OILL-SEALED SEAL ROTARYROT ROTARY TARYT ... - ulvac … · oill-sealed rotaryrot seal taryt vacuum rotary pumps vacuu 小型直結型油回転真空ポンプカタログ小型直結型油油回転油回回転回転真空ポンプカタログ

OILL-SEALED-L-ROTARYOILROT

L SEALTARYTL

VACUUMROTARYVACUUMPUMPSVACUUPUMPS

小型直結型油回転真空ポンプカタログ小型直結型油油回転油回転真空ポンプカタログ回転回

G Series

CATALOGCATALOGCATALOG

GHD Series

GVD/GLS/GLD Series

GLD（LD Global-type（）e Series）S

GCD Series

小型オイルフィルトレーションシステム

オプショナルパーツ

真空配管部品

Creating Small Vacuum Pumps

www.ulvac-kiko.com

アルバック機工株式会社

No. VP-0704

原材料入　荷

機　械加　工

部　品検　査

組　立準　備

塗　装

ポンプヘッド組　立

総　合組　立

製　品検　査

梱　包出　荷

ローター加工工程

シリンダー中間カバー加工工程

製品1次検査

製品2次検査

前カバーケーシング加工工程

2

油回転真空ポンプの最高品質と高次元応用分野を目指す

油回転真空ポンプのできるまで

ISO9001、ISO14001認証取得

アルバックソリューションズがニーズにお応えします

徹底した品質保持を追求する油回転ポンプ専門工場

Creating Small Vacuum Pumpss――アルバック機工

アルバック機工の小型真空ポンプは､さまざまな産業分野で多彩な役割を担っています。理化学･分

析、一般産業機械、医薬､生科学、半導体･電子機器プロセスなど、研究開発用装置から製造ライン、

民生用家電製品まで、じつに多岐にわたり活躍しております。

アルバック機工は、小型真空ポンプの専門メーカーとして、真空ポンプの最高品質、さらなる高次

元応用分野の創生を目指しており、事業活動も日本はもとよりアジア､欧米向けに製造、販売、サー

ビス、開発とグローバルに展開しております。こうした活動は、真空技術をベースとする革新的技術

企業集団アルバックグループ各社との緊密な連携と共同によるものです。

私たちは、アルバックのトータルソリューションにより、お客様のさまざまなニーズ／性能・品質･

コスト･サービスにお応えできるものと信じております。

基本方針

各業界顧客の要求を満足する小型・高性能・高信頼性の製品を市場に供給することを

基本方針とする

品質方針

品質向上みんなの努力と協力で

3

8–12

13–14

15–16

21–22

G Series

C O N T E N T S目　　次

G-5 G-5DA G-10DA G-20DA G-25SA G-50SA G-50DAG-100S G-100D

GHD Series GHD-030 GHD-060 GHD-120

GVD/GLS/GLD GVD-050A GLS-051 GLD-051

GCD Series GCD-051X GCD-136X GCD-201X

17–20GLD Global-type Series GLD-040 GLD-136A GLD-136C GLD-201A GLD-201B GLD-280

直結型油回転真空ポンプ Direct Drive Oil-Sealed Rotary Vacuum Pumps

吸気管φ18（M20×P1）排気管

スイッチ

オイルレベルゲージ

排油栓 M8

ゴム脚

銘板

1466.5

754440

4038

91

288167

17015 15

17.5200

63.5 52 5.529 20 30

25

12.5

125131156

Outlet port

Switch

Oil level gauge

Drain plug

Rubber legs

モータ

ハンドル

サーマル

PowerCord

Motor

Handle

ベースBase

Nameplate

Inlet port

4-M4

実効排気速度表示Actual pumping speedActual pumping sp

Unit 50Hz 60HzActual pumping speed L/min. 20 24実効排気速度Ultimate pressure Pa 9.3 到達圧力Motor 1φ,100V,100W,4 poles,split phase starting使用電動機Full load current A 3.7 3.0全負荷電流Oil capacity mL 230油量

l SMR-100使用油Weight kg 8.5質量Inlet port diameter mm O.D.φ18×I.D.φ14吸気管径Ambient operation temp.range ℃ 7～40使用雰囲気温度範囲Overall dimensions mm 156(W)×288(L)×199.5(H)最大寸法

サーマルプロテクター内蔵（ー手動復帰（手（）帰With built-in thermal protectorWith built-in in thermain t al protectoa torto

直結型油回転真空ポンプ空Direct Drive Oil-Sealed Rotary Vacuum Pumps

G Series

G 25SAG-25SA

スタンダードタイプイプイ

寸法図 Dimensions

仕様 Specifications

RoHS対応

ポンプ使用はこの雰囲気温度にて行ってください。

標準の吸気管の外径を示します。これと異なる場合はお問い合わせください。

電源コード、接続チューブを含まないポンプの単体の質量です。

使用しているモータの定格を示します。カタログ仕様（標準仕様）以外の電圧をご希望の場合はご照会ください。別途お見積いたします。

到達圧力を示します。到達圧力とはポンプの真空をつくる最大の能力で、この圧力に達するとポンプの排気速度は0となります。

大気圧の気体を吸入した場合の実効排気速度を示します。メーカによっては設計排気速度標示の場合がありますが、その場合は1.2倍程度にすることによって換算できます。

実効排気速度Actual pumping speed

型式Type of pump

1段型、2段型の区分

表記の値は50Hzにおける実効排気速度を示します。60Hzの場合は1.2倍の能力が得られます。（他社の場合、排気速度を設計排気速度で示している例がありますが、当社では実効排気速度を採用しています）

Ｓは1段型、Ｄは2段型を示します。

G 直結型油回転真空ポンプ

GHD 直結型油回転真空ポンプ

GLS 直結型油回転真空ポンプ

GVD 直結型油回転真空ポンプ

GLD 直結型油回転真空ポンプ

GCD 直結型油回転真空ポンプ（耐食型）

G-25SA

コード付きプラグ

スイッチ付き

端子のみコードなし

コード付き先ばら

・カタログ仕様（標準仕様）以外の電圧で使用ご希望の場合はご照会ください。・お客様の用途に応じて仕様を変更または追加することができます。ご要求仕様及び台数をお知らせください。お見積いたします。・仕様及び外観は改良のため予告なく変更することがあります。

カタログの見方

kgf/cm2

大気圧絶対真空1 00.01 1×10-2 1×10-3 15×10-5 1×10-4 50×10-6

トール　Torr水銀柱　mmHg

760 07.5×10-2 3.8×10-2 7.5×10-375×10-2 7.5×10-3 1.1×10-3 3.8×10-4

バール　bar

1.01 00.1 0.05 101 1×10-2 15 5

パスカル　Pa

L/min

101300Pa 010 5100 1 15×10-2 5×10-210×10-2

250 200 150 100 50 0

最高到達圧力マクラウド真空計による測定値（　）はピラニー真空計による測定値排気速度機　種

G-5

G-5DA

G-10DA

G-25SA

G-20DA

G-50SA

G-50DA

G-100S

G-100D

GHD-030

GHD-060

GHD-120

GVD-050A

GLS-051

GLD-040

GLD-051

GLD-136A

GLD-136C

GLD-201A

GLD-201B

GLD-280

GCD-051X

GCD-136X

GCD-201X

4×103Pa5/6 L/min (50/60Hz)

5/6

10/12

20/24

20/24

50/60

50/60

50/60

50/60

50/60

280/336

40/48

100/120

100/120

50/60

135/162

135/162

200/240

60/72

120/144

30/36

6.7Pa

1.3Pa

9.3Pa

9.3Pa

9.3Pa

9.3Pa

6.7×10 -2 (6.7×10 -1) Pa

6.7×10 -2 (6.7×10 -1) Pa

6.7×10 -2 (6.7×10 -1) Pa

6.7×10 -2 (6.7×10 -1) Pa

6.7×10 -2 (6.7×10 -1) Pa

6.7×10 -2 (6.7×10 -1) Pa

6.7×10 -2 (6.7×10 -1) Pa

6.7×10 -2 (6.7×10 -1) Pa

135/1626.7×10 -2 (6.7×10 -1) Pa

6.7×10 -2 (6.7×10 -1) Pa

200/240

200/240

6.7×10 -2 (6.7×10 -1) Pa

6.7×10 -2 (6.7×10 -1) Pa

6.7×10 -2 (6.7×10 -1) Pa

6.7×10 -2 (6.7×10 -1) Pa

6.7×10 -2 (6.7×10 -1) Pa

その他の単位

表記との比較

アルバック機工

の単位表記

1.3×10 -1Pa

1.3×10 -1Pa

4

幅広い産業分野で利用される真空ポンプ

直結型油回転真空ポンプ排気速度・到達圧力一覧

特長・最適用途電圧対応その他逆流防止ガスバラストバルブ付属

サーマルプロテクタ

小型でハンディです。・デシケータ排気・真空乾燥、真空ろ過、真空濃縮・吸着・真空チャック・吸気分析・ガスクロマトグラフ・小型アスピレータ・歯科用焼成炉・小型空調機配管引き・冷媒回収・精密鋳造　

直結型でコンパクトな真空ポンプです。環境対応（省エネ・低騒音・低振動）にも配慮いたしました。中真空用ポンプまたは高真空ポンプ（ターボ分子ポンプ・クライオポンプ・油拡散ポンプ）のバックポンプとして最適です。GHDシリーズ：2極高速モータ使用。コンパクトです。GVD／GLDシリーズ：小型真空ポンプのベストセラーです。GCDシリーズ：耐食型。ケミカル用途に最適です。GLD Global シリーズは、ユニバーサルモータ付、世界中の電圧に対応します。CEマーク付です（GLD-280を除く［2006年4月1日現在］）。・GLD、GCDシリーズは耐圧防爆、安全増防爆モータ対応ができます。お問合せください。

・CE対応－お問合せください。分析機器、理化学機器・電子顕微鏡、X線分析、質量分析・真空濃縮、ろ過、遠心分離・ガス分析、ガスクロ脱気半導体・電子電機・真空乾燥、脱ガス、脱泡、射出成型、真空含浸・スパッタ、真空蒸着、CVD、真空炉、ガス雰囲気炉・リークディテクタ、検査装置冷凍空調・吸収式冷凍機・冷凍機、空調機の配管内水分除去医科・歯科・歯科焼成炉、埋没材脱泡・アスピレータ、レーザーメス、バリウム脱泡印刷・包装・食品・真空パック、真空包装、ラベリング・脱泡、脱ガスその他・真空チャック・ガス充填・レーザー機器・真空成型・ランプ排気

なし

なし

なし

なし

なし

なし

なし

なし

あり

あり

あり

あり

あり

なし

あり

あり

あり

あり

あり

あり

あり

あり

あり

あり

自動復帰

自動復帰

自動復帰

手動復帰

手動復帰

手動復帰

手動復帰

手動復帰

手動復帰

自動復帰

自動復帰

自動復帰

手動復帰

手動復帰

自動復帰

手動復帰

なし

自動復帰

なし

自動復帰

なし

手動復帰

手動復帰

手動復帰

なし

なし

なし

なし

なし

あり

なし

あり

なし

あり

あり

あり

あり

あり

あり

あり

あり

あり

あり

あり

あり

あり

あり

あり

電圧変更

電圧変更

吸気口変更

電圧変更

吸気口変更

電圧変更

吸気口変更

電圧変更

吸気口変更

電圧変更

吸気口変更

電圧変更

吸気口変更

電圧変更

吸気口変更

電圧変更

吸気口変更

電圧変更

吸気口変更

電圧変更

吸気口変更

電圧変更

吸気口変更

電圧変更

吸気口変更

安増防爆

電圧変更

吸気口変更

安増防爆

電圧変更

吸気口変更

吸気口変更

安増防爆

安増防爆

電圧変更

吸気口変更

安増防爆

電圧変更

吸気口変更

安増防爆

耐圧防爆

電圧変更

吸気口変更

安増防爆

耐圧防爆

吸気口変更

マルチレンジ電圧


C E対応

C E対応

※

※

吸気口変更


C E対応

※

吸気口変更


C E対応

※

吸気口変更


吸気口変更


C E対応

※

5

6

吸気口排気弁

2段式（Two-stage)油回転真空ポンプの排気状態

油回転真空ポンプに関する一般事項

油回転真空ポンプの排気原理

大気圧付近での連続運転には不適です。

油回転真空ポンプは、中真空／高真空（100～0.1Pa）

用ポンプとしてすぐれた性能をもっていますが、低真

空とくに大気圧付近での連続運転には不適です。これ

は真空のシールに真空ポンプ油の油膜を利用している

ため、大気圧付近で連続運転いたしますと、ポンプ油

がオイルミストとして飛散するためです。大気圧付近

での連続運転には、ドライ真空ポンプをおすすめいた

します。（ドライ真空ポンプカタログをご参照ください）

・真空ポンプ油

溶剤あるいは水蒸気など蒸気圧の高い物質がオイル

に混入しますと、真空ポンプ油の蒸気圧が高くなり、

性能が低下するだけでなく、サビの発生、スラッジの

発生などにより機械的な故障を起す原因になります。

これらの物質を吸引する場合は、ポンプを保護するた

め凝縮器（コンデンサ）を取付けるか、または頻繁に

油を交換するようお願いいたします。

空気のみを排気する場合も、長期間使用致しますと

空気中の水分が少しずつポンプ油に混入し、到達圧力

が悪くなります。使用頻度、使用条件によって期間は

一概にはいえませんが、真空ポンプ油は定期的に交換

する必要があります。また長期間ポンプを使用しない

場合はポンプ油を抜き取り、新しい油に入れ替えてお

くことをおすすめいたします。

・ガスバラストバルブ

水蒸気を吸引する場合の対策として、ガスバラスト

バルブがあります。水蒸気を吸引した場合、ポンプ内

の圧縮工程で圧縮され、凝縮して水になりオイルに混

入いたします。これを防ぐため、ガスバラストバルブ

を開け、圧縮室に適量の空気をいれると、水蒸気は凝

縮せずそのまま排出されます。ガスバラストバルブ開

のままでは到達圧力が低下いたしますので、通常は引

き始めの水蒸気の多い段階のみガスバラストバルブを

開け、ある程度圧力が下がったら閉じておきます。

・オイルミストについて

低真空領域（大気圧～100Pa）では排気される空気

の量が多いため、空気流に同伴されて、わずかですが

ポンプ油がオイルミストとして排出されます。室内を

汚すだけでなく、ポンプ油が減って本体に油の供給が

できなくなります。これを防ぐためポンプの排気口に

オイルミストトラップ、オイルミストセパレータの取

付をおすすめいたします。（オイルミストトラップは、

24ページをご参照ください）

・使用電圧について

各機種とも、標準品電圧（カタログ仕様欄に記載）

の他各種電圧に対応いたします。お申し付けください。

・吸気管、排気管

吸気管、排気管は変換可能です。25ページの対応表

をご参照ください。

アルバック機工の油回転真空ポンプは、ゲーデ型真

空ポンプで、動作原理は次の通りです。２段式はロー

タおよびシリンダを２式そなえ、吸入圧縮排気を２回

くり返しますので、１段式より高真空が得られます。カ

タログ中の「Single-stage」が１段式、「Two-stage」

が２段式です。

吸気口

吸入圧縮2圧縮1 排気

排気弁

7

真空の圧力単位について新計量法による圧力の単位には、ＳＩに係

る計量単位としてPa（パスカル）、N/m2（ニュートン毎方平メートル）およびbar（バール）が用いられるほか、非ＳＩ単位として、生体内の圧力にTorr（トール）が、そして血圧にmmHg（水銀柱ミリメートル）が認められています。

真空圧力の表記には、次の二通りの方法があります。真空業界では、絶対圧力を使用しますが、他の業界ではゲージ圧が多く使われるので、資料やカタログをご覧になるときは、どちらの方法で圧力が表記されているか確認する必要があります。

１. 絶対真空を０（ゼロ）とした絶対圧単位の後にaまたはabsと記す（省略することが多い）

２. 大気圧を０（ゼロ）としたゲージ圧単位の後にGまたはGaugeと記す（省略されることが多い）

■各圧力単位における大気圧の値

絶対圧表記ゲージ圧表記

単位読み方大気圧真空圧力絶対真空大気圧真空圧力絶対真空範囲範囲

Pa（N/m2）パスカル 101325 ←→ 0 0 ←→ -101325

kPa キロパスカル 101.3 ←→ 0 0 ←→ -101.3

M Pa メガパスカル 0.101 ←→ 0 0 ←→ -0.101

bar バール 1.013 ←→ 0 0 ←→ -1.013

mbar ミリバール 1013 ←→ 0 0 ←→ -1013

Torr トール 760 ←→ 0 0 ←→ -760

mmHg ミリメータ水銀柱 760 ←→ 0 0 ←→ -760

mmH2O ミリメータ水柱

（Aq）（アクア）10342 ←→ 0 0 ←→ -10342

atm 気圧 1 ←→ 0 0 ←→ -1

psi（bf/in2）ポンド平方インチ 14.696 ←→ 0 0 ←→ -14.696

kgf/cm2キログラム

平方センチメートル1.0332 ←→ 0 0 ←→ -1.0332

Pa（N/m2） Torr（mmHg） atm mbar psi（bf/in2） kgf/cm2 mH2O（15°）

1 Pa（N/m2） 1 7.50×10-3 9.87×10-6 10-2 1.45×10-4 1.02×10-5 1.02×10-4

1 Torr（mmHg） 133.32 1 1.316×10-3 1.33 1.93×10-2 1.359×10-3 1.36×10-2

1 atm 1.013×105 760 1 1.013×103 14.696 1.033 10.34

1 mbar 100 0.750 9.87×10-4 1 1.45×10-2 1.02×10-3 10.206×10-3

1 psi（bf/in2） 6.89×103 51.71 6.8×10-2 68.9 1 7.031×10-2 0.703

1 kgf/cm2 9.8×104 735.56 0.968 9.81×102 14.223 1 10

1 mH2O 9.8×103 73.49 9.68×10-2 98.0 1.421 0.1 1

（絶対真空）減圧（真空圧）（大気圧）加圧100 200 300 400 500 600 700

-10×103-20×103-30×103-40×103-50×103-60×103-70×103-80×103-90×103-101325 0

-1.01 -0.9 -0.8 -0.7 -0.6 -0.5 -0.4 -0.3 -0.2 -0.1 0

9.8 19.6-101 -90 -80 -70 -60 -50 -40 -30 -20 -10 0

0-10×10-3-20×10-3-30×10-3-40×10-3-50×10-3-60×10-3-70×10-3-80×10-3-90×10-3-101×10-3 9.8×10-3 19.6×10-3

1 1.0130.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 0.8 0.90

0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 0.8 0.9 1 1.1 1.20

0.1 0.2-0.9 -0.8 -0.7 -0.6 -0.5 -0.4 -0.3 -0.2 -0.1 0-1

760

kPa G

MPa G

Torr abs

bar abs

Pa abs

kPa abs

bar G

（mmHg abs）

バール

パスカル

キロパスカル

キログラム毎平方センチメートル

キログラム毎平方センチメートル

バール

Pa G パスカル

キロパスカル

メガパスカル

トール（ミリメータHg）

トール（ミリメータHg）

kg/cm2 abs

kg/cm2 G

10 20 30 40 50 60 70 80 90 1000 101.32

MPa abs メガパスカル0.01 0.02 0.03 0.04 0.05 0.06 0.07 0.08 0.09 0.10 0.101

0 10×103 20×103 30×103 40×103 50×103 60×103 70×103 80×103 90×103 100×103 101325

-760 -700 -600 -500 -400 -300 -200 -100 0 Torr G（mmHg）

From To

■単位の比較

■単位換算表

直結型油回転真空ポンプDirect Drive Oil-Sealed Rotary Vacuum Pumps

G-5G-5DAG-10DAG-25SAG-20DA

G-50SAG-50DAG-100SG-100D

■スタンダードタイプ Standard type

8

特　　　長

当社の直結型油回転真空ポンプはゲーデ型の回転翼型真空ポンプです。ゲーデ型の特長は、真空ポンプ油の使用により回転部の潤滑と真空封止をしていますので、高真空が安定して得られる信頼性の高いポンプです。またモータ直結型であることからベルト方式に比べ、高速回転かつ小型で大きな排気速度が得られます。Gシリーズは長年にわたり豊富な実績を持ち、低価格を実現した油回転真空ポンプのスタンダードタイプです。GシリーズはSingle stageとTwo-stageの２種類があり、その排気量も5～100 L/min.まで豊富に取り揃えています。

使用上の注意

1．油回転真空ポンプは油の減少や汚れを定期的にチェックしてください。

2．ポンプを停止する場合は、油の逆流を防ぐためにポンプ内を大気圧にもどしてください。（詳細についてはお問い合わせください）

3．大気圧近くでは排気口から油が発散することがあります。これを防ぐためには、当社のオイルミストトラップ（OMTシリーズ）あるいはオイルミストセパレーターのご使用をおすすめします。また吸気側には、フォアライントラップ（油の逆拡散防止用及び水分、粉体混入防止用の2種）を用意しております。

4．油回転真空ポンプは大気圧近くでの連続運転には不適当です。

主な利用分野

1．理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器2．小型食品包装機、真空成型機3．真空排気装置、電子顕微鏡のバック4．半導体製造装置5．真空蒸着装置、凍結乾燥器6．医療用機器全般

吸気管φ12（M14×P1）

Suction port

注油栓

17 17

Oil inlet plug

排気管φ12（M17×P1）

60

199

123

150

17

42 17 85 55

80

Exhaust port

レベルゲージOil level Gauge

ハンドルHandle

コンデンサCondenser

モータMotor

レベルゲージOil level gauge排油栓 M6Drain plug

ベースBaseゴム脚 4-M3

Rubber legs

2140

95

156

実効排気速度表示Actual pumping speed

Unit 50Hz 60HzActual pumping speed L/min. 5 6実効排気速度Ultimate pressure Pa 4×103到達圧力Motor 1φ,100V,25W,4 poles,capacitor run使用電動機Full load current A 0.6 0.6全負荷電流Oil capacity mL 20油量Recommended oil SMR-100使用油Weight kg 2.5質量Inlet port diameter mm O.D.φ12×I.D.φ6吸気管径Ambient operation temp.range ℃ 7～40使用雰囲気温度範囲Overall dimensions mm 80(W)×199(L)×156(H)最大寸法

サーマルプロテクター内蔵（自動復帰）With built-in thermal protector

G S

eriesG

Series

GS

eriesG

S




G Series

G-5

スタンダードタイプ

9

銘板Name plate

モータMotor

ハンドルHandle

電源コード　Power Cord

ベース　Base

ゴム脚 4-M4Rubber legs

排気管Exhaust port

レベルゲージOil level gauge

スイッチSwitch

排油栓Drain plug

1451

51933 34.5

159.5

コンデンサーカバーCapacitorcover

吸気管Suction port

20361 33 10539 16

120150

1517.5

11.5

74110130

2018 18

ベース　Base





スイッチSwitch

排油栓Drain plug

1451

51940

165

コンデンサーカバーCapacitorcover

228714 33 12040 16

120 151527.5

11.5

74110130

2018 18

銘板Name plate

モータMotor

ハンドルHandle

電源コード　Power Cord



Unit 50Hz 60HzActual pumping speed L/min. 10 12実効排気速度Ultimate pressure Pa 1.3 到達圧力Motor 1φ,100V,60W,4 poles,capacitor run使用電動機Full load current A 1.38 1.22全負荷電流Oil capacity mL 250油量Recommended oil SMR-100使用油Weight kg 5.5質量Inlet port diameter mm O.D.φ18×I.D.φ14吸気管径Ambient operation temp.range ℃ 7～40使用雰囲気温度範囲Overall dimensions mm 130(W)×228(L)×165(H)最大寸法

Unit 50Hz 60HzActual pumping speed L/min. 5 6実効排気速度Ultimate pressure Pa 6.7到達圧力Motor 1φ,100V,40W,4 poles,capacitor run使用電動機Full load current A 0.92 0.73全負荷電流Oil capacity mL 180油量Recommended oil SMR-100使用油Weight kg 5質量Inlet port diameter mm O.D.φ12×I.D.φ6吸気管径Ambient operation temp.range ℃ 7～40使用雰囲気温度範囲Overall dimensions mm 130(W)×203(L)×159.5(H)最大寸法



G S

eriesG

Series

GS

i

寸法図 Dimensions 寸法図 Dimensions

オプショナルパーツOptional parts オプショナルパーツOptional parts

仕様 Specifications 仕様 Specifications


G Series

G-5DA



G Series

G-10DA


ホース口吸気管（O.D.8、O.D.15、O.D.18、O.D.22）ホース口排気管（O.D.12、O.D.15、O.D.18）

KF-25吸気管（KF-25×M20） KF-16排気管（KF-16×G 3/4）

A型吸気管（R1/4-L20オネジ） KF-25排気管（KF-25×G 3/4）

B型吸気管（Rc1/4メネジ）オイルミストトラップ（OMT-050A）

C型吸気管（R1/4-L10オネジ）逆止弁

フィルター付吸気管（O.D.9）







※詳しくはp.24～28をご覧ください。 ※詳しくはp.24～28をご覧ください。

到達圧力はマクラウド真空計による測定値、（）内はピラニー真空計による測定値

10


スイッチ


排油栓 M8

ゴム脚

銘板

199.5

1466.5

754440

4038

91

288167

17015 15

17.5200

63.5 52 5.529 20 30

25

12.5

125131156

Exhaust port

Switch

Oil level gauge

Drain plug

Rubber legs

電源コード

モータ

ハンドル

サーマルプロテクター

PowerCord

Motor

Handle

Thermalprotector

ベースBase

Nameplate

Suction port

4-M4


Unit 50Hz 60HzActual pumping speed L/min. 20 24実効排気速度Ultimate pressure Pa 9.3 到達圧力Motor 1φ,100V,100W,4 poles,split phase starting使用電動機Full load current A 3.7 3.0全負荷電流Oil capacity mL 230油量Recommended oil SMR-100使用油Weight kg 8.5質量Inlet port diameter mm O.D.φ18×I.D.φ14吸気管径Ambient operation temp.range ℃ 7～40使用雰囲気温度範囲Overall dimensions mm 156(W)×288(L)×199.5(H)最大寸法

サーマルプロテクター内蔵（手動復帰）With built-in thermal protector


スイッチ


排油栓 M8

ゴム脚

銘板

199.5

1466.5

754440

4038

91

299.5167

17015 15

29200

63.5 63.5 5.529 20 40

25

12.5

125131156

Exhaust port

Switch

Oil level gauge

Drainplug

Rubber legs

電源コード

モータ

ハンドル


PowerCord

Motor

Handle

Thermalprotector

ベースBase

Nameplate

Suction port

4-M4


Unit 50Hz 60HzActual pumping speed L/min. 20 24実効排気速度Ultimate pressure Pa 1.3×10-1到達圧力Motor 1φ,100V,100W,4 poles,split phase starting使用電動機Full load current A 3.7 3.0全負荷電流Oil capacity mL 180油量Recommended oil SMR-100使用油Weight kg 9質量Inlet port diameter mm O.D.φ18×I.D.φ14吸気管径Ambient operation temp.range ℃ 7～40使用雰囲気温度範囲Overall dimensions mm 156(W)×299.5(L)×199.5(H)最大寸法


G S

eriesG

Series

GS

eriesG

S


G Series

G-25SA



G Series

G-20DA




※詳しくはp.24～28をご覧ください。＊オイルミストトラップアダプターが必要です。※詳しくはp.24～28をご覧ください。

オプショナルパーツOptional parts












C型吸気管（R1/4-L10オネジ）インライントラップ＊（OMI-100）

フィルター付吸気管（O.D.9）逆止弁

RoHS対応


排気管

スイッチ


ゴム脚

銘板

199.5

1466.5

754440

4038

91

344.5182

17015 15

59200

63.5 93.5 5.529 20 40

25

12.5

125131156

Exhaust port

Switch

Oil level gauge

Drainplug

Rubber legs

電源コード

モータ

ハンドル


PowerCord

Motor

Handle

Thermalprotector

ベースBase

Nameplate

Suction port

4-M4

排油栓 M8


Unit 50Hz 60HzActual pumping speed L/min. 50 60実効排気速度Ultimate pressure Pa 9.3 到達圧力Motor 1φ,100V,200W,4 poles,split phase starting使用電動機Full load current A 5.6 4.8全負荷電流Oil capacity mL 360油量Recommended oil SMR-100使用油Weight kg 11質量Inlet port diameter mm O.D.φ18×I.D.φ14吸気管径Ambient operation temp.range ℃ 7～40使用雰囲気温度範囲Overall dimensions mm 156(W)×344.5(L)×199.5(H)最大寸法

逆流防止機構付With back flow oil shut-off valve


排気管

スイッチ


ゴム脚

銘板

199.5

1466.5

754440

4038

91

344.5182

17015 15

59200

63.5 93.5 5.529 20 40

25

12.5

125131156

Exhaust port

Switch

Oil level gauge

Drainplug

Rubber legs

電源コード

モータ

ハンドル


PowerCord

Motor

Handle

Thermalprotector

ベースBase

Nameplate

Suction port

4-M4

排油栓 M8


Unit 50Hz 60HzActual pumping speed L/min. 50 60実効排気速度Ultimate pressure Pa 1.3×10-1到達圧力Motor 1φ,100V,200W,4 poles,split phase starting使用電動機Full load current A 5.6 4.8全負荷電流Oil capacity mL 260油量Recommended oil SMR-100使用油Weight kg 11質量Inlet port diameter mm O.D.φ18×I.D.φ14吸気管径Ambient operation temp.range ℃ 7～40使用雰囲気温度範囲Overall dimensions mm 156(W)×344.5(L)×199.5(H)最大寸法

11

サーマルプロテクター内蔵（手動復帰）With built-in thermal protector サーマルプロテクター内蔵（手動復帰）

With built-in thermal protector

G S

eriesG

Series

GS

i直結型油回転真空ポンプDirect Drive Oil-Sealed Rotary Vacuum Pumps

G Series

G-50SA



G Series

G-50DA


＊オイルミストトラップアダプターが必要です。※詳しくはp.24～28をご覧ください。

＊オイルミストトラップアダプターが必要です。※詳しくはp.24～28をご覧ください。


















RoHS対応

12

460.5

5.5 163 79

30

114

15 15200

230

118

146

27.5

173.5

2314

22 30

14

83 50 21

213

φ142

264

6250

4879

1510

1

レベルゲージ

吸気管φ27（□40フランジ）

排油栓 M8

注油栓

Oil level gauge

Drain plug

Oil inlet plug注油栓Oil inlet plugコンデンサ（100V単相モーター）

Capacitor

Thermal protectorサーマルプロテクター

（100V Motor）モータMotor

ゴム脚Rubber legs

ベースBase

ハンドルHandle

排気管

Suction port

Exhaust port

4-M4


Unit 50Hz 60HzActual pumping speed L/min. 100 120実効排気速度Ultimate pressure Pa 9.3到達圧力Motor 1φ,100V,400W,4 poles,capacitor starting使用電動機Full load current A 8.6 7.7全負荷電流Oil capacity mL 1,200油量Recommended oil SMR-100使用油Weight kg 21.6質量Inlet port diameter mm O.D.φ27×I.D.φ20吸気管径Ambient operation temp.range ℃ 7～40使用雰囲気温度範囲Overall dimensions mm 173.5(W)×460.5(L)×264(H)最大寸法

逆流防止機構付With back flow oil shut-off valve


460.5

5.5 163 79

30

114

15 15200

230

118

146

27.5

173.5

2314

22 30

30

14

83 50 21

213

φ142

264

6250

4879

1510

1

レベルゲージ

吸気管

排油栓 M8

注油栓

Oil level gauge

Drain plug

Oil inlet plug

コンデンサ（100V単相モーター）

Capacitor

ガスバラストバルブGas ballast valve

Thermal protectorサーマルプロテクター

（100V Motor）モータMotor

ゴム脚Rubber legs

ベースBase

ハンドルHandle

排気管

Suction port

Exhaust port

4-M4

φ27（□40フランジ）


Unit 50Hz 60HzActual pumping speed L/min. 100 120実効排気速度Ultimate pressure G.V. Closed Pa 6.7×10-2 (6.7×10-1)到達圧力 G.V. Open （6.7）Motor 1φ,100V,400W,4 poles,capacitor starting使用電動機Full load current A 8.6 7.7全負荷電流Oil capacity mL 800油量Recommended oil SMR-100使用油Weight kg 22.4質量Inlet port diameter mm O.D.φ27×I.D.φ20吸気管径Ambient operation temp.range ℃ 7～40使用雰囲気温度範囲Overall dimensions mm 173.5(W)×460.5(L)×264(H)最大寸法

ガスバラストバルブ付With built-in gas ballast valve


G S

eriesG

Series

GS

eriesG

S


G Series

G-100S



G Series

G-100D




＊□40アダプターが必要です。※詳しくはp.24～28をご覧ください。



ホース口吸気管＊（O.D.8、O.D.12、O.D.15、O.D.18、O.D.22）ホース口排気管（O.D.27）

KF-25吸気管＊（KF-25×M20） KF-25排気管（KF-25×G1）

KF-25吸気管（KF-25×□40フランジ（PPS））排気管（O.D.27×R1）

A型吸気管＊（R1/4-L20オネジ）オイルミストトラップ（OMT-100A）

B型吸気管＊（Rc1/4メネジ）インライントラップ（OMI-100）

C型吸気管＊（R1/4-L10オネジ）

ホース口吸気管＊（O.D.8、O.D.12、O.D.15、O.D.18、O.D.22）ホース口排気管（O.D.27）

KF-25吸気管＊（KF-25×M20） KF-25排気管（KF-25×G1）

KF-25吸気管（KF-25×□40フランジ）排気管（O.D.27×R1）


B型吸気管＊（Rc1/4メネジ）インライントラップ（OMI-100）


RoHS対応 RoHS対応

（G.V）　25

（吸気）　23

Suction port吸気管 KF-16

Oil level gaugeオイルレベルゲージ

Gas baiiast valve

ガスバラストバルブ（G.V）

Exhaust port排気管 KF-16

(排気)

29

(注油栓)

120

5836

3818

107

166

13

Drain plug排油栓 M8

64

1512015

130

Hndleハンドル　

Rubber legsゴム脚 4-φ8貫通 Base

ベース

Condenser coverコンデンサーカバー　　　

Oil inlet plug注油栓

Motorモータ　

40

106 37 135.5

66 20.516.5 5.5

278.5

59.569

　29


Unit 50Hz 60HzActual pumping speed L/min. 30 36実効排気速度Ultimate pressure G.V. Closed Pa 6.7×10-2 (6.7×10-1)到達圧力 G.V. Open (6.7)Motor 1φ,100V,150W,2 poles,capacitor run使用電動機Full load current A 2.2 2.4全負荷電流Oil capacity mL 600油量Recommended oil R-2使用油Weight kg 8.7質量Inlet port diameter mm KF-16吸気管径Ambient operation temp.range ℃ 7～40使用雰囲気温度範囲Overall dimensions mm 120(W)×278.5(L)×166(H)最大寸法

13



GH

D S

eriesG

HD

Series

GH

DS

i


GHD Series

GHD-030

高速回転タイプ直結型油回転真空ポンプDirect Drive Oil-Sealed Rotary Vacuum Pumps

GHD-030GHD-060GHD-120

■高速回転タイプ High Speed type

特　　　長

GHDシリーズは、Gシリーズをさらに発展させたコンセプトを基に開発されたシリーズです。特に2極モータの採用により、一段と小型軽量化を実現し、種々の機構を完備しています。油の逆流防止機構、ガスバラストバルブ、強制給油方式、過電流保護回路を装備し、可搬式または卓上式装置への組込みに最適な直結型油回転真空ポンプです。

使用上の注意

GHDシリーズは性能が格段にアップされておりますが、その性能を最大限に引き出すためにGシリーズの注意に加え、次のことにも注意してください。１．シリーズは小型ながら10-2Paと高真空領域まで真空にする能力がありますので、真空継手や容器は高真空で十分に使用可能なものをお使いください。

２．有毒ガスや腐食性ガスにはGCDシリーズをお使いください。３．油回転真空ポンプは大気圧近くでの連続運転には不適当です。

主な利用分野

1．理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器2．真空排気装置3．電子顕微鏡のバック4．リークディテクタ



＊インライントラップ用アダプターが必要です。※詳しくはp.24～28をご覧ください。


GHD-030用ホース口吸気管（O.D.12、O.D.18）KF-25排気管（KF-25×G 3/4）

ホース口排気管（O.D.12×G 3/4）オイルミストトラップ（OMT-050A）

ホース口排気管（O.D.15×G 3/4）インライントラップ＊（OMI-100）

ホース口排気管（O.D.18×G 3/4）

RoHS対応

14

吸気管KF-25（□40フランジ）


排気管

160145223040

63

68

30231422

121

132

5.5 5.5 1515 140

323

100

1370

4348

9539

217

排油栓 M8

レベルゲージ

Drain plug

注油栓Oil inlet plug

モータ

ゴム脚 4-M4Rubber legs Base

MotorOil level gauge

Suction port

Exhaust port

ベース 4-φ8貫通

ハンドル

コンデンサーカバー

Handle

Condenser cover


Unit 50Hz 60HzActual pumping speed L/min. 60 72実効排気速度Ultimate pressure G.V. Closed Pa 6.7×10-2 (6.7×10-1)到達圧力 G.V. Open (6.7)Motor 1φ,100V,200W,2 poles,capacitor run使用電動機Full load current A 5.0 4.5全負荷電流Oil capacity mL 600油量Recommended oil R-2使用油Weight kg 14質量Inlet port diameter mm KF-25吸気管径Ambient operation temp.range ℃ 7～40使用雰囲気温度範囲Overall dimensions mm 132(W)×323(L)×217(H)最大寸法


モータ

注油栓排気管

レベルゲージ

ガスバラストバルブ

ハンドル

コンデンサーカバー

23

39217

302214

5.5 5.5121

132

排油栓 M8

1348

4395

70

4550

18063125

170

368

94

22

1514015

ゴム脚 4-M4

Gas ballast valve

Drain plug

Oil inlet plug

Rubber legs

Handle

Condenser cover

Base Motor

Oil level gauge

Suction portExhaust port


吸気管KF-25（□40フランジ）


Unit 50Hz 60HzActual pumping speed L/min. 120 144実効排気速度Ultimate pressure G.V. Closed Pa 6.7×10-2 (6.7×10-1)到達圧力 G.V. Open (6.7)Motor 1φ,100V,300W,2 poles,capacitor run使用電動機Full load current A 5.5 5.0全負荷電流Oil capacity mL 600油量Recommended oil R-2使用油Weight kg 17質量Inlet port diameter mm KF-25吸気管径Ambient operation temp.range ℃ 7～40使用雰囲気温度範囲Overall dimensions mm 132(W)×367(L)×217(H)最大寸法


GH

D S

eriesG

HD

Series

GH

DS

eriesG

S 直結型油回転真空ポンプDirect Drive Oil-Sealed Rotary Vacuum Pumps

GHD Series

GHD-060

高速回転タイプ


GHD Series

GHD-120

高速回転タイプ




ホース口吸気管＊（O.D.8、O.D.12、O.D.15、O.D.18、O.D.22）KF-25排気管（KF-25×G1）

ホース口吸気管（O.D.27×□40フランジ）オイルミストトラップ（OMT-100A）

A型吸気管＊（R1/4-L20オネジ）インライントラップ（OMI-100）

B型吸気管＊（Rc1/4メネジ）フォアライントラップ★（OFI-200C／200V）

C型吸気管＊（R1/4-L10オネジ） KF-25アダプター

ホース口排気管（O.D.27）

＊□40アダプターが必要です。★KF-25クイックカップリングクランプ、KF-25センターリングが必要です。※詳しくはp.24～28をご覧ください。



ホース口吸気管＊（O.D.8、O.D.12、O.D.15、O.D.18、O.D.22）KF-25排気管（KF-25×G1）

ホース口吸気管（O.D.27×□40フランジ）オイルミストトラップ（OMT-200A）

A型吸気管＊（R1/4-L20オネジ）インライントラップ（OMI-200）

B型吸気管＊（Rc1/4メネジ）フォアライントラップ★（OFI-200C／200V）

C型吸気管＊（R1/4-L10オネジ） KF-25アダプター



415.5179 82.5 113.5 3.5 5.5

103 76 17.5 101 135 49

20 260

ハンドルHandle

2064.5300


電源コードPower Cord


排気管 (R3/4)Exhaust port

オイルレベルゲージOil level gauge

注油栓 (M8)Drain plug

1312

160136 12ベースBass

35 20

20 18

（排気側）

（吸気側）

1020

7183

52236

スイッチボックスSwitch Box

サーマルプロテクターThermal protecter

モータ (1φ100V)Motor

吸気管 (φ18×φ14)Suction port

スイッチSwitch

ガスバラストバルブGas ballast

173


Unit 50Hz 60HzActual pumping speed L/min. 50 60実効排気速度Ultimate pressure G.V. Closed Pa 6.7×10-2 (6.7×10-1)到達圧力 G.V. Open 6.7Motor 1φ,100V,200W,4 poles,split phase starting使用電動機Full load current A 5.6 4.8全負荷電流Oil capacity mL 430油量Recommended oil SMR-100使用油Weight kg 13.7質量Inlet port diameter mm O.D.φ18×I.D.φ14吸気管径Ambient operation temp.range ℃ 7～40使用雰囲気温度範囲Overall dimensions mm 173(W)×415.5(L)×236(H)最大寸法

15



GV

D/G

LS/G

LD S

eriesG

/GS

/GS

GV

D/G

LS/G

LDS

eriesG

VD

/GLS

/GLD

Si


GVD Series

GVD-050A

スーパータイプ直結型油回転真空ポンプDirect Drive Oil-Sealed Rotary Vacuum Pumps

GVD-050AGLS-051GLD-051

■スーパータイプ Super type

特　　　長

「GVD-050A」と「GLD-051」は、「Ｇシリーズ」直結型油回転真空ポンプを一段とグレードアップしたタイプです。直結型油回転真空ポンプの性能を最大限に高めるとともに種々の機構を完備しています。ガスバラスト機構により、吸引する気体中に凝縮性成分（例えば水など）を除去し、ポンプ油中に溶解するのを防ぎます。また強制給油機構により大気圧から高真空まで全領域での使用に高い信頼性があります。油の逆流防止機構によりポンプの運転停止時における油の逆流を防ぐことができます。さらに強制空冷機構により到達圧力は10-2Paの高真空が得られます。「GLS-051」は、1段式真空ポンプです。到達圧力は「GVD-050A」と「GLD-051」に劣りますが、安価で低振動です。

使用上の注意

「GVD-050A」と「GLD-051」は「Gシリーズ」に比べて性能が格段にアップされておりますが、その性能を最大限に引き出すためにGシリーズの注意に加え次のことにも注意してください。1．「GVD-050A」と「GLD-051」は高真空領域（10-2Pa）の能力がありますので、真空継手や容器は高真空で十分に使用可能なものをお使いください。

2．各シリーズの吸気管は、真空容器側接続口に合わせて各種サイズを用意しています。詳細は25ページ「吸気管排気管対応表」をご参照ください。

3．油回転真空ポンプの真空引きはじめには、オイルミストが発生します。室内汚染防止のため、オイルミストトラップの取付けをおすすめします。詳細は24ページ「オプショナルパーツ」をご参照ください。

4．有毒ガスや腐食性ガスには「GCDシリーズ」をお使いください。


主な利用分野

1．理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器2．真空排気装置、電子顕微鏡のバック3．半導体製造装置、スパッター装置、真空蒸着装置4．真空乾燥器、凍結乾燥器



＊インライントラップ用アダプターが必要です。※詳しくはp.24～28をご覧ください。








16

5466423.536.5

240 42206 1717

銘板Name plate

モータMotor

サーマルプロテクターThermal 　protector

ハンドルHandle

電源コードPower Cord

ベースBase


36570 111



スイッチSwitch

ドレンプラグDrain plug


フィルターキャップFilter cap

35 18

202015.5

110150165.5

1874

1013

78.5

222.5

39

179


Unit 50Hz 60HzActual pumping speed L/min. 50 60実効排気速度Ultimate pressure Pa 9.3 到達圧力Motor 1φ,100V(50/60Hz)/110V(60Hz),200W,4 poles, split phase starting使用電動機Full load current A 5.6 4.8(100V) 5.1(110V)全負荷電流Oil capacity mL 400～700油量Recommended oil SMR-100使用油Weight kg 12.9質量Inlet port diameter mm KF-25吸気管径Ambient operation temp.range ℃ 7～40使用雰囲気温度範囲Overall dimensions mm 165.5(W)×365(L)×222.5(H)最大寸法


546643523.536.5

18

76240206 1717

銘板Name plate

モータMotor

サーマルプロテクターThermal 　protector

ハンドルHandle

電源コードPowerCord

ベースBase


39970 145 注油栓

Oil inlet plug


ガスバラストバルブGas Ballast valve


スイッチSwitch

ドレンプラグDrain plug



35

20 2015.5

110150165.5

18

1874

1378.5

39222.5

10

179


Unit 50Hz 60HzActual pumping speed L/min. 50 60実効排気速度Ultimate pressure G.V. Closed Pa 6.7×10-2(6.7×10-1)到達圧力 G.V. Open (6.7)Motor 1φ,100V(50/60Hz)/110V(60Hz),200W,4 poles, split phase starting使用電動機Full load current A 5.6 4.8(100V) 5.1(110V)全負荷電流Oil capacity mL 500～800油量Recommended oil SMR-100使用油Weight kg 13.9質量Inlet port diameter mm KF-25吸気管径Ambient operation temp.range ℃ 7～40使用雰囲気温度範囲Overall dimensions mm 165.5(W)×399(L)×222.7(H)最大寸法


GLS

/GLD

Series

GLS

/GLD

Series

GLS

/GLD

Series

GS

/GS


GLS Series

GLS-051

スーパータイプ


GLD Series

GLD-051

スーパータイプ




ホース口吸気管＊（O.D.8、O.D.12、O.D.15、O.D.18、O.D.22）KF-16排気管（KF-16×G 3/4）

ホース口吸気管（O.D.27×□40フランジ）KF-25排気管（KF-25×G 3/4）


B型吸気管＊（Rc1/4メネジ）インライントラップ＊（OMI-100）

C型吸気管＊（R1/4-L10オネジ）フォアライントラップ★（OFI-050C／050V）

ホース口排気管（O.D.12、O.D.15、O.D.18） KF-25アダプター


ホース口吸気管＊（O.D.8、O.D.12、O.D.15、O.D.18、O.D.22）KF-16排気管（KF-16×G 3/4）

ホース口吸気管（O.D.27×□40フランジ）KF-25排気管（KF-25×G 3/4）


B型吸気管＊（Rc1/4メネジ）インライントラップ＊（OMI-100）

C型吸気管＊（R1/4-L10オネジ）フォアライントラップ★（OFI-050C／050V）

ホース口排気管（O.D.12、O.D.15、O.D.18） KF-25アダプター




17 到達圧力はマクラウド真空計による測定値、（）内はピラニー真空計による測定値

GLD

Glob

al-type S

eriesyp

GLD

Glob

al-type

Series

GLD

Gl

blt

Si

110

427206

スイッチSwitch

20770

36.564 35 23.546

145

17 1781

35 18ケーブルグランド

1874

13 228.5

10

78.5

39

1502020

フィルターキャップ



排油栓Drain plug

吸気管（KF-25）Suction port



ベースBase


モータMotor

Oil level gauge

Filter cap

Gas ballastvalve

Cable gland






GLD Global-type Series

GLD-040

ワールドワイドタイプ

Unit 50Hz 60HzActual pumping speed L/min. 40 48実効排気速度Ultimate pressure G.V. Closed Pa 6.7×10-2 (6.7×10-1)到達圧力 G.V. Open (6.7)Motor 1φ, 200W, 4 poles, Multiple-range motor使用電動機 Capacitor start & run, AC 100-120, 200-240V

4.20 (100V), 4.40 (110V), 4.60 (115V), 5.05 (120V)Full load current 50Hz 2.10 (200V), 2.20 (220V), 2.30 (230V), 2.60(240V)全負荷電流 A 3.60 (100V), 3.40 (110V), 3.40 (115V), 3.60 (120V)60Hz 1.80 (200V), 1.70 (220V), 1.70 (230V), 1.80(240V)Oil capacity mL 550～800油量Recommended oil R-2 使用油Weight kg 約16質量Inlet port diameter mm KF-25 吸気管径Ambient operation temp.range ℃ 7～40使用雰囲気温度範囲Overall dimensions mm 150(W)×427(L)×228.5(H)最大寸法


GLD-040GLD-136AGLD-136C

GLD-201AGLD-201BGLD-280

■ワールドワイドタイプ World-wide CE type

特　　　長

「GLDシリーズ」に、マルチレンジユニバーサルモータを搭載し、世界中どこの電圧でも対応できるタイプです。単相用、三相用の2タイプをご用意しました。いずれも簡単な結線変更で、多くの電圧に対応できますので、使用国の電圧にあわせてモータを変更する必要がありません。単相用は、100V～120Vまたは200V～240Vで使用できます。ガスバラスト機構、逆流防止機構、大型オイルレベルゲージなど種々の機構を完備しています。もちろんCEマーキング自己宣言品です（GLD-280を除く［2006年10月1日現在］）。

使用上の注意

「GLDシリーズ」は「Gシリーズ」に比べて性能が格段にアップされておりますが、その性能を最大限に引き出すためにGシリーズの注意に加え次のことにも注意してください。1．「GLDシリーズ」は高真空領域（10-2Pa）の能力がありますので、真空継手や容器は高真空で十分に使用可能なものをお使いください。

2．各シリーズの吸気管は、真空容器側接続口に合わせて各種サイズを用意しています。詳細は25ページ「吸気管排気管対応表」をご参照ください。

3．油回転真空ポンプの真空引きはじめには、オイルミストが発生します。室内汚染防止のため、オイルミストトラップの取付けをおすすめします。詳細は24ページ「オプショナルパーツ」をご参照ください。

4．有毒ガスや腐食性ガスには「GCDシリーズ」をお使いください。


主な利用分野

1．理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器2．真空排気装置、電子顕微鏡のバック3．半導体製造装置、スパッター装置、真空蒸着装置4．真空乾燥器、凍結乾燥器オプショナルパーツOptional parts

ホース口吸気管＊（O.D.8、O.D.12、O.D.15、O.D.18、O.D.22）KF-16排気管（KF-16×G 3/4）ホース口吸気管（O.D.27×□40フランジ）KF-25排気管（KF-25×G 3/4）A型吸気管＊（R1/4-L20オネジ）オイルミストトラップ（OMT-050A）B型吸気管＊（Rc1/4メネジ）インライントラップ＊（OMI-100）C型吸気管＊（R1/4-L10オネジ）フォアライントラップ★（OFI-050C／050V）ホース口排気管（O.D.12、O.D.15、O.D.18） KF-25アダプター＊□40アダプターが必要です。★KF-25クイックカップリングクランプ、KF-25センターリングが必要です。※詳しくはp.24～28をご覧ください。

RoHS対応

Unit 50Hz 60HzActual pumping speed L/min. 135 162実効排気速度Ultimate pressure G.V. Closed Pa 6.7×10-2(6.7×10-1)到達圧力 G.V. Open (6.7)Motor 3φ, 400W, 4 poles, Multiple-range motor使用電動機 AC200-240V/380-460VFull load current 50Hz A 2.10 (200V), 2.50 (240V), 1.30 (380V), 1.40 (415V)全負荷電流 60Hz 2.00 (200V), 2.00 (240V), 1.10 (380V), 1.20 (460V)Oil capacity mL 1,000油量Recommended oil SMR-100 使用油Weight kg 23質量Inlet port diameter mm KF-25 吸気管径Ambient operation temp.range ℃ 7～40使用雰囲気温度範囲Overall dimensions mm 170(W)×488.5(L)×240(H)最大寸法

18

ベースBase

モータ (1φ)Motor

2048826020729

ゴム脚 4-φ6貫通Rubber legs

銘板Name Plate

56 90 35 29 48

83181


215

アイボルトEyebolts スイッチ

Switch 端子箱Terminal box

ケーブルグランドCable ground

ガスバラストバルブGas ballast valveオイル


MAX

MIN

37 33

20 130 20170

排油栓Drain plug


14 1886

8φ60

88.5

250

39 49.5

吸気管50 (NW-25)Suction port

排気管 (G1)Exhaust port



Unit 50Hz 60HzActual pumping speed L/min. 135 162実効排気速度Ultimate pressure G.V. Closed Pa 6.7×10-2(6.7×10-1)到達圧力 G.V. Open (6.7)Motor 1φ, 400W,4 poles, Multiple-range motor使用電動機 AC100V-120V/200-240VFull load current 50Hz A 7.50 (100V), 10.0 (120V), 3.80 (200V), 5.00 (240V)全負荷電流 60Hz 6.50 (100V), 6.50 (120V), 3.40 (200V), 3.20 (240V)Oil capacity mL 1,000油量Recommended oil SMR-100 使用油Weight kg 26質量Inlet port diameter mm KF-25吸気管径Ambient operation temp.range ℃ 7～40使用雰囲気温度範囲Overall dimensions mm 170(W)×488(L)×250(H)最大寸法

37 33

ガスバラストパルプGas ballast valve





181

56 90 35 29

83

48

MAX

MIN

20 130 20170

排油栓Drain plug


14 1886

8 240

φ60

88.5

39

9 72 20488.5260 20

ベースBaseゴム脚 4-φ6貫通

Rubber legs

銘板Name Plate

アイボルトEyebolts

端子箱Terminal box

215

ケーブルグランドCable gland

モータMotor


サーマルプロテクターなしWithout thermal protector

GLD

Glob

al-type S

eriesG

LDG

lobaltyp

eS

eriesG

LDG

lobaltyp

eS

eriesG

GS



GLD-136A




GLD-136C





ホース口吸気管＊（O.D.8、O.D.12、O.D.15、O.D.18、O.D.22）KF-25排気管（KF-25×G1）ホース口吸気管（O.D.27、O.D.30、O.D.34）オイルミストトラップ（OMT-200A）A型吸気管＊（R1/4-L20オネジ）インライントラップ（OMI-200）B型吸気管＊（Rc1/4メネジ）フォアライントラップ★（OFI-200C／200V）C型吸気管＊（R1/4-L10オネジ） KF-25アダプターホース口排気管（O.D.27）





Unit 50Hz 60HzActual pumping speed L/min. 200 240実効排気速度Ultimate pressure G.V. Closed Pa 6.7×10-2(6.7×10-1)到達圧力 G.V. Open (6.7)Motor 3φ, 550W, 4 poles, Multiple-range motor使用電動機 AC200-240V/380-460VFull load current 50Hz A 3.00 (200V), 3.60 (240V), 1.80 (380V), 2.00 (415V)全負荷電流 60Hz 2.70 (200V), 2.80 (240V), 1.50 (380V), 1.70 (460V)Oil capacity mL油量 1,100

Recommended oil SMR-100 使用油Weight kg 26質量Inlet port diameter mm KF-25 吸気管径Ambient operation temp.range ℃ 7～40使用雰囲気温度範囲Overall dimensions mm 170(W)×513.5(L)×240(H)最大寸法

Unit 50Hz 60HzActual pumping speed L/min. 200 240実効排気速度Ultimate pressure G.V. Closed Pa 6.7×10-2(6.7×10-1)到達圧力 G.V. Open (6.7)Motor 1φ,550W,4 poles, Multiple-range motor使用電動機 AC100-120V/200-240VFull load current 50Hz A 9.00 (100V), 10.2 (120V), 4.50 (200V), 5.10 (240V)全負荷電流 60Hz 8.40 (100V), 7.70 (120V), 4.20 (200V), 3.85 (240V)Oil capacity mL油量 1,100

Recommended oil SMR-100使用油Weight kg 28質量Inlet port diameter mm KF-25 吸気管径Ambient operation temp.range ℃ 7～40使用雰囲気温度範囲Overall dimensions mm 170(W)×516(L)×250(H)最大寸法

ベースBase

20513.5260201009

銘板Name Plate



21583209

84 90 35 29 48


アイボルトEyebolts注油栓

Oil inlet plug排気管 (G1)Exhaust port

3337


MAX

MIN

3988.5

2408φ60

8614 18

2013020170


排油栓Drain plug



モータ (3φ)Motor


19


ベースBase

モータMotor


銘板Name Plate



スイッチSwitch 端子箱

Terminal box

ケーブルグランド　Cable ground



MAX

MIN

130170

20 20

37 33 84 90 35 29 48

83 215

9 100 20 20260516

209

排油栓Drain plug


250

868

181488.5

49.5

φ60

吸気管(NW-25)Suction port




到達圧力はマクラウド真空計による測定値、（）内はピラニー真空計による測定値記載された電圧以外の仕様値についてはお問い合わせください

GLD

Glob

al-type S

eriesyp

GLD

Glob

al-type

Series

GLD

Gl

blt

Si



GLD-201A




GLD-201B












20

GLD

Glob

al-type S

eriesG

LDG

lobaltyp

eS

eriesG

LDG

lobaltyp

eS

eriesG

GS

モータMotor

43.5

22575 110

116 128260300544

3320

20 20

14

83 236

20 20130175181

31.5

吸気管（KF-25）

32 36124

2923

86269

ドレーンバルブ



ポンプ銘板




Suction port

Gas ballast valve

Oil level gauge

Nameplate

Drain valve

ベースBase







GLD-280


Unit 50Hz 60HzActual pumping speed L/min. 280 336実効排気速度Ultimate pressure G.V. Closed Pa 6.7×10-2 (6.7×10-1)到達圧力 G.V. Open (6.7)Motor 3φ, 200-240V/380-460V, 750W, 4 poles使用電動機

4.2 (200V), 4.4 (220V), 4.6 (230V), 4.8 (240V)Full load current 50Hz 2.6 (380V), 2.8 (400V), 2.8 (415V)全負荷電流 A 4.0 (200V), 3.8 (220V), 3.8 (230V), 4.0 (240V)60Hz 2.2 (380V), 2.2 (400V), 2.3 (440V), 2.4 (460V)Oil capacity mL 700～1,100油量Recommended oil R-7使用油Weight kg 32質量Inlet port diameter mm KF-25吸気管径Ambient operation temp.range ℃ 7～40使用雰囲気温度範囲Overall dimensions mm 181(W)×544(L)×269(H)最大寸法

大型オイルレベルゲージLarge oil level gauge

エアータイト構造（Ｏ－リングシール）Airtight structure（O-ring seal）


逆流防止機構Back flow prevention mechanism

油収入フィルター（オプション）取付可Removable suction filter

フィルトレーションシステム取付口Filtration system connection

強制給油機構Forced lubrication

強制空冷機構空冷ファンForced air cooling with air cooling fan

●GLDシリーズは、低振動、低騒音に加えて、さまざ

まな高性能な機能を完備しているスーパーデラックス

タイプです。

The GLD Series are superior-type pumps featuring highperformance, low vibration,low noise, and manyexcellent functions as described below.

Tips


ホース口吸気管＊（O.D.15、O.D.18、O.D.22）KF-25排気管（KF-25×G1）

ホース口吸気管（O.D.27、O.D.30、O.D.34） KF-25アダプター




21

（R 3／8）（R 3／8）

電気コード

銘板

注油栓排気管

吸気管

ガスバラストバルブハンドル

モータ


165.5

35 18

76240206 1717

179 70423

145 2946643536.5 23.5

15.5

18.21074

78.5

222.7

3913

20 20150110

Thermalprotecter

Handle

Oil inlet plugExhaust port

Gas ballastvalveオイルレベルゲージ

スイッチ

排油栓 M10

フィルトレーション接続フィルトレーション接続

Oil level gauge

Switch

Filtration jointFiltration jointDrain plug

Motor

Name plate

PowerCord

ゴム脚 4-M5ベースBase Rubber legs

Suction port

KF-25（□40フランジ）


Unit 50Hz 60HzActual pumping speed L/min. 50 60実効排気速度Ultimate pressure G.V. Closed Pa 6.7×10-2(6.7×10-1)到達圧力 G.V. Open (6.7)Motor 1φ,100V(50/60Hz)/110V(60Hz),200W,4 poles, split phase starting使用電動機Full load current A 5.6 4.8(100V) 5.1(110V)全負荷電流Oil capacity mL 500～800油量Recommended oil SO-M使用油Weight kg 14.1質量Inlet port diameter mm KF-25吸気管径Ambient operation temp.range ℃ 7～40使用雰囲気温度範囲Overall dimensions mm 165.5(W)×423(L)×222.7(H)最大寸法



GC

D S

eriesG

CD

Series

GC

DS

i


GCD Series

GCD-051X

耐食タイプ直結型油回転真空ポンプDirect Drive Oil-Sealed Rotary Vacuum Pumps

GCD-051XGCD-136XGCD-201X

■耐食タイプ Anti-Corrosive type

特　　　長

「GCDシリーズ」は、「GLDシリーズ」に特殊表面処理(クリーンエス)を施した高耐食型ポンプです。化学工業、半導体業界、医薬品業界などで使用する特殊な溶液あるいは特殊なガスを扱う真空引に最適なポンプです。50～200L/min.の間に3機種があります。・フランジモータの採用により、騒音値、振動値、全負荷電流

（いずれも当社比）が大幅に低下いたしました。環境改善、

省エネルギーにお役立ください。

使用上の注意

１．「GCDシリーズ」には、真空ポンプ油として合成油（SO-M）をご使用ください。

２．特殊ガス溶液などをご使用の場合は事前にご相談ください。

３．油回転真空ポンプは大気圧近くでの連続運転には不適当です。

４．腐食性ガスを吸引される場合のオプショナルパーツの選定は材質と耐食性をご確認ください。

主な利用分野

１．半導体業界２．濃縮等化学業界３．薬品処理後の乾燥４．製薬業界




ホース口排気管＊（O.D.8、O.D.12、O.D.15、O.D.18、O.D.22）KF-16排気管（KF-16×G 3/4）

ホース口吸気管（O.D.27×□40）オイルミストセパレーター★（OMC-050）

A型吸気管＊（R1/4-L20オネジ）フォアライントラップ★（OFI-050C/OFI-050V）

B型吸気管＊（Rc1/4メネジ） KF-25アダプター



RoHS対応

22

銘板

注油栓

排気管


ハンドル

モータ


サーマルプロテクター手動復帰ボタン

509.5

260

84 90 35 29 48

209 83 190.5

20 2017013020

37 33

39 40.4

88.5

241.1

8618.214

φ60

8

20100（27）

Reset buttonThermal protecterHandle

Grand terminalOil inlet plug

Suction port

Exhaust port

Gas ballastvalve


排油栓 M12

スイッチボックス接地端子

フィルトレーション接続（R 3／8）フィルトレーション接続（R 3／8）

Oil level gauge

MAX

MIN

Switch box

ON OFF

Filtration joint Filtration joint

Drain plug

Motor

Base


Name plate

吸気管KF-25

（□50フランジ）


Unit 50Hz 60HzActual pumping speed L/min. 200 240実効排気速度Ultimate pressure G.V. Closed Pa 6.7×10-2(6.7×10-1)到達圧力 G.V. Open (6.7)Motor 3φ,200V(50/60Hz)/220V(60Hz), 750W,4 poles使用電動機Full load current A 3.6 3.3(200V) 3.2(220V)全負荷電流Oil capacity mL 1,100油量Recommended oil SO-M使用油Weight kg 26.6質量Inlet port diameter mm KF-25吸気管径Ambient operation temp.range ℃ 7～40使用雰囲気温度範囲Overall dimensions mm 170(W)×509.5(L)×241.1(H)最大寸法


サーマルプロテクター手動復帰ボタンReset buttonThermal protecter

銘板

注油栓

排気管


ハンドル

モータ

493

260

56 90 35 29 48

181 83 202

20 2017013020

37 33

39 40.4

88.5

241.1

8618.214

φ60

8

2072（27）

Handle

Oil inlet plug

Suction port

Exhaust port

Gas ballastvalve


排油栓 M12

スイッチ

フィルトレーション接続（R 3／8）フィルトレーション接続（R 3／8）

Oil level gauge

MAX

MIN

Switch

Filtration joint Filtration joint

Drain plug

MotorName plate

Base



吸気管KF-25

（□50フランジ）


Unit 50Hz 60HzActual pumping speed L/min. 135 162実効排気速度Ultimate pressure G.V. Closed Pa 6.7×10-2(6.7×10-1)到達圧力 G.V. Open (6.7)Motor 1φ,100V(50/60Hz)/110V(60Hz),400W,4 poles, condenser start & run使用電動機Full load current A 7.7 6.1(100V) 6.0(110V)全負荷電流Oil capacity mL 1,000油量Recommended oil SO-M使用油Weight kg 25.4質量Inlet port diameter mm KF-25吸気管径Ambient operation temp.range ℃ 7～40使用雰囲気温度範囲Overall dimensions mm 170(W)×493(L)×241.1(H)最大寸法



GC

D S

eriesG

CD

Series

GC

DS

eriesG

CS 直結型油回転真空ポンプ

Direct Drive Oil-Sealed Rotary Vacuum Pumps

GCD Series

GCD-136X

耐食タイプ


GCD Series

GCD-201X

耐食タイプ






ホース口排気管＊（O.D.8、O.D.12、O.D.15、O.D.18、O.D.22）ホース口排気管（O.D.27）

ホース口吸気管（O.D.27、O.D.30、O.D.34）オイルミストセパレーター◆（OMC-200）




＊□50アダプターが必要です。 ◆KF-25クイックカップリングクランプが必要です。★KF-25クイックカップリングクランプ、KF-25センターリングが必要です。※詳しくはp.24～28をご覧ください。

ホース口排気管＊（O.D.8、O.D.12、O.D.15、O.D.18、O.D.22）ホース口排気管（O.D.27）

ホース口吸気管（O.D.27、O.D.30、O.D.34）オイルミストセパレーター◆（OMC-200）




＊□50アダプターが必要です。 ◆KF-25クイックカップリングクランプが必要です。★KF-25クイックカップリングクランプ、KF-25センターリングが必要です。※詳しくはp.24～28をご覧ください。


23

写真はUFW-003

■特　長・油中の水分を吸収できる。・油中の酸を中和できる。・油中のパーティクルを除去できる。・水分を連続的に排水できる。（油水分離エレメントを使用の場合）・小型・軽量。・価格が安い。

■用　途・真空乾燥・真空凍結乾燥装置・真空蒸着装置・真空スパッター装置・各種CVD装置

・化学・薬品・医療・食品装置・真空熱処理装置・真空溶解炉・イオン注入装置

■UFO-003／UFW-003型 ■OFC-200XA

■概　要真空ポンプ油に混入する水分、酸、腐食性ガス、パーティクルは、油の寿命を縮めるばかりか、蒸気圧の上昇やポンプの故障の原因になります。UFO-012型オイルフィルトレーションは油を劣化させるこれらの不純物を取り除く為の装置です。

■特　長・油中の水分を吸収できる。・油中の酸を中和できる。・油中のパーティクルを除去できる。

■用　途・真空乾燥・真空凍結乾燥装置・真空蒸着装置・真空スパッター装置・各種CVD装置

・化学・薬品・医療・食品装置・真空熱処理装置・真空溶解炉・イオン注入装置

■仕様 ■仕様

■概　要本機は耐食型油回転真空ポンプGCDシリーズとオイルフィルトレーションシステムUFO-012を同一架台に組込んだポンプユニットです。移動用キャスター付きですので、どこへでも移動可能です。

■特　長・コンパクトでどこでも使用できる。・振動が少なく静か。・保守・点検が容易。・価格が安い。

■用　途・半導体製造装置・各種CVD装置・真空乾燥装置、凍結真空乾燥装置・化学、薬品、医療機器・装置

機種 OFC-135XA OFC-200XA

Ultimate pressure6.7×10-2Pa 6.7×10-2Pa

到達圧力

Pumping speed 135/162L/min 200/240L/min

実効排気速度 (50/60Hz) (50/60Hz)

Water absorbing capacity1200cc／エレメント

水分除去量

Acid neutralizing capacity1.5mol／エレメント

酸中和量

Filtration capacity0.1μm

パーティクル除去精度

Required power 1φ 100V 1.0kW 1φ 100V 1.2kW

所要電力 (50/60Hz) (50/60Hz)

Weight54kg 62kg

質量

Outside dimensions280mm×602mm×686mm 280mm×630mm×686mm

外形寸法（W）×（L）×（H）

Optional parts耐食型オイルミストセパレーター（OMC-200）

オプション

耐食型油回転真空ポンプとオイルフィルトレーションシステムを

セットにしました

機種 UFO-012型 UFO-003型 UFW-003型

（エレメント種類）標準エレメント標準エレメント油水分離用エレメント

ろ過流量 0.6/0.72L/min.

（油処理能力）（50/60Hz）1.2/1.4L/min. 0.6/0.72L/min.

（50/60Hz）

水分除去量

（最大水分吸水能力）1200cc 300cc 連続・分離・排水

酸中和量

（最大酸中和能力）1.5mol/エレメント 0.4mol/エレメント 0.1mol/エレメント

パーティクル除去精度

（ろ過能力)0.1μm 0.1μm ─

単相100V 単相100V所要電力

75W (50/60Hz) 25W (50/60Hz)

重量（本体重量）約16kg 約8.4kg

外形寸法（W）×（L）×（H） 280mm×310mm×410mm 175mm×245mm×459mm 235mm×245mm×418mm

所要油量約3.5L 約1L

0.4MPaでOFF(アラーム)圧力スイッチ仕様

0.2MPaでON(自動復帰)－－

摘要真空ポンプ容量

（参考）100～1000L/min. 50～200L/min. 水分量による

UFO

/UFW

/OFC

Series

//

UFO

/UFW

/OFC

Series

UFO

/UFW

/OFC

Si

小型オイルフィルトレーションシステムConpact Oil Filtration System

UFO/UFW Series

油回転真空ポンプオイルクリーンシステムOil Clean System

OFC Series

■概　要真空ポンプ油に混入する水分、酸、腐食性ガス、パーティクルは、油の寿命を縮めるばかりか、蒸気圧の上昇やポンプの故障の原因になります。UFO-003型オイルフィルトレーションは油を劣化させるこれらの不純物を取り除くための装置です。また、エレメント変更する事で油水分離装置としてもご使用できます。

■UFO-012型

24

油回転真空ポンプの運転中に排出される油煙を捕集し、自動的に真空ポンプ内へ回収できるものがオイルミストトラップです。特に小型真空ポンプは圧力の高いところで使用する場合が多いため、油の飛散により雰囲気を汚すことがありますが、このトラップを取付けることにより低減されます。

オイルミストセパレーター(耐食型)Oil-mist Separators(Anti-corrosive type)

インライントラップ用アダプター（3/4"→1"用）In-line trap adapter

インライントラップIn-line Traps

オイルミストトラップ(特許　No.819691)Oil-mist Trap(Japanese Pat.No.819691)

フォアライントラップFore-line traps

本製品は本体はステンレス製でフィルターエレメントはグラスウールを使用した特殊なオイルミストセパレータです、耐食型油回転真空ポンプGCDシリーズの排気口に取付けることによりオイルミストを除去し、清浄な排気を行うことができます。取付はKF-25クランプが必要です。

下記型式のロータリーポンプにインライントラップを装着する時にご使用ください。

オイルミストトラップインライントラップオイルミストセパレーター（耐食型）Oil-mist trap In-line trap Oil-mist separator (Anti-corrosive)

型　式 OMT-050A OMT-100A OMT-200A OMI-100 OMI-200 OMC-050 OMC-200G-5DA/G-10DA ●★G-20DA ● ●※★G-25SA ●★G-50SA/G-50DA ● ●※★GHD-030/GVD-050A ● ●※　GLS-051/GLD-051 ● ●※　G-100S/G-100D ● ●GHD-060 ● ●GHD-120 ● ●GLD-040 ● ●※GLD-136A/GLD-136C ● ●GLD-201A/GLD-201B ● ●GCD-051X ●GCD-136X/GCD-201X ●

型　式 OFI-050C（逆拡散防止）OFI-200C（逆拡散防止） OFI-050V（混入防止） OFI-200V（混入防止）GHD-030 ●※ ●※

GLS-051/GHD-060GLD-051/GLD-040 ● ●

GHD-0120GLD-136A/GLD-136CGLD-201A/GLD-201B ● ●

GCD-136X/GCD-201XGCD-051X ●

№ R.P.型式適用インライントラップGVD-050A,GLS-051,G-50DA

1G-20DA,G-50SA

OMI-100GHD-030GLD-040,GLD-051

＊OMC-050、OMC-200の取付にはKF-25クランプが必要です。※インライントラップ用アダプターが必要です。★吸気管をKF-25に変更した場合は取り付けられません。

＊Gシリーズ、GVD-050Aはオプション吸気管（M20×KF-25）が必要です。＊OFIシリーズの取付には、クイックカップリングクランプ（KF-25）と、センターリング（KF-25）が必要です。※変換フランジ（KF-16、KF-25）が必要です。

OMC-200OMC-050

OMT-050A

OMT-200A OMT-100A

OFI-050C

OFI-200C

（吸気用）For Pumping port or Suction port

OMI-100 OMI-200

油回転真空ポンプ付属部品（オプション）

オイルミストセパレーター、オイルミストトラップ対応表　 Oil-mist Separators & Oil-mist traps Correspondence Table

フォアライントラップ対応表　 Fore-line traps Correspondence Table

本製品は、ステンレス製の本体に特殊なフィルターを内蔵した吸気フィルターです。真空配管内への油の逆拡散を防止するタイプ（OFI-050C、200C）と真空ポンプへの粉体や液体の混入を防止するタイプ（OFI-050V、200V）の2タイプ4機種を取り揃えました。取付はKF-25クランプが必要です。

フィルター付吸気管Suction pipe with filter

真空ポンプ内部にホコリ等が入りますと真空ポンプ油、真空ポンプ本体に悪い影響を及ぼし、故障の原因にもなります。ホコリ等が入るような場合はフィルター付吸気管を取付けることをお勧めします。

油回転真空ポンプ用オプション部品 Accessories for Oil Rotary Vacuum Pumps

インライントラップは、配管接続型のオイルミストトラツプのこと。吸引したガスを室外に排出できます。配管しない場合はキャップを取り付けて通常のオイルミストトラップとして御使用いただけます。

25


●：真空ポンプに標準装備　　▲：交換可能（アダプター等は不要）※標準排気管と同等の耐食性はありませんので、ご注意ください。

■排気管

■吸気管

⑳

①

②

③④

⑤

⑥⑦

⑧⑨

⑩⑪

⑫⑬

⑭ ⑮

⑯ ⑱

⑲

種類品　名材　質

ホース口排気管（φ12×M17）真鍮 ●

ホース口排気管（φ12×Ｇ3/4）真鍮＋メッキ ▲ ▲ ▲ ⑱

ホース口ホース口排気管（φ15×Ｇ3/4）真鍮＋メッキ ▲ ▲ ▲ ⑲

タイプホース口排気管（φ18×Ｇ3/4）真鍮＋メッキ ▲ ▲ ▲ ⑳ホース口排気管（φ27×G1）真鍮＋メッキ ▲ ▲ ▲※

KFフランジ KF-25排気管（KF-25×G3/4） PPS ▲ ▲ ●

タイプ KF-25排気管（KF-25×G1） PPS ▲ ▲ ●

KF-16（G3/4）真鍮＋メッキ ▲ ● ▲

排気管排気管Assy（G3/4） PA ● ▲ ▲Assy 排気管Assy（G1） PA ● ● ▲※

吸気管写真№

G-5

GLD-040G-5DAG-10DAG-25SAG-20DAG-50SAG-50DA

GVD-050AGLS-051GLD-051

GHD-060GHD-120GLD-136AGLD-136CGLD-201AGLD-201BGLD-280

GHD-030GCD-136X

GCD-201XGCD-051X

G-100S

G-100D

吸気管排気管

油回転真空ポンプオプション吸気管／排気管

●：真空ポンプに標準装備　▲：交換可能（アダプター等は不要）▲＋□40：交換可能（取り付けには□40アダプターが必要） ▲＋□50：交換可能（取り付けには□50アダプターが必要）

種類品　名材　質

ホース口吸気管（φ12×M14）真鍮＋メッキ ●

ホース口吸気管（φ8×M20）真鍮＋メッキ ▲ ▲ ▲＋□40 ▲＋□40 ▲＋□50 ①

ホース口吸気管（φ12×M20）真鍮＋メッキ ● ▲ ▲＋□40 ▲＋□40 ▲＋□50 ②

ホース口吸気管（φ15×M20）真鍮＋メッキ ▲ ▲ ▲＋□40 ▲＋□40 ▲＋□50 ▲＋□50 ③

ホース口ホース口吸気管（φ18×M20）真鍮＋メッキ ▲ ● ▲＋□40 ▲＋□40 ▲＋□50 ▲＋□50 ④

タイプホース口吸気管（φ22×M20）真鍮＋メッキ ▲ ▲ ▲＋□40 ▲＋□40 ▲＋□50 ▲＋□50 ⑤

ホース口吸気管（φ27×□40） ZDC＋メッキ ● ▲

ホース口吸気管（φ27×□50） ZDC＋メッキ ▲ ▲ ⑥

ホース口吸気管（φ30×□50） ZDC＋メッキ ▲ ▲ ⑦

ホース口吸気管（φ34×□50）真鍮＋メッキ ▲ ▲ ⑧

GHD-030用ホース口吸気管（φ12）真鍮＋メッキ ▲GHD-030 GHD-030用ホース口吸気管（φ18）真鍮＋メッキ ▲専用 GHD-030用吸気管（KF-16）真鍮＋メッキ ●

KF-25吸気管（KF-25×M20）真鍮＋メッキ ▲ ▲ ▲＋□40 ▲＋□40 ▲＋□50 ▲＋□50 ⑨KF-25

KF-25吸気管（KF-25×□40） PPS ▲ ● ⑩タイプ

KF-25吸気管（KF-25×□50） PPS ● ● ⑪

A型吸気管（R1/4-L20オネジ×M20）真鍮＋メッキ ▲ ▲ ▲＋□40 ▲＋□40 ▲＋□50 ▲＋□50 ⑭R1/4ネジ

B型吸気管（R1/4メネジ×M20）真鍮＋メッキ ▲ ▲ ▲＋□40 ▲＋□40 ▲＋□50 ▲＋□50 ⑯タイプ

C型吸気管（R1/4-L10オネジ×M20）真鍮＋メッキ ▲ ▲ ▲＋□40 ▲＋□40 ▲＋□50 ▲＋□50 ⑮□40アダプター（M20メネジ）真鍮＋メッキ ▲ ▲ ⑫

アダプター□50アダプター（M20メネジ）真鍮＋メッキ ▲ ▲ ⑬

G-10DAG-25SAG-20DAG-50SAG-50DA

GVD-050A

吸気管写真№

GHD-060 GHD-120GLS-051GLD-051GLD-040

GCD-051X

GHD-030G-100S

G-100DG-5DAG-5

GLD-136AGLD-136CGLD-201AGLD-201BGCD-136XGCD-201X

GLD-280

26


真空配管用部品

■ゲージポート

規　格 SCO-1025 SCO-1040 SCO-2025 SCO-2040

フランジサイズ KF-25 KF-40 KF-25 KF-40

パイプ径 φ15 φ15 φ18 φ18

A 74 58 74 58

φB 25 25 28 28

φB

A

■リークポート

A

■フレキシブルチューブ

規　格 SCO-3016 SCO-3025

フランジサイズ KF-16 KF-25

A 65.0 66.5

（材質：SUS304）（材質：SUS304）

規　格フランジサイズ規　格フランジサイズ

STK-016-250 KF-16/250mm STK-040-250 KF-40/250mm

STK-016-500 KF-16/500mm STK-040-500 KF-40/500mm

STK-016-1000 KF-16/1000mm STK-040-1000 KF-40/1000mm

STK-025-250 KF-25/250mm

STK-025-500 KF-25/500mm

STK-025-1000 KF-25/1000mm

KF-25アダプターKF-25 adapter

KF-25の吸気管をM20に変換するためのアダプタです。KF-25吸気アダプタはKF-25吸気管機種に適用し、標準吸気管を取り外さずに取り付けられます。・取付可能な吸気管＝ホースロ吸気管（φ8、φ12、φ15、φ18、φ22）A型／B型／C型吸気管

適合機種

GLS-051、GLD-040、GLD-051、GHD-060、GHD-120、GLD-136A、GLD-136C、GLD-201A、GLD-201B、GLD-280、GCD-051X、GCD-136X、GCD-201X

真空ポンプ用吸排気フィルター

特　　長

仕　　様

①各種真空装置に用いられる真空ポンプに使用可能なフィルターです。②真空側、排気側いずれにも設置可能です。③本製品は、ステンレス製の本体にイオン交換樹脂繊維を素材としたフィルターです。④排ガス中のパウダーのみではなく酸性ガス・オイルミスト

を効率よく捕捉することが出来ます。⑤本機をご使用頂くことで、排気系の保守作業が軽減されることに加え、操業性の向上、除外設備への負荷が低減されます。⑥取付けには、別途KF-クランプ、レジューサー、センターリング等が必要になります（別途、お問い合わせください）。

※SGT-200はSGT-100と同じサイズのイオン交換樹脂繊維を2個使用しているため、捕捉量が倍になります。

型　式 SGT-100 SGT-200

ろ過方式アウト・イン・パス方式

適用機種 500L/min以下

使用圧力範囲 0.1MPa

使用雰囲気温度 7～40℃

使用雰囲気湿度 85％（結露なきこと）

吸気接続口径 KF-25 KF-40

排気接続口径 KF-25 KF-40

SGT-100

SGT-200

逆止弁Check valve

吸気管とポンプ本体の間に取り付け、ポンプ本体から被排気物への急激なポンプ油の逆流を防止することができます。GLD-040、GLD-051、GLS-051には、別売の□40アダプタが必要です。

適合機種

G-20DA、G-25SA、G-5DA、G-10DA、G-50DA、G-50SA、GVD-050A、GLD-040、GLD-051、GLS-051

油回転真空ポンプ用オプション部品 Accessories for Oil Rotary Vacuum Pumps

R-2とR-7は、合成油系のオイルです。特にR-2はGHDシリーズ、R-7はGLD-280に最適です。

真空ポンプ油SO-Mは、合成油系のオイルで、耐食型ポンプ用GCDシリーズに最も適しています。

真空ポンプ用油SMR-100は、油回転真空ポンプ向けオイルです。特に寒冷時にも始動性が良いように粘度を低くしています。ポンプの性能をフルに発揮するためにも油の交換はできるだけ頻繁に行ってください。

① SO-M 1L

② SO-M 4L

真空ポンプ油(SMR-100)Vacuum pump oil (SMR-100)

真空ポンプ油(SO-M)Vacuum pump oil (SO-M)

真空ポンプ油(R-2、R-7)Vacuum pump oil (R-2,R-7)

真空ポンプと容器等との接続は、必ず真空専用の真空ゴムホースを使用してください。通常のホースと異なり、柔軟性に富み、外圧によるホースの崩れがありませんので安心してご利用いただけます。

品　名規格（内径×外径）適用ホース口6×18 φ87.5×20 φ99×24 φ11、φ12

真空12×30 φ15

ゴムホース15×36 φ16、φ1818×42 φ20、φ2225×50 φ27

真空ゴムホース Rubber vacuum hose

R-7

R-2

27


■クイックカップリングクランプ

規　格 SCK-1016 SCK-1025 SCK-1040

フランジサイズ KF-16 KF-25 KF-40

A 45 55 70

B 61 72 90

C 16 16 16

φD 22 32 47

規　格 SCK-2016 SCK-2025 SCK-2040


φA 17 26 41

φB 16 24 39

C 3.9 3.9 3.9

D 8 8 8

φD

A C

B

■センターリング

DC

φB

φA

規　格 SCK-4016 SCK-4025 SCK-4040


φA 30 40 55

φB 17.2 26.2 41.2

D 6 6 6

■ブランクフランジ

D

φAφB

■ノズル

規　格 SCK-2512 SCK-2518


φA 40 40

B 6 6

C 35 35

φD 12 18

規　格 SCK-8016 SCK-8025


φA 30 40

φB 20.0 27.2

φC 16.0 24.0

D 40 50

規　格 SCK-9025 SCK-9040

フランジサイズ KF-16/25 KF-25/40

φA 30 40

φB 40 55

φC 20.0 27.2

φD 16.0 24.0

規　格 SCK-5016 SCK-5025 SCK-5040


φA 30 40 55

φB 20.0 27.2 42.7

φC 16.0 24.0 39.0

D 60 100 100

規　格 SCK-6016 SCK-6025 SCK-6040


φA 30 40 55

φB 20.0 27.2 42.7

φC 16.0 24.0 39.0

D 40 50 65

φA

φD

C

B

■ニップル

φA φB

φC

D

■エルボ

φAD

φB

φC

D

■ティ

規　格 SCK-7016 SCK-7025 SCK-7040


φA 30 40 55

φB 20.0 27.2 42.7

φC 16.0 24.0 39.0

D 40 50 65

φA φB

φC

D

D

■クロス

φA

φBφC

D

D

■変換フランジ／レジューサ

φB

φA

φC

φD

D

40

■KFフランジ

規　格 SCA-1614-F SCA-1638-F SCA-1612-F SCA-2514-F SCA-2538-F SCA-2512-F

フランジサイズ KF-16 KF-16 KF-16 KF-25 KF-25 KF-25

チューブ外径 1/4インチ 3/8インチ 1/2インチ 1/4インチ 3/8インチ 1/2インチ

A 35.8 42.1 40.6 35.8 40.6 40.6

φB 3.0 7.1 10.2 4.6 7.1 10.2

■VCRアダプタ

φAφB

φCφD

E

φB

A

φB

AFemale Male

規　格 SCK-3016 SCK-3025 SCK-3040


φA 30 40 55

φB 17.2 26.2 41.2

接続 φ20 20A 32A

パイプ t＝2 10S 10S

φC 16 24 39

φD 20.0 27.2 42,7

E 10 20 20

Ｆｅｍａｌｅ

規　格 SCA-1614-M SCA-1638-M SCA-1612-M SCA-2514-M SCA-2538-M SCA-2512-M

フランジサイズ KF-16 KF-16 KF-16 KF-25 KF-25 KF-25

チューブ外径 1/4インチ 3/8インチ 1/2インチ 1/4インチ 3/8インチ 1/2インチ

A 35.8 42.1 40.6 35.8 40.6 40.6

φB 3.0 7.1 10.2 4.6 7.1 10.2

Ｍａｌｅ

（材質：アルミニウム）（材質：SUS304）

（Oリング材質：バイトン）

（材質：SUS304）

（材質：SUS304）（材質：SUS304）（材質：SUS304）

（材質：SUS304）（材質：SUS304）

（材質：SUS304）（材質：継手＝SUS316、フランジ＝SUS304）

（材質：SUS304）

真空配管用部品

28

油回転真空ポンプ付属部品（オプション）取付例

吸・排気側トラップ

吸・排気管 KFフランジの取り付け方

■GLD-136C＋OMT-200Ａ

■GLD-136C＋OMT-200Ａ＋OFI-200V

■G-50DA＋各種吸気管 ■GCD136C＋各種吸気管

■GCD-136C＋各種吸気管 ■G-50DA＋ホース口排気管

■センターリングが不要な場合

■基本構成

■GLD-136C＋OMI-200＋KF-25排気管■G-50DA＋OMT-050Ａ

■GCD-136X＋OMC-200

標準排気キャップ



OMI-200キャップ

ホース口排気管

KF25排気管

標準吸気管標準吸気管

ホース口吸気管

KF25吸気管

Oリング

Oリング

φ12

□50アダプター

ホース口吸気管φ27

φ15

φ12 φ15



標準吸気管

センターリング

KFフランジ

OMT-200A

OMT-200AOFI-200V

OMI-200

OMT-050A

OMC-200

＋クイックカップリング

クランプ

ホース口吸気管

KF25吸気管

Oリング

KFフランジ

KFフランジ

Oリングが組み込まれたKF25吸気管

Oリング

ホース口排気管

クイックカップリングクランプ

取付後

29

排気曲線の見方 Pumping Speed Curves

L/s L/min m3/h cfm

L/s 1 60 3.6 2.119

L/min 0.01667 1 0.06 0.03532

m3/h 0.2778 16.67 1 0.5886

cfm 0.4719 28.316 1.699 1

排気速度換算表　Pumping Speed Conversion Table

1000

100

10

110-2 10410-1 100 101 105102

（Pa）

103

50Hz

圧力Pressure

排気速度

Pumping Speed

200

S2=150

S1=180

大気圧

（L／min）

example 1 10リットルの容器を５分で1Paまで減圧したい。ど

のポンプを選べばいいでしょうか？

下図の通り、1Paで23L/min以上の排気速度が必要ですから、135L/min以上

のポンプをお選びください。ただし、配管コンダクタンスや漏れ等を考慮し

て、実際には安全率を見込んでお選びください。

t1＝

t0＝ t1 ＋ t2 ＝ 2.6 ＋ 1.5 ＝ 4.1 min

S1180V100

P21000P1100000

× 2.303 log ＝ 2.6 min

t2＝ S1150V100

P2100P11000

× 2.303 log ＝ 1.5 min

S＝

S ≒ 23 L /min (at 1Pa)

t 5V 10

P2 　 1P1 100000

× 2.303 log

t ＝

t0＝ t1 ＋ t2 ＋ t3　＋ ……

SV

P2P1

× 2.303 logタンク容積（L）

初期圧力（Pa）

最終圧力（Pa）排気時間

（min）

ポンプ排気速度（L/min）

●排気時間の求め方Pumping time calculation

下記の計算式と機種別排気速度曲線を活用することにより、お求めのポンプがお選びいただけます。

1000

100

10

110210110-110-2 103 104 1051

（Pa）

50Hz

圧力Pressure

排気速度

Pumping Speed

201

136

051S=23

（L／min）

機種別排気速度曲線一覧表　Pumping Speed Curves

example 2 100リットルのタンクを大気圧から100Paまで排気

するのに要する時間は？

Calculate the time required to discharge airfrom a 100-liter tank from atmospheric pressureto 100 Pa.

ポンプはGLD-201を使用し、放出ガスの漏れはないものとし

ます。

It is assumed that a GLD-201 pump is used and there is nogas leakage.

ToFrom

資料データ集

30

G Series (Single-stage)

GVD/GCD/GLD/GLS GHD Series

G Series (Two-stage)

1000

100

10

1102 103 104 1051

（Pa）

50Hz

10

圧力Pressure

Pumping Speed

排気速度

G-100S

G-50SA

G-25SA

G-5

（L／min）1000

100

10

110210110-110-2 103 104 1051

（Pa）

50Hz

圧力Pressure

Gas ballast valve openガスバラストバルブ開

Pumping Speed

排気速度

G-100D

G-50DA

G-20DA

G-10DA

G-5DA

（L／min）

1000

100

10

110210110-110-2 103 104 1051

（Pa）

50Hz


GLD-201A·BGCD-201X

GLD-280

GLD-040GLS-051

GLD-136A·CGCD-136X

GCD-051X

GVD-050A

圧力Pressure

Pumping Speed

排気速度

（L／min）1000

100

10

110210110-110-2 103 104 1051

（Pa）

50Hz


GHD-120

GHD-060

GHD-030

圧力Pressure

Pumping Speed

排気速度

（L／min）

機種別排気速度曲線一覧表　Pumping Speed Curves

使用例Application example

GCD-201X ＋ UFO-012オイルフィルトレーションシステム

GCDシリーズにオイルフィルトレーションシス

テムUFO-012を接続した例。

架台・キャスタ付のOFC-135XA／OFC-200XA

もございます。お問い合わせください。

Tips

資料データ集

特約店一覧

“ULVAC”とは“Ultimate in Vacuum（究極の真空）”を意味するULVACグループの真空応用製品のブランド名です。ULVACグループは、真空応用技術の極限に挑戦する世界に類をみない先端技術企業群からなり、そのグループ企業は国内外合わせて30社以上。アルバック機工は、そのグループの中でも特異な存在を誇り、利用分野の広い小型真空ポンプを一手に担う中核企業の一つです。

「真空の極限」を追求する先端技術企業群ULVAC（アルバック）とアルバック機工

北海道地区

㈱タナカ �011-731-0291

東北地区

東北化学薬品㈱（本社：青森県） �0172-33-8131

信越地区

アルバックイーエス㈱（松本支店） �0263-51-0888

㈱アヅマテクノス（本社：新潟県） �025-247-8386

北陸地区

㈱勝木太郎助商店（本社：石川県） �0761-22-6288

関東地区

三益半導体工業㈱（本社：群馬県） �027-372-2021

アルバックイーエス㈱（本社：東京都） �03-5218-6011

稲畑産業㈱（本社：東京都） �03-3639-6556

高千穂精機㈱（本社：東京都） �03-3204-0611

東海地区

遠藤科学㈱（本社：静岡県） �054-283-6222

三弘アルバック㈱（本社：愛知県） �052-702-6811

九州地区

アルバック九州㈱（本社：福岡県） �092-473-7191

海外

ULVAC TAIWAN Co., Ltd. (TAIWAN) �02-2565-1810

POONGIL COMMERCIAL Co., Ltd. (KOREA) �02-765-1477

LIP Chee Hardware & Engineering Pte Ltd. (SINGAPORE)

�8617533

近畿地区

㈱京都タカオシン（本社：京都府） �075-751-7755

三ツワ理化学工業㈱（本社：大阪府） �06-6351-9631

中国地区

㈲友田大洋堂（本社：島根県） �0852-24-3456

㈱大熊（本社：岡山県） �0862-93-2171

四国地区

㈱大一器械（本社：徳島県） �0886-56-8122

増田薬品㈱（本社：香川県） �0878-51-0631

はじめ科学㈱（本社：愛媛県） �0899-22-2151

Ultimate in VacuumULVAC is an international organization made up of morethan 30 member companies with its primaryheadquarters and manufacturing operations based inJapan. The name “ULVAC” is derived from the words“ULtimate in VACuum”.ULVAC KIKO, as a division of ULVAC, manufacturesand markets a wide range of small vacuum pumps thatare utilized throughout many industries.

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ULVACグループ株式会社アルバック株式会社アルバック・コーポレートセンターアルバックテクノ株式会社アルバック九州株式会社アルバック東北株式会社アルバック精機株式会社アルバックマテリアル株式会社日本リライアンス株式会社アルバック成膜株式会社アルバック理工株式会社アルバック機工株式会社アルバック・ファイ株式会社アルバック・クライオ株式会社株式会社昭和真空タイゴールド株式会社アルバックエルダー株式会社日真制御株式会社真空セラミックス株式会社株式会社RAS株式会社イニシアムアルバックイーエス株式会社三弘アルバック株式会社ULVAC Technologies, Inc. （米国）Litrex Corporation（米国）ULVAC G.m.b.H.（ドイツ）OOO ULVAC（ロシア）ULVAC(CHINA) Holding CO., LTD.（中国）ULVAC(SHANGHAI) Trading CO., LTD.（中国）ULVAC(SHANGHAI) CO., LTD.（中国）ULVAC NINGBO Co., Ltd.（中国）ULVAC (SUZHOU) Co., Ltd.（中国）ULVAC-TTI (Shanghai) Technology Corporation（中国）ULVAC Orient (CHENGDU) Co., Ltd.（中国）ULVAC Vacuum Furnace (Shenyang) Co., Ltd.（中国）ULVAC Tianma Electric (Jing Jiang) Co., Ltd.（中国）Hong Kong ULVAC Co., Ltd. （中国）ULVAC TAIWAN INC.（台湾）Ultra Clean Precision Technologies Corp.（台湾）ULVAC KOREA, Ltd. （韓国）Pure Surface Technology, Ltd. （韓国）ULVAC SINGAPORE PTE LTD（シンガポール）ULVAC (THAILAND) LTD.（タイ）ULVAC MALAYSIA SDN. BHD（マレーシア）

●共業グループ

●関連グループ

●海外法人

●専売会社

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