改質

接合

洗浄

エキシマランプ光源

エキシマランプ光源

80°

15°

■各種材料の表面改質

■樹脂の表面改質

エキシマ光 照射前 エキシマ光 照射後

TLS B0019JA

例: ポリフェニレンサルファイド（PPS） + ポリオレフィン（PO）

TLS B0013JA

0

10

20

30

40

50

60

70

80

90

100

純水の接触角 (°)

ポリプロピレン

ガラスエポキシ

ポリエチレン

ＰＥＴ

ＣＯＰ

ポリイミド

ＰＰＳ

アクリル

ＰＶＡ

ポリカーボネート

ＴＡＣ

処理前処理後

照射距離: 2 mm照射時間: 10秒照射雰囲気: 大気

3

2

1

0

接着強度

エキシマ光による処理前 エキシマ光による処理後

約3倍向上

1

O3 O(1D) O3O2 O3 + O(1D)

O(1D) O3

真空紫外光（波長 172 nm）

大気中

エキシマランプ

樹脂材料C C C C

H H H H

H H H H

波長172 nmの真空紫外光によりオゾンと活性酸素が大量に生成。

C C C C

H H H H

H H H H

同時に真空紫外光により材料表面の結合を切断。

2O3 O(1D) O3 O(1D) O3

C C C C

OH O OH COOH

H H H H

化学反応により未結合手に機能性に寄与する官能基が形成され、材料表面に親水性を付与。

反　　　応

原　理

表面改質技術は幅広い産業分野で利用されています。そのなかでエキシマランプを用いた改質は原子・分子レベルの化学反応によるものであるため、従来の方法と比べ精密な改質といえます。また、材料への損傷がなく、粉塵の発生のないクリーンな改質が可能なため、より高度な改質が必要とされる分野において有効な技術と考えられています。

改質実　績

※弊社検証データ

■接着の前処理（接着性向上）

「光」で広げる！ 「改質」・「洗浄」・「接合」の可能性

■レーザ用Au蒸着ミラーの洗浄

エキシマ光 照射前 エキシマ光 照射後

エキシマランプから放出される波長172 nmの真空紫外光は、酸素に対する吸収係数が大きいため高濃度の活性酸素を生成できます。また、有機物の分子結合切断能力に優れています。そのため、高い洗浄能力を有しており、洗浄速度の向上、洗浄品質の向上、歩留まり向上などさまざまな工程におけるメリットを実現します。

マイクロ流体デバイスが医療・バイオ分野をはじめ、さまざまな分野で実用化されるなかで、使用される接合技術にも構造の微細化に伴い、より高品質・高精度な接合方法が求められてきています。エキシマランプによる接合は、接着剤不要、ダメージレス、熱変形のない接合方法であるため、マイクロ流体デバイスの接合に最適です。

■アセトン洗浄残りの除去

エキシマ光 照射前 エキシマ光 照射後

接合

O3 O(1D) O3 O(1D) O3

真空紫外光（波長 172 nm）大気中

エキシマランプ

有機汚れ基板

波長172 nmの真空紫外光によりオゾンと活性酸素が大量に生成。

O2 O3 + O(1D)

同時に真空紫外光により有機汚れの化学結合を切断。

1O3 O(1D) O3 O(1D) O3

オゾン・活性酸素が切断された有機汚れと反応して、二酸化炭素や水分等として揮発。

H2OCO2

H2OCO2

反　　　応

2原　理

洗浄

実　績※弊社検証データ

エキシマランプ光源

特長

エキシマランプ方式

ダメージ

エキシマランプ

エキシマランプ

電　極粉塵

電　極

※処理効果を紫色で示した場合

コロナ放電方式プラズマ方式

エキシマランプ方式

放電

真空紫外光

ダメージレスコロナ放電／プラズマ方式は放電を直接対象物に当てるため、ダメージが発生してしまいますが、エキシマランプ方式は真空紫外光の照射のみであるためダメージはほとんど発生しません。

粉塵が出ないコロナ放電／プラズマ方式は電極のスパッタによる粉塵の発生や、送風による粉塵の舞い上がりにより、対象物に粉塵が付着してしまうことがあります。エキシマランプ方式はそれらの問題を解消しクリーンな処理を可能にします。

処理ムラがない光を利用するエキシマランプ方式では、放電を利用するコロナ放電/プラズマ方式のような照射ムラは発生しません。エキシマランプ方式は大面積で均一な高い処理効果を実現します。

放電

真空紫外光

他方式との比較

コロナ放電方式 / プラズマ方式

エキシマランプ方式 コロナ放電方式 / プラズマ方式

エキシマランプ方式 コロナ放電方式 / プラズマ方式

処理ムラ

ランプ中心直下しか近接できないユニフォミティが良くない

他社製円筒型ランプ

面全体で近接可能ユニフォミティが良い

浜松ホトニクス製平面型ランプ

ユニフォミティ特性（短軸方向）平面型ランプ vs. 円筒型ランプ 照射強度分布（代表例）

平面型ランプの採用により、大面積で均一な照射を実現

RF*放電の採用により、ちらつきの少ない安定した出力を実現

電源のオートチューニング機能により、高効率な点灯を実現

NOTE: * RF: Radio Frequency（高周波）

172 nmの単一波長で、効率の良い処理が可能

瞬時点灯／消灯が可能

RF放電 誘電体バリア放電

RF放電 vs. 誘電体バリア放電

誘電体（ガラスなど） 外部電極

マイクロプラズマ放電

糸状の放電で発光ムラがある

誘電体（ガラスなど） 外部電極

グロー放電

均一な放電で発光ムラがない

-20

-15

-10

-5

0

5

10

20

15

0-5-10-15-20

ランプ中心からの距離 (mm)

ランプ中心からの距離 (mm)

25 30 35 402015105-25-30-35-40

他社エキシマランプとの比較

-20 -150

10

20

30

40

50

60

70

80

90

100

-10 -5 0 5

ランプ中心からの距離 (mm)

相対光出力

(%

)

10 15 20

紫外線積算光量計 : 弊社製 C9536/H9535-172ランプーUVパワーメータ間距離 : 5 mm測定雰囲気 : 大気中

●小型平面型ランプ（EX-86U, EX-mini）　実寸サイズ

紫外線積算光量計 : 弊社製 C9536/H9535-172ランプ - UVパワーメータ間距離 : 5 mm測定雰囲気 : 大気中

80 %以上60 % – 80 %60 %以下

エキシマランプ光源

改質

接合

洗浄

接着性向上・材料への親水性の付与などの機能性向上が可能で、現在では幅広い分野や材料への利用が進んでいます。

光を当てるだけで洗浄可能なため、特にウェット洗浄不可な材料、熱によるダメージを受けやすい材料などに対して有効です。

光を用いた表面活性化による接合のため、ダメージレス、装置の小型化・コストダウン、プロセスの簡易化、任意の位置のみの接合を可能にします。

さまざまな素材のマイクロ流体デバイスに応用できます。

照射面

接合部分 試薬

サンプル

●デバイスの表面改質

●ガラス基板の洗浄

●マイクロ流体デバイスの接合

・印刷時 / コーティング時の密着性向上

・接着時の接着強度向上

・レジストの濡れ性向上

・樹脂、金属、ゴム等各種材料の濡れ性向上

・シリコンウェーハ / ガラス基板の洗浄

・レジスト残渣、接着剤残渣　有機膜、油汚れの除去

エキシマランプ光源

エキシマランプ光源

エキシマランプ光源

応用例

■マイクロ流体デバイスの　使用分野　・タンパク質／DNA解析　・創薬支援　・細胞実験　・化学モニタリング

■照射面サイズ 　86mm×40mm

驚きの手軽さにより、どこでも簡易的に精度の高い実験・評価をすることが可能となりました。

インラインインラインインラインインライン 長尺長尺大面積大面積長尺長尺大面積大面積

インライン

小型小型小型小型小型インラインインラインインラインインラインインライン

■照射面サイズ 　400mm×38mm

■照射面サイズ 　86mm×40mm

227

253

344

233

平面長尺ランプとRF（高周波）放電の採用により、大面積で均一な照射とちらつきの少ない安定した出力を実現しました。

小型軽量化・電源内蔵によるオールインワン化により、設置手間を解消し、設置場所を選ぶことなく、簡単に製造工程へ導入出来るようになりました。

より、どこどこど でで

小型小型小型小型小型

驚きの手の手手軽軽軽さにによ

R & DR & DR & DR & DR & D

オゾン分解ユニットはオプションです。

製品ラインアップ

（単位: mm）

（単位: mm）

質量: 4.8 kg

質量:エキシマランプ 220 gランプハウス 10.3 kg電源 12.4 kg

（単位: mm）

質量: 6.5 kg

700

110

（エキシマランプ+ランプハウス）

（電源）

390

187

長尺大面積

L11751-01　E12499　C13128

設置例

長尺長尺大面積大面積長尺長尺大面積大面積長尺大面積インラインインラインインラインインラインインライン

さらなる「均一性」を追求したエキシマランプ平面長尺ランプとRF（高周波）放電の採用により、大面積で均一な照射とちらつきの少ない安定した出力を実現しました。コロナ放電方式やプラズマ方式、他のエキシマランプに比べて、高精度・高品質な改質・洗浄・接合を可能にします。

AC 200 V ～ AC 240 V単相50 Hz / 60 Hz

※照射雰囲気ではオゾンが発生するため、お客様で設置例のように囲んだ上で排気ダクトを設置してください。

ランプハウス冷却用排気ダクト

オゾン排出用排気ダクト

エキシマランプ L11751-01エキシマランプ用ランプハウス E12499

エキシマランプ用電源 C13128

外部制御

エキシマランプ L11751-01

定格発光波長照射強度 1ランプ設計寿命動作 / 保存温度範囲動作 / 保存湿度範囲質量

180 W172 nm

65 mW/cm2

2000 h+5 °C ～ +35 °C / -25 °C ～ +55 °C

30 % ～ 80 % / 80 %以下（結露なきこと）220 g

項目 内容 / 値

エキシマランプ用電源 C13128

入力電圧 (AC)発振周波数高周波出力電力

消費電力

動作 / 保存温度範囲動作 / 保存湿度範囲制御方法質量

Typ.Max.

Typ.

200 V ～ 240 V、 単相50 Hz / 60 Hz約2 MHz180 W320 VA600 VA

+5 °C ～ +35 °C / -25 °C ～ +55 °C10 % ～ 80 % / 80 %以下（結露なきこと）

パネル制御 / 外部制御12.4 kg

項目 内容 / 値

適合規格

EMC規格

安全性規格

環境規格

IEC61326-1: 2013 グループ2 Class AIEC61010-1: 2010

IEC62471: 2008 リスクグループ2RoHS指令WEEE指令

項目 内容 / 値

エキシマランプ用ランプハウス E12499

照射面サイズ（W×H）冷却方法ダクト吸引風量 2動作 / 保存温度範囲動作 / 保存湿度範囲質量

400 mm × 38 mmダクト吸引による強制空冷

0.35 m3/min ± 0.08 m3/min+5 °C ～ +35 °C / -25 °C ～ +55 °C

30 % ～ 80 % / 80 %以下（結露なきこと）10.3 kg

項目 内容 / 値

1弊社製紫外線積算光量計 C9536/H9535-172で、ランプ直近にて　測定したと仮定して試算した値

2ランプハウス冷却用排気ダクトのダクト吸引風量です。

仕様 外形寸法図（単位： mm）

制御内容【パネル制御】・ランプ点灯 / 消灯・ランプ点灯積算時間の表示 / リセット・点灯信号・各種エラー信号、ライフ警告信号・内部制御 / 外部制御切替

【外部制御】・ランプ点灯 / 消灯・ランプ点灯積算時間の表示 / リセット・点灯信号・各種エラー信号、ライフ警告信号・インターロック

●エキシマランプ用ランプハウス E12499

●エキシマランプ用電源 C13128

付属品●ランプハウスケーブル（5 m） ●出力ケーブル（5 m） ●電源ケーブル（5 m） ●外部制御コネクタ（D-sub 25ピン）

TLSA0014JB

TLSA0015JB

400734

3811

05

160

10

180

700 202750

4-6.5 × 10

49

風量計

コネクタ（電源接続用）

照射面

底面図

側面図 背面図正面図

コネクタ（ランプハウス接続用）

208.

0 ±

0.5

310.0 ± 0.539.5

390 ± 2238 ± 1

187

± 1

9

電源入力コネクタ

外部制御端子（D-sub 25ピン）ランプ点灯スイッチ内部制御/外部制御切替スイッチ

電源スイッチ

ランプ点灯積算タイマー

L13129

小型小型小型小型小型インラインインラインインラインインラインインライン

スペース要らず、手間要らず、製造工程へ簡単導入小型軽量化・電源内蔵によるオールインワン化により、設置手間を解消し、設置場所を選ぶことなく、簡単に製造工程へ導入出来るようになりました。また、インラインにおける汎用性が高いため、既存ラインへの組み込みやライン移設など容易に行えます。

設置例

※照射雰囲気ではオゾンが発生するため、お客様で設置例のように囲んだ上で排気ダクトを設置してください。※設置環境／条件によっては、排気ダクト不要のオゾン分解ユニット E12685（オプション）が使用可能です。　ご希望の場合はご相談ください。

EX-86U

オゾン排出用排気ダクト

AC 100 V ～ AC 240 V

外部制御

照射面

仕様

外形寸法図（単位： mm）

発光波長照射強度①照射面サイズ（W× H）ランプ設計寿命②入力電圧（AC）消費電力冷却方式動作 / 保存温度範囲動作 / 保存湿度範囲制御方法質量

適合規格

EMC規格

安全性規格

環境規格

172 nm65 mW/cm2

86 mm × 40 mm2000 h

100 V ～ 240 V150 VA以下

ファンによる強制空冷+5 °C ～ +35 °C / -25 °C ～ +55 °C10 % ～ 80 % / 80 %以下（結露なきこと）

パネル制御 / 外部制御4.8 kg

IEC61326-1: 2013 グループ2 Class AIEC61010-1: 2010

IEC62471: 2008 リスクグループ2RoHS指令WEEE指令

項目 内容 / 値

①弊社製紫外線積算光量計 C9536/H9535-172 で、ランプ直近にて　測定したと仮定して試算した値。②リプレイスランプについては L12681 をご指定ください。

特長

●小型軽量●電源内蔵のオールインワン光源●AC 100 V ～ 240 V電源動作可能

型名ガイド

制御内容【パネル制御】 【外部制御】・マニュアル照射 / オート照射切替・ランプ点灯 / 消灯・ランプ点灯積算時間の表示 / リセット・照射時間の設定・設定照射時間の表示・点灯信号・各種エラー信号、ライフ警告信号

・マニュアル照射 / オート照射切替・ランプ点灯 / 消灯・点灯信号・各種エラー信号

POWER

AC INPUT

LAMPMODE

RS-232C

EXT. CONTROL

ON / OFFAUTO

MENU DOWM UP(D-sub 15ピン)

通信用コネクタ (RS-232C)

4-4.2 × 8

227 149

120

253

50

40

7071

86252

付属品・電源ケーブル（2 m）・外部制御コネクタ（D-sub 15ピン）

L13129-C□「□」部分の型名（電源ケーブル仕様別）1: 日本向け　2: 北米向け　3: 欧州向け　4: 中国向け　5: 英国向け7: タイ向け

TLSZA0046JA

Typ.

L12530-01

小型小型小型小型小型R & DR & DR & DR & DR & D

見たことのない、「驚き」の「手軽さ」を実現驚きの手軽さにより、どこでも簡易的に精度の高い実験・評価をすることが可能となりました。インライン向けエキシマランプ光源 EX-400 / EX-86U と同等のランプ性能を有するため、R&D向けエキシマランプ光源 EX-mini での評価結果をそのままインラインにいかすことができます。

た。

特長

●照射ボックスと一体型のオールインワン光源この1台があれば、照射ボックス等の設計が必要ないため、すぐに使用することができます。

●持ち運び可能な小型サイズ容易に持ち運びできるほどのサイズと重さで、設置場所や設置環境に制限されることがありません。

●照射時間の設定が可能照射時間を設定することで、正確な実験や評価と手軽さを実現します。

●インターロック、各種エラー信号など安全性の高い設計

●AC100V～240V電源動作可能

230

233

O2

O2

O3

O3 O3

O3

O2

オゾン

清浄な空気

●オゾン分解ユニット E12685（オプション）を使用す　ることで、室内に排気可能（排気ダクトが不要）排気ダクトの設置が必要ないため、どこでも手軽に使用することができます。EX-miniにコネクタ接続するだけで動作可能です。

外寸 (W×H×D)：136 mm × 109 mm × 115 mm（突起部は含まない。）質量： 約1.2 kg

※オゾン分解ユニットはオゾンのみを除去します。　対象の材質によっては照射することで有害物質が発生する可能性がありますので、その場合は排気ダ　クトをご使用ください。※オゾン分解フィルタの寿命は動作時間 2000時間もしくは納入後1年間としています。　リプレイスフィルタについては A12686をご指定ください。344

オゾン分解ユニットE12685

エキシマランプ光源L12530-01

内寸 (W×H×D): 204 mm × 118 mm × 139 mm（突起部は含まない。）※サンプル台（ジャッキ等）は付属しておりません。

1弊社製紫外線積算光量計 C9536/H9535-172で、ランプ直近にて測定したと仮定して　試算した値。2リプレイスランプについては L12681-02をご指定ください。3冷却用 / オゾン排出用排気ダクトのダクト吸引風量です。4排気ダクトもしくは、排気ダクト不要のオゾン分解ユニットE12685（オプション）を　ご用意ください。

発光波長照射強度 ①照射面サイズ (W × H)ランプ設計寿命 ②入力電圧 (AC)消費電力冷却方式ダクト吸引風量 ③④動作 / 保存温度範囲動作 / 保存湿度範囲制御方法質量

適合規格

EMC規格

安全性規格

環境規格

172 nm65 mW/cm2

86 mm × 40 mm2000 h

100 V ～ 240 V150 VA以下

ダクトまたはファンによる強制空冷0.25 m3/min ～ 0.35 m3/min

+5 °C ～ +35 °C / -25 °C ～ +55 °C10 % ～ 80 % / 80 %以下（結露なきこと）

パネル制御 / 外部制御6.5 kg

IEC61326-1: 2013 グループ2 Class AIEC61010-1: 2010

IEC62471: 2008 リスクグループ2RoHS指令WEEE指令

項目 内容 / 値

仕様 制御内容【パネル制御】 【外部制御】・マニュアル照射 / オート照射切替・ランプ点灯 / 消灯・ランプ点灯積算時間の表示 / リセット・照射時間の設定・設定照射時間の表示・点灯信号・各種エラー信号、ライフ警告信号

・マニュアル照射 / オート照射切替・ランプ点灯 / 消灯・点灯信号・各種エラー信号

外形寸法図（単位： mm）

TLSZA0036JA

操作パネル窒素(N2)導入口冷却ファン 48.

6

344230

233

10.5

81.5

ダクト接続口外部制御端子(D-sub 15ピン)

電源入力コネクタ

電源スイッチ

付属品・電源ケーブル （2 m）・外部制御コネクタ （D-sub 15ピン）・外部ファン短絡コネクタ

Typ.

エキシマランプ光源

Q3AA

Q4AA

Q5AA

Q2AA

照射雰囲気を囲む必要はありますか？

窒素（N2）パージは必要ですか？

強制空冷の排気レベルはどの程度ですか？

0.35 m3/min±0.08 m3/minのダクト吸引風量で排気を行ってください。付属の風量計の針が目印に入るように風量を調整してください（風量計にダンパーが付いているため、風量計側でも調整可能です）。

オゾン排出の排気レベルはどの程度ですか？

（エキシマランプ光源 EX-400 / EX-86U）

（エキシマランプ光源 EX-400 / EX-86U）

（エキシマランプ光源 EX-400）

お客様の製造工程における、照射雰囲気の体積や気密性が排気に大きく影響するため、規定はしていません。お客様で照射雰囲気が負圧になるように（オゾンが漏れないように）排気量を調整してください。

弊社エキシマランプ光源は基本的に窒素（N2）パージ不要です。ただし、照射距離が離れる場合（目安としては5 mm以上）は、窒素（N2）パージをした方が短時間で処理できます。

紫外線漏れ対策・オゾン排気のために、照射雰囲気を囲む必要があります。照射雰囲気を囲むカバー材質は劣化が少ないSUS、アルミを推奨します。また、照射雰囲気内の様子を見たい場合はガラスを使用して、窓を設置してください。

エキシマランプ光源以外に必要なものはありますか？Q1

※オプションのオゾン分解ユニット E12685を使用すれば、排気ダクトは不要。

AA電源と排気ダクトが必要です。冷却水については、空冷方式のため不要です。

ランプハウス冷却用排気ダクト

目印

EX-400 EX-86U

オゾン排出用排気ダクト

拡大

Q & A

・AC 200 V ～ AC 240 V 単相・ランプハウス冷却用 排気ダクト・オゾン排出用 排気ダクト

・AC 100 V ～ AC 240 V・オゾン排出用 排気ダクト

・AC 100 V ～ AC 240 V・オゾン排出用 排気ダクト※

EX-86U EX-miniEX-400

Q8AA

改質の処理効果の持続時間はどのくらいですか？

材料によりますが、処理後の経過時間とともに元に戻っていく傾向があります。

Q9AA

照射対象物への熱影響はありますか？

照射対象物への熱影響はほとんどありません。【参考】 エキシマランプ光源 EX-400の場合：ランプ-サンプル間距離 2 mmにおいて、 1分間照射で 36 ℃、10分間照射で 58 ℃

（ポリエチレン（PE）板表面温度を熱電対により測定）

Q10AA

オゾンに関する使用基準等はありますか？

作業環境基準 ： 0.1 ppm以下（1日8時間、週5日労働）作業環境基準は、日本産業衛生学会が勧告した基準であり、法規制ではありません。

Q11AA

エキシマランプ光源使用にあたり法的義務はありますか？

エキシマランプ光源 EX-400 に限り、電波法に基づき、高周波利用設備の設置に関する届け出を所轄の総合通信局に提出することが義務付けられています。また、許可を得た設備を変更（増設、廃止、設置場所の変更）する場合にも手続きが必要となります。

Q7AA

改質・洗浄における材料の制限はありますか？

改質については、材料に関わらず一定の効果が見込めます。洗浄については、有機物は分解・除去できますが、無機物は取り除くことができません。

※フッ素を含有する材料（フッ素樹脂、フッ素含有ガスなど）に真空紫外光を照射すると、発生する分解生成物によってランプに悪影響を及ぼす可能性がありますので、フッ素を含有する材料への照射は行わないでください。

Q6AA

エキシマランプ光源使用における注意事項はありますか？

エキシマランプ光源と照射対象物との距離を近づけてください（推奨は5 mm以内）。距離が離れるほど、真空紫外光が酸素に吸収されてしまい、所望の効果が得られるまでの照射時間が長くなります。

エキシマランプ光源

TLSZ1027J06DEC. 2019 IP(500)

弊社は立会い実験、サンプル預かり実験を無償にて行っております。また貸出機もご用意しておりますので、ご要望の方は電話または弊社ホームページよりお問合せください。（日程などの詳細につきましては、お気軽にご相談ください。）

各 種 実 験貸 出 機ご 案 内

●本資料の記載内容は2019年12月現在のものです。製品の仕様は、改良等のため予告なく変更することがあります。

■関連製品

■製造工程支援製品

●紫外線積算光量計 C9536／H9535-172フィルタレスで特定波長の紫外光を直接検出でき、絶対値光量管理（mW/cm2）を可能にする紫外線積算光量計です。センサヘッドを分離させ、ベルトコンベアに流しての計測やケーブルの取り回しが困難な場所での計測も可能です。

●リニア照射型UV-LEDユニット　LIGHTNINGCUREⓇ LC-L5GUVコーティング剤乾燥・UVインク乾燥・UV接着に最適なリニア照射型UV-LED光源です。高出力・小型軽量で、また空冷方式の採用により、チラー設備や排気ダクト工事不要のため、初期導入費削減と省スペース化に貢献します。

●UV-LEDスポット光源　LIGHTNINGCUREⓇ LC-L1V5UV接着に最適なスポット照射型UV-LED光源です。余分なスペースを最小限に抑制したことにより、4ヘッド独立駆動でありながら手のひらに乗るほどの小型軽量を実現しました。

●搬送機エキシマランプ光源 EX-400の搬送機です。ご希望の仕様・形状がございましたら、お気軽にご相談ください。

高周波利用設備申請についてエキシマランプ光源 EX-400は、電波法に基づき、高周波利用設備の設置に関する届け出を所轄の総合通信局に提出することが義務付けられておりますので、速やかに手続きを行ってください。また、許可を得た設備を変更（増設、廃止、設置場所の変更）する場合にも手続きが必要となります。

WEB SITE www.hamamatsu.com

□電子管営業推進部 　〒438-0193　静岡県磐田市下神増314-5　TEL (0539)62-5245 FAX (0539)62-2205

□仙台営業所 　〒980-0021 仙台市青葉区中央3-2-1（青葉通プラザ 11階）□筑波営業所 　〒305-0817 つくば市研究学園5-12-10（研究学園スクウェアビル7階）□東京営業所 　〒105-0001 東京都港区虎ノ門3-8-21（虎ノ門33森ビル5階）□中部営業所 　〒430-8587 浜松市中区砂山町325-6（日本生命浜松駅前ビル）□大阪営業所 　〒541-0052 大阪市中央区安土町2-3-13（大阪国際ビル10階）□西日本営業所 　〒812-0013 福岡市博多区博多駅東1-13-6（竹山博多ビル5階）

TEL (022)267-0121 FAX (022)267-0135TEL (029)848-5080 FAX (029)855-1135TEL (03)3436-0491 FAX (03)3433-6997TEL (053)459-1112 FAX (053)459-1114TEL (06)6271-0441 FAX (06)6271-0450TEL (092)482-0390 FAX (092)482-0550