ICP-MS iCAP -Q...3 Proprietary & Confidential 事前確認1 まず最初に確認してください（全てのトラブルシューティング共通）まず、装置ユーティリティの確認を行ってください。

ICP-MS iCAP-Q トラブルシューティングガイド ver 2.2

Date：2015.05

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主なトラブルについて

プラズマが点火しない・・・P.3

オペレートにならない・・・P.7

カウントが出ない・・・P.10

感度が低い・・・P.12

通信不良・・・P.13

真空ﾎﾟﾝﾌﾟが動作しない。ﾎﾟﾝﾌﾟがまわらない。・・・P.14

計画停電時の装置停止、起動手順・・・P.15

Proprietary & Confidential

3 Proprietary & Confidential

事前確認1 まず最初に確認してください（全てのトラブルシューティング共通）

まず、装置ユーティリティの確認を行ってください。

① Arガスは供給されていますか？

目視確認オペレート状態で圧力0.6 MPa以上確保されていること。

目視確認装置コントロールプログラムのコントロールパネル/プラズマ内の

‘アルゴン供給’がOKになっている。

②トーチボックスは排気されていますか？

目視確認装置コントロールプログラムのコントロール

パネル/プラズマ内の‘プラズマ排気’が

0.3-0.7mbarを指している。

③冷却水は正常ですか？

目視確認冷却水の量（水位）が適量であること。

目視確認冷却水が汚れていないこと。

目視確認 ON状態で20℃－25℃を示すこと。

目視確認圧力がかかっていること。（送液していること）圧力計をみる。

水が汚れていると流路のつまりの原因となります。電磁バルブやフローセンサの故障の原因となりますので必ず確認してください。


トラブル１プラズマが点火しない

プラズマ点火シーケンスのエラーによって、考えられる対処が異なります。

１．「ガスラインをパージ」の後にネブライザーガスセット値でエラー

→Arガス0.6MPaかかっていることをご確認ください。

上記確認後装置がｽﾀﾝﾊﾞｲ状態であることをご確認の上、一度iCAPQ左側面の電源を切り、

20～30秒待ってから再度電源を入れてください。

２．「水で待機」から進まない

→冷却水循環装置の電源が入っていること、冷却水循環装置正面の

下ﾎﾞﾀﾝを押して水圧がかかっていることを確認。

それでも症状改善しない場合は装置内部で水漏れ

が起きている可能性があるため、弊社にご連絡ください。

※もう一度下ﾎﾞﾀﾝを押すと温度表示に戻ります。

３．「プラズマが点火できませんでした」のエラー

→チャンバー、トーチを一度分解して、水分の付着や、溜まっていないことをご確認ください。

またトーチホルダーにOリングが2つ付いていることをご確認ください。

以上のことをしても、復帰しない場合は下記手順にて調査願います。

プラズマオンボタンを押して、プラズマ点火しますか？で‘はい’を押す。

その後下記のリードバックプロットをクリック

下記画面が出てくるので、2か所にチェックマークを入れる。


‘プラズマ点火中’の時に下記のように2本の線が出ればハードウェアは正常です。

導入系（トーチ、インジェクター等）の交換をお願い致します。


装置がｽﾀﾝﾊﾞｲ状態であることを確認後、iCAPQ左側面の電源を一度落として20～30秒待ってからもう一度ONしてください。

装置正面のvacuumのLEDが緑になったことを確認してから、プラズマ点火を試みてください。

それでもダメな場合はパーツの交換が必要となります。

弊社にご連絡ください。

下記のような1本線しか出ない場合は、次の手順をお願い致します。


トラブル２オペレートにならない（オペレートになる前にプラズマ消える場合）

ｴｸｽﾊﾟﾝｼﾞｮﾝﾎﾟﾝﾌﾟｱｳﾄ時間＝ｴｸｽﾊﾟﾝｼﾞｮﾝﾁｬﾝﾊﾞｰのﾎﾟﾝﾌﾟｱｳﾄ最小時間（例5→15）

最大ｴｸｽﾊﾟﾝｼﾞｮﾝﾎﾟﾝﾌﾟｱｳﾄ時間＝ｴｸｽﾊﾟﾝｼﾞｮﾝﾁｬﾝﾊﾞｰのﾎﾟﾝﾌﾟｱｳﾄ最大時間（例25→50）

上記の時間を延ばす方向で調整してください

オペレートになるまでのエラーによって対処が異なります。

①「ピラニー圧が---mbarに達しません」エラーの場合

→ｻﾝﾌﾟﾙｺｰﾝ（ｶｽﾞｹｯﾄ）、ｽｷﾏｰｺｰﾝの取付確認または交換をお願い致します。取付方が悪い場合ﾘｰｸが考えられます。

それでも改善しない場合は下記設定値の変更をお願い致します。

‘configurator’を立上、それぞれの設定値を調整

右クリック

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ｴｸｽﾊﾟﾝｼﾞｮﾝﾎﾟﾝﾌﾟｱｳﾄ時間＝ｴｸｽﾊﾟﾝｼﾞｮﾝﾁｬﾝﾊﾞｰのﾎﾟﾝﾌﾟｱｳﾄ最小時間（例5→15）

最大ｴｸｽﾊﾟﾝｼﾞｮﾝﾎﾟﾝﾌﾟｱｳﾄ時間＝ｴｸｽﾊﾟﾝｼﾞｮﾝﾁｬﾝﾊﾞｰのﾎﾟﾝﾌﾟｱｳﾄ最大時間（例25→50）

最大ピラニ圧＝次のステップに進むために必要な真空度値（例2.2→2.1）

上記時間を延ばす、最大ピラニ圧は下げる方向で調整してください


右クリック

②「スライドバルブが開けません」エラーの場合

→ｻﾝﾌﾟﾙｺｰﾝ、ｽｷﾏｰｺｰﾝの洗浄または交換をお願い致します。ｽｷﾏｰｺｰﾝの穴が小さくなっている可能性が考えられます。

それでも改善しない場合は下記設定値の変更をお願い致します。

‘configurator’を立上、それぞれの設定値を調整

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・コーンは汚れていませんか？

汚れている場合 →水で超音波洗浄してください。

コーン先端が変形している場合→新品に交換してください。

・コイルは汚れていませんか？

汚れている場合 →水またはエタノールを浸したウエスでコイルを拭いてください。

汚れがひどい場合は1％硝酸を浸したウエスですばやく拭いてください。

・トーチは汚れていませんか？

汚れている場合 →エタノールを浸したウエスで拭いてください。

ふき取り後は完全に乾燥させてから使用してください。

・トーチに変形や欠けはありませんか？

変形や欠けがある場合 →新品に交換してください。

・ネブライザの噴霧状態は良いですか？

ネブライザ先端の噴霧部を目視確認してください。噴霧にムラがあれば、

→ネブライザを交換してください。

・スプレーチャンバーのドレインが正常に流れず、たまっていませんか？

→詰まりがあれば取り除いて下さい。

③その他、不意にプラズマが消える場合



トラブル３カウントが全く出ないほとんど出ない

STEP1 まず確認する項目

①各レンズ、検出器電圧は印加されていますか？

Instrument Control＞ｺﾝﾄﾛｰﾙﾊﾟﾈﾙ＞ﾒｲﾝ、ｱﾄﾞﾊﾞﾝｽﾄ等の中の各レンズおよび検出器のﾘｰﾄﾞﾊﾞｯｸが保存値と一致しているか確認してください（停電後など、装置を再起動した際にはｾﾞﾛに戻るため）→保存値と一致しない場合はSTEP2へ

②導入系に異常はありませんか？

a) ﾁｭｰﾆﾝｸﾞ溶液を吸い上げて、ドレインから廃液されていますか？

b）ｻﾝﾌﾟﾙｺｰﾝ、ｽｷﾏｰｺｰﾝ（ｲﾝｻｰﾄ）の穴に異常はありませんか？

③ Quad RF Frequency（MHｚ）は1.900～2.00の間でしょうか？

→上記①と②でも改善しない場合はSTEP2③を実施してください

STEP2

①レンズの電圧が保存値と一致しない場合

もう一度レンズの条件を読み込んでください。もしくは他のﾚﾝｽﾞ条件に一度変更し、また戻し

ます。それでも改善されない場合はｽﾀﾝﾊﾞｲ状態にし、一度装置の電源OFF-ONを行ってください。

③四重極の周波数調整

デスクトップ上のInstrument Controlを立ち上げる。

Experiment Configuration

iCAPQもしくはfactory View

を選択する


四重極周波数が1.90～2.00MHｚ付近で止まりﾁｭｰﾆﾝｸﾞが終了した後、Experiment Configuration画面にて

Installer with ASX520もしくはInstaller with ESI-2DXに戻し（前頁参照）、STDﾓｰﾄﾞ、Setup solutionにて

マス較正を実施ください。

Startﾎﾞﾀﾝｸﾘｯｸ

自動的に実行され止まります。


トラブル４感度が低い

STEP１まず確認する項目

①チューニング溶液が吸われていて、ドレインが流れていますか？

②ｺﾝﾄﾛｰﾙﾊﾟﾈﾙの各パラメータのリードバック値が保存値と一致していますか？

→一致していなければレンズ条件を再度読み込んでください

③オート調整を行ってください

STEP2 チューニングしても感度が回復しない場合

④マス較正、検出器セットアップを行ってください

STEP3 それでも感度が回復しない場合（一旦、プラズマを消して、以下の項目を確認してください。）

⑤グラスウェアの取り付けに問題はありませんか？コネクタ部の緩みなど

⑥ネブライザの噴霧状態に問題はありませんか？

→安定した噴霧常態でない場合、洗浄（吸引洗浄）するか、新品に取り替えてください。

⑦コーン先端が変形していませんか？コーン開孔部が詰まっていませんか？

→汚れならば超音波洗浄をしてください。変形等であれば新品に交換してください。

⑧スキマーコーンにインサートは付いていますか？

⑨トーチ部分に変形はありませんか？ →変形があれば新品に交換してください。

⑩STDモードでTuneB溶液はどのくらいのカウントが出ますか？

→Co：10万cps Iｎ：20万cpsほど出ているのであれば装置的には問題ありません。

→CCTガスのボンベがあいているのか確認してください

⑪STDモードで上記カウントが出ない場合はコーンの交換をお願いします。

→それでも回復しない場合はSTDモードの際にCCTガスが流れていないか確認してください


トラブル５通信不良

通信が取れている、取れていないはInstrument controlのオンオフボタンでご判断ください

但し、分析中や装置がビジー状態（何かしら作業をしている）時は

グレーアウトしています

通信が取れなくなった場合、以下の項目を確認、実施してください。

・instrumnet controlのプログラムを一度閉じて、もう一度開く。

・PCの再起動

・上記をしても改善せずプラズマが点いている場合はトーチボックスのドアノブを90度ひねり、プラズマを消す

・スタンバイ状態で装置の電源ｵﾌ。20秒後に電源をｵﾝする。（装置再起動）


トラブル６真空ﾎﾟﾝﾌﾟが動作しない。

真空が落ちてから復帰する場合

①Arガス0.6MPaの圧力が装置にかかっている事を確認。圧かかっていない場合はボンベを開けてください。

②装置側面のﾒｲﾝ電源が入っていない場合はｵﾝしてください。

③ﾛｰﾀﾘｰﾎﾟﾝﾌﾟの電源を確認してください。（通常は常時ONです）

④電源ｵﾝした時に真空引きを開始しない場合は下記ｺﾝﾄﾛｰﾙﾊﾟﾈﾙから

真空システムをｵﾝしてください。

ﾎﾟﾝﾌﾟｽｲｯﾁ｜：オン O：オフ

④上記のターボポンプスピードが徐々に上がっていき1000Hz付近になり、

ペニング圧が-----e-006もしくはe-007になっていれば、真空引きが行われています。

5e-007以下にペニング圧が上がるまで待っていただいてから、プラズマを点けて

ください。それより前にプラズマを点けても感度が低い、もしくはプラズマが消えて

しまう可能性があります。

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計画停電時の装置停止、起動手順


計画停電時の装置停止手順

①装置へ0.6MPaのArガス圧力がかかっている事を確認。もし圧かかっていない場合はボンベを開けてください。

※ｽﾗｲﾄﾞﾊﾞﾙﾌﾞがArｶﾞｽ圧力で稼動しているため、圧力をかけておく必要があります。

②PCおよび付属装置の電源をOFFします。

③装置ﾌﾛﾝﾄパネルの青色LEDが点滅していることを確認します。点滅していればOK

④iCAP Q装置側面のﾒｲﾝ電源(ﾌﾞﾚｰｶｰ）をOFFします。

④約15～20分後、お客様設備上のﾒｲﾝ電源をお切りください。

計画停電時の装置起動手順

①お客様設備上のﾒｲﾝ電源をON

②装置へ0.6MPaのArガス圧力がかかっている事を確認。もし圧かかっていない場合はボンベを開けてください。

※ｽﾗｲﾄﾞﾊﾞﾙﾌﾞがArｶﾞｽ圧力で稼動しているため、圧力をかけておく必要があります。

③iCAP Q装置側面のﾒｲﾝ電源(ﾌﾞﾚｰｶｰ）をONします。

④PCを起動します。

⑤Instrument Controlを開き、真空画面にて下記を確認ください。

ターボポンプスピードが徐々に上がっていき999～1000Hzで安定します。

ペニング圧が-----e-005～e-007になっていれば、真空引きが行われています。

5e-007以下にペニング圧が下がれば、装置は使用可能です。

真空度が悪い状態でプラズマを点灯されても感度が低かったり、プラズマが消えてしまう可能性があります。

検出器にも悪影響を及ぼしますので、ご注意ください。

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ICP-MS iCAP -Q...3 Proprietary & Confidential 事前確認1 まず最初に確認してください（全てのトラブルシューティング共通）まず、装置ユーティリティの確認を行ってください。