローブ軸心方向）

構成品･プローブヘッド （PH1）

･電子プローブ （TP2）

･φ4ボールフィーラ

･格納箱

･取扱説明書

■電子プローブTP2/TP20/TP200用フィーラセット ■電子プローブTP2/TP20/TP200用エクステンションバーセット

格納台もご用意してあります。

また、フィーラセット、エクステンションセット、格納台を含めたセットも用意してあります。

その他のフィーラーは前ページ参照。

形　　　状

名 称 PS23R

図 番 64039

PS2R

64040

PS17R

64042

形　　　状

名 称 SE7

図 番 64052

SE4

64053

SE5

64054

SE6

64055

プローブ番号

68274

■電子プローブ TP1(S)

TP1（Ｓ） 仕様測 定 方 向 ±X、±Y、＋Z

繰 り 返 し 精 度 標準偏差2σ＝0.5μm以内

測 定 力 約0.1～0.5N（10～50gf，プローブ軸心に垂直方向）

約0.4～2.5N（約40～250gf，プローブ軸心方向）

構成品･電子プローブ 〔TP1（S）〕

･φ2，φ5ボールフィーラ 各1ケ

･スタイラスアダプター （SA7）

･格納箱

ボールフィーラ 星形フィーラ

シリンドリカルフィーラ φ20ディスクフィーラ

φ5

φ4

φ4

φ3

φ3

φ2

φ2

φ1

φ1

φ0.7

φd

φ5

φ4

φ5

φ4.5

φ5

φ4.5

φ5

φ4.5

φ5

φ4.5

φ4.5

φD

φ4.5

64

50

－

20

15

8

7

5

3

3

R

－

－

64

29

64

31

64

－

64

31

31

L

29

75

75

40

75

42

75

41

75

42

42

H

40

60011

60009

60008

60007

60006

60005

60004

60003

60002

60001

フィーラ番号

60010

■電子プローブ TP1(S)用フィーラ

φ1

φ4

φ2

φd

φ4

－

φ4

φD

4

31

8

R

31

－

31

L

42

42

42

H

3307

3360

3308

フィーラ番号

単位：mm

単位：mm

フィーラ番号

68070

フィーラ番号

3361

三次元座標測定機

165

三次元座標測定機

各種プローブ　〉〉〉

三次元座標測定機

166

■ITVカメラシステム

■芯出し顕微鏡

仕様プローブ番号 7291 7296総 合 倍 率 20× 40×

対物レンズ 2× 4×

接眼レンズ 10× 10×

実 視 野 φ8mm φ4mm

作 動 距 離 67mm 41mm

視 野 像 正立像 正立像

基準Aに対する十字線中心の芯違い 0.01mm以内

付 属 品 格納箱

トランス

端面位置決め用ゲージ

本 体 質 量 約850ｇ

注）標準テンプレートの他に特別仕様として、破線仕様、

45°分割線付等もあります。

プローブ番号

40481 白黒システム

カラーシステム40568

プローブ番号

7291

7296

白黒ITVカメラシステム カラーITVカメラシステム

総 合 倍 率

作 動 距 離

視 野 像

カ メ ラ

電子ライン

モ ニ タ ー

照 明 装 置

消 費 電 力

約50×（約100×）

55mm（29mm）

正立像

高解像CCD白黒カメラ 高解像CCDカラーカメラ

垂直2本、白黒2本

9型白黒モニタ 9型カラーモニタ

光ファイバ照明装置50W（可変）

光ファイバ照明装置100W（可変）

78W 160W

注）（ ）は、芯出し顕微鏡7296を使用した場合です。

■ボールプローブ

φ 3

φ 2

φ 1

φd

φ12

φ12

φ12

φD

3

2

2

R

65

65

65

L

115

115

115

H

4008

2114

4174

プローブ番号

φ 5 φ12 6 65 115 4290

φ10 φ12 25 65 115 4050

φ10 φ9.5 － 72 122 0845

単位：mm

■シリンドリカルプローブ

φ 3

φ 2

φ 1

φd

φ12

φ12

φ12

φD

6

5

3

R

65

65

65

L

115

115

115

H

3354

3345

3338

プローブ番号

φ 5 φ12 10 65 115 3104

φ10 φ12 40 65 115 3355

単位：mm

■ディスクプローブ

φ30

φ20

φ10

φd

φ18

φ14

φ 7

φD

1.5

1.5

1.5

R

130

100

40

L

180

150

90

H

3358

3357

3356

プローブ番号

φ40 φ28 1.5 160 210 3359

単位：mm

■テーパプローブ

φ18～φ28

φ10～φ20

φ 2－φ14

φd～φd1

30

30

42

R

32

32

44

L

82

82

※94

H

0453

0452

0451

プローブ番号

φ26～φ36 30 32 82 0454

φ34～φ44 30 32 82 0455

φ42～φ52 30 32 82 0456

φ50～φ60 30 32 82 0457

φ58～φ68 30 32 82 0458

φ66～φ76 30 32 82 0459

単位：mm

三次元座標測定機

167

三次元座標測定機

各種プローブ　〉〉〉

三次元座標測定機

168

■スイングプローブ

■スイングプローブB

■スイングプローブ用フィーラ

ボールフィーラ

シリンドリカルフィーラ

ディスクフィーラ

プローブ番号

7071

φ 3

φ 2

φ 1

φd

3

2

2

R

4303

4302

4301

φ 5 6

50

50

50

50

58

58

58

58

L H

4305

φ10 40 50 58 4310

φ 3 10 100 108 4253

φ 5 20 110 118 4280

φ10 100 120 128 4198

単位：mm

φ2

φ1

φd

φ14

φ14

φD

5

3

R

50

50

L

58

58

H

3372

3371

フィーラ番号

単位：mm

フィーラ番号

3349

フィーラ番号

プローブ番号

10086

■ボール原点ブロック ■スクエア原点ブロック

■ライザーブロック

番　　号

7021

番　　号

3182

番　　号

10372

注）2ヶ1組。薄物ワークの下に敷くスペーサです。

材質：FC20

注）2ヶ1組。薄物ワークの下に敷くスペーサです。

材質：はんれい岩

注）ワーククランプ可能高さ 8～40mm。小物ワークの固定用に便利です。材質：SS41

三次元座標測定機

169

番　　号

10311

番　　号

CM99901-D005