42 キヤノンアネルバ株式会社　真空機器総合カタログ　Vol.8.9

エクセルポンプ極高真空対応スパッタイオンポンプ

■特長1. UHV､XHV 領域での高い排気能力低い圧力領域での放電特性を改良した新開発のポンプ素子と、NEGモジュール（オプション）の使用により、実用的に10－10Pa台を実現します。

2. 小型、軽量従来の110L/sノーブルポンプに比較して、40％のサイズダウンです（125L/sエクセルポンプ）。吸気口フランジも「φ152ICF（φ4″）」にサイズダウンしています。

■概要近年、加速器分野や半導体の量子効果素子、単原子操作などの先端分野で、小型でかつ極高真空（XHV）領域において高い排気能力を有するスパッタイオンポンプの要求が高まっています。エクセルポンプは、低い圧力領域での放電特性を改良した新開発のノーブル素子を用いると共に効率の良いベーキングを行えるビルトインヒーター（オプション）の採用やNEG ポンプモジュール（オプション）の内蔵によりXHVの達成を可能としたスパッタイオンポンプです。

3. 高効率ベーキングの実現組み込み型のベーキングヒータ（オプション）と、保温機能を備えた標準カバーによって、低い所要電力で効率のよいベーキングが行えます。

4. クリーンルーム対応カバー、マグネットなどの塗装には、スムーズな表面の耐熱塗装が施されています。

キヤノンアネルバ株式会社 1

43キヤノンアネルバ株式会社　真空機器総合カタログ　Vol.8.9

■125L/sエクセルポンプ●仕様

注1　ご使用になる制御装置により、表中の値が変わりますので御注意ください。　　　尚、本仕様は制御装置にPIC-052NPを使用した場合を示します。

●標準構成

注 2　ポンプの履歴及び被排気系の構成、容積などにより表中の値が変わりますので御注意ください。注 3 「AC200V 仕様の製作可能です。」お問い合せください。注 4　912-7100 125L/sエクセルポンプと組み合わせる場合はDC-7kV 出力。　　　その他のノーブルポンプとの組み合わせ時は、DC-5.2kVに設定。

ポ　　ン　　プ

名　　称 125L/s エクセルポンプ型名 912-7100排気速度（N2ガスに対して） 125L/s動作範囲（注 1） 10－ 3 ～＊10－10Pa　＊NEG モジュール組込み時起動可能圧力（注 1） 1×10－ 2Pa 以下内容積 約 10L

最大加熱温度250℃（但し、マグネットを取り外したポンプシェル

本体は 400℃までベーキング可能）吸入口 φ152ICF電流導入端子 954-7281素子（交換用） 915-7070 エクセル素子（2 個）マグネット 912-7005（1個）本体に含む質量 約 48kg

制　　

御　　

装　　

置

名　　称 ノーブルポンプ用小型制御装置型名 PIC-052NP-Bポンプ起動可能圧力（注 2） 1×10－ 2Pa入力電圧（注 3） AC100V ±10％　1φ 50/60Hz最大入力電流

（起動時、50/60Hz 共通）8A

出力開放電圧（注 4） DC －7.0kV最大出力電流 約 120mA（出力短絡電流 入力周波数 50Hz 時）使用環境温度・湿度 ０～ 40℃　90％以下（露結なし）

メータレンジ

出力電圧 10kV フルスケール（LINEAR 表示）ポンプ電流 1Aフルスケール（LOG 表示）

圧力記録 1.3 ×10－ 3 ～10－ 6Pa入力ケーブル組立 3m出力ケーブル組立 3m（954-7403）質量 約 6.6kg

制　

御　

装　

置

名称及び型名構成部品

PIC-052NPノーブルポンプ用小型制御装置

制御装置本体 1台

添　

付　

品

入力ケーブル 1本（3m）出力ケーブル 1本（3m）REMOTE 用コネクタ 1個（富士通 36 型 16 ピンハンダ付タイプ）圧力表示シール 1式取扱説明書 1部

ポ 

ン 

プ

名称及び型名構成部品

912-7100 125L/s エクセルポンプ

ポンプ本体 1台マグネット 1式カバー 1式添付品φ152ICFガスケット 2 枚

キヤノンアネルバ株式会社2

44 キヤノンアネルバ株式会社　真空機器総合カタログ　Vol.8.9

912-7100 125L/s エクセルポンプ PIC-052NP-B ノーブルポンプ用小型制御装置

POWER HV RMT SP1

FLR OL SP2

POWER

ON

OFF

OFFONONLOCK

HV

RMT LCL SET POINT VOLTAGE

ION PUMP CONTROLLERPIC-052□P-B

0 2

100μA 10mA1mA 1A100mA

4 6 8 10KV

10μA

0164-14974D

WARNING

Do not open covers.

危険電圧部有り感電による火傷や死亡の恐れ有り。

HAZARDOUS VOLTAGE INSIDE

カバーを開けないで下さい。サービスマン以外の方は、

Can shock,burn or cause death.

Trained service personnel only.

　カバーを外して下さい

1.電源スイッチを切って、入力プラグを外し　電圧計の振れが完全にゼロになってから

　保守点検は定期的に行ってください

ポンプを運転する場合高圧注意

3.ポンプは必ず接地して下さい2.出力ケーブルは確実にポンプと接続して下さい1.接地線を必ずＥ端子に接続して下さい

内部の点検、修理の場合

警 告

105 ±152 ±1

87 ±1

99 ±1

4-∅5

209 ±1

(17.5)

(3.2)

403 ±1.5

29.5 ±1.5

11

(15.5)

76.5 ±1.5

78.5 ±1.5

197 ±1.5203 ±1.5

ゴム足取り外し可

キヤノンアネルバ株式会社 3

45キヤノンアネルバ株式会社　真空機器総合カタログ　Vol.8.9

■排気特性―圧力特性（第2図）

■漏洩磁束特性（第4図）

■圧力―ポンプ電流特性（第3図）

125L/s エクセルポンプ

125L/s エクセルポンプ（without NEG）

125L/s エクセルポンプ

10－7

圧力 pa

排気速度（L/s）

10－6 10－5 10－4 10－3

50

100

150N2 （without NEG）

10μA 100μA 1mA 10mA 100mA10－7

10－6

10－5

10－4

10－3

10－2

10－1

放電電流

圧力 Pa

0 20 cm 40 cm 60 cm1×10－5

1×10－4A

B

C

1×10－3

1×10－2

距　離

漏洩磁束密度（Tesla）

A

C B

測定点

キヤノンアネルバ株式会社4

46 キヤノンアネルバ株式会社　真空機器総合カタログ　Vol.8.9

■NEGモジュールエクセルポンプに組み込み、超高真空（UHV）～極高真空（XHV）領域での活性な気体、特に水素に対する排気速度をアップし、XHVの達成を容易にするためのオプション・モジュールです。エクセルポンプの容器内に取り付け、ベーキングして活性化することでポンプとして機能します。エクセルポンプ容器の外側に取り付けたプレートヒータによる間接加熱で、エクセルポンプのベーキングと同時に、容易に活性化することができます。

特長・ UHV､XHV領域での高い排気能力UHV～XHV領域での残留主成分である水素に対する排気速度が大きく、エクセルポンプの水素排気速度を実質的には数倍にもアップし、XHVの達成を容易にします。

・ 小型・軽量・取り付け容易固定ボルト一本で、容易にエクセルポンプ内に取り付けが行えます。

・ 再活性化が容易1）組み込み型のベーキングヒータ（オプション）と保温機能を備えた標準カバーによって、低い消費電力で効率のよい活性化処理が行なえます。

2）ヒータ容量が適正化されていますので特別な温度制御なしに定格電圧をヒータに入力するだけで適温ベーキングが行なえます。

■オプション●エクセルポンプ用ヒータキットスパッタイオンポンプで超高真空、極高真空を得る為には、真空容器並びにポンプ本体のベーキングが必要不可欠です。本ヒータキットは、エクセルポンプ本体とマグネットの間にヒータを組み込む構造になっているため、従来のシースヒータに比べて高効率のベーキングが可能となります。また、NEGモジュール（オプション）の活性化処理用ヒータ兼用ですので、エクセルポンプのベーキングを行ないながらNEGモジュール（オプション）の活性化が容易に行なえます。

●仕様

注） 本ヒータキットには温度調節機能は含まれません。ヒータ通電後約 4H 程度で最適温度分布が得られるよう設計されています。

型名 915-7130

名称 125L/s エクセルポンプ用ヒータキット

所要電力 920W

入力電圧 1φ　AC100V

構成プレートヒータ（400W） 1setラバーヒータ （260W） 2setヒータ取付部品一式 1set

温度分布

ヒータ通電後約 4H でNEG 近傍温度 350℃素子近傍温度 260℃マグネット表面温度 150℃

キヤノンアネルバ株式会社 5

47キヤノンアネルバ株式会社　真空機器総合カタログ　Vol.8.9

注1 125L/sエクセルポンプに組み込んだ場合の、活性化直後のNEG 室温時における、ポンプ排気口部での排気速度を示します。

注 2 一回の活性化処理後、室温時における排気量を示します。尚、本 H2 ガス排気量は最大可能排気量を示します。実際にはNEG 使用雰囲気のH2 ガス分圧により決まります。

注 3 活性化インターバルは、水素が主成分で、H2O､ CO､ CO2などが含まれる典型的なUHV 領域での残留気体の場合を想定したものです。また、大気暴露毎にも活性化が必要となります。

●NEGとは NEGポンプ：非蒸発型ゲッターポンプ      （NonEvapolableGetterPump）・化学的に活性な材料を利用して、表面吸着及び引き続いて起こる内部へのバルク拡散によって気体を排気するポンプです。TSPなどと同様、水素、酸素、窒素、COなどの活性な気体の排気に利用されます。＊ヘリウム、アルゴンなどの不活性気体やメタンの排気はできません。

・ゲッター材としては、チタン、84％Zr-16％AL合金（サエス・ゲッターズ社、St101）、70％Zr-24.6％V-5.6％Fe（サエス・ゲッターズ社、St707）などがあります。

●ご注文にあたっての注意事項ポンプ新規購入の場合・915-7130エクセルポンプ用ヒータキットと一体での受注となります。

・ヒータキットは、工場にてエクセルポンプに取り付けた状態で出荷します。

・NEGモジュールは、窒素で封入した状態でポンプに添付して出荷します。ポンプを目的の真空系に取り付ける際に、ポンプ内部に組み込んでください。

NEGモジュールの寿命に伴う買い換えの場合・NEGモジュールだけを、窒素で封入した状態で出荷します。現地にて、ポンプ内に組み込んでください。

第 5 図　NEG モジュール

●仕様

（15）

（45）

（245）

230±2

60±2

79±2

30±1.5

型名 915-7090

名称 A90　NEG モジュール

NEG 材料「ST707」（伊、サエスゲッターズ社製）Zr（70％）-V（24.6％）-Fe（5.6％）合金

排気速度（注 1） 対 H2：約 300L/s対 N2：約 45L/s

排気量（注 2） 対 H2：約 240000Pa・L対 N2：約 120Pa・L

推奨使用圧力範囲

≦ 2 ×10－ 6Pa※活性化処理時、並びに排気途中で短時

間、高い圧力に曝されることはやむを得ませんが、高い圧力で常時使用した場合、短時間で NEG の再活性化が必要になります。

（参考）再活性化インターバルの例（注 3）

1.3 × 10－ 6Paでの連続使用：約 500h 毎1.3 × 10－7Paでの連続使用：約 5000h 毎

キヤノンアネルバ株式会社6

48 キヤノンアネルバ株式会社　真空機器総合カタログ　Vol.8.9

■アプリケーション

●使用例

第 6 図　エクセルポンプとオイルフリーのあら引き系の組み合わせによる極高真空排気系

――排気系及び接続法――エクセルポンプを使用した極高真空排気系として上図のような排気系を推奨します。あるいは、ドライポンプの代りに油回転ポンプとフォアライントラップの組み合わせを用いても結構です。――排気方法――①ターボ分子ポンプにより真空室及びエクセルポンプ内を 10－5Pa台まで排気します。

②NEGモジュールの活性化、並びにエクセルポンプ、真空室等のベーキングを行ないます。尚、NEGモジュールの活性化は、915-7130ヒータキット（オプション）で、エクセルポンプ本体と同時にベーキングするだけで活性化できます。

③ベーキング終了後、エクセルポンプを動作させて、ターボ分子ポンプ側のバルブを閉じ、エクセルポンプと、活性化処理されたNEGモジュールにより極高真空領域まで排気します。――活性化方法――・ 専用のヒータキット（915-7130125L/sエクセルポンプ用ヒータキット）でエクセルポンプ本体と同時にベーキングするだけで活性化できます。

・ ベーキング条件（活性化条件）◎ ベーキング中のポンプ内圧力：1×10－3Pa以下◎ ベーキング時間：8H以上（昇温時間を含みます）

・ ベーキング中の排気TMPなど他の高真空ポンプで排気しながらのベーキングが最適ですが、ガスの負荷が小さい場合は、エクセルポンプで自己排気しながらのベーキングも可能です。この場合、下記条件を推奨します。◎ ベーキング中のポンプ内圧力：1×10－5Pa以下

●推定寿命・ 大気暴露または相当する負荷×30回で、NEGモジュールの交換を推奨します。

・ 大気暴露×30回で、水素に対して、初期排気速度の40％程度にまで性能低下します。但し、窒素パージを行えば、30回の暴露でも初期排気速度の90％程度までの低下に抑えられます。

●保守・消耗部品・ 交換用素子NEGモジュール寿命がきた場合に、エクセルポンプ素子、及び NEGモジュールの交換が可能です。型名、個数はオーダリングインフォメーションを参照にしてください。また、ポンプの汚れの程度により素子交換だけでは特性が回復しない場合もあります。この場合には、容器の洗浄と加熱排気を行う必要がありますのでご連絡ください。

・ 電流導入端子電流導入端子の交換が可能です。型名等はオーダリングインフォメーションを参照してください。

・ 出力ケーブル組立PIC-052 小型制御装置に使用の出力ケーブル組立は、標準 3m以外に下記のものをオプションとして用意しておりますので、制御装置注文時にご指定ください。尚、本出力ケーブル組立は、PICシリーズ制御装置、並びに超高真空用イオンポンプ、ノーブルポンプ制御装置用と共通となります。

ドライポンプ

リークバルブターボ分子

ポンプバルブ

ヒータ入力AC100V

バルブ真空室

PIC-052NP ノーブルポンプ用小型制御装置

912-7100　125L/sエクセルポンプ

オプション ○ 915-7090 A90 NEGモジュール○ 915-7130 ヒータキット

長　さ 型　　名

5m 954-7405

7m 954-7407

9m 954-7409

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真空ポンプ

■オーダリングインフォメーション

製品コード商　品　名

備　考型　名 品　名

10020 912-7125 20L/s イオンポンプ φ70ICF 付10021 912-7127 20L/s イオンポンプ φ70ICF 付 マグネット無し10022 912-7135 30L/s イオンポンプ φ114ICF 付10023 912-7137 30L/s イオンポンプ φ114ICF 付 マグネット無し10030 912-7165 60L/s イオンポンプ φ152ICF 付10040 912-7010 140L/s イオンポンプ φ203ICF 付10042 912-7030 270L/s イオンポンプ φ203ICF 付10043 912-7031 270L/s イオンポンプ φ203ICF 付、左右対称型10050 912-7050 500L/s イオンポンプ φ203ICF 付10060 912-9100 1000L/s イオンポンプ φ 326CSフランジ付10062 912-7195 1000L/s イオンポンプ φ 356ICF 付10120 912-7120 20L/s ノーブルポンプ φ70ICF 付10121 912-7122 20L/s ノーブルポンプ φ70ICF 付 マグネット無し10122 912-7130 30L/s ノーブルポンプ φ114ICF 付10123 912-7132 30L/s ノーブルポンプ φ114ICF 付 マグネット無し10130 912-7160 60L/s ノーブルポンプ φ152ICF 付10140 912-7020 110L/s ノーブルポンプ φ203ICF 付10142 912-7040 220L/s ノーブルポンプ φ203ICF 付10143 912-7041 220L/s ノーブルポンプ φ203ICF 付 左右対称型10150 912-7060 400L/s ノーブルポンプ φ203ICF 付10160 912-9110 800L/s ノーブルポンプ φ 326CSフランジ付10162 912-7190 800L/s ノーブルポンプ φ 356ICF 付10651 912-7100 125L/s エクセルポンプ φ152ICF、 カバー付10270 PIC-050A-IP 超高真空用イオンポンプ制御装置 出力：＋ DC5.2kV/20mA、イオンポンプ用10271 PIC-075A-IP 超高真空用イオンポンプ制御装置 出力：＋ DC7.5kV/13mA、140L/s 以上のイオンポンプ用10370 PIC-050A-NP 超高真空用ノーブルポンプ制御装置 出力：－ DC5kV/20mA、ノーブルポンプ用

PIC-052IP-BPIC-052NP-B

10548 954-7403 出力ケーブル組立 20L/S-1000L/S IP/NP 用（3m）10549 954-7405 出力ケーブル組立 20L/S-1000L/S IP/NP 用（5m）10550 954-7407 出力ケーブル組立 20L/S-1000L/S IP/NP 用（7m）10551 954-7409 出力ケーブル組立 20L/S-1000L/S IP/NP 用（9m）

キヤノンアネルバ株式会社8

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本カタログは2011年9月発行の「Vacuum Components Vol.8.9」よりの抜粋となります。掲載内容は発行（2011年9月）時のものですので、現在とは内容が異なっている場合があります。

2011年9月作成 無断転載禁止